JPH113587A - 半導体装置及びそのタイミング調整方法 - Google Patents

半導体装置及びそのタイミング調整方法

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JPH113587A
JPH113587A JP9155429A JP15542997A JPH113587A JP H113587 A JPH113587 A JP H113587A JP 9155429 A JP9155429 A JP 9155429A JP 15542997 A JP15542997 A JP 15542997A JP H113587 A JPH113587 A JP H113587A
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Abstract

(57)【要約】 【課題】調整精度が比較的高いタイミング設計を短期間
で行う。 【解決手段】タイミング調整回路は、クロックCLKi
に対し位相がシフトした互いに異なるクロックφ1〜φ
nを生成し、クロックCLKiを共通のループカウンタ
で計数し、その出力とクロックφ1〜φnの1つとの論
理積で制御コマンドCNTCを活性化し、該出力とクロ
ックφ1〜φnの1つとの論理積で制御コマンドCNT
Cを非活性化することにより、DRAM制御信号CNT
を生成する。このカウンタの全出力ビットを選択回路に
供給し、レジスタの内容に応じてその1つを選択し、ク
ロックφ1〜φnを他の選択回路に供給し、該レジスタ
の内容に応じてその1つを選択する。製造プロセスの条
件又は要求される動作速度に応じて該レジスタの内容を
半導体装置出荷前に定める。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、各種DRAM又は
これを一部として含む半導体装置及びそのタイミング調
整方法に関する。
【0002】
【従来の技術】図9は、従来のDRAMの概略構成を示
す。以下一般に、低レベル‘L’がアクティブ状態であ
る信号には*を付して表す。コマンドデコーダ1に供給
されるチップセレクト信号*CS、ロウアドレスストロ
ーブ信号*RAS、コラムアドレスストローブ信号*C
AS及びライトイネーブル信号*WE、並びに、必要な
場合には更に他の信号の論理値の組み合わせに応じて、
コマンドデコーダ1から1つ以上のコマンドがタイミン
グ調整回路2へ供給され、所定のタイミングでこのコマ
ンドが活性化され非活性化され、DRAM制御信号とし
てDRAMコア3へ供給される。このタイミングは、コ
マンド発生時点又はクロックCLKiのエッジの時点を
遅延回路で遅延させて生成される。クロックCLKi
は、外部CLKをクロックバッファ回路4に供給して得
られる。
【0003】ロウアドレスストローブ信号*RASが高
レベル‘H’の期間においてタイミング調整回路2から
制御信号PRがプリチャージ回路5へ供給され、メモリ
セルアレイ6内のビット線BL及び*BLが例えば電位
VDD/2にプリチャージされる。CAS系のデータバ
スDB及びデータI/Oバッファ回路13のプリチャー
ジは、コラムアドレスストローブ信号*CASが‘H’
の期間において行われる。
【0004】ロウアドレスストローブ信号*RASが低
レベル‘L’に遷移すると、次のようなRAS系の一連
の動作がクロックCLKiと非同期で行われる。すなわ
ち、タイミング調整回路2からの信号により上位アドレ
スA23〜A12がロウアドレスバッファレジスタ7に
保持され、ロウデコーダ8でデコードされる。タイミン
グ調整回路2からの信号RXにより、選択されたワード
線WLが高電圧にされ、セル6aの電荷がビット線BL
に読み出される。タイミング調整回路2からの制御信号
SAP(センスアンプ列9のpMOSトランジスタのオ
ン/オフ用)及びSAN(センスアンプ列9のnMOS
トランジスタのオン/オフ用)によりセンスアンプ列9
が活性化さてビット線BLと*BLとの微小電位差が増
幅される。この活性化開始時点が早過ぎると、ビット線
BLと*BLとの微小電位差が小さ過ぎてノイズにより
増幅方向が逆になる虞がある。
【0005】コラムアドレスストローブ信号*CASが
‘L’に遷移すると、CAS系の一連の動作が開始され
る。コラムアドレスストローブ信号*CASの立ち下が
り時にライトイネーブル信号*WEが‘H’であれば読
み出し動作が開始され、‘L’であれば書き込み動作が
開始される。タイミング調整回路2からの信号により下
位アドレスA11〜A0がコラムアドレスバッファレジ
スタ10に保持され、コラムデコーダ11でデコードさ
れて、コラムゲート列12内の1つのコラムゲートが選
択され、ビット線BL及び*BLがデータバスDBに接
続される。読み出し動作のときには、ビット線BL及び
*BL上のデータがデータI/Oバッファ回路13を介
して読み出され、書き込みのときにはデータバスDB上
のデータがビット線BL及び*BLを通ってセル6aに
書き込まれる。次に、ワード線WLが低レベルにされ、
制御信号SAP及びSANが非活性化されてセンスアン
プ列9が非活性になる。
【0006】シンクロナスDRAMやランバスDRAM
などの同期式DRAMでは、CAS系の動作をクロック
に同期してパイプライン処理することにより高速化を図
っている。しかし、RAS系については、同期式DRA
Mであっても非同期式DRAMと同様に、タイミング調
整回路2において、トランジスタ、キャパシタ及び配線
等の負荷を用いた信号遅延により、信号の活性化及び非
活性化のタイミング調整を行っている。このタイミング
調整の設計は、シミュレーションを用いて行われ、タイ
ミング調整が高精度で行われるが、製造プロセスのばら
つきや電源電圧の変動等を考慮する必要があり、設計期
間が長くなってコスト増加の原因となる。
【0007】汎用DRAMのように1品種で大量生産さ
れるものについては、設計期間を長くとれるので、あま
り問題にならないが、ASICのような短納期かつ小量
生産のDRAM/ロジック混載チップについては問題と
なる。この問題は、動作クロック周波数が高くなるほど
著しくなる。このようなチップの設計期間短縮方法とし
て、RAS系についても、論理回路の動作クロックと同
じクロックで同期動作させる方法が提案されている。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】しかし、クロック周波
数が例えば100MHzでは、10ns単位のタイミン
グ設計となり、クロックの立ち上がりと立ち下がりを利
用しても5ns単位でしかタイミング調整ができず、D
RAMの動作の高速化の要求を満たすことができない。
【0009】本発明の目的は、このような問題点に鑑
み、調整精度が比較的高いタイミング設計を短期間で行
うことが可能な半導体装置及びそのタイミング調整方法
を提供することにある。
【0010】
【課題を解決するための手段及びその作用効果】請求項
1では、供給されるDRAM制御信号に応じて制御コマ
ンドを発するコマンドデコーダと、DRAMコアと、該
制御コマンドを所定期間アクティブにしたものをDRA
M制御信号として該DRAMコアに供給するタイミング
調整回路と、を備えた半導体装置において、該タイミン
グ調整回路は、供給される基準クロックに対し位相がシ
フトした互いに異なる第1〜nクロックを生成し、所定
動作のサイクルにおいて、該第1〜nクロックの1つの
所定番目から該第1〜nクロックの1つの所定番目まで
の間、該制御コマンドをアクティブにすることにより該
DRAM制御信号を生成する。
【0011】この半導体装置によれば、タイミング調整
が第1〜nクロック生成回路内の遅延段の整数倍で(デ
ジタル的に)行われるので、タイミング設計において製
造プロセスのばらつきや電源電圧の変動を敏感に考慮す
る必要がなく、タイミング設計期間を短縮して製造コス
トを低減することができ、特に短納期かつ小量生産のA
SICに適用して効果的である。また、例えば基準クロ
ックが100MHzかつn=6の場合、10/6=1.
7nsec単位でタイミング調整の設計を行うことがで
き、比較的高い精度で制御コマンドの活性化及び非活性
化のタイミング調整を行うことができるという効果を奏
する。
【0012】請求項2の半導体装置では、請求項1にお
いて、上記タイミング調整回路は、上記第1〜nクロッ
クの1つを計数する第1カウンタと、該第1〜nクロッ
クの1つを計数する第2カウンタと、該第1カウンタの
計数値が第1値になってから該第2カウンタの計数値が
第2値になる迄の間、上記制御コマンドをアクティブに
することにより上記DRAM制御信号を生成するタイミ
ングバッファ回路とを有する。
【0013】請求項3の半導体装置では、請求項1にお
いて、上記タイミング調整回路は、上記第1〜nクロッ
クと上記基準クロックのうちの1つを共通クロックとし
て計数する共通カウンタと、該共通カウンタの計数値が
第1値の間のみ該第1〜nクロックの1つを有効にして
出力する第1論理ゲートと、該共通カウンタの計数値が
第2値の間のみ該第1〜nクロックの1つを有効にして
出力する第2論理ゲートと、該第1論理ゲートの出力が
活性になってから該第2論理ゲートの出力が活性になる
迄の間、上記制御コマンドをアクティブにすることによ
り上記DRAM制御信号を生成するタイミングバッファ
回路とを有する。
【0014】この半導体装置によれば、共通カウンタの
出力を複数又は全てのコマンド調整用に共通に用いるこ
とができるので、構成が簡単になるという効果を奏す
る。請求項4の半導体装置では、請求項1乃至3のいず
れか1つにおいて、上記タイミング調整回路は、上記制
御コマンドが発せられている期間のみ、生成された上記
DRAM制御信号を有効にして出力する論理ゲートを有
する。
【0015】請求項5の半導体装置では、請求項3にお
いて、上記制御コマンドが発せられている間のみ上記共
通クロックを上記第1カウンタへ供給する論理ゲートを
有する。この半導体装置によれば、制御コマンド出力部
の論理ゲート段数を請求項4の場合よりも少なくするこ
とができ、また、制御コマンドが発せられている期間の
みクロックがカウンタで計数されるので、消費電力を低
減することができるという効果を奏する。
【0016】請求項6の半導体装置では、請求項3にお
いて、上記コマンドデコーダは、上記制御コマンドが発
せられている間のみ、上記第1カウンタの計数値が第1
値になっていることを有効にして上記タイミングバッフ
ァ回路へ供給する論理ゲートを有する。請求項7の半導
体装置では、請求項1乃至6のいずれか1つにおいて、
上記カウンタはいずれもループカウンタである。
【0017】この半導体装置によれば、構成が簡単にな
るという効果を奏する。請求項8の半導体装置では、請
求項7において、上記カウンタの少なくとも1つについ
て、該カウンタの複数ビットの出力が供給されそのうち
の1ビットの出力を選択制御入力値に応じ選択して出力
する選択回路と、該選択制御入力値を記憶して出力する
タイミング設定部とを有する。
【0018】この半導体装置によれば、請求項9の半導
体装置では、請求項3において、上記第1〜nクロック
の1つを選択制御入力値に応じ選択して上記第1論理ゲ
ート又は上記第2論理ゲートへのクロックとして供給す
る選択回路と、該選択制御入力値を記憶して出力するタ
イミング設定部とを有する。
【0019】この半導体装置によれば、請求項10の半
導体装置では、請求項8又は9において、上記タイミン
グ設定部はレジスタである。この半導体装置によれば、
タイミング設定部に対する設定及びその変更を容易に行
うことができるという効果を奏する。
【0020】請求項11の半導体装置では、請求項1乃
至10のいずれか1つにおいて、上記DRAMをアクセ
スするMPUを備えている。請求項12の半導体装置の
タイミング調整方法では、製造プロセスの条件に応じて
請求項8又は9のタイミング設定部の出力を出荷前に定
める。この半導体装置のタイミング調整方法によれば、
回路の設計変更をすることなく半導体装置の製造の歩留
りを向上させることが可能となるという効果を奏する。
【0021】請求項13の半導体装置のタイミング調整
方法では、要求される動作速度に応じて請求項8又は9
のタイミング設定部の出力を出荷前に定める。この半導
体装置のタイミング調整方法によっても、回路の設計変
更をすることなく半導体装置の製造の歩留りを向上させ
ることが可能となるという効果を奏する。
【0022】
【発明の実施の形態】以下、図面に基づいて本発明の実
施形態を説明する。 [第1実施形態]図1は、本発明の第1実施形態に係る
半導体装置20の概略構成を示す。図9と同一部分に
は、同一符号を付している。
【0023】この半導体装置20は、コマンドデコーダ
1、DRAMコア3、クロックバッファ回路4及びタイ
ミング調整回路22からなるDRAMと、CPU又はメ
モリコントローラ等の論理回路24と、その他の論理回
路25とが混載されたASICである。論理回路24及
び25は、クロックCLKiに同期して動作する。論理
回路24からコマンドデコーダ1へチップセレクト信号
*CS、ロウアドレスストローブ信号*RAS、コラム
アドレスストローブ信号*CAS及びライトイネーブル
信号*WEが供給され、例えばクロックCLKiの立ち
上がり時点でのこれらの論理値の組み合わせに応じたコ
マンドがコマンドデコーダ1から発行される。このコマ
ンドは、上述の制御信号SAN、SAP、PR又はPX
に対応したコマンドSANC、SAPC、PRC又はP
XC等であり、以下これらの任意の1つをCNTCと表
記し、コマンドCNTCに対応したDRAM制御信号を
CNTと表記する。
【0024】多位相クロック生成回路26は、例えばク
ロックCLKiを2m、4m、6m、・・・、2(n−
1)m及び2nm個のインバータに通して遅延させるこ
とにより、クロックCLKiの位相をθ〜nθシフトさ
せたクロックφ1〜φnを生成する。ここにmは自然数
である。多位相クロック生成回路26は、クロックφn
の位相をクロックCLKiの位相に一致させるDLL回
路であってもよい。この場合、nθ=2πとなるように
自動調整される。n=6、nθ=2πの場合のクロック
φ1〜φ6をクロックCLKiと共に図3に示す。クロ
ックCLKi及びφ1〜φ6の周期Tは互いに等しい。
【0025】図1において、タイミング調整回路22
は、多位相クロック生成回路26で生成されたクロック
φ1〜φnをカウンタ回路28で計数して、制御信号C
NTの活性化時点及び非活性化時点のタイミングを決定
し、その信号をタイミングバッファ回路27に供給して
このタイミングの制御信号CNTを生成し、DRAMコ
ア3に供給する。タイミングバッファ回路27の一部で
あるタイミングバッファ回路271は、カウンタ回路2
8の一部であるカウンタ281及び282により制御さ
れる。
【0026】図2は、図1中のタイミング調整回路22
の一部の構成例を示す。タイミングバッファ回路271
は、インバータ31の入力端及び出力端にそれぞれイン
バータ32の出力端及び入力端が接続されたフリップフ
ロップ30を備えている。フリップフロップ30の入力
端はpMOSトランジスタ33A、33B及びnMOS
トランジスタ35のドレインに接続され、pMOSトラ
ンジスタ33A及び33Bのソースは電源供給線VDD
に接続され、nMOSトランジスタ35のソースはグラ
ンド線に接続されている。フリップフロップ30の出力
はアンドゲート36の一方の入力端に供給され、アンド
ゲート36の他方の入力端には制御コマンドCNTCが
供給される。
【0027】ループカウンタ281及び282はいずれ
も、その内容が1ビットのみ残りのビットと異なる値に
なっており、リセットパルスRSTで例えば図示のよう
に、‘00・・・1’と初期化される。ループカウンタ
281及び282のクロック入力端CKにはそれぞれ、
クロックφ3及びφ4が供給されている。pMOSトラ
ンジスタ33Aのゲートには、負のリセットパルス*R
STが供給され、これによりフリップフロップ30の出
力が‘L’に初期化される。nMOSトランジスタ35
のゲートにはループカウンタ281の第1ビットの出力
が活性化タイミング信号CNT1として供給されてい
る。ループカウンタ281は、リセットパルスRSTで
初期化された後、最初のクロックφ3のパルスで‘10
・・・0’となり、これによりnMOSトランジスタ3
5がオンになって、フリップフロップ30の出力が
‘H’になる。pMOSトランジスタ33Bのゲートに
はループカウンタ282の第2ビットの出力が非活性化
タイミング信号CNT2として供給されている。ループ
カウンタ282は、リセットパルスRSTで初期化され
た後、クロックφ4の2個のパルスで‘01・・・0’
となり、これによりpMOSトランジスタ33Bがオン
になって、フリップフロップ30の出力が‘L’とな
る。
【0028】制御コマンドCNTCは例えば、図3に示
す如く、メモリ動作サイクルの開始時点であるロウアド
レスストローブ信号*RASの立ち下がりに同期して立
ち上がり、これによりアンドゲート36が開かれ、フリ
ップフロップ30の出力がアンドゲート36を通り制御
信号CNTとして取り出される。制御コマンドCNTC
は、次のロウアドレスストローブ信号*RASの立ち下
がり時まで、例えばコマンドデコーダ1から制御コマン
ドPRCが発行される時点で‘L’になる。
【0029】他のコマンドのタイミング調整も図2と同
様の回路で行われる。本第1実施形態によれば、多位相
クロック生成回路26から出力される所定位相のクロッ
クをカウンタで計数して制御コマンドCNTCの活性化
及び非活性化の時点を調整しているので、すなわちタイ
ミング調整を多位相クロック生成回路26内の遅延段の
整数倍で(デジタル的に)行っているので、タイミング
設計において製造プロセスのばらつきや電源電圧の変動
を敏感に考慮する必要がない。また、例えばクロックC
LKiが100MHzかつn=6の場合、10/6=
1.7nsec単位でタイミング調整の設計を行うこと
ができ、比較的高い精度でコマンドの活性化及び非活性
化のタイミング調整を行うことができる。
【0030】[第2実施形態]上記第1実施形態では、
ロウアドレスストローブ信号*RASの立ち下がりから
次の立ち下がりまでのRASサイクルでループカウンタ
281及び282の内容がいずれも1巡以上しないよう
にビット長を長くしなければならない。そこで、第2実
施形態のカウンタ回路28Aでは、図4に示す如く、ル
ープカウンタ281でクロックCLKiを計数し、ルー
プカウンタ281の所定ビット出力とクロックφ3とを
アンドゲート37に供給して活性化タイミング信号CN
T1を生成し、ループカウンタ281の所定ビット出力
とクロックφ4とをアンドゲート37に供給して非活性
化タイミング信号CNT2を生成している。
【0031】このようにすれば、ループカウンタ281
の出力を他の全てのコマンド調整用にも共通に用いるこ
とができるので、カウンタ回路28Aの構成が簡単にな
る。他の点は、図2の場合と同一である。 [第3実施形態]図5は、本発明の第3実施形態に係る
タイミング調整回路22の概略構成を示す。
【0032】この回路では、図4のアンドゲート36の
替わりに、カウンタ回路28Bにアンドゲート283を
用い、これにクロックCLKiと制御コマンドCNTC
とを供給し、アンドゲート283の出力をループカウン
タ281で計数している。この構成によれば、フリップ
フロップ30の出力を直接、制御信号CNTとして用い
ることができ、図4のアンドゲート36による遅延を考
慮する必要がない。また、制御コマンドCNTCが
‘H’の期間のみクロックCLKiがアンドゲート28
3を通ってループカウンタ281で計数されるので、カ
ウンタ回路28Bの消費電力を低減することができる。
【0033】また、図4のpMOSトランジスタ33
A、33B及びnMOSトランジスタ35をそれぞれn
MOSトランジスタ35A、35B及びpMOSトラン
ジスタ33で置き換え、電源配線を逆にして、フリップ
フロップ30から、負論理の制御信号*CNTを出力し
ている。他の点は、図4の場合と同一である。
【0034】[第4実施形態]図6は、本発明の第4実
施形態に係るDRAM制御回路の概略構成を示す。この
回路では、図4のアンドゲート36の替わりに、コマン
ドデコーダ1Aにアンドゲート1aを用い、ループカウ
ンタ281の出力と制御コマンドCNTCとをアンドゲ
ート1aに供給している。この場合、アンドゲート1a
と図1のコマンドデコーダ1とでコマンドデコーダ1A
が構成されている。
【0035】制御信号CNTの活性化期間がクロックC
LKiの1サイクル以下の場合には、図示のようにアン
ドゲート1aの出力をアンドゲート37とアンドゲート
38とで共通に用いることができる。また、ループカウ
ンタ281はクロックCLKi及びφ1〜φ6のうちの
1つを計数すればよく、図6ではクロックφ2を計数
し、その所定の1周期のうちのクロックφ3の立ち上が
りから、次のクロックCLKiの周期のクロックφ1の
立ち上がりまでの期間、制御信号CNTを活性化してい
る。
【0036】この第4実施形態によっても、フリップフ
ロップ30の出力を直接、制御信号CNTとして用いる
ことができ、図4のアンドゲート36による遅延を考慮
する必要がない。 [第5実施形態]DRAMの動作速度が低くても充分な
用途に対しては、タイミング調整回路22のタイミング
マージンが広くなるように設計することにより、半導体
装置製造の歩留りを向上させることができる。しかし、
用途に応じて設計変更するのは煩雑である。
【0037】そこで、この第5実施形態では図7に示す
如く、カウンタ回路28Dに選択回路284A、284
B、285A、285B及びタイミング設定部286を
備えている。そして、ループカウンタ281の出力の各
ビットを選択回路284A及び285Aに供給し、クロ
ックφ1〜φ6を選択回路284B及び285Bに供給
し、タイミング設定部286の出力で選択回路284
A、284B、285A及び285Bの各々について任
意の1入力を選択できるようにしている。
【0038】タイミング設定部286は、例えばヒュー
ズを選択的にレーザ光線で融断することにより出力が設
定可変となっている。半導体チップのパッケージ前に、
用途に応じ又は製造プロセスの条件に応じてこの設定を
行うことにより、回路の設計変更をすることなく半導体
装置の製造の歩留りを向上させることが可能となる。他
の点は図4と同一構成である。
【0039】[第6実施形態]図8は、本発明の第6実
施形態に係るDRAM制御回路の一部を示す。この回路
は、図7の回路に図6の考え方を適用し、かつ、図7の
タイミング設定部286の1種としてタイミング設定レ
ジスタ286Aを用いている。この第6実施形態によれ
ば、タイミング設定レジスタ286Aに対する設定及び
その変更を容易に行うことができる。
【0040】図8中、コマンドデコーダ1Bのアンドゲ
ート261A及び261Bからそれぞれ出力されるCN
T1及びCNT2Aは活性化粗タイミング信号である。
なお、本発明には外にも種々の変形例が含まれる。例え
ば、*RAS系のみについてタイミング調整回路22を
用いる構成であってもよい。この場合、請求項1中の
「所定動作のサイクル」は、*RASサイクルではなく
*RASが低レベルの期間となり、*RASが‘H’の
期間、リセット信号RSTをアクティブにすることによ
り、ループカウンタのビット長を短くすることができ
る。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1実施形態に係る半導体装置の概略
構成図である。
【図2】図1中のタイミング調整回路22の一部の構成
例を示す図である。
【図3】図1及び図2の回路の動作を示すタイミングチ
ャートである。
【図4】本発明の第2実施形態に係るタイミング調整回
路の一部を示す図である。
【図5】本発明の第3実施形態に係るタイミング調整回
路の一部を示す図である。
【図6】本発明の第4実施形態に係るDRAM制御回路
の一部を示す図である。
【図7】本発明の第5実施形態に係るタイミング調整回
路の一部を示す図である。
【図8】本発明の第6実施形態に係るDRAM制御回路
の一部を示す図である。
【図9】従来のDRAMの概略構成を示すブロック図で
ある。
【符号の説明】
1 コマンドデコーダ 2、22 タイミング調整回路 3 DRAMコア 20 半導体装置 24、25 論理回路 26 多位相クロック生成回路 27、271、271A、271B タイミングバッフ
ァ回路 28、28A〜28D カウンタ回路 281、282 ループカウンタ 284A、284B、285A、285B 選択回路 286 タイミング設定部 286A タイミング設定レジスタ 30 フリップフロップ

Claims (13)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 供給されるDRAM制御信号に応じて制
    御コマンドを発するコマンドデコーダと、 DRAMコアと、 該制御コマンドを所定期間アクティブにしたものをDR
    AM制御信号として該DRAMコアに供給するタイミン
    グ調整回路と、 を備えた半導体装置において、該タイミング調整回路
    は、供給される基準クロックに対し位相がシフトした互
    いに異なる第1〜nクロックを生成し、所定動作のサイ
    クルにおいて、該第1〜nクロックの1つの所定番目か
    ら該第1〜nクロックの1つの所定番目までの間、該制
    御コマンドをアクティブにすることにより該DRAM制
    御信号を生成する、 ことを特徴とする半導体装置。
  2. 【請求項2】 上記タイミング調整回路は、 上記第1〜nクロックの1つを計数する第1カウンタ
    と、 該第1〜nクロックの1つを計数する第2カウンタと、 該第1カウンタの計数値が第1値になってから該第2カ
    ウンタの計数値が第2値になる迄の間、上記制御コマン
    ドをアクティブにすることにより上記DRAM制御信号
    を生成するタイミングバッファ回路と、 を有することを特徴とする請求項1記載の半導体装置。
  3. 【請求項3】 上記タイミング調整回路は、 上記第1〜nクロックと上記基準クロックのうちの1つ
    を共通クロックとして計数する共通カウンタと、 該共通カウンタの計数値が第1値の間のみ該第1〜nク
    ロックの1つを有効にして出力する第1論理ゲートと、 該共通カウンタの計数値が第2値の間のみ該第1〜nク
    ロックの1つを有効にして出力する第2論理ゲートと、 該第1論理ゲートの出力が活性になってから該第2論理
    ゲートの出力が活性になる迄の間、上記制御コマンドを
    アクティブにすることにより上記DRAM制御信号を生
    成するタイミングバッファ回路と、 を有することを特徴とする請求項1記載の半導体装置。
  4. 【請求項4】 上記タイミング調整回路は、上記制御コ
    マンドが発せられている期間のみ、生成された上記DR
    AM制御信号を有効にして出力する論理ゲートを有する
    ことを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1つに記載
    の半導体装置。
  5. 【請求項5】 上記制御コマンドが発せられている間の
    み上記共通クロックを上記第1カウンタへ供給する論理
    ゲートを有することを特徴とする請求項3記載の半導体
    装置。
  6. 【請求項6】 上記コマンドデコーダは、上記制御コマ
    ンドが発せられている間のみ、上記第1カウンタの計数
    値が第1値になっていることを有効にして上記タイミン
    グバッファ回路へ供給する論理ゲートを有することを特
    徴とする請求項3記載の半導体装置。
  7. 【請求項7】 上記カウンタはいずれもループカウンタ
    であることを特徴とする請求項1乃至6のいずれか1つ
    に記載の半導体装置。
  8. 【請求項8】 上記カウンタの少なくとも1つについ
    て、該カウンタの複数ビットの出力が供給されそのうち
    の1ビットの出力を選択制御入力値に応じ選択して出力
    する選択回路と、 該選択制御入力値を記憶して出力するタイミング設定部
    と、 を有することを特徴とする請求項7記載の半導体装置。
  9. 【請求項9】 上記第1〜nクロックの1つを選択制御
    入力値に応じ選択して上記第1論理ゲート又は上記第2
    論理ゲートへのクロックとして供給する選択回路と、 該選択制御入力値を記憶して出力するタイミング設定部
    と、 を有することを特徴とする請求項3記載の半導体装置。
  10. 【請求項10】 上記タイミング設定部はレジスタであ
    ることを特徴とする請求項8又は9記載の半導体装置。
  11. 【請求項11】 上記DRAMをアクセスするMPUを
    備えていることを特徴とする請求項1乃至10のいずれ
    か1つに記載の半導体装置。
  12. 【請求項12】 製造プロセスの条件に応じて請求項8
    又は9のタイミング設定部の出力を出荷前に定めること
    を特徴とする半導体装置のタイミング調整方法。
  13. 【請求項13】 要求される動作速度に応じて請求項8
    又は9のタイミング設定部の出力を出荷前に定めること
    を特徴とする半導体装置のタイミング調整方法。
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