JP4046076B2 - 電子部品搭載装置 - Google Patents
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0および第2ビーム部材32の3つのビーム部材が、それぞれ両端部を第1方向ガイド21によって支持されてY方向にスライド自在に架設されている。センタービーム部材30の右側の側端部にはナット部材23bが突設されており、ナット部材23bに螺合した送りねじ23aは、第1のY軸ベース20A上に水平方向で配設されたY軸モータ22によって回転駆動される。Y軸モータ22を駆動することにより、センタービーム部材30は第1方向ガイド21に沿ってY方向に水平移動する。
され、X軸モータ46を駆動することにより、第2の電子部品観察カメラ35は第2ビーム部材32の側面に設けられた第2方向ガイド48(図2参照)に案内されてX方向に移動する。
を制御する。制御部50が吸着ノズル昇降機構33bおよび移載ヘッド移動機構51を制御することにより、移載ヘッド33の各吸着吸着ノズル33aに保持されたチップ6を、基板保持部10に保持された基板13の電子部品搭載位置に供給された接着剤17上に移動させて着地させる部品移送搭載動作を行わせることができる。
れない結果、チップ6の搭載後においても気泡が接着層に残留し、チップ6が撓んだ状態のまま接着される不具合を生じやすい。
3 治具ホルダ
4 治具
5 粘着シート
6 チップ
10 基板保持部
13 基板
15 第1の電子部品観察カメラ
17 接着剤
33 移載ヘッド
34 基板観察カメラ
35 第2の電子部品観察カメラ
Claims (6)
- 基板の電子部品実装位置に供給された接着剤上に電子部品を搭載する電子部品搭載装置であって、
前記基板を保持する基板保持部と、電子部品を供給する電子部品供給部と、前記電子部品供給部の電子部品を吸着して保持する吸着ノズルを備えこの吸着ノズルを昇降させる吸着ノズル昇降機構を内蔵した移載ヘッドと、プラズマ照射孔を上方へ向けた状態で前記基板保持部または電子部品供給部の側方に配置された大気圧プラズマ発生部と、前記移載ヘッドを前記電子部品供給部、前記プラズマ照射孔および前記基板保持部の上方を移動させることが可能な移載ヘッド移動機構と、前記吸着ノズル昇降機構と前記移載ヘッド移動機構とを制御することにより、前記吸着ノズルに保持された電子部品を前記基板保持部に保持された基板の電子部品搭載位置に供給された接着剤上に移動させて着地させる部品移送搭載動作を行わせる搭載制御部を備え、前記部品移送搭載動作において前記吸着ノズルに保持された電子部品を前記接着剤上に着地させる前に前記プラズマ照射孔の真上のプラズマ照射位置を通過させて電子部品の下面を前記プラズマ照射孔の外に拡がったプラズマに曝すことを特徴とする電子部品搭載装置。 - 前記電子部品供給部は、平面配列で粘着シートに貼付けられた状態の電子部品を供給することを特徴とする請求項1記載の電子部品搭載装置。
- 前記プラズマ照射孔がスリット孔であり、前記部品移送搭載動作において前記プラズマ照射位置を通過させる際には、前記スリット孔を横切る方向に電子部品を移動させることを特徴とする請求項1記載の電子部品搭載装置。
- 前記吸着ノズルに保持された電子部品を下方から観察して電子部品の画像を撮り込む電子部品観察カメラを前記移載ヘッド移動機構による前記移載ヘッドの移動範囲内に配置し、前記搭載制御部は、前記部品移送搭載動作において前記吸着ノズルに保持された電子部品を前記接着剤上に着地させる前に前記プラズマ照射位置と前記電子部品観察カメラの上方を通過させることを特徴とする請求項1記載の電子部品搭載装置。
- 前記プラズマ照射孔がスリット孔であり、前記電子部品観察カメラがライン型受光部を備えたライン型カメラであり、前記スリット孔と前記ライン型受光部とを平行にした状態で前記大気圧プラズマ発生部と前記電子部品観察カメラを配置したことを特徴とする請求項4記載の電子部品搭載装置。
- 前記吸着ノズルに保持された電子部品の下面を前記プラズマ照射孔の外に広がったプラズマに曝す高さと、前記電子部品観察カメラの焦点高さとを同じにしたことを特徴とする請求項4記載の電子部品搭載装置。
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