JP4497845B2 - 大型ペリクルの収納方法 - Google Patents
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ＬＳＩ等を製造する際のリソグラフィー工程で使用されるフォトマスクやレティクルに異物が付着することを防止するために用いられるペリクルの面積が１０００ｃｍ２以上の大型ペリクルを、トレイと蓋とよりなるケースに安定した状態で収納することが出来る大型ペリクルの収納方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来、半導体回路パターン等の製造に於ては、後述の特許文献１に記載されているように、一般にペリクルと呼ばれる防塵手段を用いて、フォトマスクやレティクルへの異物の付着を防止することが行われている。ペリクルはフォトマスク或はレティクルの形状に合わせた形状を有する厚さ数ミリ程度の枠体の上縁面に、厚さ１０μｍ内外以下のニトロセルロース或はセルロース誘導体などの透明な高分子膜（以下、ペリクル膜という）を展張して接着し、かつ該枠体の下縁面に粘着材を塗着すると共に、この粘着材上に所定の接着力で保護フィルムを粘着させたものである。
【０００３】
前記粘着材は、ペリクルをフォトマスク或はレティクルに固着するためのものであり、また、保護フィルムは該粘着材がその用に供するまで該粘着材の接着力を維持するために、該粘着材の接着面を保護するものである。このペリクルを製造者から使用者に運搬するに当たっては、ペリクル膜等に異物が付着するのを防ぎ、或はペリクルが損傷するのを防ぐために、該ペリクルをトレイと蓋とからなるケースに収納し、更に防塵袋等に収納して運搬するのが一般的である。
【０００４】
本発明のように、面積が１０００ｃｍ２以上の大型ペリクルを収納するトレイと蓋とよりなるケースは、通常真空成形法によって成形されており、かつ大型ペリクルは、トレイに設置された後で蓋を被蓋することによってケースに収納されていた。そして前述のケースの製造に当たっては、ケース内に収納された大型ペリクルの枠体と蓋との間隔を０ｍｍ以上で１ｍｍ以下の範囲になるように計画的に設計製造し、この部分で蓋が大型ペリクルを抑え、輸送中等の振動によって大型ペリクルがケース内で動いて擦れたりして発塵することを防止していた。
【０００５】
しかし、面積が１０００ｃｍ２以上のペリクルを収納する大型のケースでは、次のような問題があった。即ち、大型のケースを製造するに当たっては、ペリクルとケースのクリアランスの問題、或はケースの平坦性が要求を満たすことが困難である等の問題があるために、大型ペリクルの全周とケースの蓋との間隔を０ｍｍ以上１ｍｍ以下に正確に抑えることが出来ず、そのために従来の設計思想を満たすための成形精度を保ちながら製造することが困難となっていた。
【０００６】
従って、従来の設計思想で製造した大型ケースの中に大型ペリクルを収納した場合に、大型ペリクルと蓋との間隔が０ｍｍで蓋が大型ペリクルに接している時には、蓋が大型ペリクルの枠体を押圧しているので、大型ペリクルの輸送時等に両者間に擦れが生じて発塵して大型ペリクルに異物が付着する問題があった。
【０００７】
また、大型ペリクルと蓋との間隔が１ｍｍ以上になった場合には、大型ペリクルを蓋で押えて安定させることが出来ず、輸送時に大型ペリクルがケース内で移動或は振動し、ケースと大型ペリクルとの間に擦れが発生して発塵し、大型ペリクルに異物が付着する問題があった。
【０００８】
前述の多くの問題を解決すべく、本件特許出願人は、既に後述の特許文献２、特許文献３或は特許文献４に例示するような発明を完成し、特許出願している。
【０００９】
後記特許文献２に記載された技術は、ペリクル収納ケースのトレイ表面に突出部を起立突設すると共に、この突出部の側面にアンダーカット部を設け、このアンダーカット部の中にペリクルの保護フィルムを挿入することによって、トレイ上に載置したペリクルを保持固定する技術である。また、特許文献３に記載された技術は、ペリクルの保護フィルムの下面に所定の粘着力を有する粘着材を塗着しておき、ペリクルをトレイ上に搭載した際に、保護フィルムをトレイに粘着することによって、ペリクルをトレイに保持固定する技術である。
【００１０】
さらに、特許文献４に記載された技術は、ケースの蓋の天井面より棒状の押圧体を吊下げ、該蓋をトレイに被蓋した際に、トレイ上に搭載されているペリクルの保護フィルムを該押圧体で上方から押圧して、ペリクルをトレイに保持固定する技術である。
【００１１】
【特許文献１】
特公昭５４−２８７１８号公報
【特許文献２】
特開平１１−３８５９７号公報
【特許文献３】
特開平１１−２４２３８号公報
【特許文献４】
特開平１１−５２５５３号公報
【００１２】
【発明が解決しようとする課題】
前述の特許文献２乃至特許文献４に記載された発明は、従来一般的に使用されていた５インチや６インチの半導体用のペリクルを収納するケースには極めて有効であるが、これ等の発明に本発明が対象とするペリクルの面積が１０００ｃｍ２以上の大型ペリクルを収納するケースに応用した場合には、後述の通りの弱冠の問題があった。
【００１３】
特許文献２の技術に於ては、コストが安く製造が容易な真空成形方法を用いて、トレイの表面に起立突設した突出部の側面に比較的深いアンダーカット部を設けることは、充分な成形精度を得ることが困難である問題があった。また、射出成形方法を用いてトレイを成形する場合には、成形精度が良いので成形は可能であるが、本発明の対象とする１０００ｃｍ２以上の大型ペリクルを射出成形方法で成形する場合には、極めて大型の成形桟を必要とするのでコスト高になり実用的でないと共に、トレイの寸法が非常に大きいので、成形歪みが発生し、突出部の側面に狭く深いアンダーカット部を精度良く設けることは困難であった。
【００１４】
特許文献３の技術に於ては、ペリクルの保護フィルムの下面に粘着材を塗着して保護フィルムをトレイの表面に貼着する方法は、半導体用ペリクルのケースのように小さなサイズのものは有効であるが、本発明のように大型ペリクルを収納する大型のケースに於ては、必ずしも成形精度が完全でないために、トレイのペリクル搭載個所に反りが生ずることがあった。そのためにトレイの反りによる歪みが保護フィルムに転写して保護フィルムの歪みとなったり、或は粘着材から保護フィルムの一部が剥離したりして粘着材の粘着力が低下し、これ等が原因となってペリクルをフォトマスクに均一に貼り付けることが困難となる問題があった。
【００１５】
特許文献４の技術に於ては、ケースの蓋の天井面より吊下げられた押圧体でトレイに搭載されたペリクルの保護フィルムを押圧してペリクルを保持固定する方法であるが、この技術の場合にも、半導体ペリクル収納ケースのように、５、６インチの小さいサイズのケースの場合には成形精度を維持することは出来るが、前述のように本発明の対象とする大型ペリクルを収納する大型ケースに於ては、成形精度が充分でない上に、成形したケースに反りが発生するので、ケースに蓋を被蓋した場合に、蓋側に設けた押圧体がペリクルの保護フィルムを正確かつ確実に押圧して保持固定することが困難である問題があった。
【００１６】
本発明に係る大型ペリクルの収納方法は、前述の多くの問題点に鑑み開発された全く新しい技術であって、特に、大型ペリクルの保護フィルムの外周縁の一部或は全部を外側に突出させて押え代を形成し、トレイにペリクルを搭載した際に、この押え代を粘着テープでトレイの表面に貼着してペリクルをトレイに確実に保持固定する方法を提供するものである。
【００１７】
【課題を解決するための手段】
本発明に係る大型ペリクルの収納方法は前述の問題点を根本的に解決した技術であって、その第１発明の要旨は、枠体と、該枠体の上縁面に接着されたペリクル膜と、該枠体の下縁面に塗着した粘着材と、該粘着材を保護するために枠体の下面に粘着された保護フィルムからなるペリクルの面積が１０００ｃｍ ２ 以上の大型ペリクルをトレイと蓋とよりなるケースに収納する方法に於て、前記大型ペリクルの保護フィルムの外周縁の一部或は全部を外側に突出させて押え代を形成し、かつ該押え代を粘着テープを介して該トレイ上面に固定して大型ペリクルをケース内に収納することを特徴とした大型ペリクルの収納方法である。
【００１８】
前述の第１発明に於ては、ペリクルの保護フィルムの外周縁の一部或は全部を外側に突出させて押え代を形成したので、ペリクルをトレイ上に搭載した際には、ペリクルの外枠の外側に突出した前記押え代をトレイの表面上に重ねることが出来る。かつ、本発明に於ては、この押え代を粘着テープを介してトレイに粘着させるので、極めて簡単な作業でペリクルをトレイに安定した状態で確実に保持固定させることが出来る。
【００１９】
さらに、本発明に於ては、大型ペリクルの保護フィルムを柔軟性に富む粘着テープを介してトレイに貼着するので、仮にトレイの成形精度が充分でなかった場合や、或はトレイに反りが生じている場合にも、何ら影響されることなく、大型ペリクルをトレイに正確かつ確実に保持固定することが出来る。
【００２０】
本発明に係る大型ペリクルの収納方法の第２発明の要旨は、前記保護フィルムの押え代の巾を６ｍｍ以上、長さを２０ｍｍ以上に形成したことを特徴とした第１発明の大型ペリクルの収納方法である。
【００２１】
前述の第２発明に於ては、大型ペリクルの保護フィルムに設ける押え代の寸法を、巾６ｍｍ以上、長さ２０ｍｍ以上に形成したので、大型ペリクルをトレイに搭載した際に、この押え代をトレイの表面に巾広く重ねることが出来、かつ粘着テープを介して押え代をトレイの表面に安定して確実に保持固定することが出来る。
【００２２】
本発明に係る大型ペリクルの収納方法の第３発明の要旨は、前記ケースのトレイに搭載された大型ペリクルの枠体と該トレイに被蓋された蓋との間に少なくとも１ｍｍ以上の間隔を設けて収納したことを特徴とした第１発明或は第２発明の大型ペリクルの収納方法である。
【００２３】
前述の第３発明に於ては、ケースのトレイに搭載された大型ペリクルの枠体とこのトレイに被蓋された蓋との間に、少なくとも１ｍｍ以上の間隔を設けて収納したので、大型ペリクルを輸送した場合にも、振動等によって大型ペリクルが蓋と接触して擦れたりする心配がない。また、大型ペリクルは、前述のように粘着テープを介して安定した状態でトレイに保持固定されているので、蓋で大型ペリクルを押える必要がなく、従って、ケースの設計を容易にすると共に、ケースの成形精度や歪みの問題も全て解決することが出来る。
【００２４】
【発明の実施の形態】
図により本発明に係る大型ペリクルの収納方法の一実施例を具体的に説明すると、図１は本発明に係る大型ペリクルの収納方法の縦断面説明図、図２は図１の大型ペリクルの収納方法の要部の拡大説明図、図３は図１の大型ペリクルの収納方法に用いられる大型ペリクル用保護フィルムの平面図、図４も図３と同様に図１の大型ペリクルの収納方法に用いられる大型ペリクル用保護フィルムの平面図である。
【００２５】
図１及び図２（ａ）、（ｂ）に於て、Ａは大型ペリクルであって、既に詳述したようにペリクル面積が１０００ｃｍ２以上の大型ペリクルであり、枠体１と、該枠体１の上縁面に接着剤２を介して接着されたペリクル膜３と、前記枠体の下縁面に塗着された粘着材４と、該粘着材４を保護するために粘着材４に粘着された保護フィルム５から構成されている。
【００２６】
前記実施例に於ては、枠体１の下縁面に粘着材４を塗着して形成したが、予め粘着材４と保護フィルム５が層状に形成された層状粘着材を使用する場合には、単に枠体１の下縁面に層状粘着材を積層して粘着するのみで良い（しかし、本明細書に於ては、このような場合も含めて単に「塗着する」と総称する）。次に、前述のように構成された大型ペリクルＡは、トレイ６と蓋７とよりなるケースＢに収納されている。また、トレイ６と蓋７とのコーナー部にはクリップ８が取付けられており、これ等のクリップ８によってトレイ６から蓋７が外れないように固定されている。
【００２７】
前記大型ペリクルＡの保護フィルム５の外周縁の外側には後述の粘着テープによってトレイ６の表面に粘着固定される押え代５ａが突設されている。この押え代５ａの寸法は、本発明者等が種々の実験を重ねた結果、その巾Ｗが６ｍｍ以上で、長さＬが２０ｍｍ以上であることが望ましいことが明らかとなった。このような寸法を持った押え代５ａは粘着テープ９を介してトレイ６の表面に安定した状態で容易に粘着固定することが出来た。
【００２８】
本発明の収納方法を実施するに当っては、前述の図１及び図２に示す如く、ケースＢのトレイ６の中央部に大型ペリクルＡを搭載し、かつ大型ペリクルＡの枠体１の外方に突出している保護フィルム５の押え代５ａを、所定の長さの粘着テープ９を用いてトレイ６の表面に粘着することによって、大型ペリクルＡをトレイ６の中央部に極めて安定した状態で簡単かつ確実に保持固定することが出来る。
【００２９】
本発明に係る収納方法に於ては、前述のように、大型ペリクルＡの枠体１の外方に突出する保護フィルム５の柔軟性を有する押え代５ａを柔軟性に富む粘着テープ９を介してケースＢのトレイ６の表面に粘着固定するので、仮にケースＢのトレイ６の成形精度が充分でなく、或はトレイ６に反りが生じていても、これ等の問題に関係なく、大型ペリクルＡをトレイ６に安定した状態で簡単に固定することが出来る。
【００３０】
さらに、本発明の収納方法に於ては、ケースＢのトレイ６に大型ペリクルＡを安定した状態で確実に保持固定することが出来るので、ケースＢの蓋７で大型ペリクルＡを押える必要がなく、そのために、蓋７と大型ペリクルＡの枠体１との間隔Ｄを１ｍｍ以上にすることが出来る。従って、大型ペリクルＡと蓋７とは充分な間隔を有しているので、輸送時等の振動によって大型ペリクルＡと蓋とが擦れることがなく、発塵の問題が発生する心配がない。
【００３１】
前述の大型ペリクルＡの保護フィルム５に押え代５ａを設けるに当っては、例えば図３（ａ）〜（ｄ）、或は図４（ａ）〜（ｄ）に示す如く、保護フィルム５の外縁の外側に巾Ｗが６ｍｍ以上で、長さＬが２０ｍｍ以上の押え代５ａを突設して構成することが出来る。
【００３２】
即ち、図３（ａ）の場合には、大型ペリクルＡの中央抜きされた保護フィルム５の長辺の外側中央に押え代５ａを設けた構造であり、同図（ｂ）の場合は、中央抜きされた保護フィルム５の短辺の外側中央に押え代５ａを設けた構造である。同図（ｃ）の場合は、中央抜きされた保護フィルム５の長辺と短辺との夫々の外側中央に押え代５ａを設けた構造であり、かつ同図（ｄ）の場合は、中央抜きされない保護フィルム５の長辺と短辺との夫々の外側中央に押え代５ａを設けた構造である。
【００３３】
図４（ａ）の場合は、中央抜きされた保護フィルム５の長辺の外側中央と短辺の外側のほぼ全長に亘って押え代５ａを設けた構造であり、同図（ｂ）の場合は、中央抜きされた保護フィルム５の長辺の外側のほぼ全長と短辺の中央に夫々押え代５ａを設けた構造である。また、同図（ｃ）の場合には、中央抜きされた保護フィルム５の長辺及び短辺の夫々の全長に亘って押え代５ａが連続して設けられている。同図（ｄ）の場合には、中央抜きされない保護フィルム５の長辺及び短辺の夫々の全長に亘って押え代５ａが連続して設けられた構造である。
【００３４】
本発明者は、前述のような構成を有する本発明の大型ペリクルの収納方法を用いて実験をした結果、次のような実施例に示すような好結果が得られた。
【００３５】
【実施例１】
外形寸法が４２７ｍｍ×２９４ｍｍであり、保護フィルム５の長辺及び短辺の中央部に夫々寸法がＷ１０ｍｍ×Ｌ１００ｍｍの押え代５ａを設けた大型ペリクルＡを、ＡＢＳ樹脂材で真空成形されたケースＢのトレイ６の上に搭載し、前記押え代５ａを粘着テープ９を介してトレイ６に粘着固定した後で、該トレイ６上に蓋７を被蓋し、これ等のトレイ６と蓋７とのコーナー部にクリップ８を取付けて両者を固定した。この際、大型ペリクルＡの枠体１と蓋７との間隔Ｄを３．６ｍｍに保つようにした。この状態で大型ペリクルＡを長距離輸送テストした結果、大型ペリクルＡとケースＢとの間には擦れは認められなかった。また、大型ペリクルＡは最初に搭載されたままの状態で保持固定されていた。
【００３６】
【実施例２】
外形寸法が９０４．５ｍｍ×７５０ｍｍ、保護フィルム５の長辺及び短辺の中央部に夫々寸法がＷ１０ｍｍ×Ｌ１００ｍｍの押え代５ａを設けた大型ペリクルＡを、前記実施例１と全く同一の条件で輸送テストを行った結果、大型ペリクルＡとケースＢとの間には擦れは認められず、かつ大型ペリクルＡは最初の搭載時と同様に、トレイ６上に安定した状態で保持固定されていた。
【００３７】
【比較例１】
外形寸法が４２７ｍｍ×２９４ｍｍの大型ペリクルＡを、ＡＢＳ樹脂材を真空成形で成形したトレイ６上に、そのまま（粘着テープ９を使用せずに）搭載し、トレイ６に蓋７を被蓋してクリップ８で固定し、蓋７と大型ペリクルＡの枠体１との間隔Ｄを０．５ｍｍに保った状態にし、前記実施例１と同一の条件で輸送テストをした結果、大型ペリクルＡと蓋７との間に擦れの形跡が認められ、かつ大型ペリクルＡのペリクル膜３の一部に細かい塵が付着しているのが認められた。
【００３８】
【比較例２】
外形寸法が４２７ｍｍ×２９４ｍｍの大型ペリクルＡを、比較例１と同様に、トレイ６上にそのまま搭載し、トレイ６に被蓋した蓋７と大型ペリクルＡの枠体１との間隔Ｄを３．６ｍｍにした状態で、実施例１と同一の条件で輸送テストをした結果、大型ペリクルＡと蓋７との間に擦れが生じた形跡が認められた。また、大型ペリクルＡの枠体１の周りに細かい塵の付着が認められた。
【００３９】
前記粘着テープ９には、特に指定は無いが、例えば基材にはポリエチレン、ポリプロピレン、ポリエチレンテレフタレート、ポリ塩化ビニルや不織布などが使用出来る。また、糊にはアクリル系のものやポリビニルアルコール等を使用することが出来る。また、使用するテープにはアウトガスの発生量が少ないものが好ましい。
【００４０】
【発明の効果】
本発明に係る大型ペリクルの収納方法に於ては、ペリクルの保護フィルムの外周縁の一部或は全部を外側に突出させて押え代を形成したので、ペリクルをトレイ上に搭載した際には、ペリクルの外枠の外側に突出した前記押え代をトレイの表面上に重ねることが出来る効果を有している。かつ、本発明に於ては、この押え代を粘着テープを介してトレイに粘着させるので、極めて簡単な作業でペリクルをトレイに安定した状態で確実に保持固定させることが出来る効果も有している。
【００４１】
さらに、ペリクルの保護フィルムの柔軟性を有する押え代を柔軟性に富む粘着テープを介してトレイに貼着するので、仮にトレイの成形精度が充分でなかった場合や、或はトレイに反りが生じている場合にも、何ら影響されることなく、ペリクルをトレイに正確かつ確実に保持固定することが出来る効果がある。
【００４２】
また本発明に於いて、ペリクルの保護フィルムに設ける押え代の寸法を、巾６ｍｍ以上、長さ２０ｍｍ以上に形成した場合には、ペリクルをトレイに搭載した際に、この押え代をトレイの表面に巾広く重ねることが出来る効果を有し、かつ粘着テープを介して押え代をトレイの表面に安定して確実に保持固定することが出来る効果も有している。
【００４３】
また本発明に於いて、ケースのトレイに搭載された大型ペリクルの枠体とこのトレイに被蓋された蓋との間に、少なくとも１ｍｍ以上の間隔を設けて収納した場合には、大型ペリクルを輸送した場合にも、振動等によって大型ペリクルが蓋と接触して擦れたりする心配がない。また、大型ペリクルは、前述のように粘着テープを介して安定した状態でトレイに保持固定した場合には、蓋で大型ペリクルを押える必要がなく、従って、ケースの設計を容易にすると共に、ケースの成形精度や歪みの問題も全て解決することが出来る効果を有している。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る大型ペリクルの収納方法の縦断面説明図である。
【図２】図１の大型ペリクルの収納方法の要部の拡大説明図である。
【図３】図１の大型ペリクルの収納方法に用いられる大型ペリクル用保護フィルムの平面図である。
【図４】図１の大型ペリクルの収納方法に用いられる大型ペリクル用保護フィルムの平面図である。
【符号の説明】
１ …枠体
２ …接着剤
３ …ペリクル膜
４ …粘着材
５ …保護フィルム
５ａ …押え代
６ …トレイ
７ …蓋
８ …クリップ
９ …粘着テープ
Ａ …大型ペリクル
Ｂ …ケース
Ｄ …蓋と大型ペリクルの枠体との間隔
Ｌ …長さ
Ｗ …巾
【発明の属する技術分野】
本発明は、ＬＳＩ等を製造する際のリソグラフィー工程で使用されるフォトマスクやレティクルに異物が付着することを防止するために用いられるペリクルの面積が１０００ｃｍ２以上の大型ペリクルを、トレイと蓋とよりなるケースに安定した状態で収納することが出来る大型ペリクルの収納方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来、半導体回路パターン等の製造に於ては、後述の特許文献１に記載されているように、一般にペリクルと呼ばれる防塵手段を用いて、フォトマスクやレティクルへの異物の付着を防止することが行われている。ペリクルはフォトマスク或はレティクルの形状に合わせた形状を有する厚さ数ミリ程度の枠体の上縁面に、厚さ１０μｍ内外以下のニトロセルロース或はセルロース誘導体などの透明な高分子膜（以下、ペリクル膜という）を展張して接着し、かつ該枠体の下縁面に粘着材を塗着すると共に、この粘着材上に所定の接着力で保護フィルムを粘着させたものである。
【０００３】
前記粘着材は、ペリクルをフォトマスク或はレティクルに固着するためのものであり、また、保護フィルムは該粘着材がその用に供するまで該粘着材の接着力を維持するために、該粘着材の接着面を保護するものである。このペリクルを製造者から使用者に運搬するに当たっては、ペリクル膜等に異物が付着するのを防ぎ、或はペリクルが損傷するのを防ぐために、該ペリクルをトレイと蓋とからなるケースに収納し、更に防塵袋等に収納して運搬するのが一般的である。
【０００４】
本発明のように、面積が１０００ｃｍ２以上の大型ペリクルを収納するトレイと蓋とよりなるケースは、通常真空成形法によって成形されており、かつ大型ペリクルは、トレイに設置された後で蓋を被蓋することによってケースに収納されていた。そして前述のケースの製造に当たっては、ケース内に収納された大型ペリクルの枠体と蓋との間隔を０ｍｍ以上で１ｍｍ以下の範囲になるように計画的に設計製造し、この部分で蓋が大型ペリクルを抑え、輸送中等の振動によって大型ペリクルがケース内で動いて擦れたりして発塵することを防止していた。
【０００５】
しかし、面積が１０００ｃｍ２以上のペリクルを収納する大型のケースでは、次のような問題があった。即ち、大型のケースを製造するに当たっては、ペリクルとケースのクリアランスの問題、或はケースの平坦性が要求を満たすことが困難である等の問題があるために、大型ペリクルの全周とケースの蓋との間隔を０ｍｍ以上１ｍｍ以下に正確に抑えることが出来ず、そのために従来の設計思想を満たすための成形精度を保ちながら製造することが困難となっていた。
【０００６】
従って、従来の設計思想で製造した大型ケースの中に大型ペリクルを収納した場合に、大型ペリクルと蓋との間隔が０ｍｍで蓋が大型ペリクルに接している時には、蓋が大型ペリクルの枠体を押圧しているので、大型ペリクルの輸送時等に両者間に擦れが生じて発塵して大型ペリクルに異物が付着する問題があった。
【０００７】
また、大型ペリクルと蓋との間隔が１ｍｍ以上になった場合には、大型ペリクルを蓋で押えて安定させることが出来ず、輸送時に大型ペリクルがケース内で移動或は振動し、ケースと大型ペリクルとの間に擦れが発生して発塵し、大型ペリクルに異物が付着する問題があった。
【０００８】
前述の多くの問題を解決すべく、本件特許出願人は、既に後述の特許文献２、特許文献３或は特許文献４に例示するような発明を完成し、特許出願している。
【０００９】
後記特許文献２に記載された技術は、ペリクル収納ケースのトレイ表面に突出部を起立突設すると共に、この突出部の側面にアンダーカット部を設け、このアンダーカット部の中にペリクルの保護フィルムを挿入することによって、トレイ上に載置したペリクルを保持固定する技術である。また、特許文献３に記載された技術は、ペリクルの保護フィルムの下面に所定の粘着力を有する粘着材を塗着しておき、ペリクルをトレイ上に搭載した際に、保護フィルムをトレイに粘着することによって、ペリクルをトレイに保持固定する技術である。
【００１０】
さらに、特許文献４に記載された技術は、ケースの蓋の天井面より棒状の押圧体を吊下げ、該蓋をトレイに被蓋した際に、トレイ上に搭載されているペリクルの保護フィルムを該押圧体で上方から押圧して、ペリクルをトレイに保持固定する技術である。
【００１１】
【特許文献１】
特公昭５４−２８７１８号公報
【特許文献２】
特開平１１−３８５９７号公報
【特許文献３】
特開平１１−２４２３８号公報
【特許文献４】
特開平１１−５２５５３号公報
【００１２】
【発明が解決しようとする課題】
前述の特許文献２乃至特許文献４に記載された発明は、従来一般的に使用されていた５インチや６インチの半導体用のペリクルを収納するケースには極めて有効であるが、これ等の発明に本発明が対象とするペリクルの面積が１０００ｃｍ２以上の大型ペリクルを収納するケースに応用した場合には、後述の通りの弱冠の問題があった。
【００１３】
特許文献２の技術に於ては、コストが安く製造が容易な真空成形方法を用いて、トレイの表面に起立突設した突出部の側面に比較的深いアンダーカット部を設けることは、充分な成形精度を得ることが困難である問題があった。また、射出成形方法を用いてトレイを成形する場合には、成形精度が良いので成形は可能であるが、本発明の対象とする１０００ｃｍ２以上の大型ペリクルを射出成形方法で成形する場合には、極めて大型の成形桟を必要とするのでコスト高になり実用的でないと共に、トレイの寸法が非常に大きいので、成形歪みが発生し、突出部の側面に狭く深いアンダーカット部を精度良く設けることは困難であった。
【００１４】
特許文献３の技術に於ては、ペリクルの保護フィルムの下面に粘着材を塗着して保護フィルムをトレイの表面に貼着する方法は、半導体用ペリクルのケースのように小さなサイズのものは有効であるが、本発明のように大型ペリクルを収納する大型のケースに於ては、必ずしも成形精度が完全でないために、トレイのペリクル搭載個所に反りが生ずることがあった。そのためにトレイの反りによる歪みが保護フィルムに転写して保護フィルムの歪みとなったり、或は粘着材から保護フィルムの一部が剥離したりして粘着材の粘着力が低下し、これ等が原因となってペリクルをフォトマスクに均一に貼り付けることが困難となる問題があった。
【００１５】
特許文献４の技術に於ては、ケースの蓋の天井面より吊下げられた押圧体でトレイに搭載されたペリクルの保護フィルムを押圧してペリクルを保持固定する方法であるが、この技術の場合にも、半導体ペリクル収納ケースのように、５、６インチの小さいサイズのケースの場合には成形精度を維持することは出来るが、前述のように本発明の対象とする大型ペリクルを収納する大型ケースに於ては、成形精度が充分でない上に、成形したケースに反りが発生するので、ケースに蓋を被蓋した場合に、蓋側に設けた押圧体がペリクルの保護フィルムを正確かつ確実に押圧して保持固定することが困難である問題があった。
【００１６】
本発明に係る大型ペリクルの収納方法は、前述の多くの問題点に鑑み開発された全く新しい技術であって、特に、大型ペリクルの保護フィルムの外周縁の一部或は全部を外側に突出させて押え代を形成し、トレイにペリクルを搭載した際に、この押え代を粘着テープでトレイの表面に貼着してペリクルをトレイに確実に保持固定する方法を提供するものである。
【００１７】
【課題を解決するための手段】
本発明に係る大型ペリクルの収納方法は前述の問題点を根本的に解決した技術であって、その第１発明の要旨は、枠体と、該枠体の上縁面に接着されたペリクル膜と、該枠体の下縁面に塗着した粘着材と、該粘着材を保護するために枠体の下面に粘着された保護フィルムからなるペリクルの面積が１０００ｃｍ ２ 以上の大型ペリクルをトレイと蓋とよりなるケースに収納する方法に於て、前記大型ペリクルの保護フィルムの外周縁の一部或は全部を外側に突出させて押え代を形成し、かつ該押え代を粘着テープを介して該トレイ上面に固定して大型ペリクルをケース内に収納することを特徴とした大型ペリクルの収納方法である。
【００１８】
前述の第１発明に於ては、ペリクルの保護フィルムの外周縁の一部或は全部を外側に突出させて押え代を形成したので、ペリクルをトレイ上に搭載した際には、ペリクルの外枠の外側に突出した前記押え代をトレイの表面上に重ねることが出来る。かつ、本発明に於ては、この押え代を粘着テープを介してトレイに粘着させるので、極めて簡単な作業でペリクルをトレイに安定した状態で確実に保持固定させることが出来る。
【００１９】
さらに、本発明に於ては、大型ペリクルの保護フィルムを柔軟性に富む粘着テープを介してトレイに貼着するので、仮にトレイの成形精度が充分でなかった場合や、或はトレイに反りが生じている場合にも、何ら影響されることなく、大型ペリクルをトレイに正確かつ確実に保持固定することが出来る。
【００２０】
本発明に係る大型ペリクルの収納方法の第２発明の要旨は、前記保護フィルムの押え代の巾を６ｍｍ以上、長さを２０ｍｍ以上に形成したことを特徴とした第１発明の大型ペリクルの収納方法である。
【００２１】
前述の第２発明に於ては、大型ペリクルの保護フィルムに設ける押え代の寸法を、巾６ｍｍ以上、長さ２０ｍｍ以上に形成したので、大型ペリクルをトレイに搭載した際に、この押え代をトレイの表面に巾広く重ねることが出来、かつ粘着テープを介して押え代をトレイの表面に安定して確実に保持固定することが出来る。
【００２２】
本発明に係る大型ペリクルの収納方法の第３発明の要旨は、前記ケースのトレイに搭載された大型ペリクルの枠体と該トレイに被蓋された蓋との間に少なくとも１ｍｍ以上の間隔を設けて収納したことを特徴とした第１発明或は第２発明の大型ペリクルの収納方法である。
【００２３】
前述の第３発明に於ては、ケースのトレイに搭載された大型ペリクルの枠体とこのトレイに被蓋された蓋との間に、少なくとも１ｍｍ以上の間隔を設けて収納したので、大型ペリクルを輸送した場合にも、振動等によって大型ペリクルが蓋と接触して擦れたりする心配がない。また、大型ペリクルは、前述のように粘着テープを介して安定した状態でトレイに保持固定されているので、蓋で大型ペリクルを押える必要がなく、従って、ケースの設計を容易にすると共に、ケースの成形精度や歪みの問題も全て解決することが出来る。
【００２４】
【発明の実施の形態】
図により本発明に係る大型ペリクルの収納方法の一実施例を具体的に説明すると、図１は本発明に係る大型ペリクルの収納方法の縦断面説明図、図２は図１の大型ペリクルの収納方法の要部の拡大説明図、図３は図１の大型ペリクルの収納方法に用いられる大型ペリクル用保護フィルムの平面図、図４も図３と同様に図１の大型ペリクルの収納方法に用いられる大型ペリクル用保護フィルムの平面図である。
【００２５】
図１及び図２（ａ）、（ｂ）に於て、Ａは大型ペリクルであって、既に詳述したようにペリクル面積が１０００ｃｍ２以上の大型ペリクルであり、枠体１と、該枠体１の上縁面に接着剤２を介して接着されたペリクル膜３と、前記枠体の下縁面に塗着された粘着材４と、該粘着材４を保護するために粘着材４に粘着された保護フィルム５から構成されている。
【００２６】
前記実施例に於ては、枠体１の下縁面に粘着材４を塗着して形成したが、予め粘着材４と保護フィルム５が層状に形成された層状粘着材を使用する場合には、単に枠体１の下縁面に層状粘着材を積層して粘着するのみで良い（しかし、本明細書に於ては、このような場合も含めて単に「塗着する」と総称する）。次に、前述のように構成された大型ペリクルＡは、トレイ６と蓋７とよりなるケースＢに収納されている。また、トレイ６と蓋７とのコーナー部にはクリップ８が取付けられており、これ等のクリップ８によってトレイ６から蓋７が外れないように固定されている。
【００２７】
前記大型ペリクルＡの保護フィルム５の外周縁の外側には後述の粘着テープによってトレイ６の表面に粘着固定される押え代５ａが突設されている。この押え代５ａの寸法は、本発明者等が種々の実験を重ねた結果、その巾Ｗが６ｍｍ以上で、長さＬが２０ｍｍ以上であることが望ましいことが明らかとなった。このような寸法を持った押え代５ａは粘着テープ９を介してトレイ６の表面に安定した状態で容易に粘着固定することが出来た。
【００２８】
本発明の収納方法を実施するに当っては、前述の図１及び図２に示す如く、ケースＢのトレイ６の中央部に大型ペリクルＡを搭載し、かつ大型ペリクルＡの枠体１の外方に突出している保護フィルム５の押え代５ａを、所定の長さの粘着テープ９を用いてトレイ６の表面に粘着することによって、大型ペリクルＡをトレイ６の中央部に極めて安定した状態で簡単かつ確実に保持固定することが出来る。
【００２９】
本発明に係る収納方法に於ては、前述のように、大型ペリクルＡの枠体１の外方に突出する保護フィルム５の柔軟性を有する押え代５ａを柔軟性に富む粘着テープ９を介してケースＢのトレイ６の表面に粘着固定するので、仮にケースＢのトレイ６の成形精度が充分でなく、或はトレイ６に反りが生じていても、これ等の問題に関係なく、大型ペリクルＡをトレイ６に安定した状態で簡単に固定することが出来る。
【００３０】
さらに、本発明の収納方法に於ては、ケースＢのトレイ６に大型ペリクルＡを安定した状態で確実に保持固定することが出来るので、ケースＢの蓋７で大型ペリクルＡを押える必要がなく、そのために、蓋７と大型ペリクルＡの枠体１との間隔Ｄを１ｍｍ以上にすることが出来る。従って、大型ペリクルＡと蓋７とは充分な間隔を有しているので、輸送時等の振動によって大型ペリクルＡと蓋とが擦れることがなく、発塵の問題が発生する心配がない。
【００３１】
前述の大型ペリクルＡの保護フィルム５に押え代５ａを設けるに当っては、例えば図３（ａ）〜（ｄ）、或は図４（ａ）〜（ｄ）に示す如く、保護フィルム５の外縁の外側に巾Ｗが６ｍｍ以上で、長さＬが２０ｍｍ以上の押え代５ａを突設して構成することが出来る。
【００３２】
即ち、図３（ａ）の場合には、大型ペリクルＡの中央抜きされた保護フィルム５の長辺の外側中央に押え代５ａを設けた構造であり、同図（ｂ）の場合は、中央抜きされた保護フィルム５の短辺の外側中央に押え代５ａを設けた構造である。同図（ｃ）の場合は、中央抜きされた保護フィルム５の長辺と短辺との夫々の外側中央に押え代５ａを設けた構造であり、かつ同図（ｄ）の場合は、中央抜きされない保護フィルム５の長辺と短辺との夫々の外側中央に押え代５ａを設けた構造である。
【００３３】
図４（ａ）の場合は、中央抜きされた保護フィルム５の長辺の外側中央と短辺の外側のほぼ全長に亘って押え代５ａを設けた構造であり、同図（ｂ）の場合は、中央抜きされた保護フィルム５の長辺の外側のほぼ全長と短辺の中央に夫々押え代５ａを設けた構造である。また、同図（ｃ）の場合には、中央抜きされた保護フィルム５の長辺及び短辺の夫々の全長に亘って押え代５ａが連続して設けられている。同図（ｄ）の場合には、中央抜きされない保護フィルム５の長辺及び短辺の夫々の全長に亘って押え代５ａが連続して設けられた構造である。
【００３４】
本発明者は、前述のような構成を有する本発明の大型ペリクルの収納方法を用いて実験をした結果、次のような実施例に示すような好結果が得られた。
【００３５】
【実施例１】
外形寸法が４２７ｍｍ×２９４ｍｍであり、保護フィルム５の長辺及び短辺の中央部に夫々寸法がＷ１０ｍｍ×Ｌ１００ｍｍの押え代５ａを設けた大型ペリクルＡを、ＡＢＳ樹脂材で真空成形されたケースＢのトレイ６の上に搭載し、前記押え代５ａを粘着テープ９を介してトレイ６に粘着固定した後で、該トレイ６上に蓋７を被蓋し、これ等のトレイ６と蓋７とのコーナー部にクリップ８を取付けて両者を固定した。この際、大型ペリクルＡの枠体１と蓋７との間隔Ｄを３．６ｍｍに保つようにした。この状態で大型ペリクルＡを長距離輸送テストした結果、大型ペリクルＡとケースＢとの間には擦れは認められなかった。また、大型ペリクルＡは最初に搭載されたままの状態で保持固定されていた。
【００３６】
【実施例２】
外形寸法が９０４．５ｍｍ×７５０ｍｍ、保護フィルム５の長辺及び短辺の中央部に夫々寸法がＷ１０ｍｍ×Ｌ１００ｍｍの押え代５ａを設けた大型ペリクルＡを、前記実施例１と全く同一の条件で輸送テストを行った結果、大型ペリクルＡとケースＢとの間には擦れは認められず、かつ大型ペリクルＡは最初の搭載時と同様に、トレイ６上に安定した状態で保持固定されていた。
【００３７】
【比較例１】
外形寸法が４２７ｍｍ×２９４ｍｍの大型ペリクルＡを、ＡＢＳ樹脂材を真空成形で成形したトレイ６上に、そのまま（粘着テープ９を使用せずに）搭載し、トレイ６に蓋７を被蓋してクリップ８で固定し、蓋７と大型ペリクルＡの枠体１との間隔Ｄを０．５ｍｍに保った状態にし、前記実施例１と同一の条件で輸送テストをした結果、大型ペリクルＡと蓋７との間に擦れの形跡が認められ、かつ大型ペリクルＡのペリクル膜３の一部に細かい塵が付着しているのが認められた。
【００３８】
【比較例２】
外形寸法が４２７ｍｍ×２９４ｍｍの大型ペリクルＡを、比較例１と同様に、トレイ６上にそのまま搭載し、トレイ６に被蓋した蓋７と大型ペリクルＡの枠体１との間隔Ｄを３．６ｍｍにした状態で、実施例１と同一の条件で輸送テストをした結果、大型ペリクルＡと蓋７との間に擦れが生じた形跡が認められた。また、大型ペリクルＡの枠体１の周りに細かい塵の付着が認められた。
【００３９】
前記粘着テープ９には、特に指定は無いが、例えば基材にはポリエチレン、ポリプロピレン、ポリエチレンテレフタレート、ポリ塩化ビニルや不織布などが使用出来る。また、糊にはアクリル系のものやポリビニルアルコール等を使用することが出来る。また、使用するテープにはアウトガスの発生量が少ないものが好ましい。
【００４０】
【発明の効果】
本発明に係る大型ペリクルの収納方法に於ては、ペリクルの保護フィルムの外周縁の一部或は全部を外側に突出させて押え代を形成したので、ペリクルをトレイ上に搭載した際には、ペリクルの外枠の外側に突出した前記押え代をトレイの表面上に重ねることが出来る効果を有している。かつ、本発明に於ては、この押え代を粘着テープを介してトレイに粘着させるので、極めて簡単な作業でペリクルをトレイに安定した状態で確実に保持固定させることが出来る効果も有している。
【００４１】
さらに、ペリクルの保護フィルムの柔軟性を有する押え代を柔軟性に富む粘着テープを介してトレイに貼着するので、仮にトレイの成形精度が充分でなかった場合や、或はトレイに反りが生じている場合にも、何ら影響されることなく、ペリクルをトレイに正確かつ確実に保持固定することが出来る効果がある。
【００４２】
また本発明に於いて、ペリクルの保護フィルムに設ける押え代の寸法を、巾６ｍｍ以上、長さ２０ｍｍ以上に形成した場合には、ペリクルをトレイに搭載した際に、この押え代をトレイの表面に巾広く重ねることが出来る効果を有し、かつ粘着テープを介して押え代をトレイの表面に安定して確実に保持固定することが出来る効果も有している。
【００４３】
また本発明に於いて、ケースのトレイに搭載された大型ペリクルの枠体とこのトレイに被蓋された蓋との間に、少なくとも１ｍｍ以上の間隔を設けて収納した場合には、大型ペリクルを輸送した場合にも、振動等によって大型ペリクルが蓋と接触して擦れたりする心配がない。また、大型ペリクルは、前述のように粘着テープを介して安定した状態でトレイに保持固定した場合には、蓋で大型ペリクルを押える必要がなく、従って、ケースの設計を容易にすると共に、ケースの成形精度や歪みの問題も全て解決することが出来る効果を有している。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る大型ペリクルの収納方法の縦断面説明図である。
【図２】図１の大型ペリクルの収納方法の要部の拡大説明図である。
【図３】図１の大型ペリクルの収納方法に用いられる大型ペリクル用保護フィルムの平面図である。
【図４】図１の大型ペリクルの収納方法に用いられる大型ペリクル用保護フィルムの平面図である。
【符号の説明】
１ …枠体
２ …接着剤
３ …ペリクル膜
４ …粘着材
５ …保護フィルム
５ａ …押え代
６ …トレイ
７ …蓋
８ …クリップ
９ …粘着テープ
Ａ …大型ペリクル
Ｂ …ケース
Ｄ …蓋と大型ペリクルの枠体との間隔
Ｌ …長さ
Ｗ …巾
Claims (3)
- 枠体と、該枠体の上縁面に接着されたペリクル膜と、該枠体の下縁面に塗着した粘着材と、該粘着材を保護するために枠体の下面に粘着された保護フィルムからなるペリクルの面積が１０００ｃｍ ２ 以上の大型ペリクルをトレイと蓋とよりなるケースに収納する方法に於て、前記大型ペリクルの保護フィルムの外周縁の一部或は全部を外側に突出させて押え代を形成し、かつ該押え代を粘着テープを介して該トレイ上面に固定して大型ペリクルをケース内に収納することを特徴とした大型ペリクルの収納方法。
- 前記保護フィルムの押え代の巾を６ｍｍ以上、長さを２０ｍｍ以上に形成したことを特徴とした請求項１の大型ペリクルの収納方法。
- 前記ケースのトレイに搭載された大型ペリクルの枠体と該トレイに被蓋された蓋との間に少なくとも１ｍｍ以上の間隔を設けて収納したことを特徴とした請求項１或は請求項２の大型ペリクルの収納方法。
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