JP2002368058A - 表示用基板の搬送装置 - Google Patents
表示用基板の搬送装置Info
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 表示用基板が搬送途中において搬送アー
ムから滑り落ちないようにすることにある。 【解決手段】 搬送装置は、表示用基板を第１の方向に
搬送する。この搬送装置は、第１の方向と交差する第２
の方向に間隔をおいた少なくとも一対の搬送アームを含
み、それらの搬送アームは表示用基板の対向する端縁部
を共同して挟持する弾性体を備え、一対の搬送アーム
は、駆動機構により第１及び第２の方向へ同期して移動
される。
ムから滑り落ちないようにすることにある。 【解決手段】 搬送装置は、表示用基板を第１の方向に
搬送する。この搬送装置は、第１の方向と交差する第２
の方向に間隔をおいた少なくとも一対の搬送アームを含
み、それらの搬送アームは表示用基板の対向する端縁部
を共同して挟持する弾性体を備え、一対の搬送アーム
は、駆動機構により第１及び第２の方向へ同期して移動
される。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、液晶表示パネルの
ような表示用基板を搬送する装置に関する。
ような表示用基板を搬送する装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】表示用基板を試験すなわち検査する装置
において、ロード用ステージに受けられた未検査の表示
用基板を測定ステージすなわち検査用ステージに搬送
し、検査用ステージにおいて検査された検査済みの表示
用基板をロード用ステージに戻すか又は検査用ステージ
に対しロード用ステージと反対側に配置されたアンロー
ド用ステージに移す搬送装置を用いるものがある。
において、ロード用ステージに受けられた未検査の表示
用基板を測定ステージすなわち検査用ステージに搬送
し、検査用ステージにおいて検査された検査済みの表示
用基板をロード用ステージに戻すか又は検査用ステージ
に対しロード用ステージと反対側に配置されたアンロー
ド用ステージに移す搬送装置を用いるものがある。
【０００３】この種の搬送装置として、表示用基板を搬
送アームに載せた状態で搬送するもの、表示用基板を搬
送アームに真空的に吸着した状態で搬送するもの、表示
用基板の対向する端縁を一対の搬送アームのコ字状部に
受け入れた状態で搬送するもの等が提案されている。
送アームに載せた状態で搬送するもの、表示用基板を搬
送アームに真空的に吸着した状態で搬送するもの、表示
用基板の対向する端縁を一対の搬送アームのコ字状部に
受け入れた状態で搬送するもの等が提案されている。
【０００４】
【解決しようとする課題】しかし、表示用基板を搬送ア
ームに載せた状態で搬送する従来の装置では、表示用基
板が搬送途中において振動等により搬送アームから滑り
落ちることを避けることができない。
ームに載せた状態で搬送する従来の装置では、表示用基
板が搬送途中において振動等により搬送アームから滑り
落ちることを避けることができない。
【０００５】表示用基板を搬送アームに真空的に吸着し
た状態で搬送する従来の装置では、表示用基板が搬送ア
ームに真空的に吸着されているか否かを確認することが
難しく、したがって表示用基板が搬送アームに吸着され
ていないことに起因して、表示用基板が搬送途中におい
て振動等により搬送アームから滑り落ちるおそれがあ
る。
た状態で搬送する従来の装置では、表示用基板が搬送ア
ームに真空的に吸着されているか否かを確認することが
難しく、したがって表示用基板が搬送アームに吸着され
ていないことに起因して、表示用基板が搬送途中におい
て振動等により搬送アームから滑り落ちるおそれがあ
る。
【０００６】表示用基板の対向する端縁を一対の搬送ア
ームのコ字状部に受け入れた状態で搬送する従来の装置
では、コ字状部が剛性を有しており、しかも表示用基板
の対向する端縁をコ字状部に受け入れているにすぎない
から、表示用基板が搬送途中において搬送アームから滑
り落ちるおそれがある。
ームのコ字状部に受け入れた状態で搬送する従来の装置
では、コ字状部が剛性を有しており、しかも表示用基板
の対向する端縁をコ字状部に受け入れているにすぎない
から、表示用基板が搬送途中において搬送アームから滑
り落ちるおそれがある。
【０００７】本発明の目的は、表示用基板が搬送途中に
おいて搬送アームから滑り落ちないようにすることにあ
る。
おいて搬送アームから滑り落ちないようにすることにあ
る。
【０００８】
【解決手段、作用、効果】本発明に係る搬送装置は、表
示用基板を第１の方向に搬送する装置に関し、前記第１
の方向と交差する第２の方向に間隔をおいた少なくとも
一対の搬送アームであってそれぞれが表示用基板の対向
する端縁部を共同して挟持する部分に弾性体を備える搬
送アームと、該搬送アームを前記第１の方向へ同期して
移動させると共に前記搬送アームを相寄り相離れる方向
へ相対的に移動させる駆動装置とを含む。
示用基板を第１の方向に搬送する装置に関し、前記第１
の方向と交差する第２の方向に間隔をおいた少なくとも
一対の搬送アームであってそれぞれが表示用基板の対向
する端縁部を共同して挟持する部分に弾性体を備える搬
送アームと、該搬送アームを前記第１の方向へ同期して
移動させると共に前記搬送アームを相寄り相離れる方向
へ相対的に移動させる駆動装置とを含む。
【０００９】搬送アームは、相寄る方向に移動されるこ
とにより、表示用基板を両弾性体で挟み、その状態でそ
の表示用基板を第１の方向へ搬送する。搬送アームは、
また、相離れる方向へ移動されることにより、把持して
いる表示用基板を離す。
とにより、表示用基板を両弾性体で挟み、その状態でそ
の表示用基板を第１の方向へ搬送する。搬送アームは、
また、相離れる方向へ移動されることにより、把持して
いる表示用基板を離す。
【００１０】両搬送アームの弾性体は、表示用基板の搬
送時、表示用基板の対向する端縁部を共同して挟持する
ことにより弾性変形されて、表示用基板が弾性体に対し
て滑ることを防ぐ。このため、表示用基板を両搬送アー
ムで共同して挟持するにもかかわらず、表示用基板がそ
の搬送途中において搬送アームから滑り落ちことを防止
することができる。
送時、表示用基板の対向する端縁部を共同して挟持する
ことにより弾性変形されて、表示用基板が弾性体に対し
て滑ることを防ぐ。このため、表示用基板を両搬送アー
ムで共同して挟持するにもかかわらず、表示用基板がそ
の搬送途中において搬送アームから滑り落ちことを防止
することができる。
【００１１】前記駆動装置は、前記搬送アームを個々に
支持する一対のアームホルダと、前記搬送アームを前記
第１の方向へ同期して移動させるべく両アームホルダを
変位させる第１の駆動機構と、前記搬送アームを前記第
２の方向へ同期して移動させるべく両アームホルダを相
対的に変位させる第２の駆動機構とを含むことができ
る。そのようにすれば、両搬送アームは、アームホルダ
が第１の駆動機構により変位されることにより、第２の
方向へ移動されて表示用基板の挟持及びその解放を行
い、アームホルダが第１の駆動機構により変位されるこ
とにより第１の方向へ移動されて表示用基板を第１の方
向へ搬送する。したがって、表示用基板の挟持及び解放
並びに搬送が確実に行われる。
支持する一対のアームホルダと、前記搬送アームを前記
第１の方向へ同期して移動させるべく両アームホルダを
変位させる第１の駆動機構と、前記搬送アームを前記第
２の方向へ同期して移動させるべく両アームホルダを相
対的に変位させる第２の駆動機構とを含むことができ
る。そのようにすれば、両搬送アームは、アームホルダ
が第１の駆動機構により変位されることにより、第２の
方向へ移動されて表示用基板の挟持及びその解放を行
い、アームホルダが第１の駆動機構により変位されるこ
とにより第１の方向へ移動されて表示用基板を第１の方
向へ搬送する。したがって、表示用基板の挟持及び解放
並びに搬送が確実に行われる。
【００１２】搬送装置は、さらに、前記搬送アームから
前記第１の方向に間隔をおいて前記アームホルダに個々
に支持された一対の第２の搬送アームであってそれぞれ
が表示用基板の対向する端縁部を共同して挟持する部分
に弾性体を備える第２の搬送アームを含むことができ
る。そのようにすれば、表示用基板は、少なくとも二対
の搬送アームにより挟持されるから、搬送アームに確実
に挟持される。
前記第１の方向に間隔をおいて前記アームホルダに個々
に支持された一対の第２の搬送アームであってそれぞれ
が表示用基板の対向する端縁部を共同して挟持する部分
に弾性体を備える第２の搬送アームを含むことができ
る。そのようにすれば、表示用基板は、少なくとも二対
の搬送アームにより挟持されるから、搬送アームに確実
に挟持される。
【００１３】対をなす搬送アームの一方は、当該搬送ア
ームを他方の搬送アームに向けて付勢する付勢機構を介
して前記アームホルダに装着されていることができる。
そのようにすれば、弾性体の弾性変形の反力のみなら
ず、付勢機構による付勢力もが表示用基板を挟持する力
として表示用基板に作用するから、表示用基板を適正な
力で挟持することができる。
ームを他方の搬送アームに向けて付勢する付勢機構を介
して前記アームホルダに装着されていることができる。
そのようにすれば、弾性体の弾性変形の反力のみなら
ず、付勢機構による付勢力もが表示用基板を挟持する力
として表示用基板に作用するから、表示用基板を適正な
力で挟持することができる。
【００１４】各搬送アームは前記第２の方向に間隔をお
いた複数の箇所のそれぞれに表示用基板を挟持する弾性
体を有しており、対をなす搬送アームの一方は前記第１
及び第２の方向に交差する第３の方向に伸びる軸線の周
りに角度的に回転可能に前記付勢機構に連結されてお
り、対をなす搬送アームの他方は前記第３の方向に伸び
る軸線の周りに角度的に回転可能に前記アームホルダに
連結されていることができる。そのようにすれば、第２
の方向における各搬送アームの弾性体の位置が表示用基
板の端縁部に対して不揃いであっても、いずれか一方の
弾性体が表示用基板に当接した後の搬送アームのさらな
る移動によりその搬送アームが角度的に回転されて、両
弾性体が表示用基板に確実に当接し、その結果表示用基
板はより確実に搬送アームに挟持される。
いた複数の箇所のそれぞれに表示用基板を挟持する弾性
体を有しており、対をなす搬送アームの一方は前記第１
及び第２の方向に交差する第３の方向に伸びる軸線の周
りに角度的に回転可能に前記付勢機構に連結されてお
り、対をなす搬送アームの他方は前記第３の方向に伸び
る軸線の周りに角度的に回転可能に前記アームホルダに
連結されていることができる。そのようにすれば、第２
の方向における各搬送アームの弾性体の位置が表示用基
板の端縁部に対して不揃いであっても、いずれか一方の
弾性体が表示用基板に当接した後の搬送アームのさらな
る移動によりその搬送アームが角度的に回転されて、両
弾性体が表示用基板に確実に当接し、その結果表示用基
板はより確実に搬送アームに挟持される。
【００１５】各弾性体は、表示用基板の端縁部を受け入
れる凹所を対向する端面側に有することができる。その
ようにすれば、表示用基板の端縁部を凹所に受け入れる
ことにより、表示用基板が搬送アームにより確実に挟持
されて、表示用基板がその搬送途中において搬送アーム
から滑り落ちことがより確実に防止される。
れる凹所を対向する端面側に有することができる。その
ようにすれば、表示用基板の端縁部を凹所に受け入れる
ことにより、表示用基板が搬送アームにより確実に挟持
されて、表示用基板がその搬送途中において搬送アーム
から滑り落ちことがより確実に防止される。
【００１６】前記付勢機構は、前記アームホルダに組み
付けられた第１のベースと、該第１のベースに前記第２
の方向に移動可能に配置された第２のベースであって前
記搬送アームが組み付けられた第２のベースと、該第２
のベースを他方の搬送アームの側に付勢する第２の弾性
体とを含むことができる。
付けられた第１のベースと、該第１のベースに前記第２
の方向に移動可能に配置された第２のベースであって前
記搬送アームが組み付けられた第２のベースと、該第２
のベースを他方の搬送アームの側に付勢する第２の弾性
体とを含むことができる。
【００１７】前記第１の駆動機構は、前記搬送アームに
個々に対応された複数の駆動手段を含み、各駆動手段
は、駆動源と、該駆動源により前記第２の方向へ伸びる
軸線の周りに回転されるねじ棒と、該ねじ棒に螺合され
た移動体であって前記アームホルダに組み付けられた移
動体と、該移動体の移動方向を前記第２の方向に規制す
るガイドとを含むことができる。
個々に対応された複数の駆動手段を含み、各駆動手段
は、駆動源と、該駆動源により前記第２の方向へ伸びる
軸線の周りに回転されるねじ棒と、該ねじ棒に螺合され
た移動体であって前記アームホルダに組み付けられた移
動体と、該移動体の移動方向を前記第２の方向に規制す
るガイドとを含むことができる。
【００１８】
【発明の実施の形態】図１から図５を参照するに、搬送
装置１０は、表示用基板１２の検査装置に、ロード用ス
テージ１４に受けられた未検査の表示用基板を測定ステ
ージすなわち検査用ステージ１６に搬送すると同時に、
検査用ステージ１６において検査された検査済みの表示
用基板をアンロード用ステージ（図示せず）に移すため
の搬送装置として用いられている。
装置１０は、表示用基板１２の検査装置に、ロード用ス
テージ１４に受けられた未検査の表示用基板を測定ステ
ージすなわち検査用ステージ１６に搬送すると同時に、
検査用ステージ１６において検査された検査済みの表示
用基板をアンロード用ステージ（図示せず）に移すため
の搬送装置として用いられている。
【００１９】表示用基板１２は液晶を封入した長方形の
液晶表示パネルであり、搬送装置１０を用いる検査装置
は点灯検査装置である。ロード用ステージ１４とアンロ
ード用ステージとは、検査用ステージ１６からＸ方向
（左右方向）に及び反対側に等距離の箇所に配置されて
いる。
液晶表示パネルであり、搬送装置１０を用いる検査装置
は点灯検査装置である。ロード用ステージ１４とアンロ
ード用ステージとは、検査用ステージ１６からＸ方向
（左右方向）に及び反対側に等距離の箇所に配置されて
いる。
【００２０】ロード用ステージ１４は、十字状のアーム
により形成されたワークテーブル２０を、受けた基板１
２と直交するＺ方向へ移動させるＺ駆動機構２２に組み
付けている。
により形成されたワークテーブル２０を、受けた基板１
２と直交するＺ方向へ移動させるＺ駆動機構２２に組み
付けている。
【００２１】ロード用ステージ１４は、ワークテーブル
２０を実際に受けると共にその基板１２の芯出しを行う
芯出し具２４を各アームに配置したプリアライメントス
テージとされている。各芯出し具２４は、仮想的な円の
半径方向に移動可能に配置された板状のブロックに一対
のローラをＺ方向へ伸びる軸線の周りに回転可能に支持
させている。芯出し具２４は、共通の又は芯出し具毎の
駆動機構（図示せず）により同期して前記半径方向へ移
動される。
２０を実際に受けると共にその基板１２の芯出しを行う
芯出し具２４を各アームに配置したプリアライメントス
テージとされている。各芯出し具２４は、仮想的な円の
半径方向に移動可能に配置された板状のブロックに一対
のローラをＺ方向へ伸びる軸線の周りに回転可能に支持
させている。芯出し具２４は、共通の又は芯出し具毎の
駆動機構（図示せず）により同期して前記半径方向へ移
動される。
【００２２】検査用ステージ１６は、基板１２を受ける
ワークテーブル２６を、その基板１２と平行な面内で
Ｘ，Ｙ，Ｚの３方向へ移動させる三次元駆動機構２８に
組み付けている。ワークテーブル２６は、図示の例で
は、上方に開放する箱の形状を有しかつバックライトユ
ニットを収容した公知のチャックトップである。
ワークテーブル２６を、その基板１２と平行な面内で
Ｘ，Ｙ，Ｚの３方向へ移動させる三次元駆動機構２８に
組み付けている。ワークテーブル２６は、図示の例で
は、上方に開放する箱の形状を有しかつバックライトユ
ニットを収容した公知のチャックトップである。
【００２３】ワークテーブル２６は、受けた基板１２を
真空的に吸着する複数の吸着溝３０を頂面に有し、１以
上の位置決めピン３２を長方形の隣り合う辺のそれぞれ
に有し、受けた表示用パネル１２を位置決めピン３２に
向けて押すプッシャー３４を長方形の隣り合う他の辺の
それぞれに有している。
真空的に吸着する複数の吸着溝３０を頂面に有し、１以
上の位置決めピン３２を長方形の隣り合う辺のそれぞれ
に有し、受けた表示用パネル１２を位置決めピン３２に
向けて押すプッシャー３４を長方形の隣り合う他の辺の
それぞれに有している。
【００２４】位置決めピン３２は、ワークテーブル２６
の頂面から突出している。各プッシャー３４は、ワーク
テーブル２６に支持された逆転可能の回転機構により揺
動体をＺ方向へ伸びる軸線の周りに角度的に回転させる
ことにより、基板１２を位置決めピン３２の押す公知の
機構である。
の頂面から突出している。各プッシャー３４は、ワーク
テーブル２６に支持された逆転可能の回転機構により揺
動体をＺ方向へ伸びる軸線の周りに角度的に回転させる
ことにより、基板１２を位置決めピン３２の押す公知の
機構である。
【００２５】アンロード用ステージは、ロード用ステー
ジ１２と同様の構造を有している。このため、アンロー
ド用ステージは、十字状のアームにより形成されたワー
クテーブルを、受けた基板と直交するＺ方向へ移動させ
るＺ駆動機構に組み付けている。
ジ１２と同様の構造を有している。このため、アンロー
ド用ステージは、十字状のアームにより形成されたワー
クテーブルを、受けた基板と直交するＺ方向へ移動させ
るＺ駆動機構に組み付けている。
【００２６】しかし、ロード用ステージ及びアンロード
用ステージは、いずれも、Ｚ駆動機構の代わりに、ワー
クテーブルを受けた基板１２と平行な面内でＸ方向及び
Ｙ方向（前後方向）に二次元的に移動させると共にＺ方
向へ移動させる三次元駆動機構を備えるタイプのステー
ジであってもよい。
用ステージは、いずれも、Ｚ駆動機構の代わりに、ワー
クテーブルを受けた基板１２と平行な面内でＸ方向及び
Ｙ方向（前後方向）に二次元的に移動させると共にＺ方
向へ移動させる三次元駆動機構を備えるタイプのステー
ジであってもよい。
【００２７】搬送装置１０は、ロード用ステージ１４、
Ｘ方向に間隔をおいた２組（対）の搬送アーム４０と、
両アーム組（アーム対）のうち一方側に位置する両搬送
アーム４０毎及び他方側に位置する両搬送アーム４０に
対応されて対応する両搬送アーム４０を支持する一対の
アームホルダ４２と、アーム組に個々に対応されて対応
するアーム組の搬送アーム４０の一方を他方の搬送アー
ム４０に向けて付勢する一対の付勢機構４４と、両アー
ムホルダ４２をＸ方向へ同期して移動させる第２の駆動
機構４６と、アームホルダ４２に個々に対応されて対応
するアームホルダ４２をＹ方向へ移動させる一対の第１
の駆動機構４８とを含む。
Ｘ方向に間隔をおいた２組（対）の搬送アーム４０と、
両アーム組（アーム対）のうち一方側に位置する両搬送
アーム４０毎及び他方側に位置する両搬送アーム４０に
対応されて対応する両搬送アーム４０を支持する一対の
アームホルダ４２と、アーム組に個々に対応されて対応
するアーム組の搬送アーム４０の一方を他方の搬送アー
ム４０に向けて付勢する一対の付勢機構４４と、両アー
ムホルダ４２をＸ方向へ同期して移動させる第２の駆動
機構４６と、アームホルダ４２に個々に対応されて対応
するアームホルダ４２をＹ方向へ移動させる一対の第１
の駆動機構４８とを含む。
【００２８】各搬送アーム４０は、主体部５０のＸ方向
における両端から基板１２の搬送路の側に突出する２つ
の突出部５２を有している。各突出部５２の先端には、
対応する搬送アームと共にアーム組を形成している相手
の搬送アーム４０と共同して基板１２を挟持する挟持部
として作用する弾性体５４が備えられている。弾性体５
４は、シリコーンゴムのようなゴムにより板の形に造ら
れており、また突出部５２の先端面に接着されている。
における両端から基板１２の搬送路の側に突出する２つ
の突出部５２を有している。各突出部５２の先端には、
対応する搬送アームと共にアーム組を形成している相手
の搬送アーム４０と共同して基板１２を挟持する挟持部
として作用する弾性体５４が備えられている。弾性体５
４は、シリコーンゴムのようなゴムにより板の形に造ら
れており、また突出部５２の先端面に接着されている。
【００２９】アームホルダ４２は、基板１２の搬送路を
間にして平行に伸びており、また対応する第２の駆動機
構４６に組み付けられている。
間にして平行に伸びており、また対応する第２の駆動機
構４６に組み付けられている。
【００３０】各付勢機構４４は、アームホルダ４２の端
部に組み付けられた第１のベース５６と、Ｘ方向に間隔
をおいてＹ方向へ平行に伸びる一対にガイドレール５８
と、ガイドレール５８にＹ方向に移動可能に配置された
第２のベース６０と、第２のベース６０を第１のベース
５６に対し基板１２の搬送路の側に付勢する複数の弾性
体６２とを含む。
部に組み付けられた第１のベース５６と、Ｘ方向に間隔
をおいてＹ方向へ平行に伸びる一対にガイドレール５８
と、ガイドレール５８にＹ方向に移動可能に配置された
第２のベース６０と、第２のベース６０を第１のベース
５６に対し基板１２の搬送路の側に付勢する複数の弾性
体６２とを含む。
【００３１】第１及び第２のベース５６及び６０は、コ
字状の形状を有しており、またそれぞれコ字状の開放部
を基板１２の搬送路側及びアームホルダ４２側に向けて
いる。ガイドレール５８は第１のベース５６に備えられ
ている。弾性体６２は、図示の例では第１及び第２のベ
ース５０及び６０にかけられ引っ張りコイルばねである
が、圧縮コイルばねのような他の弾性体であってもよ
い。
字状の形状を有しており、またそれぞれコ字状の開放部
を基板１２の搬送路側及びアームホルダ４２側に向けて
いる。ガイドレール５８は第１のベース５６に備えられ
ている。弾性体６２は、図示の例では第１及び第２のベ
ース５０及び６０にかけられ引っ張りコイルばねである
が、圧縮コイルばねのような他の弾性体であってもよ
い。
【００３２】各アーム組の両搬送アーム４０のうち、一
方はＺ方向に伸びる組み付けピン６４により対応する付
勢機構４４の第２のベース６０に枢軸的に結合されてお
り、他方は同種の組み付けピン６４により対応するアー
ムホルダ４２の端部に枢軸的に結合されている。
方はＺ方向に伸びる組み付けピン６４により対応する付
勢機構４４の第２のベース６０に枢軸的に結合されてお
り、他方は同種の組み付けピン６４により対応するアー
ムホルダ４２の端部に枢軸的に結合されている。
【００３３】各第２の駆動機構４８は、Ｘ方向へ移動さ
れるように第１の駆動機構４６に組み付けられたベース
６６と、Ｙ方向へ伸びる軸線の周りに回転可能にベース
６６に支持されたねじ棒６８と、ねじ棒６８を回転させ
るようにベース６６に支持された駆動源７０と、ねじ棒
６８に螺合された移動体７２とを含む。
れるように第１の駆動機構４６に組み付けられたベース
６６と、Ｙ方向へ伸びる軸線の周りに回転可能にベース
６６に支持されたねじ棒６８と、ねじ棒６８を回転させ
るようにベース６６に支持された駆動源７０と、ねじ棒
６８に螺合された移動体７２とを含む。
【００３４】図示の例では、ねじ棒６８はリードスクリ
ューであり、駆動源７０は逆転可能の電動機であり、移
動体７２はリードナットを備えている。アームホルダ４
２は、その長手方向における中央において移動体７２に
組み付けられている。移動体７２は、ベース６６に備え
られた一対のガイド７４により、移動方向をＹ方向に規
制されている。
ューであり、駆動源７０は逆転可能の電動機であり、移
動体７２はリードナットを備えている。アームホルダ４
２は、その長手方向における中央において移動体７２に
組み付けられている。移動体７２は、ベース６６に備え
られた一対のガイド７４により、移動方向をＹ方向に規
制されている。
【００３５】両第２の駆動機構４８の駆動源は、同期し
て同方向へ同量回転される。ねじ棒６８が駆動源７０に
より正転されると、移動体７２が基板１２の搬送路側へ
移動され、ねじ棒６８が駆動源７０により逆転される
と、移動体７２が基板１２の搬送からから離れる側へ移
動される。これにより、アームホルダ４２が相寄り相離
れる方向（Ｙ方向）へ同期して移動され、各アーム組の
搬送アーム４０が相寄り相離れる方向へ同期して移動さ
れる。
て同方向へ同量回転される。ねじ棒６８が駆動源７０に
より正転されると、移動体７２が基板１２の搬送路側へ
移動され、ねじ棒６８が駆動源７０により逆転される
と、移動体７２が基板１２の搬送からから離れる側へ移
動される。これにより、アームホルダ４２が相寄り相離
れる方向（Ｙ方向）へ同期して移動され、各アーム組の
搬送アーム４０が相寄り相離れる方向へ同期して移動さ
れる。
【００３６】第１の駆動機構４６は、図示しない駆動源
によりＸ方向へ同期して移動される一対の移動体すなわ
ち支持アーム７６を含む。支持アーム７６がＸ方向へ移
動されると、第２の駆動機構４８、搬送アーム４２、付
勢機構４４等を介して搬送アーム４０がＸ方向へ移動さ
れる。
によりＸ方向へ同期して移動される一対の移動体すなわ
ち支持アーム７６を含む。支持アーム７６がＸ方向へ移
動されると、第２の駆動機構４８、搬送アーム４２、付
勢機構４４等を介して搬送アーム４０がＸ方向へ移動さ
れる。
【００３７】第１の駆動機構４６は、一対の支持アーム
７６を用いる駆動機構の代わりに、互いに同期して同方
向へ同量伸縮される一対のシリンダ機構を備える駆動機
構のような他の適宜な駆動機構を用いてもよい。この場
合、シリンダ機構を備える駆動機構を用いる場合、アー
ムホルダ４２はシリンダ機構によりＸ方向へ移動され
る。
７６を用いる駆動機構の代わりに、互いに同期して同方
向へ同量伸縮される一対のシリンダ機構を備える駆動機
構のような他の適宜な駆動機構を用いてもよい。この場
合、シリンダ機構を備える駆動機構を用いる場合、アー
ムホルダ４２はシリンダ機構によりＸ方向へ移動され
る。
【００３８】次に、搬送装置１０の動作を説明する。
【００３９】搬送装置１０による搬送に先立って、ロー
ド用ステージ１４は、アーム組を形成している搬送アー
ム４０が対応する第２の駆動機構４８により互いに離さ
れ、しかも各芯出し具２４がその板状ブロックに基板１
２を受けるように外方へ移動された状態で、基板１２を
受け、次いで各芯出し具２４を前記半径方向中央側に移
動させる。これにより、基板１２の芯出し（プリアライ
メント）が行われる。
ド用ステージ１４は、アーム組を形成している搬送アー
ム４０が対応する第２の駆動機構４８により互いに離さ
れ、しかも各芯出し具２４がその板状ブロックに基板１
２を受けるように外方へ移動された状態で、基板１２を
受け、次いで各芯出し具２４を前記半径方向中央側に移
動させる。これにより、基板１２の芯出し（プリアライ
メント）が行われる。
【００４０】アンロード用ステージ上の検査済みの基板
は、カセットのような適宜な箇所に移されている。検査
用ステージ１６上の基板１２は、ワークテーブル２６に
吸着されている。ロード用ステージ及びアンロード用ス
テージへの基板１２の受け渡しは、ロボット又は人手に
より行うことができる。
は、カセットのような適宜な箇所に移されている。検査
用ステージ１６上の基板１２は、ワークテーブル２６に
吸着されている。ロード用ステージ及びアンロード用ス
テージへの基板１２の受け渡しは、ロボット又は人手に
より行うことができる。
【００４１】ロード用ステージ１４上の基板１２及び検
査用ステージ１６上の基板１２を搬送装置１０に受ける
とき、先ず、各アーム組の搬送アーム４０が互いに離さ
れた状態で、一方及び他方のアーム組がそれぞれＸ方向
におけるロード用ステージ１４及び検査用ステージ１６
の位置となるように、全ての搬送アーム４０が第１の駆
動機構４６によりＸ方向へ移動される。
査用ステージ１６上の基板１２を搬送装置１０に受ける
とき、先ず、各アーム組の搬送アーム４０が互いに離さ
れた状態で、一方及び他方のアーム組がそれぞれＸ方向
におけるロード用ステージ１４及び検査用ステージ１６
の位置となるように、全ての搬送アーム４０が第１の駆
動機構４６によりＸ方向へ移動される。
【００４２】次いで、図３に示すように、ロード用ステ
ージ１４、検査用ステージ１６及びアンロード用ステー
ジの基板を受ける箇所の高さが搬送装置１０による基板
搬送高さとなるようにそれぞれのステージの駆動機構に
より調整されかつ検査用ステージ１６上の基板１２の吸
着が解除された状態で、両アーム組の搬送アーム４０が
第２の駆動機構４８により相寄る方向へ移動される。
ージ１４、検査用ステージ１６及びアンロード用ステー
ジの基板を受ける箇所の高さが搬送装置１０による基板
搬送高さとなるようにそれぞれのステージの駆動機構に
より調整されかつ検査用ステージ１６上の基板１２の吸
着が解除された状態で、両アーム組の搬送アーム４０が
第２の駆動機構４８により相寄る方向へ移動される。
【００４３】このとき、ロード用ステージの側の各搬送
アーム４０はワークテーブル２０の上を移動することに
より、また検査用ステージ側の各搬送アーム４０の突出
部５２の一部及び弾性体５４はワークテーブル２６に形
成された凹所７８に受け入れられる。
アーム４０はワークテーブル２０の上を移動することに
より、また検査用ステージ側の各搬送アーム４０の突出
部５２の一部及び弾性体５４はワークテーブル２６に形
成された凹所７８に受け入れられる。
【００４４】各組の両搬送アーム４０は、基板１２を挟
持すべく相寄る方向へ前進されると、図４に示すように
弾性体５４を基板１２の対向する端縁部に当接させ、搬
送アーム４０のさらなる前進により弾性変形する。これ
により、ロード用ステージ１４上の未検査の基板１２が
一方の組の搬送アーム４０により挟持され、検査用ステ
ージ１６上の検査済みの基板１２が他方の組の搬送アー
ム４０に挟持される。
持すべく相寄る方向へ前進されると、図４に示すように
弾性体５４を基板１２の対向する端縁部に当接させ、搬
送アーム４０のさらなる前進により弾性変形する。これ
により、ロード用ステージ１４上の未検査の基板１２が
一方の組の搬送アーム４０により挟持され、検査用ステ
ージ１６上の検査済みの基板１２が他方の組の搬送アー
ム４０に挟持される。
【００４５】各組の搬送アーム４０は、たとえ一方の弾
性体５４が基板１２に先に接触するように、Ｙ方向にお
ける各弾性体５４の位置が基板１２の端縁部に対して不
揃いであっても、搬送アーム４０の前進にともなって組
み付けピン６４の周りに角度的に回転して、両弾性体５
４が基板１２に接触する。これにより、基板１２は、そ
の対向する端縁部をＸ方向に間隔をおいた２組の弾性体
５４により挟持されることと相まって、各組の両搬送ア
ーム４０に確実に挟持される。
性体５４が基板１２に先に接触するように、Ｙ方向にお
ける各弾性体５４の位置が基板１２の端縁部に対して不
揃いであっても、搬送アーム４０の前進にともなって組
み付けピン６４の周りに角度的に回転して、両弾性体５
４が基板１２に接触する。これにより、基板１２は、そ
の対向する端縁部をＸ方向に間隔をおいた２組の弾性体
５４により挟持されることと相まって、各組の両搬送ア
ーム４０に確実に挟持される。
【００４６】また、各組の一方の搬送アーム４０は、そ
の弾性体５４が基板１２に接触した後、付勢機構４４の
弾性体６２の力に抗して変位する。これにより、弾性体
５４の弾性変形の反力のみならず、付勢機構４４の付勢
力もが基板１２を挟持する力として基板１２に作用する
から、基板１２は各組の両搬送アーム４０により適正な
圧力で確実に挟持される。
の弾性体５４が基板１２に接触した後、付勢機構４４の
弾性体６２の力に抗して変位する。これにより、弾性体
５４の弾性変形の反力のみならず、付勢機構４４の付勢
力もが基板１２を挟持する力として基板１２に作用する
から、基板１２は各組の両搬送アーム４０により適正な
圧力で確実に挟持される。
【００４７】各基板１２が搬送アーム４０に挟持される
と、各ステージのワークテーブルが下げられ、その状態
で一方の組の搬送アーム４０に挟持された基板１２が検
査用ステージの上方に位置し、他方の組の搬送アーム４
０に挟持された基板１２がアンロード用ステージの上方
となるように、搬送アーム４０、アームホルダ４２、付
勢機構４４及び第２の駆動機構４８が第１の駆動機構４
６によりＸ方向へ移動される。
と、各ステージのワークテーブルが下げられ、その状態
で一方の組の搬送アーム４０に挟持された基板１２が検
査用ステージの上方に位置し、他方の組の搬送アーム４
０に挟持された基板１２がアンロード用ステージの上方
となるように、搬送アーム４０、アームホルダ４２、付
勢機構４４及び第２の駆動機構４８が第１の駆動機構４
６によりＸ方向へ移動される。
【００４８】次いで、各ステージの基板を受ける箇所の
高さが搬送装置１０による基板搬送高さとなるように、
各ステージのワークステージが対応する駆動機構により
上昇された後、両アーム組の搬送アーム４０が第２の駆
動機構４８により相離れる方向へ移動される。これによ
り、未検査の基板１２が検査用ステージに受けられ、検
査済みの基板１２がアンロード用ステージに受けられ
る。
高さが搬送装置１０による基板搬送高さとなるように、
各ステージのワークステージが対応する駆動機構により
上昇された後、両アーム組の搬送アーム４０が第２の駆
動機構４８により相離れる方向へ移動される。これによ
り、未検査の基板１２が検査用ステージに受けられ、検
査済みの基板１２がアンロード用ステージに受けられ
る。
【００４９】次いで、検査用ステージ１６上の基板１２
がワークテーブル２６に吸着され、検査用ステージ１６
のワークテーブル２６が所定の高さに調整され、その状
態で検査用ステージ１６上の基板１２の検査が行われ
る。
がワークテーブル２６に吸着され、検査用ステージ１６
のワークテーブル２６が所定の高さに調整され、その状
態で検査用ステージ１６上の基板１２の検査が行われ
る。
【００５０】基板の検査の間、搬送アーム４０を、Ｘ方
向における所定の位置に待機させていてもよいし、次の
基板の受け渡しのために上記と逆の方向へ移動させても
よい。また、検査済みの基板をアンロード用ステージか
ら除去する作業と、新たな基板をロード用ステージに配
置する作業とを基板の検査の間に行ってもよい。
向における所定の位置に待機させていてもよいし、次の
基板の受け渡しのために上記と逆の方向へ移動させても
よい。また、検査済みの基板をアンロード用ステージか
ら除去する作業と、新たな基板をロード用ステージに配
置する作業とを基板の検査の間に行ってもよい。
【００５１】基板１２を挟持して搬送する間、各組の弾
性体５４は、対応する基板１２が搬送アーム４０に対し
て滑ることを防ぐ。このため、基板１２を各組の両搬送
アーム４０で共同して挟持するにもかかわらず、基板１
２がその搬送途中において搬送アーム４０から滑り落ち
ことを防止することができる。
性体５４は、対応する基板１２が搬送アーム４０に対し
て滑ることを防ぐ。このため、基板１２を各組の両搬送
アーム４０で共同して挟持するにもかかわらず、基板１
２がその搬送途中において搬送アーム４０から滑り落ち
ことを防止することができる。
【００５２】搬送装置１０が基板１２を水平の姿勢で挟
持し搬送する場合、各アーム組の搬送アーム４０は、図
６（Ａ）に示すように、基板１２を水平に挟持し、その
状態で搬送する。
持し搬送する場合、各アーム組の搬送アーム４０は、図
６（Ａ）に示すように、基板１２を水平に挟持し、その
状態で搬送する。
【００５３】しかし、搬送装置１０が基板１２を斜めの
姿勢で挟持し搬送する場合、各アーム組の搬送アーム４
０は、図６（Ｂ）に示すように、基板１２を斜め上下に
挟持し、その状態で搬送する。また、搬送装置１０が基
板１２を立てた姿勢で挟持し搬送する場合、各アーム組
の搬送アーム４０は、図６（Ｃ）に示すように、基板１
２を上下に挟持し、その状態で搬送する。
姿勢で挟持し搬送する場合、各アーム組の搬送アーム４
０は、図６（Ｂ）に示すように、基板１２を斜め上下に
挟持し、その状態で搬送する。また、搬送装置１０が基
板１２を立てた姿勢で挟持し搬送する場合、各アーム組
の搬送アーム４０は、図６（Ｃ）に示すように、基板１
２を上下に挟持し、その状態で搬送する。
【００５４】各弾性体５４は、図６に示すように、基板
１２の端縁部を受け入れる凹所８０を対向する端面側に
有することが好ましい。凹所８０は、図示の例では大き
な曲率半径で弾性体５４の厚さ方向に伸びる弧状の断面
形状を有しているが、基板１２の端縁部が当接する限
り、Ｖ字状、Ｕ字状等の他の断面形状を有していてもよ
い。
１２の端縁部を受け入れる凹所８０を対向する端面側に
有することが好ましい。凹所８０は、図示の例では大き
な曲率半径で弾性体５４の厚さ方向に伸びる弧状の断面
形状を有しているが、基板１２の端縁部が当接する限
り、Ｖ字状、Ｕ字状等の他の断面形状を有していてもよ
い。
【００５５】そのような凹所８０を有する弾性体５４を
用いれば、基板１２の端縁部を凹所８０に受け入れるこ
とにより、基板１２が搬送アーム４０に確実に挟持され
るから、基板１２がその搬送途中において搬送アーム４
０から滑り落ちことがより確実に防止される。
用いれば、基板１２の端縁部を凹所８０に受け入れるこ
とにより、基板１２が搬送アーム４０に確実に挟持され
るから、基板１２がその搬送途中において搬送アーム４
０から滑り落ちことがより確実に防止される。
【００５６】搬送アーム４０からの基板１２の落下をよ
り確実に防止するためには、図７に示すように、各搬送
アーム４０の各突出部５２の先端に１以上の突起８２を
形成してもよい。この場合、弾性体５４は、凹所８０を
有していてもよいし、有していなくてもよい。図７の
（Ａ），（Ｂ）及び（Ｃ）は、それぞれ、基板１２を水
平の姿勢、斜めの姿勢及び立てた姿勢で搬送する例を示
している。
り確実に防止するためには、図７に示すように、各搬送
アーム４０の各突出部５２の先端に１以上の突起８２を
形成してもよい。この場合、弾性体５４は、凹所８０を
有していてもよいし、有していなくてもよい。図７の
（Ａ），（Ｂ）及び（Ｃ）は、それぞれ、基板１２を水
平の姿勢、斜めの姿勢及び立てた姿勢で搬送する例を示
している。
【００５７】本発明は、液晶を封入した液晶表示パネル
のみならず、ＥＬ表示パネル、それらの表示パネルに用
いるガラス基板等、複数の電極を有する他の表示用基板
の検査に用いる搬送装置にも適用することができる。
のみならず、ＥＬ表示パネル、それらの表示パネルに用
いるガラス基板等、複数の電極を有する他の表示用基板
の検査に用いる搬送装置にも適用することができる。
【００５８】本発明は、上記実施例に限定されず、その
趣旨を逸脱しない限り、種々変更することができる。
趣旨を逸脱しない限り、種々変更することができる。
【図１】本発明に係る搬送装置の一実施例を示す平面図
である。
である。
【図２】図１における２−２線に沿って得た断面図であ
る。
る。
【図３】図１における３−３線に沿って得た断面図であ
る。
る。
【図４】表示用基板は搬送アームにより挟持した状態を
示す、図３と同様に断面図である。
示す、図３と同様に断面図である。
【図５】表示用基板の搬送路に対して一方側に位置する
搬送装置の各要素を拡大した平面図である。
搬送装置の各要素を拡大した平面図である。
【図６】搬送アームの弾性体の他の実施例を示す図であ
って、（Ａ）、（Ｂ）及び（Ｃ）はそれぞれ表示用基板
を、水平の、斜めの及び立てた姿勢で挟持して搬送する
状態を示す図である。
って、（Ａ）、（Ｂ）及び（Ｃ）はそれぞれ表示用基板
を、水平の、斜めの及び立てた姿勢で挟持して搬送する
状態を示す図である。
【図７】搬送アームの突出部の他の実施例を示す図であ
って、（Ａ）、（Ｂ）及び（Ｃ）はそれぞれ表示用基板
を、水平の、斜めの及び立てた姿勢で挟持して搬送する
状態を示す図である。
って、（Ａ）、（Ｂ）及び（Ｃ）はそれぞれ表示用基板
を、水平の、斜めの及び立てた姿勢で挟持して搬送する
状態を示す図である。
１０ 搬送装置 １２ 表示用基板 １４ ロード用ステージ １６ 検査用ステージ ４０ 搬送アーム ４２ アームホルダ ４４ 付勢機構 ４６ 第１の駆動機構 ４８ 第２の駆動機構 ５２ 搬送アームの突出部 ５４ 搬送アームの弾性体 ５６，６０ 付勢機構のベース ５８ 付勢機構のガイド ６２ 付勢機構の弾性体 ６４ 組み付けピン ６６ 第２の駆動機構のベース ６８ 第２の駆動機構のねじ棒 ７０ 第２の駆動機構の駆動源 ７２ 第２の駆動機構の移動体 ７４ 第２の駆動機構のガイド ７６ 第１の駆動機構のアーム ８０ 弾性体の凹所 ８２ 突出部の突起
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） // Ｇ０２Ｆ 1/13 １０１ Ｇ０２Ｆ 1/13 １０１ (72)発明者 藤原 慎治 東京都武蔵野市吉祥寺本町２丁目６番８号 株式会社日本マイクロニクス内 (72)発明者 植木 勲 東京都武蔵野市吉祥寺本町２丁目６番８号 株式会社日本マイクロニクス内 Ｆターム(参考） 2H088 FA17 FA30 HA01 MA16 3C007 AS24 DS06 ES03 ET08 EU01 EU18 EV10 EV14 EV18 EV21 EV22 EV24 HT20 NS13 5F031 CA05 FA15 GA10 GA13 GA14 GA15 GA47 GA48 HA24 HA26 KA11 MA33 5G435 AA17 BB05 BB12 EE33 KK05 KK10
Claims (6)
- 【請求項１】 表示用基板を第１の方向に搬送する装置
であって、前記第１の方向と交差する第２の方向に間隔
をおいた少なくとも一対の搬送アームであってそれぞれ
が表示用基板の対向する端縁部を共同して挟持する部分
に弾性体を備える搬送アームと、該搬送アームを前記第
１の方向へ同期して移動させると共に前記搬送アームを
相寄り相離れる方向へ相対的に移動させる駆動装置とを
含む、表示用基板の搬送装置。 - 【請求項２】 前記駆動装置は、前記搬送アームを個々
に支持する一対のアームホルダと、前記搬送アームを前
記第１の方向へ同期して移動させるべく両アームホルダ
を変位させる第１の駆動機構と、前記搬送アームを前記
第２の方向へ同期して移動させるべく両アームホルダを
相対的に変位させる第２の駆動機構とを含む、請求項１
に記載の搬送装置。 - 【請求項３】 さらに、前記搬送アームから前記第１の
方向に間隔をおいて前記アームホルダに個々に支持され
た一対の第２の搬送アームであってそれぞれが表示用基
板の対向する端縁部を共同して挟持する部分に弾性体を
備える第２の搬送アームを含む、請求項２に記載の搬送
装置。 - 【請求項４】 対をなす搬送アームの一方は、当該搬送
アームを他方の搬送アームに向けて付勢する付勢機構を
介して前記アームホルダに装着されている、請求項１，
２又は３に記載の搬送装置。 - 【請求項５】 各搬送アームは前記第２の方向に間隔を
おいた複数の箇所のそれぞれに表示用基板を挟持する弾
性体を有しており、対をなす搬送アームの一方は前記第
１及び第２の方向と交差する第３の方向に伸びる軸線の
周りに角度的に回転可能に前記付勢機構に連結されてお
り、対をなす搬送アームの他方は前記第３の方向に伸び
る軸線の周りに角度的に回転可能に前記アームホルダに
連結されている、請求項４に記載の搬送装置。 - 【請求項６】 各弾性体は、表示用基板の端縁部を受け
入れる凹所を対向する端面側に有する、請求項１から５
のいずれか１項に記載の搬送装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001168635A JP4745536B2 (ja) | 2001-06-04 | 2001-06-04 | 表示用基板の搬送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001168635A JP4745536B2 (ja) | 2001-06-04 | 2001-06-04 | 表示用基板の搬送装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002368058A true JP2002368058A (ja) | 2002-12-20 |
| JP4745536B2 JP4745536B2 (ja) | 2011-08-10 |
Family
ID=19010835
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001168635A Expired - Lifetime JP4745536B2 (ja) | 2001-06-04 | 2001-06-04 | 表示用基板の搬送装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP4745536B2 (ja) |
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| CN100401495C (zh) * | 2003-09-18 | 2008-07-09 | 日本麦可罗尼克斯股份有限公司 | 显示面板的检查装置 |
| KR100883315B1 (ko) | 2007-09-17 | 2009-02-11 | 한국산업기술대학교산학협력단 | 엘씨디패널 에지 연마용 작업테이블 |
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2001
- 2001-06-04 JP JP2001168635A patent/JP4745536B2/ja not_active Expired - Lifetime
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