JPH11260249A - Manufacture of fluorescent character display device - Google Patents
Manufacture of fluorescent character display deviceInfo
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- JPH11260249A JPH11260249A JP5657498A JP5657498A JPH11260249A JP H11260249 A JPH11260249 A JP H11260249A JP 5657498 A JP5657498 A JP 5657498A JP 5657498 A JP5657498 A JP 5657498A JP H11260249 A JPH11260249 A JP H11260249A
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】この発明は、電子線の衝撃に
よる蛍光体の発光を利用した蛍光表示装置の製造方法に
関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for manufacturing a fluorescent display device utilizing light emission of a phosphor by the impact of an electron beam.
【０００２】[0002]
【従来の技術】蛍光表示装置は、少なくとも一方が透明
な真空容器の中で、電子放出部から放出される電子を、
蛍光体に衝突発光させて発光させ、その発光光を利用す
る電子管である。この蛍光表示装置は、通常では、電子
の働きを制御するためのグリッドを備えた３極管構造の
ものが最も多く用いられている。そして、従来では、電
子放出部にフィラメントと呼ばれる陰極を用い、ここよ
り放出される熱電子を蛍光体に衝突発光させていた。こ
のような蛍光表示装置の中で、大画面ディスプレイ装置
の画素を構成する画像管がある。2. Description of the Related Art In a fluorescent display device, electrons emitted from an electron emission portion are contained in a vacuum vessel at least one of which is transparent.
This is an electron tube that emits light by colliding with a phosphor to emit light, and uses the emitted light. Usually, the fluorescent display device having a triode structure provided with a grid for controlling the function of electrons is most often used. Conventionally, a cathode called a filament is used for the electron emission portion, and thermions emitted from the cathode collide with the phosphor to emit light. Among such fluorescent display devices, there is an image tube that constitutes a pixel of a large screen display device.
【０００３】以下、画像管について図３を用いて説明す
る。はじめに概略を説明すると、円筒形のガラスバルブ
３０１内に、蛍光面３０４、陽極電極構体３０５、そし
て、および電子放出部を構成するカソード構体３０６を
配置する。そして、円筒形のガラスバルブ３０１の開口
端に、透光性を有するフェースガラス３０２を低融点フ
リットガラス３０３により接着固定する。そして、ガラ
スバルブ３０１のステムガラス３０８に一体形成されて
いる排気管３０８ａより真空排気することで、ガラスバ
ルブ３０１内を真空状態としている。Hereinafter, the picture tube will be described with reference to FIG. First, a brief description will be given. In a cylindrical glass bulb 301, a fluorescent screen 304, an anode electrode assembly 305, and a cathode assembly 306 constituting an electron emission section are arranged. Then, a face glass 302 having translucency is bonded and fixed to the opening end of the cylindrical glass bulb 301 with a low melting point frit glass 303. Then, the inside of the glass bulb 301 is evacuated by evacuating from the exhaust pipe 308a formed integrally with the stem glass 308 of the glass bulb 301.
【０００４】それらの中で、フェースガラス３０２は、
前面側に凸型レンズ状の球面部３０２ａを形成し、周縁
部に鍔状に段差部３０２ｂを形成しておく。また、内面
３０２ｃの主要面には、蛍光面３０４およびＡｌメタル
バック膜３０７を順次積層して形成しておく。また、フ
ェースガラス３０２の内面３０２ｃの周辺部には、例え
ばステンレス材の薄板をプレス成形法により加工して形
成した弾性力を有する接触片３０７ａの一端側を挿入し
てある。また、その接触片３０７ａは、例えばカーボン
または銀とフリットガラスとの混合体からなる導電性接
着材により、Ａｌメタルバック膜３０７に接触してフェ
ースガラス３０２の内面３０２ｃの所定部分に接着固定
する。そして、この接触片３０７ａの他端側は、ガラス
バルブ３０１の内壁面方向に向けて延在した状態として
おく。[0004] Among them, the face glass 302 is
A convex lens-shaped spherical portion 302a is formed on the front side, and a flange-shaped step portion 302b is formed on the peripheral edge. Further, on the main surface of the inner surface 302c, a phosphor screen 304 and an Al metal back film 307 are sequentially laminated and formed. In addition, one end of a contact piece 307a having an elastic force and formed by processing a thin plate of, for example, stainless steel by a press molding method is inserted into a peripheral portion of the inner surface 302c of the face glass 302. Further, the contact piece 307a is brought into contact with the Al metal back film 307 and adhered and fixed to a predetermined portion of the inner surface 302c of the face glass 302 by, for example, a conductive adhesive made of a mixture of carbon or silver and frit glass. The other end of the contact piece 307a is extended toward the inner wall surface of the glass bulb 301.
【０００５】一方、ガラスバルブ３０１底部を構成する
ステムガラス３０８には、リードピン３０９ａ〜３０９
ｅを挿通しておく。また、このステムガラス３０８上に
は、そのリードピン３０９ａの先端部に陽極リード３１
０を溶接により固定し、この陽極リード３１０の先端部
に円筒状の陽極電極構体３０５を溶接により固定配置し
て搭載する。この陽極電極構体３０５は、例えばステン
レス材の金属線をリング状に丸めて成形したリング状陽
極３０５ａと、このリング状陽極３０５ａの外周面に矩
形状のステンレス材の薄板を巻き付けて重ね合った部分
を２点で溶接などにより固定して円筒形状に形成した円
筒状陽極３０５ｂとから構成する。On the other hand, stem pins 309a to 309 are attached to stem glass 308 forming the bottom of glass bulb 301.
e is inserted. On the stem glass 308, the anode lead 31 is attached to the tip of the lead pin 309a.
0 is fixed by welding, and a cylindrical anode electrode assembly 305 is fixedly arranged and mounted on the tip of the anode lead 310 by welding. The anode electrode assembly 305 is formed by, for example, a ring-shaped anode 305a formed by rolling a stainless steel metal wire into a ring shape, and a rectangular stainless steel thin plate wound around the outer peripheral surface of the ring-shaped anode 305a. And a cylindrical anode 305b fixed at two points by welding or the like to form a cylindrical shape.
【０００６】また、この陽極電極構体３０５は、陽極リ
ード３１０の先端部に対してリング状陽極３０５ａと所
定の箇所で溶接し、さらに陽極リード３１０の最先端部
分で円筒状陽極３０５ｂの内側との接触部分で溶接して
固定した状態とする。さらにこのリング状陽極３０５ａ
の一部には、Ｂａゲッター３０５ｃを溶接などより取り
付け固定しておく。The anode electrode assembly 305 is welded to a tip of the anode lead 310 at a predetermined position with a ring-shaped anode 305a. It is fixed by welding at the contact part. Further, this ring-shaped anode 305a
, A Ba getter 305c is attached and fixed by welding or the like.
【０００７】また、リードピン３０９ｂ〜３０９ｅの先
端部には、カソードリード３１１ｂ〜３１１ｅを溶接に
より固定し、このカソードリード３１１ｂ〜３１１ｅの
先端部には、カソード構体３０６を溶接により固定配置
した状態とする。このカソード構体３０６は、次に示す
ように形成する。まず、セラミック基板３０６ａ上の中
央部に背面電極３０６ｂを配置して固定する。次に、そ
の上部に所定の間隔を開けてフィラメントカソード３０
６ｃを２本の支柱により固定する。そして、それらを覆
うように、メッシュ部３０６ｅを有する楕円状のグリッ
ドハウジング３０６ｄを、セラッミック基板３０６ａ上
に搭載する。なお、メッシュ部３０６ｅは、蛍光面３０
４の方向に球面状に突出した形状としておく。The cathode pins 311b to 311e are fixed to the tips of the lead pins 309b to 309e by welding, and the cathode assembly 306 is fixed to the tips of the cathode leads 311b to 311e by welding. . The cathode structure 306 is formed as follows. First, the back electrode 306b is arranged and fixed at the center on the ceramic substrate 306a. Next, at a predetermined interval above the filament cathode 30
6c is fixed by two columns. Then, an elliptical grid housing 306d having a mesh portion 306e is mounted on the ceramic substrate 306a so as to cover them. Note that the mesh part 306e is
A shape protruding spherically in the direction of 4 is set.
【０００８】以上示したように形成される画像管は、ま
ず、外部回路からリードピン３０９ｃ，３０９ｄに電圧
（加熱電源）を供給することで、カソードリード３１１
ｃ，３１１ｄを介し、フィラメントカソード３０６ｃに
所定の電位を印加して熱電子が放出される状態とする。
また、外部回路からリードピン３０９ｂに電圧を供給す
ることで、カソードリード３１１ｂを介し、背面電極３
０６ｂにフィラメントカソード３０６ｃに対して負の電
位を印加する。加えて、外部回路からリードピン３０９
ｅに電圧を供給することで、カソードリード３１１ｅを
介し、グリトハウジング３０６ｄにフィラメントカソー
ド３０６ｃに対して正の電位を印加することで、グリッ
ドハウジング３０６ｄのメッシュ部３０６ｅより電子ビ
ームを放出させる。In the picture tube formed as described above, first, a voltage (heating power source) is supplied to the lead pins 309c and 309d from an external circuit, so that the cathode leads 311 are provided.
A predetermined electric potential is applied to the filament cathode 306c via c and 311d, so that thermoelectrons are emitted.
Further, by supplying a voltage to the lead pin 309b from an external circuit, the back electrode 3 is connected via the cathode lead 311b.
At 06b, a negative potential is applied to the filament cathode 306c. In addition, lead pins 309
By applying a voltage to e, a positive potential is applied to the filament cathode 306c to the grid housing 306d via the cathode lead 311e, so that an electron beam is emitted from the mesh portion 306e of the grid housing 306d.
【０００９】そして、外部回路からリードピン３０９ａ
に高電圧を供給し、陽極リード３１０→陽極電極構体３
０５（円筒状陽極３０５ｂ）→接触片３０７ａの経路を
それぞれ導通してＡｌメタルバック膜３０７にその高電
圧が印加された状態とすることで、放出された電子を円
筒状陽極３０５ｂにより加速し、Ａｌメタルバック膜３
０７を貫通させて蛍光面３０４に衝撃させる。この結
果、蛍光面３０４は電子衝撃により励起し、蛍光面３０
４を構成する蛍光体の応じた発光色をフェースガラス３
０２を透過して前面側に発光表示することになる。Then, lead pins 309a are supplied from an external circuit.
To the anode lead 310 → the anode electrode assembly 3
05 (cylindrical anode 305b) → Electric electrons are accelerated by the cylindrical anode 305b by conducting the respective paths of the contact pieces 307a to make the high voltage applied to the Al metal back film 307, Al metal back film 3
07 and penetrates the fluorescent screen 304. As a result, the phosphor screen 304 is excited by the electron impact, and the phosphor screen 30 is excited.
The emission color corresponding to the phosphor constituting the face glass 3
02, light is displayed on the front side.
【００１０】[0010]
【発明が解決しようとする課題】ところで、従来の蛍光
表装置に用いられていた電子放出部としてのフィラメン
ト（フィラメントカソード）は、主に、直径７〜２０μ
ｍのタングステンの細線に、電子放射性物質を塗布して
形成している。その電子放出物質としては、一般に、酸
化バリウム・酸化カルシウム・酸化ストロンチウムのい
わゆる三元酸化物から構成するようにしている。ここ
で、これら酸化物は空気中ではきわめて不安定である、
このため、フィラメントの作製においては、炭酸バリウ
ム・炭酸カルシウム・炭酸ストロンチウムのいわゆる炭
酸塩の形でタングステン細線に外形が２２〜３５μｍに
なるように塗布し、これを例えば、上述の画像管製造に
おいて、各部品とともに組み込んだ上で、外囲器内を真
空排気してエージングする段階で酸化物にするようにし
ている。By the way, the filament (filament cathode) as an electron emitting portion used in the conventional fluorescent display device has a diameter of 7 to 20 μm.
An electron-emitting material is applied to a thin tungsten wire of m. The electron-emitting material is generally made of a so-called ternary oxide of barium oxide / calcium oxide / strontium oxide. Here, these oxides are extremely unstable in air.
For this reason, in the production of the filament, in the form of a so-called carbonate of barium carbonate, calcium carbonate, and strontium carbonate, a tungsten thin wire is applied so as to have an outer shape of 22 to 35 μm. After assembling together with each part, the inside of the envelope is evacuated and oxidized at the stage of aging.
【００１１】したがって、従来の蛍光表示装置では、電
子放出部として上述したようなフィラメントを用いるよ
うにしているため、次に示すような問題点があった。す
なわち、非常に細く脆弱なフィラメントを架張して取り
付け組み立てなければならないため、取り扱いに不便が
あり、製造しにくいという問題があった。また、上述し
たように、フィラメントカソードを作製するためには工
数が非常に多い状態であった。Therefore, in the conventional fluorescent display device, since the above-described filament is used as the electron emitting portion, there are the following problems. That is, there is a problem that handling is inconvenient and difficult to manufacture because a very thin and fragile filament must be stretched and assembled. Further, as described above, the number of steps was very large in order to produce a filament cathode.
【００１２】この発明は、以上のような問題点を解消す
るためになされたものであり、蛍光表示装置の電子放出
部を、より容易に作製できるようにすることを目的とす
る。SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve the above problems, and has as its object to make it easier to manufacture an electron emitting portion of a fluorescent display device.
【００１３】[0013]
【課題を解決するための手段】この発明の蛍光表示装置
の製造方法では、基体上に円筒状のグラファイトの層か
らなるカーボンナノチューブから構成された柱状体およ
び導電体からなる粒子が分散された導電性ペーストから
なるペーストパターンを選択的に形成し、ペーストパタ
ーンを焼成して柱状体が導電体膜で覆われた状態とし、
導電成膜をその表面より所定量研磨することで柱状体を
露出させて基体上に電子放出部を形成するようにした。
また、この発明の蛍光表示装置の製造方法では、基体上
に円筒状のグラファイトの層からなるカーボンナノチュ
ーブから構成された柱状体および導電体からなる粒子が
分散された導電性ペーストからなるペーストパターンを
選択的に形成し、ペーストパターンを焼成して柱状体が
導電体膜で覆われた状態とし、カーボンナノチューブに
比較して導電成膜の方がエッチングレートの早い条件で
エッチングすることで柱状体を露出させて基体上に電子
放出部を形成するようにした。このように製造するよう
にしたので、その先端部が露出した状態のカーボンナノ
チューブからなる電子放出部と電子引き出し電極とで電
界放出型冷陰極電子源を構成できる。In the method of manufacturing a fluorescent display device according to the present invention, a conductive material in which a column made of carbon nanotubes made of a cylindrical graphite layer and particles made of a conductive material are dispersed on a base is dispersed. Selectively forming a paste pattern made of conductive paste, baking the paste pattern to a state where the columnar body is covered with a conductor film,
A predetermined amount of the conductive film was polished from its surface to expose the columnar body and form an electron-emitting portion on the substrate.
Further, in the method for manufacturing a fluorescent display device of the present invention, a paste pattern made of a conductive paste in which particles made of a columnar body and a conductor made of carbon nanotubes made of a cylindrical graphite layer are dispersed on a substrate. It is selectively formed, the paste pattern is baked, the columnar body is covered with a conductive film, and the conductive film is etched at a higher etching rate than the carbon nanotube, thereby forming the columnar body. The electron emission portion was formed on the substrate by being exposed. Since it is manufactured in this way, a field emission type cold cathode electron source can be constituted by the electron emission portion made of carbon nanotubes with the tip end exposed and the electron extraction electrode.
【００１４】[0014]
【発明の実施の形態】以下この発明の実施の形態を図を
参照して説明する。図１は、この発明の実施の形態にお
ける蛍光表示装置である画像管の構成を示す構成図であ
る。以下、この実施の形態における画像管の構成につい
て、その製造方法とともに説明すると、まず、円筒形の
ガラスバルブ１０１中に、蛍光面１０４、陽極電極構体
１０５、そして、および電子放出部を構成するカソード
構体１０６を配置する。また、ガラスバルブ１０１の開
口端に、フェースガラス１０２を低融点フリットガラス
１０３により接着固定する。そして、ガラスバルブ１０
１の底部にはステムガラス１０８を配置し、このステム
ガラス１０８に一体形成した排気管１０８ａより真空排
気することで、ガラスバルブ１０１内を真空状態とす
る。Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. FIG. 1 is a configuration diagram showing a configuration of an image tube which is a fluorescent display device according to an embodiment of the present invention. Hereinafter, the configuration of the picture tube according to this embodiment will be described together with the manufacturing method thereof. First, in a cylindrical glass bulb 101, a fluorescent screen 104, an anode electrode assembly 105, and a cathode constituting an electron emission section The structure 106 is arranged. Further, a face glass 102 is bonded and fixed to the opening end of the glass bulb 101 with a low melting point frit glass 103. And the glass bulb 10
A stem glass 108 is arranged at the bottom of the glass bulb 101, and the inside of the glass bulb 101 is evacuated by evacuating the exhaust from an exhaust pipe 108a integrally formed with the stem glass 108.
【００１５】まず、フェースガラス１０２は、前面側に
は凸型レンズ状の球面部１０２ａを形成し、周縁部には
鍔状に段差部１０２ｂを形成しておく。このフェースガ
ラス１０２の内面１０２ｃには、その周辺部分の一部に
窪み状の凹部１０２ｄも形成しておく。また、この内面
１０２ｃの主要面には、蛍光面１０４を形成し、この蛍
光面１０４表面にはＡｌメタルバック膜１０７を形成す
る。なお、凹部１０２ｄ内には蛍光面１０４は形成せ
ず、Ａｌメタルバック膜１０７のみを形成するようにす
る。この、凹部１０２ｄ内には、例えばステンレス材の
薄板をプレス成形法により加工して形成された弾性力を
有する接触片１０７ａの一端側を挿入配置する。この接
触片１０７ａは、例えばカーボンまたは銀とフリットガ
ラスとの混合体からなる導電性接着材１０により、その
凹部１０２ｄ部分に接着固定することで形成する。そし
て、この接触片１０７ａの他端側は、ガラスバルブ１０
１の内壁面方向に向けて延在しておく。First, the face glass 102 has a convex lens-shaped spherical portion 102a formed on the front surface side and a flange-shaped step portion 102b formed on the peripheral edge portion. The inner surface 102c of the face glass 102 is also formed with a concave portion 102d in a part of a peripheral portion thereof. Also, a fluorescent screen 104 is formed on the main surface of the inner surface 102c, and an Al metal back film 107 is formed on the surface of the fluorescent screen 104. Note that the fluorescent screen 104 is not formed in the recess 102d, and only the Al metal back film 107 is formed. One end of a contact piece 107a having an elastic force and formed by processing a thin plate of, for example, a stainless steel material by a press molding method is inserted into the recess 102d. The contact piece 107a is formed by bonding and fixing to the concave portion 102d with a conductive adhesive material 10 made of, for example, a mixture of carbon or silver and frit glass. The other end of the contact piece 107a is
1 extends toward the inner wall surface.
【００１６】ところで、蛍光面１０４は、白色蛍光体と
して、例えば、Ｙ2Ｏ2Ｓ：Ｔｂ＋Ｙ2Ｏ3：Ｅｕ混合蛍光
体を溶媒に溶かし、これにバインダーを加えたペースト
を約２０μｍ程度の厚さに内面１０２ｃに印刷塗布し、
これを乾燥することで形成する。ここで、凹部１０２ｄ
内には蛍光面１０４は塗布しない状態としておく。な
お、用いる蛍光体は、Ｙ2Ｏ2Ｓ：Ｔｂ＋Ｙ2Ｏ3：Ｅｕ混
合蛍光体に限るものではなく、他の蛍光体を用いるよう
にしてもよいことはいうまでもない。また、蛍光面１０
４表面には、蒸着により約厚さ１５０ｎｍ程度にアルミ
ニウム膜を成膜することで、Ａｌメタルバック膜１０７
を形成する。ここで、凹部１０２ｄ内には蛍光面１０４
は塗布されていないので、Ａｌメタルバック膜１０７の
みが形成された状態となる。The phosphor screen 104 has a thickness of about 20 μm as a white phosphor, for example, a paste obtained by dissolving a Y 2 O 2 S: Tb + Y 2 O 3 : Eu mixed phosphor in a solvent and adding a binder thereto. Now, print and apply to the inner surface 102c,
This is formed by drying. Here, the recess 102d
The fluorescent screen 104 is not applied inside. Incidentally, the phosphor used is, Y 2 O 2 S: Tb + Y 2 O 3: not limited to Eu phosphor mixture, it is needless to say that may be used other phosphors. Also, the fluorescent screen 10
On the surface of the Al metal back film 107, an aluminum film is formed to a thickness of about 150 nm by vapor deposition.
To form Here, the phosphor screen 104 is provided in the recess 102d.
Is not applied, so that only the Al metal back film 107 is formed.
【００１７】なお、このＡｌメタルバック膜１０７の厚
さは薄すぎると、ピンホールが増加して蛍光面１０４の
反射が減少する。一方、その厚さが厚すぎると、蛍光面
１０４に対する電子ビームの電子の侵入が阻害されて発
光が小さくなる。したがって、Ａｌメタルバック膜１０
７の厚さのコントロールは重要である。このため、前述
したように、Ａｌメタルバック膜１０７は厚さを約１５
０ｎｍ程度とした方がよい。なお、それら蛍光面１０４
及びＡｌメタルバック膜１０７を形成した後、フェース
ガラス１０２を、例えば電気炉などにより５６０℃で３
０分程度空気中で焼成し、塗布膜中の溶媒類を除去す
る。If the thickness of the Al metal back film 107 is too small, the number of pinholes increases and the reflection of the phosphor screen 104 decreases. On the other hand, if the thickness is too large, the penetration of the electrons of the electron beam into the phosphor screen 104 is inhibited, and the light emission decreases. Therefore, the Al metal back film 10
Control of the thickness of 7 is important. Therefore, as described above, the Al metal back film 107 has a thickness of about 15
It is better to be about 0 nm. The fluorescent screen 104
After the formation of the Al metal back film 107, the face glass 102 is heated at 560.degree.
Baking in air for about 0 minutes to remove the solvents in the coating film.
【００１８】そして、このフェースガラス１０２は、例
えば、直径約２０ｍｍ，長さ約５０ｍｍの両端が切断さ
れたガラスバルブ１０１の一方の開口端に、フェースガ
ラス１０２の周縁部に形成された鍔状の段差部１０２ｂ
部分で、低融点フリットガラス１０３により接着固定す
る。これは、その接着面に低融点フリットガラスペース
トを塗布し、フェースガラス１０２の段差部１０２ｂ部
分とガラスバルブ１０１の開口端とを、その低融点フリ
ットガラスペーストを介してつき合わせ、これらを加熱
焼成すればよい。The face glass 102 has, for example, a flange-like shape formed on the periphery of the face glass 102 at one open end of the glass bulb 101 having both ends cut at a diameter of about 20 mm and a length of about 50 mm. Step portion 102b
At the portion, the glass is adhered and fixed with the low melting point frit glass 103. In this method, a low-melting frit glass paste is applied to the bonding surface, and the stepped portion 102b of the face glass 102 and the opening end of the glass bulb 101 are brought into contact with each other via the low-melting frit glass paste. do it.
【００１９】一方、ガラスバルブ１０１底部のステムガ
ラス１０８部分には、リードピン１０９を挿通して形成
する。また、そのリードピン１０９の先端部に、陽極リ
ード１１０を溶接により固定し、この陽極リード１１０
の先端部に、円筒状の陽極電極構体（電子加速電極）１
０５を溶接により固定配置する。この陽極電極構体１０
５の形成について説明すると、まず、例えばステンレス
材の金属線（線径約０．５ｍｍ）をリング状に丸めるこ
とで、リング状陽極１０５ａを成形する。そして、この
リング状陽極１０５ａの外周面に、矩形状のステンレス
材の薄板（板厚０．０１〜０．０２ｍｍ）を巻き付け、
重ね合った部分を溶接点１０５ｄと溶接点１０５ｅの２
カ所で溶接して固定する。このことにより、円筒形状に
円筒状陽極１０５ｂを形成できる。On the other hand, a lead pin 109 is inserted through the stem glass 108 at the bottom of the glass bulb 101. An anode lead 110 is fixed to the tip of the lead pin 109 by welding.
A cylindrical anode electrode assembly (electron accelerating electrode) 1
05 is fixedly arranged by welding. This anode electrode structure 10
Explaining the formation of 5, first, a ring-shaped anode 105a is formed by, for example, rounding a stainless steel wire (diameter of about 0.5 mm) into a ring shape. Then, a rectangular stainless steel thin plate (having a thickness of 0.01 to 0.02 mm) is wound around the outer peripheral surface of the ring-shaped anode 105a,
The overlapped portion is defined as the welding point 105d and the welding point 105e.
Weld and fix in several places. Thus, the cylindrical anode 105b can be formed in a cylindrical shape.
【００２０】また、この陽極電極構体１０５は、陽極リ
ード１１０の先端部に対してリング状陽極１０５ａと所
定の箇所で溶接し、さらに、陽極リード１１０の最先端
部分で円筒状陽極１０５ｂの内側との接触部分で溶接し
て固定する。さらに、このリング状陽極１０５ａの一部
には、Ｂａゲッター１０５ｃを溶接などより取り付け固
定する。なお、図１（ａ）において、陽極電極構体１０
５やリードピン１０９に関しては、断面を示していな
い。The anode electrode assembly 105 is welded to a tip of the anode lead 110 at a predetermined position with a ring-shaped anode 105a. Weld and fix at the contact area of. Further, a Ba getter 105c is fixed to a part of the ring-shaped anode 105a by welding or the like. In FIG. 1A, the anode electrode assembly 10
No cross section is shown for 5 and the lead pin 109.
【００２１】また、ステムガラス１０８には、リードピ
ン１０９ａ，１０９ｂも挿通し、リードピン１０９ａ，
１０９ｂの先端部には、カソードリード１１１ａ，１１
１ｂを溶接により固定し、このカソードリード１１１
ａ，１１１ｂの先端部には、カソード構体１０６を溶接
により固定配置する。このカソード構体１０６は、次に
示すように形成する。まず、セラミック基板１０６ａ上
の中央部に、電極（導電板）１０６ｂを配置する。ま
た、その上面の約３ｍｍφの領域に、カーボンナノチュ
ーブの集合体からなる長さ数ｍｍの針形状の柱状グラフ
ァイトより構成された電子放出部１２１を固定配置す
る。Also, lead pins 109a and 109b are inserted through the stem glass 108, and the lead pins 109a and 109b are inserted.
The cathode leads 111a, 11a
1b is fixed by welding.
The cathode structure 106 is fixedly disposed at the distal end of the a and 111b by welding. This cathode structure 106 is formed as follows. First, an electrode (conductive plate) 106b is arranged at the center on the ceramic substrate 106a. In addition, an electron emitting portion 121 made of a needle-shaped columnar graphite having a length of several mm and made of an aggregate of carbon nanotubes is fixedly arranged in a region of about 3 mmφ on the upper surface thereof.
【００２２】ところで、図１（ｂ）に示すように、その
柱状グラファイト１３１は、カーボンナノチューブ１３
２が、ほぼ同一方向を向いて集合した構造体である。な
お、この図１（ｂ）は、柱状グラファイト１３１を途中
で切った断面を見る斜視図である。そして、カーボンナ
ノチューブ１３２は、例えば図１（ｃ）に示すように、
完全にグラファイト化して筒状をなし、その直径は４〜
５０ｎｍ程度であり、その長さはミクロンオーダであ
る。そして、図１（ｄ）に示すように、その先端部は五
員環が入ることにより閉じている。このカーボンナノチ
ューブは、ヘリウムガス中で２本の炭素電極を１〜２ｍ
ｍ程度離した状態で直流アーク放電を起こすことで、陽
極側の炭素が蒸発して陰極側の炭素電極先端に凝集した
堆積物中に形成できる。By the way, as shown in FIG. 1B, the columnar graphite 131 is
Reference numeral 2 denotes a structure that is gathered in substantially the same direction. FIG. 1B is a perspective view showing a cross section of the columnar graphite 131 cut in the middle. Then, the carbon nanotubes 132 are, for example, as shown in FIG.
Completely graphitized to form a cylinder, the diameter of which is 4 to
It is on the order of 50 nm and its length is on the order of microns. Then, as shown in FIG. 1 (d), the tip is closed by a five-membered ring. This carbon nanotube is formed by arranging two carbon electrodes in helium gas for 1-2 m.
By causing a DC arc discharge at a distance of about m, carbon on the anode side evaporates and can be formed in a deposit aggregated at the tip of the carbon electrode on the cathode side.
【００２３】すなわち、炭素電極間のギャップを１ｍｍ
程度に保った状態で、ヘリウム中で安定なアーク放電を
持続させ、陽極の炭素電極の直径とほぼ同じ径をもつ円
柱状の堆積物を陰極先端に形成する。その円柱状の堆積
物は、外側の固い殻と、その内側のもろくて黒い芯との
２つの領域から構成されている。そして、内側の芯は、
堆積物柱の長さ方向にのびた繊維状の組織をもってい
る。その繊維状の組織が、上述した柱状グラファイトで
あり、堆積物柱を切り出すことなどにより、柱状グラフ
ァイトを得ることができる。なお、外側の固い殻は、グ
ラファイトの多結晶体である。That is, the gap between the carbon electrodes is 1 mm.
While maintaining a stable arc discharge in helium, the columnar deposit having substantially the same diameter as the diameter of the anode carbon electrode is formed at the tip of the cathode. The columnar deposit is composed of two regions: a hard shell on the outside and a fragile black core on the inside. And the inner core is
It has a fibrous structure extending along the length of the sediment column. The fibrous structure is the above-described columnar graphite, and columnar graphite can be obtained by cutting out a sediment column or the like. The outer hard shell is a graphite polycrystal.
【００２４】そして、その柱状グラファイトにおいて、
カーボンナノチューブは、炭素の多面体微粒子（ナノポ
リヘドロン：nanopolyhedoron）とともに、複数が集合
している。そのカーボンナノチューブは、図１（ｃ），
（ｄ）では模式的に示したように、グラファイトの単層
が円筒状に閉じた形状と、複数のグラファイトの層が入
れ子構造的に積層し、それぞれのグラファイト層が円筒
状に閉じた同軸多層構造となっている形状とがある。そ
して、それらの中心部分は、空洞となっている。Then, in the columnar graphite,
A plurality of carbon nanotubes are aggregated together with carbon polyhedral fine particles (nanopolyhedoron). The carbon nanotube is shown in FIG.
In (d), as schematically shown, a single graphite layer is closed in a cylindrical shape, and a plurality of graphite layers are stacked in a nested structure, and each graphite layer is closed in a cylindrical shape. There are shapes that have a structure. And the center part of them is hollow.
【００２５】以上示したよう構成されているカーボンナ
ノチューブよりなる柱状グラファイトで構成された電子
放出部１２１は、その柱状グラファイト１３１が銀ペー
ストなどの導電性接着剤により固定されている。以下、
この実施の形態における電子放出部１２１に関してより
詳細に説明する。まず、その作製方法について説明する
と、金属板を加工することで、図２（ａ）に示すよう
に、所定の形状の板状の電極１０６ｂがリードフレーム
状にフレーム２０１に接続された状態とする。The columnar graphite 131 of the electron-emitting portion 121 made of the columnar graphite made of carbon nanotubes as described above is fixed by a conductive adhesive such as a silver paste. Less than,
The electron emitter 121 according to this embodiment will be described in more detail. First, a manufacturing method will be described. By processing a metal plate, a plate-shaped electrode 106b having a predetermined shape is connected to a frame 201 in a lead frame shape as shown in FIG. 2A. .
【００２６】ついで、図２（ｂ）に示すように、形状部
分２０１表面の所定領域に、ペーストパターン２０２を
所定領域に形成する。このペーストパターン２０２は、
よく用いられている銀ペースト（導電性ペースト）に前
述した柱状グラファイトを混合したペーストを用いたス
クリーン印刷法などにより形成すればよい。そして、そ
の溶剤などを揮発させた後、それらを空気中で４０〜６
００℃程度に１５〜６０分間程度加温して焼成する。な
お、この焼成は、例えば、１〜１０-3Ｔｏｒｒ程度に真
空排気された雰囲気で行うようにしてもよい。Next, as shown in FIG. 2B, a paste pattern 202 is formed in a predetermined region on the surface of the shape portion 201. This paste pattern 202
What is necessary is just to form by the screen printing method using the paste which mixed the above-mentioned columnar graphite with the silver paste (conductive paste) which is often used. Then, after volatilizing the solvent and the like, 40 to 6
The material is heated at about 00 ° C. for about 15 to 60 minutes and fired. This firing may be performed, for example, in an atmosphere evacuated to about 1 to 10 -3 Torr.
【００２７】ここで、形成されたペーストパターン２０
２のＡＡ’断面を見ると、図２（ｃ）に示すように、電
極１０６ｂ上に、柱状グラファイト１３１が銀２０３で
覆われた状態に形成されている。次に、そのペーストパ
タン２０２上部を研磨する。この結果、ペーストパター
ン２０２上部においては、柱状グラファイト１３１が露
出するようになり、すなわち、図２（ｄ）に示すよう
に、柱状グラファイト１３１を構成しているカーボンナ
ノチューブの先端が露出した状態となった電子放出部１
２１が、電極１０６ａ上に形成された状態となる。Here, the formed paste pattern 20
2A, the columnar graphite 131 is formed on the electrode 106b so as to be covered with the silver 203, as shown in FIG. 2C. Next, the upper part of the paste pattern 202 is polished. As a result, the columnar graphite 131 comes to be exposed above the paste pattern 202, that is, as shown in FIG. 2D, the tip of the carbon nanotube constituting the columnar graphite 131 is exposed. Electron emission part 1
21 is formed on the electrode 106a.
【００２８】次に、図２（ｅ），（ｆ）に示すように、
電子放出部１２１が形成された電極１０６ｂを、フレー
ム２０１より切り出す。そして、電極１０６ｂの両端２
０１ａを折曲げることで、図２（ｈ）に示すように、表
面に電子放出部１２１が形成された電極１０６ｂが形成
される。そして、この電極１０６ｂを、図１（ａ）に示
したように、セラミック基板１０６ａ上の中央部に配置
するようにすればよい。Next, as shown in FIGS. 2 (e) and 2 (f),
The electrode 106b on which the electron emission portion 121 is formed is cut out from the frame 201. Then, both ends 2 of the electrode 106b
By folding 01a, an electrode 106b having an electron emission portion 121 formed on the surface is formed as shown in FIG. Then, as shown in FIG. 1A, the electrode 106b may be arranged at the center of the ceramic substrate 106a.
【００２９】このようにすることで、あらかじめ電子放
出部である柱状グラファイトが固定された電極を複数形
成しておくことが可能となり、例えば、あらかじめ電子
放出特性を検査しておき、特性のよいものだけを用いる
ようにすることも可能である。そして、それら電子放出
部１２１が固定配置された電極（導電板）１０６ｂを覆
うように、メッシュ部（電子引き出し電極）１０６ｅを
備えたハウジング１０６ｄを配置する。By doing so, it becomes possible to previously form a plurality of electrodes to which columnar graphite, which is an electron-emitting portion, is fixed. It is also possible to use only. Then, a housing 106d having a mesh portion (electron extraction electrode) 106e is arranged so as to cover the electrode (conductive plate) 106b on which the electron emission portions 121 are fixedly arranged.
【００３０】以上示したように、この実施の形態におい
ては、カーボンナノチューブからなる電子放出部１２１
を電極１０６ｂ上に固定配置し、そして、それらを覆う
ように、ハウジング１０６ｄをセラッミック基板１０６
ａ上に搭載した状態とすることでカソード構体１０６を
形成した。なお、メッシュ部１０６ｅは、蛍光面１０４
の方向に球面状に突出した形状とする。また、このハウ
ジング１０６ｄは、板厚が約１００μｍ程度のステンレ
ス板材をプレス成形することにより形成する。また、メ
ッシュ部１０６ｅは、例えば縦方向寸法が約６ｍｍ，横
方向寸法が約４ｍｍとし、高さが約１．２５ｍｍの大き
さに形成する。そして、メッシュ部１０６ｅは、電子放
出部１２１先端部より０．５〜１ｍｍ程度離間した状態
とする。なお、これらの間隔は、接触しない状態でなる
べく近づけた方がよい。As described above, in this embodiment, the electron emission portion 121 made of carbon nanotubes is used.
Is fixedly arranged on the electrode 106b, and the housing 106d is attached to the ceramic substrate 106 so as to cover them.
The cathode assembly 106 was formed by being mounted on a. Note that the mesh portion 106e is
In a spherical shape in the direction of. The housing 106d is formed by press-forming a stainless steel plate having a plate thickness of about 100 μm. The mesh portion 106e is formed to have, for example, a vertical dimension of about 6 mm, a horizontal dimension of about 4 mm, and a height of about 1.25 mm. The mesh portion 106e is spaced from the tip of the electron emitting portion 121 by about 0.5 to 1 mm. In addition, it is better to make these intervals as close as possible without contact.
【００３１】以上示したように形成される画像管は、ま
ず、外部回路からリードピン１０９ａ，１０９ｂに電圧
を供給することで、カソードリード１１１ａ，１１１ｂ
を介して電極１０６とハウジング１０６ｄとの間に電界
をかける。そして、このことにより、電極１０６上に固
定配置された電子放出部１２１の先端部が露出したカー
ボンナノチューブの先端に高電界を集中させ、電子を引
き出してメッシュ部１０６ｅより放出させる。すなわ
ち、この実施の形態によれば、カソード構体１０６が、
電子放出部１２１を構成するカーボンナノチューブをエ
ミッタとした、電界放出型冷陰極電子源の構成となる。In the picture tube formed as described above, first, a voltage is supplied to the lead pins 109a and 109b from an external circuit, so that the cathode leads 111a and 111b are supplied.
, An electric field is applied between the electrode 106 and the housing 106d. As a result, a high electric field is concentrated on the tip of the carbon nanotube where the tip of the electron emitting portion 121 fixed and disposed on the electrode 106 is exposed, and electrons are extracted and emitted from the mesh portion 106e. That is, according to this embodiment, the cathode structure 106
A field emission type cold cathode electron source having a carbon nanotube as an emitter constituting the electron emission portion 121 is obtained.
【００３２】そして、外部回路からリードピン１０９に
高電圧を供給し、陽極リード１１０→陽極電極構体１０
５（円筒状陽極１０５ｂ）→接触片１０７ａの経路をそ
れぞれ導通してＡｌメタルバック膜１０７にその高電圧
が印加された状態とすることで、放出された電子を円筒
状陽極１０５ｂにより加速し、Ａｌメタルバック膜１０
７を貫通させて蛍光面１０４に衝撃させる。この結果、
蛍光面１０４は電子衝撃により励起し、蛍光面１０４を
構成する蛍光体の応じた発光色を、フェースガラス１０
２を透過して前面側に発光表示することになる。Then, a high voltage is supplied from an external circuit to the lead pin 109, and the anode lead 110 → the anode electrode assembly 10
5 (cylindrical anode 105b) → Electric electrons are accelerated by the cylindrical anode 105b by conducting the respective paths of the contact pieces 107a and applying a high voltage to the Al metal back film 107, Al metal back film 10
7 and penetrates the fluorescent screen 104. As a result,
The fluorescent screen 104 is excited by the electron impact, and emits a luminescent color corresponding to the fluorescent material constituting the fluorescent screen 104 to the face glass 10.
2 to emit light on the front side.
【００３３】以上示したように、この実施の形態によれ
ば、カーボンナノチューブを配置することで電子放出部
を形成した。この結果、電子放出部は電界放出型冷陰極
電子源なる。したがって、この実施の形態によれば、電
子放出部は、フィラメントのような脆弱な部品を用いる
ようにしていないので、簡便に取り扱うことができ、容
易に形成することが可能となる。また、フィラメントの
加熱電源も必要がないので、リードピンの数が減らせ、
より製造を簡略化できる。そして、この実施の形態で
は、印刷などにより容易な形成方法により、電子放出部
をカーボンナノチューブの先端部が露出した状態とする
ことができる。すなわち、より簡便な方法で、良好な電
子放出特性を得ることができるようになる。As described above, according to this embodiment, the electron emission portions are formed by arranging carbon nanotubes. As a result, the electron emission portion becomes a field emission type cold cathode electron source. Therefore, according to this embodiment, since the electron-emitting portion does not use a fragile component such as a filament, it can be handled easily and can be easily formed. Also, since there is no need for a heating power supply for the filament, the number of lead pins can be reduced,
Manufacturing can be further simplified. Then, in this embodiment, the electron emitting portion can be in a state where the tip of the carbon nanotube is exposed by an easy forming method such as printing. That is, good electron emission characteristics can be obtained by a simpler method.
【００３４】なお、上記実施の形態では、画像管につい
て説明したが、これに限るものではな。この発明は、真
空容器内に蛍光体からなる発光部と、これを発光させる
ための電子放出源とを備えた、その他の蛍光表示装置に
も適用できることはいうまでもない。例えば、フェース
ガラスと蛍光面との間に光学フィルターを形成してもよ
い。このように光学フィルターを形成することで、発光
色を変化させた画像管とすることができる。また、同一
の真空容器内に複数の蛍光面を備え、多色化をした画像
管とするようにしてもよい。また、蛍光面を所望の形状
とし、所望の形状のキャラクタを表示する平型管とする
ようにしてもよい。In the above embodiment, the picture tube has been described, but the present invention is not limited to this. It is needless to say that the present invention can be applied to other fluorescent display devices provided with a light emitting portion made of a phosphor in a vacuum vessel and an electron emission source for emitting the light. For example, an optical filter may be formed between the face glass and the phosphor screen. By forming the optical filter in this manner, a picture tube with a different emission color can be obtained. In addition, a plurality of fluorescent screens may be provided in the same vacuum vessel to form a multicolor image tube. Further, the fluorescent screen may have a desired shape, and may be a flat tube for displaying a character having a desired shape.
【００３５】ところで、上述では、図２（ｄ）に示した
ように、研磨することでカーボンナノチューブが露出す
るようにしたが、これに限るものではなく、例えば、銀
とカーボンとで選択比がとれるようなエッチングを用
い、選択的に銀を除去するようにすることで、カーボン
ナノチューブの先端部を露出させるようにしてもよい。
例えばエッチング液として硝酸と塩酸の混合液（１：１
〜１：５）を用いたウエットエッチングにより、カーボ
ンナノチューブの先端部を露出させるようにすればよ
い。In the above description, as shown in FIG. 2D, the carbon nanotubes are exposed by polishing. However, the present invention is not limited to this. For example, the selectivity between silver and carbon is reduced. The tip of the carbon nanotube may be exposed by selectively removing silver using etching that can be performed.
For example, a mixed solution of nitric acid and hydrochloric acid (1: 1) is used as an etching solution.
１ ： 1: 5) may be used to expose the tips of the carbon nanotubes.
【００３６】[0036]
【発明の効果】以上説明したように、この発明は、少な
くとも一部が透光性を有する表示面を有しかつ内部が真
空排気された外囲器と、前記表示面の内側に形成された
蛍光体からなり電子の衝撃により発光する蛍光面と、前
記外囲器内に配置された基体上に電子を放出する電子放
出部とを備えた蛍光表示管の製造方法において、特に、
基体上に円筒状のグラファイトの層からなるカーボンナ
ノチューブから構成された柱状体および導電体からなる
粒子が分散された導電性ペーストからなるペーストパタ
ーンを選択的に形成し、ペーストパターンを焼成して柱
状体が導電体膜で覆われた状態とし、導電成膜をその表
面より所定量研磨することで柱状体を露出させて基体上
に電子放出部を形成するようにした。また、この発明の
蛍光表示装置の製造方法では、基体上に円筒状のグラフ
ァイトの層からなるカーボンナノチューブから構成され
た柱状体および導電体からなる粒子が分散された導電性
ペーストからなるペーストパターンを選択的に形成し、
ペーストパターンを焼成して柱状体が導電体膜で覆われ
た状態とし、カーボンナノチューブに比較して導電成膜
の方がエッチングレートの早い条件でエッチングするこ
とで柱状体を露出させて基体上に電子放出部を形成する
ようにした。As described above, according to the present invention, an envelope having at least a part of a light-transmitting display surface and an inside of which is evacuated is formed, and the inside of the display surface is formed. In a method of manufacturing a fluorescent display tube including a phosphor screen, which emits light by the impact of electrons and emits electrons on a substrate disposed in the envelope,
A columnar body composed of carbon nanotubes composed of a cylindrical graphite layer and a paste pattern composed of a conductive paste in which particles composed of a conductor are dispersed are selectively formed on a substrate, and the paste pattern is baked to form a columnar body. The body was covered with a conductive film, and the conductive film was polished by a predetermined amount from its surface to expose the columnar body and form an electron emission portion on the base. Further, in the method for manufacturing a fluorescent display device of the present invention, a paste pattern made of a conductive paste in which a column made of carbon nanotubes made of a cylindrical graphite layer and particles made of a conductor are dispersed on a substrate is formed. Selectively formed,
The paste pattern is baked to make the pillars covered with a conductive film, and the conductive film is etched at a higher etching rate than carbon nanotubes, exposing the pillars to expose the pillars on the substrate. An electron emission portion was formed.
【００３７】このように製造するようにしたので、その
先端部が露出した状態のカーボンナノチューブからなる
電子放出部と電子引き出し電極とで電界放出型冷陰極電
子源を構成できる。この結果、この発明によれば、蛍光
表示装置の電子放出部を、フィラメントのような脆弱な
部品を用いることなく作製できるようになり、ひいて
は、蛍光表示装置をより容易に製造できるようになる。Since the manufacturing is performed in this manner, the field emission type cold cathode electron source can be constituted by the electron emission portion made of the carbon nanotube with the tip end exposed and the electron extraction electrode. As a result, according to the present invention, the electron emission portion of the fluorescent display device can be manufactured without using a fragile component such as a filament, and as a result, the fluorescent display device can be manufactured more easily.
【図１】 この発明の実施の形態における画像管の構成
を示す構成図である。FIG. 1 is a configuration diagram showing a configuration of an image tube according to an embodiment of the present invention.
【図２】 電子放出部品である電子放出部１２１が形成
された電極１０６ｂの作製を説明するための説明図であ
る。FIG. 2 is an explanatory diagram for explaining the production of an electrode 106b on which an electron emitting portion 121 as an electron emitting component is formed.
【図３】 従来の画像管の構成を示す構成図である。FIG. 3 is a configuration diagram showing a configuration of a conventional picture tube.
１０１…ガラスバルブ、１０２…フェースガラス、１０
３…低融点フリットガラス、１０４…蛍光面、１０５…
陽極電極構体、１０５ａ…リング状陽極、１０５ｂ…円
筒状陽極、１０５ｃ…Ｂａゲッター、１０６…カソード
構体、１０６ａ…セラミック基板、１０６ｂ…電極（導
電板）、１０６ｄ…ハウジング、１０６ｅ…メッシュ部
（電子引き出し電極）、１０７…Ａｌメタルバック膜、
１０７ａ…接触片、１０８…ステムガラス、１０８ａ…
排気管、１０９，１０９ａ，１０９ｂ…リードピン、１
１０…陽極リード、１１１ａ，１１１ｂ…カソードリー
ド、１２１…電子放出部、１３１…柱状グラファイト、
１３２…カーボンナノチューブ、２０１…フレーム、２
０２…ペーストパターン、２０３…銀。101: glass bulb, 102: face glass, 10
3 ... low melting point frit glass, 104 ... phosphor screen, 105 ...
Anode electrode structure, 105a: ring-shaped anode, 105b: cylindrical anode, 105c: Ba getter, 106: cathode structure, 106a: ceramic substrate, 106b: electrode (conductive plate), 106d: housing, 106e: mesh part (electron drawer) Electrode), 107 ... Al metal back film,
107a: contact piece, 108: stem glass, 108a ...
Exhaust pipe, 109, 109a, 109b ... lead pin, 1
10: Anode lead, 111a, 111b: Cathode lead, 121: Electron emission part, 131: Columnar graphite,
132: carbon nanotube, 201: frame, 2
02: paste pattern, 203: silver.
Claims (7)
を有しかつ内部が真空排気された外囲器と、前記表示面
の内側に形成された蛍光体からなり電子の衝撃により発
光する蛍光面と、前記外囲器内に配置された基体上に電
子を放出する電子放出部とを備えた蛍光表示管の製造方
法において、 前記基体上に円筒状のグラファイトの層からなるカーボ
ンナノチューブから構成された柱状体および導電体から
なる粒子が分散された導電性ペーストからなるペースト
パターンを選択的に形成し、 前記ペーストパターンを焼成して前記柱状体が前記導電
体膜で覆われた状態とし、 前記導電成膜をその表面より所定量研磨することで前記
柱状体を露出させて前記基体上に前記電子放出部を形成
し、 前記電子放出部が形成された前記基体を前記外囲器内の
所定位置に配置し、 前記外囲器内で前記電子放出部の電子放出側に前記電子
放出部より電子を引き出すための電子引き出し電極を配
置することを特徴とする蛍光表示装置の製造方法。1. An envelope having at least a part of a translucent display surface and having an interior evacuated and a phosphor formed inside the display surface, and emits light by the impact of electrons. A method of manufacturing a fluorescent display tube comprising a phosphor screen and an electron emitting portion that emits electrons onto a substrate disposed in the envelope, comprising: a carbon nanotube formed of a cylindrical graphite layer on the substrate. A paste pattern made of a conductive paste in which the particles composed of the columnar body and the conductor are dispersed is selectively formed, and the paste pattern is baked so that the columnar body is covered with the conductor film. The columnar body is exposed by polishing the conductive film from a surface thereof by a predetermined amount to form the electron emitting portion on the substrate, and the substrate on which the electron emitting portion is formed is placed inside the envelope. Placed in a predetermined position, the manufacturing method of the fluorescent display apparatus characterized by disposing the electron extracting electrode for extracting electrons from the electron emission portion in the outer inside envelope an electron emission side of the electron emission portion.
を有しかつ内部が真空排気された外囲器と、前記表示面
の内側に形成された蛍光体からなり電子の衝撃により発
光する蛍光面と、基体上に電子を放出する電子放出部と
を備えた蛍光表示管の製造方法において、 前記基体上に円筒状のグラファイトの層からなるカーボ
ンナノチューブから構成された柱状体および導電体から
なる粒子が分散された導電性ペーストからなるペースト
パターンを選択的に形成し、 前記ペーストパターンを焼成して前記柱状体が前記導電
体膜で覆われた状態とし、 前記カーボンナノチューブに比較して前記導電成膜の方
がエッチングレートの早い条件でエッチングすることで
前記柱状体を露出させて前記基体上に前記電子放出部を
形成し、 前記電子放出部が形成された前記基体を前記外囲器内の
所定位置に配置し、 前記外囲器内で前記電子放出部の電子放出側に前記電子
放出部より電子を引き出すための電子引き出し電極を配
置することを特徴とする蛍光表示装置の製造方法。2. An envelope having at least a part of a light-transmitting display surface and an inside of which is evacuated and a phosphor formed inside the display surface, and emits light by the impact of electrons. In a method of manufacturing a fluorescent display tube having a phosphor screen and an electron emitting portion that emits electrons on a substrate, the method comprises the steps of: forming a columnar body and a conductor made of a carbon nanotube formed of a cylindrical graphite layer on the substrate. A paste pattern made of a conductive paste in which particles are dispersed is selectively formed, and the paste pattern is baked so that the columnar body is covered with the conductor film. The conductive film is etched under the condition that the etching rate is faster, thereby exposing the columnar body to form the electron emission portion on the base, and the electron emission portion is formed. Disposing the obtained base at a predetermined position in the envelope, and disposing an electron extraction electrode for extracting electrons from the electron emission portion on the electron emission side of the electron emission portion in the envelope. A method for manufacturing a fluorescent display device characterized by the above-mentioned.
の製造方法において、 前記柱状体は、前記カーボンナノチューブの集合体から
なる柱状グラファイトから構成されていることを特徴と
する蛍光表示装置の製造方法。3. The method of manufacturing a fluorescent display device according to claim 1, wherein the column is formed of columnar graphite made of an aggregate of the carbon nanotubes. Production method.
方法において、 前記引き出し電極は、前記蛍光面と前記電子放出部との
間に配置することを特徴とする蛍光表示装置の製造方
法。4. The method for manufacturing a fluorescent display device according to claim 1, wherein said extraction electrode is disposed between said fluorescent screen and said electron-emitting portion. .
方法において、 前記引き出し電極は、前記蛍光面と前記表示面との間に
配置することを特徴とする蛍光表示装置の製造方法。5. The method for manufacturing a fluorescent display device according to claim 1, wherein the extraction electrode is disposed between the fluorescent screen and the display surface.
方法において、 前記蛍光面と前記表示面との間に光学フィルターが配置
されることを特徴とする蛍光表示装置の製造方法。6. The method for manufacturing a fluorescent display device according to claim 1, wherein an optical filter is disposed between said fluorescent screen and said display surface.
方法において、 前記蛍光面を形成した後でこの表面に金属膜を形成し、 さらに、前記蛍光面と前記電子引き出し電極との間に、
前記金属膜に電気的に接続させて、前記電子引き出し電
極より高い電位が印加される電子加速電極を配置するこ
とを特徴とする蛍光表示装置の製造方法。7. The method for manufacturing a fluorescent display device according to claim 1, wherein a metal film is formed on the fluorescent screen after forming the fluorescent screen, and further between the fluorescent screen and the electron extraction electrode. To
A method for manufacturing a fluorescent display device, wherein an electron accelerating electrode to which a higher potential than the electron extraction electrode is applied is disposed so as to be electrically connected to the metal film.
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Cited By (17)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001210223A (en) * | 1999-12-30 | 2001-08-03 | Samsung Sdi Co Ltd | Electron emission device of three pole structure |
| US6586889B1 (en) | 2000-06-21 | 2003-07-01 | Si Diamond Technology, Inc. | MEMS field emission device |
| US6664728B2 (en) | 2000-09-22 | 2003-12-16 | Nano-Proprietary, Inc. | Carbon nanotubes with nitrogen content |
| US6700454B2 (en) | 2001-06-29 | 2004-03-02 | Zvi Yaniv | Integrated RF array using carbon nanotube cathodes |
| US6739932B2 (en) | 2001-06-07 | 2004-05-25 | Si Diamond Technology, Inc. | Field emission display using carbon nanotubes and methods of making the same |
| WO2004049373A1 (en) * | 2002-11-27 | 2004-06-10 | Sony Corporation | Method for manufacturing electron-emitting device and method for manufacturing display |
| US6819034B1 (en) | 2000-08-21 | 2004-11-16 | Si Diamond Technology, Inc. | Carbon flake cold cathode |
| US6885022B2 (en) | 2000-12-08 | 2005-04-26 | Si Diamond Technology, Inc. | Low work function material |
| US6897603B2 (en) | 2001-08-24 | 2005-05-24 | Si Diamond Technology, Inc. | Catalyst for carbon nanotube growth |
| US6914372B1 (en) | 1999-10-12 | 2005-07-05 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Electron-emitting element and electron source, field emission image display device, and fluorescent lamp utilizing the same and methods of fabricating the same |
| JP2005520308A (en) * | 2001-06-14 | 2005-07-07 | ハイピリオン カタリシス インターナショナル インコーポレイテッド | Field emission device using modified carbon nanotubes |
| KR100510717B1 (en) * | 2002-09-06 | 2005-08-31 | 엘지.필립스 엘시디 주식회사 | liquid crystal display device and method for manufacturing the same |
| US6979947B2 (en) | 2002-07-09 | 2005-12-27 | Si Diamond Technology, Inc. | Nanotriode utilizing carbon nanotubes and fibers |
| US7150801B2 (en) | 2003-02-26 | 2006-12-19 | Mitsubishi Gas Chemical Company, Inc. | Process for producing cold field-emission cathodes |
| JP2007115590A (en) * | 2005-10-21 | 2007-05-10 | Nissin Kogyo Co Ltd | Method of manufacturing electron emitting thin film, electrode substrate and electron emitting device |
| JP2008027919A (en) * | 2000-06-21 | 2008-02-07 | E I Du Pont De Nemours & Co | Paste for manufacturing electron electric field emitter and usage thereof |
| US7528539B2 (en) * | 2004-06-08 | 2009-05-05 | Ngk Insulators, Ltd. | Electron emitter and method of fabricating electron emitter |
-
1998
- 1998-03-09 JP JP5657498A patent/JP3730391B2/en not_active Expired - Fee Related
Cited By (19)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6914372B1 (en) | 1999-10-12 | 2005-07-05 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Electron-emitting element and electron source, field emission image display device, and fluorescent lamp utilizing the same and methods of fabricating the same |
| JP2001210223A (en) * | 1999-12-30 | 2001-08-03 | Samsung Sdi Co Ltd | Electron emission device of three pole structure |
| US6586889B1 (en) | 2000-06-21 | 2003-07-01 | Si Diamond Technology, Inc. | MEMS field emission device |
| JP2008027919A (en) * | 2000-06-21 | 2008-02-07 | E I Du Pont De Nemours & Co | Paste for manufacturing electron electric field emitter and usage thereof |
| US6819034B1 (en) | 2000-08-21 | 2004-11-16 | Si Diamond Technology, Inc. | Carbon flake cold cathode |
| US6664728B2 (en) | 2000-09-22 | 2003-12-16 | Nano-Proprietary, Inc. | Carbon nanotubes with nitrogen content |
| US6885022B2 (en) | 2000-12-08 | 2005-04-26 | Si Diamond Technology, Inc. | Low work function material |
| US6739932B2 (en) | 2001-06-07 | 2004-05-25 | Si Diamond Technology, Inc. | Field emission display using carbon nanotubes and methods of making the same |
| JP2005520308A (en) * | 2001-06-14 | 2005-07-07 | ハイピリオン カタリシス インターナショナル インコーポレイテッド | Field emission device using modified carbon nanotubes |
| US6700454B2 (en) | 2001-06-29 | 2004-03-02 | Zvi Yaniv | Integrated RF array using carbon nanotube cathodes |
| US6897603B2 (en) | 2001-08-24 | 2005-05-24 | Si Diamond Technology, Inc. | Catalyst for carbon nanotube growth |
| US8003165B2 (en) | 2001-08-24 | 2011-08-23 | Applied Nanotech Holdings, Inc. | Catalyst for carbon nanotube growth |
| US6979947B2 (en) | 2002-07-09 | 2005-12-27 | Si Diamond Technology, Inc. | Nanotriode utilizing carbon nanotubes and fibers |
| KR100510717B1 (en) * | 2002-09-06 | 2005-08-31 | 엘지.필립스 엘시디 주식회사 | liquid crystal display device and method for manufacturing the same |
| WO2004049373A1 (en) * | 2002-11-27 | 2004-06-10 | Sony Corporation | Method for manufacturing electron-emitting device and method for manufacturing display |
| US7150801B2 (en) | 2003-02-26 | 2006-12-19 | Mitsubishi Gas Chemical Company, Inc. | Process for producing cold field-emission cathodes |
| KR100944828B1 (en) * | 2003-02-26 | 2010-03-03 | 미츠비시 가스 가가쿠 가부시키가이샤 | Process for producing cold field-emission cathodes |
| US7528539B2 (en) * | 2004-06-08 | 2009-05-05 | Ngk Insulators, Ltd. | Electron emitter and method of fabricating electron emitter |
| JP2007115590A (en) * | 2005-10-21 | 2007-05-10 | Nissin Kogyo Co Ltd | Method of manufacturing electron emitting thin film, electrode substrate and electron emitting device |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
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