JPH11274261A - 集積回路を試験するデバイスの構成要素の許容差を試験するシステム - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】自動試験装置の精度を改善する。 【解決手段】試験ヘッドに配置された複数の試験コネク
タを持ち、各試験コネクタが試験チャネルの電気信号を
運ぶ導体を持ち、各試験コネクタが少なくとも１つのド
ライバおよびレシーバを備える回路基板に対応している
集積回路を試験するデバイスの構成要素の許容差を試験
するシステムであって、第１および第２の試験コネクタ
の導体間に低インピーダンスの電気的な接続を確立し、
第１の回路基板の第１のドライバが、低インピーダンス
の経路を介して第２の回路基板の測定ユニットに電気的
に接続される短絡手段と、第１のドライバを制御して予
め定められた目標値の電気信号を出力するよう構成され
るコントローラと、測定ユニットにより受け取られた電
圧レベルが、予め定められた目標値の予め定められた量
の範囲内にあるか検証するよう構成される検証手段とを
備えるシステム。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、自動試験機を試験
するためのシステム、より具体的には、デジタル試験デ
バイスの信号の電圧レベルの精度を試験するための方法
および装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】様々な自動試験装置（ＡＴＥ）が、電子
回路、デバイスおよび他の半導体や電子製品を試験する
のに長く知られている。一般に、自動試験装置は、２つ
のおおまかな種類、すなわちアナログ試験器（テスタ
ー）およびデジタル試験器に分類される。名前が意味す
るように、一般にアナログ試験器は、アナログ回路デバ
イスを試験するために設計され、デジタル試験器は、デ
ジタル回路デバイスを試験するために設計される。デジ
タル試験器は、既知であるように、一般に試験デバイス
を備える。試験デバイスは、プログラム可能なように制
御される試験信号を生成するいくつかの内部回路カード
またはチャネルを持ち、ＤＵＴ(Device Under Test)を
試験して評価する。とくにＡＴＥは、プラグラム可能な
ように制御され、様々な方法で様々なデバイスを試験す
るのに適合または構成される。これは、出力信号をプロ
グラムすることにより達成され、ＤＵＴ上のあるピンま
たは信号線に、ある信号（または信号の遷移）を注入す
る。この点について、デジタル試験器は、一般に試験ヘ
ッドを含み、これにより電気信号が試験器に入力され、
また試験器から電気信号が出力される。試験ヘッドはい
くつかのコネクタを備え、それぞれのコネクタはチャネ
ルを規定し、チャネルは、ケーブルまたは別の手段を介
して、試験されるデバイスに接続されることができる。
デジタル試験器内の電子回路は、試験ヘッドを介してＤ
ＵＴに信号を入力することができ、またはＤＵＴから信
号を出力することができる。

【０００３】非常に単純な例として、とりわけ２つの入
力ＡＮＤゲートを備えるウェーハを試験するよう構成さ
れるデジタル試験器を考えてみる。ＡＮＤゲートの入力
に対応する２つの信号線に論理１を適用し、出力に対応
する信号線の信号を受け取って、それが確実に論理１に
なるよう、デジタル試験器を構成することができる。Ａ
ＮＤゲートの出力が、応答して論理１から論理０へ遷移
するのを検証するため、ＡＮＤゲートの入力に対応する
２つの信号線のそれぞれに論理０の信号を交互に適用す
るよう、試験器を構成することができる。このような試
験は、ＡＮＤゲートの機能演算を検証するけれども、追
加の試験を実行して、タイミングおよびＡＮＤゲートの
他の側面を検証しなければならない。

【０００４】例えば、ＡＮＤゲートへの２つの入力信号
が論理１および論理０であり、また出力が論理０とす
る。第２の入力が論理０から論理１に遷移するとき（そ
れにより２つの入力は論理１となる）、ＡＮＤゲートの
出力は論理０から論理１へと遷移する。しかし、出力は
十分に「高い（ハイ、high）」状態に遷移することが重
要である。具体的には、既知であるように、デジタル論
理デバイスは、０から５ボルトの範囲で一般に動作す
る。ここで０ボルトは論理０であり、５ボルトは論理１
である。デバイスに負荷がかかった状態になると、デバ
イスはしばしば出力信号を完全に５ボルトにすることが
できない。したがって、ある範囲が、論理１とみなされ
る。例えば、２．４ボルト以上の出力（デバイスの仕様
に依存する）を、論理１と扱うことができる。このよう
にＡＮＤゲートの例を続けると、両方の入力が２．４ボ
ルト以上であるとき、出力レベルも少なくとも２．４ボ
ルトにならなければならない。自動試験器が、間違って
２．３ボルトの出力電圧を２．４ボルトとして解釈した
とする。試験された構成要素は「良好」と思われること
があり、この時実際には、それは製造者の仕様の許容差
（tolerance）からはずれている。上記の所与の例は非
常に単純な例であり、単に例示の目的のためだけに提示
されることは理解されるであろう。また当該技術分野の
当業者は、デジタル試験器が非常に精密であり、非常に
精密で複雑な試験ルーチンを実行することができること
を理解するであろう。

【０００５】したがって、デジタル試験器も含めてＡＴ
Ｅの非常に重要な側面は、試験装置が、非常に正確な許
容差を維持しているということである。そうでなけれ
ば、ＤＵＴの測定値が、ＤＵＴ内のエラーまたは矛盾を
反映しているかどうか、あるいはエラーまたは矛盾が、
構成要素またはＡＴＥ構成要素における他の許容差のば
らつきから生じているのかどうか、明らかでない。この
点について、一般に自動試験装置の製造者は、自動試験
装置に一組の内蔵試験（built-in-test,ＢＩＴ）ルーチ
ンを備える。しかし、以下に詳しく記述するように、こ
れらの製造者により提供されるＢＩＴルーチンは、高速
な構成要素および大量製造の設備の今日の市場では、一
般に不十分なことがわかっている。

【０００６】デジタル試験器は、一般にいくつかの類似
した（同一でない場合）チャネルを備える。それぞれの
チャネルはいくつかのドライバまたはレシーバを備え
て、出力信号を駆動（ドライブ）し、または入力信号を
受け取る（試験器からの出力または試験器への入力）。
これらのチャネル（１つの基板上に一般に構成される）
は、しばしばＰＭＵ（Parametric Measuring Unit、パ
ラメトリック測定ユニット）または他の種類の測定デバ
イスを備え、信号の大きさを感知して測定する。既知で
あるように、ＰＭＵは、実装されている構成要素を較正
(calibration)することで知られている。このように、
所与のドライバがある振幅の信号を生成するようプログ
ラムされるとき、実装されているＰＭＵは、その信号の
振幅が適当な値であるかどうか判断するため、その信号
を監視して測定することができる。

【０００７】さらにこの種の試験を、手動で、正確な外
付けの試験装置を使用することで達成することができ
る。例えば、電圧計を電圧レベルを試験するのに使用す
ることができ、オシロスコープをタイミング側面を評価
するのに使用することができる。しかし、ＡＴＥの外付
けの試験は非常に時間がかかり、したがって逆に生産量
に影響を与えることが認められる。特に、近年注意すべ
き特定の問題は、精度を自己診断するデジタル試験器の
能力に関する。この点に関する試験デバイスの一般的な
失敗の結果、回路設計者は固有の試験器について試験を
設計するのに精通してきた。すなわち、回路設計者は試
験パラメータを持つ試験を設計して、所与の自動試験デ
バイスの試験要件に試験が合格するようにすることがで
き、一方で他の試験器のこれら同じ試験に落ちるように
することができる。多様な自動試験装置のある特性の追
跡を続けるチャートが生成されてきた。回路設計者は、
所与の試験器の試験に合格する試験パラメータを設計す
るため、これらのチャート内に含まれる情報を使用して
きた。しかし、このアプローチは、大量の製造環境を介
する材料の流れだけでなく、設計される製品の全体の生
産に逆に影響を及ぼして嫌悪されることが明らかであ
る。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】したがって、高精度で
デジタル試験器の性能を検証することにより、自動試験
装置（とくにデジタル試験器）の精度を改善するシステ
ムを開発する必要性がある。

【０００９】

【課題を解決するための手段】本発明の目的、利点およ
び新しい特徴は、ある程度は以下に続く記述で説明され
て以下の考察について当該技術分野の当業者に明らかに
なり、または本発明の実行で習得することができる。本
発明の目的および利点を、特に特許請求の範囲で指摘さ
れる概念およびその組合せの手段により理解して取得す
ることができる。

【００１０】利点および新しい特徴を達成するため、本
発明は、一般に集積回路を試験するデバイスの構成要素
の許容差を試験するシステムおよび方法のためのもので
ある。デバイスは、試験ヘッドに配置された複数の試験
コネクタを持ち、それぞれの試験コネクタは、試験チャ
ネルの電気信号を運ぶ導体を持つ。ここでそれぞれの試
験チャネルは、少なくとも１つのドライバおよび少なく
とも１つのレシーバを備える回路基板に対応する。本発
明の幅広い概念および教示によると、装置および方法
は、第１の基板のドライバから第２の基板のレシーバへ
相互接続することにより（逆の場合も同じ）、ドライバ
およびレシーバの構成要素を比較するよう動作する。試
験器の製造者により提供される内蔵の試験手順は、１つ
の基板のドライバおよびレシーバを、その同じ基板上に
提供される測定ユニットで典型的に較正するので、その
基板の測定ユニットが仕様からはずれる場合には、その
基板のドライバおよびレシーバが、検出することなく仕
様からはずれることが起こりうる。したがって、本発明
により提供されるクロスチェック(cross-check)は、非
常に改善されたシステムおよび方法を提供し、試験器の
構成要素の動作の精度を検証する。

【００１１】本発明のある側面によると、装置が提供さ
れ、第１および第２の試験コネクタの導体間に低インピ
ーダンスの電気的な接続を確立する短絡手段を備え、第
１の回路基板の第１のドライバは、低インピーダンスの
経路を介して、第２の回路基板上の電圧測定ユニットに
接続される。この「短絡手段」は、プリント回路基板を
介して実現されるのが好ましい。プリント回路基板は、
２つの試験コネクタのピンの間を短絡する、すなわち直
接的に電気的な接続を確立する金属線(metal trace)を
含む。コントローラは、第１のドライバを制御するよう
構成され、第１のドライバが予め定められた目標値の電
気信号を出力するようにする。しかし、この目標値が正
確かどうか試験するため、測定ユニットは、信号電圧レ
ベルを受け取り、受け取った信号電圧レベルを測定する
よう配置される。検証手段は、測定ユニットで受け取っ
た信号レベルが、予め定められた目標信号レベルの予め
定められた許容差内におさまっているか検証するよう構
成される。

【００１２】本発明の他の側面によると、装置が提供さ
れ、第１および第２の試験コネクタの導体間に低インピ
ーダンスの電気的な接続を確立する短絡手段を備え、第
１の回路基板の第１のドライバが、低インピーダンスの
経路を介して第２の回路基板の第１のレシーバに接続さ
れるようにする。コントローラは、第１のドライバを制
御し、第１のドライバが予め定められた値の電気信号を
出力するようにする。第１のドライバが、精度について
予め試験されているので（前述したように）、この出力
値は正確であるとみなされる。したがって、この試験の
側面は、レシーバの精度を評価する。評価手段は、第１
のレシーバで受け取った信号レベルを評価するよう設計
され、検証手段は、第１のレシーバで解読された信号レ
ベルが、第１のドライバからの予め定められた信号レベ
ルの出力の予め定められた許容差内かどうか検証するよ
う構成される。

【００１３】本発明の他の側面によると、方法が提供さ
れ、試験デバイスの構成要素の分散(variance)を診断す
る。この場合、試験装置デバイスは、試験ヘッドに配置
された複数の試験コネクタを持つのが好ましく、それぞ
れの試験コネクタは、試験チャネルの電気信号を運ぶ導
体を持つ。それぞれの試験チャネルは、少なくとも１つ
のドライバおよび少なくとも１つのレシーバを備える回
路基板に対応する。方法は、第１および第２の試験コネ
クタの導体間に電気的な接続を確立するステップを含
み、第１の回路基板の第１のドライバが、低インピーダ
ンスの経路を介して、第２の回路基板上の第１のレシー
バに電気的に接続されるようにする。ここで第１のドラ
イバは、規定された許容差内におさまっていることが知
られている。方法は、第１のドライバの出力を制御し、
電気信号を予め定められた値に駆動し、第１のレシーバ
で解読された信号レベルを評価する。最後に、この方法
は、第１のレシーバで解読された信号レベルが、第１の
ドライバからの予め定められた信号レベルの出力の予め
定められた許容差内におさまっているか検証する。許容
差内におさまっている場合には、システムは、試験され
た構成要素が規定された許容差内におさまっていると認
識する。許容差内に無い場合には、システムはエラーの
フラグをたて、さらに適切な是正措置を行うことができ
る。このような是正措置は、さらなる試験または適切な
試験人員への通知（Ｅメールまたは別の手段を介して）
を起動して、さらなる手動の試験を行うことができる。

【００１４】

【発明の実施の形態】本発明の多様な側面をまとめたの
で、図面に示されるように本発明の説明を詳細に行う。
本発明をこれらの図面とともに説明するが、ここに開示
される実施形態に限定されるものではない。目的とする
ところは、特許請求の範囲で規定される本発明の精神お
よび範囲内に含まれるすべての代替、改良および均等に
及ぶことである。

【００１５】図１に、「基板型(board-type)」ＡＴＥシ
ステム（試験器）１００のブロック図を示す。本発明の
好ましい実施形態は、ウェーハ試験器のためのものであ
るが、概念および教示はそれほど狭く限られない。した
がって、図１は単に本発明の概念および教示を適用する
ことができる従来技術のプラットホームを示すためだけ
に示される。ＡＴＥシステム１００は、試験ジェネレー
タ１０２および試験コントローラ１０４を備える。試験
ジェネレータ１０２は、試験されるべき基板上のそれぞ
れのデバイスについて、回路の中に組み込む方式の（in
-circuit、以下「インサーキット」という)試験を生成
する。一般的な試験計画１０６は、試験中の監視制御を
提供する。これは、試験を順番付ける、結果の記録を取
る、基板/取り付けのインターフェースを制御する、試
験の電源を制御する、およびユーザインターフェースを
提供することを含む。個々のインサーキットの試験およ
び試験計画１０６の組合せは、試験の仕様を形づくる。

【００１６】デバイスモデル・ライブラリ１０８、物理
データベース１１０および電気データベース１１２は、
試験ジェネレータ１０２に必要なデータを提供すること
ができ、インサーキットの試験を生成する。電気データ
ベース１１２は、ＤＵＴ基板１１６上のデバイスのリス
ト、それぞれのデバイスの電気的記述および電気的な相
互接続の情報を含むことができる。物理データベース１
１０は、基板の配列の記述（topological descriptio
n）を含むことができ、試験コントローラはこれを使用
してＤＵＴ１１６の位置を特定することができる。物理
データベース１１０および電気データベース１１２は、
ＣＡＤ/ＣＡＭ（Computer Aided Design/Computer Aide
d Manufacturing）システムにより、通常は基板の設計
の間に生成される。

【００１７】デバイスモデル・ライブラリ１０８は、一
般に使用されるデジタル集積回路チップ（ＩＣ）につい
て、複数の予め生成された包括的なモデルを含む。本質
的に、それぞれのモデルは、基板の試験仕様に挿入され
るべき（すなわち、編集されるべき）試験ルーチンであ
る。それぞれのデバイスモデルは、固有のデバイスにつ
いて、ピン配列の情報（すなわち、どのピンが入力、出
力、双方向、または使用されないのか）、試験プログラ
ム、デバイスのそれぞれの出力を予め調節する方法（以
下に記述する）、および試験パターンのレートと必要な
信号レベルを含むデバイス固有の情報を提供することが
できる。

【００１８】試験コントローラ１０４は、試験ジェネレ
ータ１０２で生成されたインサーキット試験を実行す
る。ドライバ・モジュール１１４は、試験信号をＤＵＴ
１１６に印加するのに使用され、センサ（レシーバ）・
モジュール１１８は、ＤＵＴ１１６の試験信号に対する
応答を受け取るのに使用される。ドライバ・モジュール
１１４およびセンサ・モジュール１１８の組合せは、試
験器チャネルとして知られる。ＨＰ８３０００集積回路
試験器はＡＴＥシステムの例であり、ヒューレット・パ
ッカード社から入手できる。

【００１９】図２は、試験器１００が動作することがで
きる環境を示す。アプリケーションプログラムを走らす
ホストコンピュータ２０２を、試験ハードウェア２０８
に接続することができる。ある実施形態では、ホストコ
ンピュータ２０２を、ローカルエリアネットワーク（Ｌ
ＡＮ）２０４を介して試験ハードウェア２０８に接続す
ることができる。試験ハードウェア２０８は、通常試験
ヘッド２０５を備え、試験ヘッド２０５は、ＤＵＴ１１
６へのインタフェース入出力を提供する。試験ハードウ
ェア２０８は、ドライバおよびレシーバのようなデバイ
スを備えることができ、これらのデバイスは、ＤＵＴ１
１６について試験を実行するのに使用される。ホストコ
ンピュータ２０２のアプリケーションプログラムは、イ
ンタープリタと通信することができ、インタープリタ
は、リモートの試験ヘッド２０５に特定の機能を行うよ
う命令するダイナミックリンクライブラリ（ＤＬＬ）コ
ールを実行する。試験ハードウェア２０８は、ホストコ
ンピュータ２０２から命令を受け取ることができる。こ
れらの命令は、ＤＵＴ１１６上で走る多様な試験を制御
することができる。

【００２０】図３は、より詳細な試験ハードウェア２０
８を図示する。ある実施形態では、１６個のインストル
メント・ポート３０２（それぞれが高ライン(high lin
e)３０３および低ライン(low line)３０５を備える）
は、インストルメントＭＵＸ３０４への入力である（こ
こで、インストルメント(instrument)とは、システムの
動きを理解する目的で、システムが実行している間に測
定データを集めるプロセスに使用するものをいう）。イ
ンストルメントＭＵＸ３０４は、４本のインストルメン
ト・バス３０６に信号を出力する。組み込み形(embedde
d)コンピュータ２０６は、制御線３１４を介して、どの
インストルメント信号がインストルメント・バス３０６
に置かれるべきかについてインストルメントＭＵＸ３０
４に命令する。その後、インストルメント・バス３０６
は、チャネルＭＵＸ３０８を介して複数のチャネルに多
重化される。

【００２１】組み込み形コンピュータ２０６は、どの信
号がチャネルＭＵＸ３０８から出力されるかを、制御線
３１６を介して制御する。チャネルＭＵＸ３０８の出力
は、ＤＵＴの高ライン３１１およびＤＵＴの低ライン３
１０を備える。これら高ラインおよび低ラインは、イン
ストルメント３０８により生成される。高ラインおよび
低ラインは、試験中は試験チャネル３１２への入力とし
て使用され、試験チャネル３１２は図４に詳細に示され
る。特定の回路基板（すなわちＤＵＴ）を試験すると
き、組み込み形コンピュータ２０６により使用されるチ
ャネルの数は、一般に回路基板上の試験されるべきノー
ド数に等しい。

【００２２】一般に、多くの試験器に共通の構造および
環境を記述してきた。図４は、ＨＰ８３０００試験器の
回路基板４００におけるある構成要素のブロック図であ
り、設計された本発明の好ましい実施形態の好ましいプ
ラットフォームである。示されるように、回路基板４０
０は、複数のドライバ４０２およびレシーバ４０４を備
える。既知であるように、ドライバ４０２は、試験コネ
クタのピンに信号を出力するよう構成される。ＨＰ８３
０００では、１６個のドライバおよび１６個のレシーバ
が、１つの基板／チャネル上にある。しかし、１つのＰ
ＭＵ４０６が基板４００上に提供される。既知であるよ
うに、ＰＭＵ４０６は、信号を定量化または測定するよ
う構成される。動作中、ＰＭＵ４０６は、ドライバ４０
２およびレシーバ４０４の較正を提供する。

【００２３】またいくつかリレーが図に示されており、
動的な基板構成を一緒に提供する。とくにリレー４０８
は、試験コネクタとの導通から、ドライバ４０２および
レシーバ４０４を選択的に接続したり切り離したりす
る。他のリレー４１０は、基板４００上の試験コネクタ
と他の経路（たとえばＰＭＵと）との選択的な接続を確
立する。本発明の一部がリレーの制御信号を制御して、
適切な方法で基板４００を動的に構成するようにし、本
発明の診断機能を実行することは理解されよう。さら
に、それぞれのリレーのうちの１つだけを図に示すが、
複数のリレーが存在できることが理解される。例えば、
リレー４０８が１６個の対のドライバ４０２／レシーバ
４０４のそれぞれについて存在する。

【００２４】通常の動作では、試験コネクタは、ケーブ
ルまたは別の手段を介して、ＤＵＴ（試験中のデバイ
ス）に接続される。このように、ドライバ４０２で生成
された信号は、最終的にはＤＵＴ基板上の構成要素の入
力を駆動する。同様に、ＤＵＴ基板上の構成要素からの
出力信号は、試験コネクタを介してレシーバ４０４に届
けられる。制御可能なようにドライバ４０２の出力レベ
ルを変え、レシーバ４０４の入力レベルを監視すること
により、ＤＵＴの機能動作を試験することができる。ま
たＤＵＴの機能動作を検証するのに加え、試験器は、Ｄ
ＵＴ上の構成要素が、規定された許容差の値または範囲
に従って動作しているか検証することができる。しかし
前述したように、試験器の構成要素が、失敗したりまた
は規定された許容差からはずれる場合には、この種の試
験は間違いや不正確な結果を生成する。

【００２５】前述したように、レベル精度を測定する既
知の方法があり、これは電圧計のような外付けの測定装
置を使用して正確なデータを集める。この方法は比較的
高い精度を達成する一方で、ユーザが、いくつかの異な
る測定セットについてそれぞれの試験器のチャネルを手
動で精査することが必要である。大量製造環境では、こ
の外付けの測定装置の方法は受け入れることができな
い。

【００２６】したがって、本発明は、ある試験器の構成
要素が許容差からはずれているかを試験して判断するた
め提供される。本発明によると、試験器はそれ自身の精
度を測定するのに使用され、はるかに単純なＤＵＴ基板
およびごくわずかなユーザの対話処理を要求して、デー
タを得る。理解されるように、この方法は、製造環境へ
の影響を最小にしつつ十分な測定精度を提供するので、
非常に良い選択である。

【００２７】簡単に図５を参照すると、特別に構成され
たＤＵＴ基板５００が、本発明の好ましい実施形態で実
行される自己診断と関連して使用される。とくに、この
特化したＤＵＴ基板５００は、試験コネクタ５０２およ
び５０４からのピンを一緒に短絡する。前述したよう
に、試験器は試験ヘッド２０５を備え、これを介して試
験器とのすべての電気的な接続が確立される。試験ヘッ
ド２０５は、試験コネクタ５０２および５０４のような
複数のコネクタを含む。チャネル０１から１６が、これ
らの試験コネクタ５０２および５０４のそれぞれに示さ
れる。チャネル０１は、回路基板４００上の第１のドラ
イバ４０２／レシーバ４０４の対に対応する。好ましい
実施形態における特別に構成されたＤＵＴ基板５００
は、隣接する試験コネクタ５０２および５０４の間のチ
ャネル線を一緒に短絡する導電性の経路（たとえば図５
の５０６）を備える。このように、第１の回路カード４
００（例えば、試験コネクタ５０２に対応するカード）
のドライバは、第２の回路カード（例えば、試験コネク
タ５０４に対応するカード）のレシーバに接続されるこ
とができる。好ましい実施形態が、それぞれの回路基板
４００上のリレー制御信号を制御して適切な信号の経路
を生じさせ、この接続を確立するようにするのは当然で
ある。好ましい実施形態では、ＤＵＴ基板５００上のす
べての導電性の経路（例えば、５０６）が、同じ長さで
ある。

【００２８】好ましい実施形態の計測学の制御ツール
は、ドライブおよびレシーブの電圧レベル精度を測定す
る。それ自身のドライブレベル精度を測定するのに試験
器を使用する好ましい方法は、すべてのチャネルについ
て、規定されたドライブレベルをプログラムすることで
ある。それぞれのチャネルにより提供される実際のドラ
イブレベルは、試験器の実装された電圧測定デバイス
（すなわち、ＰＭＵ４０６）で測定される。プログラム
されたレベルおよび測定されたレベル間の差が、ドライ
ブレベルのエラーである。この試験は、試験器チャネル
の半分を入力として、他の半分を出力として構成するこ
とにより、試験器で実行するのが好ましい。ＤＵＴ基板
５００は、入力および出力間のインタフェースである。
入力は、あるレベルに駆動するようプログラムされ、デ
ジタル電圧測定（ＤＶＭ）の試験機能（これは、電圧計
として基板４００のＰＭＵ４０６を使用する）は、実際
のレベルを測定する。試験器チャネルの後の半分につい
てドライブレベルのエラーを測定するには、チャネル構
成が交換（スワップ）されて試験が繰り返される。

【００２９】より具体的にいうと、図６は、２つの回路
基板４００ａおよび４００ｂの基板構成を示す。示され
るように、基板４００ａのドライバ４０２ａを基板４０
０ｂのＰＭＵ４０６ｂに接続するよう、多様なリレーが
構成される。前述したように、ＰＭＵ４０６ａが、その
同じ基板４００ａ上のドライバ４０２ａを較正するのに
使用されるので、別の基板のＰＭＵ４０６ｂでドライバ
４０２ａからの信号レベルを検証することにより、本発
明は試験器を試験するということが重要である。

【００３０】したがって、図６の回路構成は、ドライバ
構成要素の精度を検証するのに使用される。この点につ
いて、ドライバ４０２ａは、予め定められた「目標」値
を出力するよう制御される。ＰＭＵ４０６ｂにより受け
取られて測定された実際の値は、ドライバ４０２ａが仕
様からはずれているかどうかを判断する。例えば、仮定
の値を使用して制御信号をドライバ４０２ａに印加し、
それを目標レベルの６５００ｍＶまで駆動することがで
きる。ＰＭＵ４０６ｂが、６３００ｍＶの実際の値を受
け取って測定すれば、ドライバ４０２ａが２００ｍＶは
ずれていること判断される。ドライバのＡＴＥ仕様が、
出力に少なくとも６４００ｍＶを要求する場合には、ド
ライバ４０２は、仕様から１００ｍＶはずれていると判
断される。

【００３１】好ましい実施形態によると、ある基板のド
ライバ４０２ａは、他の基板のＰＭＵ４０６ｂを個別に
（１つずつ）駆動することができる。リレー４０８、４
１０をフリップして、第２の基板のドライバ４０２ｂを
第１の基板のＰＭＵ４０６ａに接続して試験することが
できる。このように、両方の基板からすべてのドライバ
を試験することができる。下記のように、このドライバ
の検証ステップは、レシーバの精度を試験する前に行わ
れ、ドライバの精度を保証する。

【００３２】試験器がそれ自身のレシーブレベルを直接
測定するようには構成されないので、レシーバの精度を
測定するには、より複雑な試験を含む。好ましい実施形
態の試験器についてレシーブレベル精度を測定するに
は、試験チャネルの半分が入力として、もう半分が出力
として構成される。ＤＵＴ基板５００は、入力および出
力間のインタフェースとして使用される。入力は、ある
レベルに駆動するようプログラムされ、レシーブレベル
は、そのドライブレベル周辺で変化する。この点に関し
て、レシーバ４０４は比較器を備える。出力「値」を生
成するというより、比較器の出力は実際上は２値である
（比較器の入力すなわち受け取った値が、基準値以上ま
たは基準値以下かを示す）。比較器の出力が状態を変え
るまで、基準値（これは、比較器への基準入力に提供さ
れる）を変化させることができ、この時点でこの基準入
力の値は、受け取った入力の値に実質的に等しい。例え
ば、レシーバが５００ｍＶの既知のドライバ電圧で試験
されているとする。比較器の基準電圧を、４５０ｍＶお
よび５５０ｍＶの間で制御可能なように変えることがで
きる。基準電圧が、駆動された／受け取った電圧の値よ
り小さい間は、比較器の出力は第１の状態（たとえば、
ゼロ）であることができる。しかし、基準電圧が駆動さ
れた／受け取られた電圧を越えたとたんに、比較器の出
力を、第２の状態（例えば、飽和または論理１）に駆動
することができる。この状態変化が感知されるとき、基
準電圧は実質的に受け取られた電圧に等しい。

【００３３】前述のやり方では、レシーバ４０４が、受
け取った信号の値を「解読する(interpret)」と言うこ
ともできる。

【００３４】それぞれのレシーブレベルの設定につい
て、機能試験が実行される。レシーブレベルのエラー
は、機能試験が合格を中止した（または、試験によって
は始めた）時の実際のドライブレベルと（解読された）
レシーブレベルの間の差を取得することにより、それぞ
れのチャネルについて計算される。レシーブレベルのエ
ラーを後の半分の試験器チャネルについて測定するた
め、チャネルの構成が交換されて試験が繰り返される。

【００３５】図７を参照すると、２つの基板４００ａお
よび４００ｂのリレー／基板の構成が示され、レシーバ
の精度を試験するよう構成される。とりわけリレーは、
ドライバ４０２ｃをレシーバ４０４ｄに接続するよう構
成される。前述したドライバの試験により、またはドラ
イバ４０２ｃのドライブレベルの精度を検証する外付け
の試験装置を使用することにより、前もってドライバ４
０２ｃが精度について試験されていると推定して、この
試験を起動する。その後、ドライバ４０２ｃは、予め定
められたドライブレベルで信号を出力するよう構成され
る。そしてレシーバ４０４ｄは、受け取った値およびレ
シーバからの出力が駆動された信号の規定された許容差
内にあるかどうか評価される。

【００３６】前述したドライブおよびレシーブレベルの
精度の試験は、５００ｍＶおよび６５００ｍＶのレベル
でチェックされるのが好ましい。これらのレベルが、好
ましい試験器の最悪な場合の設定（なおＨＰ８３０００
レベルの仕様におさまる）を表すからである。１つのレ
ベルをドライブおよびレシーブするのに起こりうる
「高」および「低」の差を追跡するため、低レベルおよ
び高レベルの両方について、同じ測定が５００ｍＶおよ
び６５００ｍＶで行われる。さらに、出力スイング（ou
tput swing、揺れ）（以下に記述する）が、すべての測
定について５００ｍＶに設定される。

【００３７】上記の計測学の制御ツールのロバストさ(r
obustness)および有用性を調査して、ＨＰ８３０００の
ドライバ／レシーバの性能についてより多くを習得する
ため、いくつかの実験が設定され、ＨＰ８３０００のレ
ベル仕様を実行して挑戦した。最初に、ＤＵＴ基板５０
０（前述された）が、ドライブおよびレシーブレベルの
精度の測定に影響するのに十分な重大な何らかの設計お
よび製造の例外があったかどうか判断するよう調べられ
た。実験は、ドライブレベルのエラーの測定を行うこと
を含み、その後ＤＵＴ基板５００を取り除いて同じ測定
を再び実行した。ＤＵＴ基板を用いずに実行された測定
は、回路基板４００のＰＭＵ４０６を、そのドライブレ
ベルが測定されているチャネルとして使用し、ドライブ
レベルを測定した。結果は、２つの測定方法の差が１ｍ
Ｖより小さいことを示したので、ＤＵＴ基板は適切であ
るとみなされた。

【００３８】また、前述された方法で測定された時のド
ライブレベル精度の修正（整定）時間およびその影響を
調査した。０ｍｓから５００ｍｓの修正時間について、
ドライブレベルが変動し、測定された。結果は、０ｍｓ
および５００ｍｓの修正時間について測定されたドライ
ブレベル間の差は、１ｍＶより小さいことが示された。
したがって、修正時間は、ドライブレベルの精度を測定
するのに選択された方法において要因とはならないと判
断された。

【００３９】レシーブレベル精度測定へのその起こりう
る影響のため、ドライブレベルの繰り返し精度が研究さ
れた。５分間（ツールの最終的な製造バージョンにおい
てドライブおよびレシーブレベルの精度の測定を実行す
るのに必要な推定時間）のうちに、５組のドライブレベ
ル測定が得られた。結果は、ドライブレベルが１ｍＶ内
で繰り返し可能であることが示され、これは、予想され
るレシーブレベルのエラー＋／−２５ｍＶおよび＋／−
５０ｍＶと比較されるとき、重要ではない。

【００４０】仕様を検証してドライブレベル精度測定方
法へのその影響を理解するため、ＨＰ８３０００「出力
スイング」の仕様が研究された。「出力スイング」は、
低レベル設定および高レベル設定間の差として定義され
る。ＨＰ８３０００の出力スイングは、５００ｍＶから
６０００ｍＶである。これは、低ドライブレベルおよび
高ドライブレベルの設定間の差が、５００ｍＶより小さ
くなく、６０００ｍＶより大きくないことが、すべての
他のドライバの仕様について保証されることを意味す
る。しかし、出力スイングを、１００ｍＶおよび７００
０ｍＶ間でプログラムすることができることに注意すべ
きである。実験は、１００ｍＶから６５００ｍＶまで出
力スイングを変化させ、それぞれの出力スイングの設定
についてドライブレベルのエラーを測定することであっ
た。結果は、出力スイングが５００ｍＶまたはそれより
大きいとき、ドライブレベルのエラーが最小になり、こ
れはＨＰ８３０００仕様を裏付けた。６０００ｍＶより
大きい出力スイングは、ドライブレベルの精度に何の影
響も持たずに現れた。

【００４１】レベル計測学制御ツールで測定された最も
低いドライブレベルが５００ｍＶであるので、実験は、
５００ｍＶより小さいドライブレベルの精度をチェック
するよう行われた。ドライブレベルは、５００ｍＶから
−１５００ｍＶにプログラムされ、これらのエラーが測
定された。結果は、５００ｍＶのドライブレベルのエラ
ーが、５００ｍＶより小さいドライブレベルのエラーの
１〜２ｍＶ内であった。

【００４２】他の実験は、ドライブレベルの精度回路の
測定側に置かれたドライブ４０２／レシーブ４０４回路
が、どのようにレベルのエラーに影響したかを調査し
た。不必要なドライブ４０２／レシーブ４０４の回路を
分離するため、回路の測定側のＡＣリレー４０８（図４
を参照）を開き、ドライブレベルのエラーが測定され
た。このデータは、ＡＣリレーが閉じている状態（これ
は、ＤＶＭ試験機能中におけるリレーのデフォルト位置
である）で測定されたドライブレベルのエラーと比較さ
れた。結果は、ドライブレベル精度回路の測定側に置か
れたドライブ／レシーブ回路は、６５００ｍＶにプログ
ラムされたドライブレベルにエラーの余分な５〜１０ｍ
Ｖを与えた。６５００ｍＶドライブレベルについて＋／
−５０ｍＶの予想されたエラーを想定すると、これは重
要である。上述のドライブレベル精度の測定方法が、両
方のリレーの位置について十分良いとしても、回路の測
定側でリレー４０８を開くと、さらに良い精度を与え
る。レベルの計測学制御ツールの最終的なバージョン
は、リレー４０８が開いた状態で、ドライブレベルのエ
ラーデータを得る。

【００４３】図８を簡単に参照すると、これは、ドライ
バの動作を検証する方法に含まれる主要なステップの操
作フローチャートを示す。とくに、立ち上がりで、この
方法は初期化ルーチン７０２を実行する。初期化ルーチ
ン７０２は、変数の初期化および様々な初期構成作業を
実行することを含み、これらは試験器から試験器へ、ま
た実行から実行へと必然的に変化するので、ここで述べ
る必要はない。初期化の後、この方法は、ドライバ試験
を行うため、多様な試験器チャネルを判断して構成する
（ステップ７０６）。その後、Ｖ_ILについて試験を行う
（ステップ７０８）。さらにこの方法は、Ｖ_IHについて
試験を行う（ステップ７１０）。

【００４４】最後にステップ７１２で、この方法は結果
を評価し、ドライバ４０２が規定された許容差内におさ
まっているかどうかを判断する。しかし、この試験と関
連して、多様な是正措置である測定を行うことができる
ことが理解される。例えば、電子メール（試験器がＬＡ
Ｎに接続されている場合）により、失敗した結果または
そうでないものを適切な人員に知らせることもできるの
で、その適切な人員は是正措置を行うことができる。

【００４５】図９を簡単に参照すると、これはレシーバ
の動作を検証する方法に含まれる主要なステップの操作
フローチャートを示す。とくに、立ち上がりで、この方
法は初期化ルーチン８０２を実行する。初期化ルーチン
８０２は、変数の初期化および様々な初期構成作業を実
行することを含み、試験器から試験器へ、また実行から
実行へと必然的に変化するので、ここで述べる必要はな
い。しかし、この初期化がすでにステップ７０２（図
７）で実行されている場合には、このステップを飛ばす
ことができる。初期化の後、この方法は、レシーバの試
験を行うため多様な試験器チャネルを判断して構成する
（ステップ８０６）。その後、Ｖ_OLについて試験を行う
（ステップ８０８）。さらにこの方法はＶ_OHについて試
験を行う（ステップ８１０）。

【００４６】好ましい実施形態では、この試験結果を図
示するグラフィック出力を生成するようルーチンを与え
ることもできる（ステップ８１１）。最後にステップ８
１２で、この方法は結果を評価し、レシーバ４０４が規
定された許容差内におさまっているかどうかを判断す
る。この試験と関連して、図７と関連して言及された多
様な是正措置の対策を同様に取ることができることが理
解される。

【００４７】上記の記述は、図示および記述の目的のた
めに提示された。これは、開示された精密な形に本発明
を限定するものではない。明らかな修正または様々な形
態が、上記の教示を考慮して可能である。説明した実施
の形態は、本発明の原理および実際的な応用分野の最高
の例示を示し、またそれにより当該技術分野の当業者が
様々な形態または様々な改良と共に本発明を利用するよ
う、選ばれて提供された。すべてのこのような改良およ
び様々な形態は、特許請求の範囲が、公平かつ合法的に
与えられる権利に従って解読されるとき、特許請求の範
囲により決定される本発明の範囲内におさまる。

【００４８】本発明の多様な側面を記述してきたので、
本発明の好ましい実施形態の一部を実行するのに使用す
る命令コードを以下に提供する。

【００４９】

【表１】 /****************************************************** * 関数： dr_lev - ドライブレベルエラーを測定 * *******************************************************/ void dr_lev() { int error; TF_PIN_RESULT pin_result[1025]; double tf_result[4]; long task_len; char task[1024]; long answer_len=1024; long ret_state; long tf_state; int i; int k; int channel; int lev; char low_level_string[100]; char high_level_string[100]; char answer[1024]; int failed_dr_level[1025]; int failed_dr_hi_low[1025]; float failed_result[1025]; int failed_channel[1025]; int g; total_p=1025; strcpy(device_path,"/fedisk2/cal/"); /****************************************************/ /* ＤＵＴ基板を用いてＶil測定を行う */ /****************************************************/ for(k=1;k<=2;k++) { if(k==1) { /* ピンの第１のセットのデータセットをロード --> 10101, 10301,等 */ DataManager(dm_set,dm_load,device_path,"dr_levels_a.mpc",0,&tf_stat e); } else { /* ピンの第２のセットのデータセットをロード --> 10201, 10401,等 */ DataManager(dm_set,dm_load,device_path,"dr_levels_b.mpc",0,&tf_stat e); } if(tf_state!=0) /* データセットのロードが失敗した場合 */ { printf("ERROR! DataManager load of dataset failed.＼n＼n"); if(error=disconnect()!=0)printf("WARNING!! The disconnect function did not execute successfully. Tester may still be in the connected state .＼n＼n"); HpTerm(); exit(CI_CALL_ERROR); } for(lev=500;lev<=6500;lev=lev+6000) { /* レベルをセット */ strcpy(task,"DRLV 1,"); sprintf(low_level_string,"%d",lev); sprintf(high_level_string,"%d",lev+500); strcat(task,low_level_string); strcat(task,","); strcat(task,high_level_string); strcat(task," ,(all_inputs);"); task_len=strlen(task); HpFwTask(task,&task_len,answer,&answer_len,&ret_state); answer[1023]='＼0'; if(ret_state!=0) /* ファームウェア・コマンドが失敗した場合 */ { printf("＼n＼nDRLV firmware command failed!!!＼n＼n"); if(error=disconnect()!=0)printf("WARNING!! The disconnect functio n did not execute successfully. Tester may still be in the connected sta te.＼n＼n"); HpTerm(); exit(CI_CALL_ERROR); } /* レシーブチェック試験のためＡＣリレーを開くファームウェアコマンド ・シーケンス*/ if(error=connect()!=0) { printf("ERROR!! Call to connect function failed.＼n＼n"); HpTerm(); exit(CI_CALL_ERROR); } /* ＡＣリレーを開く */ strcpy(task,"RLYC IDLE,PMU,(all_outputs);"); task_len=strlen(task); HpFwTask(task,&task_len,answer,&answer_len,&ret_state); answer[1023]='＼0'; if(ret_state!=0) /* ファームウェア・コマンドが失敗した場合 */ { printf("＼n＼nFirst RLYC firmware command failed!!!＼n＼n"); if(error=disconnect()!=0)printf("WARNING!! The disconnect functio n did not execute successfully. Tester may still be in the connected sta te.＼n＼n"); HpTerm(); exit(CI_CALL_ERROR); } /* ＤＲＬＶレベル精度チェック試験機能を実行 */ ExecTfParam("dvm;all_outputs;V;0;V;7;ms;10;DVM($P)",tf_result,&tf_s tate); if(tf_state==-1 ) /* 試験機能実行が失敗した場合 */ { printf("ERROR! Execution of test function failed.＼n"); if(error=disconnect()!=0)printf("WARNING!! The disconnect functio n did not execute successfully. Tester may still be in the connected sta te.＼n＼n"); HpTerm(); exit(CI_CALL_ERROR); } GetPinResults(pin_result,&total_p,&tf_state); if(tf_state==2) { for(i=0;i<total_p;i++) { if(lev==500 && k==1) { /* ドライバチャネル番号を格納 */ channel=atoi(pin_result[i].pinname); if(channel>13100 && channel<13300)drlv_channel_a[i]=channel -1; else drlv_channel_a[i]=channel-100; /* 結果を格納 */ vil_500a[i]=pin_result[i].meas[0].value; } else if(lev==500 && k==2) { /* ドライバチャネル番号を格納 */ channel=atoi(pin_result[i].pinname); if(channel>13100 && channel<13300)drlv_channel_b[i]=channel +1; else drlv_channel_b[i]=channel+100; /* 結果を格納 */ vil_500b[i]=pin_result[i].meas[0].value; } else if(lev==6500 && k==1)vil_6500a[i]=pin_result[i].meas[0]. value; else if(lev==6500 && k==2)vil_6500b[i]=pin_result[i].meas[0]. value; } } /* if tf_state==2 をクローズ*/ /* ＤＲＬＶレベル精度チェック試験を実行。この試験機能は、各ドライバ自身 のＰＭＵでＤＲＬＶを測定する。ＤＵＴ基板無しの試験だが、試験ヘッド上にＤ ＵＴ基板を持つのと同じ試験を行う。データが多ければ多いほど良い。 */ ExecTfParam("dvm;all_inputs;V;O;V;7;ms;10;DVM($P)",tf_result,&tf_st ate); if(tf_state==-1) /* 試験機能の実行が失敗した場合 */ { printf("ERROR! Execution of test function failed.＼n"); if(error=disconnect()!=0)printf("WARNING!! The disconnect functio n did not execute successfully. Tester may still be in the connected sta te.＼n＼n"); HpTerm(); exit(CI_CALL_ERROR); } GetPinResults(pin_result,&total_p,&tf_state); if(tf_state==2) { for(i=0;i<total_p;i++) { if(lev==500 && k==1) { /* 結果を格納 */ vil_500a3[i]=pin_result[i].meas[O].value; } else if(lev==500 && k==2) { /* 結果を格納 */ vil_500b3[i]=pin_result[i].meas[O].value; } else if(lev==6500 && k==1)vil_6500a3[i]=pin_result[i].meas[O] .value; else if(lev==6500 && k==2)vil_6500b3[i]=pin_result[i].meas[O] .value; } } /* if tf_state==2 をクローズ*/ } /* 第２のループをクローズ */ } /* 第１のループをクローズ */ /*****************************************************/ /* ＤＵＴ基板を用いてＶih測定を行う */ /*****************************************************/ for(k=1;k<=2;k++) { if(k==1) { /* ピンの第１のセットのデータセットをロード --> 10101, 10301, 等 */ DataManager(dm_set,dm_load,device_path,"dr_levels_a.mpc",0,&tf_stat e); if(tf_state!=0) /* データセットのロードが失敗した場合 */ { printf("ERROR! DataManager load of dataset failed.＼n＼n"); if(error=disconnect()!=0)printf("WARNING!! The disconnect functio n did not execute successfully. Tester may still be in the connected sta te.＼n＼n"); HpTerm(); exit(CI_CALL_ERROR); } /* Ｖihタイミングをロード */ DataManager(dm_timing,dm_load,device_path,"timinga1.dr_levels_mpc", 0,&tf_state); } else { /* ピンの第２のセットのデータセットをロード --> 10201, 10401, 等*/ DataManager(dm_set,dm_load,device_path,"dr_levels_b.mpc",0,&tf_stat e); if(tf_state!=0) /* データセットのロードが失敗した場合 */ { printf("ERROR! DataManager load of dataset failed.＼n＼n"); if(error=disconnect()!=0)printf("WARNING!! The disconnect functio n did not execute successfully. Tester may still be in the connected sta te.＼n＼n"); HpTerm(); exit(CI_CALL_ERROR); } /* Ｖihタイミングをロード */ DataManager(dm_timing,dm_load,device_path,"timingb1.dr_levels_mpc ",0,&tf_state); } if(tf_state!=0) /* タイミングのロードが失敗した場合 */ { printf("ERROR! DataManager load of timing failed.＼n＼n"); if(error=disconnect()!=0)printf("WARNNG!! The disconnect function d id not execute successfully. Tester may still be in the connected state. ＼n＼n"); HpTerm(); exit(CI_CALL_ERROR); } for(lev=500;lev<=6500;lev=lev+6000) { strcpy(task,"DRLV 1,"); sprintf(low_level_string,"%d",lev-500); sprintf(high_level_string,"%d",lev); strcat(task,;low_level_string); strcat(task,","); strcat(task,high_level_string); strcat(task,",(all_inputs);"); task_len=strlen(task); HpFwTask(task,&task_len,answer,&answer_len,&ret_state); answer[1023]='＼0'; if(ret_state!=0) /* ファームウェアコマンドが失敗した場合 */ { printf("＼n＼nDRLV firmware command failed!!!＼n＼n"); if(error=disconnect()!=0)printf("WARNING!! The disconnect functio n did not execute successfully. Tester may still be in the connected sta te.＼n＼n"); HpTerm(); exit(CI_CALL_ERROR); } /* レシーブチェック試験のためＡＣリレーを開くファームウェアコマンド・シ ーケンス */ if(error=connect()!=0) { printf("ERROR!! Call to connect function failed.＼n＼n"); HpTerm(); exit(CI_CALL_ERROR); } /* ＡＣリレーを開く */ strcpy(task,"RLYC IDLE,PMU,(all_outputs);"); task_len=strlen(task); HpFwTask(task,&task_len,answer,&answer_len,&ret_state); answer[1023]='＼O'; if(ret_state!=O) /* ファームウェアコマンドが失敗した場合 */ { printf("＼n＼nFirst RLYC firmware command failed!!!＼n＼n"); if(error=disconnect()!=0)printf("WARNING!! The disconnect ftincti on did not execute successfully. Tester may still be in the connected st ate.＼n＼n"); HpTerm(); exit(CI_CALL_ERROR); } /* ＤＲＬＶレベル精度チェック試験機能を実行 */ ExecTfParam("dvm;all_outputs;V;O;V;7;ms;lO;DVM($P)",tf_result,&tf_s tate); if(tf_state==-1) /* 試験機能実行が失敗した場合 */ { printf("ERROR! Execution of test fimction failed.＼n"); if(error=disconnect()!=0)printf("WARNING!! The disconnect functio n did not execute successfully. Tester may still be in the counected sta te.＼n＼n"); HpTerm(); exit(CI_CALL_ERROR); } GetPinResults(pin_result,&total_p,&tf_state); if(tf_state==2) { for(i=0;i<total_p;i++) { if(lev==500 && k==1)vih_500a[i]=pin_result[i].meas[O].value; else if(lev==500 && k==2)vih_500b[i]=pin_result[i].meas[O].valu e; else if(lev==6500 && k==1)vih_6500a[i]=pin_result[i].meas[O].va lue; else if(lev==6500 && k==2)vih_6500b[i]=pin_result[i].meas[O].va lue; } /* 第３のループをクローズ */ } /* if tf_stateループをクローズ */ /* ＤＲＬＶレベル精度チェック試験機能を実行。この試験機能は、各ドライバ 自身のＰＭＵでＤＲＬＶを測定する。ＤＵＴ基板無しの試験だが、試験ヘッド上 にＤＵＴ基板を持つのと同じ試験を行う。データが多ければ多いほど良い。 */ ExecTfParam("dvm;all_inputs;V;O;V;7;ms;10;DVM($P)"tf_result,&tf_sta te)' if(tf_state==-1) /* 試験機能実行が失敗した場合 */ { printf("ERROR! Execution of test ftinction failed.＼n"); if(error=disconnect()!=0)printf("WARNING!! The disconnect functio n did not execute successfully. Tester may still be in the connected sta te.＼n＼n"); HpTerm(); exit(CI_CALL_ERROR); } GetPinResults(pin_result,&total_p,&tf_state); if(tf_state==2) { for(i=0;i<total_p;i++) { if(lev==500 && k==1)vih_500a3[i]=pin_result[i].meas[O],value; else if(lev==500 && k==2)vih_500b3[i]=pin_result[i].meas[O].val ue; else if(lev==6500 && k==1)vih_6500a3[i]=pin_result[i].meas[O].v alue; else if(lev==6500 && k==2)vih_6500b3[i]=pin_result[i].meas[O].v alue; } } } /* 第２のループをクローズ */ } /* 第１のループをクローズ */ if(error=disconnect()!=0)printf("WARNING!! The disconnect function did n
ot execute successfully. Tester may still be in the connected state.＼n ＼n"); } /*********************************************************** * 機能: rc lev - レシーブレベルの合格／失敗ポイントを測定 * ************************************************************/ void rc_lev(void) { int shmoo_2d=0; /* 0=no shmoo 1=output shmoo */ TF_PlN_RESULT pin_result[525]; double tf_result[4]; int error; char task[1024]; char low_level_string[100]; char high_level_string[100]; char answer[1024]; long task_len; long answer_len=1024; long ret_state; long tf_state; int i; int j; int cnt=O; int vol_500a[525][150]; int vol_500b[525][15O]; int vol_6500a[525][150]; int vol_6500b[525][150]; int voh_500a[525][150]; int voh_500b[525][150]; int voh_6500a[525][150]; int voh_6500b[525][150]; int k; int l; int flag=0; float first_pass; float last_pass; int low_lev; int high_Iev; int rclv_vol_500a[525]; int rclv_vol_500b[525]; int rclv_vol_6500a[525]; int rclv_vol_6500b[525]; int rclv_voh_500a[525]; int rclv_voh_500b[525]; int rclv_voh_6500a[525]; int rclv_voh_6500b[525]; char set_compare[50]; double E; float d_i; total_p=1025; strcpy(device_path,"/fedisk2/cal"); /***************** レベル精度測定開始 *******************/ print("--> Taking Receive Level Data. . . . . .＼n＼n"); fflush(stdout); /***********************************************/ /* Ｖol測定 */ /***********************************************/ for(k=O;k<=3;k++) { /************ データセットのロード **************/ if((k==0)||(k==1)) { DataManager(dm_set,dm_load,device_path,"rc_levels_a.mpc",O,&tf_stat e); } else if((k==2)||(k==3)) { DataManager(dm_set,dm_load,device_path,"rc_levels_b.mpc",O,&tf_stat e); } if(tf_state!=O) /* データセットのロードが失敗した場合 */ { printf("ERROR! DataManager load ofthe dataset failed.＼n＼n"); if(error=disconnect()!=0)printf("WARNlNG!! The disconnect function did not execute successfully. Tester may still be in the connected state .＼n＼n"); HpTerm(); exit(CI_CALL_ERROR); } /*********** ドライブレベルの設定 *************/ if(k==0 || k==2) { low_lev=449; strcpy(task,"DRLV 1,500,1000,(all_inputs);"); } else if(k==1 || k==3) { low_lev=6449; strcpy(task,"DRLV 1,6500,7000,(all_inputs);"); } task_len=strlen(task); HpFwTask(task,&task_len,answer,&answer_len,&ret_state); answer[1023]='＼O'; if(ret_state!=O) /* ファームウェアコマンドが失敗した場合 */ { printf("＼n＼nDRLV firmware command failed!!!＼n＼n"); if(error=disconnect()!=0)printf("WARNING!! The disconnect function did not execute successfully. Tester may still be in the connected state .＼n＼n"); HpTerm(); } cnt=O; /*********** レシーブレベル設定 *************/ for(i=low_lev;i<=low_lev+1OO;i=i+1) { if(low_lev==500 || low_lev==6500)low_lev++;; /* vol=500mvと 6500mv は、有効な試験ポイントでない */ /* レシーブレベル設定 */ strcpy(task,"RCLV 1,"); sprintf(low_level_string,"%d",i); sprintf(high_level_string,"%d",i+100); strcat(task,low_level_string); strcat(task,","); strcat(task,high_level_string); strcat(task,",(all_outputs);"); task_len=strlen(task); HpFwTask(task,&task_len,answer,&answer_len,&ret_state); answer[1023]='＼O; if(ret_state!=0) /* ファームウェアコマンドが失敗した場合 */ { printf("＼n＼nRCLV firmware command failed!!!＼n＼n"); if(error=disconnect()!=0)printf("WARNING!! The disconnect functio n did not execute successfully. Tester may still be in the connected sta te.＼n＼n"); HpTerm(); exit(CI_CALL_ERROR); } /* 比較エッジのタイミングを変える */ strcpy(task,"ETIM 1,1,"); d_i=i; if((k==O) || (k==2)) E=240/fabs(d_i-500)+.1; if((k==1) || (k==3)) E=240/fabs(d_i-6500)+.1; sprintf(set_compare,"%f",E); strcat(task,set_compare); strcat(task,",0,0,0,0,0,(all_outputs);"); task_len=strlen(task); HpFwTask(task,&task_len,answer,&answer_len,&ret_state); answer[1023]='＼0'; if(ret_state!=O) { printf("＼n＼nETIM firmware command failed!!!＼n＼n"); if(e
rro=disoonnect()!=0)printf("WARNING!! The disconnect function did not execute successfully. Tester may still be in the connected stat e.＼n＼n"); HpTerm(); exit(CI_CALL_ERROR); } /* 試験機能を実行 */ ExecTfParam("functional;",tf_result,&tf_state); if(tf_state==-1) /*試験機能の実行が失敗した場合*/ { printf("ERROR! Execution of DRLV test function failed.＼n"); if(error=disconnect()!=0)printf("WARNlNG!! The disconnect functio
n did not execute successfully. Tester may still be in the cormected sta te.＼n＼n"); HpTerm(); exit(CI_CALL_ERBLOR); } GetPinResults(pin_result,&total_p,&tf_state); if(tf_state==1) { for(j=0;i<total_p;j++) { if(k==O) { /* 合格／失敗の結果を格納 */ vol_500a[j][cnt]=pin_result[j].meas[0].result; /* 対応するレベルを格納 */ rclv_vol_500a[cnt]=i; rclv_channel_a[j]=atoi(pin_result[j].pinname); } else if(k==1) { vol_6500a[j][cnt]=pin_result[j].meas[0].result; rclv_vol_6500a[cnt]=i; } else if(k==2) { vol_500b[j][cnt]=pin_result[j].meas[0].result; rclv_vol_500b[cnt]=i; rclv_channel_b[j]=atoi(pin_result[j].pinname); } else if(k==3) { vol_6500b[j][cnt]=pin_result[j].meas[0].result; rclv_vol_6500b[cnt]=i; } } /* ループをクローズ */ } /* if tf_state==1 をクローズ */ else { printf("GetPinResults failed for Vol measurements. tf_state = %d＼n ",tf_state); printf("total_p=%d＼n",total_p); if(error=disconnect()!=0)printf("WARNING!! The discormect function did not execute successfully. Tester may still be in the connected state .＼n＼n"); HpTerm(); exit(CI_CALL_ERROR); } cnt++; } /* 第２のループをクローズ*/ } /* 第１のループをクローズ*/ /***********************************************/ /* Ｖoh測定 */ /***********************************************/ for(k=0;k<=3;k++) { /************ データセットをロード **************/ if((k==O)||(k==1)) { DataManager(dm_set,dm_load,device_path,"rc_levels_a.mpc",0,&tf_stat e); } else if((k==2)||(k==3)) { DataManager(dm_set,dm_load,device_path,"rc_levels_b.mpc",0,&tf_stat e); } if(tf_state!=0)/* データセットのロードが失敗した場合 */ { printf("ERROR! DataManager load of the dataset failed.＼n＼n"); if(error=disconnect()!=0)printf("WARNING!! The discounect function did not execute successfully. Tester may still be in the connected state .＼n＼n"); HpTerm(); exit(CI_CALL_ERROR); } /*********** ベクトルレベルを「one」に変更 *************/ strcpy(task,"SQSL＼"one＼";"); task_len=strlen(task); HpFwTask(task,&task_len,answer,&answer_len,&ret_state); answer[1023]='＼O'; if(ret_state!=0) /* ファームウェアコマンドが失敗した場合 */ { printf("＼n＼nSQSL firmware command failed!!!＼n＼n"); if(error=disconnect()!=0)printf(WARNlNG!! The disconnect function d id not execute successfully. Tester may still be in the connected state. ＼n＼n"); HpTerm(); exit(CI_CALL_ERROR); } /*********** ドライブレベルを設定 *************/ if(k==0 || k==2) { high_lev=449; strcpy(task,"DRLV 1,0,500,(all_inputs);"); } else if(k==1 || k==3) { high_lev=6449; strcpy(task,"DRLV 1,6000,6500,(all_inputs);"); } task_len=strlen(task); HpFwTask(task,&task_len,answer,&answer_len,&ret_state); answer[1023]='＼0'; if(ret_state!=0) /* ファームウェアコマンドが失敗した場合 */ { printf("＼n＼nDRLV firmware command failed!!!＼n＼n"); if(error=disconnect()!=0)printf("WARNING!! The disconnect function did not execute successfully. Tester may still be in the connected state .＼n＼n"); HpTerm(); exit(CI_CALL_ERROR); } cnt=0; /*********** レシーブレベルを設定 *************/ for(i=high_lev;i<=high_lev+100;i=i+1) { if(high_lev==500 || high_lev==6500)high_lev++;;/* voh=500mv と 6500 mv は、有効な試験ポイントでない */ /* レシーブレベルを設定 */ strcpy(task,"RCLV 1,"); sprintf(low_level_string,"%d",i-100); sprintf(high_level_string,"%d",i); strcat(task_low_level_string); strcat(task,"," ); strcat(task,high_level_string); strcat(task,",(all_outputs);"); task_len=strlen(task); HpFwTask(task,&task_len,answer,&answer_len,&ret_state); answer[1023]='＼0'; if(ret_state!=0) /* ファームウェアコマンドが失敗した場合 */ { printf("＼n＼nRCLV firmware command failed!!!＼n＼n"); if(error=disconnect()!=0)printf("WARNING!! The disconnect functio n did not execute successfully. Tester may still be in the connected sta te.＼n＼n"); HpTerm(); exit(CI_CALL_ERROR); } /* 比較エッジタイミングを変える */ strcpy(task,"ETIM 1,1,"); d_i=i; if((k==0) || (k==2)) E=240/fabs(d_i-500)+.1; if((k==1) || (k==3)) E=240/fabs(d_i-6500)+.1; sprintf(set_compare,"%f',E); strcat(task,set_compare); strcat(task,",0,0,0,0,0,(all_outputs);"); task_len=strlen(task); HpFwTask(task,&task_len,answer,&answer_len,&ret_state); answer[1023]='＼0'; if(ret_state!=0) { printf("＼n＼nETIM firmware command failed!!!＼n＼n"); if(error=disconnect()!=0)printf("WARNING!! The discounect functio n did not execute successfully. Tester may still be in the connected sta te.＼n＼n"); HpTerm(); exit(CI_CALL_ERROR); } /* 試験機能を実行 */ ExecTfParam("functional;",tf_result,&tf_state); if(tf_state==-1) /* 試験機能が失敗した場合 */ { printf("ERROR! Execution of RCLV test fimction failed.＼n");
if(error=disconnect()!=0)printf("WARNING!! The disconnect functio n did not execute successfully. Tester may still be in the connected sta te.＼n＼n"); HpTerm(); exit(CI_CALL_ERROR); } GetPinResults(pin_result, &total_p,&tf_state); if(tf_state==1) { for(j=0;j<total_p;j++) { if(k==O) { /* 合格／失敗の結果を格納 */ voh_500a[j][cnt]=pin_result[j].meas[0].result; /* 対応するレベルを格納 */ rclv_voh_500a[cnt]=i; } else if(k==l) { voh_6500a[j][cnt]=pin_result[j].meas[0].result; rclv_voh_6500a[cnt]=i; } else if(k==2) { voh_5OOb[j][cnt]=pin_result[j].meas[0].result; rclv_voh_500b[cnt]=i; } else if(k==3) { voh_6500b[j][cnt]=pin_result[j].meas[0].result; rclv_voh_6500b[cnt]=i; } } } else { printf("GetPinResults failed for Voh measurements. tf_state=%d＼n", tf_state); printf("total_p=%d＼n",total_p); if(error=disconnect()!=0)printf("WARlNING!! The disconnect function did not exe6ute successfully. Tester may still be in the connected stat e.＼n＼n"); HpTerm(); exit(CI_CALL_ERROR) } cnt++; } } if(error=disconnect()!=0)printf("WARNlNG!! The disconnect function did n ot execute successfully. Tester may still be in the connected state.＼n ＼n"); /***********************************************/ /* ２ＤShmooとして結果を出力 */ /* および／または */ /* . 合格／失敗のポイントをの位置を特定する */ /***********************************************/ for(k=0;k<total_p;k++) { /********** vol_500_a **********/ if(shmoo_2d==1)printf("＼n＼nVol measurements...＼n"); flag=0; /* これは、最初の合格／失敗にフラグをたてる */ if(shmoo_2d==1)printf("%d＼t",rclv_channel_a[k]); for(l=1;l<cnt;l++) { if(vol_500a[k][l]==0) { if(shmoo_2d==1)printf("*"); if(flag==O) /* これが「．」の後の最初の「＊」の場合、最初の合格を 設定 */ { flag=1; first_pass=rclv_vol_500a[l]; vol_500a_error[k]=fabs(vil_500a[total_p-k-1]-rclv_vol_500a[l]); } } else { if(shmoo_2d==1)printf("."); flag=0; /* いくつかの「＊」の間に「．」が発生した場合、フラグをゼ ロにリセット */ } } if(shmoo_2d==1)printf("＼t%6.2f%6.2f＼n",first_pass,vol_500a_error[k]) ; /********** vol_500_b **********/ flag=0; if(shmoo_2d==1)printf("%d＼t",rclv_channel_b[k]); for(l=1;l<cnt;l++) { if(vol_500b[k][l]==0) { if(shmoo_2d==1)printf("*"); if(flag==0) /* これが、「．」の後の最初の「＊」である場合、最初の 合格を設定 */ { flag=1; first_pass=rclv_vol_500b[l]; vol_500b_error[k]=fabs(vil_500b[total_p-k-1]-rclv_vol_500b[l]); } } else { if(shmoo_2d==1)printf("."); flag=0; /* いくつかの「＊」の間に「．」が発生した場合、フラグをゼ ロにリセット*/ } } if(shmoo_2d==1)pnntf("＼t%6.2f%6.2f＼n",first_pass,vol_500b_error[k]); /********** vol_6500_a **********/ flag=0; if(shmoo_2d==1)printf("%d＼t",rclv_channel_a[k]); for(l=1;l<cnt;l++) { if(vol_6500a[k][l]==0) { if(shmoo_2d==1)printf("*"); if(flag==0) /* これが、「．」の後の最初の「＊」である場合、最初の 合格を設定 */ { flag=1; first_pass=rclv_vol_6500a[l]; vol_6500a_error[k]=fabs(vil_6500a[total_p-k-1]-rclv_vol_6500a[l ]); } } else { if(shmoo_2d==1)printf("."); flag=0; /* いくつかの「＊」の間に「．」が発生した場合、フラグをゼ ロにリセット */ } } if(shmoo_2d==1)printf("＼t%6.2f%6.2f＼n",first_pass,vol_6500a_error[k] ); /********** vol_6500_b **********/ flag=0; if(shmoo_2d==1)printf("%d＼t",rclv_channel_b[k]); for(l=1;l<cnt;l++ ) { if(vol_6500b[k][l]==0) { if(shmoo_2d==1)printf("*"); if(flag==0) /* これが、「．」の後の最初の「＊」の場合、最初の合格 を設定 */ { flag=1; firs_pass=rclv_vol_6500b[l]; vol_6500b_error[k]=fabs(vil_6500b[total_p-k-1]-rclv_vol_6500b[l ]); } } else { if(shmoo_2d==1)printf("."); flag=0; /* いくつかの「＊」間で「．」が発生した場合、フラグをゼロ にリセット */ } } if(shmoo_2d==1)printf("＼t%6.2f%6.2f＼n",firs_pass,vol_6500b_error[k]) ; /********** voh_500_a **********/ if(shmoo_2d==1)printf("＼n＼nVoh measurements. . .＼n"); flag=0; if(shmoo_2d==1)printf("%d＼t",rclv_channel_a[k]); for(l=1;l<cnt;l++) { if(voh_500a[k][l]==1) { if(shmoo_2d==1)printf("."); if(flag==0) /* これが最初の「．」の場合（最初の失敗）、最後の合格 を設定 */ { flag=1; last_pass=rclv_voh_500a[l-1]; voh_500a_error[k]=fabs(vih_500a[total_p-k-1]-rclv_voh_500a[l]); } } else { if(shmoo_2d==1)printf("*"); } } if(shmoo_2d==1)printf("＼t%6.2f%6.2f＼n",last_pass,voh_500a_error[k]); /********** voh_500_b **********/ flag=0; if(shmoo_2d==1)printf("%d＼t",rclv_channel_b[k]); for(l=1;l<cnt;l++) { if(voh_500b[k][l]==1) { if(shmoo_2d==1)printf("."); if(flag=0) /* これが、最初の「．」である場合（最初の失敗）、最後 の合格を設定 */ { flag=1; last_pass=rclv_voh_500b[l-1]; voh_500b_error[k]=fabs(vih_500b[total_p-k-1]-rclv_voh_500b[l]); } } else { if(shmoo_2d==1)printf("*"); } } if(shmoo_2d==1)printf("＼t%6.2f%6.2f＼n",last_pass,voh_500b_error[k];/ ********** voh_6500_a **********/ flag=0; if(shmoo_2d==1)printf("%d＼t",rclv_channel_a[k]); for(l=1;l<cnt;l++) { if(voh_6500a[k][l]==1) { if(shmoo_2d==1)printf("."); if(flag=0) /* これはが最初の「．」である場合（最初の失敗、最後の 合格を設定 */ { flag=1; last_pass=rclv_voh_6500a[l-1]; voh_6500a_error[k]=fabs(vih_6500a[total_p-k-1]-rclv_voh_6500a[l ]); } } else { if(shmoo_2d==1)printf("*"); } } if(shmoo_2d==1)printf("＼t%6.2f%6.2f＼n",last_pass,voh_6500a_error[k]) ; /********** voh 6500 b **********/ flag=0; if(shmoo_2d==1)printf("%d＼t",rclv_channel_b[k]); for(l=1;l<cnt;l++) { if(voh_6500b[k][l]==1) { if(shmoo_2d==1)printf("."); if(flag=0) /* これが最初の「．」である場合（最初の失敗）、最後の 合格を設定 */ { flag=1; last_pass=rclv_voh_6500b[l-1]; voh_6500b_error[k]=fabs(vih_6500b[tota_p-k-1]-rclv_voh_6500b[l] ); } } else { if(shmoo_2d==1)printf("*"); } } if(shmoo_2d==1)pnntf("＼t%6.2f%6.2f＼n",last_pass,voh_6500b_error[k]); } } /* rc_lev 関数をクローズ */

【００５０】本発明は例として次の実施態様を含む。 （１）試験ヘッド(205)に配置された複数の試験コネク
タを持ち、それぞれの試験コネクタが試験チャネルの電
気信号を運ぶ導体(506)を持ち、それぞれの試験チャネ
ルが少なくとも１つのドライバ(402)および少なくとも
１つのレシーバ(404)を備える回路基板(400)に対応して
いる集積回路を試験するデバイス(100)の構成要素の許
容差を試験するシステムであって、第１および第２の試
験コネクタの導体間に低インピーダンスの電気的な接続
を確立し、第１の回路基板(400a)の第１のドライバ(402
a)が、低インピーダンスの経路を介して、第２の回路基
板の測定ユニット(406a)に電気的に接続される短絡手段
(500)と、前記第１のドライバを制御して、予め定めら
れた目標値の電気信号を出力するよう構成されるコント
ローラ(206)と、前記測定ユニットにより受け取られた
電圧レベルが、前記予め定められた目標値の予め定めら
れた量の範囲内におさまっているか検証するよう構成さ
れる検証手段(206、702)と、を備える、デバイスの構成
要素の許容差を試験するシステム。

【００５１】（２）試験ヘッド(205)に配置された複数
の試験コネクタを持ち、それぞれの試験コネクタが試験
チャネルの電気信号を運ぶ導体を持ち、それぞれの試験
コネクタが少なくとも１つのドライバおよび少なくとも
１つのレシーバ(404)を備える回路基板(400)に対応して
いる集積回路を試験するデバイス(100)の構成要素の許
容差を試験するシステムであって、第１および第２の試
験コネクタの導体間に、低インピーダンスの電気的な接
続を確立し、第１の回路基板(400a)の第１のドライバ(4
02a)が、低インピーダンスの経路を介して、第２の回路
基板の第１のレシーバ(402b)に電気的に接続される短絡
手段と、前記第１のドライバを制御して、予め定められ
た目標値の電気信号を出力するよう構成されるコントロ
ーラ(206)と、前記第１のレシーバに届けられた信号電
圧レベルを解読するよう設計される評価手段(206、808、8
10)と、前記解読された信号が、前記予め定められた値
の規定された量の範囲内におさまっているか検証するよ
う構成される検証手段(206、812)と、を備える集積回路
を試験するデバイスの構成要素の許容差を試験するシス
テム。

【００５２】（３）前記短絡手段が、前記第１の試験コ
ネクタのピンと前記第２の試験コネクタのピンの間を導
電性の経路で直接的に確立する金属層を含むプリント回
路基板を備える上記（２）に記載のシステム。 （４）前記評価手段および検証手段が、処理ユニットの
動作を制御するプログラムコードを介して認識される上
記（２）に記載のシステム。 （５）前記処理ユニットが、マイクロプロセッサ、マイ
クロコントローラ、内蔵型のコントローラ、特定用途向
け集積回路および処理と制御機能を実行するのに特別に
設計された専用ハードウェアから成るグループから選択
されるデバイスである上記（２）に記載のシステム。

【００５３】（６）試験ヘッド(205)に配置された複数
の試験コネクタを持つ集積回路を試験するための試験デ
バイス(100)において、それぞれの試験コネクタが試験
チャネルの電気信号を運ぶ導体(506)を持ち、それぞれ
の試験チャネルが少なくとも１つのドライバ(402)およ
び少なくとも１つのレシーバ(404)を含む回路基板(400)
に対応しており、第１および第２の試験コネクタの導体
間に電気的な接続を確立し、第１の回路基板(400a)の第
１のドライバ(402a)が、第２の回路基板(400b)の第１の
レシーバ(404b)に、低インピーダンスの経路を介して電
気的に接続されるようにし、該第１のドライバが、規定
された許容差内におさまっていることが知られており、
前記第１のドライバの出力を制御して、予め定められた
値に電気信号を駆動し、前記第１のレシーバで解読され
た信号レベルを評価し、前記解読された信号が、前記予
め定められた値の規定された量の範囲内におさまってい
るかを検証する構成要素の分散を診断する方法。

【００５４】（７）第１および第２の試験コネクタの導
体間に電気的な接続を確立し、第１の回路基板(400a)の
第２のドライバ(402a)が、低インピーダンスの経路を介
して第２の回路基板(400b)の第２のレシーバ(404b)に電
気的に接続されるようにし、該第２のドライバが規定さ
れた許容差内におさまっていることが知られており、前
記第２のドライバの出力を制御して、予め定められた値
に電気信号を駆動し、前記第２のレシーバで解読された
信号レベルを評価し、前記第２のレシーバで解読された
信号レベルが、前記第２のドライバからの予め定められ
た値の出力の規定された量の範囲内におさまっているか
検証する上記（６）に記載の方法。

【００５５】（８）前記電気的な接続を確立するステッ
プが、前記第１および第２の試験コネクタの導体間に電
気的な接続を確立し、第１の回路基板(400a)の複数のド
ライバ(402a)が、低インピーダンスの経路を介して、第
２の回路基板(400b)の複数のレシーバ(404b)に電気的に
接続されるようにし、第２の回路基板の複数のドライバ
(402b)が、低インピーダンスの経路を介して、第１の回
路基板の複数のレシーバ(404a)に電気的に接続されるよ
うにし、該複数のドライバのそれぞれが、規定された許
容差内におさまっていることが知られている上記（６）
に記載の方法。

【００５６】（９）前記第１のドライバの出力を制御す
るステップが、出力高信号について規定された低い局限
(margin)を表す第１のレベルになるよう第１のドライバ
の出力を制御し、前記検証するステップが、前記第１の
レシーバで受け取られた値が、確実に少なくともこの値
であるようにする上記（６）に記載の方法。

【００５７】（１０）前記第１のドライバの出力を制御
するステップが、出力高信号の規定された高い局限を表
す第１のレベルになるよう第１のドライバの出力を制御
し、前記検証するステップが、前記第１のレシーバで受
け取られた値が、確実にこの値より大きくないようにす
る上記（６）に記載の方法。

【００５８】

【発明の効果】本発明によると、高精度でデジタル試験
器の性能を検証することにより、自動試験装置の精度を
改善することができるようになるという効果が得られ
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】デジタル電子回路を試験するための自動試験デ
バイスのブロック図。

【図２】自動試験装置を示すブロック図。

【図３】自動試験装置の試験ヘッドを詳細に示す図。

【図４】試験装置に複数のドライバおよびレシーバを備
える回路基板の主要な構成要素を示すブロック図。

【図５】試験装置の試験ヘッドの試験コネクタの２つの
ピン間の相互接続を示すブロック図。

【図６】ドライバエラーを試験して測定するよう構成さ
れた、図４に示される型の２つの回路基板の構成を示す
ブロック図。

【図７】レシーバエラーを試験して測定するよう構成さ
れた、図４に示される型の２つの回路基板の構成を示す
ブロック図。

【図８】ドライバエラーを試験および測定する時の主要
なステップを示すフローチャート。

【図９】レシーバエラーを試験および測定する時の主要
なステップを示すフローチャート。

【符号の説明】

１００ 試験器 ２０５ 試験ヘッド ２０６ コントローラ ４００ 基板 ４０２ ドライバ ４０４ レシーバ ４０６ 測定ユニット ５０６ 導体

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】試験ヘッドに配置された複数の試験コネク
   タを持ち、それぞれの試験コネクタが試験チャネルの電
   気信号を運ぶ導体を持ち、それぞれの試験チャネルが少
   なくとも１つのドライバおよび少なくとも１つのレシー
   バを備える回路基板に対応している集積回路を試験する
   デバイスの構成要素の許容差を試験するシステムであっ
   て、 第１および第２の試験コネクタの導体間に低インピーダ
   ンスの電気的な接続を確立し、第１の回路基板の第１の
   ドライバが、低インピーダンスの経路を介して、第２の
   回路基板の測定ユニットに電気的に接続される短絡手段
   と、 前記第１のドライバを制御して、予め定められた目標値
   の電気信号を出力するよう構成されるコントローラと、 前記測定ユニットにより受け取られた電圧レベルが、前
   記予め定められた目標値の予め定められた量の範囲内に
   おさまっているか検証するよう構成される検証手段と、 を備える集積回路を試験するデバイスの構成要素の許容
   差を試験するシステム。