JPH11260249A

JPH11260249A - 蛍光表示装置の製造方法

Info

Publication number: JPH11260249A
Application number: JP5657498A
Authority: JP
Inventors: Sashiro Kamimura; 佐四郎上村
Original assignee: Ise Electronics Corp
Current assignee: Noritake Itron Corp
Priority date: 1998-03-09
Filing date: 1998-03-09
Publication date: 1999-09-24
Anticipated expiration: 2018-03-09
Also published as: JP3730391B2

Abstract

(57)【要約】【課題】蛍光表示装置の電子放出部を、より容易に作
製できるようにする。【解決手段】ペーストパタン２０２上部を研磨し、ペ
ーストパターン２０２上部においては柱状グラファイト
１３１が露出するようにし、電子放出部１２１を柱状グ
ラファイト１３１を構成しているカーボンナノチューブ
の先端が露出した状態とする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、電子線の衝撃に
よる蛍光体の発光を利用した蛍光表示装置の製造方法に
関する。

【０００２】

【従来の技術】蛍光表示装置は、少なくとも一方が透明
な真空容器の中で、電子放出部から放出される電子を、
蛍光体に衝突発光させて発光させ、その発光光を利用す
る電子管である。この蛍光表示装置は、通常では、電子
の働きを制御するためのグリッドを備えた３極管構造の
ものが最も多く用いられている。そして、従来では、電
子放出部にフィラメントと呼ばれる陰極を用い、ここよ
り放出される熱電子を蛍光体に衝突発光させていた。こ
のような蛍光表示装置の中で、大画面ディスプレイ装置
の画素を構成する画像管がある。

【０００３】以下、画像管について図３を用いて説明す
る。はじめに概略を説明すると、円筒形のガラスバルブ
３０１内に、蛍光面３０４、陽極電極構体３０５、そし
て、および電子放出部を構成するカソード構体３０６を
配置する。そして、円筒形のガラスバルブ３０１の開口
端に、透光性を有するフェースガラス３０２を低融点フ
リットガラス３０３により接着固定する。そして、ガラ
スバルブ３０１のステムガラス３０８に一体形成されて
いる排気管３０８ａより真空排気することで、ガラスバ
ルブ３０１内を真空状態としている。

【０００４】それらの中で、フェースガラス３０２は、
前面側に凸型レンズ状の球面部３０２ａを形成し、周縁
部に鍔状に段差部３０２ｂを形成しておく。また、内面
３０２ｃの主要面には、蛍光面３０４およびＡｌメタル
バック膜３０７を順次積層して形成しておく。また、フ
ェースガラス３０２の内面３０２ｃの周辺部には、例え
ばステンレス材の薄板をプレス成形法により加工して形
成した弾性力を有する接触片３０７ａの一端側を挿入し
てある。また、その接触片３０７ａは、例えばカーボン
または銀とフリットガラスとの混合体からなる導電性接
着材により、Ａｌメタルバック膜３０７に接触してフェ
ースガラス３０２の内面３０２ｃの所定部分に接着固定
する。そして、この接触片３０７ａの他端側は、ガラス
バルブ３０１の内壁面方向に向けて延在した状態として
おく。

【０００５】一方、ガラスバルブ３０１底部を構成する
ステムガラス３０８には、リードピン３０９ａ〜３０９
ｅを挿通しておく。また、このステムガラス３０８上に
は、そのリードピン３０９ａの先端部に陽極リード３１
０を溶接により固定し、この陽極リード３１０の先端部
に円筒状の陽極電極構体３０５を溶接により固定配置し
て搭載する。この陽極電極構体３０５は、例えばステン
レス材の金属線をリング状に丸めて成形したリング状陽
極３０５ａと、このリング状陽極３０５ａの外周面に矩
形状のステンレス材の薄板を巻き付けて重ね合った部分
を２点で溶接などにより固定して円筒形状に形成した円
筒状陽極３０５ｂとから構成する。

【０００６】また、この陽極電極構体３０５は、陽極リ
ード３１０の先端部に対してリング状陽極３０５ａと所
定の箇所で溶接し、さらに陽極リード３１０の最先端部
分で円筒状陽極３０５ｂの内側との接触部分で溶接して
固定した状態とする。さらにこのリング状陽極３０５ａ
の一部には、Ｂａゲッター３０５ｃを溶接などより取り
付け固定しておく。

【０００７】また、リードピン３０９ｂ〜３０９ｅの先
端部には、カソードリード３１１ｂ〜３１１ｅを溶接に
より固定し、このカソードリード３１１ｂ〜３１１ｅの
先端部には、カソード構体３０６を溶接により固定配置
した状態とする。このカソード構体３０６は、次に示す
ように形成する。まず、セラミック基板３０６ａ上の中
央部に背面電極３０６ｂを配置して固定する。次に、そ
の上部に所定の間隔を開けてフィラメントカソード３０
６ｃを２本の支柱により固定する。そして、それらを覆
うように、メッシュ部３０６ｅを有する楕円状のグリッ
ドハウジング３０６ｄを、セラッミック基板３０６ａ上
に搭載する。なお、メッシュ部３０６ｅは、蛍光面３０
４の方向に球面状に突出した形状としておく。

【０００８】以上示したように形成される画像管は、ま
ず、外部回路からリードピン３０９ｃ，３０９ｄに電圧
（加熱電源）を供給することで、カソードリード３１１
ｃ，３１１ｄを介し、フィラメントカソード３０６ｃに
所定の電位を印加して熱電子が放出される状態とする。
また、外部回路からリードピン３０９ｂに電圧を供給す
ることで、カソードリード３１１ｂを介し、背面電極３
０６ｂにフィラメントカソード３０６ｃに対して負の電
位を印加する。加えて、外部回路からリードピン３０９
ｅに電圧を供給することで、カソードリード３１１ｅを
介し、グリトハウジング３０６ｄにフィラメントカソー
ド３０６ｃに対して正の電位を印加することで、グリッ
ドハウジング３０６ｄのメッシュ部３０６ｅより電子ビ
ームを放出させる。

【０００９】そして、外部回路からリードピン３０９ａ
に高電圧を供給し、陽極リード３１０→陽極電極構体３
０５（円筒状陽極３０５ｂ）→接触片３０７ａの経路を
それぞれ導通してＡｌメタルバック膜３０７にその高電
圧が印加された状態とすることで、放出された電子を円
筒状陽極３０５ｂにより加速し、Ａｌメタルバック膜３
０７を貫通させて蛍光面３０４に衝撃させる。この結
果、蛍光面３０４は電子衝撃により励起し、蛍光面３０
４を構成する蛍光体の応じた発光色をフェースガラス３
０２を透過して前面側に発光表示することになる。

【００１０】

【発明が解決しようとする課題】ところで、従来の蛍光
表装置に用いられていた電子放出部としてのフィラメン
ト（フィラメントカソード）は、主に、直径７〜２０μ
ｍのタングステンの細線に、電子放射性物質を塗布して
形成している。その電子放出物質としては、一般に、酸
化バリウム・酸化カルシウム・酸化ストロンチウムのい
わゆる三元酸化物から構成するようにしている。ここ
で、これら酸化物は空気中ではきわめて不安定である、
このため、フィラメントの作製においては、炭酸バリウ
ム・炭酸カルシウム・炭酸ストロンチウムのいわゆる炭
酸塩の形でタングステン細線に外形が２２〜３５μｍに
なるように塗布し、これを例えば、上述の画像管製造に
おいて、各部品とともに組み込んだ上で、外囲器内を真
空排気してエージングする段階で酸化物にするようにし
ている。

【００１１】したがって、従来の蛍光表示装置では、電
子放出部として上述したようなフィラメントを用いるよ
うにしているため、次に示すような問題点があった。す
なわち、非常に細く脆弱なフィラメントを架張して取り
付け組み立てなければならないため、取り扱いに不便が
あり、製造しにくいという問題があった。また、上述し
たように、フィラメントカソードを作製するためには工
数が非常に多い状態であった。

【００１２】この発明は、以上のような問題点を解消す
るためになされたものであり、蛍光表示装置の電子放出
部を、より容易に作製できるようにすることを目的とす
る。

【００１３】

【課題を解決するための手段】この発明の蛍光表示装置
の製造方法では、基体上に円筒状のグラファイトの層か
らなるカーボンナノチューブから構成された柱状体およ
び導電体からなる粒子が分散された導電性ペーストから
なるペーストパターンを選択的に形成し、ペーストパタ
ーンを焼成して柱状体が導電体膜で覆われた状態とし、
導電成膜をその表面より所定量研磨することで柱状体を
露出させて基体上に電子放出部を形成するようにした。
また、この発明の蛍光表示装置の製造方法では、基体上
に円筒状のグラファイトの層からなるカーボンナノチュ
ーブから構成された柱状体および導電体からなる粒子が
分散された導電性ペーストからなるペーストパターンを
選択的に形成し、ペーストパターンを焼成して柱状体が
導電体膜で覆われた状態とし、カーボンナノチューブに
比較して導電成膜の方がエッチングレートの早い条件で
エッチングすることで柱状体を露出させて基体上に電子
放出部を形成するようにした。このように製造するよう
にしたので、その先端部が露出した状態のカーボンナノ
チューブからなる電子放出部と電子引き出し電極とで電
界放出型冷陰極電子源を構成できる。

【００１４】

【発明の実施の形態】以下この発明の実施の形態を図を
参照して説明する。図１は、この発明の実施の形態にお
ける蛍光表示装置である画像管の構成を示す構成図であ
る。以下、この実施の形態における画像管の構成につい
て、その製造方法とともに説明すると、まず、円筒形の
ガラスバルブ１０１中に、蛍光面１０４、陽極電極構体
１０５、そして、および電子放出部を構成するカソード
構体１０６を配置する。また、ガラスバルブ１０１の開
口端に、フェースガラス１０２を低融点フリットガラス
１０３により接着固定する。そして、ガラスバルブ１０
１の底部にはステムガラス１０８を配置し、このステム
ガラス１０８に一体形成した排気管１０８ａより真空排
気することで、ガラスバルブ１０１内を真空状態とす
る。

【００１５】まず、フェースガラス１０２は、前面側に
は凸型レンズ状の球面部１０２ａを形成し、周縁部には
鍔状に段差部１０２ｂを形成しておく。このフェースガ
ラス１０２の内面１０２ｃには、その周辺部分の一部に
窪み状の凹部１０２ｄも形成しておく。また、この内面
１０２ｃの主要面には、蛍光面１０４を形成し、この蛍
光面１０４表面にはＡｌメタルバック膜１０７を形成す
る。なお、凹部１０２ｄ内には蛍光面１０４は形成せ
ず、Ａｌメタルバック膜１０７のみを形成するようにす
る。この、凹部１０２ｄ内には、例えばステンレス材の
薄板をプレス成形法により加工して形成された弾性力を
有する接触片１０７ａの一端側を挿入配置する。この接
触片１０７ａは、例えばカーボンまたは銀とフリットガ
ラスとの混合体からなる導電性接着材１０により、その
凹部１０２ｄ部分に接着固定することで形成する。そし
て、この接触片１０７ａの他端側は、ガラスバルブ１０
１の内壁面方向に向けて延在しておく。

【００１６】ところで、蛍光面１０４は、白色蛍光体と
して、例えば、Ｙ₂Ｏ₂Ｓ：Ｔｂ＋Ｙ₂Ｏ₃：Ｅｕ混合蛍光
体を溶媒に溶かし、これにバインダーを加えたペースト
を約２０μｍ程度の厚さに内面１０２ｃに印刷塗布し、
これを乾燥することで形成する。ここで、凹部１０２ｄ
内には蛍光面１０４は塗布しない状態としておく。な
お、用いる蛍光体は、Ｙ₂Ｏ₂Ｓ：Ｔｂ＋Ｙ₂Ｏ₃：Ｅｕ混
合蛍光体に限るものではなく、他の蛍光体を用いるよう
にしてもよいことはいうまでもない。また、蛍光面１０
４表面には、蒸着により約厚さ１５０ｎｍ程度にアルミ
ニウム膜を成膜することで、Ａｌメタルバック膜１０７
を形成する。ここで、凹部１０２ｄ内には蛍光面１０４
は塗布されていないので、Ａｌメタルバック膜１０７の
みが形成された状態となる。

【００１７】なお、このＡｌメタルバック膜１０７の厚
さは薄すぎると、ピンホールが増加して蛍光面１０４の
反射が減少する。一方、その厚さが厚すぎると、蛍光面
１０４に対する電子ビームの電子の侵入が阻害されて発
光が小さくなる。したがって、Ａｌメタルバック膜１０
７の厚さのコントロールは重要である。このため、前述
したように、Ａｌメタルバック膜１０７は厚さを約１５
０ｎｍ程度とした方がよい。なお、それら蛍光面１０４
及びＡｌメタルバック膜１０７を形成した後、フェース
ガラス１０２を、例えば電気炉などにより５６０℃で３
０分程度空気中で焼成し、塗布膜中の溶媒類を除去す
る。

【００１８】そして、このフェースガラス１０２は、例
えば、直径約２０ｍｍ，長さ約５０ｍｍの両端が切断さ
れたガラスバルブ１０１の一方の開口端に、フェースガ
ラス１０２の周縁部に形成された鍔状の段差部１０２ｂ
部分で、低融点フリットガラス１０３により接着固定す
る。これは、その接着面に低融点フリットガラスペース
トを塗布し、フェースガラス１０２の段差部１０２ｂ部
分とガラスバルブ１０１の開口端とを、その低融点フリ
ットガラスペーストを介してつき合わせ、これらを加熱
焼成すればよい。

【００１９】一方、ガラスバルブ１０１底部のステムガ
ラス１０８部分には、リードピン１０９を挿通して形成
する。また、そのリードピン１０９の先端部に、陽極リ
ード１１０を溶接により固定し、この陽極リード１１０
の先端部に、円筒状の陽極電極構体（電子加速電極）１
０５を溶接により固定配置する。この陽極電極構体１０
５の形成について説明すると、まず、例えばステンレス
材の金属線（線径約０．５ｍｍ）をリング状に丸めるこ
とで、リング状陽極１０５ａを成形する。そして、この
リング状陽極１０５ａの外周面に、矩形状のステンレス
材の薄板（板厚０．０１〜０．０２ｍｍ）を巻き付け、
重ね合った部分を溶接点１０５ｄと溶接点１０５ｅの２
カ所で溶接して固定する。このことにより、円筒形状に
円筒状陽極１０５ｂを形成できる。

【００２０】また、この陽極電極構体１０５は、陽極リ
ード１１０の先端部に対してリング状陽極１０５ａと所
定の箇所で溶接し、さらに、陽極リード１１０の最先端
部分で円筒状陽極１０５ｂの内側との接触部分で溶接し
て固定する。さらに、このリング状陽極１０５ａの一部
には、Ｂａゲッター１０５ｃを溶接などより取り付け固
定する。なお、図１（ａ）において、陽極電極構体１０
５やリードピン１０９に関しては、断面を示していな
い。

【００２１】また、ステムガラス１０８には、リードピ
ン１０９ａ，１０９ｂも挿通し、リードピン１０９ａ，
１０９ｂの先端部には、カソードリード１１１ａ，１１
１ｂを溶接により固定し、このカソードリード１１１
ａ，１１１ｂの先端部には、カソード構体１０６を溶接
により固定配置する。このカソード構体１０６は、次に
示すように形成する。まず、セラミック基板１０６ａ上
の中央部に、電極（導電板）１０６ｂを配置する。ま
た、その上面の約３ｍｍφの領域に、カーボンナノチュ
ーブの集合体からなる長さ数ｍｍの針形状の柱状グラフ
ァイトより構成された電子放出部１２１を固定配置す
る。

【００２２】ところで、図１（ｂ）に示すように、その
柱状グラファイト１３１は、カーボンナノチューブ１３
２が、ほぼ同一方向を向いて集合した構造体である。な
お、この図１（ｂ）は、柱状グラファイト１３１を途中
で切った断面を見る斜視図である。そして、カーボンナ
ノチューブ１３２は、例えば図１（ｃ）に示すように、
完全にグラファイト化して筒状をなし、その直径は４〜
５０ｎｍ程度であり、その長さはミクロンオーダであ
る。そして、図１（ｄ）に示すように、その先端部は五
員環が入ることにより閉じている。このカーボンナノチ
ューブは、ヘリウムガス中で２本の炭素電極を１〜２ｍ
ｍ程度離した状態で直流アーク放電を起こすことで、陽
極側の炭素が蒸発して陰極側の炭素電極先端に凝集した
堆積物中に形成できる。

【００２３】すなわち、炭素電極間のギャップを１ｍｍ
程度に保った状態で、ヘリウム中で安定なアーク放電を
持続させ、陽極の炭素電極の直径とほぼ同じ径をもつ円
柱状の堆積物を陰極先端に形成する。その円柱状の堆積
物は、外側の固い殻と、その内側のもろくて黒い芯との
２つの領域から構成されている。そして、内側の芯は、
堆積物柱の長さ方向にのびた繊維状の組織をもってい
る。その繊維状の組織が、上述した柱状グラファイトで
あり、堆積物柱を切り出すことなどにより、柱状グラフ
ァイトを得ることができる。なお、外側の固い殻は、グ
ラファイトの多結晶体である。

【００２４】そして、その柱状グラファイトにおいて、
カーボンナノチューブは、炭素の多面体微粒子（ナノポ
リヘドロン：nanopolyhedoron）とともに、複数が集合
している。そのカーボンナノチューブは、図１（ｃ），
（ｄ）では模式的に示したように、グラファイトの単層
が円筒状に閉じた形状と、複数のグラファイトの層が入
れ子構造的に積層し、それぞれのグラファイト層が円筒
状に閉じた同軸多層構造となっている形状とがある。そ
して、それらの中心部分は、空洞となっている。

【００２５】以上示したよう構成されているカーボンナ
ノチューブよりなる柱状グラファイトで構成された電子
放出部１２１は、その柱状グラファイト１３１が銀ペー
ストなどの導電性接着剤により固定されている。以下、
この実施の形態における電子放出部１２１に関してより
詳細に説明する。まず、その作製方法について説明する
と、金属板を加工することで、図２（ａ）に示すよう
に、所定の形状の板状の電極１０６ｂがリードフレーム
状にフレーム２０１に接続された状態とする。

【００２６】ついで、図２（ｂ）に示すように、形状部
分２０１表面の所定領域に、ペーストパターン２０２を
所定領域に形成する。このペーストパターン２０２は、
よく用いられている銀ペースト（導電性ペースト）に前
述した柱状グラファイトを混合したペーストを用いたス
クリーン印刷法などにより形成すればよい。そして、そ
の溶剤などを揮発させた後、それらを空気中で４０〜６
００℃程度に１５〜６０分間程度加温して焼成する。な
お、この焼成は、例えば、１〜１０^-3Ｔｏｒｒ程度に真
空排気された雰囲気で行うようにしてもよい。

【００２７】ここで、形成されたペーストパターン２０
２のＡＡ’断面を見ると、図２（ｃ）に示すように、電
極１０６ｂ上に、柱状グラファイト１３１が銀２０３で
覆われた状態に形成されている。次に、そのペーストパ
タン２０２上部を研磨する。この結果、ペーストパター
ン２０２上部においては、柱状グラファイト１３１が露
出するようになり、すなわち、図２（ｄ）に示すよう
に、柱状グラファイト１３１を構成しているカーボンナ
ノチューブの先端が露出した状態となった電子放出部１
２１が、電極１０６ａ上に形成された状態となる。

【００２８】次に、図２（ｅ），（ｆ）に示すように、
電子放出部１２１が形成された電極１０６ｂを、フレー
ム２０１より切り出す。そして、電極１０６ｂの両端２
０１ａを折曲げることで、図２（ｈ）に示すように、表
面に電子放出部１２１が形成された電極１０６ｂが形成
される。そして、この電極１０６ｂを、図１（ａ）に示
したように、セラミック基板１０６ａ上の中央部に配置
するようにすればよい。

【００２９】このようにすることで、あらかじめ電子放
出部である柱状グラファイトが固定された電極を複数形
成しておくことが可能となり、例えば、あらかじめ電子
放出特性を検査しておき、特性のよいものだけを用いる
ようにすることも可能である。そして、それら電子放出
部１２１が固定配置された電極（導電板）１０６ｂを覆
うように、メッシュ部（電子引き出し電極）１０６ｅを
備えたハウジング１０６ｄを配置する。

【００３０】以上示したように、この実施の形態におい
ては、カーボンナノチューブからなる電子放出部１２１
を電極１０６ｂ上に固定配置し、そして、それらを覆う
ように、ハウジング１０６ｄをセラッミック基板１０６
ａ上に搭載した状態とすることでカソード構体１０６を
形成した。なお、メッシュ部１０６ｅは、蛍光面１０４
の方向に球面状に突出した形状とする。また、このハウ
ジング１０６ｄは、板厚が約１００μｍ程度のステンレ
ス板材をプレス成形することにより形成する。また、メ
ッシュ部１０６ｅは、例えば縦方向寸法が約６ｍｍ，横
方向寸法が約４ｍｍとし、高さが約１．２５ｍｍの大き
さに形成する。そして、メッシュ部１０６ｅは、電子放
出部１２１先端部より０．５〜１ｍｍ程度離間した状態
とする。なお、これらの間隔は、接触しない状態でなる
べく近づけた方がよい。

【００３１】以上示したように形成される画像管は、ま
ず、外部回路からリードピン１０９ａ，１０９ｂに電圧
を供給することで、カソードリード１１１ａ，１１１ｂ
を介して電極１０６とハウジング１０６ｄとの間に電界
をかける。そして、このことにより、電極１０６上に固
定配置された電子放出部１２１の先端部が露出したカー
ボンナノチューブの先端に高電界を集中させ、電子を引
き出してメッシュ部１０６ｅより放出させる。すなわ
ち、この実施の形態によれば、カソード構体１０６が、
電子放出部１２１を構成するカーボンナノチューブをエ
ミッタとした、電界放出型冷陰極電子源の構成となる。

【００３２】そして、外部回路からリードピン１０９に
高電圧を供給し、陽極リード１１０→陽極電極構体１０
５（円筒状陽極１０５ｂ）→接触片１０７ａの経路をそ
れぞれ導通してＡｌメタルバック膜１０７にその高電圧
が印加された状態とすることで、放出された電子を円筒
状陽極１０５ｂにより加速し、Ａｌメタルバック膜１０
７を貫通させて蛍光面１０４に衝撃させる。この結果、
蛍光面１０４は電子衝撃により励起し、蛍光面１０４を
構成する蛍光体の応じた発光色を、フェースガラス１０
２を透過して前面側に発光表示することになる。

【００３３】以上示したように、この実施の形態によれ
ば、カーボンナノチューブを配置することで電子放出部
を形成した。この結果、電子放出部は電界放出型冷陰極
電子源なる。したがって、この実施の形態によれば、電
子放出部は、フィラメントのような脆弱な部品を用いる
ようにしていないので、簡便に取り扱うことができ、容
易に形成することが可能となる。また、フィラメントの
加熱電源も必要がないので、リードピンの数が減らせ、
より製造を簡略化できる。そして、この実施の形態で
は、印刷などにより容易な形成方法により、電子放出部
をカーボンナノチューブの先端部が露出した状態とする
ことができる。すなわち、より簡便な方法で、良好な電
子放出特性を得ることができるようになる。

【００３４】なお、上記実施の形態では、画像管につい
て説明したが、これに限るものではな。この発明は、真
空容器内に蛍光体からなる発光部と、これを発光させる
ための電子放出源とを備えた、その他の蛍光表示装置に
も適用できることはいうまでもない。例えば、フェース
ガラスと蛍光面との間に光学フィルターを形成してもよ
い。このように光学フィルターを形成することで、発光
色を変化させた画像管とすることができる。また、同一
の真空容器内に複数の蛍光面を備え、多色化をした画像
管とするようにしてもよい。また、蛍光面を所望の形状
とし、所望の形状のキャラクタを表示する平型管とする
ようにしてもよい。

【００３５】ところで、上述では、図２（ｄ）に示した
ように、研磨することでカーボンナノチューブが露出す
るようにしたが、これに限るものではなく、例えば、銀
とカーボンとで選択比がとれるようなエッチングを用
い、選択的に銀を除去するようにすることで、カーボン
ナノチューブの先端部を露出させるようにしてもよい。
例えばエッチング液として硝酸と塩酸の混合液（１：１
〜１：５）を用いたウエットエッチングにより、カーボ
ンナノチューブの先端部を露出させるようにすればよ
い。

【００３６】

【発明の効果】以上説明したように、この発明は、少な
くとも一部が透光性を有する表示面を有しかつ内部が真
空排気された外囲器と、前記表示面の内側に形成された
蛍光体からなり電子の衝撃により発光する蛍光面と、前
記外囲器内に配置された基体上に電子を放出する電子放
出部とを備えた蛍光表示管の製造方法において、特に、
基体上に円筒状のグラファイトの層からなるカーボンナ
ノチューブから構成された柱状体および導電体からなる
粒子が分散された導電性ペーストからなるペーストパタ
ーンを選択的に形成し、ペーストパターンを焼成して柱
状体が導電体膜で覆われた状態とし、導電成膜をその表
面より所定量研磨することで柱状体を露出させて基体上
に電子放出部を形成するようにした。また、この発明の
蛍光表示装置の製造方法では、基体上に円筒状のグラフ
ァイトの層からなるカーボンナノチューブから構成され
た柱状体および導電体からなる粒子が分散された導電性
ペーストからなるペーストパターンを選択的に形成し、
ペーストパターンを焼成して柱状体が導電体膜で覆われ
た状態とし、カーボンナノチューブに比較して導電成膜
の方がエッチングレートの早い条件でエッチングするこ
とで柱状体を露出させて基体上に電子放出部を形成する
ようにした。

【００３７】このように製造するようにしたので、その
先端部が露出した状態のカーボンナノチューブからなる
電子放出部と電子引き出し電極とで電界放出型冷陰極電
子源を構成できる。この結果、この発明によれば、蛍光
表示装置の電子放出部を、フィラメントのような脆弱な
部品を用いることなく作製できるようになり、ひいて
は、蛍光表示装置をより容易に製造できるようになる。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明の実施の形態における画像管の構成
を示す構成図である。

【図２】電子放出部品である電子放出部１２１が形成
された電極１０６ｂの作製を説明するための説明図であ
る。

【図３】従来の画像管の構成を示す構成図である。

【符号の説明】

１０１…ガラスバルブ、１０２…フェースガラス、１０
３…低融点フリットガラス、１０４…蛍光面、１０５…
陽極電極構体、１０５ａ…リング状陽極、１０５ｂ…円
筒状陽極、１０５ｃ…Ｂａゲッター、１０６…カソード
構体、１０６ａ…セラミック基板、１０６ｂ…電極（導
電板）、１０６ｄ…ハウジング、１０６ｅ…メッシュ部
（電子引き出し電極）、１０７…Ａｌメタルバック膜、
１０７ａ…接触片、１０８…ステムガラス、１０８ａ…
排気管、１０９，１０９ａ，１０９ｂ…リードピン、１
１０…陽極リード、１１１ａ，１１１ｂ…カソードリー
ド、１２１…電子放出部、１３１…柱状グラファイト、
１３２…カーボンナノチューブ、２０１…フレーム、２
０２…ペーストパターン、２０３…銀。

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】少なくとも一部が透光性を有する表示面
を有しかつ内部が真空排気された外囲器と、前記表示面
の内側に形成された蛍光体からなり電子の衝撃により発
光する蛍光面と、前記外囲器内に配置された基体上に電
子を放出する電子放出部とを備えた蛍光表示管の製造方
法において、前記基体上に円筒状のグラファイトの層からなるカーボ
ンナノチューブから構成された柱状体および導電体から
なる粒子が分散された導電性ペーストからなるペースト
パターンを選択的に形成し、前記ペーストパターンを焼成して前記柱状体が前記導電
体膜で覆われた状態とし、前記導電成膜をその表面より所定量研磨することで前記
柱状体を露出させて前記基体上に前記電子放出部を形成
し、前記電子放出部が形成された前記基体を前記外囲器内の
所定位置に配置し、前記外囲器内で前記電子放出部の電子放出側に前記電子
放出部より電子を引き出すための電子引き出し電極を配
置することを特徴とする蛍光表示装置の製造方法。
【請求項２】少なくとも一部が透光性を有する表示面
を有しかつ内部が真空排気された外囲器と、前記表示面
の内側に形成された蛍光体からなり電子の衝撃により発
光する蛍光面と、基体上に電子を放出する電子放出部と
を備えた蛍光表示管の製造方法において、前記基体上に円筒状のグラファイトの層からなるカーボ
ンナノチューブから構成された柱状体および導電体から
なる粒子が分散された導電性ペーストからなるペースト
パターンを選択的に形成し、前記ペーストパターンを焼成して前記柱状体が前記導電
体膜で覆われた状態とし、前記カーボンナノチューブに比較して前記導電成膜の方
がエッチングレートの早い条件でエッチングすることで
前記柱状体を露出させて前記基体上に前記電子放出部を
形成し、前記電子放出部が形成された前記基体を前記外囲器内の
所定位置に配置し、前記外囲器内で前記電子放出部の電子放出側に前記電子
放出部より電子を引き出すための電子引き出し電極を配
置することを特徴とする蛍光表示装置の製造方法。
【請求項３】請求項１または２項記載の蛍光表示装置
の製造方法において、前記柱状体は、前記カーボンナノチューブの集合体から
なる柱状グラファイトから構成されていることを特徴と
する蛍光表示装置の製造方法。
【請求項４】請求項１〜３記載の蛍光表示装置の製造
方法において、前記引き出し電極は、前記蛍光面と前記電子放出部との
間に配置することを特徴とする蛍光表示装置の製造方
法。
【請求項５】請求項１〜３記載の蛍光表示装置の製造
方法において、前記引き出し電極は、前記蛍光面と前記表示面との間に
配置することを特徴とする蛍光表示装置の製造方法。
【請求項６】請求項１〜５記載の蛍光表示装置の製造
方法において、前記蛍光面と前記表示面との間に光学フィルターが配置
されることを特徴とする蛍光表示装置の製造方法。
【請求項７】請求項１〜６記載の蛍光表示装置の製造
方法において、前記蛍光面を形成した後でこの表面に金属膜を形成し、さらに、前記蛍光面と前記電子引き出し電極との間に、
前記金属膜に電気的に接続させて、前記電子引き出し電
極より高い電位が印加される電子加速電極を配置するこ
とを特徴とする蛍光表示装置の製造方法。