JP4761169B2 - 磁気転写装置、磁気転写方法、及び磁気転写用被転写媒体製造方法 - Google Patents
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Description
〔磁気転写装置の概念〕
図1は、転写装置の一例である磁気転写装置の概念を表わす斜視図である。磁気転写装置1は、図1には記載していない被転写用ディスクであるスレーブディスクを、2枚のマスターディスクで密着挟持する第1のディスクホルダ11と第2のディスクホルダ12とを有する転写ユニット10を構成する。
〔磁気転写装置の構成〕
図2は、磁気転写装置1の実施の形態を表わす側面図である。磁気転写装置1のベース10a上には転写ユニット10が設けられ、転写用磁界印加手段30、30は図のX方向の水平移動と図のθ方向の回転運動を行う駆動手段32、32で磁石31、31を保持している。
〔転写ユニットの構成〕
図3は、転写ユニット10の構成を説明するための側面図である。転写ユニット10は、第1のディスクホルダ11、第2のディスクホルダ12、第1のディスクホルダ11の姿勢調整を行うチルチング調整手段23、及び第2のディスクホルダ12を第1のディスクホルダ11に対して接近又は離間させる移動手段40等から構成されている。
〔ディスクホルダの構造〕
図4は、第1のディスクホルダ11のホルダ板13、及び第2のディスクホルダ12のホルダ板20を表わす断面図である(ホルダ板13に関しては、後述する図5の4−4線に沿った断面図に相当)。第1のディスクホルダ11のホルダ板13は、円板状で周縁部に薄肉部が形成されており、この薄肉部で複数のL字状コマ17、17、…を介して中間板16に固定保持されるようになっている。
〔磁気転写方法の説明〕
次に、磁気転写装置1による磁気転写方法について以下に説明する。最初に、転写ユニット10において、第1のディスクホルダ11のホルダ板13のディスク受け面13bが第2のディスクホルダ12のホルダ板20のディスク受け面20aに対して平行になるように、第1のディスクホルダ11の姿勢を調整する。この調整はチルチング調整手段23にて行う。即ち、チルチング調整手段23に設けられた複数の微調ネジ25又はクランプネジ26のうち少なくとも3個を用いて行う。
Claims (14)
- 第1マスターディスク及び第2マスターディスクの磁気情報を被転写用ディスクに転写する磁気転写装置であって、
前記被転写用ディスクと当該被転写用ディスクに対して転写するためのパターンを備えた前記第1マスターディスクとを吸着保持する第1ディスクホルダと、
前記被転写用ディスクに対して転写するためのパターンを備えた前記第2マスターディスクを吸着保持する第2ディスクホルダと、
前記第1ディスクホルダと前記第2ディスクホルダを相対的に移動させる移動手段と、
前記移動手段により前記第1ディスクホルダと前記第2ディスクホルダを相対的に移動させて接近させることにより前記第1ディスクホルダと前記第2ディスクホルダから形成される密閉空間内であって前記被転写用ディスクの前記第1マスターディスクに接する面の反対側の面に接している空間であるディスク面空間に気体を供給する気体供給手段と、
前記密閉空間の気体を吸引する気体吸引手段と、
前記密閉空間内で前記第1マスターディスクと前記第2マスターディスクにより前記被転写用ディスクを密着狭持させて真空吸引する密着狭持工程及び前記密閉空間を開放する密閉空間開放工程において、前記気体供給手段により前記ディスク面空間へ気体を供給するとともに、前記密着狭持工程と前記密閉空間開放工程における前記気体供給手段からの単位時間あたりの気体の供給量が異なるように、前記気体供給手段を制御する制御手段と、
を有することを特徴とする磁気転写装置。 - 第1マスターディスク及び第2マスターディスクの磁気情報を被転写用ディスクに転写する磁気転写装置であって、
前記被転写用ディスクと当該被転写用ディスクに対して転写するためのパターンを備えた前記第1マスターディスクとを吸着保持する第1ディスクホルダと、
前記被転写用ディスクに対して転写するためのパターンを備えた前記第2マスターディスクを吸着保持する第2ディスクホルダと、
前記第1ディスクホルダと前記第2ディスクホルダを相対的に移動させる移動手段と、
前記移動手段により前記第1ディスクホルダと前記第2ディスクホルダを相対的に移動させて接近させることにより前記第1ディスクホルダと前記第2ディスクホルダから形成される密閉空間内であって前記被転写用ディスクの前記第1マスターディスクに接する面の反対側の面に接している空間であるディスク面空間に気体を供給する気体供給手段と、
前記密閉空間の気体を吸引する気体吸引手段と、
前記密閉空間内で前記第1マスターディスクと前記第2マスターディスクにより前記被転写用ディスクを密着狭持させて真空吸引する密着狭持工程または前記密閉空間を開放する密閉空間開放工程の少なくともいずれか一方の工程において、前記気体供給手段により前記ディスク面空間へ気体を供給するとともに、前記密着狭持工程において前記気体供給手段により前記ディスク面空間に気体を供給させながら、前記気体吸引手段により前記密閉空間の気体を吸引させて、前記第1マスターディスクと前記第2マスターディスクにより前記被転写用ディスクを密着狭持させるように、前記気体供給手段及び前記気体吸引手段を制御する制御手段と、
を有することを特徴とする磁気転写装置。 - 請求項1または2の磁気転写装置において、
前記被転写用ディスクは、前記第1マスターディスクに重ねられた状態で吸引されることにより前記第1ディスクホルダに保持され、
前記気体供給手段は、前記ディスク面空間が正圧に維持されるように気体を供給すること、
を特徴とする磁気転写装置。 - 請求項1乃至3のいずれか1つの磁気転写装置において、
前記気体供給手段は、前記被転写用ディスクの前記第1マスターディスクに接する面の反対側の面のうち前記被転写用ディスクが径方向について前記第2マスターディスクより突出している部分の面を加圧するように気体を供給すること、
を特徴とする磁気転写装置。 - 請求項1乃至4のいずれか1つの磁気転写装置において、
前記気体供給手段の気体送出口は、前記被転写用ディスクの前記第1マスターディスクに接する面の反対側の面と同一面または前記被転写用ディスクの前記第1マスターディスクに接する面の反対側の面から突出した面のいずれかに形成されていること、
を特徴とする磁気転写装置。 - 請求項1乃至5のいずれか1つの磁気転写装置において、
機械的外力を付与する機械的外力付与手段を有し、
前記制御手段は、前記機械的外力付与手段により機械的外力を付与して、前記第1マスターディスクと前記第2マスターディスクにより前記被転写用ディスクを密着狭持させるように制御すること、
を特徴とする磁気転写装置。 - 第1マスターディスク及び第2マスターディスクの磁気情報を被転写用ディスクに転写する磁気転写方法であって、
前記被転写用ディスクと当該被転写用ディスクに対して転写するためのパターンを備えた前記第1マスターディスクとを吸着保持する第1ディスクホルダと、前記被転写用ディスクに対して転写するためのパターンを備えた前記第2マスターディスクを吸着保持する第2ディスクホルダにより密閉空間を形成する密閉空間形成工程と、
前記密閉空間内で前記第1マスターディスクと前記第2マスターディスクにより前記被転写用ディスクを密着狭持させて真空吸引する密着狭持工程と、
前記被転写用ディスクに前記第1マスターディスクと前記第2マスターディスクのパターンを転写する転写工程と、
前記密閉空間を開放する密閉空間開放工程と、を有し、
前記密着狭持工程及び前記密閉空間開放工程では、前記密閉空間内であって前記被転写用ディスクの前記第1マスターディスクに接する面の反対側の面に接している空間であるディスク面空間に気体を供給するとともに、
前記密着狭持工程と前記密閉空間開放工程における前記密閉空間内への単位時間あたりの気体の供給量が異なること、
を特徴とする磁気転写方法。 - 第1マスターディスク及び第2マスターディスクの磁気情報を被転写用ディスクに転写する磁気転写方法であって、
前記被転写用ディスクと当該被転写用ディスクに対して転写するためのパターンを備えた前記第1マスターディスクとを吸着保持する第1ディスクホルダと、前記被転写用ディスクに対して転写するためのパターンを備えた前記第2マスターディスクを吸着保持する第2ディスクホルダにより密閉空間を形成する密閉空間形成工程と、
前記密閉空間内で前記第1マスターディスクと前記第2マスターディスクにより前記被転写用ディスクを密着狭持させて真空吸引する密着狭持工程と、
前記被転写用ディスクに前記第1マスターディスクと前記第2マスターディスクのパターンを転写する転写工程と、
前記密閉空間を開放する密閉空間開放工程と、を有し、
前記密着狭持工程と前記密閉空間開放工程の少なくとも一方の工程では、前記密閉空間内であって前記被転写用ディスクの前記第1マスターディスクに接する面の反対側の面に接している空間であるディスク面空間に気体を供給するとともに、
前記密着狭持工程では、前記ディスク面空間に気体を供給しつつ、前記密閉空間内の気体を減圧させることにより前記第1マスターディスクと前記第2マスターディスクにより前記被転写用ディスクを密着狭持させること、
を特徴とする磁気転写方法。 - 請求項7または8の磁気転写方法において、
前記被転写用ディスクは前記第1マスターディスクに重ねられた状態で吸引されることにより前記第1ディスクホルダに保持され、
前記ディスク面空間が正圧に維持されるように気体を供給すること、
を特徴とする磁気転写方法。 - 請求項7乃至9のいずれか1つの磁気転写方法において、
前記被転写用ディスクの前記第1マスターディスクに接する面の反対側の面のうち前記被転写用ディスクが径方向について前記第2マスターディスクより突出している部分の面を加圧するように気体を供給すること、
を特徴とする磁気転写方法。 - 請求項7乃至10のいずれか1つの磁気転写方法において、
前記被転写用ディスクの前記第1マスターディスクに接する面の反対側の面と同一面または前記被転写用ディスクの前記第1マスターディスクに接する面の反対側の面から突出した面のいずれかより前記ディスク面空間に気体を供給すること、
を特徴とする磁気転写方法。 - 請求項7乃至11のいずれか1つの磁気転写方法において、
前記密着狭持工程では、機械的外力を付与して前記第1マスターディスクと前記第2マスターディスクにより前記被転写用ディスクを密着狭持させること、
を特徴とする磁気転写方法。 - 磁気転写用の被転写用ディスクからなる被転写媒体製造方法であって、
前記被転写用ディスクと当該被転写用ディスクに対して転写するためのパターンを備えた第1マスターディスクとを吸着保持する第1ディスクホルダと、前記被転写用ディスクに対して転写するためのパターンを備えた第2マスターディスクを吸着保持する第2ディスクホルダにより密閉空間を形成する密閉空間形成工程と、
前記密閉空間内で前記第1マスターディスクと前記第2マスターディスクにより前記被転写用ディスクを密着狭持させて真空吸引する密着狭持工程と、
前記被転写用ディスクに前記第1マスターディスクと前記第2マスターディスクのパターンを転写する転写工程と、
前記密閉空間を開放する密閉空間開放工程と、を有し、
前記密着狭持工程及び前記密閉空間開放工程では、前記密閉空間内であって前記被転写用ディスクの前記第1マスターディスクに接する面の反対側の面に接している空間であるディスク面空間に気体を供給するとともに、
前記密着狭持工程と前記密閉空間開放工程における前記密閉空間内への単位時間あたりの気体の供給量が異なること、
を特徴とする磁気転写用被転写媒体製造方法。 - 磁気転写用の被転写用ディスクからなる被転写媒体製造方法であって、
前記被転写用ディスクと当該被転写用ディスクに対して転写するためのパターンを備えた第1マスターディスクとを吸着保持する第1ディスクホルダと、前記被転写用ディスクに対して転写するためのパターンを備えた第2マスターディスクを吸着保持する第2ディスクホルダにより密閉空間を形成する密閉空間形成工程と、
前記密閉空間内で前記第1マスターディスクと前記第2マスターディスクにより前記被転写用ディスクを密着狭持させて真空吸引する密着狭持工程と、
前記被転写用ディスクに前記第1マスターディスクと前記第2マスターディスクのパターンを転写する転写工程と、
前記密閉空間を開放する密閉空間開放工程と、を有し、
前記密着狭持工程と前記密閉空間開放工程の少なくとも一方の工程では、前記密閉空間内であって前記被転写用ディスクの前記第1マスターディスクに接する面の反対側の面に接している空間であるディスク面空間に気体を供給するとともに、
前記密着狭持工程では、前記ディスク面空間に気体を供給しつつ、前記密閉空間内の気体を減圧させることにより前記第1マスターディスクと前記第2マスターディスクにより前記被転写用ディスクを密着狭持させること、
を特徴とする磁気転写用被転写媒体製造方法。
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