JPH11281395A - 位置検出装置 - Google Patents
位置検出装置Info
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- JPH11281395A JPH11281395A JP10087439A JP8743998A JPH11281395A JP H11281395 A JPH11281395 A JP H11281395A JP 10087439 A JP10087439 A JP 10087439A JP 8743998 A JP8743998 A JP 8743998A JP H11281395 A JPH11281395 A JP H11281395A
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- 238000003780 insertion Methods 0.000 description 19
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
- G01D5/26—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light
- G01D5/32—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light
- G01D5/34—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells
- G01D5/347—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells using displacement encoding scales
- G01D5/34707—Scales; Discs, e.g. fixation, fabrication, compensation
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 記録媒体の長手方向の曲げモーメントを少な
くし、本体や記録媒体を変形させることなく本体を工作
機械等に固定し、高精度に位置検出をすることができる
位置検出装置を提供する。 【解決手段】 位置検出装置は、相対的に直線移動する
基準部４と可動部との相対移動位置を検出する。この位
置検出装置の本体部２の筐体１１内には、丸棒状の記録
媒体１２が設けられている。この筐体１１と基準部４と
は、筐体１１との当設面が記録媒体１２の長手方向に平
行な方向にのみ曲率を有する曲面からなる固定部材５５
により固定されている。
くし、本体や記録媒体を変形させることなく本体を工作
機械等に固定し、高精度に位置検出をすることができる
位置検出装置を提供する。 【解決手段】 位置検出装置は、相対的に直線移動する
基準部４と可動部との相対移動位置を検出する。この位
置検出装置の本体部２の筐体１１内には、丸棒状の記録
媒体１２が設けられている。この筐体１１と基準部４と
は、筐体１１との当設面が記録媒体１２の長手方向に平
行な方向にのみ曲率を有する曲面からなる固定部材５５
により固定されている。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、工作機械や産業機
械等の可動部の移動位置を制御する為に用いられる位置
検出装置に関し、特に、直線移動動作を行う可動部の移
動位置を検出する位置検出装置に関するものである。
械等の可動部の移動位置を制御する為に用いられる位置
検出装置に関し、特に、直線移動動作を行う可動部の移
動位置を検出する位置検出装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来より、工作機械や産業機械等では、
直線移動する可動部の位置制御を行うために、スケール
装置等の位置検出装置が用いられている。
直線移動する可動部の位置制御を行うために、スケール
装置等の位置検出装置が用いられている。
【０００３】スケール装置は、一般に、本体部と、この
本体部に直線移動可能に設けられているヘッドスライダ
とから構成されている。
本体部に直線移動可能に設けられているヘッドスライダ
とから構成されている。
【０００４】本体部内には、スケールと呼ばれる、例え
ば丸棒等の長尺状の形状をした記録媒体が設けられてい
る。このスケールには、ピットやマーク等が所定連続し
て所定の間隔で繰り返される位置信号が、長手方向に沿
って記録されている。例えば、このスケールには、所定
の記録波長で極性が反転する磁気信号が位置信号とし
て、長手方向に沿って連続して記録されている。また、
ヘッドスライダ内には、スケールに記録されている位置
信号を検出する検出ヘッドが設けられている。この検出
ヘッドは、スケールに記録されている位置信号が検出で
きるように、例えばこの位置信号に対向する位置に設け
られるとともにヘッドスライダの直線移動に伴いスケー
ルの長手方向に平行移動する。
ば丸棒等の長尺状の形状をした記録媒体が設けられてい
る。このスケールには、ピットやマーク等が所定連続し
て所定の間隔で繰り返される位置信号が、長手方向に沿
って記録されている。例えば、このスケールには、所定
の記録波長で極性が反転する磁気信号が位置信号とし
て、長手方向に沿って連続して記録されている。また、
ヘッドスライダ内には、スケールに記録されている位置
信号を検出する検出ヘッドが設けられている。この検出
ヘッドは、スケールに記録されている位置信号が検出で
きるように、例えばこの位置信号に対向する位置に設け
られるとともにヘッドスライダの直線移動に伴いスケー
ルの長手方向に平行移動する。
【０００５】このような本体部とヘッドスライダとから
構成されるスケール装置は、相対的に直線移動する工作
機械等の基準部と可動部とに取り付けられる。このスケ
ール装置は、本体部或いはヘッドスライダのいずれか一
方が、移動をしない基準部に固定され、他方が、可動部
に固定される。このとき、本体部は、内部に設けられた
スケールの長手方向が、可動部の移動方向に平行となる
ように取り付けられる。従って、このスケール装置で
は、この可動部の直線移動に応じて本体部とヘッドスラ
イダとの相対位置が変化する。
構成されるスケール装置は、相対的に直線移動する工作
機械等の基準部と可動部とに取り付けられる。このスケ
ール装置は、本体部或いはヘッドスライダのいずれか一
方が、移動をしない基準部に固定され、他方が、可動部
に固定される。このとき、本体部は、内部に設けられた
スケールの長手方向が、可動部の移動方向に平行となる
ように取り付けられる。従って、このスケール装置で
は、この可動部の直線移動に応じて本体部とヘッドスラ
イダとの相対位置が変化する。
【０００６】このことによりスケール装置では、ヘッド
スライダ内に設けられた検出ヘッドがこの相対位置の変
化に応じて変化する位置信号を検出し、この可動部の移
動位置を制御することができる。
スライダ内に設けられた検出ヘッドがこの相対位置の変
化に応じて変化する位置信号を検出し、この可動部の移
動位置を制御することができる。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】ここで、このような長
尺状のスケールを用いて工作機械等の直線移動位置を検
出するスケール装置の本体部は、一般に、ボルトを使用
して、工作機械に取り付けられている。
尺状のスケールを用いて工作機械等の直線移動位置を検
出するスケール装置の本体部は、一般に、ボルトを使用
して、工作機械に取り付けられている。
【０００８】図９は、従来のスケール装置の本体部が、
工作機械の基準部に取り付けられた状態を説明する為の
断面図である。図９（ａ）は、本体部に設けられたスケ
ールの長手方向に直交する方向に、本体部を断面した図
であり、図９（ｂ）は、本体部に設けられたスケールの
長手方向に平行な方向に、本体部を断面した図である。
工作機械の基準部に取り付けられた状態を説明する為の
断面図である。図９（ａ）は、本体部に設けられたスケ
ールの長手方向に直交する方向に、本体部を断面した図
であり、図９（ｂ）は、本体部に設けられたスケールの
長手方向に平行な方向に、本体部を断面した図である。
【０００９】スケール装置の本体部１００は、筐体１０
１と長尺状のスケール１０２とがブラケット１０３によ
り固定されている。また、筐体１０１が、ボルト１０
４，第１の座金１０５，第２の座金１０６等の固定部材
により、工作機械の基準部１１０に固定されている。
１と長尺状のスケール１０２とがブラケット１０３によ
り固定されている。また、筐体１０１が、ボルト１０
４，第１の座金１０５，第２の座金１０６等の固定部材
により、工作機械の基準部１１０に固定されている。
【００１０】筐体１０１の内部には、第１の座金１０５
が、ボルト軸が挿通される挿通孔の中心が筐体１０１に
設けられている筐体取付孔１０７の中心と一致するよう
に配設されている。また、筐体１０１と基準部１１０と
の間には、第２の座金１０６が、ボルト軸が挿通される
挿通孔の中心が筐体取付孔１０７の中心と一致するよう
に配設されている。ボルト１０４は、ボルト頭部１０８
が筐体１０１内に収納され、ボルト軸部１０９が第１の
座金１０５の挿通孔と筐体取付孔１０７と第２の座金１
０６の挿通孔とを挿通して、筐体１０１の外部に突出さ
れている。そして、ボルト１０４に、ボルト頭部１０８
からボルト軸部１０９へ向かう方向（図中Ｚ2方向）に
締め付け力が与えられ、筐体１０１が基準部１１０に固
定されている。
が、ボルト軸が挿通される挿通孔の中心が筐体１０１に
設けられている筐体取付孔１０７の中心と一致するよう
に配設されている。また、筐体１０１と基準部１１０と
の間には、第２の座金１０６が、ボルト軸が挿通される
挿通孔の中心が筐体取付孔１０７の中心と一致するよう
に配設されている。ボルト１０４は、ボルト頭部１０８
が筐体１０１内に収納され、ボルト軸部１０９が第１の
座金１０５の挿通孔と筐体取付孔１０７と第２の座金１
０６の挿通孔とを挿通して、筐体１０１の外部に突出さ
れている。そして、ボルト１０４に、ボルト頭部１０８
からボルト軸部１０９へ向かう方向（図中Ｚ2方向）に
締め付け力が与えられ、筐体１０１が基準部１１０に固
定されている。
【００１１】このような固定部材により固定される本体
部１００の固定位置は、固定部材の小型化や取付の簡便
性等の観点から、一般に、スケール１０２の長手方向に
おける筐体１０１の両端部とされている。
部１００の固定位置は、固定部材の小型化や取付の簡便
性等の観点から、一般に、スケール１０２の長手方向に
おける筐体１０１の両端部とされている。
【００１２】ところで、ボルト頭部１０８と第１の座金
１０５との当設面，第１の座金１０５と筐体１０１との
当設面，筐体１０１と第２の座金１０６との当設面，第
２の座金１０６と基準部１１０との当設面は、一般に、
完全に平面とはなっておらず微妙なうねりや曲がりが存
在する。また、一般に、ボルト軸部１０９はボルト頭部
１０８に対して完全に垂直とはなっておらず微妙な曲が
りが存在する。また、ボルト軸部１０９をスケール１０
２の長手方向に完全に垂直となるように締め付けること
は難しいため、このボルト軸部１０９をスケール１０２
の長手方向に完全に垂直にして固定することは困難であ
る。
１０５との当設面，第１の座金１０５と筐体１０１との
当設面，筐体１０１と第２の座金１０６との当設面，第
２の座金１０６と基準部１１０との当設面は、一般に、
完全に平面とはなっておらず微妙なうねりや曲がりが存
在する。また、一般に、ボルト軸部１０９はボルト頭部
１０８に対して完全に垂直とはなっておらず微妙な曲が
りが存在する。また、ボルト軸部１０９をスケール１０
２の長手方向に完全に垂直となるように締め付けること
は難しいため、このボルト軸部１０９をスケール１０２
の長手方向に完全に垂直にして固定することは困難であ
る。
【００１３】そのため、従来のスケール装置では、本体
部１００を基準部１１０に固定する固定力を強くするた
めに、例えば、ボルト頭部１０８，第１の座金１０５，
第２の座金１０６等の固定部材の直径を大きくしたり、
ボルト頭部１０８からボルト軸部１０９へ向かう方向へ
の締め付け力を大きくしたりしていた。しかしながら、
この場合、スケール１０２の長手方向の曲げモーメント
Ｍ3が筐体１０１に加わり、この筐体１０１やスケール
１０２を例えば弓状に変形させてしまっていた。
部１００を基準部１１０に固定する固定力を強くするた
めに、例えば、ボルト頭部１０８，第１の座金１０５，
第２の座金１０６等の固定部材の直径を大きくしたり、
ボルト頭部１０８からボルト軸部１０９へ向かう方向へ
の締め付け力を大きくしたりしていた。しかしながら、
この場合、スケール１０２の長手方向の曲げモーメント
Ｍ3が筐体１０１に加わり、この筐体１０１やスケール
１０２を例えば弓状に変形させてしまっていた。
【００１４】このように、従来のスケール装置では、ス
ケール１０２の長手方向を、工作機械等の可動部の移動
方向に平行として取り付けることが困難であり、このこ
とから位置検出の精度を悪化させてしまう場合があっ
た。
ケール１０２の長手方向を、工作機械等の可動部の移動
方向に平行として取り付けることが困難であり、このこ
とから位置検出の精度を悪化させてしまう場合があっ
た。
【００１５】本発明は、このような実情を鑑みてなされ
たものであり、記録媒体の長手方向に対する曲げモーメ
ントを少なくして本体や記録媒体を変形させることなく
工作機械等に固定し、高精度に位置検出をすることがで
きる位置検出装置を提供することを目的とする。
たものであり、記録媒体の長手方向に対する曲げモーメ
ントを少なくして本体や記録媒体を変形させることなく
工作機械等に固定し、高精度に位置検出をすることがで
きる位置検出装置を提供することを目的とする。
【００１６】
【課題を解決するための手段】上述の課題を解決するた
めに、本発明に係る位置検出装置は、相対的に直線移動
する第１の部材と第２の部材との相対移動位置を検出す
る位置検出装置であって、長手方向に位置信号が記録さ
れた長尺状の記録媒体を保持し、この記録媒体の長手方
向が上記第１の部材と上記第２の部材との相対移動方向
と平行となるように上記第１の部材に固定される本体
と、上記位置信号を検出する検出ヘッドを有し、上記記
録媒体の長手方向と平行な方向に相対移動可能に上記本
体に設けられるとともに、第２の部材に固定されるヘッ
ドスライダと、上記本体との当設面が上記記録媒体の長
手方向に平行な方向にのみ曲率を有する曲面からなり、
この本体と上記第１の部材とを固定する固定部材とを備
え、上記第１の部材と上記第２の部材との相対移動位置
を検出する。
めに、本発明に係る位置検出装置は、相対的に直線移動
する第１の部材と第２の部材との相対移動位置を検出す
る位置検出装置であって、長手方向に位置信号が記録さ
れた長尺状の記録媒体を保持し、この記録媒体の長手方
向が上記第１の部材と上記第２の部材との相対移動方向
と平行となるように上記第１の部材に固定される本体
と、上記位置信号を検出する検出ヘッドを有し、上記記
録媒体の長手方向と平行な方向に相対移動可能に上記本
体に設けられるとともに、第２の部材に固定されるヘッ
ドスライダと、上記本体との当設面が上記記録媒体の長
手方向に平行な方向にのみ曲率を有する曲面からなり、
この本体と上記第１の部材とを固定する固定部材とを備
え、上記第１の部材と上記第２の部材との相対移動位置
を検出する。
【００１７】この位置検出装置では、本体との当設面が
記録媒体の長手方向に平行な方向にのみ曲面を有する固
定部材が、記録媒体の長手方向と平行となるように本体
を第１の部材に固定し、上記検出ヘッドが上記記録媒体
に記録された位置信号を検出して、第１の部材と第２の
部材との相対移動位置を検出する。
記録媒体の長手方向に平行な方向にのみ曲面を有する固
定部材が、記録媒体の長手方向と平行となるように本体
を第１の部材に固定し、上記検出ヘッドが上記記録媒体
に記録された位置信号を検出して、第１の部材と第２の
部材との相対移動位置を検出する。
【００１８】また、本発明に係る位置検出装置は、相対
的に直線移動する第１の部材と第２の部材との相対移動
位置を検出する位置検出装置であって、長手方向に位置
信号が記録され、この長手方向が上記第１の部材と上記
第２の部材との相対移動方向と平行となるように上記第
１の部材に固定される長尺状の記録媒体と、上記第２の
部材に固定され、上記記録媒体の長手方向と平行な方向
に相対移動して上記位置信号を検出する検出ヘッドと、
上記記録媒体との当設面が、この記録媒体の長手方向に
平行な方向にのみ曲率を有する曲面からなり、この記録
媒体と上記第１の部材とを固定する固定部材とを備え、
上記第１の部材と上記第２の部材との相対移動位置を検
出する。
的に直線移動する第１の部材と第２の部材との相対移動
位置を検出する位置検出装置であって、長手方向に位置
信号が記録され、この長手方向が上記第１の部材と上記
第２の部材との相対移動方向と平行となるように上記第
１の部材に固定される長尺状の記録媒体と、上記第２の
部材に固定され、上記記録媒体の長手方向と平行な方向
に相対移動して上記位置信号を検出する検出ヘッドと、
上記記録媒体との当設面が、この記録媒体の長手方向に
平行な方向にのみ曲率を有する曲面からなり、この記録
媒体と上記第１の部材とを固定する固定部材とを備え、
上記第１の部材と上記第２の部材との相対移動位置を検
出する。
【００１９】この位置検出装置では、記録媒体との当設
面がこの記録媒体の長手方向に平行な方向にのみ曲面を
有する固定部材が、記録媒体を第１の部材に固定し、上
記検出ヘッドが上記記録媒体に記録された位置信号を検
出して、第１の部材と第２の部材との相対移動位置を検
出する。
面がこの記録媒体の長手方向に平行な方向にのみ曲面を
有する固定部材が、記録媒体を第１の部材に固定し、上
記検出ヘッドが上記記録媒体に記録された位置信号を検
出して、第１の部材と第２の部材との相対移動位置を検
出する。
【００２０】
【発明の実施の形態】以下、本発明を適用した実施の形
態のスケール装置について図面を参照しながら説明をす
る。
態のスケール装置について図面を参照しながら説明をす
る。
【００２１】図１に、本発明を適用した実施の形態のス
ケール装置の斜視図を示し、図２に、このスケール装置
の側面図を示し、図３に、このスケール装置の内部構造
を表すための断面図を示す。
ケール装置の斜視図を示し、図２に、このスケール装置
の側面図を示し、図３に、このスケール装置の内部構造
を表すための断面図を示す。
【００２２】本発明を適用した実施の形態のスケール装
置１は、本体部２と、この本体部２に取り付けられたヘ
ッドスライダ３とから構成される。
置１は、本体部２と、この本体部２に取り付けられたヘ
ッドスライダ３とから構成される。
【００２３】このスケール装置１は、工作機械等の一部
として構成され相対的に直線移動する２部材の相対移動
位置を、検出する装置である。例えば、スケール装置１
は、所定の位置に固定された基準部４と、この基準部４
に対して図１中に示すＸ1方向及びＸ2方向に直線移動す
る可動部５との相対移動位置を検出する。このスケール
装置１は、本体部２或いはヘッドスライダ３のいずれか
一方が基準部４に取り付けられ、他方が可動部５に取り
付けられる。図１及び図２中には、基準部４に本体部２
を取り付け、可動部５にヘッドスライダ３を取り付けた
例を示している。
として構成され相対的に直線移動する２部材の相対移動
位置を、検出する装置である。例えば、スケール装置１
は、所定の位置に固定された基準部４と、この基準部４
に対して図１中に示すＸ1方向及びＸ2方向に直線移動す
る可動部５との相対移動位置を検出する。このスケール
装置１は、本体部２或いはヘッドスライダ３のいずれか
一方が基準部４に取り付けられ、他方が可動部５に取り
付けられる。図１及び図２中には、基準部４に本体部２
を取り付け、可動部５にヘッドスライダ３を取り付けた
例を示している。
【００２４】本体部２は、筐体１１と、丸棒状の高保磁
力材料からなる記録媒体であり、この筐体１１の内部に
設けられたスケール１２と、スケール１２の両端部を保
持してこのスケール１２を筐体１１内の所定の位置に固
定するブラケット１３，１４とを有している。なお、図
１中には、図面の記載の明確化のため、このブラケット
１３，１４を図示していない。
力材料からなる記録媒体であり、この筐体１１の内部に
設けられたスケール１２と、スケール１２の両端部を保
持してこのスケール１２を筐体１１内の所定の位置に固
定するブラケット１３，１４とを有している。なお、図
１中には、図面の記載の明確化のため、このブラケット
１３，１４を図示していない。
【００２５】筐体１１は、例えば、矩形の筒状の形状を
有しており、一側面が切り欠かれスリット１５が形成さ
れている。また、この筐体１１は、スリット１５が形成
された側面と直交する側面１７，１８の長手方向の端部
に、略円形状の筐体取付孔２１，２２，２３，２４が形
成されている。
有しており、一側面が切り欠かれスリット１５が形成さ
れている。また、この筐体１１は、スリット１５が形成
された側面と直交する側面１７，１８の長手方向の端部
に、略円形状の筐体取付孔２１，２２，２３，２４が形
成されている。
【００２６】スケール１２は、ブラケット１３，１４に
よりその両端が保持され、筐体１１内に固定されてい
る。このスケール１２は、筐体１１の長手方向に平行で
あり、矩形の筒の中心軸上に位置されるように設けられ
ている。また、このスケール１２には、ピットやマーク
等が所定連続して所定の間隔で繰り返される位置信号
が、長手方向に沿って記録されている。例えば、このス
ケール１２には、所定の記録波長で極性が反転する磁気
信号が位置信号として、長手方向に沿って連続して記録
されている。
よりその両端が保持され、筐体１１内に固定されてい
る。このスケール１２は、筐体１１の長手方向に平行で
あり、矩形の筒の中心軸上に位置されるように設けられ
ている。また、このスケール１２には、ピットやマーク
等が所定連続して所定の間隔で繰り返される位置信号
が、長手方向に沿って記録されている。例えば、このス
ケール１２には、所定の記録波長で極性が反転する磁気
信号が位置信号として、長手方向に沿って連続して記録
されている。
【００２７】また、ヘッドスライダ３は、本体部２の内
部に設けられたヘッド保持部３１と、本体部２の外部に
設けられたヘッドキャリア３２と、このヘッド保持部３
１とヘッドキャリア３２とを連結する連結部３３とを有
し、スケール１２の長手方向に移動可能に本体部２に取
り付けられている。
部に設けられたヘッド保持部３１と、本体部２の外部に
設けられたヘッドキャリア３２と、このヘッド保持部３
１とヘッドキャリア３２とを連結する連結部３３とを有
し、スケール１２の長手方向に移動可能に本体部２に取
り付けられている。
【００２８】図４に、このヘッド保持部３１の要部の分
解斜視図を示す。
解斜視図を示す。
【００２９】ヘッド保持部３１には、ヘッドホルダ３４
が設けられている。このヘッドホルダ３４には、スケー
ル１２の挿通孔が設けられている。ヘッドホルダ３４
は、この挿通孔にこのスケール１２が挿通されることに
より、このスケール１２に取り付けられ、このスケール
１２の長手方向に直線移動可能とされている。
が設けられている。このヘッドホルダ３４には、スケー
ル１２の挿通孔が設けられている。ヘッドホルダ３４
は、この挿通孔にこのスケール１２が挿通されることに
より、このスケール１２に取り付けられ、このスケール
１２の長手方向に直線移動可能とされている。
【００３０】このヘッドホルダ３４は、ヘッドホルダケ
ース３６により外部が覆い包まれており、その内部にＭ
Ｒヘッド３５を保持している。このＭＲヘッド３５は、
スケール１２に記録されている位置信号を検出する。こ
のＭＲヘッド３５は、スケール１２に記録されている位
置信号が検出できるようにこの位置信号に対向する位置
に設けられている。このＭＲヘッド３５は、ヘッドホル
ダ３４に保持されていることから、このヘッドホルダ３
４の直線移動に伴いスケール１２の長手方向に平行移動
する。
ース３６により外部が覆い包まれており、その内部にＭ
Ｒヘッド３５を保持している。このＭＲヘッド３５は、
スケール１２に記録されている位置信号を検出する。こ
のＭＲヘッド３５は、スケール１２に記録されている位
置信号が検出できるようにこの位置信号に対向する位置
に設けられている。このＭＲヘッド３５は、ヘッドホル
ダ３４に保持されていることから、このヘッドホルダ３
４の直線移動に伴いスケール１２の長手方向に平行移動
する。
【００３１】このヘッドホルダ３４のスケール１２の長
手方向の両端には、一対の摺動支持部材３７，３８が取
り付けられている。この摺動支持部材３７，３８は、そ
の形状が略円柱状となっており、その中心軸にスケール
１２が挿通する挿通孔が設けられている。この摺動支持
部材３７，３８は、この挿通孔にスケール１２が挿通さ
れることにより、このスケール１２に摺動自在に支持さ
れる。また、この摺動支持部材３７，３８は、スケール
１２に摺動自在に支持されることにより、ヘッドホルダ
３４がスケール１２の長手方向に平行移動した場合に、
このヘッドホルダ３４を移動方向と直交する方向に位置
ぶれを生じさせないようにしている。
手方向の両端には、一対の摺動支持部材３７，３８が取
り付けられている。この摺動支持部材３７，３８は、そ
の形状が略円柱状となっており、その中心軸にスケール
１２が挿通する挿通孔が設けられている。この摺動支持
部材３７，３８は、この挿通孔にスケール１２が挿通さ
れることにより、このスケール１２に摺動自在に支持さ
れる。また、この摺動支持部材３７，３８は、スケール
１２に摺動自在に支持されることにより、ヘッドホルダ
３４がスケール１２の長手方向に平行移動した場合に、
このヘッドホルダ３４を移動方向と直交する方向に位置
ぶれを生じさせないようにしている。
【００３２】また、ヘッド保持部３１には、一対の第１
のスペーサ３９，４０と、一対の第２のスペーサ４１，
４２とが設けられている。
のスペーサ３９，４０と、一対の第２のスペーサ４１，
４２とが設けられている。
【００３３】一対の第１のスペーサ３９，４０には、ス
ケール１２が挿通する挿通孔が設けられている。この一
対の第１のスペーサ３９，４０は、この挿通孔にスケー
ル１２が挿通されることにより、スケール１２に取り付
けられ、スケール１２の長手方向に直線移動可能とされ
ている。また、この一対の第１のスペーサ３９，４０
は、摺動支持部材３７，３８のスケール１２の長手方向
のヘッドホルダ３４が取り付けられていない一端面に当
設している。
ケール１２が挿通する挿通孔が設けられている。この一
対の第１のスペーサ３９，４０は、この挿通孔にスケー
ル１２が挿通されることにより、スケール１２に取り付
けられ、スケール１２の長手方向に直線移動可能とされ
ている。また、この一対の第１のスペーサ３９，４０
は、摺動支持部材３７，３８のスケール１２の長手方向
のヘッドホルダ３４が取り付けられていない一端面に当
設している。
【００３４】また、一対の第２のスペーサ４１，４２
は、スケール１２が挿通する挿通孔が設けられている。
この一対の第２のスペーサ４１，４２は、この挿通孔に
スケール１２が挿通されることにより、スケール１２に
取り付けられ、スケール１２の長手方向に直線移動可能
とされている。また、この一対の第２のスペーサ４１，
４２は、第１のスペーサ３９，４０のスケール１２の長
手方向の摺動支持部材３７，３８が当設していない一端
面に当設している。
は、スケール１２が挿通する挿通孔が設けられている。
この一対の第２のスペーサ４１，４２は、この挿通孔に
スケール１２が挿通されることにより、スケール１２に
取り付けられ、スケール１２の長手方向に直線移動可能
とされている。また、この一対の第２のスペーサ４１，
４２は、第１のスペーサ３９，４０のスケール１２の長
手方向の摺動支持部材３７，３８が当設していない一端
面に当設している。
【００３５】また、ヘッド保持部３１には、一対のヘッ
ドホルダ挟持部材４３，４４と、バネ４５とが設けられ
ている。
ドホルダ挟持部材４３，４４と、バネ４５とが設けられ
ている。
【００３６】ヘッドホルダ挟持部材４３，４４には、ス
ケール１２が挿通する挿通孔が設けられている。ヘッド
ホルダ挟持部材４３，４４は、この挿通孔にスケール１
２が挿通されることにより、スケール１２に取り付けら
れ、スケール１２の長手方向に直線移動可能とされてい
る。また、このヘッドホルダ挟持部材４３，４４は、連
結部３３に固定されている。この一対のヘッドホルダ挟
持部材４３，４４は、摺動支持部材３７，３８が取り付
けられたヘッドホルダ３４を、一対の第１のスペーサ３
９，４０と一対の第２のスペーサ４１，４２を介して、
スケール１２の長手方向に平行な方向の両端から挟持し
ている。また、ヘッドホルダ挟持部材４３と第２のスペ
ーサ４１との間には、バネ４５が設けられいる。このバ
ネ４５は、このヘッドホルダ挟持部材４３からヘッドホ
ルダ挟持部材４４に向かう方向へ、ヘッドホルダ３４を
付勢している。
ケール１２が挿通する挿通孔が設けられている。ヘッド
ホルダ挟持部材４３，４４は、この挿通孔にスケール１
２が挿通されることにより、スケール１２に取り付けら
れ、スケール１２の長手方向に直線移動可能とされてい
る。また、このヘッドホルダ挟持部材４３，４４は、連
結部３３に固定されている。この一対のヘッドホルダ挟
持部材４３，４４は、摺動支持部材３７，３８が取り付
けられたヘッドホルダ３４を、一対の第１のスペーサ３
９，４０と一対の第２のスペーサ４１，４２を介して、
スケール１２の長手方向に平行な方向の両端から挟持し
ている。また、ヘッドホルダ挟持部材４３と第２のスペ
ーサ４１との間には、バネ４５が設けられいる。このバ
ネ４５は、このヘッドホルダ挟持部材４３からヘッドホ
ルダ挟持部材４４に向かう方向へ、ヘッドホルダ３４を
付勢している。
【００３７】また、ヘッドホルダ３４には、回り止め用
ピン４６が設けられている。この周り止め用ピン４６
は、長手方向の一端がヘッドホルダ３４に固定されてお
り、他端が連結部３３に設けられた回転規制穴４７に挿
入されている。そのため、ヘッドホルダ３４のスケール
１２を中心軸とする回転が規制される。
ピン４６が設けられている。この周り止め用ピン４６
は、長手方向の一端がヘッドホルダ３４に固定されてお
り、他端が連結部３３に設けられた回転規制穴４７に挿
入されている。そのため、ヘッドホルダ３４のスケール
１２を中心軸とする回転が規制される。
【００３８】また、第１のスペーサ３９，４０と第２の
スペーサ４１，４２とが当設するそれぞれの当設面は球
面形状を有している。この球面形状の当設面は、ヘッド
ホルダ挟持部材４３，４４がスケール１２の長手方向に
直交する方向にヘッドホルダ挟持部材４３，４４が位置
ずれした場合に、摺動支持部材３７，３８等からスケー
ル１２に与える曲げモーメントを少なくするように機能
している。
スペーサ４１，４２とが当設するそれぞれの当設面は球
面形状を有している。この球面形状の当設面は、ヘッド
ホルダ挟持部材４３，４４がスケール１２の長手方向に
直交する方向にヘッドホルダ挟持部材４３，４４が位置
ずれした場合に、摺動支持部材３７，３８等からスケー
ル１２に与える曲げモーメントを少なくするように機能
している。
【００３９】以上のような構成のヘッド保持部３１は、
このスケール１２の長手方向に平行な方向に移動可能
に、このスケール１２に取り付けられており、この移動
に応じてＭＲヘッド３５がスケール１２に記録された位
置信号を検出する。
このスケール１２の長手方向に平行な方向に移動可能
に、このスケール１２に取り付けられており、この移動
に応じてＭＲヘッド３５がスケール１２に記録された位
置信号を検出する。
【００４０】このヘッド保持部３１は、連結部３３を介
してヘッドキャリア３２と連結している。この連結部３
３は、スケール１２の長手方向と直交する方向の一端が
ヘッドホルダ挟持部材４３，４４に固定され、他端がス
リット１５から挿出して本体部２の外部に設けられたヘ
ッドキャリア３２に固定される。
してヘッドキャリア３２と連結している。この連結部３
３は、スケール１２の長手方向と直交する方向の一端が
ヘッドホルダ挟持部材４３，４４に固定され、他端がス
リット１５から挿出して本体部２の外部に設けられたヘ
ッドキャリア３２に固定される。
【００４１】このようにヘッドスライダ３は、これらヘ
ッド保持部３１、ヘッドキャリア３２、連結部３３で構
成され、スケール１２の長手方向に移動自在に本体部２
に取り付けられている。そして、このヘッドスライダ３
は、本体部２との相対移動に応じてＭＲヘッド３５が検
出した位置信号を、ヘッドキャリア３２に設けられた信
号ケーブル４８を介して図示しない制御装置に供給す
る。
ッド保持部３１、ヘッドキャリア３２、連結部３３で構
成され、スケール１２の長手方向に移動自在に本体部２
に取り付けられている。そして、このヘッドスライダ３
は、本体部２との相対移動に応じてＭＲヘッド３５が検
出した位置信号を、ヘッドキャリア３２に設けられた信
号ケーブル４８を介して図示しない制御装置に供給す
る。
【００４２】以上のような構成のスケール装置１は、ス
ケール１２が基準部４と可動部５の相対移動方向に平行
となり、スリット１５が可動部５側に開口するように配
置される。このように配置されたスケール装置１の本体
部２は、スリット１５が形成された側面と直交する側面
１７，１８の一方が取付面となる。そして、この取付面
のスケール１２の長手方向に平行な方向の端部に設けら
れた筐体取付孔２１，２２，２３，２４の位置で、本体
用ボルト５１，５２等の固定部材により、基準部４に固
定される。また、このように配置されたスケール装置１
のヘッドスライダ３は、スライダ用ボルト５３，５４に
より可動部５に固定される。
ケール１２が基準部４と可動部５の相対移動方向に平行
となり、スリット１５が可動部５側に開口するように配
置される。このように配置されたスケール装置１の本体
部２は、スリット１５が形成された側面と直交する側面
１７，１８の一方が取付面となる。そして、この取付面
のスケール１２の長手方向に平行な方向の端部に設けら
れた筐体取付孔２１，２２，２３，２４の位置で、本体
用ボルト５１，５２等の固定部材により、基準部４に固
定される。また、このように配置されたスケール装置１
のヘッドスライダ３は、スライダ用ボルト５３，５４に
より可動部５に固定される。
【００４３】つぎに、本体部２を基準部４に固定する固
定部材について説明する。
定部材について説明する。
【００４４】図５に、本体部２を基準部４に固定する固
定部材を説明するための断面図を示す。図５（ａ）には
スケール１２の長手方向に直交する方向にスケール装置
１を断面した図を示し、図５（ｂ）にはスケール１２の
長手方向に平行な方向にスケール装置１を断面した図を
示す。なお、この図５には筐体取付孔２２，２４が設け
られた一方の本体部２の端部のみを示し、以下、この端
部における固定部材の説明を行うが、他方の本体部２の
端部も同様な固定部材を用いて本体部２と基準部４とが
取り付けられている。
定部材を説明するための断面図を示す。図５（ａ）には
スケール１２の長手方向に直交する方向にスケール装置
１を断面した図を示し、図５（ｂ）にはスケール１２の
長手方向に平行な方向にスケール装置１を断面した図を
示す。なお、この図５には筐体取付孔２２，２４が設け
られた一方の本体部２の端部のみを示し、以下、この端
部における固定部材の説明を行うが、他方の本体部２の
端部も同様な固定部材を用いて本体部２と基準部４とが
取り付けられている。
【００４５】スケール装置１の筐体１１の内部には、第
１の座金５５が、ボルト軸が挿通される挿通孔の中心が
筐体取付孔２４の中心と一致するように配設されてい
る。また、スケール装置１の筐体１１と基準部４との間
には、第２の座金５６が、ボルト軸が挿通される挿通孔
の中心が筐体取付孔２４の中心と一致するように配設さ
れている。本体用ボルト５２は、ボルト頭部６１が本体
部２の筐体１１内に収納され、ボルト軸部６２が第１の
座金５５の挿通孔と筐体取付孔２４と第２の座金５６の
挿通孔とを挿通して、筐体１１の外部に突出されてい
る。そして、本体用ボルト５２が、ボルト頭部６１から
ボルト軸部６２へ向かう方向（図中Ｚ1方向）に締め付
け力が与えられ、本体部２の筐体１１を基準部４に固定
している。
１の座金５５が、ボルト軸が挿通される挿通孔の中心が
筐体取付孔２４の中心と一致するように配設されてい
る。また、スケール装置１の筐体１１と基準部４との間
には、第２の座金５６が、ボルト軸が挿通される挿通孔
の中心が筐体取付孔２４の中心と一致するように配設さ
れている。本体用ボルト５２は、ボルト頭部６１が本体
部２の筐体１１内に収納され、ボルト軸部６２が第１の
座金５５の挿通孔と筐体取付孔２４と第２の座金５６の
挿通孔とを挿通して、筐体１１の外部に突出されてい
る。そして、本体用ボルト５２が、ボルト頭部６１から
ボルト軸部６２へ向かう方向（図中Ｚ1方向）に締め付
け力が与えられ、本体部２の筐体１１を基準部４に固定
している。
【００４６】ここで、第１の座金５５の筐体１１が当設
する当設面は、スケール１２の長手方向に平行な方向に
曲率を有し、スケール１２の長手方向と直交する方向に
は曲率を有さない曲面となっている。すなわち、この第
１の座金５５は、スケール１２の長手方向と平行な方向
で断面した場合、筐体１１との当設面の形状が円弧状と
なっている。また、この第１の座金５５は、スケール１
２の長手方向と直交する方向で断面した場合、筐体１１
との当設面の形状が直線状となっている。
する当設面は、スケール１２の長手方向に平行な方向に
曲率を有し、スケール１２の長手方向と直交する方向に
は曲率を有さない曲面となっている。すなわち、この第
１の座金５５は、スケール１２の長手方向と平行な方向
で断面した場合、筐体１１との当設面の形状が円弧状と
なっている。また、この第１の座金５５は、スケール１
２の長手方向と直交する方向で断面した場合、筐体１１
との当設面の形状が直線状となっている。
【００４７】そのため、スケール装置１では、筐体１１
やスケール１２に加わる長手方向の曲げモーメントＭ1
を少なくすることができる。従って、筐体１１やスケー
ル１２を例えば弓状に変形させてしまうことなく、基準
部４と可動部５との相対移動方向に対してスケール１２
の長手方向を平行に保って、本体部２を基準部４に固定
することができる。
やスケール１２に加わる長手方向の曲げモーメントＭ1
を少なくすることができる。従って、筐体１１やスケー
ル１２を例えば弓状に変形させてしまうことなく、基準
部４と可動部５との相対移動方向に対してスケール１２
の長手方向を平行に保って、本体部２を基準部４に固定
することができる。
【００４８】また、第１の座金５５の筐体１１が当設す
る当設面は、スケール１２の長手方向と直交する方向に
は、曲率を有しておらず直線となっている。そのため、
筐体１１やスケール１２に加わる長手方向と直交する方
向の曲げモーメントＭ2は少なくならない。しかしなが
ら、スケール装置１では、スケール１２が筐体１１の長
手方向に直交する方向の断面に対して中心に位置するよ
うに配置されている。そのため、スケール１２の長手方
向に直交する方向の曲げモーメントＭ2により、筐体１
１やスケール１２は、スケール１２の中心軸を中心とし
た回転変形しか生じない。従って、スケール装置１の位
置検出精度を悪化させることはない。さらに、この直線
部分により、ボルト頭部６１からボルト軸部６２へ向か
う方向への十分な締め付け力を加えることができ、筐体
１１と基準部４とを必要十分な力で固定することができ
る。
る当設面は、スケール１２の長手方向と直交する方向に
は、曲率を有しておらず直線となっている。そのため、
筐体１１やスケール１２に加わる長手方向と直交する方
向の曲げモーメントＭ2は少なくならない。しかしなが
ら、スケール装置１では、スケール１２が筐体１１の長
手方向に直交する方向の断面に対して中心に位置するよ
うに配置されている。そのため、スケール１２の長手方
向に直交する方向の曲げモーメントＭ2により、筐体１
１やスケール１２は、スケール１２の中心軸を中心とし
た回転変形しか生じない。従って、スケール装置１の位
置検出精度を悪化させることはない。さらに、この直線
部分により、ボルト頭部６１からボルト軸部６２へ向か
う方向への十分な締め付け力を加えることができ、筐体
１１と基準部４とを必要十分な力で固定することができ
る。
【００４９】また、第１の座金５５は、本体用ボルト５
２により筐体１１と基準部４とを固定する際に生じる回
転力で配設位置が変わらないように、例えば、回転止め
用の溝、穴、ボス等を設けたり、また、筐体１１との当
設面と直交する面を一部平面形状としてこの部分を筐体
１１等の回転をしない部材と当設させるようにしてもよ
い。このことにより、第１の座金５５の筐体１１との当
設面を、スケール１２の長手方向に平行な方向に曲率を
有するように維持することがきる。
２により筐体１１と基準部４とを固定する際に生じる回
転力で配設位置が変わらないように、例えば、回転止め
用の溝、穴、ボス等を設けたり、また、筐体１１との当
設面と直交する面を一部平面形状としてこの部分を筐体
１１等の回転をしない部材と当設させるようにしてもよ
い。このことにより、第１の座金５５の筐体１１との当
設面を、スケール１２の長手方向に平行な方向に曲率を
有するように維持することがきる。
【００５０】このような第１の座金５５の材質は、鉄系
金属の様な硬い材質が望ましい。当設面の曲率は、本体
用ボルト５２の大きさに応じて異なるものであるが、例
えば、本体用ボルト５２がＭ４〜Ｍ８であれば、２０〜
６０ｍｍ程度が望ましい。当設面のスケール１２の長手
方向に平行な方向の長さは、本体用ボルト５２の大きさ
及び筐体１１の材質に応じて異なるものであるが、例え
ば、本体用ボルト５２がＭ５であり、筐体１１が鉄系金
属であれば、２〜１０ｍｍが望ましい。また、本体用ボ
ルト５２の大きさが大きい場合、締め付け力が大きくな
って、筐体１１と基準部４との固定力が大きくなるた
め、基準部４と可動部５との相対移動方向に対してスケ
ール１２の長手方向を平行に保って本体部２を基準部４
に固定する第１の座金５５による位置精度の保持効果を
大きくすることができる。
金属の様な硬い材質が望ましい。当設面の曲率は、本体
用ボルト５２の大きさに応じて異なるものであるが、例
えば、本体用ボルト５２がＭ４〜Ｍ８であれば、２０〜
６０ｍｍ程度が望ましい。当設面のスケール１２の長手
方向に平行な方向の長さは、本体用ボルト５２の大きさ
及び筐体１１の材質に応じて異なるものであるが、例え
ば、本体用ボルト５２がＭ５であり、筐体１１が鉄系金
属であれば、２〜１０ｍｍが望ましい。また、本体用ボ
ルト５２の大きさが大きい場合、締め付け力が大きくな
って、筐体１１と基準部４との固定力が大きくなるた
め、基準部４と可動部５との相対移動方向に対してスケ
ール１２の長手方向を平行に保って本体部２を基準部４
に固定する第１の座金５５による位置精度の保持効果を
大きくすることができる。
【００５１】以上のように本発明の実施の形態のスケー
ル装置１では、筐体１１との当設面がスケール１２の長
手方向に平行な方向にのみ曲面を有する第１の座金５５
により、スケール１２の長手方向と平行となるように筐
体１１を基準部４に固定するので、スケール１２の長手
方向に対する変形を筐体１１やスケール１２に生じさせ
ることはない。そのため、このスケール装置１では、基
準部４と可動部５との相対位置の検出精度を高くするこ
とができる。また、このスケール装置１では、高い強度
を有する材質を用いることなく本体部２を構成すること
ができ、また、筐体１１と基準部４との取付作業を簡単
に行うことができるので、装置の小型化やコストダウン
を図ることができる。
ル装置１では、筐体１１との当設面がスケール１２の長
手方向に平行な方向にのみ曲面を有する第１の座金５５
により、スケール１２の長手方向と平行となるように筐
体１１を基準部４に固定するので、スケール１２の長手
方向に対する変形を筐体１１やスケール１２に生じさせ
ることはない。そのため、このスケール装置１では、基
準部４と可動部５との相対位置の検出精度を高くするこ
とができる。また、このスケール装置１では、高い強度
を有する材質を用いることなく本体部２を構成すること
ができ、また、筐体１１と基準部４との取付作業を簡単
に行うことができるので、装置の小型化やコストダウン
を図ることができる。
【００５２】つぎに、本体部２を基準部４に固定する固
定部材を変えたスケール装置１の変形例について説明す
る。
定部材を変えたスケール装置１の変形例について説明す
る。
【００５３】図６に、スケール装置１の変形例の固定部
材を説明するための断面図を示す。図６（ａ）にはスケ
ール１２の長手方向に直交する方向にスケール装置１を
断面した図を示し、図６（ｂ）にはスケール１２の長手
方向に平行な方向にスケール装置１を断面した図を示
す。
材を説明するための断面図を示す。図６（ａ）にはスケ
ール１２の長手方向に直交する方向にスケール装置１を
断面した図を示し、図６（ｂ）にはスケール１２の長手
方向に平行な方向にスケール装置１を断面した図を示
す。
【００５４】この図６に示すように、スケール装置１で
は、第２の座金５６に変えて、第１の座金５５と同様
に、筐体１１が当設する当設面がスケール１２の長手方
向に平行な方向に曲率を有し、スケール１２の長手方向
と直交する方向には曲率を有さない曲面となっている第
３の座金７１としてもよい。この第３の座金７１は、ス
ケール１２の長手方向と平行な方向で断面した場合、筐
体１１との当設面の形状が円弧状となっており、スケー
ル１２の長手方向と直交する方向で断面した場合、筐体
１１との当設面の形状が直線状となっている。
は、第２の座金５６に変えて、第１の座金５５と同様
に、筐体１１が当設する当設面がスケール１２の長手方
向に平行な方向に曲率を有し、スケール１２の長手方向
と直交する方向には曲率を有さない曲面となっている第
３の座金７１としてもよい。この第３の座金７１は、ス
ケール１２の長手方向と平行な方向で断面した場合、筐
体１１との当設面の形状が円弧状となっており、スケー
ル１２の長手方向と直交する方向で断面した場合、筐体
１１との当設面の形状が直線状となっている。
【００５５】そのため、この第３の座金７１を用いたス
ケール装置１では、筐体１１やスケール１２に加わる長
手方向の曲げモーメントＭ1をさらに少なくすることが
できる。従って、筐体１１やスケール１２を例えば弓状
に変形させてしまうことなく、基準部４と可動部５との
相対移動方向に対してスケール１２の長手方向を平行に
保って、本体部２を基準部４に固定することができる。
ケール装置１では、筐体１１やスケール１２に加わる長
手方向の曲げモーメントＭ1をさらに少なくすることが
できる。従って、筐体１１やスケール１２を例えば弓状
に変形させてしまうことなく、基準部４と可動部５との
相対移動方向に対してスケール１２の長手方向を平行に
保って、本体部２を基準部４に固定することができる。
【００５６】また、第３の座金７１も、上記第１の座金
５５と同様に、本体用ボルト５２により筐体１１と基準
部４とを固定する際に生じる回転力で配設位置が変わら
ないように、例えば、回転止め用の溝、穴、ボス等を設
けたり、また、筐体１１との当設面と直交する面を一部
平面形状としてこの部分を基準部４等の回転をしない部
材と当設させるようにしてもよい。このことにより、第
１の座金５５の筐体１１との当設面を、スケール１２の
長手方向に平行な方向に曲率を有するように維持するこ
とがきる。
５５と同様に、本体用ボルト５２により筐体１１と基準
部４とを固定する際に生じる回転力で配設位置が変わら
ないように、例えば、回転止め用の溝、穴、ボス等を設
けたり、また、筐体１１との当設面と直交する面を一部
平面形状としてこの部分を基準部４等の回転をしない部
材と当設させるようにしてもよい。このことにより、第
１の座金５５の筐体１１との当設面を、スケール１２の
長手方向に平行な方向に曲率を有するように維持するこ
とがきる。
【００５７】図７及び図８に、スケール装置１の他の変
形例の固定部材を説明するための断面図を示す。図７
（ａ）及び図８（ａ）にはスケール１２の長手方向に直
交する方向にスケール装置１を断面した図を示し、図７
（ｂ）及び図７（ｃ）にはスケール１２の長手方向に平
行な方向にスケール装置１を断面した図を示す。
形例の固定部材を説明するための断面図を示す。図７
（ａ）及び図８（ａ）にはスケール１２の長手方向に直
交する方向にスケール装置１を断面した図を示し、図７
（ｂ）及び図７（ｃ）にはスケール１２の長手方向に平
行な方向にスケール装置１を断面した図を示す。
【００５８】この図７及び図８に示すように、スケール
装置１では、第２の座金５６に変えて、第１の座金５５
と同様に、筐体１１が当設する当設面がスケール１２の
長手方向に平行な方向に曲率を有し、スケール１２の長
手方向と直交する方向には曲率を有さない曲面となって
いる第４の座金７２としてもよい。
装置１では、第２の座金５６に変えて、第１の座金５５
と同様に、筐体１１が当設する当設面がスケール１２の
長手方向に平行な方向に曲率を有し、スケール１２の長
手方向と直交する方向には曲率を有さない曲面となって
いる第４の座金７２としてもよい。
【００５９】この第４の座金７２は、ボルト軸が挿入す
る挿入孔が設けられこの挿入孔と直交する２つの面が取
付面７３，７４となり、この取付面７３，７４がスケー
ル１２の長手方向と平行な方向に曲率を有し、スケール
１２の長手方向に直交する方向に曲率を有さない曲面と
なっている。また、この第４の座金７２は、両者の取付
面７３，７４に、本体用ボルト５２のボルト頭部６１の
外周径と略同一の開口径を有する凹状のボルト取付座７
５，７６が形成されている。
る挿入孔が設けられこの挿入孔と直交する２つの面が取
付面７３，７４となり、この取付面７３，７４がスケー
ル１２の長手方向と平行な方向に曲率を有し、スケール
１２の長手方向に直交する方向に曲率を有さない曲面と
なっている。また、この第４の座金７２は、両者の取付
面７３，７４に、本体用ボルト５２のボルト頭部６１の
外周径と略同一の開口径を有する凹状のボルト取付座７
５，７６が形成されている。
【００６０】このように第４の座金７２は、本体用ボル
ト５２の取付方向に対して対象な形状となっており、本
体用ボルト５２がどちらの方向から挿入されても筐体１
１と基準部４とを固定することができる。そのため、こ
の第４の座金７２では、例えば、図８に示すように、筐
体１１の側面１７を基準部４とするような裏面取付を行
う場合などにおいて、取付方向を反転させる必要がな
い。従って、この第４の座金７２では、このような裏面
取付を行う場合において、取付方向を反転させずに著し
い精度悪化を生じさせることがなく、作業者の負担を軽
減させることができる。
ト５２の取付方向に対して対象な形状となっており、本
体用ボルト５２がどちらの方向から挿入されても筐体１
１と基準部４とを固定することができる。そのため、こ
の第４の座金７２では、例えば、図８に示すように、筐
体１１の側面１７を基準部４とするような裏面取付を行
う場合などにおいて、取付方向を反転させる必要がな
い。従って、この第４の座金７２では、このような裏面
取付を行う場合において、取付方向を反転させずに著し
い精度悪化を生じさせることがなく、作業者の負担を軽
減させることができる。
【００６１】以上の変形例で示したように本発明を適用
した実施の形態のスケール装置１では、筐体１１と基準
部４とを固定する固定部材であって、筐体１１との当設
面がスケール１２の長手方向に平行な方向にのみ曲率を
有する曲面からなる固定部材であれば、どのようなもの
を用いてもよい。
した実施の形態のスケール装置１では、筐体１１と基準
部４とを固定する固定部材であって、筐体１１との当設
面がスケール１２の長手方向に平行な方向にのみ曲率を
有する曲面からなる固定部材であれば、どのようなもの
を用いてもよい。
【００６２】また、本発明を適用した実施の形態とし
て、位置信号が磁気記録された丸棒状のスケール１２を
記録媒体として用いたスケール装置１について説明した
が、本発明は、このようなものに限られず、例えば、厚
みが１ｍｍ以下の薄板の長尺状の記録媒体を用いた磁気
式或いは光学式のスケール装置や、厚みが３〜７ｍｍ程
度の断面が略板状の長尺状の記録媒体を用いた磁気式或
いは光学式のスケール装置に適用することもできる。
て、位置信号が磁気記録された丸棒状のスケール１２を
記録媒体として用いたスケール装置１について説明した
が、本発明は、このようなものに限られず、例えば、厚
みが１ｍｍ以下の薄板の長尺状の記録媒体を用いた磁気
式或いは光学式のスケール装置や、厚みが３〜７ｍｍ程
度の断面が略板状の長尺状の記録媒体を用いた磁気式或
いは光学式のスケール装置に適用することもできる。
【００６３】また、さらに、本発明を適用した実施の形
態として、位置信号が記録された記録媒体であるスケー
ル１２が、ブラケット１３，１４により筐体１１の内部
に保持させたスケール装置１について説明したが、本発
明は、このようなものに限られず、例えば、筐体１１を
用いずに記録媒体を基準部４に直接固定した構成のスケ
ール装置に適用することもできる。
態として、位置信号が記録された記録媒体であるスケー
ル１２が、ブラケット１３，１４により筐体１１の内部
に保持させたスケール装置１について説明したが、本発
明は、このようなものに限られず、例えば、筐体１１を
用いずに記録媒体を基準部４に直接固定した構成のスケ
ール装置に適用することもできる。
【００６４】具体的には、このようなスケール装置で
は、長手方向に位置信号が記録されている薄板の長尺状
の記録媒体が、長手方向が基準部４及び可動部５の相対
移動方向に平行となるように、基準部４に固定されてい
る。このようなスケール装置では、記録媒体との当設面
がこの記録媒体の長手方向に平行な方向にのみ曲面を有
する上記第１の座金５５や第２の座金５６により、この
記録媒体が基準部４に固定される。そして、検出ヘッド
が、記録媒体の位置信号が記録された面と対向するよう
に、可動部５に固定する。このことにより、このような
スケール装置では、基準部４と可動部５との相対移動位
置を検出することができる。
は、長手方向に位置信号が記録されている薄板の長尺状
の記録媒体が、長手方向が基準部４及び可動部５の相対
移動方向に平行となるように、基準部４に固定されてい
る。このようなスケール装置では、記録媒体との当設面
がこの記録媒体の長手方向に平行な方向にのみ曲面を有
する上記第１の座金５５や第２の座金５６により、この
記録媒体が基準部４に固定される。そして、検出ヘッド
が、記録媒体の位置信号が記録された面と対向するよう
に、可動部５に固定する。このことにより、このような
スケール装置では、基準部４と可動部５との相対移動位
置を検出することができる。
【００６５】すなわち、本発明は、記録媒体を基準部４
に直接固定したスケール装置であっても適用することが
でき、長手方向に対する変形を記録媒体に生じさせるこ
とはない。そのため、基準部４と可動部５との相対位置
の検出精度を高くすることができる。
に直接固定したスケール装置であっても適用することが
でき、長手方向に対する変形を記録媒体に生じさせるこ
とはない。そのため、基準部４と可動部５との相対位置
の検出精度を高くすることができる。
【００６６】
【発明の効果】本発明に係る位置検出装置では、本体と
の当設面が記録媒体の長手方向に平行な方向にのみ曲面
を有する固定部材が、記録媒体の長手方向と平行となる
ように本体を第１の部材に固定し、第１の部材と第２の
部材との相対移動位置を検出する。
の当設面が記録媒体の長手方向に平行な方向にのみ曲面
を有する固定部材が、記録媒体の長手方向と平行となる
ように本体を第１の部材に固定し、第１の部材と第２の
部材との相対移動位置を検出する。
【００６７】このことにより、本発明に係る位置検出装
置では、この記録媒体の長手方向に対する変形を本体や
記録媒体に生じさせることなく本体と第１の部材とを固
定することができる。そのため、この位置検出装置で
は、第１の部材と第２の部材との相対位置の検出精度を
高くすることができる。また、この位置検出装置では、
高い強度を有する材質を用いることなく本体を構成する
ことができ、また、本体と第１の部材との取付作業を簡
単に行うことができるので、装置の小型化やコストダウ
ンを図ることができる。
置では、この記録媒体の長手方向に対する変形を本体や
記録媒体に生じさせることなく本体と第１の部材とを固
定することができる。そのため、この位置検出装置で
は、第１の部材と第２の部材との相対位置の検出精度を
高くすることができる。また、この位置検出装置では、
高い強度を有する材質を用いることなく本体を構成する
ことができ、また、本体と第１の部材との取付作業を簡
単に行うことができるので、装置の小型化やコストダウ
ンを図ることができる。
【００６８】また、本発明に係る位置検出装置では、記
録媒体との当設面がこの記録媒体の長手方向に平行な方
向にのみ曲面を有する固定部材が、この記録媒体を第１
の部材に固定し、上記検出ヘッドが上記記録媒体に記録
された位置信号を検出して、第１の部材と第２の部材と
の相対移動位置を検出する。
録媒体との当設面がこの記録媒体の長手方向に平行な方
向にのみ曲面を有する固定部材が、この記録媒体を第１
の部材に固定し、上記検出ヘッドが上記記録媒体に記録
された位置信号を検出して、第１の部材と第２の部材と
の相対移動位置を検出する。
【００６９】このことにより、本発明に係る位置検出装
置では、長手方向に対する変形を記録媒体に生じさせる
ことなく、この記録媒体と第１の部材とを固定すること
ができる。そのため、この位置検出装置では、第１の部
材と第２の部材との相対位置の検出精度を高くすること
ができる。また、この位置検出装置では、高い強度を有
する材質を用いることなく記録媒体を構成することがで
き、また、記録媒体と第１の部材との取付作業を簡単に
行うことができるので、装置の小型化やコストダウンを
図ることができる。
置では、長手方向に対する変形を記録媒体に生じさせる
ことなく、この記録媒体と第１の部材とを固定すること
ができる。そのため、この位置検出装置では、第１の部
材と第２の部材との相対位置の検出精度を高くすること
ができる。また、この位置検出装置では、高い強度を有
する材質を用いることなく記録媒体を構成することがで
き、また、記録媒体と第１の部材との取付作業を簡単に
行うことができるので、装置の小型化やコストダウンを
図ることができる。
【図１】本発明の実施の形態のスケール装置の斜視図で
ある。
ある。
【図２】上記スケール装置の側面図である。
【図３】上記スケール装置の内部構造を表すための断面
図である。
図である。
【図４】上記スケール装置のヘッド保持部の要部分解斜
視図である。
視図である。
【図５】本体部を基準部に固定する固定部材を説明する
ため上記スケール装置の本体部の断面図である。
ため上記スケール装置の本体部の断面図である。
【図６】上記固定部材の変形例を説明するための上記ス
ケール装置の本体部の断面図である。
ケール装置の本体部の断面図である。
【図７】上記固定部材の他の変形例を説明するための上
記スケール装置の本体部の断面図である。
記スケール装置の本体部の断面図である。
【図８】上記固定部材の他の変形例を説明するための上
記スケール装置の本体部の断面図である。
記スケール装置の本体部の断面図である。
【図９】従来のスケール装置の本体部を基準部に固定す
る固定部材を説明するためのこの従来のスケール装置の
本体部の断面図である。
る固定部材を説明するためのこの従来のスケール装置の
本体部の断面図である。
１ スケール装置、２ 本体部、３ ヘッドスライダ、
４ 基準部、５ 可動部、１１ 筐体、１２ スケー
ル、１３，１４ ブラケット、１５ スリット、１６
２１，２２，２３，２４ 筐体取付孔、３１ ヘッド保
持部、３２ ヘッドキャリア、３３ 連結部、３４ ヘ
ッドホルダ、３５ ＭＲヘッド、３７，３８ 摺動支持
部材、４３，４４ ヘッドホルダ挟持部材、４５ バ
ネ、４６ 周り止めピン、５１，５２ 本体用ボルト、
５３，５４ スライダ用ボルト、５５第１の座金、５６
第２の座金、７１ 第３の座金、７２ 第４の座金
４ 基準部、５ 可動部、１１ 筐体、１２ スケー
ル、１３，１４ ブラケット、１５ スリット、１６
２１，２２，２３，２４ 筐体取付孔、３１ ヘッド保
持部、３２ ヘッドキャリア、３３ 連結部、３４ ヘ
ッドホルダ、３５ ＭＲヘッド、３７，３８ 摺動支持
部材、４３，４４ ヘッドホルダ挟持部材、４５ バ
ネ、４６ 周り止めピン、５１，５２ 本体用ボルト、
５３，５４ スライダ用ボルト、５５第１の座金、５６
第２の座金、７１ 第３の座金、７２ 第４の座金
Claims (2)
- 【請求項１】 相対的に直線移動する第１の部材と第２
の部材との相対移動位置を検出する位置検出装置におい
て、 長手方向に位置信号が記録された長尺状の記録媒体を保
持し、この記録媒体の長手方向が上記第１の部材と上記
第２の部材との相対移動方向と平行となるように上記第
１の部材に固定される本体と、 上記位置信号を検出する検出ヘッドを有し、上記記録媒
体の長手方向と平行な方向に相対移動可能に上記本体に
設けられるとともに、第２の部材に固定されるヘッドス
ライダと、 上記本体との当設面が上記記録媒体の長手方向に平行な
方向にのみ曲率を有する曲面からなり、この本体と上記
第１の部材とを固定する固定部材とを備え、 上記第１の部材と上記第２の部材との相対移動位置を検
出する位置検出装置。 - 【請求項２】 相対的に直線移動する第１の部材と第２
の部材との相対移動位置を検出する位置検出装置におい
て、 長手方向に位置信号が記録され、この長手方向が上記第
１の部材と上記第２の部材との相対移動方向と平行とな
るように上記第１の部材に固定される長尺状の記録媒体
と、 上記第２の部材に固定され、上記記録媒体の長手方向と
平行な方向に相対移動して上記位置信号を検出する検出
ヘッドと、 上記記録媒体との当設面が、この記録媒体の長手方向に
平行な方向にのみ曲率を有する曲面からなり、この記録
媒体と上記第１の部材とを固定する固定部材とを備え、 上記第１の部材と上記第２の部材との相対移動位置を検
出する位置検出装置。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP08743998A JP4174096B2 (ja) | 1998-03-31 | 1998-03-31 | 位置検出装置 |
| EP99105685A EP0947806B1 (en) | 1998-03-31 | 1999-03-19 | Position detection apparatus |
| DE69912341T DE69912341T2 (de) | 1998-03-31 | 1999-03-19 | Positionserfassungsvorrichtung |
| US09/274,365 US6145213A (en) | 1998-03-31 | 1999-03-23 | Position detection apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP08743998A JP4174096B2 (ja) | 1998-03-31 | 1998-03-31 | 位置検出装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11281395A true JPH11281395A (ja) | 1999-10-15 |
| JP4174096B2 JP4174096B2 (ja) | 2008-10-29 |
Family
ID=13914902
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP08743998A Expired - Fee Related JP4174096B2 (ja) | 1998-03-31 | 1998-03-31 | 位置検出装置 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US6145213A (ja) |
| EP (1) | EP0947806B1 (ja) |
| JP (1) | JP4174096B2 (ja) |
| DE (1) | DE69912341T2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010249602A (ja) * | 2009-04-14 | 2010-11-04 | Heidenhain Kk | リニアエンコーダおよびエンコーダヘッドの交換方法 |
| JP2013079982A (ja) * | 2013-02-04 | 2013-05-02 | Heidenhain Kk | エンコーダヘッドの交換方法 |
Families Citing this family (15)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE19857132A1 (de) * | 1998-12-11 | 2000-06-15 | Heidenhain Gmbh Dr Johannes | Verfahren und Anordnung zur Verringerung temperaturbedingter Maßabweichungen bei parallel angeordneten Meßsystemen |
| ES2165334B1 (es) * | 2000-10-03 | 2003-04-01 | Fagor S Coop | Aparato optico de medida de longitudes, con un dispositivo de fijacion. |
| DE10056947A1 (de) * | 2000-11-17 | 2002-05-23 | Optolab Licensing Gmbh | Verfahren und Anordnung zur Montage von Messsystemen |
| DE10059308A1 (de) * | 2000-11-29 | 2002-06-13 | Heidenhain Gmbh Dr Johannes | Verfahren zur Montage eines Längenmessgerät und entsprechendes Längenmessgerät |
| US6612047B1 (en) * | 2002-02-19 | 2003-09-02 | Acu-Rite, Inc. | Length measuring device |
| JP4024600B2 (ja) * | 2002-06-25 | 2007-12-19 | 株式会社ミツトヨ | 枠多点固定タイプのユニット型直線変位測定装置、及び、その固定方法 |
| DE10262008B4 (de) * | 2002-10-25 | 2010-08-19 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh | Längenmeßsystem |
| JP4223823B2 (ja) * | 2003-02-10 | 2009-02-12 | ソニーマニュファクチュアリングシステムズ株式会社 | スケール装置 |
| ES2423212T3 (es) * | 2004-07-23 | 2013-09-18 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh | Componente, en particular sensor, y procedimiento para el encolado del componente |
| JP4803794B2 (ja) * | 2005-08-04 | 2011-10-26 | ハイデンハイン株式会社 | リニアエンコーダ |
| EP1795874B1 (en) * | 2005-12-07 | 2018-05-30 | Mitutoyo Corporation | Displacement measuring device |
| DE102006003064B4 (de) | 2006-01-20 | 2010-04-15 | Phoenix Contact Gmbh & Co. Kg | Elektrischer Reihenklemmenblock |
| JP4297146B2 (ja) * | 2006-09-21 | 2009-07-15 | ヤマハ株式会社 | スライド操作装置 |
| CN101570049A (zh) * | 2008-04-28 | 2009-11-04 | 鸿富锦精密工业（深圳）有限公司 | 提取模仁工具及方法 |
| JP6291167B2 (ja) * | 2013-03-21 | 2018-03-14 | ハイデンハイン株式会社 | リニアエンコーダおよびリニアエンコーダの調整方法 |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6147117U (ja) * | 1984-08-31 | 1986-03-29 | 積水樹脂株式会社 | 座金 |
| JPH03282310A (ja) * | 1990-03-30 | 1991-12-12 | Sony Magnescale Inc | スケール装置の固定手段 |
| JPH0749247A (ja) * | 1993-08-05 | 1995-02-21 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | リニアエンコーダ |
Family Cites Families (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4198757A (en) * | 1976-07-09 | 1980-04-22 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh | Fastening apparatus for longitudinal measuring system |
| FR2403480A1 (fr) * | 1977-09-14 | 1979-04-13 | Aerowatt | Dispositif d'assemblage de pieces par tige munie d'une tete d'appui |
| DE3243966A1 (de) * | 1982-11-27 | 1984-05-30 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut | Laengenmesseinrichtung |
| DE3315214A1 (de) * | 1983-04-27 | 1984-10-31 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut | Laengen- oder winkelmesseinrichtung |
| US4569137A (en) * | 1983-06-07 | 1986-02-11 | Mitutoyo Mfg. Co., Ltd. | Linear scale type displacement measuring device and main scale attaching method thereof |
| JPS6135734U (ja) * | 1984-08-02 | 1986-03-05 | 株式会社 測機舎 | 磁気スケール装置の取付け機構 |
| US4991311A (en) * | 1986-08-28 | 1991-02-12 | Sony Corporation | Mounting structure for magnetic linear scale unit |
| DE4212970A1 (de) * | 1992-04-18 | 1993-10-21 | Heidenhain Gmbh Dr Johannes | Längenmeßeinrichtung |
| DE4406797C2 (de) * | 1994-03-02 | 1997-11-27 | Heidenhain Gmbh Dr Johannes | Positionsmeßeinrichtung |
| DE19645605A1 (de) * | 1996-11-06 | 1998-05-07 | Heidenhain Gmbh Dr Johannes | Positionsmeßeinrichtung und Verfahren zur Montage eines Abtastelementes einer Positionsmeßeinrichtung |
-
1998
- 1998-03-31 JP JP08743998A patent/JP4174096B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
1999
- 1999-03-19 EP EP99105685A patent/EP0947806B1/en not_active Expired - Lifetime
- 1999-03-19 DE DE69912341T patent/DE69912341T2/de not_active Expired - Lifetime
- 1999-03-23 US US09/274,365 patent/US6145213A/en not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6147117U (ja) * | 1984-08-31 | 1986-03-29 | 積水樹脂株式会社 | 座金 |
| JPH03282310A (ja) * | 1990-03-30 | 1991-12-12 | Sony Magnescale Inc | スケール装置の固定手段 |
| JPH0749247A (ja) * | 1993-08-05 | 1995-02-21 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | リニアエンコーダ |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010249602A (ja) * | 2009-04-14 | 2010-11-04 | Heidenhain Kk | リニアエンコーダおよびエンコーダヘッドの交換方法 |
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