JP2010045196A - 板状物の搬送機構 - Google Patents
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- 230000007723 transport mechanism Effects 0.000 title claims abstract description 27
- 238000003825 pressing Methods 0.000 claims abstract description 54
- 238000003860 storage Methods 0.000 claims description 26
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 claims description 24
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 7
- 238000000034 method Methods 0.000 description 6
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 5
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 5
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 4
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 4
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 2
- 239000000498 cooling water Substances 0.000 description 2
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 2
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000007664 blowing Methods 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 1
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 1
- 229910052594 sapphire Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010980 sapphire Substances 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 1
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- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
【課題】 板状物を収納部から搬出する際に板状物の位置決めを実施可能な搬送機構を提供することである。
【解決手段】 板状物を支持する支持面と、該支持面に立設された位置決め部材とを有し、複数の板状物を収納可能な収納部に収納された板状物を該収納部から搬出する板状物搬送機構であって、該収納部に収納された板状物を該位置決め部材へと押し当てて板状物を位置決めする押圧部材と、板状物を吸着保持する吸着パッドと、該押圧部材及び該吸着パッドに連結され、該押圧部材及び該吸着パッドを直線移動する移動手段とを具備し、前記押圧部材で板状物を前記位置決め部材へ押し当てて位置決めした後、前記吸着パッドで板状物を吸着保持し、前記移動手段で該吸着パッドに吸着保持された板状物を直線移動することを特徴とする。
【選択図】図2
【解決手段】 板状物を支持する支持面と、該支持面に立設された位置決め部材とを有し、複数の板状物を収納可能な収納部に収納された板状物を該収納部から搬出する板状物搬送機構であって、該収納部に収納された板状物を該位置決め部材へと押し当てて板状物を位置決めする押圧部材と、板状物を吸着保持する吸着パッドと、該押圧部材及び該吸着パッドに連結され、該押圧部材及び該吸着パッドを直線移動する移動手段とを具備し、前記押圧部材で板状物を前記位置決め部材へ押し当てて位置決めした後、前記吸着パッドで板状物を吸着保持し、前記移動手段で該吸着パッドに吸着保持された板状物を直線移動することを特徴とする。
【選択図】図2
Description
本発明は、収納部に収納された板状物を搬出する板状物の搬送機構に関する。
シリコン基板にIC、LSI等のデバイスが複数形成された半導体ウエーハや、電子部品に使用される各種セラミック基板、樹脂基板、ガラス基板、サファイア基板等の板状物は切削装置(ダイシング装置)によって個々のチップに分割され、分割されたチップは各種電子機器に広く利用されている。
また、板状物を切削装置を用いて分割する方法の他に、板状物にスクライブライン(切削溝)を形成した後、ブレーキングによって板状物を分割する方法も採用されている。一方、太陽電池の光電変換効率を向上させるため、太陽電池表面に凹凸形状を切削又は研削によって形成する装置が特開2001−274118号公報で開示されている。
これら板状物に切削溝を形成する装置では、板状物は収納部から搬出されて加工テーブルまで搬送された後、加工位置検出機構によって加工予定位置が検出されて板状物に切削溝が形成される。
或いは、板状物が収納部から搬出された後、位置決めテーブルに載置されて板状物の位置決めがなされ、その後板状物が加工テーブルへと搬送されて板状物の所定位置に切削溝が形成される。
特開2001−274118号公報
上述したように、従来の板状物に切削溝を形成する装置では、板状物が収納部から搬出された後、加工位置検出機構によって加工予定位置が検出されるか、或いは位置決めテーブルに板状物が載置されて板状物の位置決めをする必要があり、板状物の位置決めのために独立した機構が設けられていた。
本発明はこのような点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、板状物を収納部から搬出する際に板状物の位置決めを実施することが可能な板状物の搬送機構を提供することである。
本発明によると、板状物を支持する支持面と、該支持面に立設された位置決め部材とを有し、複数の板状物を収納可能な収納部に収納された板状物を該収納部から搬出する板状物搬送機構であって、該収納部に収納された板状物を該位置決め部材へと押し当てて板状物を位置決めする押圧部材と、板状物を吸着保持する吸着パッドと、該押圧部材及び該吸着パッドに連結され、該押圧部材及び該吸着パッドを直線移動する移動手段とを具備し、前記押圧部材で板状物を前記位置決め部材へ押し当てて位置決めした後、前記吸着パッドで板状物を吸着保持し、前記移動手段で該吸着パッドに吸着保持された板状物を直線移動することを特徴とする板状物の搬送機構が提供される。
好ましくは、板状物の搬送機構は、板状物を前記位置決め部材へと押し当てて位置決めする位置決め位置と、位置決めされた板状物を前記吸着パッドで吸着保持した際に板状物に干渉しない退避位置との間で前記押圧部材を移動する第2の移動手段を更に具備している。
好ましくは、前記板状物は四角形状をしており、前記押圧部材の取り付け位置が変更可能に構成されている。
本発明によると、板状物を収納部から搬出する際に板状物の位置決めを実施することが可能な板状物の搬送機構が提供される。従って、加工装置側では別途位置決めテーブルや加工位置検出機構を必要とせず、コンパクトな装置の提供が可能となる。また、板状物搬出後に位置決め工程や加工予定位置検出工程を必要としないため、加工効率の向上を図ることができる。
図1を参照すると、本発明の板状物の搬送機構を採用した凹凸加工装置2の概略斜視図が示されている。4は板状物収納部であり、太陽電池等の板状物14が載置される載置台6を含んでいる。
載置台6には中央部分に穴7が形成されており、この穴7内にその上端部分で板状物14を支持するロッド8が挿入されている。ロッド8の基端部は駆動部ハウジング10に連結されており、駆動部ハウジング10内にはパルスモータと、パルスモータ10に駆動されてラック12に噛み合うピニョンが収容されている。
パルスモータを駆動すると、駆動部ハウジング10はラック12に沿って上下方向(Z軸方向)に移動し、それに応じてロッド8も上下方向に移動するため、ロッド8に支持された板状物14も上下方向に移動される。載置台6には板状物14の位置決めをする複数本の位置決め部材16が立設されている。
符号18は搬送機構を示しており、搬送機構18はX軸移動ブロック20及びZ軸移動ブロック30を含んでいる。X軸移動ブロック20は、ボール螺子22とパルスモータ24から構成されるX軸移動機構26により一対のガイドレール28に沿ってX軸方向に移動される。同様に、Z軸移動ブロック30は、ボール螺子とパルスモータから構成される図示しないZ軸移動機構によって一対のガイドレール32に沿ってZ軸方向に移動される。
Z軸移動ブロック30の下面には垂直方向に伸長する垂直支持部材34,38が取り付けられており、垂直支持部材34の下端には概略L形状の押圧部材36が取り付けられている。一方、垂直支持部材38には水平支持部材40を介して吸着パッド42が取り付けられている。
44はポーラス吸着部46を有するチャックテーブルであり、図示しない移動機構によりX軸方向に往復移動される。48は蛇腹である。図示しないサーボモータにより回転駆動されるスピンドル50の先端部には複数の凹凸が軸方向に形成された研削砥石52が装着されている。研削砥石52は、例えば直径50mmの円筒状のボビンの表面に0.2mmピッチで交互に凹凸が形成されている。
54は加工後の板状物の表面に接触しながら回転する円筒ブラシであり、洗浄水供給ノズル56から洗浄水を供給しながら円筒ブラシ54により加工後の板状物表面を擦ることにより、板状物に付着しているコンタミが除去される。
以下、このように構成された凹凸加工装置2の作用について説明する。まず、太陽電池等の複数枚の板状物14を収納部4の載置台6上に載置する。そして、駆動ハウジング10内に収容されたパルスモータを駆動してロッド8を上昇し、ロッド8に支持された板状物14を所定位置まで上昇させる。
次いで、搬送機構18のX軸移動ブロック20及びZ軸移動ブロック30を適宜移動させて、押圧部材36を最上層の板状物14の角部に当接させて、板状物14を位置決め部材16に押し付け、ロッド8に支持された最上層の板状物14を位置決めする。
次いで、エアーブローノズル17から積層された板状物14に向かってエアーを噴出しながら、最上層の板状物14を吸着パッド42により吸着する。次いで、搬送機構18のX軸移動機構26を駆動して、吸着パッド42に吸着された板状物14をチャックテーブル44まで搬送し、吸着パッド42の吸引を解除することによりチャックテーブル44のポーラス吸着部46により板状物14を吸引保持する。
次いで、図示しないチャックテーブル移動機構によりチャックテーブル44をX軸方向に移動するとともに、スピンドル50を下降させて研削砥石52により板状物14の表面に凹凸を形成する。この時、図示しない冷却水供給ノズルから冷却水を供給しながら研削砥石52による加工を実施する。
表面に凹凸加工が実施された板状物14は円筒ブラシ54の直下まで戻されて、洗浄水供給ノズル56から洗浄水を供給しながら円筒ブラシ54を板状物14の表面に回転しながら接触させることによって、板状物の表面に付着したコンタミが除去される。洗浄終了後の板状物14は、チャックテーブル44の吸引を解除してから搬送機構18の吸着パッド42により吸着されて図示しない格納手段に格納される。
本実施形態によると、収納部4に収納された板状物14は四角形状をしている。そして、押圧部材36による板状物14の位置合わせは、最上層の板状物14の角部に押圧部材36を当接して板状物14を複数の位置決め部材16に当接させることにより実施する。
よって、次の板状物14の位置決めを実施する際には、押圧部材36を板状物14の厚さ1枚分下降させるか、或いはロッド8を板状物14の厚さ1枚分上昇させて押圧部材36を最上層の板状物14と略水平になるようにして最上層の板状物14の位置決めを実施する。
図2を参照すると、本発明第2実施形態の搬送機構18A及び収納部4Aの斜視図が示されている。第1実施形態の搬送機構18及び収納部4と実質的に同一構成部分については同一符号が付されている。
本実施形態の収納部4Aは図3(A)に示す載置台6と、載置台6上に載置される図3(B)に示す収納ボックス60とから構成される。載置台6は上下動可能なロッド8により支持されており、載置台6上に載置された板状物に向かって空気を噴出するエアーブローノズル58を有している。
図3(B)に示す収納ボックス60は、底壁62と、互いに直交する一対の側壁64a,64bとから構成され、底壁62にはエアーブローノズル58が挿入される穴66が形成されている。本実施形態では、一対の側壁64a,64bが位置決め部材として作用する。
搬送機構18Aは第1実施形態の搬送機構18に類似している。即ち、搬送機構18AのX軸移動機構及びZ軸移動機構は第1実施形態と同様であり、L形状押圧部材70及び吸着パッド76の取り付け構造が第1実施形態の搬送機構18と相違している。
水平支持部材40にはロータリーエアーアクチュエータ68が回転可能に取り付けられており、このロータリーエアーアクチュエータ68にリンク72を介して押圧部材70が取りつけられている。
また、吸着パッド76は階段状に折り曲げられた折り曲げ部材74の一方の水平部分にとりつけられており、折り曲げ部材74の他方の水平部分と水平支持部材40との間にエアーシリンダ78が介装されている。
上述のように構成された本実施形態の搬送機構18Aの作用について図2、図4及び図5を参照して説明する。まず、図2に示す状態において、収納部4Aの載置台6を上下方向に移動するか、或いは搬送機構18AのZ軸移動機構を駆動して、押圧部材70が載置台60上に積層して載置された最上層の板状物14と概略水平となるように調整する。図2に示す状態においては、押圧部材70は退避位置に位置付けられている。
次いで、搬送機構18AのX軸移動機構26を駆動してX軸移動ブロック20を図4に示す矢印A方向に移動するとともに、ロータリーエアーアクチュエータ68を駆動してL形状押圧部材70を矢印Bに示すように回動して最上層の板状物14の角部に当接させ、最上層の板状物14を側壁64A,64Bに押し付けることにより位置決めをする。
位置決め終了後、図5に示すようにエアーシリンダ78を駆動して折り曲げ部材74を矢印Cに示すように降下させ、吸着パッド76で最上層の板状物14を吸着する。この時、エアーブローノズル58からエアーを積層された板状物14の側面に噴出することにより、積層された板状物14同士の貼り付きが防止され、最上層の板状物14のみが吸着パッド76により吸着される。
吸着パッド76による最上層の板状物14吸着後、ロータリーエアーアクチュエータ68を駆動して押圧部材70を図2に示す退避位置に戻すと共に、エアーシリンダ78を駆動して折り曲げ部材74を図2及び図4に示す元の位置まで上昇させる。
次いで、搬送機構18AのX軸移動機構26を駆動して、吸着パッド76に吸着された板状物14をX軸方向にチャックテーブル44上方まで移動し、吸着パッド76の吸着を解除してからチャックテーブル44のポーラス吸着部46により板状物14を吸引保持する。
本実施形態のその後の作用は、図1を参照して説明した第1実施形態の作用と同様であるのでその説明を省略する。本実施形態でも、押圧部材70は概略L形状をしているため、位置決めされる板状物14は四角形状をしている必要がある。
上述した第1及び第2実施形態では、押圧部材36,70は概略L形状をしており、その取り付け位置の調整機構は有していないため、サイズが予め決められた板状物14の位置決めしか実行できない構造である。
複数種類のサイズの板状物に対応可能な押圧部材の取り付け構造について図6及び図7を参照して説明する。図6(A)は位置決めすべき板状物14のサイズが小さい場合の押圧部材86が退避位置にあるときの平面図であり、図6(B)はその側面図を示している。
ロータリーエアーアクチュエータ68には台形プレート80が固定されており、台形プレート80には長穴82とガイド溝84が形成されている。図6(B)に示すように台形プレート80を固定プレート88と押圧部材86で挟み込み、ボルト90を長穴82に挿入してナット94をボルト90に締結することにより、押圧部材86は台形プレート80に固定される。固定プレート88に装着したピン92がガイド溝84中に挿入されている。
図6(A)に示された退避位置の状態から、ロータリーエアーアクチュエータ68を駆動して押圧部材86を矢印Bに示すように約90度回動することにより、押圧部材86が図6(C)に示す位置決め位置にもたらされる。
サイズの大きい板状物14を位置決めする場合には、ナット94を緩めて図7(A)に示すように、押圧部材86及び固定プレート88を矢印Dに示すようにスライドさせて再びナット94をボルト92に締め付ける。これにより、押圧部材86はサイズの大きな板状物14を位置決めするのに適合した状態となる。図7(A)は押圧部材86が退避位置に位置付けられた状態を示している。
図7(A)に示された押圧部材86の退避位置から、ロータリーエアーアクチュエータ68を駆動して押圧部材86を矢印Bに示すように概略90度回動すると、図7(B)に示した位置決め位置に押圧部材86をもたらすことができる。
このように本実施形態の押圧部材86は、台形プレート80に摺動可能に取り付けられているので、サイズの異なる複数種類の板状物14の位置決めに対応可能である。
2 凹凸加工装置
4,4A 収納部
6 載置台
8 ロッド
12 ラック
14 板状物
16 位置決め部材
18,18A 搬送機構
20 X軸移動ブロック
30 Z軸移動ブロック
36 押圧部材
42 吸着パッド
44 チャックテーブル
52 研削砥石
60 収納ボックス
68 ロータリーエアーアクチュエータ
70 押圧部材
76 吸着パッド
86 押圧部材
4,4A 収納部
6 載置台
8 ロッド
12 ラック
14 板状物
16 位置決め部材
18,18A 搬送機構
20 X軸移動ブロック
30 Z軸移動ブロック
36 押圧部材
42 吸着パッド
44 チャックテーブル
52 研削砥石
60 収納ボックス
68 ロータリーエアーアクチュエータ
70 押圧部材
76 吸着パッド
86 押圧部材
Claims (4)
- 板状物を支持する支持面と、該支持面に立設された位置決め部材とを有し、複数の板状物を収納可能な収納部に収納された板状物を該収納部から搬出する板状物搬送機構であって、
該収納部に収納された板状物を該位置決め部材へと押し当てて板状物を位置決めする押圧部材と、
板状物を吸着保持する吸着パッドと、
該押圧部材及び該吸着パッドに連結され、該押圧部材及び該吸着パッドを直線移動する移動手段とを具備し、
前記押圧部材で板状物を前記位置決め部材へ押し当てて位置決めした後、前記吸着パッドで板状物を吸着保持し、前記移動手段で該吸着パッドに吸着保持された板状物を直線移動することを特徴とする板状物の搬送機構。 - 板状物を前記位置決め部材へと押し当てて位置決めする位置決め位置と、位置決めされた板状物を前記吸着パッドで吸着保持した際に板状物に干渉しない退避位置との間で前記押圧部材を移動する第2の移動手段を更に具備した請求項1記載の板状物の搬送機構。
- 前記板状物は四角形状をしており、
前記位置決め部材は前記収納部に形成された直交する2つの側壁から構成されることを特徴とする請求項1又は2記載の板状物の搬送機構。 - 前記板状物は四角形状をしており、
前記押圧部材の取り付け位置が該板状物のサイズに応じて変更可能であることを特徴とする請求項2記載の板状物の搬送機構。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008208317A JP2010045196A (ja) | 2008-08-13 | 2008-08-13 | 板状物の搬送機構 |
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JP2010045196A true JP2010045196A (ja) | 2010-02-25 |
Family
ID=42016345
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- 2008-08-13 JP JP2008208317A patent/JP2010045196A/ja active Pending
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Date | Code | Title | Description |
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A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20110801 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20120614 |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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A02 | Decision of refusal |
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