JP4449923B2 - 基板の組立方法およびその装置 - Google Patents
基板の組立方法およびその装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4449923B2 JP4449923B2 JP2006049698A JP2006049698A JP4449923B2 JP 4449923 B2 JP4449923 B2 JP 4449923B2 JP 2006049698 A JP2006049698 A JP 2006049698A JP 2006049698 A JP2006049698 A JP 2006049698A JP 4449923 B2 JP4449923 B2 JP 4449923B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- adhesive
- pressure
- held
- plate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Liquid Crystal (AREA)
Description
粘着部材を接着した鉄製プレートを前記加圧板に設けた磁石により脱着可能に取り付け、前記粘着部材で前記一方の基板を保持し、両基板の貼り合わせを行った後、加圧板から少なくとも1つ以上の押し部材を基板側に突出することにより基板を押して前記粘着部材を基板から剥離することにした。
前記加圧板に設けた磁石でシート状の粘着部材を接着した鉄製プレートを吸着保持することで脱着可能にした粘着保持機構と、前記粘着保持機構により保持した基板面から前記粘着部材を剥離するための基板押し棒と前記基板押し棒を駆動する駆動機構とからなる剥離機構とを設けた構成とした。
Claims (8)
- 貼り合わせる一方の基板を加圧板に保持し、貼り合わせる他方の基板をテーブル上に保持して対向させ、少なくともいづれか一方の基板に設けた接着剤により真空中で間隔を狭めて貼り合わせる基板の組立方法において、
粘着部材を接着した鉄製プレートを前記加圧板に設けた磁石により脱着可能に取り付け、前記粘着部材で前記一方の基板を保持し、両基板の貼り合わせを行った後、加圧板から少なくとも1つ以上の押し部材を基板側に突出することにより基板を押して前記粘着部材を基板から剥離することを特徴とする基板の組立方法。 - 請求項1に記載の基板の組立方法において、
前記テーブルに設けた磁石に、粘着部材を接着した鉄製プレートを吸着保持し、前記粘着部材で前記他方の基板を保持し、両基板の貼り合わせを行った後、前記テーブル側に設けた少なくとも1つ以上の押し部材を基板面に突出すことにより基板を押して前記粘着部材を基板から剥離することを特徴とする基板の組立方法。 - 真空チャンバ内の上方に設けた加圧板に一方の基板を保持し、貼り合わせる他方の基板を真空チャンバ内の下方に保持して両基板を対向させ、少なくともいづれかの基板に設けた接着剤により減圧雰囲気中で両基板の間隔を狭めて基板同士を貼り合わせる基板組立装置において、
前記加圧板に設けた磁石で、シート状の粘着部材を接着した鉄製プレートを吸着保持することで該鉄製プレートを脱着可能にした粘着保持機構と、前記粘着保持機構により保持した基板面から前記粘着部材を剥離するための基板押し棒と前記基板押し棒を駆動する駆動機構とからなる剥離機構とを設けた構成としたことを特徴とする基板組立装置。 - 請求項3に記載の基板組立装置において、
前記他方の基板を搭載するテーブルと、該テーブルにシート状の粘着部材を接着した鉄製プレートを吸着保持する磁石と、該磁石で前記粘着部材を接着した前記鉄製プレートを吸着保持することで該鉄製プレートを脱着可能にした粘着保持機構と、該粘着保持機構により保持した基板面から前記粘着部材を剥離するための基板押し棒と、該基板押し棒を駆動する駆動機構とからなる剥離機構を設けたことを特徴とする基板組立装置。 - 請求項3又は4に記載の基板組立装置において、
前記粘着保持機構は鉄製プレートに粘着部材を接着した構成であり、前記加圧板またはテーブルに設けた磁石により保持される構成であることを特徴とする基板組立装置。 - 請求項3又は4に記載の基板組立装置おいて、
前記剥離機構の基板押し棒が可動する部分の前記粘着保持機構部分に連通穴を設けたことを特徴とする基板保持機構。 - 請求項3記載の基板組立装置において、
前記加圧板に吸引吸着用の吸引口を設けると共に、前記粘着保持機構にも、前記吸引口に合わせて前記一方の基板の吸着側にまで連通して、前記吸引口に供給された負圧によって前記一方の基板を吸着する吸引吸着用の吸引口を設けてあることを特徴とする基板組立装置。 - 請求項3記載の基板組立装置において、
前記剥離機構が、複数の押し棒を設けた固定板と、前記固定板を駆動する駆動機構とからなることを特徴とする基板組立装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006049698A JP4449923B2 (ja) | 2006-02-27 | 2006-02-27 | 基板の組立方法およびその装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006049698A JP4449923B2 (ja) | 2006-02-27 | 2006-02-27 | 基板の組立方法およびその装置 |
Related Parent Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2002087351A Division JP3819797B2 (ja) | 2002-03-14 | 2002-03-27 | 基板組立装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006195482A JP2006195482A (ja) | 2006-07-27 |
JP4449923B2 true JP4449923B2 (ja) | 2010-04-14 |
Family
ID=36801552
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006049698A Expired - Fee Related JP4449923B2 (ja) | 2006-02-27 | 2006-02-27 | 基板の組立方法およびその装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4449923B2 (ja) |
Families Citing this family (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101367664B1 (ko) | 2006-09-07 | 2014-03-14 | 엘아이지에이디피 주식회사 | 기판 합착 장치 및 그 방법 |
KR101378072B1 (ko) * | 2006-11-29 | 2014-03-27 | 엘아이지에이디피 주식회사 | 기판 합착 장치 |
US8388781B2 (en) * | 2006-12-06 | 2013-03-05 | Adp Engineering Co., Ltd. | Apparatus for attaching substrates and gap control unit thereof |
KR101311855B1 (ko) * | 2006-12-08 | 2013-09-27 | 엘아이지에이디피 주식회사 | 기판합착장치 및 기판합착방법 |
KR100942304B1 (ko) * | 2008-06-02 | 2010-02-16 | 주식회사 에이디피엔지니어링 | 기판척, 기판합착장치 |
KR101340614B1 (ko) | 2011-12-30 | 2013-12-11 | 엘아이지에이디피 주식회사 | 기판합착장치 |
JP7465552B2 (ja) * | 2021-02-10 | 2024-04-11 | Aiメカテック株式会社 | 基板貼り付け装置及び基板貼り付け方法 |
-
2006
- 2006-02-27 JP JP2006049698A patent/JP4449923B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2006195482A (ja) | 2006-07-27 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR100483518B1 (ko) | 액정표시장치의 제조방법과 기판 조립장치 | |
JP4449923B2 (ja) | 基板の組立方法およびその装置 | |
JP3707990B2 (ja) | 基板組立装置 | |
KR100844968B1 (ko) | 기판조립장치와 기판조립방법 | |
JP3492284B2 (ja) | 基板貼合装置 | |
KR100945334B1 (ko) | 접합 기판 제조 장치 및 접합 기판 제조 방법 | |
KR100903173B1 (ko) | 기판조립방법 | |
KR100352919B1 (ko) | 액정디스플레이 제조장치 및 방법 | |
JP2001166272A (ja) | 基板の組立方法とその装置 | |
JP2001005401A (ja) | 基板の組立方法とその装置 | |
TW201516546A (zh) | 貼合設備的製造裝置及貼合設備的製造方法 | |
JP3819797B2 (ja) | 基板組立装置 | |
JP3773866B2 (ja) | 基板の組立方法およびその装置 | |
TWI222671B (en) | Apparatus for fabricating bonded substrate | |
KR101456693B1 (ko) | 기판 합착장치 | |
JP3848942B2 (ja) | 基板の組立方法およびその装置 | |
JP2003241157A (ja) | 基板貼り合わせ装置、基板貼り合わせ方法、及び液晶表示パネルの製造装置、並びに製造方法 | |
JP2007256444A (ja) | 貼合せ基板製造装置 | |
JP2013208827A (ja) | 貼合方法および装置 | |
TW200305743A (en) | Sticking device for flat panel substrate | |
JP2001174835A (ja) | 液晶表示装置用ガラス基板の組立装置及び液晶表示装置製造方法 | |
JP2013140261A (ja) | 貼合方法及び装置 | |
JP4751659B2 (ja) | 基板の貼り合せ装置 | |
JP2008262056A (ja) | 基板の貼り合わせ装置及び貼り合わせ方法 | |
KR100728854B1 (ko) | 접합 기판 제조 장치 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A712 Effective date: 20060920 |
|
RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422 Effective date: 20061013 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821 Effective date: 20060921 |
|
A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A711 Effective date: 20070417 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821 Effective date: 20070417 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20080530 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20080916 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20081024 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20090915 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20091028 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20091201 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20091207 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20100105 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20100118 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4449923 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130205 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140205 Year of fee payment: 4 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313111 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313111 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |