JPH1138597A - ペリクルの収納構造 - Google Patents
ペリクルの収納構造Info
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- JPH1138597A JPH1138597A JP19553497A JP19553497A JPH1138597A JP H1138597 A JPH1138597 A JP H1138597A JP 19553497 A JP19553497 A JP 19553497A JP 19553497 A JP19553497 A JP 19553497A JP H1138597 A JPH1138597 A JP H1138597A
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- Preparing Plates And Mask In Photomechanical Process (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】従来、ペリクルをトレイとフタとよりなるケー
スに収納し、かつこれ等のトレイとフタとを、ペリクル
に接触させることによってペリクルを拘束し、この状態
でペリクルを輸送した場合には、輸送時の振動や衝撃に
よってペリクルを擦って損傷したり、強い擦れによる塵
が発生してペリクルに付着したりする問題があった。 【解決手段】枠体1と、この枠体1の上縁面に接着され
たペリクル膜2と、該枠体1の下端面に塗着した粘着材
3と、該粘着材3を保護するために枠体1の下端面に粘
着された保護フィルム4とからなるペリクルAを、トレ
イ5とフタ6とよりなるケースBに収納する構造に於い
て、ケースBに収納された前記ペリクルAの枠体1の外
周或いは内周の近傍のトレイ5の所定位置に8個のポス
ト8を起立し、かつポスト8の起立面に突出部9を突設
して該突出部9の下面とトレイ5の上表面との間に凹み
状のアンダーカット部10を形成し、このアンダーカッ
ト部10に保護フィルム4の周辺縁を挿入することによ
ってペリクルAをトレイ5で拘束するようにした構造で
ある。
スに収納し、かつこれ等のトレイとフタとを、ペリクル
に接触させることによってペリクルを拘束し、この状態
でペリクルを輸送した場合には、輸送時の振動や衝撃に
よってペリクルを擦って損傷したり、強い擦れによる塵
が発生してペリクルに付着したりする問題があった。 【解決手段】枠体1と、この枠体1の上縁面に接着され
たペリクル膜2と、該枠体1の下端面に塗着した粘着材
3と、該粘着材3を保護するために枠体1の下端面に粘
着された保護フィルム4とからなるペリクルAを、トレ
イ5とフタ6とよりなるケースBに収納する構造に於い
て、ケースBに収納された前記ペリクルAの枠体1の外
周或いは内周の近傍のトレイ5の所定位置に8個のポス
ト8を起立し、かつポスト8の起立面に突出部9を突設
して該突出部9の下面とトレイ5の上表面との間に凹み
状のアンダーカット部10を形成し、このアンダーカッ
ト部10に保護フィルム4の周辺縁を挿入することによ
ってペリクルAをトレイ5で拘束するようにした構造で
ある。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、LSI等を製造す
る際のリソグラフィー工程で使用されるフォトマスクや
レティクルに異物が付着することを防止するために用い
られるペリクルの収納構造に関するものである。
る際のリソグラフィー工程で使用されるフォトマスクや
レティクルに異物が付着することを防止するために用い
られるペリクルの収納構造に関するものである。
【0002】
【従来の技術】従来、半導体回路パターン等の製造に於
いては、一般にペリクルと呼ばれる防塵手段を用いて、
フォトマスクやレティクルへの異物の付着を防止するこ
とが行われている(例えば特公昭54ー28718号公
報)。ペリクルはフォトマスク或いはレティクルの形状
に合わせた形状を有する厚さ数ミリ程度の枠体の上縁面
に、厚さ10μm内外以下のニトロセルロース或いはセ
ルロース誘導体などの透明な高分子膜(以下、ペリクル
膜という)を展張して接着し、かつ該枠体の下縁面に粘
着材を塗着すると共に、この粘着材上に所定の接着力で
保護フィルムを粘着させたものである。
いては、一般にペリクルと呼ばれる防塵手段を用いて、
フォトマスクやレティクルへの異物の付着を防止するこ
とが行われている(例えば特公昭54ー28718号公
報)。ペリクルはフォトマスク或いはレティクルの形状
に合わせた形状を有する厚さ数ミリ程度の枠体の上縁面
に、厚さ10μm内外以下のニトロセルロース或いはセ
ルロース誘導体などの透明な高分子膜(以下、ペリクル
膜という)を展張して接着し、かつ該枠体の下縁面に粘
着材を塗着すると共に、この粘着材上に所定の接着力で
保護フィルムを粘着させたものである。
【0003】前記粘着材は、ペリクルをフォトマスク或
いはレティクルに固着するためのものであり、また、保
護フィルムは該粘着材がその用に供するまで該粘着材の
接着力を維持するために、該粘着材の接着面を保護する
ものである。このペリクルを製造者から使用者に運搬す
るに当たっては、ペリクル膜等に異物が付着するのを防
ぎ、或いはペリクルが損傷するのを防ぐために、該ペリ
クルをトレイとフタとからなるケースに収納し、更に防
塵袋等に収納して運搬するのが一般的である。
いはレティクルに固着するためのものであり、また、保
護フィルムは該粘着材がその用に供するまで該粘着材の
接着力を維持するために、該粘着材の接着面を保護する
ものである。このペリクルを製造者から使用者に運搬す
るに当たっては、ペリクル膜等に異物が付着するのを防
ぎ、或いはペリクルが損傷するのを防ぐために、該ペリ
クルをトレイとフタとからなるケースに収納し、更に防
塵袋等に収納して運搬するのが一般的である。
【0004】従来、前述の構造を有するペリクルのケー
スの収納は、図5乃至図7に示すように行われていた。
即ち、図に於いて、ペリクル膜52は展張(ピンと張っ
た)状態で枠体51の一方の上縁面に接着され、枠体5
1の他の面(下縁面)には適当な厚さの粘着材53が設
けられ、さらに粘着材53の下面には保護フィルム54
が貼り付けられてペリクルを構成している。このペリク
ルは、トレイ55の平坦な面である設置面55aの上に
保護フィルム54が接するように置かれる。
スの収納は、図5乃至図7に示すように行われていた。
即ち、図に於いて、ペリクル膜52は展張(ピンと張っ
た)状態で枠体51の一方の上縁面に接着され、枠体5
1の他の面(下縁面)には適当な厚さの粘着材53が設
けられ、さらに粘着材53の下面には保護フィルム54
が貼り付けられてペリクルを構成している。このペリク
ルは、トレイ55の平坦な面である設置面55aの上に
保護フィルム54が接するように置かれる。
【0005】トレイ55の設置面55a上に載置された
ペリクルは、トレイ55に設けられた突起状のポスト5
5bによって、左右の動きが拘束され、そしてフタ56
を上方からかぶせ、クリップ57によってフタ56とト
レイ55との4隅を固定することによってケースに収納
されていた。この結果、前記ペリクルはフタ56の斜面
56aと、ポスト55bと、設置面55aとに囲まれて
拘束され、ケースに収納された状態となっていた。
ペリクルは、トレイ55に設けられた突起状のポスト5
5bによって、左右の動きが拘束され、そしてフタ56
を上方からかぶせ、クリップ57によってフタ56とト
レイ55との4隅を固定することによってケースに収納
されていた。この結果、前記ペリクルはフタ56の斜面
56aと、ポスト55bと、設置面55aとに囲まれて
拘束され、ケースに収納された状態となっていた。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】然るに、前述のように
ペリクルはケースのフタ56の斜面56a、ポスト55
b及び設置面55aで拘束された収納状態で輸送される
が、輸送時には何らかの振動、衝撃を受けることは避け
ることが出来なかった。従来のペルクルのケース内での
拘束状態において、ペリクルとケースのフタ56の斜面
56aとの間に大きな隙間があると、輸送時の振動、衝
撃によってペリクルがケースのフタ56にぶつかり、こ
の部分が強い擦れのために摩耗して発塵することがあっ
た。このような場合には、ペリクルを異物のない状態で
使用者に届けるという最も重要な機能を失うことになる
問題があった。
ペリクルはケースのフタ56の斜面56a、ポスト55
b及び設置面55aで拘束された収納状態で輸送される
が、輸送時には何らかの振動、衝撃を受けることは避け
ることが出来なかった。従来のペルクルのケース内での
拘束状態において、ペリクルとケースのフタ56の斜面
56aとの間に大きな隙間があると、輸送時の振動、衝
撃によってペリクルがケースのフタ56にぶつかり、こ
の部分が強い擦れのために摩耗して発塵することがあっ
た。このような場合には、ペリクルを異物のない状態で
使用者に届けるという最も重要な機能を失うことになる
問題があった。
【0007】一方で、ペリクルとケースとの間の隙間を
なくした場合には、すなわち前記斜面56aが前記枠体
51(或いは前記ペリクル膜52の端部)と予め接触し
ている場合にも、相互の接触圧力によって斜面56aの
内面或いは前記ペリクル膜52の端部が摩耗し、異物を
発生することが経験上知られている。
なくした場合には、すなわち前記斜面56aが前記枠体
51(或いは前記ペリクル膜52の端部)と予め接触し
ている場合にも、相互の接触圧力によって斜面56aの
内面或いは前記ペリクル膜52の端部が摩耗し、異物を
発生することが経験上知られている。
【0008】そこで、かかるペリクルの収納構造に於い
て最も好ましいとされているやり方は、前記ペリクルと
前記ケースのフタ56の斜面56aとの間にごく僅かな
隙間をとるというものである。具体的には前記ペリクル
をトレイ55の上に置き、フタ56をかぶせ、クリップ
57でフタ56とトレイ55を相互に固定したとき、斜
面56aと枠体1の上端との間に0.1乃至0.3mm
程度の隙間を設ける構造である。
て最も好ましいとされているやり方は、前記ペリクルと
前記ケースのフタ56の斜面56aとの間にごく僅かな
隙間をとるというものである。具体的には前記ペリクル
をトレイ55の上に置き、フタ56をかぶせ、クリップ
57でフタ56とトレイ55を相互に固定したとき、斜
面56aと枠体1の上端との間に0.1乃至0.3mm
程度の隙間を設ける構造である。
【0009】発明者の実験によって、このような隙間の
確保で、ある程度の振動、衝撃に耐えることが確かめら
れている。しかし、この場合にも大きな衝撃を受けた時
には、発塵する問題があった。更に梱包の方法(例えば
衝撃効果の高い軟らかい発泡材等を大量に使用するな
ど)によってケースやペリクルに加わる衝撃を和らげる
手段が必要であり、或いは振動や衝撃の少ない輸送手段
を必要としたり、前述のフタ56とペリクルとの適度の
隙間を確保するために、トレイ55やフタ56の成形を
高い精度で行う必要があるなど、コスト面で非常に好ま
しくない問題があった。しかし、これ等の多くの手段も
原理的に、全く発塵しないことを保証することは極めて
難しいという問題があった。
確保で、ある程度の振動、衝撃に耐えることが確かめら
れている。しかし、この場合にも大きな衝撃を受けた時
には、発塵する問題があった。更に梱包の方法(例えば
衝撃効果の高い軟らかい発泡材等を大量に使用するな
ど)によってケースやペリクルに加わる衝撃を和らげる
手段が必要であり、或いは振動や衝撃の少ない輸送手段
を必要としたり、前述のフタ56とペリクルとの適度の
隙間を確保するために、トレイ55やフタ56の成形を
高い精度で行う必要があるなど、コスト面で非常に好ま
しくない問題があった。しかし、これ等の多くの手段も
原理的に、全く発塵しないことを保証することは極めて
難しいという問題があった。
【0010】本発明者は前述の従来の問題点を根本的に
改善するために、ペリクルの保護フィルムを所定の接着
力で直接前記トレイに仮着させ、これによってケース内
に収納されたペリクルをケース内に拘束させて、輸送時
の振動や衝撃に充分耐えることが出来るようにした全く
新しい技術を既に開発し、特許出願をしている。(特願
平9ー182459号)。
改善するために、ペリクルの保護フィルムを所定の接着
力で直接前記トレイに仮着させ、これによってケース内
に収納されたペリクルをケース内に拘束させて、輸送時
の振動や衝撃に充分耐えることが出来るようにした全く
新しい技術を既に開発し、特許出願をしている。(特願
平9ー182459号)。
【0011】前述のペリクルをトレイに所定の接着力で
直接仮着する技術は、粘着材或いは接着材を使用するこ
とによってペリクルをトレイに拘束する方法であるが、
本発明はこれ等の粘着材或いは接着材を全く使用するこ
となく、単なる機械的な拘束構造でケース内にペリクル
を拘束することが出来るようにした全く新しいペリクル
の収納構造の技術を提供するものである。
直接仮着する技術は、粘着材或いは接着材を使用するこ
とによってペリクルをトレイに拘束する方法であるが、
本発明はこれ等の粘着材或いは接着材を全く使用するこ
となく、単なる機械的な拘束構造でケース内にペリクル
を拘束することが出来るようにした全く新しいペリクル
の収納構造の技術を提供するものである。
【0012】本発明は、特にペリクルをケース内に収納
するに当たって、ペリクルが収納されるケースのトレイ
にペリクルの保護フィルムを拘束し得る機械的な拘束手
段を設け、この拘束手段を用いてペリクルを拘束してペ
リクルが動かないようにしたペリクルの収納構造に関す
るものである。
するに当たって、ペリクルが収納されるケースのトレイ
にペリクルの保護フィルムを拘束し得る機械的な拘束手
段を設け、この拘束手段を用いてペリクルを拘束してペ
リクルが動かないようにしたペリクルの収納構造に関す
るものである。
【0013】
【課題を解決するための手段】本発明に係るペリクルの
収納構造は、前述の従来の問題点を根本的に改善した技
術であって、その第1発明の要旨は、枠体と、該枠体の
上縁面に接着されたペリクル膜と、該枠体の下縁面に塗
着した粘着材と、該粘着材を保護するために枠体の下縁
面に粘着された保護フィルムからなるペリクルを、トレ
イとフタとよりなるケースに収納する構造に於いて、該
ケース内に収納された前記ペリクルの枠体の外周或いは
内周近傍のトレイの所定位置に、ペリクルの保護フィル
ムを拘束し得る手段を設けて構成したことを特徴とする
ペリクルの収納構造である。
収納構造は、前述の従来の問題点を根本的に改善した技
術であって、その第1発明の要旨は、枠体と、該枠体の
上縁面に接着されたペリクル膜と、該枠体の下縁面に塗
着した粘着材と、該粘着材を保護するために枠体の下縁
面に粘着された保護フィルムからなるペリクルを、トレ
イとフタとよりなるケースに収納する構造に於いて、該
ケース内に収納された前記ペリクルの枠体の外周或いは
内周近傍のトレイの所定位置に、ペリクルの保護フィル
ムを拘束し得る手段を設けて構成したことを特徴とする
ペリクルの収納構造である。
【0014】前記第1発明に係るペリクルの収納構造
は、ケース内に収納したペリクルの枠体の外周或いは内
周近傍のトレイにペリクルの保護フィルムを拘束するこ
とが出来る拘束手段を設けたので、この拘束手段を用い
ることによってケース内のペリクルを保護フィルムを介
して機械的に直接拘束して固定し、これによってペリク
ルを輸送する際に、振動や衝撃によってペリクルが動い
てケースに強くぶつかることを防ぎ、塵が発生すること
を防止することが出来る。
は、ケース内に収納したペリクルの枠体の外周或いは内
周近傍のトレイにペリクルの保護フィルムを拘束するこ
とが出来る拘束手段を設けたので、この拘束手段を用い
ることによってケース内のペリクルを保護フィルムを介
して機械的に直接拘束して固定し、これによってペリク
ルを輸送する際に、振動や衝撃によってペリクルが動い
てケースに強くぶつかることを防ぎ、塵が発生すること
を防止することが出来る。
【0015】本発明に係るペリクルの収納構造の第2発
明の要旨は、前記ペリクルの保護フィルムの拘束手段
が、前記トレイの上表面に起立された起立面に設けられ
たアンダーカット部、突起部或いは傾斜面であることを
特徴とした第1発明のペリクルの収納構造である。
明の要旨は、前記ペリクルの保護フィルムの拘束手段
が、前記トレイの上表面に起立された起立面に設けられ
たアンダーカット部、突起部或いは傾斜面であることを
特徴とした第1発明のペリクルの収納構造である。
【0016】前述の第2発明に於いては、ケース内に収
納したペリクルの枠体の外周或いは内周近傍のトレイに
起立したポスト等の起立面にアンダーカット部、突起部
或いは傾斜面を設けて構成したので、ペリクルの保護フ
ィルムをこれ等のアンダーカット部、突起部或いは傾斜
面で簡単かつ確実に拘束することが出来、これによって
ペリクルをケース内で固定することが出来る。
納したペリクルの枠体の外周或いは内周近傍のトレイに
起立したポスト等の起立面にアンダーカット部、突起部
或いは傾斜面を設けて構成したので、ペリクルの保護フ
ィルムをこれ等のアンダーカット部、突起部或いは傾斜
面で簡単かつ確実に拘束することが出来、これによって
ペリクルをケース内で固定することが出来る。
【0017】前述の本発明のペリクルの収納構造のよう
に、ペリクルの保護フィルムをトレイの一部で拘束する
ことによってペリクルを機械的にトレイ内に固定するこ
とは出来るが、しかし、ケース内に収納されたペリクル
が使用者側に届いた後では、使用者がペリクルをケース
内から容易に取り出すことが出来なくてはならないの
で、ペリクルをトレイに固定するに当たっては、この点
を充分考慮しなければならない。
に、ペリクルの保護フィルムをトレイの一部で拘束する
ことによってペリクルを機械的にトレイ内に固定するこ
とは出来るが、しかし、ケース内に収納されたペリクル
が使用者側に届いた後では、使用者がペリクルをケース
内から容易に取り出すことが出来なくてはならないの
で、ペリクルをトレイに固定するに当たっては、この点
を充分考慮しなければならない。
【0018】即ち、ペリクルをトレイに固定するに当た
っては、使用者がこのトレイからペリクルを容易に取り
出すことが出来る所定の保持力を持った拘束力で拘束す
る必要がある。従って、トレイ側に設ける拘束手段の形
状、寸法、拘束する部分の角度等と、ペリクル側の保護
フィルムの材質や厚さに基づく柔軟性(あるいは鋼
性)、オーバーハング長さ等とを後述の具体的実施例に
示すように、予め適宜設計して決定することが必要であ
る。
っては、使用者がこのトレイからペリクルを容易に取り
出すことが出来る所定の保持力を持った拘束力で拘束す
る必要がある。従って、トレイ側に設ける拘束手段の形
状、寸法、拘束する部分の角度等と、ペリクル側の保護
フィルムの材質や厚さに基づく柔軟性(あるいは鋼
性)、オーバーハング長さ等とを後述の具体的実施例に
示すように、予め適宜設計して決定することが必要であ
る。
【0019】
【発明の実施の形態】本発明に係るペリクルの収納構造
の一実施例を図により具体的に説明すると、図1は本発
明に係る第1実施例のペリクルの収納構造の平面図、図
2は図1の収納構造の要部の縦断面説明図、図3は第2
実施例のペリクルの収納構造の要部の縦断面説明図、図
4は第3実施例のペリクルの収納構造の要部の縦断面説
明図である。
の一実施例を図により具体的に説明すると、図1は本発
明に係る第1実施例のペリクルの収納構造の平面図、図
2は図1の収納構造の要部の縦断面説明図、図3は第2
実施例のペリクルの収納構造の要部の縦断面説明図、図
4は第3実施例のペリクルの収納構造の要部の縦断面説
明図である。
【0020】図1及び図2により本発明に係るペリクル
の収納構造の第1実施例を説明すると次の通りである。
即ち、ペリクルAは既に詳述したように、枠体1と該枠
体1の上縁面に接着されたペリクル膜2と該枠体1の下
縁面に塗着された粘着材3と、該粘着材3を保護するた
めに粘着材3に粘着された保護フィルム4から構成され
ている。前記実施例に於いては、枠体1の下縁面に粘着
材3を塗着して形成したが、予め層状に形成された粘着
材3を使用する場合には、単に枠体1の下縁面に積層し
て貼着するのみで良い(しかし、本明細書に於いては、
このような場合も含めて単に「塗着する」と総称す
る)。
の収納構造の第1実施例を説明すると次の通りである。
即ち、ペリクルAは既に詳述したように、枠体1と該枠
体1の上縁面に接着されたペリクル膜2と該枠体1の下
縁面に塗着された粘着材3と、該粘着材3を保護するた
めに粘着材3に粘着された保護フィルム4から構成され
ている。前記実施例に於いては、枠体1の下縁面に粘着
材3を塗着して形成したが、予め層状に形成された粘着
材3を使用する場合には、単に枠体1の下縁面に積層し
て貼着するのみで良い(しかし、本明細書に於いては、
このような場合も含めて単に「塗着する」と総称す
る)。
【0021】次に、前述のように構成されたペリクル
は、トレイ5とフタ6とよりなるケースBに収納されて
いる。また、トレイ5とフタ6とのコーナー部にはクリ
ップ7が取付けられており、これ等のクリップ7によっ
てトレイ5からフタ6が外れないように固定されてい
る。
は、トレイ5とフタ6とよりなるケースBに収納されて
いる。また、トレイ5とフタ6とのコーナー部にはクリ
ップ7が取付けられており、これ等のクリップ7によっ
てトレイ5からフタ6が外れないように固定されてい
る。
【0022】8はトレイ5の上表面に起立突設された8
個のポストであって、トレイ5上に載置されたペリクル
Aの外周近傍に配置されている。また、ポスト8の内側
(ペリクルA側)の起立面には夫々突出部9が突設され
ており、これ等突出部9とトレイ5との間には所定の高
さと深さとを持った隙間よりなる凹み状のアンダーカッ
ト部10が形成されている。この凹み状のアンダーカッ
ト部10には、前記ペリクルAの保護フィルム4の周辺
縁が挿入することが出来るように構成されている。
個のポストであって、トレイ5上に載置されたペリクル
Aの外周近傍に配置されている。また、ポスト8の内側
(ペリクルA側)の起立面には夫々突出部9が突設され
ており、これ等突出部9とトレイ5との間には所定の高
さと深さとを持った隙間よりなる凹み状のアンダーカッ
ト部10が形成されている。この凹み状のアンダーカッ
ト部10には、前記ペリクルAの保護フィルム4の周辺
縁が挿入することが出来るように構成されている。
【0023】前記トレイ5は通常1回の射出成形で成形
されているが、前述のようにポスト8の起立面に突出部
9とこれに続くアンダーカット部10とを形成する場合
には、一般的な単純な射出成形では成形が困難である
(即ち、トレイ5のアンダーカット部10が引っ掛かる
ために成形品が金型から抜けなくなるためである)。し
かし、このような突出部9とアンダーカット部10があ
る場合には、プラスチックの成形業界で良く知られてい
るスライドコア方式を採用することによって、容易に成
形することが出来る。
されているが、前述のようにポスト8の起立面に突出部
9とこれに続くアンダーカット部10とを形成する場合
には、一般的な単純な射出成形では成形が困難である
(即ち、トレイ5のアンダーカット部10が引っ掛かる
ために成形品が金型から抜けなくなるためである)。し
かし、このような突出部9とアンダーカット部10があ
る場合には、プラスチックの成形業界で良く知られてい
るスライドコア方式を採用することによって、容易に成
形することが出来る。
【0024】また、前述のスライドコア方式を採用せず
に、若干コスト高にはなるが、トレイ5の主要部分と、
突出部9とアンダーカット部10とを有するポスト8の
部分とを夫々別に成形しておき、これ等を後から組立て
ることによって構成することも勿論可能である。
に、若干コスト高にはなるが、トレイ5の主要部分と、
突出部9とアンダーカット部10とを有するポスト8の
部分とを夫々別に成形しておき、これ等を後から組立て
ることによって構成することも勿論可能である。
【0025】前記ペリクルAをトレイ5に収納したり、
或いは取り出す際には、ペリクルAの保護フィルム4と
トレイ5の突出部9及びアンダーカット部10とは僅か
ながら擦れ合うが、前述のような組立方式を採用した場
合には、ポスト8の突出部9とアンダーカット部10と
よりなる拘束体が前記保護フィルム4にダメージを与え
ず、拘束体自身も摩耗しにくいような材質の樹脂(例え
ば高分子量ポリエチレン樹脂等)を選択して拘束体を成
形することも可能である。一方トレイ5の主要部分は成
形時に寸法精度や平面性を得やすく、また十分な構造剛
性を有するような材質の樹脂(例えばABS樹脂等)を
選択して成形することが可能である。
或いは取り出す際には、ペリクルAの保護フィルム4と
トレイ5の突出部9及びアンダーカット部10とは僅か
ながら擦れ合うが、前述のような組立方式を採用した場
合には、ポスト8の突出部9とアンダーカット部10と
よりなる拘束体が前記保護フィルム4にダメージを与え
ず、拘束体自身も摩耗しにくいような材質の樹脂(例え
ば高分子量ポリエチレン樹脂等)を選択して拘束体を成
形することも可能である。一方トレイ5の主要部分は成
形時に寸法精度や平面性を得やすく、また十分な構造剛
性を有するような材質の樹脂(例えばABS樹脂等)を
選択して成形することが可能である。
【0026】前述の図1及び図2に示す第1実施例の具
体例を記述すると次の通りである。即ち、第1実施例に
於いては、図に示す如く、トレイ5の上表面に巾2mm
のポスト8を各面に2個所づつ合計8個起立した。これ
等のポスト8の起立面((収納したペリクルAの枠体1
の外周面に対応する面)に突出部9を突設し、この突出
部9とトレイ5の上表面との間に巾約2mm、深さ約
0.2mm、高さ約0.3mmの凹み状のアンダーカッ
ト部10を形成した。
体例を記述すると次の通りである。即ち、第1実施例に
於いては、図に示す如く、トレイ5の上表面に巾2mm
のポスト8を各面に2個所づつ合計8個起立した。これ
等のポスト8の起立面((収納したペリクルAの枠体1
の外周面に対応する面)に突出部9を突設し、この突出
部9とトレイ5の上表面との間に巾約2mm、深さ約
0.2mm、高さ約0.3mmの凹み状のアンダーカッ
ト部10を形成した。
【0027】一方で、ペリクルAの保護フィルム4は厚
さ約100μmのPETフィルムを使用し、かつその保
護フィルム4のオーバーハング長さを約1mmとして構
成した。
さ約100μmのPETフィルムを使用し、かつその保
護フィルム4のオーバーハング長さを約1mmとして構
成した。
【0028】前述のような条件のアンダーカット部10
よりなる拘束体と保護フィルム4とを組合せ、保護フィ
ルム4の外周縁を夫々8個のポスト8のアンダーカット
部10に挿入して拘束した所、拘束体の保持力は約15
0g程度であった。
よりなる拘束体と保護フィルム4とを組合せ、保護フィ
ルム4の外周縁を夫々8個のポスト8のアンダーカット
部10に挿入して拘束した所、拘束体の保持力は約15
0g程度であった。
【0029】ペリクルAの重量は約15gであるから、
前記保持力は約10Gの垂直加速度までペリクルAを保
持することが出来る数値である。従って、輸送時の振動
や衝撃が10G以下であるならば、ペリクルAを収納し
たケースBに特別の梱包を施す必要がない。また、必要
とする場合には、10G以下となるようにケースBの周
りに緩衝材等を用いれば良い。更に、前述の保持力15
0gは、ペリクルAをトレイ5から取り出す際の力とし
ては全く問題のない数値である。
前記保持力は約10Gの垂直加速度までペリクルAを保
持することが出来る数値である。従って、輸送時の振動
や衝撃が10G以下であるならば、ペリクルAを収納し
たケースBに特別の梱包を施す必要がない。また、必要
とする場合には、10G以下となるようにケースBの周
りに緩衝材等を用いれば良い。更に、前述の保持力15
0gは、ペリクルAをトレイ5から取り出す際の力とし
ては全く問題のない数値である。
【0030】前記第1実施例に於いては、ペリクルAの
保護フィルム4を拘束し得るアンダーカット部10を収
納されたペリクルAの枠体1の外側に設け、対応する両
側のアンダーカット部10で雌側のアンダーカット(入
口の巾よりも奥の巾の方が広い)を形成することが出来
るようにしたが、図3に示す第2実施例のように、アン
ダーカット部10を有するポスト8枠体1の内側に設
け、対応する両側のアンダーカット部で雄側のアンダー
カットを形成することが出来る。
保護フィルム4を拘束し得るアンダーカット部10を収
納されたペリクルAの枠体1の外側に設け、対応する両
側のアンダーカット部10で雌側のアンダーカット(入
口の巾よりも奥の巾の方が広い)を形成することが出来
るようにしたが、図3に示す第2実施例のように、アン
ダーカット部10を有するポスト8枠体1の内側に設
け、対応する両側のアンダーカット部で雄側のアンダー
カットを形成することが出来る。
【0031】前記第1実施例に於いては、ペリクルAの
保護フィルム4の外周縁をポスト8のアンダーカット部
10に挿入することによってペリクルAをトレイ5に機
械的に拘束したが、前述の第2実施例の場合は、保護フ
ィルム4の内周縁をアンダーカット部10に挿入するこ
とによってペリクルAをトレイ5に拘束することが出来
る。
保護フィルム4の外周縁をポスト8のアンダーカット部
10に挿入することによってペリクルAをトレイ5に機
械的に拘束したが、前述の第2実施例の場合は、保護フ
ィルム4の内周縁をアンダーカット部10に挿入するこ
とによってペリクルAをトレイ5に拘束することが出来
る。
【0032】前述のように起立面にアンダーカット部1
0を形成するに当たっては、保護フルム4が容易に着脱
でき、かつ所定の保持力で確実に保持することが出来る
ように、その寸法だけでなく、形状(主に断面形状)に
も充分考慮して適宜設計すべきである。特に、入口部を
やや広くしたテーパー形状等にすることが好ましい例で
ある。
0を形成するに当たっては、保護フルム4が容易に着脱
でき、かつ所定の保持力で確実に保持することが出来る
ように、その寸法だけでなく、形状(主に断面形状)に
も充分考慮して適宜設計すべきである。特に、入口部を
やや広くしたテーパー形状等にすることが好ましい例で
ある。
【0033】前記第1実施例及び第2実施例に於いて
は、ポスト8の下部に該ポスト8の巾とほぼ等しい凹状
の比較的深さの大きいアンダーカット部10を意図的に
設けて構成したが、図4の第3実施例に示す如く、ポス
ト8の起立面の下部に小さな半円状の突起部11を突設
し、この突起部11の下面とトレイ5の上表面との隙間
にペリクルAの保護フィルム4を挿入してペリクルAを
トレイ5に固定することも可能である。
は、ポスト8の下部に該ポスト8の巾とほぼ等しい凹状
の比較的深さの大きいアンダーカット部10を意図的に
設けて構成したが、図4の第3実施例に示す如く、ポス
ト8の起立面の下部に小さな半円状の突起部11を突設
し、この突起部11の下面とトレイ5の上表面との隙間
にペリクルAの保護フィルム4を挿入してペリクルAを
トレイ5に固定することも可能である。
【0034】前記実施例に於いては、ペルクルAの保護
フィルム4を拘束するに当たって、アンダーカット部1
0或いは突起部11をポスト8の起立面に設けることに
よって実施したが、ポスト8の起立面に所定の傾斜面
(テーパー面)を設けることによって保護フィルム4を
拘束することも可能である。また、前述のように複数個
のポスト8を設けずに、収納されたペルクルAの枠体1
の外周或いは内周近傍に面状の起立枠を形成し、この起
立枠に前述のアンダーカット部10、突起部11、テー
パー面等を設けて保護フィルム4の拘束手段を構成する
ことも可能である。
フィルム4を拘束するに当たって、アンダーカット部1
0或いは突起部11をポスト8の起立面に設けることに
よって実施したが、ポスト8の起立面に所定の傾斜面
(テーパー面)を設けることによって保護フィルム4を
拘束することも可能である。また、前述のように複数個
のポスト8を設けずに、収納されたペルクルAの枠体1
の外周或いは内周近傍に面状の起立枠を形成し、この起
立枠に前述のアンダーカット部10、突起部11、テー
パー面等を設けて保護フィルム4の拘束手段を構成する
ことも可能である。
【0035】
【発明の効果】本発明に係るペリクルの収納構造は前述
の構成と作用とを有するので、次のような多大な効果を
有している。
の構成と作用とを有するので、次のような多大な効果を
有している。
【0036】本発明では、ペリクルをトレイとフタより
なるケースに収納するに当たって、ペリクルの保護フィ
ルムを所定の拘束手段で該トレイに機械的に固定して構
成したので、ペリクルを輸送する際に振動や衝撃によっ
てペルクルがケースに強く接触することを防止すること
が出来る。
なるケースに収納するに当たって、ペリクルの保護フィ
ルムを所定の拘束手段で該トレイに機械的に固定して構
成したので、ペリクルを輸送する際に振動や衝撃によっ
てペルクルがケースに強く接触することを防止すること
が出来る。
【0037】従って、ペリクルがケースに強くぶつかっ
て擦れが発生してペリクル自体を損傷させたり、或いは
ペリクルとケースとの強い擦れによる小さな塵が発生
し、この塵がペリクルに付着したりすることを防止出来
る。また、本発明では、ペリクルを所定の拘束力でトレ
イに機械的に拘束したので、該トレイよりペリクルを簡
単に取り出すことが出来る。
て擦れが発生してペリクル自体を損傷させたり、或いは
ペリクルとケースとの強い擦れによる小さな塵が発生
し、この塵がペリクルに付着したりすることを防止出来
る。また、本発明では、ペリクルを所定の拘束力でトレ
イに機械的に拘束したので、該トレイよりペリクルを簡
単に取り出すことが出来る。
【0038】前記保護フィルムをトレイに拘束するに当
たっては、収納されたペリクルの枠体の外周或いは内周
の近傍に起立面を設けると共に、この起立面に保護フィ
ルムの周辺縁を拘束し得るアンダーカット、突起部、或
いは傾斜面等を設けて構成したので、全体の構造が簡単
であり、容易かつ安価に実施することが出来る。
たっては、収納されたペリクルの枠体の外周或いは内周
の近傍に起立面を設けると共に、この起立面に保護フィ
ルムの周辺縁を拘束し得るアンダーカット、突起部、或
いは傾斜面等を設けて構成したので、全体の構造が簡単
であり、容易かつ安価に実施することが出来る。
【図1】本発明に係る第1実施例の、ペリクルの収納構
造の平面図である。
造の平面図である。
【図2】図1の収納構造の要部の縦断面説明図である。
【図3】第2実施例のペリクルの収納構造の要部の縦断
面説明図である。
面説明図である。
【図4】第3実施例のペリクルの収納構造の要部の縦断
面説明図である。
面説明図である。
【図5】従来例のペリクルの収納例を示す縦断面説明図
である。
である。
【図6】図5の要部を拡大した状態の縦断面拡大説明図
である。
である。
【図7】図5のペリクルの収納状態を示す要部の平面説
明図である。
明図である。
A ペリクル B ケース 1 枠体 2 ペリク
ル膜 3 粘着材 4 保護フ
ィルム 5 トレイ 6 フタ 7 クリップ 8 ポスト 9 突出部 10 アンダ
ーカット部 11 突起部 51 枠体 52 ペリク
ル膜 53 粘着材 54 保護フ
ィルム 55 トレイ 56 フタ 57 クリップ
ル膜 3 粘着材 4 保護フ
ィルム 5 トレイ 6 フタ 7 クリップ 8 ポスト 9 突出部 10 アンダ
ーカット部 11 突起部 51 枠体 52 ペリク
ル膜 53 粘着材 54 保護フ
ィルム 55 トレイ 56 フタ 57 クリップ
Claims (2)
- 【請求項1】枠体と、該枠体の上縁面に接着されたペリ
クル膜と、該枠体の下縁面に塗着した粘着材と、該粘着
材を保護するために枠体の下縁面に粘着された保護フィ
ルムからなるペリクルを、トレイとフタとよりなるケー
スに収納する構造に於いて、該ケース内に収納された前
記ペリクルの枠体の外周或いは内周近傍のトレイの所定
位置に、ペリクルの保護フィルムを拘束し得る手段を設
けて構成したことを特徴とするペリクルの収納構造。 - 【請求項2】前記ペリクルの保護フィルムの拘束手段
が、前記トレイの上表面に起立された起立面に設けられ
たアンダーカット部、突起部或いは傾斜面であることを
特徴とした請求項1のペリクルの収納構造。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP19553497A JPH1138597A (ja) | 1997-07-22 | 1997-07-22 | ペリクルの収納構造 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP19553497A JPH1138597A (ja) | 1997-07-22 | 1997-07-22 | ペリクルの収納構造 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH1138597A true JPH1138597A (ja) | 1999-02-12 |
Family
ID=16342700
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP19553497A Withdrawn JPH1138597A (ja) | 1997-07-22 | 1997-07-22 | ペリクルの収納構造 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH1138597A (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007047238A (ja) * | 2005-08-08 | 2007-02-22 | Shin Etsu Polymer Co Ltd | ペリクル用収納容器 |
JP2007286483A (ja) * | 2006-04-19 | 2007-11-01 | Shin Etsu Chem Co Ltd | ペリクル収納容器 |
JPWO2006059388A1 (ja) * | 2004-12-02 | 2008-08-07 | 旭化成エレクトロニクス株式会社 | 大型ペリクルの収納方法 |
JP2008257208A (ja) * | 2007-03-13 | 2008-10-23 | Asahi Kasei Electronics Co Ltd | 大型ペリクルの保護フィルム及び大型ペリクルの収納方法 |
-
1997
- 1997-07-22 JP JP19553497A patent/JPH1138597A/ja not_active Withdrawn
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPWO2006059388A1 (ja) * | 2004-12-02 | 2008-08-07 | 旭化成エレクトロニクス株式会社 | 大型ペリクルの収納方法 |
JP2007047238A (ja) * | 2005-08-08 | 2007-02-22 | Shin Etsu Polymer Co Ltd | ペリクル用収納容器 |
JP2007286483A (ja) * | 2006-04-19 | 2007-11-01 | Shin Etsu Chem Co Ltd | ペリクル収納容器 |
JP4649363B2 (ja) * | 2006-04-19 | 2011-03-09 | 信越化学工業株式会社 | ペリクル収納容器 |
JP2008257208A (ja) * | 2007-03-13 | 2008-10-23 | Asahi Kasei Electronics Co Ltd | 大型ペリクルの保護フィルム及び大型ペリクルの収納方法 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20041005 |