JPH1119838A

JPH1119838A - 真空吸着装置

Info

Publication number: JPH1119838A
Application number: JP17560297A
Authority: JP
Inventors: Hiroshi Soyama; 浩曽山; Yasuhide Otsu; 泰秀大津; Yuichi Komura; 勇一小村
Original assignee: KOMURA SEIHAN KK; MITSUBOSHI DAIYAMONDO KOGYO KK; Mitsuboshi Diamond Industrial Co Ltd
Current assignee: KOMURA SEIHAN KK; MITSUBOSHI DAIYAMONDO KOGYO KK; Mitsuboshi Diamond Industrial Co Ltd
Priority date: 1997-07-01
Filing date: 1997-07-01
Publication date: 1999-01-26
Anticipated expiration: 2017-07-01
Also published as: JP3450157B2

Abstract

(57)【要約】【課題】従来の真空吸着装置で液晶パネルを吸着した
場合にはガラス面が湾曲してギャップにバラツキが生じ
る。【解決手段】真空吸着パッド(21)の吸着盤(22)とし
て、エッチング加工可能な板状材料の一方面に対し、周
縁所定幅を気密部とするために非エッチング領域とし、
その他の領域を吸着部とするために、多数の独立した凸
部が残るようにエッチングを行ない、その吸着盤(22)の
他方面を両面接着シート(25)を用いてマグネットシート
(24)に貼り合わせ、そしてそのマグネットシート(24)の
他方の面を、強磁性体の支持部材(26)に着脱自在に接合
し、更に前記吸着盤(22)に形成された凹部に通じる吸引
管(27)を設けた。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、液晶パネルを搬送
する際にワークを保持したり、ガラススクライバー等の
加工機のテーブルにワークを固定するための真空吸着装
置に関する。

【０００２】

【従来の技術】図１は、ワークの給材および除材時を行
う搬送ロボット等に従来より使用されている真空吸着パ
ッド１と、吸着対象の液晶パネル２を示している。その
真空吸着パッド１は、おわんを伏せた形状に似るゴム製
の吸盤１ａと、その吸盤１ａの上部を貫通して上方に延
在する吸引管１ｂとからなる。液晶パネル２は周知のご
とく、２枚のガラス板３を粒状のスペーサ４を挟んで重
ね合わせてから、両ガラス板３の周縁部を接着剤５を用
いて相互に固定し、接着剤５の層に設けた小孔から液晶
を注入したものである。

【０００３】図２は、その吸盤１ａの下端周縁部１ａ'
を液晶パネル２の上面に押し当て、吸引管１ｂを通じて
真空吸引したところを示す。この真空吸引により、上側
のガラス板３が大気圧との差圧力によって上方に湾曲
し、その箇所で上下ガラス板間のギャップが大きくな
り、一時的に圧力が低くなる結果、液晶がその箇所に流
れ込むようになる。スペーサ４は例えば直径５μｍのも
のを１００個／ｍｍ²±５％のように均一な密度となる
ように封入されているがガラス板３とは固着されていな
いので液晶の移動に伴ってスペーサ４も移動する。液晶
パネル２に液晶が未封入の場合は圧力の低くなった箇所
に空気が流れ込むが、この場合、スペーサ４の移動抵抗
が少ないため、スペーサ４の移動が更に増長される。

【０００４】この結果、吸着終了後も図３に示すよう
に、スペーサ４の分布にバラツキが生じ、それに応じて
ギャップにもバラツキが生じる。ギャップが±０.０２
ｍｍ以上にばらつくと表示面に色むらが現れて製品不良
となる。

【０００５】図４は、例えばガラススクライバー等に使
用される真空吸着テーブル１１を示している。下図の平
面図に示されるように、テーブル面には一定の間隔で吸
引孔１２が設けられている。各吸引孔１２は、上図の側
断面図に示されるように、連通溝１３を通じて互いに連
通しているが、下図に示されるように、２つのサイズの
液晶パネル２、２'に対応できるように、連通溝１３は
２グループに分けられ、それぞれに個別の排気口１４が
設けられる。

【０００６】上図に示されるように、テーブル１１は、
上下の部材１１ａ，１１ｂをパッキン１５を用いて気密
に接合されたものであり、先の連通溝１３は、下部材１
１ｂに凹状の溝を形成して得たものである。このテーブ
ル１１により液晶パネル２を吸引固定すると、個々の吸
引孔１２において、図２で述べたのと同様、スペーサの
移動によるギャップ変化が生じた。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】このように吸着時に液
晶パネル２が変形した原因は、ガラス板の板厚やスペー
サ４のサイズに比べて、吸盤１ａや吸引孔１２の口径が
大きいためである。吸盤１ａでは口径は数十ｍｍもあ
り、吸引孔１２でさえ口径は数ｍｍもあるのに対して、
ガラス板厚は０.５〜１.１ｍｍであり、その板厚は薄い
ものが選択される傾向がある。

【０００８】その課題を回避しようとして、図１の真空
吸着パッド１において、吸盤１ａのサイズを小さくすれ
ば、吸引力が不足するため、図５に示されるように、複
数個の真空吸着パッド１が必要となるが、その構成では
機構が複雑化するだけでなく、複数個の真空吸着パッド
１を用いて液晶パネル２を歪ませることなくバランスよ
く吸着することは困難である。

【０００９】又、図４の真空吸着テーブル１１におい
て、金属性のテーブルに微細な吸引孔１２を多数設け、
かつ、それに対応して連通管１３を形成するには精密加
工が必要であり、製作コストが高価になる。

【００１０】又、従来の真空吸着パッド１や真空吸着テ
ーブル１１では、構造上、種々のサイズのワークに対応
できず、規定サイズ外のワークを扱うことはできなかっ
た。

【００１１】又、テーブル１１は、ワーク載置面はフラ
ットでなくてはならないために精密加工が必要であり、
又、変形が生じないように強固なものとなっている。そ
のため、テーブル自体の重量が大きく、そのためテーブ
ル１１を移動および転回させるための強力な駆動系を必
要とした。

【００１２】従って本発明は、ワークを変形させること
なく吸着でき、かつ、軽量、安価で大きな駆動系も必要
としない真空吸着装置を提供することを目的とする。

【００１３】

【課題を解決するための手段】各種板状材料に、図４に
示した吸引孔１２に相当する多数の微細な孔を容易に形
成することが可能である。しかし、それらの多数の孔相
互をつなぐ連通管１３を設けるのは加工が複雑になる。
ここで発想の転換を図り、吸引孔１２をエッチングする
のではなく、その部位を非エッチング部としその他をエ
ッチングすれば、非エッチングの箇所が凸部として残
る。それらの各凸部が独立しておれば(隣接する凸部と
離隔)、エッチングにより生じた凹部は相互がつながっ
ており、先の連通管を設ける必要はなくなる。本発明の
真空吸着装置はこの新規な着想に基づく。

【００１４】エッチングを行う板状材料としては、金属
板以外では、紫外線照射によりエッチングを行う感光性
樹脂材が最適である。シート状の感光性樹脂版の表面
に、所望のパターンを描いたフイルムをマスクとして貼
り合わせ、その上から紫外線を照射(感光)した後、その
感光性樹脂を処理液でエッチング(現像)することによ
り、パターンの箇所以外ではエッチングされて凹部が形
成され、光を透過しないパターンの箇所は非エッチング
のために凸部として残される。

【００１５】このエッチング技法を用いて、例えば円盤
形状の感光性樹脂版に対し、その周縁部を気密保持のた
めにエッチング無しのフラット面とし(この部分は図１
の１ａ'と同等の役目をなす)、他の部分に対して、微細
の独立した凸部を形成する。そのため各凹部は互いに連
通しており、凸部を液晶パネル２に当接すれば、周縁部
による気密が保持されるために凹部は閉空間となり、そ
の凹部を真空引きすれば、液晶パネルは感光性樹脂に吸
着されるが、多数の微細な凸部が液晶パネルに当接して
いるためパネルが変形することはない。又、感光性樹脂
自体で面精度がよく、かつ適当な柔軟性を有しているの
で液晶パネル２への吸着性が良好である。

【００１６】

【発明の実施の形態】図６は、本発明の真空吸着装置を
採用した真空吸着パッド２１における１実施形態を示し
た分解図である。２２が感光性樹脂材からなる円盤状の
吸着盤であり、中央部には、上下方向に貫通した吸入口
２２ｃが設けられ、その吸着盤２２の裏面には後述する
ように多数の凸部が設けられている。本実施形態では、
感光性樹脂材として旭化成製の印刷版材であるＡＦＰを
用いた。このＡＦＰ版の硬度はショア４５°程度である
が、必要に応じて他の版材料を使用すれば、ショア４５
°〜Ｄ３０°程度の任意の硬度を選択できる。感光性樹
脂材であれば、印刷用版材に限定されず、金属板やセラ
ミック等でもエッチング処理或はこれと類似の加工方法
を適用できるのであれば、それらの素材を使用できる。

【００１７】２３は前記ＡＦＰが外部応力により変形し
ないように貼り合わされた補強層であり、製版材料とし
て製品化される段階で貼り合わされる。２４は、吸着盤
２２と同径のマグネットシートである。２５は、マグネ
ットシート２４と保持材２３とを接合するための両面接
着シートであり、その径は、後述する吸着盤２２におけ
る吸着部２２ｂの径に等しい。これらの部材２３〜２５
には、吸入口２２ｃと対応する位置に穴Ｑが設けられ
る。

【００１８】２６は、マグネットシート２４と同径の鉄
製保持部材であり、中央部(つまり、吸入口２２ｃと対
応する位置)に、この保持部材２６を支持するための支
持部材２６ａが設けられており、その支持部材２６ａに
は、吸引管２７が挿通されており、その吸引管２７は、
不図示の真空ポンプにつながる。以上の説明からわかる
ように、吸着盤２２は、補強層２３、両面接着シート２
５、マグネットシート２４と一体的に接合され、それは
マグネットシート２４を通じて保持部材２１と着脱自在
に設けられる。

【００１９】吸着盤２２を下方から見た図を図７に示
し、その側断面図を図８に示し、これらの図面において
図６と同一の要素に対しては共通の符号を付している。
この吸着盤２２には、周縁のフラットな面の気密部２２
ａと、吸着部２２ｂとがあり、両面接着シート２５の径
を吸着部材２２ｂの径としたため、図８でわかるよう
に、吸着盤２２は、その吸着部２２ｂのみがマグネット
シート２４を介して支持部材２６に固定されるが、気密
部２２ａは、固定されずにフリーとなっている。

【００２０】図９は、両面接着シート２５の径を吸着盤
２２の径と同じにした実施形態であり、この場合は、吸
着盤２２の全面が支持部材２６に固定される。

【００２１】図７の領域Ｘの拡大図を図１０に示し、そ
の側断面図を図１１に示し、図１２は、図９に対応する
側断面図である。気密部２２ａは非エッチングの箇所で
あり、吸着部２２ｂにおいては、複数の小円の領域を非
エッチング部とし、その他をエッチングすることによ
り、小円の箇所が凸部Ｍとして残り、その他が凹部Ｎと
なる。ここで、凸部Ｍと気密部２２ａとは共に非エッチ
ング部であるため同一面上にある。

【００２２】凸部Ｍの分布密度は、１０〜２５０メッシ
ュ／インチで適当であり、個々の凸部Ｍ(小円)の大きさ
は、前記の分布密度において、吸着部２２ｂに対する全
凸部Ｍの面積率が１０〜５０％となるような大きさとす
る。又、凹部Ｎの深さ(エッチング深さ)は、数十μ〜数
百μもあれば十分である。尚、凸部Ｍの形状は円以外に
多角形であっても差し支えない。

【００２３】このように形成された吸着盤２２を平面な
液晶パネル２に圧し当てると、凹部Ｎは、気密部２２ａ
によって閉空間を形成し、しかも個々の凸部Ｍが独立
(他の凸部と接触していない)しているため一つの閉空間
となる。従って、図６に示した吸入口２２ｃがこの空間
に連通しておれば、その吸入口２２ｃを通じて真空引き
を行うことにより、液晶パネル２は吸着盤２２に吸着さ
れる。

【００２４】図１３は、吸着部２２ｂの中央部を示して
おり、その中心位置Ｏに対して径が１〜２ｍｍのドリル
を用いて穴をあけて吸入口２２ｃを設けたところを図１
４に示しており、２重円で示されているのは、空気の流
れをスムーズにするために設けたテーパーを示す。

【００２５】図１５は、この真空吸着パッド２１で液晶
パネル２を吸着したところを示す。吸着時、気密部２２
ａと同一面にある多数の凸部Ｍが液晶パネル２の面に当
接しているため、液晶パネル２が変形することはなく
(従ってスペーサ４の移動は無い)、又、吸着盤２２自身
が柔質材料であり、しかも、気密部２２ａの箇所はマグ
ネットシート２４に固定されずにフリーとなっているた
め、液晶パネル２に橈みがあっても確実に吸着する。凹
部の容積は僅かであるので吸引に要する真空ポンプは小
型のもので十分であり、瞬時に吸着可能であり、作業性
も高まる。

【００２６】尚、吸着盤２２自身に十分な柔軟性がある
場合は、図９に示したように両面接着シート２５によ
り、吸着盤２２の全面を固定したタイプとしてもよい。

【００２７】上記の吸着盤２２は、吸着部２２ｂに、斑
点状に多数の凸部を残すようにしてエッチングした実施
形態であったが、吸着部２２ｂの形状はこれに限定され
ず、例えば図１６に示した吸着盤２２'では、吸着部２
２ｂとして同芯円の溝Ｌ₁をエッチングすると共に、そ
れらの溝Ｌ₁を互いにつなぐために十字の溝Ｌ₂をエッチ
ングしている。これらの溝は上述した凹部に相当し、こ
れらの溝で囲まれた領域が凸部に相当する。溝Ｌの幅は
１ｍｍとした。図中のＹ部の拡大図を図１７の上図に示
し、その側断面図を下図に示した。十字の溝Ｌ₂の交点
に図１４で示したのと同じ吸引口２２ｃが設けられる。

【００２８】以上の実施形態は、吸着盤２２、２２'に
感光性樹脂を用いたものであったが、金属材料にエッチ
ングを施すことにより、図７もしくは図１６に示した凹
部を形成してもよく、その時の真空吸着パッド３１を図
１８に示している。この場合、図１９に示すように支持
部材２６の裏面に気密部２２ａ、吸着部２２ｂが化学エ
ッチング等により直接形成される。

【００２９】図１に示した従来の真空吸着パッド１では
吸盤にゴム球体を用いる関係上、パッドの形状は必然的
に円となったが、本発明の真空吸着パッド２１，３１で
は、その形状は随意であり、図２０に示した真空吸着パ
ッド２１'では液晶パネル２の形状に相似した四角形と
している。この場合、吸着部２２ｂは、図７と同様に円
のままであってもよく、あるいは四角に形成されてもよ
い。

【００３０】図２１は、ワークの給材、除材を行う搬送
ロボット４１に本発明の真空吸着パッド２１(又は３１)
を装着した例を示す。水平方向に旋回すると共に軸回転
可能な水平アーム４２の先端部に真空吸着パッド２１が
支持部２６ａで吊すようにして取り付けられる。取り付
けに際しては、例えばホースの接続に用いるカチットを
採用すれば、吸引管２７の接続と同時に真空吸着パッド
２１本体(軽量のためカチットで支持可能)を固定でき
る。上述したように、マグネットシートの採用により、
吸着部２２のみを容易に交換することができ、又、サイ
ズの異なるパッドもカチットにより容易に取替可能であ
る。

【００３１】次にガラススクライバーおよびガラス面取
り装置等の加工装置における作業テーブルに本発明の真
空吸着装置を適用した真空吸着テーブルについて説明す
る。図２２に真空吸着テーブル５１の１実施形態を示
し、図４のテーブルと同様に２種類のワークサイズに対
応するものである。

【００３２】テーブル５２上に感光性樹脂による吸着盤
５３が固定されており、その表面には、円形の吸着部５
３ｂがエッチングりより形成されている。個々の吸着部
５３ｂは、図７に示した吸着部２２ｂに相当し、それ以
外の箇所５３ａが気密部２２ａに相当する。液晶パネル
２のサイズに対しては３×４個の吸着部５３ｂが形成さ
れ、液晶パネル２'に対しては、更にＬ字状に１列に配
列されている。

【００３３】各グループ毎に、各吸着部５３ｂにおける
凹部を相互につなぐために幅１ｍｍ程度の格子状の溝Ｌ
₃、Ｌ字状の溝Ｌ₄がそれぞれに形成される。この溝は前
記の凹部の形成時に形成されるものであるため、凹部と
深さは同じである。領域Ｚに対する拡大図を図２３の上
図に示し、その側断面図を下図に示す。溝Ｌ₃において
は十字に交差する箇所(吸着部５３ｂの中心であり、２
箇所ある)に吸入口５３ｃが設けられ、溝Ｌ₄において
は、孔あけが容易なように、吸着部５３ｂ以外の２点で
吸入口５３ｃが設けられる。各吸入口５３ｃに連結する
排気管１４が設けられる。

【００３４】吸着部５３ｂの形成面上に液晶パネル２を
セットして、排気管１４より真空吸引すれば、液晶パネ
ル２は橈むことなく、テーブル５２に吸着される。

【００３５】図２４に示した真空吸着テーブル５１で
は、吸着盤５３'に周縁の気密部５３ａを残し、全面に
吸着部５３ｂを形成した例である。このテーブル５１で
は、３種類のワークサイズに対応できるように、気密部
５３ａおよび吸着部５３ｂは３グループに分けて形成さ
れている。

【００３６】各吸着部５３ｂにおいて、格子状の溝
Ｌ₅、直線状の溝Ｌ₆、Ｌ₇がそれぞれ設けられ、溝Ｌ₆に
おいては２箇所ある十字交差点に吸入口５３ｃが形成さ
れ、溝Ｌ₆、Ｌ₇においてはそれぞれ一つづつ吸入口５３
ｃが形成され、それらの各吸入口５３ｃに連通する排気
管１４が設けられる。尚、各吸着部５３ｂにおける凹部
は一つの空間を形成しているので溝Ｌは不可欠な要素で
はないが、このような溝を形成しておくと、空気の通り
道となって真空吸引がスムーズに行われる。領域Ｚ'に
対する拡大図を図２５の上図に示し、その側断面図を下
図に示す。

【００３７】図２２、図２４に示した真空吸着テーブル
５１と図４に示したテーブル１１を比較するとわかるよ
うに、本発明に係わる真空吸着テーブル５１は、テーブ
ル５２も含め構造が極めて単純であることがわかる。

【００３８】図２６は、図２４の真空吸着テーブル５１
を具備したガラススクライバーを示す。テーブル５１
は、Ｙ方向およびθ方向に移動可能となっている。その
真空吸着テーブル５１に吸着固定した液晶パネル２に対
してＸ方向のガイド６２に沿ってカッターヘッド６３が
移動し、そのとき、カッターヘッド６３の下端に取り付
けられたカッターホイール６４によって液晶パネル２に
スクライブラインが刻まれる。６５は、液晶パネル２の
位置決めのために用いる一対のＣＣＤカメラである。

【００３９】

【発明の効果】以上説明したように、本発明は、吸着盤
としてエッチング加工可能な板状材料を用い、その一方
面に対し、周縁所定幅を非エッチングとして気密部と
し、他の領域を吸着部とするために、多数の独立した凸
部が残るようにエッチングを行い、そのエッチングによ
り形成された凹部を吸引管を用いて真空吸引するもので
あり、前記凸部が微小間隔でワーク表面に当接するため
に、吸着時にワークが圧力差で変形するようなことはな
い。又、本装置は従来のものに比べて構造が単純である
ために安価に形成でき、しかもワークサイズに応じて種
々のサイズを容易に製作できる。更には前記の凹部の容
積が微小であるためと、特に前記の板状材料として柔軟
性のある感光性樹脂を用いればワークへの吸着性がよく
なり、真空漏れが軽減されるために、排気管などの配管
径は小さくてよく、真空ポンプも小型のものでよい。吸
着性が良いことからワークを確実に吸着することができ
る。本装置を適用した真空吸着テーブルでは、テーブル
自身を軽量にできるため、テーブルを移動させるための
駆動系も非力でよい。又、従来の真空吸着パッドではワ
ーク全面がテーブルに接触していたために、ワークをテ
ーブルから引き離す時に静電気が発生したが、本真空吸
着テーブルでは、ワークのテーブルへの接触面積は、気
密部と吸着部の凸部のみで少なく、その分、静電気の発
生が抑制される。尚、本装置の吸着対象は、液晶パネル
のみならず、例えば、極めて薄いフィルムなどであって
もしわを付けることなく吸着できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】従来の真空吸着パッドおよびワークの側断面
図

【図２】その真空吸着パッドでワークを吸着したとこ
ろを示した図

【図３】吸着が原因でギャップ変化が生じたワークを
示した図

【図４】従来の真空吸着テーブルの平面図とその側断
面図

【図５】複数個の吸着パッドでワークを吸着する様子
を示した図

【図６】本発明の真空吸着パッドの分解斜視図

【図７】図６の真空吸着パッドを下から眺めた平面図

【図８】図７の真空吸着パッドの側断面図

【図９】図７の真空吸着パッドの変形例を示した図

【図１０】図７における部分拡大図

【図１１】図１０の側断面図

【図１２】図９に対応する側断面図

【図１３】図７の吸着部に吸引口を形成していない状
態の拡大図

【図１４】図１３において吸引口を形成したときの拡
大図

【図１５】本発明の真空吸着パッドでワークを吸着し
たときを示した図

【図１６】図７の吸着盤の別の実施形態を示した平面
図およびその側断面図

【図１７】図１６の平面図における部分拡大図および
その側断面図

【図１８】本発明の真空吸着パッドの別の実施形態を
示した斜視図

【図１９】図１８の真空吸着パッドを下から眺めた図

【図２０】本発明の真空吸着パッドの別の実施形態を
示した図

【図２１】本発明の真空吸着パッドを具備した搬送ロ
ボットの斜視図

【図２２】本発明の真空吸着装置を適用してなる真空
吸着テーブルの平面図およびその側断面図

【図２３】図２２の平面図における部分拡大図および
その側断面図

【図２４】本発明の別の実施形態を示した真空吸着テ
ーブルの平面図およびその側断面図

【図２５】図２４の平面図における部分拡大図および
その側断面図

【図２６】本発明の真空吸着テーブルを具備したガラ
ススクライバーの斜視図

【符号の説明】

２液晶パネル４スペーサ１４排気管２１真空吸着パッド２２吸着盤２２ａ気密部２２ｂ吸着部２２ｃ吸引口２４マグネットシート２５両面接着シート２６保持部材２６ａ支持部材２７吸引管３１真空吸着パッド４１搬送ロボット５１真空吸着テーブル５２テーブル５３吸着盤５３ａ気密部５３ｂ吸着部５３ｃ吸引口６１ガラススクライバーＬ溝Ｍ凸部Ｎ凹部

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者小村勇一大阪府東大阪市高井田３番３号小村製版株式会社内

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】搬送機や加工機においてワークを吸着す
るための真空吸着装置において、吸着盤としてエッチング加工可能な板状材料を用い、そ
の一方面に対し、周縁所定幅を気密部とするために非エ
ッチング領域とし、その他の領域を吸着部とするため
に、多数の独立した凸部が残るようにエッチングを行
い、そのエッチングにより形成された凹部に通じる吸引
管を設けたことを特徴とする真空吸着装置。
【請求項２】板状材料として、紫外線照射によりエッ
チングを行える感光性樹脂材を用いた請求項１記載の真
空吸着装置。
【請求項３】柔質の感光性樹脂材料を用いた場合、変
形防止のために硬性の高い部材に貼り合わせて使用され
る請求項１〜２のいずれかに記載の真空吸着装置。
【請求項４】橈んだワークに対しても吸着が確実とな
るよう、上記気密部は上記硬性の高い部材に貼り合わさ
ずにフリーとした請求項３に記載の真空吸着装置。
【請求項５】板状材料として、金属板を用い、その一
方面に対して化学エッチングを行なう請求項１記載の真
空吸着装置。
【請求項６】凸部は、１０〜２５０メッシュ／インチ
の密度で分布する請求項１〜５のいずれかに記載の真空
吸着装置。
【請求項７】吸着部に対し各凸部が占める面積率は１
５〜５０％である請求項６に記載の真空吸着装置。
【請求項８】凹部の深さは数十μ〜数百μもあれば十
分である請求項１〜７のいずれかに記載の真空吸着装
置。
【請求項９】ワークを吸着するための真空吸着パッド
において、吸着盤(22)として、エッチング加工可能な板状材料の一
方面に対し、周縁所定幅を気密部とするために非エッチ
ング領域とし、その他の領域を吸着部とするために、多
数の独立した凸部が残るようにエッチングを行ない、そ
の吸着盤（２２）の他方面を両面接着シート（２５）を
用いてマグネットシート(24)に貼り合わせ、そしてその
マグネットシート(24)の他方の面を、強磁性体の支持部
材(26)に着脱自在に接合し、更に前記吸着盤(22)に形成
された凹部に通じる吸引管(27)を設けたことを特徴とす
る真空吸着パッド。
【請求項１０】加工機のテーブルにワークを吸着する
ための真空吸着テーブルにおいて、テーブル(52)上に設ける吸着盤(53)として、エッチング
加工可能な板状材料の上面に対し、周縁所定幅を気密部
とするために非エッチング領域とし、その他の領域を吸
着部とするために、多数の独立した凸部が残るようにエ
ッチングを行ない、その吸着盤(53)に形成された凹部に
通じる排気管(14)をテーブル(52)に設けたことを特徴と
する真空吸着テーブル。