JP3667965B2 - Method for manufacturing fluorescent display device - Google Patents

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、電子線の衝撃による蛍光体の発光を利用した蛍光表示装置の製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
蛍光表示装置は、少なくとも一方が透明な真空容器の中で、電子放出部から放出される電子を、蛍光体に衝突発光させて発光させ、その発光光を利用する電子管である。
この蛍光表示装置は、通常では、電子の働きを制御するためのグリッドを備えた３極管構造のものが最も多く用いられている。
そして、従来では、電子放出部にフィラメントと呼ばれる陰極を用い、ここより放出される熱電子を蛍光体に衝突発光させていた。
このような蛍光表示装置の中で、大画面ディスプレイ装置の画素を構成する画像管がある。
【０００３】
以下、画像管について図３を用いて説明する。
はじめに概略を説明すると、円筒形のガラスバルブ３０１内に、蛍光面３０４、陽極電極構体３０５、そして、および電子放出部を構成するカソード構体３０６を配置する。そして、円筒形のガラスバルブ３０１の開口端に、透光性を有するフェースガラス３０２を低融点フリットガラス３０３により接着固定する。そして、ガラスバルブ３０１のステムガラス３０８に一体形成されている排気管３０８ａより真空排気することで、ガラスバルブ３０１内を真空状態としている。
【０００４】
それらの中で、フェースガラス３０２は、前面側に凸型レンズ状の球面部３０２ａを形成し、周縁部に鍔状に段差部３０２ｂを形成しておく。また、内面３０２ｃの主要面には、蛍光面３０４およびＡｌメタルバック膜３０７を順次積層して形成しておく。
また、フェースガラス３０２の内面３０２ｃの周辺部には、例えばステンレス材の薄板をプレス成形法により加工して形成した弾性力を有する接触片３０７ａの一端側を挿入してある。また、その接触片３０７ａは、例えばカーボンまたは銀とフリットガラスとの混合体からなる導電性接着材により、Ａｌメタルバック膜３０７に接触してフェースガラス３０２の内面３０２ｃの所定部分に接着固定する。そして、この接触片３０７ａの他端側は、ガラスバルブ３０１の内壁面方向に向けて延在した状態としておく。
【０００５】
一方、ガラスバルブ３０１底部を構成するステムガラス３０８には、リードピン３０９ａ〜３０９ｅを挿通しておく。また、このステムガラス３０８上には、そのリードピン３０９ａの先端部に陽極リード３１０を溶接により固定し、この陽極リード３１０の先端部に円筒状の陽極電極構体３０５を溶接により固定配置して搭載する。
この陽極電極構体３０５は、例えばステンレス材の金属線をリング状に丸めて成形したリング状陽極３０５ａと、このリング状陽極３０５ａの外周面に矩形状のステンレス材の薄板を巻き付けて重ね合った部分を２点で溶接などにより固定して円筒形状に形成した円筒状陽極３０５ｂとから構成する。
【０００６】
また、この陽極電極構体３０５は、陽極リード３１０の先端部に対してリング状陽極３０５ａと所定の箇所で溶接し、さらに陽極リード３１０の最先端部分で円筒状陽極３０５ｂの内側との接触部分で溶接して固定した状態とする。
さらにこのリング状陽極３０５ａの一部には、Ｂａゲッター３０５ｃを溶接などより取り付け固定しておく。
【０００７】
また、リードピン３０９ｂ〜３０９ｅの先端部には、カソードリード３１１ｂ〜３１１ｅを溶接により固定し、このカソードリード３１１ｂ〜３１１ｅの先端部には、カソード構体３０６を溶接により固定配置した状態とする。
このカソード構体３０６は、次に示すように形成する。まず、セラミック基板３０６ａ上の中央部に背面電極３０６ｂを配置して固定する。次に、その上部に所定の間隔を開けてフィラメントカソード３０６ｃを２本の支柱により固定する。そして、それらを覆うように、メッシュ部３０６ｅを有する楕円状のグリッドハウジング３０６ｄを、セラッミック基板３０６ａ上に搭載する。なお、メッシュ部３０６ｅは、蛍光面３０４の方向に球面状に突出した形状としておく。
【０００８】
以上示したように形成される画像管は、まず、外部回路からリードピン３０９ｃ，３０９ｄに電圧（加熱電源）を供給することで、カソードリード３１１ｃ，３１１ｄを介し、フィラメントカソード３０６ｃに所定の電位を印加して熱電子が放出される状態とする。また、外部回路からリードピン３０９ｂに電圧を供給することで、カソードリード３１１ｂを介し、背面電極３０６ｂにフィラメントカソード３０６ｃに対して負の電位を印加する。加えて、外部回路からリードピン３０９ｅに電圧を供給することで、カソードリード３１１ｅを介し、グリトハウジング３０６ｄにフィラメントカソード３０６ｃに対して正の電位を印加することで、グリッドハウジング３０６ｄのメッシュ部３０６ｅより電子ビームを放出させる。
【０００９】
そして、外部回路からリードピン３０９ａに高電圧を供給し、陽極リード３１０→陽極電極構体３０５（円筒状陽極３０５ｂ）→接触片３０７ａの経路をそれぞれ導通してＡｌメタルバック膜３０７にその高電圧が印加された状態とすることで、放出された電子を円筒状陽極３０５ｂにより加速し、Ａｌメタルバック膜３０７を貫通させて蛍光面３０４に衝撃させる。この結果、蛍光面３０４は電子衝撃により励起し、蛍光面３０４を構成する蛍光体の応じた発光色をフェースガラス３０２を透過して前面側に発光表示することになる。
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、従来の蛍光表装置に用いられていた電子放出部としてのフィラメント（フィラメントカソード）は、主に、直径７〜２０μｍのタングステンの細線に、電子放射性物質を塗布して形成している。その電子放出物質としては、一般に、酸化バリウム・酸化カルシウム・酸化ストロンチウムのいわゆる三元酸化物から構成するようにしている。
ここで、これら酸化物は空気中ではきわめて不安定である、このため、フィラメントの作製においては、炭酸バリウム・炭酸カルシウム・炭酸ストロンチウムのいわゆる炭酸塩の形でタングステン細線に外形が２２〜３５μｍになるように塗布し、これを例えば、上述の画像管製造において、各部品とともに組み込んだ上で、外囲器内を真空排気してエージングする段階で酸化物にするようにしている。
【００１１】
したがって、従来の蛍光表示装置では、電子放出部として上述したようなフィラメントを用いるようにしているため、次に示すような問題点があった。
すなわち、非常に細く脆弱なフィラメントを架張して取り付け組み立てなければならないため、取り扱いに不便があり、製造しにくいという問題があった。また、上述したように、フィラメントカソードを作製するためには工数が非常に多い状態であった。
【００１２】
この発明は、以上のような問題点を解消するためになされたものであり、蛍光表示装置の電子放出部を、より容易に作製できるようにすることを目的とする。
【００１３】
【課題を解決するための手段】
この発明の蛍光表示装置の製造方法は、電子放出部を、先端に行くほど細くなっているノズルにより、円筒状のグラファイトの層からなるカーボンナノチューブより構成された構造体を板状の電極上に吹き付けて固定することで形成し、電子放出部品を外囲器内の所定位置に配置し、外囲器内の電子放出部品の電子放出側に配置して電子放出部品より電子を引き出すための電子引き出し電極配置するようにした。
このように製造するようにしたので、電子放出部品と電子引き出し電極とで電界放出型冷陰極電子源を構成できる。
【００１４】
【発明の実施の形態】
以下この発明の実施の形態を図を参照して説明する。
図１は、この発明の実施の形態における蛍光表示装置である画像管の構成を示す構成図である。
以下、この実施の形態における画像管の構成について、その製造方法とともに説明すると、まず、円筒形のガラスバルブ１０１中に、蛍光面１０４、陽極電極構体１０５、そして、および電子放出部を構成するカソード構体１０６を配置する。また、ガラスバルブ１０１の開口端に、フェースガラス１０２を低融点フリットガラス１０３により接着固定する。そして、ガラスバルブ１０１の底部にはステムガラス１０８を配置し、このステムガラス１０８に一体形成した排気管１０８ａより真空排気することで、ガラスバルブ１０１内を真空状態とする。
【００１５】
まず、フェースガラス１０２は、前面側には凸型レンズ状の球面部１０２ａを形成し、周縁部には鍔状に段差部１０２ｂを形成しておく。このフェースガラス１０２の内面１０２ｃには、その周辺部分の一部に窪み状の凹部も形成しておく。また、この内面１０２ｃの主要面には、蛍光面１０４を形成し、この蛍光面１０４表面にはＡｌメタルバック膜１０７を形成する。
なお、凹部内には蛍光面１０４は形成せず、Ａｌメタルバック膜１０７のみを形成するようにする。この、凹部内には、例えばステンレス材の薄板をプレス成形法により加工して形成された弾性力を有する接触片１０７ａの一端側を挿入配置する。この接触片１０７ａは、例えばカーボンまたは銀とフリットガラスとの混合体からなる導電性接着材により、その凹部部分に接着固定することで形成する。そして、この接触片１０７ａの他端側は、ガラスバルブ１０１の内壁面方向に向けて延在しておく。
【００１６】
ところで、蛍光面１０４は、白色蛍光体として、例えば、Ｙ₂Ｏ₂Ｓ：Ｔｂ＋Ｙ₂Ｏ₃：Ｅｕ混合蛍光体を溶媒に溶かし、これにバインダーを加えたペーストを約２０μｍ程度の厚さに内面１０２ｃに印刷塗布し、これを乾燥することで形成する。ここで、凹部内には蛍光面１０４は塗布しない状態としておく。なお、用いる蛍光体は、Ｙ₂Ｏ₂Ｓ：Ｔｂ＋Ｙ₂Ｏ₃：Ｅｕ混合蛍光体に限るものではなく、他の蛍光体を用いるようにしてもよいことはいうまでもない。
また、蛍光面１０４表面には、蒸着により約厚さ１５０ｎｍ程度にアルミニウム膜を成膜することで、Ａｌメタルバック膜１０７を形成する。ここで、凹部内には蛍光面１０４は塗布されていないので、Ａｌメタルバック膜１０７のみが形成された状態となる。
【００１７】
なお、このＡｌメタルバック膜１０７の厚さは薄すぎると、ピンホールが増加して蛍光面１０４の反射が減少する。一方、その厚さが厚すぎると、蛍光面１０４に対する電子ビームの電子の侵入が阻害されて発光が小さくなる。したがって、Ａｌメタルバック膜１０７の厚さのコントロールは重要である。このため、前述したように、Ａｌメタルバック膜１０７は厚さを約１５０ｎｍ程度とした方がよい。
なお、それら蛍光面１０４及びＡｌメタルバック膜１０７を形成した後、フェースガラス１０２を、例えば電気炉などにより５６０℃で３０分程度空気中で焼成し、塗布膜中の溶媒類を除去する。
【００１８】
そして、このフェースガラス１０２は、例えば、直径約２０ｍｍ，長さ約５０ｍｍの両端が切断されたガラスバルブ１０１の一方の開口端に、フェースガラス１０２の周縁部に形成された鍔状の段差部１０２ｂ部分で、低融点フリットガラス１０３により接着固定する。
これは、その接着面に低融点フリットガラスペーストを塗布し、フェースガラス１０２の段差部１０２ｂ部分とガラスバルブ１０１の開口端とを、その低融点フリットガラスペーストを介してつき合わせ、これらを加熱焼成すればよい。
【００１９】
一方、ガラスバルブ１０１底部のステムガラス１０８部分には、リードピン１０９を挿通して形成する。また、そのリードピン１０９の先端部に、陽極リード１１０を溶接により固定し、この陽極リード１１０の先端部に、円筒状の陽極電極構体（電子加速電極）１０５を溶接により固定配置する。
この陽極電極構体１０５の形成について説明すると、まず、例えばステンレス材の金属線（線径約０．５ｍｍ）をリング状に丸めることで、リング状陽極１０５ａを成形する。そして、このリング状陽極１０５ａの外周面に、矩形状のステンレス材の薄板（板厚０．０１〜０．０２ｍｍ）を巻き付け、重ね合った部分を溶接点１０５ｄと溶接点１０５ｅの２カ所で溶接して固定する。このことにより、円筒形状に円筒状陽極１０５ｂを形成できる。
【００２０】
また、この陽極電極構体１０５は、陽極リード１１０の先端部に対してリング状陽極１０５ａと所定の箇所で溶接し、さらに、陽極リード１１０の最先端部分で円筒状陽極１０５ｂの内側との接触部分で溶接して固定する。さらに、このリング状陽極１０５ａの一部には、Ｂａゲッター１０５ｃを溶接などより取り付け固定する。なお、図１（ａ）において、陽極電極構体１０５やリードピン１０９に関しては、断面を示していない。
【００２１】
また、ステムガラス１０８には、リードピン１０９ａ，１０９ｂも挿通し、リードピン１０９ａ，１０９ｂの先端部には、カソードリード１１１ａ，１１１ｂを溶接により固定し、このカソードリード１１１ａ，１１１ｂの先端部には、カソード構体１０６を溶接により固定配置する。
このカソード構体１０６は、次に示すように形成する。まず、セラミック基板１０６ａ上の中央部に、電極（導電板）１０６ｂを配置する。また、その上面に、図１（ｂ）に拡大表示したように、約３ｍｍφの領域に、カーボンナノチューブの集合体からなる長さ数ｍｍの針形状の柱状グラファイト（構造体）１２１を、その長手方向をほぼ蛍光面１０４の方向に向けて固定配置する。この電極１０６と柱状グラファイト１２１とで電子放出部品が構成されていることになる。
【００２２】
その柱状グラファイト１２１は、導電性接着剤１２２により固定配置する。この固定は、例えば、導電性接着剤１２２を介して柱状グラファイト１２１を電極１０６ｂ上に配置し、導電性接着剤１２２の溶剤などを揮発させ、その後、空気中で４０〜６００℃程度に１５〜６０分間程度加温して焼成すればよい。このように、酸素が存在する雰囲気で焼成を行うことで、製造過程で副生成物などとして柱状グラファイト１２１に付着している炭素粉を、焼失させることができる。この炭素粉が残留していると、振動などにより飛散し、悪影響を及ぼす原因となる場合がある。なお、この焼成は、例えば、１〜１０^-3Ｔｏｒｒ程度に真空排気された雰囲気で行うようにしてもよい。
そして、それらを覆うように、メッシュ部（電子引き出し電極）１０６ｅを備えたハウジング１０６ｄを配置する。
【００２３】
この柱状グラファイト１２１は、図１（ｃ）に示すように、カーボンナノチューブ１２１ａが、ほぼ同一方向を向いて集合した構造体である。なお、この図１（ｃ）は、柱状グラファイト１２１を途中で切った断面を見る斜視図である。
そして、カーボンナノチューブ１２１ａは、例えば図１（ｄ）に示すように、完全にグラファイト化して筒状をなし、その直径は４〜５０ｎｍ程度であり、その長さはミクロンオーダである。そして、図１（ｅ）に示すように、その先端部は五員環が入ることにより閉じている。
このカーボンナノチューブは、ヘリウムガス中で２本の炭素電極を１〜２ｍｍ程度離した状態で直流アーク放電を起こすことで、陽極側の炭素が蒸発して陰極側の炭素電極先端に凝集した堆積物中に形成できる。
【００２４】
すなわち、炭素電極間のギャップを１ｍｍ程度に保った状態で、ヘリウム中で安定なアーク放電を持続させ、陽極の炭素電極の直径とほぼ同じ径をもつ円柱状の堆積物を陰極先端に形成する。その円柱状の堆積物は、外側の固い殻と、その内側のもろくて黒い芯との２つの領域から構成されている。そして、内側の芯は、堆積物柱の長さ方向にのびた繊維状の組織をもっている。その繊維状の組織が、上述した柱状グラファイトであり、堆積物柱を切り出すことなどにより、柱状グラファイトを得ることができる。なお、外側の固い殻は、グラファイトの多結晶体である。
【００２５】
そして、その柱状グラファイトにおいて、カーボンナノチューブは、炭素の多面体微粒子（ナノポリヘドロン：nanopolyhedoron）とともに、複数が集合している。
そのカーボンナノチューブは、図１（ｄ），（ｅ）では模式的に示したように、グラファイトの単層が円筒状に閉じた形状と、複数のグラファイトの層が入れ子構造的に積層し、それぞれのグラファイト層が円筒状に閉じた同軸多層構造となっている形状とがある。そして、それらの中心部分は、空洞となっている。
【００２６】
以上示したように、この実施の形態においては、カーボンナノチューブ１２０ａからなる柱状グラファイト１２１を電極１０６ｂ上に固定配置し、そして、それらを覆うように、ハウジング１０６ｄをセラッミック基板１０６ａ上に搭載した状態とすることでカソード構体１０６を形成した。
なお、メッシュ部１０６ｅは、蛍光面１０４の方向に球面状に突出した形状とする。また、このハウジング１０６ｄは、板厚が約１００μｍ程度のステンレス板材をプレス成形することにより形成する。また、メッシュ部１０６ｅは、例えば縦方向寸法が約６ｍｍ，横方向寸法が約４ｍｍとし、高さが約１．２５ｍｍの大きさに形成する。そして、メッシュ部１０６ｅは、柱状グラファイト１２１先端部より０．５〜１ｍｍ程度離間した状態とする。なお、これらの間隔は、接触しない状態でなるべく近づけた方がよい。
【００２７】
次に、電子放出部である柱状グラファイト１２１が固定配置された電極１０６ｂ部分の作製に関して、より詳細に説明する。
まず、金属板を加工することで、図２（ａ）に示すように、所定の形状の板状の形状部分２０１がリードフレーム状にフレーム２０１ａに接続された状態とする。
ついで、図２（ｂ）に示すように、形状部分２０１表面の所定領域に、導電性接着剤２０２を塗布形成する。
次に、図２（ｃ）の断面図に示すように、ノズル２１０を用いて微粉末状の柱状グラファイト２０３を、形状部分２０１上の導電性接着剤２０２それぞれの上に吹き付けていく。このとき、柱状グラファイト２０３の長手方向が、形状部分２０１平面に垂直となるようにする。
【００２８】
ここで、ノズル２１０は先端に行くほど細くなっており、先端部の開口広さが、０．１〜数ｍｍφ程度となっていればよい。
また、ノズル２１０によるエアの吐出圧は１〜数ｋｇ／ｃｍ^-2程度とし、ことのき用いるエアは、通常の空気や窒素など出よく、湿度を低くしたドライエアを用いればよい。
以上の条件とすることで、柱状グラファイト２０３が、その長手方向が形状部分２０１平面にほぼ垂直な状態で、導電性接着剤２０２に吹き付けられるようになる。
【００２９】
次に、導電性接着剤２０２を焼成して固化する。この焼成は、酸素が存在する雰囲気で高温処理することにより行う。ついで、その後、図２（ｅ）に示すように、柱状グラファイト２０３が形成された形状部分２０１を、フレーム２０１ａより切り出す。
そして、形状部分２０１の両端２０１ｂを折り曲げることで、図２（ｆ）に示すように、表面に柱状グラファイト２０３が形成された電極２０４が形成される。そして、この電極２０４を図１に示したセラミック基板１０６ａ上の中央部に配置するなどのことにより、図１に示すように、電極１０６ｂが形成できる。
【００３０】
以上示したように、ノズルを用いて微細な柱状グラファイトを吹き付けるようにすることで、電子放出部を形成するようにしたので、電子放出部の形成が容易であり、また、電子放出部の形成領域をより微細にすることができる。
加えて、上述にことにより、あらかじめ電子放出部である柱状グラファイトが固定された電極を複数形成しておくことが可能となり、例えば、あらかじめ電子放出特性を検査しておき、特性のよいものだけを用いるようにすることも可能である。
【００３１】
以上示したように形成される画像管は、まず、外部回路からリードピン１０９ａ，１０９ｂに電圧を供給することで、カソードリード１１１ａ，１１１ｂを介して電極１０６とハウジング１０６ｄとの間に電界をかける。そして、このことにより、電極１０６上に固定配置された柱状グラファイト１２１のカーボンナノチューブ先端に高電界を集中させ、電子を引き出してメッシュ部１０６ｅより放出させる。すなわち、この実施の形態によれば、電子放出部であるカソード構体１０６が、柱状グラファイト１２１のカーボンナノチューブ１２１ａより電子が放出される、電界放出型冷陰極電子源の構成となる。
【００３２】
そして、外部回路からリードピン１０９に高電圧を供給し、陽極リード１１０→陽極電極構体１０５（円筒状陽極１０５ｂ）→接触片１０７ａの経路をそれぞれ導通してＡｌメタルバック膜１０７にその高電圧が印加された状態とすることで、放出された電子を円筒状陽極１０５ｂにより加速し、Ａｌメタルバック膜１０７を貫通させて蛍光面１０４に衝撃させる。この結果、蛍光面１０４は電子衝撃により励起し、蛍光面１０４を構成する蛍光体の応じた発光色を、フェースガラス１０２を透過して前面側に発光表示することになる。
【００３３】
以上示したように、この実施の形態によれば、カーボンナノチューブを配置することで電子放出部を形成した。この結果、電子放出部は電界放出型冷陰極電子源なる。
したがって、この実施の形態によれば、電子放出部は、フィラメントのような脆弱な部品を用いるようにしていないので、簡便に取り扱うことができ、容易に形成することが可能となる。
また、フィラメントの加熱電源も必要がないので、リードピンの数が減らせ、より製造を簡略化できる。
【００３４】
なお、上記実施の形態では、画像管について説明したが、これに限るものではな。この発明は、真空容器内に蛍光体からなる発光部と、これを発光させるための電子放出源とを備えた、その他の蛍光表示装置にも適用できることはいうまでもない。
例えば、フェースガラスと蛍光面との間に光学フィルターを形成してもよい。このように光学フィルターを形成することで、発光色を変化させた画像管とすることができる。また、同一の真空容器内に複数の蛍光面を備え、多色化をした画像管とするようにしてもよい。
また、蛍光面を所望の形状とし、所望の形状のキャラクタを表示する平型管とするようにしてもよい。
【００３５】
【発明の効果】
以上説明したように、この発明では、蛍光表示管を構成する外囲器内に、円筒状のグラファイトの層からなるカーボンナノチューブより構成された構造体を先端部が蛍光面側に向かって板状の電極上に固定配置した電子放出部品を形成し、外囲器内の電子放出部品の電子放出側に配置して電子放出部品より電子を引き出すための電子引き出し電極を形成するようにした。そして、その電子放出部品は、先端に行くほど細くなっているノズルにより、構造体を板状の電極上に吹き付けて固定することで形成するようにした。
すなわち、この発明によれば、まず、カーボンナノチューブからなる構造体からなる電子放出部品と、電子引き出し電極とにより、電界放出型冷陰極電子源が構成できる。この結果、この発明によれば、まず、蛍光表示装置の電子放出部を、フィラメントのような脆弱な部品を用いることなく作製できるようになり、ひいては、蛍光表示装置をより容易に製造できるようになる。そして、構造体をノズルにより電極上に吹き付けることで電子放出部品を形成するようにしたので、より容易に電子放出部品を作成できるという効果を有する。
【図面の簡単な説明】
【図１】 この発明の実施の形態における画像管の構成を示す構成図である。
【図２】 電子放出部品である柱状グラファイト１２１が形成された電極１０６ｂの作製を説明するための説明図である。
【図３】 従来の画像管の構成を示す構成図である。
【符号の説明】
１０１…ガラスバルブ、１０２…フェースガラス、１０３…低融点フリットガラス、１０４…蛍光面、１０５…陽極電極構体、１０５ａ…リング状陽極、１０５ｂ…円筒状陽極、１０５ｃ…Ｂａゲッター、１０６…カソード構体、１０６ａ…セラミック基板、１０６ｂ…電極（導電板）、１０６ｄ…ハウジング、１０６ｅ…メッシュ部（電子引き出し電極）、１０７…Ａｌメタルバック膜、１０７ａ…接触片、１０８…ステムガラス、１０８ａ…排気管、１０９，１０９ａ，１０９ｂ…リードピン、１１０…陽極リード、１１１ａ，１１１ｂ…カソードリード、１２１…柱状グラファイト（構造体）、１２１ａ…カーボンナノチューブ、１２２…導電性接着剤。[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to a method for manufacturing a fluorescent display device that utilizes light emission of a phosphor by impact of an electron beam.
[0002]
[Prior art]
A fluorescent display device is an electron tube that uses electrons emitted from an electron emitting portion to emit light by colliding with a phosphor to emit light in a vacuum container that is at least one transparent.
In general, this fluorescent display device is most commonly used in a triode structure having a grid for controlling the action of electrons.
Conventionally, a cathode called a filament is used for the electron emitting portion, and the thermoelectrons emitted from the cathode are caused to collide with the phosphor to emit light.
Among such fluorescent display devices, there is an image tube that constitutes a pixel of a large screen display device.
[0003]
The image tube will be described below with reference to FIG.
First, the outline will be described. In a cylindrical glass bulb 301, a phosphor screen 304, an anode electrode assembly 305, and a cathode assembly 306 constituting an electron emission portion are arranged. Then, a face glass 302 having translucency is bonded and fixed to the opening end of the cylindrical glass bulb 301 with a low melting point frit glass 303. And the inside of the glass bulb 301 is made into a vacuum state by carrying out vacuum exhaust from the exhaust pipe 308a integrally formed in the stem glass 308 of the glass bulb 301.
[0004]
Among them, the face glass 302 is formed with a convex lens-shaped spherical surface portion 302a on the front surface side and a stepped portion 302b in a bowl shape on the peripheral edge portion. In addition, a fluorescent screen 304 and an Al metal back film 307 are sequentially stacked on the main surface of the inner surface 302c.
In addition, one end side of a contact piece 307a having an elastic force formed by processing, for example, a stainless steel thin plate by a press molding method is inserted in a peripheral portion of the inner surface 302c of the face glass 302. Further, the contact piece 307a contacts the Al metal back film 307 and is bonded and fixed to a predetermined portion of the inner surface 302c of the face glass 302 by, for example, a conductive adhesive made of carbon or a mixture of silver and frit glass. And the other end side of this contact piece 307a is made into the state extended toward the inner wall surface direction of the glass bulb | bulb 301. FIG.
[0005]
On the other hand, lead pins 309a to 309e are inserted into the stem glass 308 constituting the bottom of the glass bulb 301. On the stem glass 308, an anode lead 310 is fixed to the tip of the lead pin 309a by welding, and a cylindrical anode electrode assembly 305 is fixedly mounted on the tip of the anode lead 310 by mounting. .
The anode electrode assembly 305 includes, for example, a ring-shaped anode 305a formed by rolling a stainless steel metal wire into a ring shape, and a portion in which a rectangular stainless steel thin plate is wound around and overlapped on the outer peripheral surface of the ring-shaped anode 305a. Are formed by a cylindrical anode 305b formed in a cylindrical shape by being fixed by welding or the like at two points.
[0006]
Further, the anode electrode assembly 305 is welded to the tip of the anode lead 310 at a predetermined location with the ring-shaped anode 305 a, and further at the contact portion with the inside of the cylindrical anode 305 b at the most distal portion of the anode lead 310. The state is fixed by welding.
Further, a Ba getter 305c is attached and fixed to a part of the ring-shaped anode 305a by welding or the like.
[0007]
The cathode leads 311b to 311e are fixed to the tip portions of the lead pins 309b to 309e by welding, and the cathode structure 306 is fixed to the tip portions of the cathode leads 311b to 311e by welding.
The cathode structure 306 is formed as follows. First, the back electrode 306b is arranged and fixed at the center on the ceramic substrate 306a. Next, the filament cathode 306c is fixed by two support columns at a predetermined interval above the upper portion. Then, an elliptical grid housing 306d having a mesh portion 306e is mounted on the ceramic substrate 306a so as to cover them. Note that the mesh portion 306e has a shape protruding in a spherical shape in the direction of the fluorescent screen 304.
[0008]
The image tube formed as described above first applies a predetermined potential to the filament cathode 306c via the cathode leads 311c and 311d by supplying a voltage (heating power) to the lead pins 309c and 309d from an external circuit. Thus, thermal electrons are emitted. Further, by supplying a voltage from the external circuit to the lead pin 309b, a negative potential is applied to the back electrode 306b via the cathode lead 311b with respect to the filament cathode 306c. In addition, by supplying a voltage to the lead pin 309e from an external circuit, a positive potential is applied to the filament housing 306d with respect to the filament cathode 306c via the cathode lead 311e, so that the mesh portion 306e of the grid housing 306d An electron beam is emitted.
[0009]
Then, a high voltage is supplied from the external circuit to the lead pin 309a, and the high voltage is applied to the Al metal back film 307 through the paths of the anode lead 310 → the anode electrode assembly 305 (cylindrical anode 305b) → the contact piece 307a. In this state, the emitted electrons are accelerated by the cylindrical anode 305 b and penetrate the Al metal back film 307 to be bombarded on the phosphor screen 304. As a result, the phosphor screen 304 is excited by electron impact, and the emission color corresponding to the phosphor constituting the phosphor screen 304 is transmitted through the face glass 302 and is displayed on the front side.
[0010]
[Problems to be solved by the invention]
By the way, a filament (filament cathode) used as an electron emission portion used in a conventional fluorescent surface device is mainly formed by applying an electron-emitting substance to a tungsten thin wire having a diameter of 7 to 20 μm. The electron emitting substance is generally composed of so-called ternary oxides of barium oxide, calcium oxide, and strontium oxide.
Here, these oxides are extremely unstable in the air. Therefore, in the production of the filament, the outer shape of the tungsten wire is 22 to 35 μm in the form of so-called carbonates of barium carbonate, calcium carbonate, and strontium carbonate. For example, in the above-described image tube manufacturing, it is incorporated together with each component, and then the inside of the envelope is evacuated and aged at the stage of aging.
[0011]
Therefore, the conventional fluorescent display device has the following problems because the filament as described above is used as the electron emission portion.
In other words, since a very thin and fragile filament must be stretched and assembled, there is a problem in that it is inconvenient to handle and difficult to manufacture. Further, as described above, the number of steps for producing the filament cathode was very large.
[0012]
The present invention has been made to solve the above-described problems, and an object of the present invention is to make it possible to more easily manufacture an electron emission portion of a fluorescent display device.
[0013]
[Means for Solving the Problems]
In the method for manufacturing a fluorescent display device according to the present invention, a structure composed of carbon nanotubes composed of a cylindrical graphite layer is formed on a plate-like electrode by a nozzle that has an electron emitting portion that becomes thinner toward the tip. An electron that is formed by spraying and fixing, and an electron emitting component is arranged at a predetermined position in the envelope, and arranged on the electron emission side of the electron emitting component in the envelope to extract electrons from the electron emitting component The extraction electrode was arranged.
Since it is manufactured in this way, a field emission type cold cathode electron source can be constituted by the electron emission component and the electron extraction electrode.
[0014]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.
FIG. 1 is a configuration diagram showing a configuration of an image tube which is a fluorescent display device according to an embodiment of the present invention.
Hereinafter, the configuration of the picture tube in this embodiment will be described together with its manufacturing method. First, in the cylindrical glass bulb 101, the phosphor screen 104, the anode electrode assembly 105, and the cathode constituting the electron emission portion. The structure 106 is disposed. Further, the face glass 102 is bonded and fixed to the opening end of the glass bulb 101 with a low melting point frit glass 103. Then, a stem glass 108 is disposed at the bottom of the glass bulb 101, and the inside of the glass bulb 101 is evacuated by evacuating from an exhaust pipe 108a formed integrally with the stem glass 108.
[0015]
First, the face glass 102 is formed with a convex lens-shaped spherical surface portion 102a on the front surface side and a stepped portion 102b in a bowl shape on the peripheral edge portion. This inner surface 102c of the face glass 102, the recess portion in a recess shape of the peripheral portion of that is also previously formed. A fluorescent screen 104 is formed on the main surface of the inner surface 102c, and an Al metal back film 107 is formed on the surface of the fluorescent screen 104.
Incidentally, the fluorescent screen 104 is a concave portion is not formed, so as to form only the Al metal-back film 107. This, in the concave portion, is inserted and disposed one end of the contact piece 107a having an elastic force which is formed by processing for example a sheet of stainless steel by a press molding method. The contact piece 107a is, for example more conductive bonding material made of a mixture of carbon or silver and frit glass, formed by adhesively fixed to the recess portion minutes. The other end side of the contact piece 107a extends toward the inner wall surface of the glass bulb 101.
[0016]
By the way, the phosphor screen 104 is a white phosphor, for example, a Y ₂ O ₂ S: Tb + Y ₂ O ₃ : Eu mixed phosphor dissolved in a solvent, and a paste added with a binder to the inner surface to a thickness of about 20 μm. It is formed by printing on 102c and drying it. Here, the concave portion keep the state of the phosphor screen 104 is not coated. The phosphor to be used is not limited to the Y ₂ O ₂ S: Tb + Y ₂ O ₃ : Eu mixed phosphor, and it goes without saying that another phosphor may be used.
An Al metal back film 107 is formed on the surface of the phosphor screen 104 by depositing an aluminum film to a thickness of about 150 nm by vapor deposition. Here, since the concave portion phosphor screen 104 is not applied, a state in which only the Al metal-back film 107 is formed.
[0017]
If the Al metal back film 107 is too thin, pinholes increase and reflection on the phosphor screen 104 decreases. On the other hand, if the thickness is too thick, the penetration of electrons into the phosphor screen 104 is hindered and light emission is reduced. Therefore, control of the thickness of the Al metal back film 107 is important. Therefore, as described above, the Al metal back film 107 should have a thickness of about 150 nm.
After forming the phosphor screen 104 and the Al metal back film 107, the face glass 102 is baked in air at 560 ° C. for about 30 minutes, for example, by an electric furnace or the like to remove the solvents in the coating film.
[0018]
The face glass 102 has, for example, a bowl-shaped stepped portion 102b formed at the peripheral edge of the face glass 102 at one opening end of the glass bulb 101 having both ends cut at a diameter of about 20 mm and a length of about 50 mm. At the part, it is bonded and fixed by the low melting point frit glass 103.
The low melting point frit glass paste is applied to the adhesive surface, the stepped portion 102b of the face glass 102 and the opening end of the glass bulb 101 are brought together through the low melting point frit glass paste, and these are heated and fired. do it.
[0019]
On the other hand, a lead pin 109 is inserted through the stem glass 108 at the bottom of the glass bulb 101. An anode lead 110 is fixed to the tip of the lead pin 109 by welding, and a cylindrical anode electrode assembly (electron acceleration electrode) 105 is fixed to the tip of the anode lead 110 by welding.
The formation of the anode electrode assembly 105 will be described. First, a ring-shaped anode 105a is formed by, for example, rounding a stainless steel metal wire (wire diameter: about 0.5 mm) into a ring shape. A rectangular stainless steel thin plate (thickness 0.01 to 0.02 mm) is wound around the outer peripheral surface of the ring-shaped anode 105a, and the overlapped portion is welded at two points, a welding point 105d and a welding point 105e. And fix. Thereby, the cylindrical anode 105b can be formed in a cylindrical shape.
[0020]
The anode electrode assembly 105 is welded to the tip of the anode lead 110 at a predetermined location with the ring-shaped anode 105a, and further, a contact portion with the inside of the cylindrical anode 105b at the most distal portion of the anode lead 110. Weld and fix with. Further, a Ba getter 105c is attached and fixed to a part of the ring-shaped anode 105a by welding or the like. In FIG. 1A, the anode electrode assembly 105 and the lead pin 109 are not shown in cross section.
[0021]
Further, lead pins 109a and 109b are also inserted into the stem glass 108, and cathode leads 111a and 111b are fixed to the tip portions of the lead pins 109a and 109b by welding. The structure 106 is fixedly arranged by welding.
The cathode structure 106 is formed as follows. First, an electrode (conductive plate) 106b is arranged at the center on the ceramic substrate 106a. Further, on the upper surface, as shown in an enlarged view in FIG. 1 (b), a needle-shaped columnar graphite (structure) 121 having a length of several millimeters made of an aggregate of carbon nanotubes is formed in the region of about 3 mmφ. The direction is fixedly arranged so that the direction is substantially in the direction of the phosphor screen 104. The electrode 106 and the columnar graphite 121 constitute an electron emission component.
[0022]
The columnar graphite 121 is fixedly arranged by a conductive adhesive 122. For this fixing, for example, the columnar graphite 121 is disposed on the electrode 106b via the conductive adhesive 122, the solvent of the conductive adhesive 122 is volatilized, and then 15 to about 40 to 600 ° C. in the air. What is necessary is just to heat and heat for about 60 minutes. In this way, by performing firing in an atmosphere in which oxygen is present, the carbon powder adhering to the columnar graphite 121 as a by-product during the manufacturing process can be burned off. If this carbon powder remains, it may be scattered by vibrations or the like, which may cause adverse effects. The firing may be performed in an atmosphere evacuated to about 1 to 10 ⁻³ Torr, for example.
And the housing 106d provided with the mesh part (electron extraction electrode) 106e is arrange | positioned so that they may be covered.
[0023]
As shown in FIG. 1C, the columnar graphite 121 is a structure in which carbon nanotubes 121a are gathered in substantially the same direction. In addition, this FIG.1 (c) is a perspective view which sees the cross section which cut the columnar graphite 121 in the middle.
For example, as shown in FIG. 1 (d), the carbon nanotube 121a is completely graphitized to form a cylindrical shape, the diameter thereof is about 4 to 50 nm, and the length thereof is on the order of microns. And as shown in FIG.1 (e), the front-end | tip part is closed when a five-membered ring enters.
This carbon nanotube is a deposit in which carbon on the anode side evaporates and aggregates at the tip of the carbon electrode on the cathode side by causing a direct current arc discharge in a state where the two carbon electrodes are separated by about 1 to 2 mm in helium gas. Can be formed inside.
[0024]
That is, a stable arc discharge is maintained in helium with the gap between the carbon electrodes kept at about 1 mm, and a cylindrical deposit having a diameter substantially the same as the diameter of the carbon electrode of the anode is formed at the cathode tip. . The cylindrical deposit is composed of two regions: an outer hard shell and a fragile black core inside. The inner core has a fibrous structure extending in the length direction of the deposit column. The fibrous structure is the above-described columnar graphite, and columnar graphite can be obtained by cutting out a deposit column. The outer hard shell is a polycrystalline graphite.
[0025]
In the columnar graphite, a plurality of carbon nanotubes are aggregated together with carbon polyhedral fine particles (nanopolyhedron).
As schematically shown in FIGS. 1D and 1E, the carbon nanotube has a shape in which a single graphite layer is closed in a cylindrical shape, and a plurality of graphite layers are laminated in a nested structure, The graphite layer has a coaxial multilayer structure in which the graphite layer is closed in a cylindrical shape. And those central parts are hollow.
[0026]
As described above, in this embodiment, the columnar graphite 121 made of the carbon nanotubes 120a is fixedly disposed on the electrode 106b, and the housing 106d is mounted on the ceramic substrate 106a so as to cover them. Thus, the cathode structure 106 was formed.
Note that the mesh portion 106 e has a shape protruding in a spherical shape in the direction of the phosphor screen 104. The housing 106d is formed by press molding a stainless steel plate having a thickness of about 100 μm. The mesh portion 106e is formed to have a size of about 6 mm in the vertical direction, about 4 mm in the horizontal direction, and about 1.25 mm in height. And the mesh part 106e is made into the state spaced apart about 0.5 to 1 mm from the columnar graphite 121 front-end | tip part. Note that these intervals should be as close as possible without contact.
[0027]
Next, the production of the electrode 106b portion in which the columnar graphite 121 as the electron emission portion is fixedly arranged will be described in more detail.
First, by processing the metal plate, as shown in FIG. 2A, a plate-shaped portion 201 having a predetermined shape is connected to the frame 201a in a lead frame shape.
Next, as shown in FIG. 2B, a conductive adhesive 202 is applied and formed in a predetermined region on the surface of the shape portion 201.
Next, as shown in the cross-sectional view of FIG. 2C, fine powder columnar graphite 203 is sprayed onto each conductive adhesive 202 on the shape portion 201 using a nozzle 210. At this time, the longitudinal direction of the columnar graphite 203 is set to be perpendicular to the plane of the shape portion 201.
[0028]
Here, the nozzle 210 is thinner toward the tip, and the opening area of the tip may be about 0.1 to several mmφ.
Further, the discharge pressure of air from the nozzle 210 is about 1 to several kg / cm ^−2, and the air used at this time may be normal air or nitrogen, and dry air with low humidity may be used.
By setting it as the above conditions, the columnar graphite 203 comes to be sprayed on the conductive adhesive 202 in a state where the longitudinal direction thereof is substantially perpendicular to the plane of the shape portion 201.
[0029]
Next, the conductive adhesive 202 is fired and solidified. This firing is performed by high-temperature treatment in an atmosphere containing oxygen. Subsequently, as shown in FIG. 2 (e), the shape portion 201 on which the columnar graphite 203 is formed is cut out from the frame 201a.
Then, by bending both ends 201b of the shape portion 201, as shown in FIG. 2 (f), an electrode 204 having a columnar graphite 203 formed on the surface is formed. Then, by arranging the electrode 204 at the center of the ceramic substrate 106a shown in FIG. 1, the electrode 106b can be formed as shown in FIG.
[0030]
As described above, since the electron emission portion is formed by spraying fine columnar graphite using a nozzle, it is easy to form the electron emission portion, and the formation of the electron emission portion. The region can be made finer.
In addition, by the above, it becomes possible to form a plurality of electrodes to which columnar graphite, which is an electron emission portion, is fixed in advance. For example, the electron emission characteristics are inspected in advance, and only those with good characteristics are obtained. It is also possible to use it.
[0031]
The image tube formed as described above first applies an electric field between the electrode 106 and the housing 106d through the cathode leads 111a and 111b by supplying a voltage from an external circuit to the lead pins 109a and 109b. As a result, a high electric field is concentrated on the tip of the carbon nanotube of the columnar graphite 121 fixedly arranged on the electrode 106, and electrons are drawn out and emitted from the mesh portion 106e. That is, according to this embodiment, the cathode structure 106 serving as an electron emission portion has a configuration of a field emission cold cathode electron source in which electrons are emitted from the carbon nanotubes 121 a of the columnar graphite 121.
[0032]
Then, a high voltage is supplied from the external circuit to the lead pin 109, and the high voltage is applied to the Al metal back film 107 through the paths of the anode lead 110 → the anode electrode assembly 105 (cylindrical anode 105b) → the contact piece 107a. In this state, the emitted electrons are accelerated by the cylindrical anode 105b, penetrate the Al metal back film 107, and are bombarded on the phosphor screen 104. As a result, the phosphor screen 104 is excited by electron impact, and the light emission color corresponding to the phosphor constituting the phosphor screen 104 is transmitted through the face glass 102 and is emitted and displayed on the front side.
[0033]
As described above, according to this embodiment, the electron emission portion is formed by arranging the carbon nanotubes. As a result, the electron emission portion becomes a field emission type cold cathode electron source.
Therefore, according to this embodiment, since the electron emitting portion is not made of a fragile component such as a filament, it can be easily handled and can be easily formed.
In addition, since there is no need for a heating power source for the filament, the number of lead pins can be reduced and the manufacturing can be further simplified.
[0034]
Although the image tube has been described in the above embodiment, the present invention is not limited to this. Needless to say, the present invention can also be applied to other fluorescent display devices that include a light emitting portion made of a phosphor in a vacuum container and an electron emission source for causing the phosphor to emit light.
For example, an optical filter may be formed between the face glass and the fluorescent screen. By forming the optical filter in this way, it is possible to obtain an image tube whose emission color is changed. In addition, a plurality of fluorescent screens may be provided in the same vacuum vessel to obtain a multi-colored image tube.
Further, the fluorescent screen may have a desired shape, and a flat tube that displays a character having a desired shape may be used.
[0035]
【The invention's effect】
As described above, according to the present invention, in the envelope constituting the fluorescent display tube, the structure composed of carbon nanotubes composed of a cylindrical graphite layer is formed in a plate shape with the tip portion facing the phosphor screen side. The electron emission component fixedly arranged on the electrode is formed, and the electron emission electrode for extracting electrons from the electron emission component is formed by arranging the electron emission component on the electron emission side of the electron emission component in the envelope. The electron emission component is formed by spraying and fixing the structure onto a plate-like electrode with a nozzle that becomes thinner toward the tip.
That is, according to the present invention, first, a field emission cold cathode electron source can be constituted by an electron emission component made of a structure made of carbon nanotubes and an electron extraction electrode. As a result, according to the present invention, first, the electron emission portion of the fluorescent display device can be manufactured without using a fragile component such as a filament, so that the fluorescent display device can be manufactured more easily. Become. Since the electron-emitting component is formed by spraying the structure onto the electrode with a nozzle, there is an effect that the electron-emitting component can be created more easily.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a configuration diagram showing a configuration of an image tube according to an embodiment of the present invention.
FIG. 2 is an explanatory diagram for explaining the production of an electrode 106b on which columnar graphite 121, which is an electron emission component, is formed.
FIG. 3 is a configuration diagram showing a configuration of a conventional picture tube.
[Explanation of symbols]
DESCRIPTION OF SYMBOLS 101 ... Glass bulb, 102 ... Face glass, 103 ... Low melting point frit glass, 104 ... Phosphor screen, 105 ... Anode electrode structure, 105a ... Ring-shaped anode, 105b ... Cylindrical anode, 105c ... Ba getter, 106 ... Cathode structure, 106a ... ceramic substrate 106b ... electrode (conductive plate) 106d ... housing 106e ... mesh part (electron extraction electrode) 107 ... Al metal back film 107a ... contact piece 108 ... stem glass 108a ... exhaust pipe 109 109a, 109b ... lead pins, 110 ... anode leads, 111a, 111b ... cathode leads, 121 ... columnar graphite (structure), 121a ... carbon nanotubes, 122 ... conductive adhesive.

Claims (8)

少なくとも一部が透光性を有する表示面を有しかつ内部が真空排気された外囲器と、前記表示面の内側に形成された蛍光体からなり電子の衝撃により発光する蛍光面を備えた蛍光表示管の製造方法において、
円筒状のグラファイトの層からなるカーボンナノチューブより構成された構造体を、先端に行くほど細くなっているノズルにより板状の電極上に吹き付けて固定することで、前記電極上に前記構造体が固定配置された電子放出部品を形成し、
前記電子放出部品を前記外囲器内の所定位置に配置し、
前記外囲器内の前記電子放出部品の電子放出側に配置して前記電子放出部品より電子を引き出すための電子引き出し電極を配置する
ことを特徴とする蛍光表示装置の製造方法。An envelope having at least a part having a light-transmitting display surface and evacuated inside, and a phosphor screen made of a phosphor formed inside the display surface and emitting light by electron impact In the method of manufacturing a fluorescent display tube,
A structure composed of carbon nanotubes composed of a cylindrical graphite layer is fixed by spraying onto a plate-like electrode with a nozzle that becomes thinner toward the tip, thereby fixing the structure on the electrode. Forming the arranged electron emitting components,
Placing the electron emitting component in a predetermined position in the envelope;
A method for manufacturing a fluorescent display device, comprising: an electron extraction electrode disposed on an electron emission side of the electron emission component in the envelope to extract electrons from the electron emission component. 請求項１記載の蛍光表示装置の製造方法において、
前記電子放出部品は、導電性を有する接着剤で、前記電極上に前記構造体を固定することにより形成する
ことを特徴とする蛍光表示装置の製造方法。In the manufacturing method of the fluorescent display device according to claim 1,
The method of manufacturing a fluorescent display device, wherein the electron-emitting component is formed by fixing the structure on the electrode with an adhesive having conductivity. 請求項２記載の蛍光表示装置の製造方法において、
前記構造体の導電性を有する接着剤による固定は、酸素が存在する雰囲気で高温処理して焼成することにより行うことを特徴とする蛍光表示装置の製造方法。In the manufacturing method of the fluorescent display device according to claim 2,
The method for manufacturing a fluorescent display device is characterized in that the structure is fixed with a conductive adhesive by high-temperature treatment and baking in an atmosphere containing oxygen. 請求項１〜３いずれか１記載の蛍光表示装置の製造方法において、
前記電子放出部品は、前記カーボンナノチューブの集合体からなる柱状グラファイトから構成されていることを特徴とする蛍光表示装置の製造方法。In the manufacturing method of the fluorescent display device of any one of Claims 1-3,
The method of manufacturing a fluorescent display device, wherein the electron emission component is composed of columnar graphite made of an aggregate of the carbon nanotubes. 請求項４記載の蛍光表示装置の製造方法において、
前記柱状グラファイトは、その先端部が前記蛍光面に向いた状態で配置されることを特徴とする蛍光表示装置の製造方法。In the manufacturing method of the fluorescent display device according to claim 4,
The method for manufacturing a fluorescent display device, wherein the columnar graphite is disposed in a state in which a tip portion thereof faces the phosphor screen. 請求項１〜５記載の蛍光表示装置の製造方法において、
前記引き出し電極は、前記蛍光面と前記電子放出部品との間に配置されることを特徴とする蛍光表示装置の製造方法。In the manufacturing method of the fluorescent display device of Claims 1-5,
The method of manufacturing a fluorescent display device, wherein the extraction electrode is disposed between the fluorescent screen and the electron emission component. 請求項１〜６記載の蛍光表示装置の製造方法において、
前記蛍光面と前記表示面との間に光学フィルターが配置されることを特徴とする蛍光表示装置の製造方法。The method of manufacturing a fluorescent display device according to claim 1 to 6, wherein,
An optical filter is disposed between the fluorescent screen and the display surface, and the method for manufacturing a fluorescent display device. 請求項１〜７記載の蛍光表示装置の製造方法において、
前記蛍光面を形成した後でこの表面に金属膜を形成し、
さらに、前記蛍光面と前記電子引き出し電極との間に、前記金属膜に電気的に接続させて、前記電子引き出し電極より高い電位が印加される電子加速電極を配置する
ことを特徴とする蛍光表示装置の製造方法。The method of manufacturing a fluorescent display device according to claim 1 to 7, wherein,
After forming the phosphor screen, forming a metal film on this surface,
Further, a fluorescent display comprising: an electron acceleration electrode that is electrically connected to the metal film and to which a higher potential is applied than the electron extraction electrode is disposed between the phosphor screen and the electron extraction electrode. Device manufacturing method.

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