JPH11254166A - 加工装置及び方法 - Google Patents
加工装置及び方法Info
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- JPH11254166A JPH11254166A JP10367323A JP36732398A JPH11254166A JP H11254166 A JPH11254166 A JP H11254166A JP 10367323 A JP10367323 A JP 10367323A JP 36732398 A JP36732398 A JP 36732398A JP H11254166 A JPH11254166 A JP H11254166A
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Abstract
異物のすり込みなどの発生がなく、かつ薄シート体の加
工速度を従来に比べて向上させることができるシート状
体用加工装置及び方法を提供する。 【解決手段】 シート状体1の加工領域104の周囲の
一部分のみを接触面123にて吸着してシート状体を保
持する保持部材121を設け、上記接触面の吸着を維持
した状態でかつ上記接触面が既に加工済みの領域に物理
的に接触しないように上記保持部材と上記シート状体と
を相対的に移動させる。よって、既加工領域の変形や、
既加工領域への異物の刷り込みを防止することが可能と
なる。
Description
板等に使用される薄いシート体の表面を例えばレーザ加
工するシート状体用の加工装置及び加工方法に関する。
層基板等に使用される樹脂製や金属製の薄シート体で
は、所望の加工箇所に微少なパターンを高速かつ高精度
に加工するため、レーザ光による加工が検討されるよう
になってきた。特に多層基板用のビア電極用の貫通孔
(ビアホール)を加工する場合には、3次元的な高集積
化のため、高い加工精度が要求される。又、これらの薄
シート体を大量に低コストで加工するため、元となる大
面積の1枚の薄シート体上に格子状にできるだけ多数の
回路を配置し、このような各回路に対してレーザ加工が
なされることが望まれている。薄く大きな面積の薄シー
ト体を精度よくレーザ加工するための装置として、本願
出願人は、例えば特願平9−23081号にて図7及び
図8に示すようなレーザ加工装置50を提案している。
該レーザ加工装置50には、薄シート体1に張力を与え
るクランプ装置51と、薄シート体1において一つの回
路部分に対応する一区画部分2を上記張力による平面状
態を維持し得るようにして吸着支持する、下記に示すよ
うに枠状部材11及び吸引装置55を有する吸着支持装
置52と、吸着支持装置52によって吸着支持された一
区画部分2をレーザ加工するレーザ光照射装置53と、
薄シート体1のそれぞれの上記一区画部分2が順次レー
ザ加工されるようにレーザ光照射装置53及び吸着支持
装置52に対し薄シート体1を相対的に移動させる移動
装置54と、薄シート体1に対して該薄シート体1の厚
み方向へ上記枠状部材11を移動させかつ位置決めする
位置決め装置56と、を備えている。
に、角パイプ状の枠状部材11と、吸引装置55とを備
える。枠状部材11において、薄シート体1に対面する
接触面11aには、該接触面11aが薄シート体1の上
記一区画部分2を全周的に包囲して吸着支持するように
複数の先端開口部12aが設けられ、それぞれの先端開
口部12aは枠状部材11内で管路12にて相互に連通
され、該管路12及び管13を介して吸引装置55に接
続される。又、上記位置決め装置56により、枠状部材
11と薄シート体1との接触及び離開が行なわれ、その
離開位置に枠状部材11を配置することで枠状部材11
と薄シート体1とを非接触の状態で上記移動装置54に
て薄シート体1を高速で移動させることができる。
に構成されるレーザ加工装置50では、移動装置54に
より薄シート体1を移動させるために位置決め装置56
によって枠状部材11を上記移動のたびに上記厚み方向
に位置決めする必要があり、薄シート体1の加工速度を
さらに向上させるための弊害となる。該弊害を排除する
ためには、枠状部材11が薄シート体1を吸着したまま
の状態で、次に加工される上記一区画部分2へ枠状部材
11と薄シート体1とを相対移動させる方法がある。し
かしながらこのような操作を行った場合、上記レーザ加
工装置50における吸着支持装置52では上述のように
一区画部分2の全周が枠状部材11の接触面11aにて
吸着されているので、図9に示すように、薄シート体1
において図9に斜線で示すレーザ加工済のレーザ加工部
分と枠状部材11の上記接触面11aとが擦れ、上記レ
ーザ加工部分の変形や、異物のすり込みなどが発生する
という問題が生じる。本発明は、このような問題点を解
決するためになされたもので、薄シート体におけるレー
ザ加工部分の変形や異物のすり込みなどの発生がなく、
かつ薄シート体の加工速度を従来に比べて向上させるこ
とができるシート状体用の加工装置及び方法を提供する
ことを目的とする。
ト状体用の加工装置は、シート状体に引張力を与えつつ
上記シート状体を保持する引張装置と、上記シート体状
に加工を施す際に上記シート状体の加工領域の周囲の一
部分を保持する保持部材と、上記引張装置により上記シ
ート状体が引っ張られた状態でかつ上記保持部材が上記
シート状体を保持した状態にて、上記シート状体に複数
の上記加工領域を形成するため上記シート状体と上記保
持部材とを相対的に移動させる移動装置と、上記移動装
置による上記相対的移動の際、上記シート状体に既に形
成された加工領域を上記保持部材が擦らずに上記相対的
移動を上記移動装置に実行させる制御装置と、を備えた
ことを特徴とする。
法は、加工を施すシート状体に引張力を与えつつ上記シ
ート状体を保持し、かつ上記加工が施される上記シート
状体の加工領域の周囲の一部分を保持部材で保持し、上
記シート状体に複数の上記加工領域を形成するため、上
記加工領域の周囲の一部分を保持したままの状態で、上
記シート状体に既に形成された加工領域を上記保持部分
が擦らずに上記シート状体と上記保持部材とを相対的に
移動させる、ことを特徴とする。
シート状体用レーザ加工装置、及び該レーザ加工装置に
て実行されるシート状体用レーザ加工方法について、図
を参照しながら以下に説明する。尚、各図において、同
じ構成部分については同じ符号を付している。又、本実
施形態では、シート状体として、例えば厚さ0.15〜
0.2mm程度の薄い、電気機器の多層基板等に使用さ
れる樹脂製の薄いシート状体を例に採るが、薄いシート
状のものであればその材料に限定はない。さらに、本実
施形態では、上記シート状体へ加工を施す方法として、
レーザ加工、例えば、多層基板用のビア電極用の貫通孔
(ビアホール)を形成することを例に採るが、これに限
定されるものではない。特に、近年電子機器の小型化に
より高密度のプリント配線板が求められている。本実施
形態は、それらのプリント配線板を製造するために適用
されるうるものである。このプリント配線板の例として
は、厚さ数十から数百μmの一枚の薄い基板材料に数十
から数百μmの穴加工をレーザー加工により行い、その
穴に導電性のペーストを埋め込み、各穴内のペーストを
所定の電極又は回路と接続しつつそれらの基板材料を複
数枚積層することによって、多層配線板をつくってい
る。穴加工では貫通穴加工が必要となり、精度の良い貫
通穴を有する多層配線板形成するためには、貫通穴形成
を妨げることなく材料としての各基板を保持して最適で
かつ精度の良い貫通穴を形成することができるため、本
実施形態を貫通穴加工に適用するのがよい。
用レーザ加工装置101を示している。該シート状体用
レーザ加工装置101における基本的な構成は、上述し
たレーザ加工装置50と同じであるが、後述の吸着支持
装置120及び制御装置200が上述のレーザ加工装置
50とは相違し、本実施形態におけるシート状体用レー
ザ加工装置101における特徴的な構成部分である。シ
ート状体用レーザ加工装置101は、上述のクランプ装
置51に対応する引張装置110と、相違点はあるが上
述の吸着支持装置52に対応する吸着支持装置120
と、上述のレーザ光照射装置53に対応するレーザ光照
射装置140と、上述の移動装置54に対応する移動装
置160と、上述の位置決め装置56に対応する位置決
め装置180と、制御装置200とを備える。以下に、
各構成部分について詳しく説明する。
するベース102上には、上記引張装置110を設けた
上記移動装置160が設置されている。移動装置160
は、平面上で互いに直交するX,Y方向の内、駆動装置
162によりY方向に滑動するYテーブル161と、該
Yテーブル161上に設置され駆動装置164により上
記X方向に滑動するXテーブル163とを備える。尚、
駆動装置162,164は制御装置200に接続されて
おり、制御装置200によりYテーブル161及びXテ
ーブル163の移動量が制御される。
装置110は、それぞれが上記Y方向に延在し対向して
配置される、固定側のクランプ部材111と可動側のク
ランプ部材112とを有する。クランプ部材111とク
ランプ部材112とに挟まれた領域に、レーザ加工され
る方形状の上記シート状体1が配置される。このように
配置されるシート状体1における、例えばY方向に平行
なそれぞれの側縁部が、クランプ部材111とクランプ
部材112とによってそれぞれ把持され、シート状体1
はX方向へ引っ張られる。即ち、上記可動側のクランプ
部材112は、Xテーブル163上にてX方向に移動可
能に取り付けられており、かつXテーブル163のX方
向側端縁部114と上記クランプ部材112との間に設
けたスプリング113の伸縮力により常時、上記端縁部
114側へ付勢されている。よって、クランプ部材11
1及びクランプ部材112によってシート状体1が把持
されたとき、可動側のクランプ部材112に作用する上
記伸縮力により、シート状体1はX方向に引っ張られ、
引張力が与えられる。尚、例えばシート状体1へのレー
ザ加工が終了した後等、必要に応じて、クランプ部材1
11,112はシート状体1の把持を解除することがで
きる。
して設置されたシート状体1に対して、その厚み方向か
らレーザ光を照射する装置であり、レーザ光発生装置1
41、ミラー142、及びレンズ143を備える。レー
ザ光発生装置141は、上記ベース102に立設された
フレーム103に設置され、レーザ光発生装置141か
ら出射されたレーザ光は、ミラー142にてシート状体
1側へ偏向された後、シート状体1の加工面1aに合焦
するようにレンズ143にて焦点が合わされ、上記加工
面1aへ照射される。又、上記レーザ光発生装置141
は、制御装置200に接続され、制御装置200により
レーザ光発生に関する制御を受ける。
る吸着支持装置120は、大別して、シート状体1にお
いてレーザ光によって加工される加工領域104の周囲
の一部分を上記引張力による平面状態を維持し得るよう
にして吸着支持する吸着動作により保持する保持部材1
21と、該保持部材121に接続され上記吸着動作を行
うための吸引装置131とを有する。このような吸着支
持装置120の上記保持部材121は、位置決め装置1
80によって、シート状体1上に支持されかつシート状
体1の厚み方向へ移動可能である。
る。保持部材121は、上述の枠状部材11に対応する
ものであり、上記加工領域104に対応して図3に示す
ように本実施形態では平面形状で正方形の中空部分12
2を有する枠状体である。上述の枠状部材11と異なる
点は、枠状部材11の場合には図7に示すように枠状部
材11を構成する4つの枠材のすべてがシート状体1に
接触していたが、保持部材121の場合には図2及び図
3に示すように枠材121−1,121−2,121−
3,121−4の内、一つの枠材、例えば枠材121−
4のみが接触面123にてシート状体1に接触する点で
ある。このような保持部材121の中空部分122は、
上記レンズ143を通過したレーザ光3に干渉しない程
度の大きさにてなり、保持部材121は、シート状体1
の各加工領域104の周囲に対応する。上記接触面12
3には、シート状体1を吸着動作にて保持するための開
口部12aが形成され、開口部12aは枠材121−4
内に形成された管路12、及び該管路12に接続される
フレキシブルな管13を介して吸引装置131に導かれ
る。
1に接触させ吸着動作にてシート状体1を保持し、該保
持状態を維持しながら図4に示す矢印124に従い保持
部材121がシート状体1に対して相対的に移動するよ
うに、本実施形態では移動装置160を駆動すること
で、上記吸着動作を維持した状態にも拘わらず既にレー
ザ加工された加工領域104を接触面123が擦ること
なく、シート状体1の全面にわたり例えばマトリックス
状に加工領域104を形成することができる。又、接触
面123にてシート状体1を吸着にて保持することか
ら、シート状体1の自重によるたるみの発生を防止する
ことができ、加工領域104に対して精度のよいレーザ
加工を施すことができる。
23が擦らないようにするための、上記接触面123
と、シート状体1に対する保持部材121の相対的な移
動方向、即ちレーザ加工を施して行く方向との関係は以
下の通りである。即ち、本実施形態では図4に示すよう
に、又上述したように、シート状体1にマトリックス状
に加工領域104を形成し、かつシート状体1を千鳥状
に保持部材121が相対的に移動するときには、上記接
触面123は、行方向つまり本実施形態ではY方向に平
行に延在し、かつ列方向つまり本実施形態ではX方向へ
の進行方向側に配置されるのが好ましい。
の領域を接触面123が擦ることはなく、かつ保持部材
121とシート状体1とを千鳥状に相対移動させること
で、移動量が最小ですみかつ接触面123は常に非加工
領域に接触していくことから列方向に互いに隣接する加
工領域104間に接触面123の通過用領域となる図5
に示すようなデッドスペース106が生じず1枚のシー
ト状体1に最多の加工領域104を形成することができ
る。尚、本実施形態に比べて上記移動量、及び加工領域
104の形成量が劣化してもよいときには、例えば図5
や図6に示すような接触面123と、上記相対的な移動
方向との関係を採用することもできる。
1,12に示すように、枠材121−3a,121−1a
が、枠材121−4の接触面123の長手方向に直交す
る保持部材1121の列方向つまり本変形例ではX方向
に平行に保持部材1121にさらに配置され、なおかつ
そのX方向の長さが加工領域104の一辺の長さよりも
小さくなっている。枠材121−3a,121−1aは、
その各一方側に、シート状体1の法線方向に延びるよう
に保持部材1121に固定されたC字状のガイド部材4
02に摺動自在に挟み込まれて案内されるガイドバー4
01を備えるとともに、その各他側に、エアーシリンダ
などの駆動装置400を保持部材1121に固定してそ
のピストンロッドを枠材121−3a,121−1aの下
端のL字状折曲部404,405に固定して、上記駆動
装置400の各駆動により、枠材121−3a,121
−1aが独立して上下動して、保持部材1121の下端
部の空間406内で枠材121−3a,121−1aの下
端のL字状折曲部404,405が上下動してシート状
体1に対して接離するようにしている。枠材121−3
a,121−1aの下端のL字状折曲部404,405
のシート状体1に対して接離する接触面404a,40
5aには、上記開口部12aが形成されてシート状体1
を吸着保持可能としている。
ート状体1に対して、図13に示すように千鳥状に相対
移動させるとき、図13において、例えば左方向に移動
するときには、図13内に実線で示したように、進行方
向の前方にあたる左側の枠材121−3aの接触面40
4aと枠材121−4の接触面123とをシート状体1
に接触させて吸着保持させ、かつ、進行方向の後方にあ
たる右側の枠材121−1aをシート状体1から離しつ
つ加工領域104を移動する。一方、図13において、
例えば右方向に移動するときには、図12に示すよう
に、進行方向の前方にあたる右側の枠材121−1aの
接触面405aと枠材121−4の接触面123とをシ
ート状体1に接触させて吸着保持させ、かつ、進行方向
の後方にあたる左側の枠材121−3aをシート状体1
から離しつつ加工領域104を移動する。このように、
千鳥状に加工を行う場合には、進行方向の前方にあたる
接触面404aまたは接触面405aのいずれか一方を
シート状体1と同じ高さにしてシート状体1を吸着保持
可能とし、いずれか他方の接触面をシート状体1に接触
しない高さまで上げる。これらの動作を千鳥状の囲う領
域における移動方向が反転する場所で切り換え、接触面
404aと接触面405aのうちから進行方向前方側と
なる接触面を選んで接触可能な位置まで下降させる一
方、進行方向後方側となる接触面を選んで接触不可能な
位置まで、接触面の高さの位置を入れ替える。このよう
に、進行方向にあたる接触面121−1または接触面1
21−3の高さを上下する動きを行うことにより、既に
レーザ加工済みの領域を接触面123、接触面404
a、および接触面405aが擦ることなく加工を連続し
て行うことができる。このような構成とすることで、矩
形の加工領域104の周辺部分の二辺が常に保持されて
いることになり、接触面123による矩形の加工領域1
04の周辺部分の一辺保持の場合よりも、加工領域10
4内でのシート状体1の法線方向の位置の安定性が向上
する。
ては、約10cm×10cmの矩形の中空部分122を
有した四角枠状であり、接触面123の幅は約1cmで
あり上記開口部12aは約1mmの直径を有する円形の
穴であり約1cmのピッチにて複数形成されている。吸
着動作のための吸着圧力の一例としては180mmHg
である。
される切換バルブ125,126と、切換バルブ125
に接続される吐出装置127と、切換バルブ126に接
続される真空ポンプ130とを備える。切換バルブ12
5,126は、管13と、吐出装置127又は真空ポン
プ130のいずれか一方とを選択的に接続するように制
御装置200により切り換えられる。即ち、通常状態に
おいては上記吸着動作を行うため、管13は、切換バル
ブ126によってフィルタ129を介して真空ポンプ1
30に接続されている。このとき、切換バルブ125に
より管13と吐出装置127との接続は遮断されてい
る。吐出装置127は、圧縮空気を発生させるコンプレ
ッサ128を備える。切換バルブ125により管13と
吐出装置127とが接続されているときには、切換バル
ブ126により管13と真空ポンプ130との接続は遮
断されている。この場合、コンプレッサ128にて発生
した圧縮空気は、切換バルブ125、管13、及び管路
12を介して開口部12aから噴出される。該噴出によ
り、吸着動作時に管路12に吸入された加工屑やシート
状体1の吸着面に残留した加工屑を吹き飛ばして排除す
ることができる。
がシート状体1に接触可能なように上述の保持部材12
1をシート状体1上に配置して支持し、かつ保持部材1
21の接触面123とシート状体1の加工面1aとを接
触又は離開させるため保持部材121をシート状体1の
厚み方向に沿って移動させる装置であり、上記フレーム
103に取り付けられたアーム105によって支持され
ている。具体的には、位置決め装置180は駆動装置1
81を有し、該駆動装置181にて上記厚み方向への移
動がなされる。尚、駆動装置181は制御装置200に
接続され、上記厚み方向への移動が制御される。
置160の駆動装置162,164等の各構成部分の動
作制御を行う。特に本実施形態では、上述したように、
保持部材121の接触面123をシート状体1の加工面
1aに接触させかつシート状体1を吸着した状態を維持
しながら、図4の矢印124に示す方向へ各加工領域1
04に順次レーザ加工が行われるように、レーザ光発生
装置141及び移動装置160の駆動装置162,16
4を動作制御する。
加工装置101の動作について以下に説明する。尚、各
動作は制御装置200によって制御される。レーザ加工
を施すシート状体1が引張装置110のクランプ部材1
11,112に把持され、かつクランプ部材112によ
りX方向に引っ張られる。次に、図4に示す例えば加工
領域104−1に対してレーザ加工が施されるように、
移動装置160のXテーブル163及びYテーブル16
1を駆動する。これにより、保持部材121の中空部分
122が上記加工領域104−1に対応するように配置
されることになる。
121がシート状体1側へ移動し、保持部材121の接
触面123がシート状体1の加工面1aに接触する。該
接触後、吸引装置131の真空ポンプ130により吸引
動作が行われ、接触面123にシート状体1が吸着され
シート状体1が保持部材121に保持される。より具体
的には、本来、クランプ部材111,112から作用す
る上記引張力によりシート状体1が引っ張られて1つの
平面を形成しているはずであるが、実際には、クランプ
部材111,112の近傍を除く部分ではシート状体1
が若干下向きに例えば0.2mm程度弛んでおり、その
ままでは精密なレーザー加工ができないため、シート状
体1が本来の平面に沿って配置されるように、保持部材
121によりシート状体1の加工領域の近傍を吸着保持
するようにしている。よって、位置決め装置180によ
り保持部材121をシート状体1側へ所定の位置まで、
すなわち、保持部材121の接触面123にシート状体
1が吸着保持されたときシート状体1が本来の平面に沿
う位置まで下降せる。そして、所定の位置まで下降する
と、保持部材121がシート状体1の加工面1aに接触
していなくとも、シート状体1を吸着するように吸引装
置131の真空ポンプ130の駆動により吸引動作が行
われることにより、保持部材121の接触面123にシ
ート状体1が吸着されてシート状体1が保持部材121
に保持されて、シート状体1が本来の平面に沿って配置
されるようになる。
りシート状体1の加工面1aへレーザ光が照射され上記
加工領域104−1にレーザ加工が施される。このと
き、例えば、図2,3に示すように、圧縮空気噴射装置
500により枠材121−3の貫通口122pから圧縮
空気を上記中空部分122内に吹き込み、枠材121−
3に対向する枠材121−1の貫通口122pから上記
圧縮空気を吸引装置501で吸引することにより、レー
ザ加工の際に発生する加工屑を上記中空部分122から
吸引排出するようにしてもよい。
した時点で、上記接触面123にシート状体1が吸着さ
れた状態を維持しながら、図4に示す矢印124A方向
に保持部材121がシート状体1に対して相対的に移動
するように、Xテーブル163、Yテーブル161を移
動させる。これにより加工領域104−1に隣接する加
工領域104−2に上記中空部分122が対応する。そ
して加工領域104−2に対してレーザ加工が施され
る。以後同様に、上述したように矢印124に従い、シ
ート状体1に対して行、列方向に保持部材121を相対
的に移動させ、順次、各加工領域104へレーザ加工を
施していく。そしてシート状体1の全面にレーザ加工が
施された後、真空ポンプ130を停止しシート状体1の
吸着動作を停止する。そして、位置決め装置180によ
り保持部材121を反シート状体1方向へ移動させる。
そして、クランプ部材111,112におけるシート状
体1の把持動作を解除し、レーザ加工がなされたシート
状体1を当該加工装置101から取り外す。レーザ加工
を施すシート状体1が他に存在する場合には、上述した
動作を繰り返す。
ーザ加工が終了した時点で、切換バルブ125,126
を切り換えてコンプレッサ128からの圧縮空気を開口
部12aから噴射し、吸着動作時に管路12に吸入され
た加工屑やシート状体1の吸着面に残留した加工屑を吹
き飛ばして排除してもよい。なお、上記実施形態では、
シート状体1の全面にレーザ加工が施される場合につい
て説明したが、これに限られるものではなく、シート状
体1の一部にレーザ加工が施される場合にも本発明は適
用される。
シート状体1に対して行、列方向に保持部材121を相
対的に移動させ、順次、各加工領域104へレーザ加工
を施していくとき、Y方向沿いの最終行すなわちクラン
プ部材112に隣接して平行な行の各加工領域104で
は、保持部材121がクランプ部材112と接触して保
持部材121によりシート状体1を他の部分のように吸
着保持できない場合には、吸着保持動作を行わないよう
にしてもよい。なお、クランプ部材112の近傍部分で
は、クランプ部材112からの引張力により、シート状
体1の弛みが無視できる程度まで抑えられるため、保持
部材121によりシート状体1を吸着保持しなくても精
密加工を行うことができる。
体用レーザ加工装置101によれば、保持部材121が
シート状体1を吸着した状態を維持しながら、保持部材
121とシート状体1との相対的移動がなされることか
ら、加工領域104間を保持部材121が移動する毎に
保持部材121をシート状体1の厚み方向へ移動させる
必要がなくなる。よって、シート状体1にレーザ加工を
施すのに要する時間は従来に比べて短縮することができ
る。さらに、保持部材121の枠材121−4の接触面
123のみがシート状体1に接触することから、上述の
ように吸着状態を維持しながら上記移動を行っても、既
にレーザ加工された領域を上記接触面123が擦ること
を防ぐことができる。よって、既にレーザ加工済み部分
の変形や異物のすり込みなどの発生を防止することがで
きる。
加工方法について、レーザ加工を例に採り説明したが、
これに限定するものではない。即ち、薄いシート状体を
保持部材にて保持しながら該シート状体の加工を行うよ
うな場合に、本実施形態は適用可能である。又、本実施
形態では、シート状体1側をX,Y方向に移動させた
が、逆に、シート状体1を固定させて保持部材及びレー
ザ光照射装置側を移動させるようにしてもよい。
シート状体用の加工装置、及び第2態様のシート状体用
の加工方法によれば、上記保持部材の一部分がシート状
体を保持した状態にて上記シート状体へ加工を施して行
くとき、シート状体に既に形成された加工領域を上記保
持部材が擦らないようにして上記シート状体と上記保持
部材とを相対的に移動させる。したがって、上記移動の
たびに上記保持部材を上記シート状体の厚み方向へ移動
させる必要がなく、従来に比べてシート状体に対する加
工速度を向上させることができる。さらに、既に加工さ
れた領域と上記保持部材との物理的接触が防止されるの
で、上記既に加工された領域部分の変形や、異物の擦り
込みを無くすことができる。
ザ加工装置の側面図である。
る。
作を示す図であって保持部材とシート状体との相対的移
動方向を示す図である。
す図である。
例を示す図である。
る。
あって枠状部材と薄シート体との相対的移動方向を示す
図である。
ート状体用レーザ加工装置の保持部材の斜視図である。
る。
る。
装置の動作を示す図である。
置、104…加工領域、110…引張装置、120…吸
着支持装置、121…保持部材、131…吸引装置、1
40…レーザ光照射装置、160…移動装置、180…
位置決め装置、200…制御装置。
Claims (9)
- 【請求項1】 シート状体(1)に引張力を与えつつ上
記シート状体を保持する引張装置(110)と、 上記シート体状に加工を施す際に上記シート状体の加工
領域の周囲の一部分を保持する保持部材(121)と、 上記引張装置により上記シート状体が引っ張られた状態
でかつ上記保持部材が上記シート状体を保持した状態に
て、上記シート状体に複数の上記加工領域を形成するた
め上記シート状体と上記保持部材とを相対的に移動させ
る移動装置(160)と、 上記移動装置による上記相対的移動の際、上記シート状
体に既に形成された加工領域を上記保持部材が擦らずに
上記相対的移動を上記移動装置に実行させる制御装置
(200)と、を備えたことを特徴とするシート状体用
加工装置。 - 【請求項2】 上記移動装置による上記相対的移動の
際、上記シート状体に既に形成された加工領域を上記保
持部材が擦らないために、上記保持部材にて保持される
上記加工領域の周囲の一部分は、上記シート状体の行方
向への上記相対的移動では上記行方向に平行であり、か
つ上記シート状体の列方向への上記相対的移動における
進行方向側に位置する部分である、請求項1記載のシー
ト状体用加工装置。 - 【請求項3】 上記シート状体への加工はレーザ光によ
り行われ、該加工用のレーザ光を上記シート状体へ照射
するレーザ光照射装置(140)をさらに備えた、請求
項1又は2記載のシート状体用加工装置。 - 【請求項4】 上記シート状体への加工はレーザ光によ
り貫通孔を形成することにより行われ、該加工用のレー
ザ光を上記シート状体へ照射するレーザ光照射装置(1
40)をさらに備えた、請求項3記載のシート状体用加
工装置。 - 【請求項5】 上記保持部材による上記シート状体の保
持は吸着動作にて行われ、該吸着動作を行う吸引装置
(131)をさらに備えた、請求項1ないし4のいずれ
かに記載のシート状体用加工装置。 - 【請求項6】 加工を施すシート状体に引張力を与えつ
つ上記シート状体を保持し、かつ上記加工が施される上
記シート状体の加工領域の周囲の一部分を保持部材(1
21)で保持し、 上記シート状体に複数の上記加工領域を形成するため、
上記加工領域の周囲の一部分を保持したままの状態で、
上記シート状体に既に形成された加工領域を上記保持部
分が擦らずに上記シート状体と上記保持部材とを相対的
に移動させる、ことを特徴とするシート状体用加工方
法。 - 【請求項7】 上記シート状体への加工はレーザ光によ
り行われる、請求項6記載のシート状体用加工方法。 - 【請求項8】 上記シート状体への加工はレーザ光によ
り貫通孔を形成することにより行われる、請求項7記載
のシート状体用加工方法。 - 【請求項9】 上記加工領域の周囲の一部分の保持は吸
着動作にて行われる、請求項6,7,又は8記載のシー
ト状体用加工方法。
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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1998
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