JPH113876A - ウェハーマウンターのテープ切断装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 本発明は、プラスチックス製のダイシングプ
レートの繰り返し使用回数を増大できるようにしたウェ
ハーマウンターのテープ切断装置を提供することを目的
とするものである。 【構成】 本発明は、ダイシングフレームを搭載するテ
ーブルの上方に昇降可能に、かつ、縦軸心周りに回転可
能に配置された回転台と、該回転台にその回転軸心から
所定の距離だけ偏心した位置で刃先を下にして保持させ
たカッターと、これら回転台及びカッターを、該カッタ
ーの刃先が前記テーブルに搭載されたダイシングフレー
ムの下面から一定の高さ以上の領域で昇降するように、
前記テーブルに対して昇降させる昇降手段と、前記刃先
がダイシングフレームの上面に位置する状態で回転台及
びカッターを３６０°回転させる回転手段とが設けられ
ていることを特徴とするものである。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、半導体ウェハをダ
イシングフレームにテープを用いて保持させるウェハマ
ウンターにおいて、半導体ウェハをダイシングフレーム
に保持させるテープを切断するウェハーマウンターのテ
ープ切断装置に関する。

【０００２】

【従来技術】半導体部品は、半導体ウェハの製造、ダイ
シング、回路形成などの種々の工程を経て製造されてい
るが、近年これらの工程を国際的に分業して行うことに
より製造コストの削減が図られるようになっている。例
えば、欧米の半導体メーカーで製造したウェハーを東南
アジアの系列会社や提携会社に輸送し、加工することが
行われている。

【０００３】このウェハーは種々の形態で輸送すること
ができ、その一つの形態として、ダイシングフレームに
ウェハーをテーピングした状態で輸送する場合がある。
この場合、従来多用されてきたステンレス鋼板製のダイ
シングプレートでは重量が極めて大であり、輸送コスト
が高価になるという問題がある。

【０００４】しかし、現在では、プラスチックス製のダ
イシングプレートを用いることによってこの問題は解決
されている。

【０００５】ところで、ウェハーマウンターにおいて
は、例えば、以下のようにしてダイシングフレームにウ
ェハーをテーピングしている。即ち、まず、水平な上面
を有するテーブルを所定の高さに位置させた後、ダイシ
ングフレームとこれに保持されるウェハとをこのテーブ
ル上に同心状に載置する。この後、前記テーブルを上昇
させて水平に配置されたテープの下面にダイシングフレ
ームとウェハとを押し付ける。引き続いて、必要に応じ
てテーブルの中央部のみを更にわずかに上昇させてウェ
ハを持ち上げてテープに所定の張力を与えながら、加熱
されたローラをテープの上側で転動させ、ダイシングフ
レーム及びウェハにテープを加熱加圧することにより、
ダイシングフレーム及びウェハの上面にテープを貼着す
る。

【０００６】テーブル及びテープの上方には、テープ切
断装置が配置されている。このテープ切断装置は、昇降
可能、かつ、テーブルの中心軸心の周りに回転可能に配
置された回転台と、この回転台に保持されたカッターと
を備えている。

【０００７】上述のようにダイシングフレーム及びウェ
ハの上面にテープを貼着した後、回転台及びカッターを
下降させて、カッターの刃がテープのダイシングフレー
ムの上面から浮き上がった部分を突き抜け、この後、回
転台及びカッターを３６０°回転させることにより、テ
ープが円形に裁断される。

【０００８】この後、テーブルを元の高さに下降させて
からダイシングフレームとこれにテープで支持されたウ
ェハーがテーブルから取り出される。

【０００９】

【発明が解決しようとする課題】前記カッターとして
は、ナイフ状のものとローラ状のものとがあり、いずれ
の場合にもテープを確実に切断するためにかなり強い力
でカッターをダイシングプレートに押し付けている。テ
ープの基材を押し切ることにより裁断するローラ状のカ
ッターの場合にはテープの基材を切り裂くことにより裁
断するナイフ状のカッターよりも強い力でカッターをダ
イシングプレートに押し付けている。

【００１０】このため、テープの裁断に際して大なり小
なりダイシングプレートの上面は傷つけられている。

【００１１】ステンレス鋼板製のダイシングプレートで
は、表面硬度が高く、例えば１００回程度繰り返して使
用しても更に使用することが可能であったが、上述した
ようにプラスチックス製のダイシングプレートを用いる
と、テープの裁断時にカッターの刃がダイシングプレー
トに深く切り込み、例えばダイシングフレームに比較的
軽くカッターが押しつけられるナイフ状のカッターでも
３回程度繰り返して使用するとほとんど使用不能になる
という問題が生じることがわかった。従って、頻繁にダ
イシングプレートを補充する必要が生じ、輸送コストの
削減を上回るコストアップが伴うという問題があること
が判明した。

【００１２】本発明は、前記従来技術の技術的課題を解
決し、プラスチックス製のダイシングプレートの繰り返
し使用回数を増大できるようにしたウェハーマウンター
のテープ切断装置を提供することを目的とするものであ
る。

【００１３】

【課題を解決するための手段】本発明に係るウェハーマ
ウンターのテープ切断装置は、上記の目的を達成するた
め、ダイシングフレームを搭載するテーブルの上方に昇
降可能に、かつ、縦軸心周りに回転可能に配置された回
転台と、該回転台にその回転軸心から所定の距離だけ偏
心した位置で刃先を下にして保持させたカッターと、こ
れら回転台及びカッターを、該カッターの刃先が前記テ
ーブルに搭載されたダイシングフレームの下面から一定
の高さ以上の領域で昇降するように、前記テーブルに対
して昇降させる昇降手段と、前記刃先がダイシングフレ
ームの上面に位置する状態で回転台及びニードルカッタ
ーを回転させる回転手段とが設けられていることを特徴
とするものである。

【００１４】これによれば、カッターの切先はダイシン
グフレームの上面まで下がって回転台と共に回転するの
で、ダイシングフレーム上に貼着されたテープをカッタ
ーの刃先で切り裂いて裁断できると共に、カッターの切
先がダイシングフレームに切り込まれることが防止され
る。その結果、プラスチックス製のダイシングプレート
にカッターの刃先が切り込まれることが防止され、プラ
スチックス製のダイシングプレートの繰り返し使用回数
を増大できる。

【００１５】本発明を更に詳細に説明すれば、以下の通
りである。本発明が適用されるウェハーマウンターの基
本的な構成は、テープ切断装置の具体的な構成を除いて
は、従来と同様に構成すればよく、例えばテーブルにダ
イシングフレームを搭載するフレームローダー、テーブ
ルにウェハーを搭載するウェハーローダー、ダイシング
フレーム及びウェハーを搭載したテーブルを昇降させる
テーブル昇降装置、上昇したテーブル上のダイシングフ
レーム及びウェハーの上面にテープを貼着するテーピン
グ装置、ダイシングフレーム及びウェハーの上面に貼着
されたテープを所定の円形の裁断線に沿って裁断するテ
ープ切断装置、テープの裁断後、昇降装置によって下降
させたテーブルからダイシングフレーム、ウェハー及び
これらの上面に貼着されたテープをテーブルから取り出
すアンローダーを備えるように構成すればよい。

【００１６】本発明に係るウェハーマウンターのテープ
切断装置は、ダイシングフレームを搭載するテーブルの
上方に昇降可能に、かつ、縦軸心周りに回転可能に配置
された回転台と、該回転台にその回転軸心から所定の距
離だけ偏心した位置で刃先を下にして保持させたカッタ
ーとを備える点では従来のウェハーマウンターのテープ
切断装置と同様である。

【００１７】本発明が、従来のナイフ形のカッターを用
いるテープ切断装置と異なる点は、これら回転台及びカ
ッターを、該カッターの刃先が前記テーブルに搭載され
たダイシングフレームにおいて、前記テープの厚さ方向
中途部からダイシングフレームの表面部の間の領域で昇
降するように、前記テーブルに対して昇降させる昇降手
段と、前記刃先がその状態で回転台及びニードルカッタ
ーを回転させる回転手段とが設けられることにある。

【００１８】本発明で用いられるカッターは、特に限定
されないが、所定の縦軸心又は傾斜軸心の周りに回転自
在に前記回転台に保持されると共に、その切先をその軸
心から偏心させ、その偏心方向と反対側に切刃を形成し
たものであると、カッターの切先をダイシングフレーム
の上面に位置させて、回転台を回転させれば、カッター
の切先に作用する抵抗により、カッター切先が自然にそ
の軸心の移動に追従するようになるので、簡単な構成で
カッターの切先が正確に所定の軌跡をたどるようにする
ことができる。

【００１９】又、本発明で用いられるカッターは、特に
限定されないが、針状体と、その一端に形成された刃部
とを備えるニードルカッターを用いることができる。

【００２０】このニードルカッターは、市販されている
マグネットを内蔵した筒状のホルダーの一端側から針状
体を挿入することより、刃部のみがホルダーの一端から
突出し、かつ、その軸心回りに回転自在にホルダーに保
持させることができる。そして、ホルダーの反対側の端
面から挿入された突棒でニードルカッターを一定以上押
し出せばホルダーのマグネットの磁気吸着が解除され、
ホルダーの一端から突出した針状部の一部を持って引き
出すことにより安全にニードルカッターをホルダーから
取り外すことができる。即ち、このニードルカッターを
用いれば、簡単な操作で、所定の縦軸心又は傾斜軸心の
周りに回転自在に前記回転台に保持させることができ
る。

【００２１】又、このニードルカッターの刃部は、その
切先をその軸心から偏心させ、その偏心方向と反対側に
切刃を形成したものであるので、このニードルカッター
を用いれば、簡単な操作で、所定の縦軸心又は傾斜軸心
の周りに回転自在に前記回転台に保持させることができ
ると共に、その切先をその軸心から偏心させ、その偏心
方向と反対側に切刃を形成させることができ、これによ
り、簡単な構成でカッターの切先が正確に所定の軌跡を
たどるようにすることができる。

【００２２】ところで、本発明が適用される実用的なウ
ェハーマウンターでは厚さの異なる複数種類のダイシン
グフレームを取り扱えるようにすることが求められるこ
とが少なくない。このような要請には回転台及びカッタ
ーの昇降ストロークの下端の位置を調整できるように構
成することが推奨される。

【００２３】この技術的要請に応えることができる具体
的な構成としては、回転台及び／又はカッターの下降限
界を機械的に制限するストッパーを昇降可能に、かつ、
任意の位置で固定可能に設け、このストッパーが回転台
及び／又はカッターを受け止める位置を調整することに
より、回転台及びカッターの昇降ストロークの下端の位
置を調整できるように構成することが望ましい。

【００２４】又、この構成に代えて、回転台及びカッタ
ーを昇降させる昇降装置の可動部分が所定の位置に到達
することを検出するセンサーを設け、このセンサーで昇
降装置の可動部分、例えば駆動用シリンダのピストンが
所定の位置に到達したことを検出した時に昇降装置の動
作を停止させるように構成することも可能である。

【００２５】又、本発明においては、カッターをダイシ
ングフレームの上面まで下降させた後、回転台及びカッ
ターを回転させている間に、切断抵抗などによりカッタ
ーの刃部がダイシングフレームの上方に浮き上がり、切
断が不確実になるおそれがある。

【００２６】そこで、本発明においては、カッターが回
転台に対して昇降可能に保持され、その切先をテーブル
に搭載されたダイシングフレームの上面に位置させた時
にこの切先のダイシングフレームの上面からの浮上を防
止する付勢手段を設け、ダイシングフレームの上面まで
下降させたカッターの切先が確実に、前記テープの厚さ
方向中途部からダイシングフレームの表面部の間の領域
に位置するようにすることが推奨される。

【００２７】

【作用】本発明は、カッターの刃先がテーブルに搭載さ
れたダイシングフレームの表面部からテープの厚さ方向
中途部の間の領域で昇降するように、前記テーブルに対
して昇降させる昇降手段と、前記刃先がその状態で回転
台及びニードルカッターを回転させる回転手段とを設け
ているので、これにより、カッターの切先をダイシング
フレームに一定以上深く切り込ませることなく、テープ
をカッターの刃先で切り裂いて切断することができ、従
って、傷つき易いプラスチック製のダイシングフレーム
を一定以上深く切り込むことなく繰り返しテープの裁断
を行うことができ、プラスチック製のダイシングフレー
ムの繰り返し使用回数を増大させることができる作用が
得られる。

【００２８】

【発明の実施の形態】以下、本発明の一実施例に係るウ
ェハーマウンターのテープ切断装置を図面に基づいて具
体的に説明するが、本発明が適用されるウェハーマウン
ターの基本的な構成にについては、テープ切断装置の具
体的な構成を除いては、従来と同様に構成してあるの
で、ここでは、その詳細な説明は省略することにする。

【００２９】このウェハーマウンターのテープ切断装置
は、図１の側面図に示すように、ウェハーマウンターの
後部フレーム１に固定したガイド２に昇降可能に支持さ
れた昇降フレーム３と、この昇降フレーム３を昇降させ
るシリンダからなる昇降手段４とを備える。

【００３０】又、昇降フレーム３の前部には、回転台５
が縦軸心回りに回転可能に支持されると共に、この回転
台５を回転駆動するモータを含む回転手段６が支持さ
れ、更に、回転台５の下面に、取付金具７及びホルダー
８を介してニードルカッターからなるカッター９が取り
付けられる。

【００３１】前記昇降手段４は、昇降フレーム３、回転
台５、取付金具７、ホルダー８及びカッター９を、図１
に示すようにカッター９の切先がウェハーマウンターの
テーブル１０上に搭載され、テープを貼着された当該テ
ープの厚さ方向中途部からダイシングフレーム１１の表
面部に接する位置の範囲で昇降させるように構成され
る。

【００３２】テーブル１０上のダイシングフレーム１１
及び図示しないウェハの上面に粘着テープを貼着した
後、昇降手段４が昇降フレーム３、回転台５、取付金具
７、ホルダー８及びカッター９を下降させ、カッター９
の切先がダイシングフレーム１１の上面に接触する位置
で昇降手段４が停止され、引き続いて回転手段６が始動
される。

【００３３】昇降フレーム３の前端には、回転台５の回
転位置を検出するセンサー１２が設けられ、回転台５が
回転を開始した後回転したことをこのセンサー１２が検
出した時に回転台５の回転が停止するようにしている。

【００３４】この回転により、テープはカッター９によ
り円形に裁断され、この後、昇降手段４を逆作動させ
て、昇降フレーム３、回転台５、取付金具７、ホルダー
８及びカッター９を所定の高さまで復帰させる一方、テ
ーブル１０、ダイシングフレーム１１、ウェハ及び円形
に切り取られたテープは下方に移動され、この後、テー
ブル１０からダイシングフレーム１１及びこれにテープ
で固定されたウェハが取り出される。

【００３５】前記カッター９は、図２ないし図５に示す
取付金具７を介して、回転台５の回転軸心から偏心した
位置に、所定の傾斜軸心の周りに回転自在に保持され
る。

【００３６】即ち、この取付金具７は、回転台５の下面
にボルト止めされる取付部材７ａと、この取付部材７ａ
に水平軸心Ｌ１回りに回転可能に連結されたレバー７ｂ
と、このレバー７ｂの一方の腕部に連結されたホルダー
保持筒７ｃと、このレバー７ｂの他方の腕部と取付部材
７ａとの間に架着された引っ張りコイルスプリングから
なる付勢手段７ｄとを備えている。

【００３７】この付勢手段７ｄの張力は、レバー７ｂの
他方の腕部に固定したＬ字形のブラケット７ｅに螺合し
た調整ボルト７ｆを螺進退させることにより調整できる
ようにしている。又、この調整ボルト７ｆは図３に示す
止めナット７ｇによりブラケット７ｅに固定される。

【００３８】前記ホルダー保持筒７ｃの軸心Ｃは、図２
の側面図に示すように、縦軸心Ｖ１に対して下広がりと
なるように傾斜（負キャスタ）させてあり、又、図３の
平面図に示すように、前記回転台５の接線に平行な水平
軸心Ｌ２に対して回転元方向で内側に反れるように傾斜
（トウアウト）させている。そして、前記ホルダー８及
びカッター９はホルダー保持筒７ｃに同軸心に取り付け
られる。

【００３９】カッター９は、市販のものであり、図６の
正面図及び図７の側面図に示すように、断面が円形の針
状部９ａとその一端部に形成した刃部９ｂとを備え、そ
の切先９ｃは針状部９ａの軸心から偏心させてあり、
又、刃部９ｂの切刃９ｄは切先９ｃの偏心方向と反対側
に形成されている。

【００４０】前記ホルダー８もまた市販のものであり、
カッター９をチャックするためのマグネットを内蔵した
筒状のものであり、その下端からカッター９の針状体９
ａを一定の長さ以上挿入すると、マグネットによりカッ
ター９を吸着して、カッター９をその刃部９ｂのみがホ
ルダー８の下端から突出し、かつ、その軸心回りに回転
自在に保持するように構成されている。

【００４１】又、ホルダー８内には突棒がその軸心方向
に進退自在に挿入され、カッター９がホルダー８に保持
された状態ではこの突棒がホルダー８の上端から一定量
突出するようになっている。そして、この突棒をホルダ
ー８内に押し込むと、ホルダー８のマグネットによるカ
ッター９の磁気吸着が解除され、ホルダーの下端から突
出した針状部９ａの一部を持ってカッター９をホルダー
８から引き出すことにより、刃部９ｂに触れることなく
安全にカッター９をホルダー８から取り外すことができ
る。

【００４２】なお、このホルダー８へのカッター９の着
脱は、ホルダー保持筒７ｃからホルダー８を分解して行
う。

【００４３】このように、前記カッター９を回転台５の
回転軸心から偏心した位置に、所定の傾斜軸心Ｃの周り
に回転自在に保持する一方、カッター９の切先９ｃをそ
の傾斜軸心Ｃから偏心させておくと、回転台５を回転さ
せることにより自然に切先９ｃが傾斜軸心Ｃに追従し
て、刃先９ｄがカッター９の移動軌跡の接線に対して一
定の角度で臨むようになり、裁断の安定性が高められ
る。

【００４４】ところで、一般に、ウェハーマウンター
は、厚さが異なる複数種類のダイシングフレーム１１を
取り扱えるようにすることが望まれている。このため、
この実施例においては、図１に示すように、昇降手段４
を構成するシリンダにそのピストンが所定の下端ストロ
ークエンドに下降したことを検出する下端センサーＳを
上下位置調整可能に内蔵あるいは支持させ、この下端セ
ンサーＳの位置を調整することにより、ピストンの下端
ストロークエンドの高さを調整し、カッター９の切先９
ｄが下降する下限の位置をダイシングフレーム１１の厚
さに対応して調整できるようにしている。

【００４５】もっとも、カッター９の切先９ｄが下降す
る下限の位置はダイシングフレーム１１の上面に一致す
るように調整すればよいのであって、昇降手段４の下端
のストロークエンドの位置を調整する代わりに、テーブ
ル１０の上端のストロークエンドの位置を調整するよう
に構成してもよい。

【００４６】加えて、この実施例においては、上述した
ように、取付金具７が回転台５の下面にボルト止めされ
る取付部材７ａと、この取付部材７ａに水平軸心Ｌ１回
りに回転可能に連結されたレバー７ｂと、このレバー７
ｂの一方の腕部に連結されたホルダー保持筒７ｃと、こ
のレバー７ｂの他方の腕部と取付部材７ａとの間に架着
された引っ張りコイルスプリングからなる付勢手段７ｄ
とを備えている。

【００４７】これにより、カッター９は、回転台５に対
して昇降可能に保持され、前記テーブル１０に搭載され
たダイシングフレーム１１上のテープ上面からその切先
９ｃが浮上することが防止され、確実にダイシングフレ
ーム１１上に貼着されたテープを裁断することができ
る。

【００４８】なお、この場合、カッター９がダイシング
フレーム１１に切り込むことを確実に防止するために、
カッター９の回転台５に対する下降量を制限する制限手
段を設けることが好ましい。

【００４９】上記の実施例では、昇降手段４がカッター
９の切先９ｄをダイシングフレーム１１の上面まで下降
させるように構成しているが、本発明においては、テー
プを確実に裁断するために、カッター９の切先９ｄを、
ダイシングフレーム１１の下面（テーブル１０の上面）
からある程度以上高くするのであれば、ダイシングフレ
ーム１１の上面よりも低い位置まで下降させるようにし
てもよい。

【００５０】

【発明の効果】以上に説明したように、本発明は、ダイ
シングフレームを搭載するテーブルの上方に昇降可能
に、かつ、縦軸心周りに回転可能に配置された回転台
と、該回転台にその回転軸心から所定の距離だけ偏心し
た位置で刃先を下にして保持させたカッターと、これら
回転台及びカッターを、該カッターの刃先が前記テーブ
ルに搭載されたダイシングフレームの表面部からテープ
の厚さ方向中途部の間の領域で昇降するように、下面か
ら一定の高さ以上の領域で昇降するように、前記テーブ
ルに対して昇降させる昇降手段と、前記刃先がダイシン
グフレームの上面に位置する状態で回転台及びニードル
カッターを回転させる回転手段とが設けられる。

【００５１】これにより、カッターがダイシングフレー
ムの下面から一定の高さより深くダイシングフレームに
切り込むことが防止され、ダイシングフレームが繰り返
し使用される間に一定の位置で切り通されて再使用でき
なくなることを防止でき、傷つき易いプラスチック製の
ダイシングフレームの繰り返し使用回数を飛躍的に増大
させることができる。

【００５２】本発明において、特にカッターが所定の縦
軸心又は傾斜軸心の周りに回転自在に回転台に保持され
ると共に、その切先をその軸心から偏心させ、その偏心
方向と反対側に切刃を形成したものであると、回転台の
回転に伴ってカッターの切先が所定の縦軸心又は傾斜軸
心に自然に追従して移動し、切刃がカッターの移動軌跡
の接線に対して一定の角度で臨むようになり、安定良く
テープを裁断できる効果を得ることができる。

【００５３】又、本発明において、特にカッターが針状
体と、その一端に形成された刃部とを備えるニードルカ
ッターで構成されると、市販のホルダーを用いることに
より、簡単な操作により、簡単にカッターを所定の縦軸
心又は傾斜軸心の周りに回転自在に前記回転台に保持さ
せることができる。又、その切先がその軸心から偏心
し、その偏心方向と反対側に切刃を形成されているの
で、回転台の回転に伴ってカッターの切先を所定の縦軸
心又は傾斜軸心に自然に追従して移動させ、切刃をカッ
ターの移動軌跡の接線に対して一定の角度で臨ませて、
安定良くテープを裁断できる効果を得ることができる。

【００５４】更に、本発明において、回転台及びカッタ
ーの昇降ストロークの下端が調整可能に構成されると、
ウェハーマウンターで取り扱われるダイシングフレーム
の厚さに対応してカッターの切先の下端のストロークエ
ンドを調整することができ、ウェハーマウンターの汎用
性を高める効果が得られる。

【００５５】加えて、本発明において、カッターが回転
台に昇降可能に保持され、テーブルに搭載されたダイシ
ングフレームの上面からその切先が浮上することを防止
する付勢手段が設けられると、カッターの切先の浮上が
防止され、確実にテープを裁断できる効果が得られる。

【図面の簡単な説明】

【図１】図１は、本発明に係るウェハーマウンターのテ
ープ切断装置の一実施例を示す側面図である。

【図２】図２は、本発明で好適に用いられる取付金具の
側面図である。

【図３】図３は、本発明で好適に用いられる取付金具の
平面図である。

【図４】図４は、本発明で好適に用いられる取付金具の
正面図である。

【図５】図５は、本発明で好適に用いられる取付金具の
斜視図である。

【図６】図６は、本発明で好適に用いられるカッターの
正面図である。

【図７】図７は、本発明で好適に用いられるカッターの
側面図である。

【符号の説明】

４ 昇降手段 ５ 回転台 ６ 回転手段 ９ カッター １０ テーブル １１ ダイシングフレーム

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 ダイシングフレームを搭載するテーブル
   の上方に昇降可能に、かつ、縦軸心周りに回転可能に配
   置された回転台と、該回転台にその回転軸心から所定の
   距離だけ偏心した位置で刃先を下にして保持させたカッ
   ターと、これら回転台及びカッターを、該カッターの刃
   先が前記テーブルに搭載されたダイシングフレームの下
   面から一定の高さ以上の領域で昇降するように、前記テ
   ーブルに対して昇降させる昇降手段と、前記刃先がダイ
   シングフレームの上面に位置する状態で回転台及びカッ
   ターを回転させる回転手段とが設けられていることを特
   徴とするウェハーマウンターのテープ切断装置。
2. 【請求項２】 カッターが所定の縦軸心又は傾斜軸心の
   周りに回転自在に前記回転台に保持されると共に、その
   切先をその軸心から偏心させ、その偏心方向と反対側に
   切刃を形成したものである請求項１に記載のウェハーマ
   ウンターのテープ切断装置。
3. 【請求項３】 カッターが針状体と、その一端に形成さ
   れた刃部とを備えるニードルカッターからなる請求項１
   又は２に記載のウェハーマウンターのテープ切断装置。
4. 【請求項４】 回転台及びカッターの昇降ストロークの
   下端が調整可能に構成される請求項１ないし３のいずれ
   か１項に記載のウェハーマウンターのテープ切断装置。
5. 【請求項５】 カッターが回転台に昇降可能に保持さ
   れ、テーブルに搭載されたダイシングフレームの上面か
   らその切先が浮上することを防止する付勢手段が設けら
   れている請求項１ないし４のいずれか１項に記載のウェ
   ハーマウンターのテープ切断装置。