JP3423551B2 - インクジェット記録ヘッド製造方法及びインクジェット記録ヘッド - Google Patents
インクジェット記録ヘッド製造方法及びインクジェット記録ヘッドInfo
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Description
【発明の属する技術分野】本発明は、インクジェット記
録ヘッドの製造方法及び、その製造方法を用いて製造し
たインクジェット記録ヘッドに関するものである。
録ヘッドの製造方法及び、その製造方法を用いて製造し
たインクジェット記録ヘッドに関するものである。
【従来の技術】従来、インクジェット記録ヘッドは、例
えば特開昭５５−１３２２５３号公報に記載されている
ように、シリコン基板上に吐出エネルギー発生素子を有
した第１基板と、この基板と接合することによりインク
流路を形成するための凹部と、このインク流路に連通し
てインクを吐出するための吐出口が形成されたオリフィ
スプレートと、前記各吐出口へ供給されるインクを一時
的に保持する共通液室を構成する凹部を有した第２基板
とを接合することによって構成されている。さらには、
カラーインクジェット記録ヘッドは、図６に示すよう
に、インク吐出用のインク流路付き天板（第２基板）の
共通液室を複数に分割し、この分割した液室毎に異なる
色のインクを供給することにより構成されている。ま
た、特開平２−１２１８４５号公報では、複数の吐出口
の各々に対応して設けられるインク路と、このインク路
に供給されるインクを貯留する共通液室とを構成するた
めの溝を有した天板と、前記インク路の一部に配設され
る吐出エネルギー発生素子を有した基板とを接合するこ
とによって構成されるインクジェット記録ヘッドにおい
て、前記共通液室を構成するための前記溝を有した基板
を射出成形によって形成し、当該形成された基板にエキ
シマレーザ光を照射することにより、前記インク路を構
成するための前記溝を加工する方法が紹介されている。
えば特開昭５５−１３２２５３号公報に記載されている
ように、シリコン基板上に吐出エネルギー発生素子を有
した第１基板と、この基板と接合することによりインク
流路を形成するための凹部と、このインク流路に連通し
てインクを吐出するための吐出口が形成されたオリフィ
スプレートと、前記各吐出口へ供給されるインクを一時
的に保持する共通液室を構成する凹部を有した第２基板
とを接合することによって構成されている。さらには、
カラーインクジェット記録ヘッドは、図６に示すよう
に、インク吐出用のインク流路付き天板（第２基板）の
共通液室を複数に分割し、この分割した液室毎に異なる
色のインクを供給することにより構成されている。ま
た、特開平２−１２１８４５号公報では、複数の吐出口
の各々に対応して設けられるインク路と、このインク路
に供給されるインクを貯留する共通液室とを構成するた
めの溝を有した天板と、前記インク路の一部に配設され
る吐出エネルギー発生素子を有した基板とを接合するこ
とによって構成されるインクジェット記録ヘッドにおい
て、前記共通液室を構成するための前記溝を有した基板
を射出成形によって形成し、当該形成された基板にエキ
シマレーザ光を照射することにより、前記インク路を構
成するための前記溝を加工する方法が紹介されている。
【発明が解決しようとする課題】前記特開昭５５−１３
２２５３号公報に記載された第２基板、すなわちインク
流路付き天板において、インク流路は射出成形により形
成される。また、前記特開平２−１２１８４５号公報で
は、インク流路はエキシマレーザにより加工される。し
かしながら、より高精細な画質を得るために、インク流
路の縮小化と高密度化が要求されるに当り、６００ＤＰ
Ｉ（インク流路ピッチ、４２．３７５μｍ）相当のイン
ク流路を、射出成形により形成することは、金型への樹
脂の流れ込みや、離型上からも不可能であり、エキシマ
レーザにより加工することも、加工時の天板の蓄熱によ
りインク流路の流路壁の溶融とワークの膨張が生じ不可
能であった。本発明は、上記問題点に鑑みてなされたも
ので、容易に、かつ低コストで、高精細な画質を達成し
得るインクジェット記録ヘッドおよびその製造方法を提
供することを目的とする。
２２５３号公報に記載された第２基板、すなわちインク
流路付き天板において、インク流路は射出成形により形
成される。また、前記特開平２−１２１８４５号公報で
は、インク流路はエキシマレーザにより加工される。し
かしながら、より高精細な画質を得るために、インク流
路の縮小化と高密度化が要求されるに当り、６００ＤＰ
Ｉ（インク流路ピッチ、４２．３７５μｍ）相当のイン
ク流路を、射出成形により形成することは、金型への樹
脂の流れ込みや、離型上からも不可能であり、エキシマ
レーザにより加工することも、加工時の天板の蓄熱によ
りインク流路の流路壁の溶融とワークの膨張が生じ不可
能であった。本発明は、上記問題点に鑑みてなされたも
ので、容易に、かつ低コストで、高精細な画質を達成し
得るインクジェット記録ヘッドおよびその製造方法を提
供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、インクジェット記録ヘッド製造方法を次の（１）な
いし（４）のとおりに構成し、インクジェット記録ヘッ
ドを次の（５）のとおりに構成する。 （１）複数の吐出口の各々に対応して設けられるインク
路を構成するための溝を有した第２基板と、前記インク
路の一部に配設される吐出エネルギー発生素子を有した
第１基板とを接合することによって構成されるインクジ
ェット記録ヘッドを製造するインクジェット記録ヘッド
製造方法において、成形加工とレーザ加工とによりそれ
ぞれ異なる前記インク路を構成するための溝を前記第２
基板に形成することを特徴とするインクジェット記録ヘ
ッド製造方法。 （２）前記（１）記載のインクジェット記録ヘッド製造
方法において、前記インク路を構成するための溝は、成
型加工により形成された溝とレーザ加工により形成され
た溝とが交互に並んでいることを特徴とするインクジェ
ット記録ヘッド製造方法。 （３）インクを吐出するためのエネルギーを発生する複
数のエネルギー発生素 子が配置された第１基板と、イン
クが吐出される複数の吐出口が開口するオリフィスプレ
ートが形成され、それぞれ前記各吐出口へ供給されるイ
ンクを一時的に保持する複数の共通液室の壁を構成する
複数の凹部及び前記各エネルギー発生素子の位置に対応
して位置し、前記各吐出口をそれぞれ前記各凹部のうち
いずれか１つと連通する複数のインク流路を有する第２
基板と、が接合されており、前記第２基板が、前記各凹
部の間の壁に、前記吐出口側から前記吐出口側と反対側
へ延び、内部に封止剤が充填されることで前記複数の共
通液室のそれぞれを分離する共通液室分離溝と、前記共
通液室分離溝に連通して前記オリフィスプレートに達す
るダミーノズル及びこのダミーノズルの両側に位置しそ
れぞれ前記オリフィスプレートに達するダミーノズルで
構成されるダミーノズル群と、をさらに有するインクジ
ェット記録ヘッドを製造するインクジェット記録ヘッド
製造方法において、前記ダミーノズル群を成形加工で、
前記インク流路をレーザ加工でそれぞれ形成することを
特徴とするインクジェット記録ヘッド製造方法。 （４）前記（１）ないし（３）のいずれかに記載のイン
クジェット記録ヘッド製造方法において、前記レーザ加
工はエキシマレーザを照射することによる加工であるこ
とを特徴とするインクジェット記録ヘッド製造方法。 （５）前記（１）ないし（４）のいずれかに記載のイン
クジェット記録ヘッド製造方法を用いて製造したことを
特徴とするインクジェット記録ヘッド。
め、インクジェット記録ヘッド製造方法を次の（１）な
いし（４）のとおりに構成し、インクジェット記録ヘッ
ドを次の（５）のとおりに構成する。 （１）複数の吐出口の各々に対応して設けられるインク
路を構成するための溝を有した第２基板と、前記インク
路の一部に配設される吐出エネルギー発生素子を有した
第１基板とを接合することによって構成されるインクジ
ェット記録ヘッドを製造するインクジェット記録ヘッド
製造方法において、成形加工とレーザ加工とによりそれ
ぞれ異なる前記インク路を構成するための溝を前記第２
基板に形成することを特徴とするインクジェット記録ヘ
ッド製造方法。 （２）前記（１）記載のインクジェット記録ヘッド製造
方法において、前記インク路を構成するための溝は、成
型加工により形成された溝とレーザ加工により形成され
た溝とが交互に並んでいることを特徴とするインクジェ
ット記録ヘッド製造方法。 （３）インクを吐出するためのエネルギーを発生する複
数のエネルギー発生素 子が配置された第１基板と、イン
クが吐出される複数の吐出口が開口するオリフィスプレ
ートが形成され、それぞれ前記各吐出口へ供給されるイ
ンクを一時的に保持する複数の共通液室の壁を構成する
複数の凹部及び前記各エネルギー発生素子の位置に対応
して位置し、前記各吐出口をそれぞれ前記各凹部のうち
いずれか１つと連通する複数のインク流路を有する第２
基板と、が接合されており、前記第２基板が、前記各凹
部の間の壁に、前記吐出口側から前記吐出口側と反対側
へ延び、内部に封止剤が充填されることで前記複数の共
通液室のそれぞれを分離する共通液室分離溝と、前記共
通液室分離溝に連通して前記オリフィスプレートに達す
るダミーノズル及びこのダミーノズルの両側に位置しそ
れぞれ前記オリフィスプレートに達するダミーノズルで
構成されるダミーノズル群と、をさらに有するインクジ
ェット記録ヘッドを製造するインクジェット記録ヘッド
製造方法において、前記ダミーノズル群を成形加工で、
前記インク流路をレーザ加工でそれぞれ形成することを
特徴とするインクジェット記録ヘッド製造方法。 （４）前記（１）ないし（３）のいずれかに記載のイン
クジェット記録ヘッド製造方法において、前記レーザ加
工はエキシマレーザを照射することによる加工であるこ
とを特徴とするインクジェット記録ヘッド製造方法。 （５）前記（１）ないし（４）のいずれかに記載のイン
クジェット記録ヘッド製造方法を用いて製造したことを
特徴とするインクジェット記録ヘッド。
【作用】以上のような本発明方法により、従来のように
成形によっては型の離型が困難であり、また、レーザ加
工では熱の影響で加工できない高密度に並んだインク流
路加工方法も、本発明方法によれば、レーザ加工機の光
学系の損傷を軽減し、しかもその後の工程をもレーザア
ブレーション時の副生成物が少ない第２基板を提供でき
ることにより、低コストでしかも容易に高精細の印字が
可能なインクジェット記録ヘッドを提供し得る。
成形によっては型の離型が困難であり、また、レーザ加
工では熱の影響で加工できない高密度に並んだインク流
路加工方法も、本発明方法によれば、レーザ加工機の光
学系の損傷を軽減し、しかもその後の工程をもレーザア
ブレーション時の副生成物が少ない第２基板を提供でき
ることにより、低コストでしかも容易に高精細の印字が
可能なインクジェット記録ヘッドを提供し得る。
【発明の実施の形態】以下に本発明の実施の形態を、複
数の実施例に基づき、図面を用いて詳細に説明する。
数の実施例に基づき、図面を用いて詳細に説明する。
【実施例】（実施例１）
本発明に係る第１の実施例を、図１〜４に基づき説明す
る。図１は、本発明実施例１の第２基板（天板）の斜視
図、図２は、図１のＡ部の拡大図であり、図３は、図２
の未加工部を加工した第２基板の斜視図であり、図４
は、図３の第２基板と第１基板とを接合したインクジェ
ット記録ヘッドの斜視図である。図１において、１０１
は成形によって予め作られたインク流路Ａ、１０２は、
インク流路１０１に連通してインクを吐出するための吐
出口が加工される吐出口加工部、１０３はインクを一時
的に保持するための共通液室、１０４は、インク流路１
０１，吐出口加工部１０２，共通液室１０３を備えた第
２基板である。図２において、２０１はインク流路Ａ、
２０２は吐出口加工部、２０５はレーザによりインク流
路が加工されるインク流路加工部である。図３におい
て、３０１はインク流路Ａ、３０２は吐出口加工部、３
０６はエキシマレーザにより加工されたインク流路Ｂで
ある。そして、図４において、４０４は、図３のインク
流路Ａとインク流路Ｂとを有し、吐出口加工部に吐出口
が加工された第２基板、４０７は吐出エネルギー発生素
子を有する第１基板、４０８は第１基板を固定するため
のベースプレートである。吐出エネルギー発生素子とし
ては熱エネルギー素子を用い、第１基板４０７として
は、シリコンウェハーから切り出された薄板を用いた。
第２基板４０４は、射出成形，レーザ加工が容易なポリ
サルフォンを用い、ベースプレート４０８にはアルミ基
材を用いた。インク流路Ａ２０１は、射出成形より４０
μｍ×３４．３７５μｍ×４００μｍ（図２の（Ａ方向
寸法）×（Ｂ方向寸法）×（Ｃ方向寸法）を表わす）の
大きさで、ピッチ８４．７５μｍで１６８本配列した形
状に成形した。そしてそのように配列されたインク流路
Ａ２０１を有する第２基板１０４のインク流路加工部２
０５に加工面でのレーザエネルギー密度１Ｊ／ｃｍ２・
ｐｕｌｓでエキシマレーザを２００パルス照射し４０μ
ｍ×３４．３７５μｍ×４００μｍ（図３の（Ａ方向寸
法）×（Ｂ方向寸法）×（Ｃ方向寸法））の大きさのイ
ンク流路Ｂ３０６を１６８本加工した。上記寸法の長方
形の溝は、実際は、射出成形で成形した際の抜きテーパ
と、レーザ加工時の加工テーパが各々７°存在するた
め、図２，３に示すＡＢ断面のような形状となる。そし
て、図３のようなピッチ４２．３７５μｍ（６００ＤＰ
Ｉ）で配列されたイン流路３３６本を有する第２基板４
０４を図４のように第１基板４０７と接合し、インクジ
ェット記録ヘッドを製作して印字したところ、６００Ｄ
ＰＩの高精細な画質を得ることができた。 （実施例２） また、インク流路Ａ２０１を射出成形により、４０μｍ
×２３．２５μｍ×４００μｍ（図２の（Ａ方向寸法）
×（Ｂ方向寸法）×（Ｃ方向寸法））の大きさで、ピッ
チ５６．５μｍで１６８本配列した形状に成形した第２
基板１０４のインク流路加工部２０５に、加工面でのレ
ーザエネルギー密度１Ｊ／ｃｍ２ ・ｐｕｌｓでエキシ
マレーザを２００パルス照射し、４０μｍ×２３．２５
μｍ×４００μｍ（図３の（Ａ方向寸法）×（Ｂ方向寸
法）×（Ｃ方向寸法））の大きさのインク流路Ｂ３０６
を１６８本加工し、ピッチ２８．２５μｍ（９００ＤＰ
Ｉ相当）で配列されたインク流路３３６本を有する第２
基板４０４を前記実施例１と同様にヘッドを組立て、印
字したところ、９００ＤＰＩの高精細な画質を得ること
ができた。なお、上記寸法の長方形の溝は、前記実施例
１で記したと同様に、レーザ加工時の加工テーパ７°に
より、実際は図３に示すＡＢ断面図のような形状とな
る。 （実施例３） 次に本発明の第３の実施例を示す。図６は、カラーイン
クジェット記録ヘッド（ワンチップカラー）の第２基板
の斜視図である。また図７は、図６Ａ部の拡大図であ
り、図８は、図７の未加工部を加工した図であり、図９
は、図８の第２基板と吐出エネルギー発生素子を有した
第１基板とを接合しヘッドに組んだカラーインクジェッ
ト記録ヘッドの斜視図である。図６において、６０１は
インク流路Ｄ、６０２は吐出口加工部、６０３は、各々
異なった色のインクが溜められる共通液室、６０４は第
２基板、６１０は、共通液室にインクを供給するための
インク供給口、６１１は、各共通液室６０３を完全に分
離するための封止剤を注入する封止剤注入口、６１２
は、封止剤が流れるための溝である共通液室分離溝であ
る。また図７において、７０５はインク流路加工部、７
１２は共通液室分離溝、７１３は、封止剤が溜まるダミ
ーノズルである。また図８において、８０２は吐出口加
工部、８１２は共通液室分離溝、８１３はダミーノズ
ル、８１４は、レーザにより加工されたインク流路Ｄで
ある。また図９において、９０４は第２基板、９０７は
第１基板、９０８はベースプレート、９１０はインク供
給口、９１１は封止剤注入口である。以下、本実施例３
を、図６〜図９を用いて説明する。ダミーノズル７１３
（図７）を射出成形によって成形された形状を有する第
２基板６０４（図６）のインク流路加工部７０５をエキ
シマレーザにより前記実施例１と同様に４２．３７５μ
ｍピッチで３３６本配列したインク流路群を加工し、実
施例１と同様に、ヘッドとして組み、図９に示すように
して組立て、封止剤注入口９１１より封止剤を注入し、
共通液室６０３を分離し、各インク供給口９１０よりそ
れぞれ色の異なるインクを供給し、カラー印字を行った
ところ、６００ＤＰＩの高精細な画像を得ることができ
た。 （実施例４） 前記実施例３は、ダミーノズル７１３のみ射出成形で製
作し、インク流路Ｄはレーザにより加工した。しかしな
がら、前記実施例１と同様に、ダミーノズル７１３とイ
ンク流路Ｄ６０１との一部を射出成形により製作し、残
りのインク流路Ｄ８０１４をレーザにより加工してもよ
い。 （実施例５） 本実施例１，２では、射出成形により成形したインク流
路と、レーザ加工したインク流路とが交互に存在する形
態の物を示した。しかし、本発明は、この形態に限定す
る物ではない。例えば、射出成形により成形したインク
流路２本とレーザ加工したインク流路２本とが交互に存
在しても良いし、また不規則に存在しても良いし、射出
成形により成形したインク流路とレーザ加工したインク
流路との本数が変わっていても良い。 （参考例） 次に、参考例を示す。図５は、参考例の図１Ａ部の拡大
図である。図５において、５０９は各インク流路Ｃであ
る。インク流路Ｃは、成形によって１０μｍ×３４．３
７５μｍ×４００μｍ（図５の（Ａ方向寸法）×（Ｂ方
向寸法）×（Ｃ方向寸法））の大きさで、ピッチ４２．
３７５μｍで３３６本配列されている。そのインク流路
Ｃの底面部（図５のＢ面で４０μｍ×４００μｍの面
（Ｂ方向寸法）×（Ｃ方向寸法））に、前記実施例１と
同様のエネルギー密度でエキシマレーザを１５０ｐｕｌ
ｓ照射し、図３の同じ大きさのインク流路を３３６本、
ピッチ４２．３７５μｍで有する第２基板を製作した。
その第２基板を実施例１と同様に、ヘッドとして組立て
したところ、６００ＤＰＩの高精細な画像を得ることが
できた。なお、前記寸法の長方形の溝は、前記実施例
１，２で記したと同様な理由で、実際には図３，５に示
すＡＢ断面のような形状になる。
る。図１は、本発明実施例１の第２基板（天板）の斜視
図、図２は、図１のＡ部の拡大図であり、図３は、図２
の未加工部を加工した第２基板の斜視図であり、図４
は、図３の第２基板と第１基板とを接合したインクジェ
ット記録ヘッドの斜視図である。図１において、１０１
は成形によって予め作られたインク流路Ａ、１０２は、
インク流路１０１に連通してインクを吐出するための吐
出口が加工される吐出口加工部、１０３はインクを一時
的に保持するための共通液室、１０４は、インク流路１
０１，吐出口加工部１０２，共通液室１０３を備えた第
２基板である。図２において、２０１はインク流路Ａ、
２０２は吐出口加工部、２０５はレーザによりインク流
路が加工されるインク流路加工部である。図３におい
て、３０１はインク流路Ａ、３０２は吐出口加工部、３
０６はエキシマレーザにより加工されたインク流路Ｂで
ある。そして、図４において、４０４は、図３のインク
流路Ａとインク流路Ｂとを有し、吐出口加工部に吐出口
が加工された第２基板、４０７は吐出エネルギー発生素
子を有する第１基板、４０８は第１基板を固定するため
のベースプレートである。吐出エネルギー発生素子とし
ては熱エネルギー素子を用い、第１基板４０７として
は、シリコンウェハーから切り出された薄板を用いた。
第２基板４０４は、射出成形，レーザ加工が容易なポリ
サルフォンを用い、ベースプレート４０８にはアルミ基
材を用いた。インク流路Ａ２０１は、射出成形より４０
μｍ×３４．３７５μｍ×４００μｍ（図２の（Ａ方向
寸法）×（Ｂ方向寸法）×（Ｃ方向寸法）を表わす）の
大きさで、ピッチ８４．７５μｍで１６８本配列した形
状に成形した。そしてそのように配列されたインク流路
Ａ２０１を有する第２基板１０４のインク流路加工部２
０５に加工面でのレーザエネルギー密度１Ｊ／ｃｍ２・
ｐｕｌｓでエキシマレーザを２００パルス照射し４０μ
ｍ×３４．３７５μｍ×４００μｍ（図３の（Ａ方向寸
法）×（Ｂ方向寸法）×（Ｃ方向寸法））の大きさのイ
ンク流路Ｂ３０６を１６８本加工した。上記寸法の長方
形の溝は、実際は、射出成形で成形した際の抜きテーパ
と、レーザ加工時の加工テーパが各々７°存在するた
め、図２，３に示すＡＢ断面のような形状となる。そし
て、図３のようなピッチ４２．３７５μｍ（６００ＤＰ
Ｉ）で配列されたイン流路３３６本を有する第２基板４
０４を図４のように第１基板４０７と接合し、インクジ
ェット記録ヘッドを製作して印字したところ、６００Ｄ
ＰＩの高精細な画質を得ることができた。 （実施例２） また、インク流路Ａ２０１を射出成形により、４０μｍ
×２３．２５μｍ×４００μｍ（図２の（Ａ方向寸法）
×（Ｂ方向寸法）×（Ｃ方向寸法））の大きさで、ピッ
チ５６．５μｍで１６８本配列した形状に成形した第２
基板１０４のインク流路加工部２０５に、加工面でのレ
ーザエネルギー密度１Ｊ／ｃｍ２ ・ｐｕｌｓでエキシ
マレーザを２００パルス照射し、４０μｍ×２３．２５
μｍ×４００μｍ（図３の（Ａ方向寸法）×（Ｂ方向寸
法）×（Ｃ方向寸法））の大きさのインク流路Ｂ３０６
を１６８本加工し、ピッチ２８．２５μｍ（９００ＤＰ
Ｉ相当）で配列されたインク流路３３６本を有する第２
基板４０４を前記実施例１と同様にヘッドを組立て、印
字したところ、９００ＤＰＩの高精細な画質を得ること
ができた。なお、上記寸法の長方形の溝は、前記実施例
１で記したと同様に、レーザ加工時の加工テーパ７°に
より、実際は図３に示すＡＢ断面図のような形状とな
る。 （実施例３） 次に本発明の第３の実施例を示す。図６は、カラーイン
クジェット記録ヘッド（ワンチップカラー）の第２基板
の斜視図である。また図７は、図６Ａ部の拡大図であ
り、図８は、図７の未加工部を加工した図であり、図９
は、図８の第２基板と吐出エネルギー発生素子を有した
第１基板とを接合しヘッドに組んだカラーインクジェッ
ト記録ヘッドの斜視図である。図６において、６０１は
インク流路Ｄ、６０２は吐出口加工部、６０３は、各々
異なった色のインクが溜められる共通液室、６０４は第
２基板、６１０は、共通液室にインクを供給するための
インク供給口、６１１は、各共通液室６０３を完全に分
離するための封止剤を注入する封止剤注入口、６１２
は、封止剤が流れるための溝である共通液室分離溝であ
る。また図７において、７０５はインク流路加工部、７
１２は共通液室分離溝、７１３は、封止剤が溜まるダミ
ーノズルである。また図８において、８０２は吐出口加
工部、８１２は共通液室分離溝、８１３はダミーノズ
ル、８１４は、レーザにより加工されたインク流路Ｄで
ある。また図９において、９０４は第２基板、９０７は
第１基板、９０８はベースプレート、９１０はインク供
給口、９１１は封止剤注入口である。以下、本実施例３
を、図６〜図９を用いて説明する。ダミーノズル７１３
（図７）を射出成形によって成形された形状を有する第
２基板６０４（図６）のインク流路加工部７０５をエキ
シマレーザにより前記実施例１と同様に４２．３７５μ
ｍピッチで３３６本配列したインク流路群を加工し、実
施例１と同様に、ヘッドとして組み、図９に示すように
して組立て、封止剤注入口９１１より封止剤を注入し、
共通液室６０３を分離し、各インク供給口９１０よりそ
れぞれ色の異なるインクを供給し、カラー印字を行った
ところ、６００ＤＰＩの高精細な画像を得ることができ
た。 （実施例４） 前記実施例３は、ダミーノズル７１３のみ射出成形で製
作し、インク流路Ｄはレーザにより加工した。しかしな
がら、前記実施例１と同様に、ダミーノズル７１３とイ
ンク流路Ｄ６０１との一部を射出成形により製作し、残
りのインク流路Ｄ８０１４をレーザにより加工してもよ
い。 （実施例５） 本実施例１，２では、射出成形により成形したインク流
路と、レーザ加工したインク流路とが交互に存在する形
態の物を示した。しかし、本発明は、この形態に限定す
る物ではない。例えば、射出成形により成形したインク
流路２本とレーザ加工したインク流路２本とが交互に存
在しても良いし、また不規則に存在しても良いし、射出
成形により成形したインク流路とレーザ加工したインク
流路との本数が変わっていても良い。 （参考例） 次に、参考例を示す。図５は、参考例の図１Ａ部の拡大
図である。図５において、５０９は各インク流路Ｃであ
る。インク流路Ｃは、成形によって１０μｍ×３４．３
７５μｍ×４００μｍ（図５の（Ａ方向寸法）×（Ｂ方
向寸法）×（Ｃ方向寸法））の大きさで、ピッチ４２．
３７５μｍで３３６本配列されている。そのインク流路
Ｃの底面部（図５のＢ面で４０μｍ×４００μｍの面
（Ｂ方向寸法）×（Ｃ方向寸法））に、前記実施例１と
同様のエネルギー密度でエキシマレーザを１５０ｐｕｌ
ｓ照射し、図３の同じ大きさのインク流路を３３６本、
ピッチ４２．３７５μｍで有する第２基板を製作した。
その第２基板を実施例１と同様に、ヘッドとして組立て
したところ、６００ＤＰＩの高精細な画像を得ることが
できた。なお、前記寸法の長方形の溝は、前記実施例
１，２で記したと同様な理由で、実際には図３，５に示
すＡＢ断面のような形状になる。
【発明の効果】以上、説明したように、本発明によれ
ば、高密度に配列されたインク流路を容易に加工するこ
とができる。そして、インク流路加工時のレーザの総エ
ネルギーを減らすことができるため、レーザ加工装置の
光学系への負担を軽減できる。また、この加工の容易さ
と光学系の負担への軽減は、歩留まりの向上と加工費の
低減を達成できる。しかも、射出成形でインク流路を加
工したインク流路は、レーザにより加工したものに対し
て、レーザの副生成物の付着がないことにより、画像処
理が容易となり、吐出口加工，封止天接等の工程も容易
となり、総合歩留まりを大きく向上することができ、し
かも高画質の印字が可能である。
ば、高密度に配列されたインク流路を容易に加工するこ
とができる。そして、インク流路加工時のレーザの総エ
ネルギーを減らすことができるため、レーザ加工装置の
光学系への負担を軽減できる。また、この加工の容易さ
と光学系の負担への軽減は、歩留まりの向上と加工費の
低減を達成できる。しかも、射出成形でインク流路を加
工したインク流路は、レーザにより加工したものに対し
て、レーザの副生成物の付着がないことにより、画像処
理が容易となり、吐出口加工，封止天接等の工程も容易
となり、総合歩留まりを大きく向上することができ、し
かも高画質の印字が可能である。
【図１】 実施例１の第２基板（天板）の斜視図
【図２】 図１Ａの拡大図
【図３】 図２の未加工部を加工した第２基板の斜視図
【図４】 実施例１のインクジェット記録ヘッドの斜視
図
図
【図５】 参考例の図１Ａ部拡大図
【図６】 実施例３のカラーインクジェット記録ヘッド
の第２基板の斜視図
の第２基板の斜視図
【図７】 図６Ａ部の拡大図
【図８】 図７の未加工部を加工した図
【図９】 実施例３のカラーインクジェット記録ヘッド
の斜視図
の斜視図
１０１ インク流路Ａ
１０２ 吐出口加工部
１０３ 共通液室
１０４ 第２基板
２０１ インク流路Ａ
２０２ 吐出口加工部
２０５ インク流路加工部
３０１ インク流路Ａ
３０２ 吐出口加工部
３０６ インク流路Ｂ
４０４ 第２基板
４０７ 第１基板
４０８ ベースプレート
５０９ インク流路Ｃ
６０１ インク流路Ｄ
６０２ 吐出口加工部
６０３ 共通液室
６０４ 第２基板
６１０ インク供給口
６１１ 封止剤注入口
６１２ 共通液室分離溝
７０５ インク流路加工部
７１２ 共通液室分離溝
７１３ ダミーノズル
８０２ 吐出口加工部
８１２ 共通液室分離溝
８１３ ダミーノズル
８１４ インク流路Ｄ
９０４ 第２基板
９０７ 第１基板
９０８ ベースプレート
９１０ インク供給口
９１１ 封止剤注入口
Claims (5)
- 【請求項１】 複数の吐出口の各々に対応して設けられ
るインク路を構成するための溝を有した第２基板と、前
記インク路の一部に配設される吐出エネルギー発生素子
を有した第１基板とを接合することによって構成される
インクジェット記録ヘッドを製造するインクジェット記
録ヘッド製造方法において、成 形加工とレーザ加工とによりそれぞれ異なる前記イン
ク路を構成するための溝を前記第２基板に形成すること
を特徴とするインクジェット記録ヘッド製造方法。 - 【請求項２】 請求項１記載のインクジェット記録ヘッ
ド製造方法において、前記インク路を構成するための溝
は、成型加工により形成された溝とレーザ加工により形
成された溝とが交互に並んでいることを特徴とするイン
クジェット記録ヘッド製造方法。 - 【請求項３】 インクを吐出するためのエネルギーを発
生する複数のエネルギー発生素子が配置された第１基板
と、インクが吐出される複数の吐出口が開口するオリフ
ィスプレートが形成され、それぞれ前記各吐出口へ供給
されるインクを一時的に保持する複数の共通液室の壁を
構成する複数の凹部及び前記各エネルギー発生素子の位
置に対応して位置し、前記各吐出口をそれぞれ前記各凹
部のうちいずれか１つと連通する複数のインク流路を有
する第２基板と、が接合されており、 前記第２基板が、 前記各凹部の間の壁に、前記吐出口側
から前記吐出口側と反対側へ延び、内部に封止剤が充填
されることで前記複数の共通液室のそれぞれを分離する
共通液室分離溝と、前記共通液室分離溝に連通して前記
オリフィスプレートに達するダミーノズル及びこのダミ
ーノズルの両側に位置しそれぞれ前記オリフィスプレー
トに達するダミーノズルで構成されるダミーノズル群
と、をさらに有するインクジェット記録ヘッドを製造す
るインクジェット記録ヘッド製造方法において、 前記ダミーノズル群を成形加工で、前記インク流路をレ
ーザ加工でそれぞれ形成することを特徴とするインクジ
ェット記録ヘッド製造方法。 - 【請求項４】 請求項１ないし３のいずれかに記載のイ
ンクジェット記録ヘッド製造方法において、前記レーザ
加工はエキシマレーザを照射することによる加工である
ことを特徴とするインクジェット記録ヘッド製造方法。 - 【請求項５】 請求項１ないし４のいずれかに記載のイ
ンクジェット記録ヘッド製造方法を用いて製造したこと
を特徴とするインクジェット記録ヘッド。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33370996A JP3423551B2 (ja) | 1996-12-13 | 1996-12-13 | インクジェット記録ヘッド製造方法及びインクジェット記録ヘッド |
| US08/989,183 US6176012B1 (en) | 1996-12-13 | 1997-12-11 | Method for manufacturing an ink jet recording head and an ink jet recording head |
| DE69727894T DE69727894T2 (de) | 1996-12-13 | 1997-12-12 | Verfahren zum Herstellen eines Tintenstrahlaufzeichnungskopfes und Tintenstrahlaufzeichnungskopf |
| EP97121964A EP0847860B1 (en) | 1996-12-13 | 1997-12-12 | A method for manufacturing an ink jet recording head and an ink jet recording head |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33370996A JP3423551B2 (ja) | 1996-12-13 | 1996-12-13 | インクジェット記録ヘッド製造方法及びインクジェット記録ヘッド |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10166598A JPH10166598A (ja) | 1998-06-23 |
| JP3423551B2 true JP3423551B2 (ja) | 2003-07-07 |
Family
ID=18269096
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP33370996A Expired - Fee Related JP3423551B2 (ja) | 1996-12-13 | 1996-12-13 | インクジェット記録ヘッド製造方法及びインクジェット記録ヘッド |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US6176012B1 (ja) |
| EP (1) | EP0847860B1 (ja) |
| JP (1) | JP3423551B2 (ja) |
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| JP3658212B2 (ja) | 1998-10-27 | 2005-06-08 | キヤノン株式会社 | 液体噴射記録ヘッド |
| JP4639718B2 (ja) * | 2004-09-22 | 2011-02-23 | セイコーエプソン株式会社 | 液体噴射ヘッドの圧力発生室形成板製造装置、液体噴射ヘッドの圧力発生室形成板製造方法及び液体噴射ヘッド |
| JP5596954B2 (ja) * | 2009-10-08 | 2014-09-24 | キヤノン株式会社 | 液体供給部材、液体供給部材の製造方法及び液体吐出ヘッドの製造方法 |
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|---|---|---|---|---|
| JPS5523307B2 (ja) | 1973-04-23 | 1980-06-21 | ||
| JPS55132253A (en) | 1979-04-02 | 1980-10-14 | Canon Inc | Recorder |
| US5208604A (en) * | 1988-10-31 | 1993-05-04 | Canon Kabushiki Kaisha | Ink jet head and manufacturing method thereof, and ink jet apparatus with ink jet head |
| JP2771557B2 (ja) | 1988-10-31 | 1998-07-02 | キヤノン株式会社 | インクジェット記録ヘッドの製造方法 |
| JP2940121B2 (ja) * | 1990-09-25 | 1999-08-25 | セイコーエプソン株式会社 | インクジェット記録ヘッド用基板の製造方法 |
| EP0488033B1 (en) * | 1990-11-21 | 1999-02-03 | Canon Kabushiki Kaisha | Laser process apparatus |
| US5387314A (en) | 1993-01-25 | 1995-02-07 | Hewlett-Packard Company | Fabrication of ink fill slots in thermal ink-jet printheads utilizing chemical micromachining |
| JP3132291B2 (ja) | 1993-06-03 | 2001-02-05 | ブラザー工業株式会社 | インクジェットヘッドの製造方法 |
| US5694684A (en) | 1994-06-10 | 1997-12-09 | Canon Kabushiki Kaisha | Manufacturing method for ink jet recording head |
| JP3515830B2 (ja) * | 1994-07-14 | 2004-04-05 | 富士写真フイルム株式会社 | インク噴射記録ヘッドチップの製造方法、インク噴射記録ヘッドの製造方法および記録装置 |
| DE69531185T2 (de) | 1994-10-28 | 2004-05-27 | Canon K.K. | Tintenstrahlkopf, Tintenstrahlkopfkassette, Tintenstrahlapparat und Verfahren zur Herstellung eines solchen Tintenstrahlkopfes |
| JP3229146B2 (ja) * | 1994-12-28 | 2001-11-12 | キヤノン株式会社 | 液体噴射ヘッドおよびその製造方法 |
| JPH08238777A (ja) | 1995-03-07 | 1996-09-17 | Fuji Electric Co Ltd | インクジェット記録ヘッドの製造方法 |
| US5811019A (en) * | 1995-03-31 | 1998-09-22 | Sony Corporation | Method for forming a hole and method for forming nozzle in orifice plate of printing head |
-
1996
- 1996-12-13 JP JP33370996A patent/JP3423551B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
1997
- 1997-12-11 US US08/989,183 patent/US6176012B1/en not_active Expired - Fee Related
- 1997-12-12 DE DE69727894T patent/DE69727894T2/de not_active Expired - Fee Related
- 1997-12-12 EP EP97121964A patent/EP0847860B1/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
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|---|---|
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| EP0847860A3 (en) | 1999-05-06 |
| US6176012B1 (en) | 2001-01-23 |
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| EP0847860A2 (en) | 1998-06-17 |
| DE69727894T2 (de) | 2005-01-05 |
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