JPH1178030A - インクジェットヘッドの製造方法 - Google Patents
インクジェットヘッドの製造方法Info
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 所定の噴射状態でインクを噴射可能なアクチ
ュエータ基板を製造する際の噴射因子の加工公差を拡大
し、歩留りを向上させる。 【解決手段】 圧電材料で形成された噴射インク溝１４
の壁面を電圧の印加により変形させることによって、噴
射インク溝１４のインクをノズル３０から噴射するイン
クジェットヘッドを製造する際に、インクを所定の噴射
状態で噴射させるように、インクの噴射に影響する複数
の溝幅や溝深さ、隔壁幅、圧電定数等の噴射因子を組み
合わせて形成する。即ち、例えば噴射因子の組み合わせ
として噴射インク溝１４の溝深さと溝幅とを選択したと
き、溝幅に応じて溝深さを補正する。
ュエータ基板を製造する際の噴射因子の加工公差を拡大
し、歩留りを向上させる。 【解決手段】 圧電材料で形成された噴射インク溝１４
の壁面を電圧の印加により変形させることによって、噴
射インク溝１４のインクをノズル３０から噴射するイン
クジェットヘッドを製造する際に、インクを所定の噴射
状態で噴射させるように、インクの噴射に影響する複数
の溝幅や溝深さ、隔壁幅、圧電定数等の噴射因子を組み
合わせて形成する。即ち、例えば噴射因子の組み合わせ
として噴射インク溝１４の溝深さと溝幅とを選択したと
き、溝幅に応じて溝深さを補正する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、噴射チャンネル内
のインクに圧力を作用させることによりインクをノズル
から噴射させるインクジェットヘッドの製造方法に関す
るものである。
のインクに圧力を作用させることによりインクをノズル
から噴射させるインクジェットヘッドの製造方法に関す
るものである。
【０００２】
【従来の技術】インクジェット記録装置は、用紙に文字
や図形を印字するように、インク滴を噴射する多数のノ
ズルを有したインクジェットヘッドを有している。イン
クジェットヘッドは、通常、ノズルに連通された噴射チ
ャンネルの隔壁を駆動電界により屈曲させて容積を変化
させたり、インクを瞬間的に気化させて気泡を発生させ
ることによって、インクに圧力を作用させ、インクの噴
射を行うように構成されている。
や図形を印字するように、インク滴を噴射する多数のノ
ズルを有したインクジェットヘッドを有している。イン
クジェットヘッドは、通常、ノズルに連通された噴射チ
ャンネルの隔壁を駆動電界により屈曲させて容積を変化
させたり、インクを瞬間的に気化させて気泡を発生させ
ることによって、インクに圧力を作用させ、インクの噴
射を行うように構成されている。
【０００３】そして、このようなインクジェットヘッド
によるインクの噴射量は、用紙に対するインクの付着量
の増減として画像品質に大きな影響を与えるため、従来
は、インクを所定の噴射状態で噴射して一定のインク量
で印字できるように、インクの噴射に影響する噴射チャ
ンネルの幅や深さ等の各種の噴射因子に所定の規格範囲
をそれぞれ設定し、各噴射因子が規格範囲に納まるよう
に調整しながらインクジェットヘッドを製造している。
によるインクの噴射量は、用紙に対するインクの付着量
の増減として画像品質に大きな影響を与えるため、従来
は、インクを所定の噴射状態で噴射して一定のインク量
で印字できるように、インクの噴射に影響する噴射チャ
ンネルの幅や深さ等の各種の噴射因子に所定の規格範囲
をそれぞれ設定し、各噴射因子が規格範囲に納まるよう
に調整しながらインクジェットヘッドを製造している。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来のように、各噴射因子を規格範囲にそれぞれ納めなが
ら製造する方法では、噴射因子中の一つでも規格範囲か
ら外れると、正規の噴射状態を得ることができないた
め、製造時の歩留りが低いという問題がある。
来のように、各噴射因子を規格範囲にそれぞれ納めなが
ら製造する方法では、噴射因子中の一つでも規格範囲か
ら外れると、正規の噴射状態を得ることができないた
め、製造時の歩留りが低いという問題がある。
【０００５】即ち、例えばアクチュエータ基板に噴射チ
ャンネル用の溝を形成する場合には、通常、所定の溝幅
に設定されたダイヤモンドブレードを用いたダイシング
加工によりアクチュエータ基板が切削されることによっ
て、規格範囲の溝幅および溝深さに形成されるが、硬質
のダイヤモンドブレードであっても、切削時の磨耗によ
りブレード幅が徐々に減少し、多量のアクチュエータ基
板を切削し続けることによって、最終的には規格範囲を
外れた幅の溝が形成されることになる。そして、このよ
うに各噴射因子をそれぞれの規格範囲に納める従来の製
造方法では、規格範囲外の溝幅が形成された場合、規格
範囲を外れた不良品として廃棄の対象になるため、製造
時の歩留りが低下したものになる。
ャンネル用の溝を形成する場合には、通常、所定の溝幅
に設定されたダイヤモンドブレードを用いたダイシング
加工によりアクチュエータ基板が切削されることによっ
て、規格範囲の溝幅および溝深さに形成されるが、硬質
のダイヤモンドブレードであっても、切削時の磨耗によ
りブレード幅が徐々に減少し、多量のアクチュエータ基
板を切削し続けることによって、最終的には規格範囲を
外れた幅の溝が形成されることになる。そして、このよ
うに各噴射因子をそれぞれの規格範囲に納める従来の製
造方法では、規格範囲外の溝幅が形成された場合、規格
範囲を外れた不良品として廃棄の対象になるため、製造
時の歩留りが低下したものになる。
【０００６】従って、本発明は、規格範囲外となるよう
な噴射因子が存在した場合でも、所定の噴射状態でイン
クを噴射可能なアクチュエータ基板にすることができる
インクジェットヘッドの製造方法を提供しようとするも
のである。
な噴射因子が存在した場合でも、所定の噴射状態でイン
クを噴射可能なアクチュエータ基板にすることができる
インクジェットヘッドの製造方法を提供しようとするも
のである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、請求項１の発明は、インクを所定の噴射状態で噴射
させるように、該インクの噴射に影響する複数の噴射因
子を組み合わせて形成することを特徴としている。これ
により、複数の噴射因子を組み合わせてインクを所定の
噴射状態（噴射速度や噴射量）にするため、従来のよう
に各噴射因子をそれぞれの規格範囲内に設定して所定の
噴射状態とする場合よりも、噴射因子の適正な範囲を拡
大させることができる。従って、圧電材料を用いたアク
チュエータ方式や気泡を用いたバブル方式のいずれの方
式であっても、インクジェットヘッドの加工が容易にな
り、結果として歩留りを向上させることができる。
に、請求項１の発明は、インクを所定の噴射状態で噴射
させるように、該インクの噴射に影響する複数の噴射因
子を組み合わせて形成することを特徴としている。これ
により、複数の噴射因子を組み合わせてインクを所定の
噴射状態（噴射速度や噴射量）にするため、従来のよう
に各噴射因子をそれぞれの規格範囲内に設定して所定の
噴射状態とする場合よりも、噴射因子の適正な範囲を拡
大させることができる。従って、圧電材料を用いたアク
チュエータ方式や気泡を用いたバブル方式のいずれの方
式であっても、インクジェットヘッドの加工が容易にな
り、結果として歩留りを向上させることができる。
【０００８】請求項２の発明は、請求項１記載のインク
ジェットヘッドの製造方法であって、前記噴射因子の組
み合わせとして前記インク溝の溝深さと溝幅とを選択
し、該溝幅に応じて前記溝深さを補正することを特徴と
している。これにより、監視および調整の容易なインク
溝の溝深さと溝幅とを組み合わせることによって、イン
クの噴射状態を容易に調整することができる。
ジェットヘッドの製造方法であって、前記噴射因子の組
み合わせとして前記インク溝の溝深さと溝幅とを選択
し、該溝幅に応じて前記溝深さを補正することを特徴と
している。これにより、監視および調整の容易なインク
溝の溝深さと溝幅とを組み合わせることによって、イン
クの噴射状態を容易に調整することができる。
【０００９】請求項３の発明は、請求項１記載のインク
ジェットヘッドの製造方法であって、前記インクジェッ
トヘッドは、少なくとも一側を圧電材料で形成されたイ
ンク溝を電圧の印加により変形させることによって、該
インク溝のインクをノズルから噴射するものであって、
前記噴射因子の組み合わせとして前記圧電材料の圧電定
数とインク溝の溝深さとを選択し、該圧電定数に応じて
溝深さを補正することを特徴としている。これにより、
インク溝の変形によりインクをノズルから噴射するもの
において、監視および調整の容易なインク溝の溝深さと
圧電定数とを組み合わせることによって、インクの噴射
状態を容易に調整することができる。
ジェットヘッドの製造方法であって、前記インクジェッ
トヘッドは、少なくとも一側を圧電材料で形成されたイ
ンク溝を電圧の印加により変形させることによって、該
インク溝のインクをノズルから噴射するものであって、
前記噴射因子の組み合わせとして前記圧電材料の圧電定
数とインク溝の溝深さとを選択し、該圧電定数に応じて
溝深さを補正することを特徴としている。これにより、
インク溝の変形によりインクをノズルから噴射するもの
において、監視および調整の容易なインク溝の溝深さと
圧電定数とを組み合わせることによって、インクの噴射
状態を容易に調整することができる。
【００１０】請求項４の発明は、請求項１記載のインク
ジェットヘッドの製造方法であって、前記インクジェッ
トヘッドは、少なくとも一側を圧電材料で形成されたイ
ンク溝を電圧の印加により変形させることによって、該
インク溝のインクをノズルから噴射するものであって、
前記噴射因子の組み合わせとして前記インク溝両側の隔
壁の幅とインク溝の溝深さとを選択し、該隔壁の幅に応
じて溝深さを補正することを特徴としている。これによ
り、インク溝の変形によりインクをノズルから噴射する
ものにおいて、監視および調整の容易なインク溝の溝深
さと隔壁の幅とを組み合わせることによって、インクの
噴射状態を容易に調整することができる。
ジェットヘッドの製造方法であって、前記インクジェッ
トヘッドは、少なくとも一側を圧電材料で形成されたイ
ンク溝を電圧の印加により変形させることによって、該
インク溝のインクをノズルから噴射するものであって、
前記噴射因子の組み合わせとして前記インク溝両側の隔
壁の幅とインク溝の溝深さとを選択し、該隔壁の幅に応
じて溝深さを補正することを特徴としている。これによ
り、インク溝の変形によりインクをノズルから噴射する
ものにおいて、監視および調整の容易なインク溝の溝深
さと隔壁の幅とを組み合わせることによって、インクの
噴射状態を容易に調整することができる。
【００１１】請求項５の発明は、請求項１記載のインク
ジェットヘッドの製造方法であって、前記インクジェッ
トヘッドは、少なくとも一側を圧電材料で形成されたイ
ンク溝を電圧の印加により変形させることによって、該
インク溝のインクをノズルから噴射するものであり、前
記噴射因子の組み合わせとして、前記インク溝の溝深さ
と、前記インク溝の溝幅と、前記圧電材料の圧電定数
と、前記ノズルの穴径と、前記インク溝両側の隔壁の幅
とのうちの２つ以上を選択したものであることを特徴と
している。これにより、インク溝の変形によりインクを
ノズルから噴射するものにおいて、各種の噴射因子の中
から、製造条件に応じて最も調整の容易な噴射因子を選
択することができる。
ジェットヘッドの製造方法であって、前記インクジェッ
トヘッドは、少なくとも一側を圧電材料で形成されたイ
ンク溝を電圧の印加により変形させることによって、該
インク溝のインクをノズルから噴射するものであり、前
記噴射因子の組み合わせとして、前記インク溝の溝深さ
と、前記インク溝の溝幅と、前記圧電材料の圧電定数
と、前記ノズルの穴径と、前記インク溝両側の隔壁の幅
とのうちの２つ以上を選択したものであることを特徴と
している。これにより、インク溝の変形によりインクを
ノズルから噴射するものにおいて、各種の噴射因子の中
から、製造条件に応じて最も調整の容易な噴射因子を選
択することができる。
【００１２】請求項６の発明は、請求項３〜５のいずれ
かに記載のインクジェットヘッドの製造方法であって、
前記インクジェットヘッドは、圧電材料で形成されたイ
ンク溝の壁面を電圧の印加により変形させることによっ
て前記インク溝を変形させることを特徴とする。これに
より、壁面の変形によりインク溝を変形させてインクを
ノズルから噴射するものにおいて、監視および調整の容
易な上記の噴射因子を組み合わせることによって、イン
クの噴射状態を容易に調整することができる。
かに記載のインクジェットヘッドの製造方法であって、
前記インクジェットヘッドは、圧電材料で形成されたイ
ンク溝の壁面を電圧の印加により変形させることによっ
て前記インク溝を変形させることを特徴とする。これに
より、壁面の変形によりインク溝を変形させてインクを
ノズルから噴射するものにおいて、監視および調整の容
易な上記の噴射因子を組み合わせることによって、イン
クの噴射状態を容易に調整することができる。
【００１３】
【発明の実施の形態】本発明の実施の形態を図１ないし
図１０に基づいて以下に説明する。本実施の形態に係る
インクジェットヘッドは、図５に示すように、一対のア
クチュエータ基板１・１と、これらアクチュエータ基板
１・１同士を接合するプレート部材４とを有している。
各アクチュエータ基板１は、チタン酸ジルコン酸鉛系
（ＰＺＴ）のセラミックス、またはチタン酸鉛系（Ｐ
Ｔ）のセラミックス等の複数の圧電材料を積層して構成
されている。
図１０に基づいて以下に説明する。本実施の形態に係る
インクジェットヘッドは、図５に示すように、一対のア
クチュエータ基板１・１と、これらアクチュエータ基板
１・１同士を接合するプレート部材４とを有している。
各アクチュエータ基板１は、チタン酸ジルコン酸鉛系
（ＰＺＴ）のセラミックス、またはチタン酸鉛系（Ｐ
Ｔ）のセラミックス等の複数の圧電材料を積層して構成
されている。
【００１４】また、プレート部材４に対向するアクチュ
エータ基板１の上面には、図４（ａ）・（ｂ）に示すよ
うに、ダイヤモンドブレード５０によりダイシング加工
された複数の噴射インク溝１４およびダミーインク溝１
５が形成されている。上記の噴射インク溝１４は、図５
に示すように、アクチュエータ基板１の一端（図中左
端）から他端（図中右端）にかけて所定深度で形成され
ている。一方、ダミーインク溝１５は、アクチュエータ
基板１の一端から他端側の近傍まで所定深度で形成さ
れ、ダミーインク溝１５の他端部は、アクチュエータ基
板１の上面と面一となるように立ち上げられて形成され
ている。そして、このように形成された噴射インク溝１
４およびダミーインク溝１５は、隔壁２０を介して交互
に平行に配列された状態になっており、隔壁２０を構成
する複数層からなる圧電材料は相互に反対方向に分極さ
れている。
エータ基板１の上面には、図４（ａ）・（ｂ）に示すよ
うに、ダイヤモンドブレード５０によりダイシング加工
された複数の噴射インク溝１４およびダミーインク溝１
５が形成されている。上記の噴射インク溝１４は、図５
に示すように、アクチュエータ基板１の一端（図中左
端）から他端（図中右端）にかけて所定深度で形成され
ている。一方、ダミーインク溝１５は、アクチュエータ
基板１の一端から他端側の近傍まで所定深度で形成さ
れ、ダミーインク溝１５の他端部は、アクチュエータ基
板１の上面と面一となるように立ち上げられて形成され
ている。そして、このように形成された噴射インク溝１
４およびダミーインク溝１５は、隔壁２０を介して交互
に平行に配列された状態になっており、隔壁２０を構成
する複数層からなる圧電材料は相互に反対方向に分極さ
れている。
【００１５】上記の各噴射インク溝１４、ダミーインク
溝１５の内面にあたる隔壁２０の側面には、Ｎｉ等の導
電層からなる電極（図示しない）が形成されている。噴
射インク溝１４の両側の隔壁２０・２０を一組として、
両隔壁２０・２０の電極に電圧を印加することにより、
両隔壁を噴射インク溝１４の内外方向に変形させ、噴射
インク溝１４内のインクに圧力を作用させ、後述するノ
ズルからインクを噴射するようになっている。
溝１５の内面にあたる隔壁２０の側面には、Ｎｉ等の導
電層からなる電極（図示しない）が形成されている。噴
射インク溝１４の両側の隔壁２０・２０を一組として、
両隔壁２０・２０の電極に電圧を印加することにより、
両隔壁を噴射インク溝１４の内外方向に変形させ、噴射
インク溝１４内のインクに圧力を作用させ、後述するノ
ズルからインクを噴射するようになっている。
【００１６】上記のように構成された一対のアクチュエ
ータ基板１・１は、図６に示すように、一方のアクチュ
エータ基板１の噴射インク溝１４と他方のアクチュエー
タ基板１のダミーインク溝１５とが対向するように、セ
ラミックス材料や樹脂材料からなる平板状のプレート部
材４を介して接合されている。プレート部材４は、一方
面および他方面が各アクチュエータ基板１の上面にエポ
キシ系の接着剤により液密状態に接合されている。これ
により、アクチュエータ基板１の噴射インク溝１４は、
プレート部材４で覆われることによって、先端および後
端を開口したインク流路となる噴射チャンネル１０を形
成するようになっている。また、ダミーインク溝１５
は、プレート部材４で覆われることによって、先端を開
口する一方、後端部をアクチュエータ基板１の上面とプ
レート部材４との当接により封止された非噴射チャンネ
ル１１を形成するようになっている。
ータ基板１・１は、図６に示すように、一方のアクチュ
エータ基板１の噴射インク溝１４と他方のアクチュエー
タ基板１のダミーインク溝１５とが対向するように、セ
ラミックス材料や樹脂材料からなる平板状のプレート部
材４を介して接合されている。プレート部材４は、一方
面および他方面が各アクチュエータ基板１の上面にエポ
キシ系の接着剤により液密状態に接合されている。これ
により、アクチュエータ基板１の噴射インク溝１４は、
プレート部材４で覆われることによって、先端および後
端を開口したインク流路となる噴射チャンネル１０を形
成するようになっている。また、ダミーインク溝１５
は、プレート部材４で覆われることによって、先端を開
口する一方、後端部をアクチュエータ基板１の上面とプ
レート部材４との当接により封止された非噴射チャンネ
ル１１を形成するようになっている。
【００１７】上記の噴射チャンネル１０および非噴射チ
ャンネル１１を備えたアクチュエータ基板１およびプレ
ート部材４の一端面には、ノズルプレート６が上述のエ
ポキシ系の接着剤を用いて接合されている。ノズルプレ
ート６には、噴射チャンネル１０からインク滴等のイン
クを噴射させるように、噴射チャンネル１０に対応して
ノズル３０が形成されている。尚、ノズルプレート６
は、ポリアルキレンや（例えばエチレン）テレフタレー
ト、ポリイミド、ポリエーテルイミド、ポリエーテルケ
トン、ポリエーテルスルホン、ポリカーボネイト、酢酸
セルロース等のプラスチックにより形成されている。
ャンネル１１を備えたアクチュエータ基板１およびプレ
ート部材４の一端面には、ノズルプレート６が上述のエ
ポキシ系の接着剤を用いて接合されている。ノズルプレ
ート６には、噴射チャンネル１０からインク滴等のイン
クを噴射させるように、噴射チャンネル１０に対応して
ノズル３０が形成されている。尚、ノズルプレート６
は、ポリアルキレンや（例えばエチレン）テレフタレー
ト、ポリイミド、ポリエーテルイミド、ポリエーテルケ
トン、ポリエーテルスルホン、ポリカーボネイト、酢酸
セルロース等のプラスチックにより形成されている。
【００１８】一方、アクチュエータ基板１およびプレー
ト部材４の他端面には、マニホールド部材７が接合され
ている。マニホールド部材７の中心部には、インク供給
口３１が形成されており、図示しないインクタンクから
インクが供給されるようになっている。そして、マニホ
ールド部材７は、全噴射チャンネル１０に連通したイン
ク供給路を形成している。
ト部材４の他端面には、マニホールド部材７が接合され
ている。マニホールド部材７の中心部には、インク供給
口３１が形成されており、図示しないインクタンクから
インクが供給されるようになっている。そして、マニホ
ールド部材７は、全噴射チャンネル１０に連通したイン
ク供給路を形成している。
【００１９】上記の構成において、インクジェットヘッ
ドの製造方法について説明する。先ず、分極された複数
の圧電材料を積層した平板を帯状にスライス加工するこ
とによって、アクチュエータ基板１を形成する。次に、
このアクチュエータ基板１をダイシング加工装置に装着
し、下記の溝加工手順により噴射インク溝１４およびダ
ミーインク溝１５を形成する。
ドの製造方法について説明する。先ず、分極された複数
の圧電材料を積層した平板を帯状にスライス加工するこ
とによって、アクチュエータ基板１を形成する。次に、
このアクチュエータ基板１をダイシング加工装置に装着
し、下記の溝加工手順により噴射インク溝１４およびダ
ミーインク溝１５を形成する。
【００２０】即ち、先ず、ダミーインク溝１５を形成し
た後、そのダミーインク溝１５間に噴射インク溝１４が
位置するように噴射インク溝１４を形成する。この順序
は逆でもよい。噴射インク溝１４の形成について説明す
ると、図１に示すように、噴射インク溝１４を切削する
ための複数枚のダイヤモンドブレード５０をダイシング
加工装置に装着する（Ｓ１）。各ダイヤモンドブレード
５０は、噴射インク溝１４の溝幅に対応するブレード幅
を有し、噴射インク溝１４・１４の配設ピッチに一致し
た配設ピッチで配設されている。
た後、そのダミーインク溝１５間に噴射インク溝１４が
位置するように噴射インク溝１４を形成する。この順序
は逆でもよい。噴射インク溝１４の形成について説明す
ると、図１に示すように、噴射インク溝１４を切削する
ための複数枚のダイヤモンドブレード５０をダイシング
加工装置に装着する（Ｓ１）。各ダイヤモンドブレード
５０は、噴射インク溝１４の溝幅に対応するブレード幅
を有し、噴射インク溝１４・１４の配設ピッチに一致し
た配設ピッチで配設されている。
【００２１】次に、アクチュエータ基板１を載置台５３
にセットした後（Ｓ２）、噴射インク溝１４の溝深さＢ
に対応するように、ダイシング加工時におけるダイヤモ
ンドブレード５０のブレード高さ位置を設定する（Ｓ
３）。この後、加工制御装置に加工開始を指示すること
によって、アクチュエータ基板１に対してダイシング加
工を行い（Ｓ４）、噴射インク溝１４を形成した時点で
アクチュエータ基板１を加工装置から取り出す（Ｓ
５）。
にセットした後（Ｓ２）、噴射インク溝１４の溝深さＢ
に対応するように、ダイシング加工時におけるダイヤモ
ンドブレード５０のブレード高さ位置を設定する（Ｓ
３）。この後、加工制御装置に加工開始を指示すること
によって、アクチュエータ基板１に対してダイシング加
工を行い（Ｓ４）、噴射インク溝１４を形成した時点で
アクチュエータ基板１を加工装置から取り出す（Ｓ
５）。
【００２２】次に、噴射インク溝１４の全部または一部
の溝幅Ａを測定し（Ｓ６）、溝幅に対応した溝深さを求
める（Ｓ７）。つまり、溝幅Ａが目標とする中央値範囲
ａ3＜Ａ≦ａ4 に存在すれば、次にアクチュエータ基板
に噴射インク溝を形成する場合も、溝深さは目標とする
中央値Ｂと設定すればよい（Ｓ３）が、上記範囲よりも
小さいａ0 ＜Ａ≦ａ3 にあれば、その段階毎にＢに＋ｂ
1 ，＋ｂ2 ，＋ｂ3 して溝深さを深く形成するように設
定する。また上記範囲よりも大きいａ4 ＜Ａ≦ａ7 にあ
れば、その段階毎にＢに−ｂ1 ，−ｂ2 ，−ｂ3 して溝
深さを浅く形成するように設定する。
の溝幅Ａを測定し（Ｓ６）、溝幅に対応した溝深さを求
める（Ｓ７）。つまり、溝幅Ａが目標とする中央値範囲
ａ3＜Ａ≦ａ4 に存在すれば、次にアクチュエータ基板
に噴射インク溝を形成する場合も、溝深さは目標とする
中央値Ｂと設定すればよい（Ｓ３）が、上記範囲よりも
小さいａ0 ＜Ａ≦ａ3 にあれば、その段階毎にＢに＋ｂ
1 ，＋ｂ2 ，＋ｂ3 して溝深さを深く形成するように設
定する。また上記範囲よりも大きいａ4 ＜Ａ≦ａ7 にあ
れば、その段階毎にＢに−ｂ1 ，−ｂ2 ，−ｂ3 して溝
深さを浅く形成するように設定する。
【００２３】溝幅Ａと溝深さＢとの対応テーブルは、イ
ンクジェットヘッドが所定の噴射状態でインク液滴を噴
射するように、図２および図３に示すように、溝幅Ａの
変化に対する液滴の噴射速度の変化を、噴射チャンネル
すなわち噴射インク溝１４の深さで補正するべく、予め
求めておいたものである。液滴の噴射速度は、噴射チャ
ンネルの溝幅および溝深さが大きくなれば、速くなるの
で、溝幅Ａが目標とする中央値範囲ａ3 ＜Ａ≦ａ4 より
も小さくなれば、溝深さＢを図２に示すように大きくす
ることで、噴射速度を目標とする中央値範囲に補正する
ことができる。また、溝幅Ａが大きくなれば、溝深さＢ
を図２に示すように小さくすることで、噴射速度を目標
とする中央値範囲に補正することができる。インク液滴
の体積も、溝幅および溝深さに対してほぼ同様の関係を
示すので、上記と同様に溝深さで補正することができ
る。
ンクジェットヘッドが所定の噴射状態でインク液滴を噴
射するように、図２および図３に示すように、溝幅Ａの
変化に対する液滴の噴射速度の変化を、噴射チャンネル
すなわち噴射インク溝１４の深さで補正するべく、予め
求めておいたものである。液滴の噴射速度は、噴射チャ
ンネルの溝幅および溝深さが大きくなれば、速くなるの
で、溝幅Ａが目標とする中央値範囲ａ3 ＜Ａ≦ａ4 より
も小さくなれば、溝深さＢを図２に示すように大きくす
ることで、噴射速度を目標とする中央値範囲に補正する
ことができる。また、溝幅Ａが大きくなれば、溝深さＢ
を図２に示すように小さくすることで、噴射速度を目標
とする中央値範囲に補正することができる。インク液滴
の体積も、溝幅および溝深さに対してほぼ同様の関係を
示すので、上記と同様に溝深さで補正することができ
る。
【００２４】上記のように、ダイシングブレード５０自
体の寸法誤差、また磨耗による溝幅の変化に対応した溝
深さをテーブルから読み出して求め、新しいアクチュエ
ータ基板１をダイシング加工装置にセットし（Ｓ２）、
求めた溝深さＢに基づいて（Ｓ３）ダイシング加工を行
う（Ｓ４）。溝幅Ａの測定、それに対応した溝深さＢの
を求める工程は、毎回行う必要はない。
体の寸法誤差、また磨耗による溝幅の変化に対応した溝
深さをテーブルから読み出して求め、新しいアクチュエ
ータ基板１をダイシング加工装置にセットし（Ｓ２）、
求めた溝深さＢに基づいて（Ｓ３）ダイシング加工を行
う（Ｓ４）。溝幅Ａの測定、それに対応した溝深さＢの
を求める工程は、毎回行う必要はない。
【００２５】インクの噴射に影響するのは、そのほか隔
壁２０の幅、ノズル３０の径、圧電定数等がある。隔壁
２０の幅すなわち噴射チャンネル１０と非噴射チャンネ
ル１１の間の壁の厚さは、噴射インク溝１４およびダミ
ーインク溝１５のためのそれぞれのダイシングブレード
のブレード幅等に影響される。その隔壁２０の幅は、図
８に示すように、大きくなれば壁が変形しにくくなり、
インク液滴速度および液滴体積が遅くなる。このため、
図７に示すように、隔壁２０の幅が目標とする中央値範
囲を外れたとき、噴射チャンネル１０の溝深さを補正す
ることで、インク液滴速度および液滴体積を目標とする
中央値範囲に保つことができる。この工程は、上記Ｓ６
で溝幅を測定する工程と並行して、隔壁２０の幅を測定
し（Ｓ９）、図７の隔壁幅と溝深さの対応関係をテーブ
ルにしたものから、測定した隔壁幅に対応した溝深さを
求め（Ｓ１０）、新しいアクチュエータ基板に対してそ
れにしたがった加工を行う（Ｓ２，Ｓ３，Ｓ４）。ノズ
ル３０の径も、インク液滴速度および液滴体積に対して
隔壁幅の場合とほぼ同様の関係を示すので、上記と同様
に溝深さで補正することができる。
壁２０の幅、ノズル３０の径、圧電定数等がある。隔壁
２０の幅すなわち噴射チャンネル１０と非噴射チャンネ
ル１１の間の壁の厚さは、噴射インク溝１４およびダミ
ーインク溝１５のためのそれぞれのダイシングブレード
のブレード幅等に影響される。その隔壁２０の幅は、図
８に示すように、大きくなれば壁が変形しにくくなり、
インク液滴速度および液滴体積が遅くなる。このため、
図７に示すように、隔壁２０の幅が目標とする中央値範
囲を外れたとき、噴射チャンネル１０の溝深さを補正す
ることで、インク液滴速度および液滴体積を目標とする
中央値範囲に保つことができる。この工程は、上記Ｓ６
で溝幅を測定する工程と並行して、隔壁２０の幅を測定
し（Ｓ９）、図７の隔壁幅と溝深さの対応関係をテーブ
ルにしたものから、測定した隔壁幅に対応した溝深さを
求め（Ｓ１０）、新しいアクチュエータ基板に対してそ
れにしたがった加工を行う（Ｓ２，Ｓ３，Ｓ４）。ノズ
ル３０の径も、インク液滴速度および液滴体積に対して
隔壁幅の場合とほぼ同様の関係を示すので、上記と同様
に溝深さで補正することができる。
【００２６】また、圧電定数は、圧電材料に対して所定
の電圧を印加したときの変形量で表される。これは、図
１０に示すように、大きくなれば壁が変形し易くなり、
インク液滴速度および液滴体積が速くなる。このため、
図９に示すように、圧電定数が目標とする中央値範囲を
外れたとき、噴射チャンネル１０の溝深さを補正するこ
とで、インク液滴速度および液滴体積を目標とする中央
値範囲に保つことができる。圧電定数は、圧電材料毎に
予め測定しておいて、図９の圧電定数と溝深さの対応関
係をテーブルにしたものから、測定した圧電定数に対応
した溝深さを求め（Ｓ８）、アクチュエータ基板に対し
てそれにしたがった加工を行う（Ｓ２，Ｓ３，Ｓ４）。
の電圧を印加したときの変形量で表される。これは、図
１０に示すように、大きくなれば壁が変形し易くなり、
インク液滴速度および液滴体積が速くなる。このため、
図９に示すように、圧電定数が目標とする中央値範囲を
外れたとき、噴射チャンネル１０の溝深さを補正するこ
とで、インク液滴速度および液滴体積を目標とする中央
値範囲に保つことができる。圧電定数は、圧電材料毎に
予め測定しておいて、図９の圧電定数と溝深さの対応関
係をテーブルにしたものから、測定した圧電定数に対応
した溝深さを求め（Ｓ８）、アクチュエータ基板に対し
てそれにしたがった加工を行う（Ｓ２，Ｓ３，Ｓ４）。
【００２７】尚、ヘッドの形状によっては、噴射因子と
噴射状態の関係が前記形態とは異なることがある。例え
ば、隔壁の幅が極端に小さい領域においては、その幅と
隔壁の剛性がほぼ比例し、液滴速度、液滴体積もほぼ比
例することがある。このような場合でも、上記と同様な
方法で噴射状態の補正が可能である。
噴射状態の関係が前記形態とは異なることがある。例え
ば、隔壁の幅が極端に小さい領域においては、その幅と
隔壁の剛性がほぼ比例し、液滴速度、液滴体積もほぼ比
例することがある。このような場合でも、上記と同様な
方法で噴射状態の補正が可能である。
【００２８】上記溝幅や溝深さ、隔壁幅、圧電定数、ノ
ズル径等の各噴射因子は、組み合わせて使用され、イン
クを所定の噴射状態（液滴の噴射速度や液滴体積）にす
ることができる。これにより、従来のように各噴射因子
をそれぞれの規格範囲内に設定して所定の噴射状態とす
る場合よりも、噴射因子の適正な範囲を拡大させること
ができる。従って、この製造方法によれば、圧電材料を
用いたアクチュエータ方式のインクジェットヘッドを製
造する場合の他、気泡を用いたバブル方式のインクジェ
ットヘッドを製造する場合であっても、不良品の発生を
抑制することができることから、インクジェットヘッド
の加工が容易になり、インクジェットヘッドの歩留りを
向上させることができる。
ズル径等の各噴射因子は、組み合わせて使用され、イン
クを所定の噴射状態（液滴の噴射速度や液滴体積）にす
ることができる。これにより、従来のように各噴射因子
をそれぞれの規格範囲内に設定して所定の噴射状態とす
る場合よりも、噴射因子の適正な範囲を拡大させること
ができる。従って、この製造方法によれば、圧電材料を
用いたアクチュエータ方式のインクジェットヘッドを製
造する場合の他、気泡を用いたバブル方式のインクジェ
ットヘッドを製造する場合であっても、不良品の発生を
抑制することができることから、インクジェットヘッド
の加工が容易になり、インクジェットヘッドの歩留りを
向上させることができる。
【００２９】
【発明の効果】請求項１の発明は、インクを所定の噴射
状態で噴射させるように、該インクの噴射に影響する複
数の噴射因子を組み合わせて形成する構成である。これ
により、複数の噴射因子を組み合わせてインクを所定の
噴射状態（噴射速度や噴射量）にするため、従来のよう
に各噴射因子をそれぞれの規格範囲内に設定して所定の
噴射状態とする場合よりも、噴射因子の適正な範囲を拡
大させることができる。従って、圧電材料を用いたアク
チュエータ方式や気泡を用いたバブル方式のいずれの方
式であっても、インクジェットヘッドの加工が容易にな
り、結果として歩留りを向上させることができるという
効果を奏する。
状態で噴射させるように、該インクの噴射に影響する複
数の噴射因子を組み合わせて形成する構成である。これ
により、複数の噴射因子を組み合わせてインクを所定の
噴射状態（噴射速度や噴射量）にするため、従来のよう
に各噴射因子をそれぞれの規格範囲内に設定して所定の
噴射状態とする場合よりも、噴射因子の適正な範囲を拡
大させることができる。従って、圧電材料を用いたアク
チュエータ方式や気泡を用いたバブル方式のいずれの方
式であっても、インクジェットヘッドの加工が容易にな
り、結果として歩留りを向上させることができるという
効果を奏する。
【００３０】請求項２の発明は、請求項１記載のインク
ジェットヘッドの製造方法であって、前記噴射因子の組
み合わせとして前記インク溝の溝深さと溝幅とを選択
し、該溝幅に応じて前記溝深さを補正する構成である。
これにより、監視および調整の容易なインク溝の溝深さ
と溝幅とを組み合わせることによって、インクの噴射状
態を容易に調整することができるという効果を奏する。
ジェットヘッドの製造方法であって、前記噴射因子の組
み合わせとして前記インク溝の溝深さと溝幅とを選択
し、該溝幅に応じて前記溝深さを補正する構成である。
これにより、監視および調整の容易なインク溝の溝深さ
と溝幅とを組み合わせることによって、インクの噴射状
態を容易に調整することができるという効果を奏する。
【００３１】請求項３の発明は、請求項１記載のインク
ジェットヘッドの製造方法であって、前記インクジェッ
トヘッドは、少なくとも一側を圧電材料で形成されたイ
ンク溝を電圧の印加により変形させることによって、該
インク溝のインクをノズルから噴射するものであって、
前記噴射因子の組み合わせとして前記圧電材料の圧電定
数とインク溝の溝深さとを選択し、該圧電定数に応じて
溝深さを補正する構成である。これにより、インク溝の
変形によりインクをノズルから噴射するものにおいて、
監視および調整の容易なインク溝の溝深さと圧電定数と
を組み合わせることによって、インクの噴射状態を容易
に調整することができるという効果を奏する。
ジェットヘッドの製造方法であって、前記インクジェッ
トヘッドは、少なくとも一側を圧電材料で形成されたイ
ンク溝を電圧の印加により変形させることによって、該
インク溝のインクをノズルから噴射するものであって、
前記噴射因子の組み合わせとして前記圧電材料の圧電定
数とインク溝の溝深さとを選択し、該圧電定数に応じて
溝深さを補正する構成である。これにより、インク溝の
変形によりインクをノズルから噴射するものにおいて、
監視および調整の容易なインク溝の溝深さと圧電定数と
を組み合わせることによって、インクの噴射状態を容易
に調整することができるという効果を奏する。
【００３２】請求項４の発明は、請求項１記載のインク
ジェットヘッドの製造方法であって、前記インクジェッ
トヘッドは、少なくとも一側を圧電材料で形成されたイ
ンク溝を電圧の印加により変形させることによって、該
インク溝のインクをノズルから噴射するものであって、
前記噴射因子の組み合わせとして前記インク溝両側の隔
壁の幅とインク溝の溝深さとを選択し、該隔壁の幅に応
じて溝深さを補正する構成である。これにより、インク
溝の変形によりインクをノズルから噴射するものにおい
て、監視および調整の容易なインク溝の溝深さと隔壁の
幅とを組み合わせることによって、インクの噴射状態を
容易に調整することができるという効果を奏する。
ジェットヘッドの製造方法であって、前記インクジェッ
トヘッドは、少なくとも一側を圧電材料で形成されたイ
ンク溝を電圧の印加により変形させることによって、該
インク溝のインクをノズルから噴射するものであって、
前記噴射因子の組み合わせとして前記インク溝両側の隔
壁の幅とインク溝の溝深さとを選択し、該隔壁の幅に応
じて溝深さを補正する構成である。これにより、インク
溝の変形によりインクをノズルから噴射するものにおい
て、監視および調整の容易なインク溝の溝深さと隔壁の
幅とを組み合わせることによって、インクの噴射状態を
容易に調整することができるという効果を奏する。
【００３３】請求項５の発明は、請求項１記載のインク
ジェットヘッドの製造方法であって、前記インクジェッ
トヘッドは、少なくとも一側を圧電材料で形成されたイ
ンク溝を電圧の印加により変形させることによって、該
インク溝のインクをノズルから噴射するものであり、前
記噴射因子の組み合わせとして、前記インク溝の溝深さ
と、前記インク溝の溝幅と、前記圧電材料の圧電定数
と、前記ノズルの穴径と、前記インク溝両側の隔壁の幅
とのうちの２つ以上を選択したものである構成である。
これにより、インク溝の変形によりインクをノズルから
噴射するものにおいて、各種の噴射因子の中から、製造
条件に応じて最も調整の容易な噴射因子を選択すること
ができるという効果を奏する。
ジェットヘッドの製造方法であって、前記インクジェッ
トヘッドは、少なくとも一側を圧電材料で形成されたイ
ンク溝を電圧の印加により変形させることによって、該
インク溝のインクをノズルから噴射するものであり、前
記噴射因子の組み合わせとして、前記インク溝の溝深さ
と、前記インク溝の溝幅と、前記圧電材料の圧電定数
と、前記ノズルの穴径と、前記インク溝両側の隔壁の幅
とのうちの２つ以上を選択したものである構成である。
これにより、インク溝の変形によりインクをノズルから
噴射するものにおいて、各種の噴射因子の中から、製造
条件に応じて最も調整の容易な噴射因子を選択すること
ができるという効果を奏する。
【００３４】請求項６の発明は、請求項３〜５のいずれ
かに記載のインクジェットヘッドの製造方法であって、
前記インクジェットヘッドは、圧電材料で形成されたイ
ンク溝の壁面を電圧の印加により変形させることによっ
て前記インク溝を変形させることを特徴とする。これに
より、壁面の変形によりインク溝を変形させてインクを
ノズルから噴射するものにおいて、監視および調整の容
易な上記の噴射因子を組み合わせることによって、イン
クの噴射状態を容易に調整することができる。
かに記載のインクジェットヘッドの製造方法であって、
前記インクジェットヘッドは、圧電材料で形成されたイ
ンク溝の壁面を電圧の印加により変形させることによっ
て前記インク溝を変形させることを特徴とする。これに
より、壁面の変形によりインク溝を変形させてインクを
ノズルから噴射するものにおいて、監視および調整の容
易な上記の噴射因子を組み合わせることによって、イン
クの噴射状態を容易に調整することができる。
【図１】溝加工手順を示すフローチャートである。
【図２】溝幅と溝深さとの関係を示すグラフである。
【図３】溝深さで調整された溝幅と液滴速度との関係を
示すグラフである。
示すグラフである。
【図４】アクチュエータ基板をダイシング加工する状態
を示す説明図であり、（ａ）は側面図、（ｂ）は正面図
である。
を示す説明図であり、（ａ）は側面図、（ｂ）は正面図
である。
【図５】インクジェットヘッドの要部分解斜視図であ
る。
る。
【図６】インクジェットヘッドの縦断面図である。
【図７】隔壁幅と溝深さとの関係を示すグラフである。
【図８】隔壁幅と液滴速度との関係を示すグラフであ
る。
る。
【図９】圧電定数と溝深さとの関係を示すグラフであ
る。
る。
【図１０】圧電定数と液滴速度との関係を示すグラフで
ある。
ある。
１ アクチュエータ基板 ４ プレート部材 ６ ノズルプレート ７ マニホールド部材 １０ 噴射チャンネル １１ 非噴射チャンネル １４ 噴射インク溝 １５ ダミーインク溝 ２０ 隔壁 ３０ ノズル ３１ インク供給口
Claims (6)
- 【請求項１】 インクを所定の噴射状態で噴射させるよ
うに、該インクの噴射に影響する複数の噴射因子を組み
合わせて形成することを特徴とするインクジェットヘッ
ドの製造方法。 - 【請求項２】 前記噴射因子の組み合わせとして前記イ
ンク溝の溝深さと溝幅とを選択し、該溝幅に応じて前記
溝深さを補正することを特徴とする請求項１記載のイン
クジェットヘッドの製造方法。 - 【請求項３】 前記インクジェットヘッドは、少なくと
も一側を圧電材料で形成されたインク溝を電圧の印加に
より変形させることによって、該インク溝のインクをノ
ズルから噴射するものであって、 前記噴射因子の組み合わせとして前記圧電材料の圧電定
数とインク溝の溝深さとを選択し、該圧電定数に応じて
溝深さを補正することを特徴とする請求項１記載のイン
クジェットヘッドの製造方法。 - 【請求項４】 前記インクジェットヘッドは、少なくと
も一側を圧電材料で形成されたインク溝を電圧の印加に
より変形させることによって、該インク溝のインクをノ
ズルから噴射するものであって、 前記噴射因子の組み合わせとして前記インク溝両側の隔
壁の幅とインク溝の溝深さとを選択し、該隔壁の幅に応
じて溝深さを補正することを特徴とする請求項１記載の
インクジェットヘッドの製造方法。 - 【請求項５】 前記インクジェットヘッドは、少なくと
も一側を圧電材料で形成されたインク溝を電圧の印加に
より変形させることによって、該インク溝のインクをノ
ズルから噴射するものであり、 前記噴射因子の組み合わせとして、前記インク溝の溝深
さと、前記インク溝の溝幅と、前記圧電材料の圧電定数
と、前記ノズルの穴径と、前記インク溝両側の隔壁の幅
とのうちの２つ以上を選択したものであることを特徴と
する請求項１記載のインクジェットヘッドの製造方法。 - 【請求項６】 前記インクジェットヘッドは、圧電材料
で形成されたインク溝の壁面を電圧の印加により変形さ
せることによって前記インク溝を変形させることを特徴
とする請求項３〜５のいずれかに記載のインクジェット
ヘッドの製造方法。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9245236A JPH1178030A (ja) | 1997-09-10 | 1997-09-10 | インクジェットヘッドの製造方法 |
| US09/133,372 US6481073B1 (en) | 1997-09-10 | 1998-08-13 | Method for manufacturing ink jet print head |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
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|---|---|---|---|---|
| JP2009214437A (ja) * | 2008-03-11 | 2009-09-24 | Konica Minolta Holdings Inc | インクジェットヘッド及びインクジェットヘッドを備えた塗布装置 |
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Families Citing this family (3)
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|---|---|---|---|---|
| US7296871B2 (en) * | 2004-12-29 | 2007-11-20 | Lexmark International, Inc. | Device and structure arrangements for integrated circuits and methods for analyzing the same |
| JP2007190860A (ja) * | 2006-01-20 | 2007-08-02 | Fujifilm Corp | 液体吐出ヘッド及び画像形成装置 |
| US9375926B1 (en) * | 2015-03-19 | 2016-06-28 | Xerox Corporation | Membrane bond alignment for electrostatic ink jet printhead |
Family Cites Families (18)
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|---|---|---|---|---|
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| GB8911312D0 (en) | 1989-05-17 | 1989-07-05 | Am Int | Multi-disc cutter and method of manufacture |
| US5534900A (en) * | 1990-09-21 | 1996-07-09 | Seiko Epson Corporation | Ink-jet recording apparatus |
| JPH04363250A (ja) * | 1991-03-19 | 1992-12-16 | Tokyo Electric Co Ltd | インクジェットプリンタヘッド及びその製造方法 |
| JPH04357037A (ja) * | 1991-03-19 | 1992-12-10 | Tokyo Electric Co Ltd | インクジェットプリンタヘッド |
| EP0594110B1 (en) * | 1992-10-20 | 2000-02-02 | Canon Kabushiki Kaisha | Ink jet head, method of producing the ink jet head and ink jet apparatus operable using the ink jet head |
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| JP3047661B2 (ja) * | 1993-02-16 | 2000-05-29 | ブラザー工業株式会社 | 液滴噴射装置 |
| JPH06238888A (ja) * | 1993-02-22 | 1994-08-30 | Brother Ind Ltd | インク噴射装置 |
| JP3082540B2 (ja) * | 1993-10-27 | 2000-08-28 | ブラザー工業株式会社 | インクジェットヘッドの駆動装置 |
| US5646661A (en) * | 1993-11-11 | 1997-07-08 | Brother Kogyo Kabushiki Kaisha | Ink ejecting device having alternating ejecting channels and non-ejecting channels |
| JP3183010B2 (ja) * | 1993-12-24 | 2001-07-03 | ブラザー工業株式会社 | インク噴射装置 |
| JP3166530B2 (ja) * | 1995-01-30 | 2001-05-14 | ブラザー工業株式会社 | インク噴射装置 |
| US5688391A (en) * | 1996-03-26 | 1997-11-18 | Microfab Technologies, Inc. | Method for electro-deposition passivation of ink channels in ink jet printhead |
| JP3423551B2 (ja) * | 1996-12-13 | 2003-07-07 | キヤノン株式会社 | インクジェット記録ヘッド製造方法及びインクジェット記録ヘッド |
| US6139133A (en) * | 1997-03-31 | 2000-10-31 | Brother Kogyo Kabushiki Kaisha | Ink jet head for ejecting ink by exerting pressure on ink in ink channels |
| JP3697829B2 (ja) * | 1997-04-09 | 2005-09-21 | ブラザー工業株式会社 | インクジェットヘッドの製造方法 |
-
1997
- 1997-09-10 JP JP9245236A patent/JPH1178030A/ja active Pending
-
1998
- 1998-08-13 US US09/133,372 patent/US6481073B1/en not_active Expired - Lifetime
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009214437A (ja) * | 2008-03-11 | 2009-09-24 | Konica Minolta Holdings Inc | インクジェットヘッド及びインクジェットヘッドを備えた塗布装置 |
| JP2012066486A (ja) * | 2010-09-24 | 2012-04-05 | Seiko Instruments Inc | サーマルヘッドの製造方法 |
| JP2012066487A (ja) * | 2010-09-24 | 2012-04-05 | Seiko Instruments Inc | サーマルヘッドの製造方法 |
| CN102555510A (zh) * | 2010-09-24 | 2012-07-11 | 精工电子有限公司 | 热头的制造方法 |
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