JPH11185471A - 内部クロック信号生成回路 - Google Patents

内部クロック信号生成回路

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JPH11185471A
JPH11185471A JP9347767A JP34776797A JPH11185471A JP H11185471 A JPH11185471 A JP H11185471A JP 9347767 A JP9347767 A JP 9347767A JP 34776797 A JP34776797 A JP 34776797A JP H11185471 A JPH11185471 A JP H11185471A
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JP
Japan
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clock signal
internal clock
buffer
signal
circuit
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JP9347767A
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English (en)
Inventor
Yuichiro Komiya
祐一郎 小宮
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Mitsubishi Electric Corp
Original Assignee
Mitsubishi Electric Corp
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 用途の異なる複数の入力バッファを備えつ
つ、レイアウト面積が削減された内部クロック信号生成
回路を提供する。 【解決手段】 外部クロック信号Ext.CLKをバッ
ファリングする入力バッファ50,51と、遅延回路4
50と、入力バッファ50,51のいずれか一方と遅延
回路450とを接続する切換回路52と、遅延回路45
0に接続された論理ゲート464,465と、入力バッ
ファ50に接続されたインバータ451および論理ゲー
ト464,465に接続されたNAND回路459〜4
62と、遅延回路450に接続されたインバータ452
および入力バッファ51に接続されたインバータ449
に接続されたNAND回路463とを備える。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、供給された外部ク
ロック信号をバッファリングして内部クロック信号を生
成する内部クロック信号生成回路に関し、さらに詳しく
は、同期型半導体記憶装置(Synchronous DRAM)に備え
られる内部クロック信号生成回路を一例とするものであ
る。
【0002】
【従来の技術】図9は、同期型半導体記憶装置の全体構
成を示すブロック図である。図9に示されるように、こ
の同期型半導体記憶装置は、列アドレスバッファ1と、
アドレスカウンタ3と、列デコーダ5,21と、センス
アンプ−I/Oバス7,23と、行デコーダ9,25
と、メモリアレイ(第1バンクおよび第2バンク)1
1,27と、メインアンプ13,29と、ラッチ/レジ
スタ回路15と、出力バッファ17と、行アドレスバッ
ファ19と、入力バッファ31と、ライトバッファ3
3,35と、CASレイテンシやバースト長などを設定
する初期設定回路37と、動作モードを解読するコマン
ドデコーダ39と、制御タイミング回路41と、外部制
御信号Ext./CS,Ext./WE,Ext./R
AS,Ext./CAS,Ext.CKEをバッファリ
ングして対応する内部制御信号を生成し、コマンドデコ
ーダ39に供給する入力バッファ43と、外部クロック
(マスタクロック)信号Ext.CLKをバッファリン
グして内部クロック信号Int.CLKを生成し、初期
設定回路37とコマンドデコーダ39および入力バッフ
ァ43に供給する入力バッファ45とを1チップ上に備
える。このような構成を有する同期型半導体記憶装置
は、外部クロック信号Ext.CLKと同期させてすべ
てのデータを入出力し、内部タイミングの制御を外部ク
ロック信号に同期して行なうものであるため、ダイナミ
ックランダムアクセスメモリ(DRAM)の性能を十分
に引出した高速設計が可能である。
【0003】図10は、図9に示される入力バッファ4
5の構成を示す図である。図10に示されるように、入
力バッファ45はPチャネルMOSトランジスタPT5
0〜PT52と、NチャネルMOSトランジスタNT5
1,NT52と、遅延回路450と、インバータ451
〜457と、NAND回路458〜463と、論理ゲー
ト464,465とを備える。
【0004】ここで、入力バッファ45へは外部クロッ
ク信号Ext.CLKが入力され、内部クロック信号I
nt.CLKとして、制御信号やアドレスデータの入力
トリガ用の内部クロック信号CLK、出力タイミングシ
フタ用の内部クロック信号CLKC、データ入力トリガ
用の内部クロック信号CLKD、データ出力トリガ用の
内部クロック信号CLKQ、信号CKE発生用の内部ク
ロック信号CLKEの他、コラムのバーストアドレスカ
ウントアップ用の内部クロック信号、昇圧電圧(VP
P)生成時のポンプアップ用の内部クロック信号などが
生成される。このうち、信号CKE発生用の内部クロッ
ク信号CLKEは同期型半導体記憶装置が有するセルフ
リフレッシュモードのとき以外において常に生成される
ものであり、他の内部クロック信号CLKC,CLK
D,CLKQなどは同期型半導体記憶装置がロウアクテ
ィブ状態(信号ACT=H)のときのみ生成されるもの
である。
【0005】ここで、入力バッファ45は、外部クロッ
ク信号Ext.CLKの立上がりエッジにより内部クロ
ック信号CLK,CLKC,CLKD,CLKQ,CL
KEを発生する。そして、この内部クロック信号CLK
などのパルス幅は遅延回路450により決定される。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、近年、
この外部クロック信号Ext.CLKをバッファリング
する入力バッファ45では、同期型半導体記憶装置のス
タンバイ状態のときに生ずる貫通電流が問題となってい
る。
【0007】すなわち、図10に示されるように、入力
バッファ45にカレントミラー型を用いた場合は、参照
電圧Vrefがゲートに入力されるNチャネルMOSト
ランジスタNT51は常に一定の貫通電流が流れる。し
たがって、スタンバイ状態のときに生ずる貫通電流を小
さくするためにはカレントミラーを構成するNチャネル
MOSトランジスタNT51,NT52のサイズを小さ
くすることが必要である。
【0008】一方、制御信号の入力トリガ用の内部クロ
ック信号CLK、データ出力トリガ用の内部クロック信
号CLKQはその遅延時間が直接アクセススピードにか
かわってくるため、なるべく速く発生させる必要があ
り、そのためにはできるだけサイズの大きなNチャネル
MOSトランジスタでカレントミラーの出力信号を接地
レベルまで引下げる必要がある。
【0009】そこで、最近では、たとえば特開平8−1
02189号公報に開示されるように、入力バッファ4
5を図11に示される入力バッファ46と図12に示さ
れる入力バッファ47の2つに分割し、スタンバイ状態
時に常に動作する入力バッファ47にはサイズの小さな
トランジスタを使用して貫通電流を抑え、制御信号の入
力トリガ用の内部クロック信号CLKやデータ出力トリ
ガ用の内部クロック信号CLKQを生成する入力バッフ
ァ46にはサイズの大きなトランジスタを使用してアク
セススピードを速くするという方法が提案されている。
【0010】しかしながら、内部クロック信号のパルス
幅は遅延回路450によって定められるものであるた
め、外部クロック信号Ext.CLKの入力バッファと
して複数の入力バッファ46,47を用いるとレイアウ
ト面積の大きい遅延回路450も入力バッファ46,4
7の数だけ必要となり、内部クロック信号発生のために
大きなレイアウト面積が必要になるという問題がある。
【0011】そこで、本発明は、貫通電流を減らすため
用途の異なる複数の入力バッファを備え、かつ、レイア
ウト面積が削減された内部クロック信号生成回路を提供
することを目的とする。
【0012】
【課題を解決するための手段】請求項1に係る内部クロ
ック信号生成回路は、外部クロック信号をバッファリン
グする第1のバッファと、上記外部クロック信号をバッ
ファリングする第2のバッファと、第1のバッファまた
は第2のバッファのいずれか一方に接続された遅延手段
と、第1のバッファおよび遅延手段に接続され、外部ク
ロック信号に応じた第1の内部クロック信号を生成する
第1の出力手段と、第2のバッファおよび遅延手段に接
続され、外部クロック信号に応じた第2の内部クロック
信号を生成する第2の出力手段とを備えるものである。
【0013】請求項2に係る内部クロック信号生成回路
は、請求項1に記載の内部クロック信号生成回路であっ
て、遅延手段を、供給される切換信号に応じて、第1の
バッファまたは第2のバッファのいずれか一方に接続す
る切換手段をさらに備えるものである。
【0014】請求項3に係る内部クロック信号生成回路
は、請求項2に記載の内部クロック信号生成回路であっ
て、スタンバイ状態と活性状態とを有する同期型半導体
記憶装置に備えられ、第1の出力手段は活性状態におい
て活性化され、切換手段は活性状態で遅延手段を第1の
バッファに接続するとともに、スタンバイ状態で遅延手
段を第2のバッファに接続するものである。
【0015】請求項4に係る内部クロック信号生成回路
は、請求項3に記載の内部クロック信号生成回路であっ
て、第1のバッファは切換手段が遅延手段を第2のバッ
ファに接続するとき切換信号に応じて不活性化されるも
のである。
【0016】請求項5に係る内部クロック信号生成回路
は、請求項1に記載の内部クロック信号生成回路であっ
て、遅延手段は、第2のバッファに接続されるものであ
る。
【0017】請求項6に係る内部クロック信号生成回路
は、請求項5に記載の内部クロック信号生成回路であっ
て、スタンバイ状態と活性状態とを有する同期型半導体
記憶装置に備えられ、第1の出力手段は活性状態におい
て活性化されるものである。
【0018】請求項7に係る内部クロック信号生成回路
は、請求項6に記載の内部クロック信号生成回路であっ
て、第1のバッファは第1の出力手段が不活性化された
ときに不活性化されるものである。
【0019】
【発明の実施の形態】以下において、本発明の実施の形
態を図面を参照して詳しく説明する。なお、図中同一符
号は同一または相当部分を示す。
【0020】[実施の形態1]図1は、本発明の実施の
形態1に係る内部クロック信号生成回路の構成を示す回
路図である。
【0021】図1に示される内部クロック信号生成回路
は、同期型半導体記憶装置に備えられ、外部クロック信
号Ext.CLKをバッファリングする入力バッファ5
0と、セルフリフレッシュモード時以外常に活性化さ
れ、外部クロック信号Ext.CLKをバッファリング
する入力バッファ51と、入力バッファ50に接続され
たインバータ451と、入力バッファ51に接続された
インバータ449と、インバータ449,451の出力
を選択的に出力する切換回路52と、切換回路52に接
続された遅延回路450と、インバータ452〜457
と、NAND回路458〜463と、論理ゲート46
4,465とを備える。
【0022】ここで、入力バッファ50は、Pチャネル
MOSトランジスタPT50〜PT52と、Nチャネル
MOSトランジスタNT51,NT52とを含むカレン
トミラー回路からなり、入力バッファ51は、各々が入
力バッファ50を構成するトランジスタよりサイズ(チ
ャネル幅)の小さいPチャネルMOSトランジスタPT
5〜TP7と、NチャネルMOSトランジスタNT5,
NT6とを含むカレントミラー回路からなる。そして、
NチャネルMOSトランジスタNT5,NT51のゲー
トには参照電圧Vrefが供給され、NチャネルMOS
トランジスタNT6,NT52のゲートに外部クロック
信号Ext.CLKが供給される。また、PチャネルM
OSトランジスタPT7,PT50は、それぞれ入力バ
ッファ50,51の活性または不活性を切換えるスイッ
チの役割を果たすものであり、PチャネルMOSトラン
ジスタPT7,PT50のゲートには信号PDE,/C
KEPCがそれぞれ供給される。なお、信号PDE,/
CKEPCがどのように生成されるかについては後に説
明する。
【0023】一方、切換回路52は、NチャネルMOS
トランジスタNT1,NT2とPチャネルMOSトラン
ジスタPT1,PT2とを含み、NチャネルMOSトラ
ンジスタNT1とPチャネルMOSトランジスタPT2
のゲートには信号CKEが供給され、NチャネルMOS
トランジスタNT2とPチャネルMOSトランジスタP
T1のゲートには信号/CKEが供給される。なお、信
号CKEがどのように生成されるかについては後に説明
する。
【0024】一方、遅延回路450は、たとえば偶数段
のインバータなどから構成されるものである。
【0025】また、NAND回路458へは信号CKE
と信号ACTが供給され、論理ゲート464へは信号/
CKEが供給される。なお、信号ACTがどのように生
成されるかについても後に説明する。
【0026】図7は、上記内部クロック信号生成回路を
含む同期型半導体記憶装置の各動作モードおよびその関
連を示す図である。なお、この同期型半導体記憶装置の
全体構成は、図9に示される同期型半導体記憶装置と同
様なものであって、外部制御信号Ext./RAS,E
xt./CAS,Ext./CSなどが制御信号用の入
力バッファ43に供給され、内部クロック信号CLKで
同期をとった後にコマンドデコーダ39で読出信号、書
込信号、信号ACTなどの各動作モード信号が生成され
る。
【0027】図7に示されるように、この同期型半導体
記憶装置は、信号ACTがHレベルとなることによりノ
ーマルモード(スタンバイ状態)からロウアクティブ状
態となり、ワード線が活性化されてデータの書込/読出
が可能な状態となる。また、ロウアクティブ状態で信号
CKEがLレベルとなると、内部クロック信号の生成を
止めるクロックサスペンド状態となる。また、ノーマル
モードにおいて信号RFSがHレベルとなるとセルフリ
フレッシュモードとなり、信号CKEがLレベルとなる
ことによって、パワーダウンモード(スタンバイ状態)
となる。
【0028】次に、図1に示された内部クロック信号生
成回路の動作を説明する。信号CKEがHレベルのと
き、信号/CKEPCがロー(L)レベルとなり、Pチ
ャネルMOSトランジスタPT50がオンして入力バッ
ファ50が活性化される。またこのとき、NチャネルM
OSトランジスタNT1およびPチャネルMOSトラン
ジスタPT1がオンして、入力バッファ50がインバー
タ451を介して遅延回路450と接続される。また、
信号CKEがHレベルのときNAND回路459が活性
化され、さらに信号ACTがHレベルとなるロウアクテ
ィブ状態においてNAND回路460〜462が活性化
される。これより、入力バッファ50がインバータ45
1を介してNAND回路459〜462に接続されるた
め、入力バッファ50の出力信号の立上がりエッジに応
じて内部クロック信号CLKがHレベルとなるととも
に、ロウアクティブ状態のときのみ内部クロック信号C
LKC,CLKD,CLKQがHレベルとされる。そし
て、これらの内部クロック信号CLK,CLKC,CL
KD,CLKQのパルス幅は遅延回路450における信
号の遅延時間によって決定される。
【0029】一方、信号CKEがLレベルのときは、信
号/CKEPCがHレベルとなり、PチャネルMOSト
ランジスタPT50がオフして入力バッファ50が不活
性化され、PチャネルMOSトランジスタPT2とNチ
ャネルMOSトランジスタNT2がオンして入力バッフ
ァ51がインバータ449を介して遅延回路450と接
続される。なおこのとき、信号PDEは、後に説明する
ように信号RFSがHレベルとなるセルフリフレッシュ
モードのときだけHレベルとなり、PチャネルMOSト
ランジスタPT7をオフして入力バッファ51を不活性
化させるが、それ以外のときは入力バッファ51を常に
活性化する。
【0030】これより、入力バッファ51はインバータ
449を介してNAND回路463に接続されるため、
入力バッファ51の出力信号の立上がりエッジに応じて
内部クロック信号CLKEがHレベルとなるとともに、
パルス幅が遅延回路450における信号の遅延時間によ
って決定される。
【0031】以上より、ロウアクティブ状態のときだけ
生成される内部クロック信号CLKC,CLKD,CL
KQのパルス幅と、信号CKEがLレベルであってセル
フリフレッシュモード以外のとき常に生成される内部ク
ロック信号CLKEのパルス幅とは、ともに遅延回路4
50の遅延時間によって決定される。このことは、回路
構成上において2つの入力バッファ50,51で遅延回
路450を共有することを意味し、このことにより内部
クロック信号生成回路のレイアウト面積が従来より削減
される。
【0032】図2は、信号CKE,/CKEの他、信号
/BUFCKE,/CKEPC,/CKE0を生成する
回路の構成を示す回路図である。
【0033】図2に示されるように、この回路はNチャ
ネルMOSトランジスタNT53〜NT55と、Pチャ
ネルMOSトランジスタPT53〜PT55と、インバ
ータ53〜62と、NAND回路63〜70とを備え
る。ここで、NチャネルMOSトランジスタNT53の
ゲートには参照電圧Vrefが供給され、NチャネルM
OSトランジスタNT54のゲートには信号Ext.C
KEが供給される。
【0034】また、PチャネルMOSトランジスタPT
55のゲートおよび論理ゲート63,64,67,68
には図1で示された回路で生成される内部クロック信号
CLKEが供給され、NチャネルMOSトランジスタN
T55のゲートには信号/CLKEが供給される。
【0035】これにより、入力される信号Ext.CK
Eに応じ、インバータ54の出力として信号/BUFC
KEが得られ、インバータ59の出力として信号/CK
E0が、インバータ60の出力として信号/CKEPC
が、インバータ61の出力として信号CKEが、インバ
ータ62の出力として信号/CKEがそれぞれ内部クロ
ック信号CLKEに同期して得られる。ここで、信号/
CKEPCは、外部制御信号Ext.CKEがLレベル
のときHレベルとなり、図1に示されたPチャネルMO
SトランジスタPT50がオフされる。
【0036】図3は、図1に示されたPチャネルMOS
トランジスタPT7のゲートに供給される信号PDEを
生成する回路の構成を示す回路図である。図3に示され
るように、この回路は信号/BUFCKEが供給される
インバータ71と、インバータ72〜74と、信号BU
FCKE,RFSが供給されるNAND回路75と、信
号RFS,/CKEが供給されるNAND回路76と、
論理ゲート77とを備える。
【0037】ここで、信号PDEは、インバータ74か
ら出力されるが、信号CKEがLレベルで、かつ、信号
RFSがHレベルとなるリフレッシュモード時だけHレ
ベルに活性化される。
【0038】図4は、信号RFSを生成する回路の構成
を示す回路図である。図4に示される回路は、信号RA
S0,CAS0,/WE0が供給されるNAND回路7
8と、信号CS0,/CKE0が供給されるNAND回
路79と、NAND回路78,79に接続され信号RF
Sを出力するNAND回路80とを備える。
【0039】図5は、外部制御信号Ext./WEに応
じて内部制御信号WE0,/WE0を生成する回路の構
成を示す図である。図5に示されるように、この回路
は、バッファ81と、インバータ82〜87と、トラン
スファゲート88と、NAND回路89,90とを備
え、トランスファゲート88とNAND回路89,90
へは内部クロック信号CLKが供給される。
【0040】なお、この回路は内部クロック信号CLK
に同期させて外部制御信号Ext./WEに応じた内部
制御信号WE0,/WE0を生成するものであるが、外
部制御信号Ext./RAS,Ext./CAS,Ex
t./CSに応じた内部制御信号RAS0,/RAS
0,CAS0,/CAS0,CS0,/CS0も同様な
回路により生成される。
【0041】図6は、図1に示された信号ACTを生成
する回路の構成を示す回路図である。図6に示されるよ
うに、この回路は、内部制御信号CS0,RAS0が供
給されるNAND回路91と、内部制御信号/CAS
0,/WE0が供給されるNAND回路92と、NAN
D回路91,92に接続され信号ACTを出力する論理
ゲート93とを備える。
【0042】[実施の形態2]図8は、本発明の実施の
形態2に係る内部クロック信号生成回路の構成を示す図
である。図8に示されるように、この内部クロック信号
生成回路は、図1に示された上記実施の形態1に係る内
部クロック信号生成回路と同様な構成を有するが、遅延
回路450はインバータ449を介して入力バッファ5
1にのみ接続される点で相違する。
【0043】このような構成をとることにより、内部ク
ロック信号CLK,CLKC,CLKD,CLKQの立
上がりエッジは入力バッファ50の出力信号の立上がり
エッジに応じて発生され、内部クロック信号CLKEの
立上がりエッジは入力バッファ51の出力信号の立上が
りエッジに応じて発生される一方、内部クロック信号C
LK,CLKC,CLKD,CLKQおよび内部クロッ
ク信号CLKEのパルス幅は、ともに入力バッファ51
の出力信号に応じて決定される。
【0044】ここで、入力バッファ51を構成するトラ
ンジスタのサイズ(チャネル幅)は、入力バッファ50
を構成するトランジスタのサイズ(チャネル幅)より小
さいので、上記のような構成を有する回路により内部ク
ロック信号を生成すれば、セルフリフレッシュモード時
以外常時活性化される入力バッファ51の貫通電流を減
少させることによって消費電力を低減し、かつ、遅延回
路の占有面積を削減することができる。
【0045】なお、上記実施の形態においては、同期型
半導体記憶装置に備えられた内部クロック信号生成回路
について説明したが、本発明はこれらに限られるもので
はなく、クロック信号に同期して作動するプロセッサな
どへの適用も考えられる。
【0046】
【発明の効果】請求項1に係る内部クロック信号生成回
路によれば、第1および第2の内部クロック信号を生成
するために必要な遅延手段の占有面積を削減することが
できる。
【0047】請求項2に係る内部クロック信号生成回路
によれば、さらに、第1または第2の内部クロック信号
を選択的に生成することができる。
【0048】請求項3に係る内部クロック信号生成回路
によれば、同期型半導体記憶装置において活性状態で生
成される第1の内部クロック信号およびスタンバイ状態
で生成される第2の内部クロック信号のパルス幅を決定
する遅延手段が共有され、必要な遅延手段の占有面積が
削減される。
【0049】請求項4に係る内部クロック信号生成回路
によれば、さらに、消費電力の低減を図ることができ
る。
【0050】請求項5に係る内部クロック信号生成回路
によれば、第1および第2の内部クロック信号を生成す
るために必要な遅延手段の占有面積を削減するととも
に、消費電力の低減を図ることができる。
【0051】請求項6に係る内部クロック信号生成回路
によれば、同期型半導体記憶装置において活性状態で生
成される第1の内部クロック信号のパルス幅が第2の内
部クロック信号のパルス幅を決定する遅延手段で決定さ
れることにより、遅延手段が共有され占有面積が削減さ
れる。
【0052】請求項7に係る内部クロック信号生成回路
によれば、さらに消費電力の低減を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明の実施の形態1に係る内部クロック信
号生成回路の構成を示す図である。
【図2】 図1に示された信号CKE,/CKE,/C
KEPCの他、信号/BUFCKE,/CKE0を生成
する回路の構成を示す回路図である。
【図3】 図1に示された信号PDEを生成する回路の
構成を示す回路図である。
【図4】 図3に示された信号RFSを生成する回路の
構成を示す回路図である。
【図5】 外部制御信号Ext./WEに応じた内部制
御信号WE0,/WE0を生成する回路の構成を示す図
である。
【図6】 図1に示された信号ACTを生成する回路の
構成を示す回路図である。
【図7】 図1に示された内部クロック信号生成回路を
含む同期型半導体記憶装置の各動作モードおよびその関
連を示す図である。
【図8】 本発明の実施の形態2に係る内部クロック信
号生成回路の構成を示す図である。
【図9】 従来の同期型半導体記憶装置の全体構成を示
すブロック図である。
【図10】 図9に示された外部クロック信号用の入力
バッファの構成を示す図である。
【図11】 図10に示された入力バッファを分割する
ことにより得られ、ロウアクティブ状態において内部ク
ロック信号を生成する入力バッファの構成を示す図であ
る。
【図12】 図10に示された入力バッファを分割する
ことにより得られ、スタンバイ状態時に常に動作する入
力バッファの構成を示す図である。
【符号の説明】
50,51 入力バッファ、52 切換回路、450
遅延回路、453〜457 インバータ、458〜46
3 NAND回路、464,465 論理ゲート。

Claims (7)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 外部クロック信号をバッファリングする
    第1のバッファと、 前記外部クロック信号をバッファリングする第2のバッ
    ファと、 前記第1のバッファまたは前記第2のバッファのいずれ
    か一方に接続された遅延手段と、 前記第1のバッファおよび前記遅延手段に接続され、前
    記外部クロック信号に応じた第1の内部クロック信号を
    生成する第1の出力手段と、 前記第2のバッファおよび前記遅延手段に接続され、前
    記外部クロック信号に応じた第2の内部クロック信号を
    生成する第2の出力手段とを備えた、内部クロック信号
    生成回路。
  2. 【請求項2】 前記遅延手段を、供給される切換信号に
    応じて、前記第1のバッファまたは前記第2のバッファ
    のいずれか一方に接続する切換手段をさらに備えた、請
    求項1に記載の内部クロック信号生成回路。
  3. 【請求項3】 前記内部クロック信号生成回路は、スタ
    ンバイ状態と活性状態とを有する同期型半導体記憶装置
    に備えられるものであって、 前記第1の出力手段は、前記活性状態において活性化さ
    れ、 前記切換手段は、前記活性状態で前記遅延手段を前記第
    1のバッファに接続するとともに、前記スタンバイ状態
    で前記遅延手段を前記第2のバッファに接続する、請求
    項2に記載の内部クロック信号生成回路。
  4. 【請求項4】 前記第1のバッファは、前記切換手段が
    前記遅延手段を前記第2のバッファに接続するとき、前
    記切換信号に応じて不活性化される、請求項3に記載の
    内部クロック信号生成回路。
  5. 【請求項5】 前記遅延手段は、前記第2のバッファに
    接続された、請求項1に記載の内部クロック信号生成回
    路。
  6. 【請求項6】 前記内部クロック信号生成回路は、スタ
    ンバイ状態と活性状態とを有する同期型半導体記憶装置
    に備えられるものであって、 前記第1の出力手段は、前記活性状態において活性化さ
    れる、請求項5に記載の内部クロック信号生成回路。
  7. 【請求項7】 前記第1のバッファは、前記第1の出力
    手段が不活性化されたときに不活性化される、請求項6
    に記載の内部クロック信号生成回路。
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