JPH1138597A - ペリクルの収納構造 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】従来、ペリクルをトレイとフタとよりなるケー
スに収納し、かつこれ等のトレイとフタとを、ペリクル
に接触させることによってペリクルを拘束し、この状態
でペリクルを輸送した場合には、輸送時の振動や衝撃に
よってペリクルを擦って損傷したり、強い擦れによる塵
が発生してペリクルに付着したりする問題があった。 【解決手段】枠体１と、この枠体１の上縁面に接着され
たペリクル膜２と、該枠体１の下端面に塗着した粘着材
３と、該粘着材３を保護するために枠体１の下端面に粘
着された保護フィルム４とからなるペリクルＡを、トレ
イ５とフタ６とよりなるケースＢに収納する構造に於い
て、ケースＢに収納された前記ペリクルＡの枠体１の外
周或いは内周の近傍のトレイ５の所定位置に８個のポス
ト８を起立し、かつポスト８の起立面に突出部９を突設
して該突出部９の下面とトレイ５の上表面との間に凹み
状のアンダーカット部１０を形成し、このアンダーカッ
ト部１０に保護フィルム４の周辺縁を挿入することによ
ってペリクルＡをトレイ５で拘束するようにした構造で
ある。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、ＬＳＩ等を製造す
る際のリソグラフィー工程で使用されるフォトマスクや
レティクルに異物が付着することを防止するために用い
られるペリクルの収納構造に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来、半導体回路パターン等の製造に於
いては、一般にペリクルと呼ばれる防塵手段を用いて、
フォトマスクやレティクルへの異物の付着を防止するこ
とが行われている（例えば特公昭５４ー２８７１８号公
報）。ペリクルはフォトマスク或いはレティクルの形状
に合わせた形状を有する厚さ数ミリ程度の枠体の上縁面
に、厚さ１０μｍ内外以下のニトロセルロース或いはセ
ルロース誘導体などの透明な高分子膜（以下、ペリクル
膜という）を展張して接着し、かつ該枠体の下縁面に粘
着材を塗着すると共に、この粘着材上に所定の接着力で
保護フィルムを粘着させたものである。

【０００３】前記粘着材は、ペリクルをフォトマスク或
いはレティクルに固着するためのものであり、また、保
護フィルムは該粘着材がその用に供するまで該粘着材の
接着力を維持するために、該粘着材の接着面を保護する
ものである。このペリクルを製造者から使用者に運搬す
るに当たっては、ペリクル膜等に異物が付着するのを防
ぎ、或いはペリクルが損傷するのを防ぐために、該ペリ
クルをトレイとフタとからなるケースに収納し、更に防
塵袋等に収納して運搬するのが一般的である。

【０００４】従来、前述の構造を有するペリクルのケー
スの収納は、図５乃至図７に示すように行われていた。
即ち、図に於いて、ペリクル膜５２は展張（ピンと張っ
た）状態で枠体５１の一方の上縁面に接着され、枠体５
１の他の面（下縁面）には適当な厚さの粘着材５３が設
けられ、さらに粘着材５３の下面には保護フィルム５４
が貼り付けられてペリクルを構成している。このペリク
ルは、トレイ５５の平坦な面である設置面５５ａの上に
保護フィルム５４が接するように置かれる。

【０００５】トレイ５５の設置面５５ａ上に載置された
ペリクルは、トレイ５５に設けられた突起状のポスト５
５ｂによって、左右の動きが拘束され、そしてフタ５６
を上方からかぶせ、クリップ５７によってフタ５６とト
レイ５５との４隅を固定することによってケースに収納
されていた。この結果、前記ペリクルはフタ５６の斜面
５６ａと、ポスト５５ｂと、設置面５５ａとに囲まれて
拘束され、ケースに収納された状態となっていた。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】然るに、前述のように
ペリクルはケースのフタ５６の斜面５６ａ、ポスト５５
ｂ及び設置面５５ａで拘束された収納状態で輸送される
が、輸送時には何らかの振動、衝撃を受けることは避け
ることが出来なかった。従来のペルクルのケース内での
拘束状態において、ペリクルとケースのフタ５６の斜面
５６ａとの間に大きな隙間があると、輸送時の振動、衝
撃によってペリクルがケースのフタ５６にぶつかり、こ
の部分が強い擦れのために摩耗して発塵することがあっ
た。このような場合には、ペリクルを異物のない状態で
使用者に届けるという最も重要な機能を失うことになる
問題があった。

【０００７】一方で、ペリクルとケースとの間の隙間を
なくした場合には、すなわち前記斜面５６ａが前記枠体
５１（或いは前記ペリクル膜５２の端部）と予め接触し
ている場合にも、相互の接触圧力によって斜面５６ａの
内面或いは前記ペリクル膜５２の端部が摩耗し、異物を
発生することが経験上知られている。

【０００８】そこで、かかるペリクルの収納構造に於い
て最も好ましいとされているやり方は、前記ペリクルと
前記ケースのフタ５６の斜面５６ａとの間にごく僅かな
隙間をとるというものである。具体的には前記ペリクル
をトレイ５５の上に置き、フタ５６をかぶせ、クリップ
５７でフタ５６とトレイ５５を相互に固定したとき、斜
面５６ａと枠体１の上端との間に０．１乃至０．３ｍｍ
程度の隙間を設ける構造である。

【０００９】発明者の実験によって、このような隙間の
確保で、ある程度の振動、衝撃に耐えることが確かめら
れている。しかし、この場合にも大きな衝撃を受けた時
には、発塵する問題があった。更に梱包の方法（例えば
衝撃効果の高い軟らかい発泡材等を大量に使用するな
ど）によってケースやペリクルに加わる衝撃を和らげる
手段が必要であり、或いは振動や衝撃の少ない輸送手段
を必要としたり、前述のフタ５６とペリクルとの適度の
隙間を確保するために、トレイ５５やフタ５６の成形を
高い精度で行う必要があるなど、コスト面で非常に好ま
しくない問題があった。しかし、これ等の多くの手段も
原理的に、全く発塵しないことを保証することは極めて
難しいという問題があった。

【００１０】本発明者は前述の従来の問題点を根本的に
改善するために、ペリクルの保護フィルムを所定の接着
力で直接前記トレイに仮着させ、これによってケース内
に収納されたペリクルをケース内に拘束させて、輸送時
の振動や衝撃に充分耐えることが出来るようにした全く
新しい技術を既に開発し、特許出願をしている。（特願
平９ー１８２４５９号）。

【００１１】前述のペリクルをトレイに所定の接着力で
直接仮着する技術は、粘着材或いは接着材を使用するこ
とによってペリクルをトレイに拘束する方法であるが、
本発明はこれ等の粘着材或いは接着材を全く使用するこ
となく、単なる機械的な拘束構造でケース内にペリクル
を拘束することが出来るようにした全く新しいペリクル
の収納構造の技術を提供するものである。

【００１２】本発明は、特にペリクルをケース内に収納
するに当たって、ペリクルが収納されるケースのトレイ
にペリクルの保護フィルムを拘束し得る機械的な拘束手
段を設け、この拘束手段を用いてペリクルを拘束してペ
リクルが動かないようにしたペリクルの収納構造に関す
るものである。

【００１３】

【課題を解決するための手段】本発明に係るペリクルの
収納構造は、前述の従来の問題点を根本的に改善した技
術であって、その第１発明の要旨は、枠体と、該枠体の
上縁面に接着されたペリクル膜と、該枠体の下縁面に塗
着した粘着材と、該粘着材を保護するために枠体の下縁
面に粘着された保護フィルムからなるペリクルを、トレ
イとフタとよりなるケースに収納する構造に於いて、該
ケース内に収納された前記ペリクルの枠体の外周或いは
内周近傍のトレイの所定位置に、ペリクルの保護フィル
ムを拘束し得る手段を設けて構成したことを特徴とする
ペリクルの収納構造である。

【００１４】前記第１発明に係るペリクルの収納構造
は、ケース内に収納したペリクルの枠体の外周或いは内
周近傍のトレイにペリクルの保護フィルムを拘束するこ
とが出来る拘束手段を設けたので、この拘束手段を用い
ることによってケース内のペリクルを保護フィルムを介
して機械的に直接拘束して固定し、これによってペリク
ルを輸送する際に、振動や衝撃によってペリクルが動い
てケースに強くぶつかることを防ぎ、塵が発生すること
を防止することが出来る。

【００１５】本発明に係るペリクルの収納構造の第２発
明の要旨は、前記ペリクルの保護フィルムの拘束手段
が、前記トレイの上表面に起立された起立面に設けられ
たアンダーカット部、突起部或いは傾斜面であることを
特徴とした第１発明のペリクルの収納構造である。

【００１６】前述の第２発明に於いては、ケース内に収
納したペリクルの枠体の外周或いは内周近傍のトレイに
起立したポスト等の起立面にアンダーカット部、突起部
或いは傾斜面を設けて構成したので、ペリクルの保護フ
ィルムをこれ等のアンダーカット部、突起部或いは傾斜
面で簡単かつ確実に拘束することが出来、これによって
ペリクルをケース内で固定することが出来る。

【００１７】前述の本発明のペリクルの収納構造のよう
に、ペリクルの保護フィルムをトレイの一部で拘束する
ことによってペリクルを機械的にトレイ内に固定するこ
とは出来るが、しかし、ケース内に収納されたペリクル
が使用者側に届いた後では、使用者がペリクルをケース
内から容易に取り出すことが出来なくてはならないの
で、ペリクルをトレイに固定するに当たっては、この点
を充分考慮しなければならない。

【００１８】即ち、ペリクルをトレイに固定するに当た
っては、使用者がこのトレイからペリクルを容易に取り
出すことが出来る所定の保持力を持った拘束力で拘束す
る必要がある。従って、トレイ側に設ける拘束手段の形
状、寸法、拘束する部分の角度等と、ペリクル側の保護
フィルムの材質や厚さに基づく柔軟性（あるいは鋼
性）、オーバーハング長さ等とを後述の具体的実施例に
示すように、予め適宜設計して決定することが必要であ
る。

【００１９】

【発明の実施の形態】本発明に係るペリクルの収納構造
の一実施例を図により具体的に説明すると、図１は本発
明に係る第１実施例のペリクルの収納構造の平面図、図
２は図１の収納構造の要部の縦断面説明図、図３は第２
実施例のペリクルの収納構造の要部の縦断面説明図、図
４は第３実施例のペリクルの収納構造の要部の縦断面説
明図である。

【００２０】図１及び図２により本発明に係るペリクル
の収納構造の第１実施例を説明すると次の通りである。
即ち、ペリクルＡは既に詳述したように、枠体１と該枠
体１の上縁面に接着されたペリクル膜２と該枠体１の下
縁面に塗着された粘着材３と、該粘着材３を保護するた
めに粘着材３に粘着された保護フィルム４から構成され
ている。前記実施例に於いては、枠体１の下縁面に粘着
材３を塗着して形成したが、予め層状に形成された粘着
材３を使用する場合には、単に枠体１の下縁面に積層し
て貼着するのみで良い（しかし、本明細書に於いては、
このような場合も含めて単に「塗着する」と総称す
る）。

【００２１】次に、前述のように構成されたペリクル
は、トレイ５とフタ６とよりなるケースＢに収納されて
いる。また、トレイ５とフタ６とのコーナー部にはクリ
ップ７が取付けられており、これ等のクリップ７によっ
てトレイ５からフタ６が外れないように固定されてい
る。

【００２２】８はトレイ５の上表面に起立突設された８
個のポストであって、トレイ５上に載置されたペリクル
Ａの外周近傍に配置されている。また、ポスト８の内側
（ペリクルＡ側）の起立面には夫々突出部９が突設され
ており、これ等突出部９とトレイ５との間には所定の高
さと深さとを持った隙間よりなる凹み状のアンダーカッ
ト部１０が形成されている。この凹み状のアンダーカッ
ト部１０には、前記ペリクルＡの保護フィルム４の周辺
縁が挿入することが出来るように構成されている。

【００２３】前記トレイ５は通常１回の射出成形で成形
されているが、前述のようにポスト８の起立面に突出部
９とこれに続くアンダーカット部１０とを形成する場合
には、一般的な単純な射出成形では成形が困難である
（即ち、トレイ５のアンダーカット部１０が引っ掛かる
ために成形品が金型から抜けなくなるためである）。し
かし、このような突出部９とアンダーカット部１０があ
る場合には、プラスチックの成形業界で良く知られてい
るスライドコア方式を採用することによって、容易に成
形することが出来る。

【００２４】また、前述のスライドコア方式を採用せず
に、若干コスト高にはなるが、トレイ５の主要部分と、
突出部９とアンダーカット部１０とを有するポスト８の
部分とを夫々別に成形しておき、これ等を後から組立て
ることによって構成することも勿論可能である。

【００２５】前記ペリクルＡをトレイ５に収納したり、
或いは取り出す際には、ペリクルＡの保護フィルム４と
トレイ５の突出部９及びアンダーカット部１０とは僅か
ながら擦れ合うが、前述のような組立方式を採用した場
合には、ポスト８の突出部９とアンダーカット部１０と
よりなる拘束体が前記保護フィルム４にダメージを与え
ず、拘束体自身も摩耗しにくいような材質の樹脂（例え
ば高分子量ポリエチレン樹脂等）を選択して拘束体を成
形することも可能である。一方トレイ５の主要部分は成
形時に寸法精度や平面性を得やすく、また十分な構造剛
性を有するような材質の樹脂（例えばＡＢＳ樹脂等）を
選択して成形することが可能である。

【００２６】前述の図１及び図２に示す第１実施例の具
体例を記述すると次の通りである。即ち、第１実施例に
於いては、図に示す如く、トレイ５の上表面に巾２ｍｍ
のポスト８を各面に２個所づつ合計８個起立した。これ
等のポスト８の起立面（（収納したペリクルＡの枠体１
の外周面に対応する面）に突出部９を突設し、この突出
部９とトレイ５の上表面との間に巾約２ｍｍ、深さ約
０．２ｍｍ、高さ約０．３ｍｍの凹み状のアンダーカッ
ト部１０を形成した。

【００２７】一方で、ペリクルＡの保護フィルム４は厚
さ約１００μｍのＰＥＴフィルムを使用し、かつその保
護フィルム４のオーバーハング長さを約１ｍｍとして構
成した。

【００２８】前述のような条件のアンダーカット部１０
よりなる拘束体と保護フィルム４とを組合せ、保護フィ
ルム４の外周縁を夫々８個のポスト８のアンダーカット
部１０に挿入して拘束した所、拘束体の保持力は約１５
０ｇ程度であった。

【００２９】ペリクルＡの重量は約１５ｇであるから、
前記保持力は約１０Ｇの垂直加速度までペリクルＡを保
持することが出来る数値である。従って、輸送時の振動
や衝撃が１０Ｇ以下であるならば、ペリクルＡを収納し
たケースＢに特別の梱包を施す必要がない。また、必要
とする場合には、１０Ｇ以下となるようにケースＢの周
りに緩衝材等を用いれば良い。更に、前述の保持力１５
０ｇは、ペリクルＡをトレイ５から取り出す際の力とし
ては全く問題のない数値である。

【００３０】前記第１実施例に於いては、ペリクルＡの
保護フィルム４を拘束し得るアンダーカット部１０を収
納されたペリクルＡの枠体１の外側に設け、対応する両
側のアンダーカット部１０で雌側のアンダーカット（入
口の巾よりも奥の巾の方が広い）を形成することが出来
るようにしたが、図３に示す第２実施例のように、アン
ダーカット部１０を有するポスト８枠体１の内側に設
け、対応する両側のアンダーカット部で雄側のアンダー
カットを形成することが出来る。

【００３１】前記第１実施例に於いては、ペリクルＡの
保護フィルム４の外周縁をポスト８のアンダーカット部
１０に挿入することによってペリクルＡをトレイ５に機
械的に拘束したが、前述の第２実施例の場合は、保護フ
ィルム４の内周縁をアンダーカット部１０に挿入するこ
とによってペリクルＡをトレイ５に拘束することが出来
る。

【００３２】前述のように起立面にアンダーカット部１
０を形成するに当たっては、保護フルム４が容易に着脱
でき、かつ所定の保持力で確実に保持することが出来る
ように、その寸法だけでなく、形状（主に断面形状）に
も充分考慮して適宜設計すべきである。特に、入口部を
やや広くしたテーパー形状等にすることが好ましい例で
ある。

【００３３】前記第１実施例及び第２実施例に於いて
は、ポスト８の下部に該ポスト８の巾とほぼ等しい凹状
の比較的深さの大きいアンダーカット部１０を意図的に
設けて構成したが、図４の第３実施例に示す如く、ポス
ト８の起立面の下部に小さな半円状の突起部１１を突設
し、この突起部１１の下面とトレイ５の上表面との隙間
にペリクルＡの保護フィルム４を挿入してペリクルＡを
トレイ５に固定することも可能である。

【００３４】前記実施例に於いては、ペルクルＡの保護
フィルム４を拘束するに当たって、アンダーカット部１
０或いは突起部１１をポスト８の起立面に設けることに
よって実施したが、ポスト８の起立面に所定の傾斜面
（テーパー面）を設けることによって保護フィルム４を
拘束することも可能である。また、前述のように複数個
のポスト８を設けずに、収納されたペルクルＡの枠体１
の外周或いは内周近傍に面状の起立枠を形成し、この起
立枠に前述のアンダーカット部１０、突起部１１、テー
パー面等を設けて保護フィルム４の拘束手段を構成する
ことも可能である。

【００３５】

【発明の効果】本発明に係るペリクルの収納構造は前述
の構成と作用とを有するので、次のような多大な効果を
有している。

【００３６】本発明では、ペリクルをトレイとフタより
なるケースに収納するに当たって、ペリクルの保護フィ
ルムを所定の拘束手段で該トレイに機械的に固定して構
成したので、ペリクルを輸送する際に振動や衝撃によっ
てペルクルがケースに強く接触することを防止すること
が出来る。

【００３７】従って、ペリクルがケースに強くぶつかっ
て擦れが発生してペリクル自体を損傷させたり、或いは
ペリクルとケースとの強い擦れによる小さな塵が発生
し、この塵がペリクルに付着したりすることを防止出来
る。また、本発明では、ペリクルを所定の拘束力でトレ
イに機械的に拘束したので、該トレイよりペリクルを簡
単に取り出すことが出来る。

【００３８】前記保護フィルムをトレイに拘束するに当
たっては、収納されたペリクルの枠体の外周或いは内周
の近傍に起立面を設けると共に、この起立面に保護フィ
ルムの周辺縁を拘束し得るアンダーカット、突起部、或
いは傾斜面等を設けて構成したので、全体の構造が簡単
であり、容易かつ安価に実施することが出来る。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る第１実施例の、ペリクルの収納構
造の平面図である。

【図２】図１の収納構造の要部の縦断面説明図である。

【図３】第２実施例のペリクルの収納構造の要部の縦断
面説明図である。

【図４】第３実施例のペリクルの収納構造の要部の縦断
面説明図である。

【図５】従来例のペリクルの収納例を示す縦断面説明図
である。

【図６】図５の要部を拡大した状態の縦断面拡大説明図
である。

【図７】図５のペリクルの収納状態を示す要部の平面説
明図である。

【符号の説明】

Ａ ペリクル Ｂ ケース １ 枠体 ２ ペリク
ル膜 ３ 粘着材 ４ 保護フ
ィルム ５ トレイ ６ フタ ７ クリップ ８ ポスト ９ 突出部 10 アンダ
ーカット部 11 突起部 51 枠体 52 ペリク
ル膜 53 粘着材 54 保護フ
ィルム 55 トレイ 56 フタ 57 クリップ

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】枠体と、該枠体の上縁面に接着されたペリ
   クル膜と、該枠体の下縁面に塗着した粘着材と、該粘着
   材を保護するために枠体の下縁面に粘着された保護フィ
   ルムからなるペリクルを、トレイとフタとよりなるケー
   スに収納する構造に於いて、該ケース内に収納された前
   記ペリクルの枠体の外周或いは内周近傍のトレイの所定
   位置に、ペリクルの保護フィルムを拘束し得る手段を設
   けて構成したことを特徴とするペリクルの収納構造。
2. 【請求項２】前記ペリクルの保護フィルムの拘束手段
   が、前記トレイの上表面に起立された起立面に設けられ
   たアンダーカット部、突起部或いは傾斜面であることを
   特徴とした請求項１のペリクルの収納構造。