JPH11198354A - スクリーン印刷用マスクのマスク清掃装置およびそれを備えたスクリーン印刷装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】マスクを取り外さずにマスクの清掃をすること
ができ、熟練した作業者による清掃作業以上にマスクの
清掃が行えるマスク清掃装置、およびそれを備えたスク
リーン印刷装置を提供することを目的とする。 【解決手段】マスク裏面上をマスクに対して相対的に走
査移動して、マスク裏面を押圧しつつマスク裏面の相対
移動に伴って回転する吸引用補助ローラ２６と、吸引用
補助ローラ２６の相対移動方向に対して後方から吸引用
補助ローラ２６と所定距離を隔てて追従して移動し、マ
スク裏面を押圧しつつマスク裏面に付着した印刷ペース
トを掻き取る清掃ブレード３２と、吸引用補助ローラ２
６および清掃ブレード３２の両側部間を塞ぐように設け
られた吸引用側板部材３６ａ、３６ｂとを有し、掻き取
られた印刷ペーストを吸引する吸引口３４が吸引用補助
ローラ２６、清掃ブレード３２、および吸引用側板部材
３６ａ、３６ｂとで画定された領域内に形成されてい
る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、スクリーン印刷用
マスクの裏面に付着したクリームはんだやインクなどの
印刷ペーストを取り除くマスク清掃装置およびそれを備
えたスクリーン印刷装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】近年、情報関連機器を初めとする種々の
技術分野において小型化、微細化の要求が高まり、プリ
ント回路基板のＳＭＴ（表面実装技術）における微細化
の鍵を握るスクリーン印刷技術が注目されている。この
スクリーン印刷技術に用いられる従来のスクリーン印刷
装置は、印刷ペーストとしてクリームはんだを用い、印
刷パターンが形成されたスクリーン印刷用マスク表面を
スキージで走査して、マスク表面に供給された印刷ペー
ストをマスク印刷パターン開口部に充填するようになっ
ている。マスク裏面に対向する位置には基板が載置さ
れ、パターン開口部に充填された印刷ペーストが基板に
転写されて所望の印刷が行われるようになっている。そ
して、このスクリーン印刷装置においては、ファインピ
ッチ化が進みつつあり現在では０．３ｍｍピッチでの転
写が可能になっている。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】ところが、従来のスク
リーン印刷装置では、マスクのパターン開口から基板側
へ印刷ペーストを付着させる印刷動作を数回から数十回
繰り返すと、パターン開口からマスク裏面に印刷ペース
トが回り込んでしまい、印刷品質が劣化してしまうとい
う問題が生じている。この印刷品質の劣化はファインピ
ッチになるほど顕著である。

【０００４】これを解決するため従来では、所定回数の
印刷が終了すると印刷動作を一時中断して、マスクをス
クリーン印刷装置から取り外してマスク裏面を清掃する
ようにしていた。この清掃は、一般的には、マスク裏面
に付着した印刷ペーストを溶剤を染み込ませたウエスな
どを用いて作業者が手作業で拭き取るようにして行って
いる。ところが、このマスクの清掃方法では、作業者に
多大の労力をかけることになるとともにコスト高にもな
る。また、清掃毎にマスクを装置から取り外すので連続
印刷を行うことができず生産効率を著しく低下させる原
因となっている。

【０００５】また、自動化されたスクリーン印刷機のよ
うな場合には、所定の印刷回数に達したら、例えば、溶
剤を染み込ませたウエスでマスク裏面上を拭くように構
成された清掃装置をスクリーン印刷装置本体に内蔵させ
たものもある。清掃装置を内蔵しているのでマスクを装
置本体から取り外さなくても清掃作業を行うことがで
き、生産効率を向上させることが可能となる。しかしな
がら、従来の清掃装置では、マスク裏面に回り込んだ印
刷ペーストを熟練した作業者の手作業と同程度まで十分
に拭き取ることができず、結局、完全な清掃をするため
にはスクリーン印刷装置からマスクを取り外して作業者
の手作業による清掃をするしかなかった。

【０００６】従って、従来のスクリーン印刷装置では、
マスク裏面の清掃作業において、作業者の労力を軽減す
ることができないという問題を有し、また、マスク清掃
のためにスクリーン印刷装置を一時停止させざるを得ず
生産効率を低下させてしまうという問題を有している。

【０００７】本発明の目的は、マスクを装置から取り外
さずにマスクの清掃をすることができ、熟練した作業者
による清掃作業と同等、あるいはそれ以上にスクリーン
印刷用マスクの清掃が行えるマスク清掃装置、およびそ
れを備えたスクリーン印刷装置を提供することにある。

【０００８】

【課題を解決するための手段】上記目的は、印刷パター
ンが形成されたスクリーン印刷用マスクの裏面に付着し
た印刷ペーストを取り除いて清掃するマスク清掃装置で
あって、マスク裏面上をマスクに対して相対的に走査移
動して、マスク裏面を押圧しつつマスク裏面の相対移動
に伴って回転する吸引用補助ローラと、吸引用補助ロー
ラの相対移動方向に対して後方から吸引用補助ローラと
所定距離を隔てて追従して移動し、マスク裏面を押圧し
つつマスク裏面に付着した印刷ペーストを掻き取る清掃
ブレードと、吸引用補助ローラおよび清掃ブレードの両
側部間を塞ぐように設けられた吸引用側板部材と、掻き
取られた印刷ペーストを吸引する吸引口が吸引用補助ロ
ーラ、清掃ブレード、および吸引用側板部材とで画定さ
れた領域内に形成された吸引部とを備えていることを特
徴とするスクリーン印刷用マスクのマスク清掃装置によ
って達成される。

【０００９】本発明によれば、マスク裏面に対して接触
面をほぼ密着させてマスク裏面との摩擦力によりマスク
の移動に随伴して回転する吸引用補助ローラを有してい
るので、吸引用補助ローラ、清掃ブレード、および両側
部の吸引用側板部材と、マスク裏面とで画定される空間
内を密閉に近い状態に維持することができ、吸引部での
吸引力を向上させることができるようになる。従って、
マスク裏面を清掃ブレード側に吸引させて清掃ブレード
での印刷ペーストの掻き取りを確実にさせるとともに、
掻き取られた印刷ペーストを確実に吸引することができ
るようになる。

【００１０】本発明のマスク清掃装置において、清掃ブ
レードは、少なくともマスク裏面と接する領域の材質が
テフロンであることを特徴とする。清掃ブレードの少な
くともマスク裏面と接する領域の材質をテフロンにする
ことによりマスク裏面に損傷を与えることなく、確実に
印刷ペーストを掻き取ることができるようになる。

【００１１】また、本発明のマスク清掃装置は、吸引用
補助ローラの相対移動方向の前方に吸引用補助ローラと
所定距離を隔てて設けられ、印刷ペーストの溶剤をマス
ク裏面に塗布する溶剤塗布用回転ローラを備えているこ
とを特徴とする。本発明によれば、清掃ブレードの相対
移動方向の前方に溶剤塗布用回転ローラが設けられてい
るので、溶剤塗布用回転ローラからマスク裏面に印刷ペ
ーストの溶剤が塗布されることにより、清掃ブレードで
の印刷ペーストの掻き取りをさらに容易にすることがで
きるようになる。

【００１２】そして、溶剤塗布用回転ローラは、その表
面がブラシ状に形成されていることを特徴とする。ある
いは、溶剤塗布用回転ローラは、少なくともその表面の
部材がスポンジであることを特徴とする。ローラ表面を
ブラシ状あるいはスポンジにすることにより、適量の溶
剤をマスク裏面に容易に均一に塗布することができるよ
うになる。

【００１３】さらに、本発明のマスク清掃装置は、清掃
ブレードの相対移動方向に対して後方に清掃ブレードと
所定距離を隔てて設けられ、マスク裏面を押圧しつつ印
刷ペーストを拭き取る清掃ローラを備えていることを特
徴とする。このように、清掃ブレードの後段にさらに清
掃ローラを設けるようにしているので、清掃ブレードで
掻き取ることができなかった印刷ペースト、あるいは掻
き取られたが吸引部で吸引されなかった印刷ペーストを
清掃ローラで拭き取ることができるようになり、マスク
裏面の清掃をより完璧に行うことができるようになる。

【００１４】また、上記目的は、印刷パターンが形成さ
れたスクリーン印刷用マスクの表面を走査して、マスク
表面に供給された印刷ペーストを印刷パターン開口部に
充填するスキージと、マスク裏面に対向して位置し、開
口部に充填された印刷ペーストが転写される基板を載置
する基板ステージと、上記本発明のマスク清掃装置とを
備えたことを特徴とするスクリーン印刷装置によって達
成される。

【００１５】本発明のスクリーン印刷装置によれば、マ
スクの裏面に回り込んだ印刷ペーストをマスク裏面を傷
つけない材質の清掃ブレードを用いて掻き取り、また、
空気吸引を利用して掻き取った印刷ペーストを吸い取る
ようにしているので、また、拭き取りローラも用いてい
るのでマスク裏面の印刷ペーストをほぼ完全に取り去る
清掃作業を実現できるようになる。

【００１６】また、マスク裏面に回り込んだ印刷ペース
トを溶剤を含むローラブラシ、またはスポンジローラで
膨潤させて、これをテフロン製のブレードで掻き取りな
がら吸引することでマスク裏面を確実にきれいに清掃す
ることができるようになる。

【００１７】

【発明の実施の形態】本発明の一実施の形態によるスク
リーン印刷用マスクのマスク清掃装置およびそれを備え
たスクリーン印刷装置を図１乃至図５を用いて説明す
る。まず、本実施の形態によるスクリーン印刷用マスク
のマスク清掃装置を搭載したスクリーン印刷装置１の概
略の構成を図１を用いて説明する。本実施の形態による
スクリーン印刷装置１は、スクリーン印刷用のマスク２
を載置するマスク載置台４を有している。マスク２は矩
形形状の枠体６を有し、枠体６で規定される面に例えば
ステンレス合金の薄板が張り渡されたメタル部を有して
いる。メタル部のほぼ中央部に印刷パターン形成領域８
が設けられ、印刷パターン形成領域８には所望のパター
ン１０が開口されている。そして、マスク載置台４は、
マスク２の枠体６を下方から支持するようになってい
る。

【００１８】また、本スクリーン印刷装置には、マスク
載置台４上に載置されたマスク２のメタル部上面を図中
Ｘ方向に走査移動するスキージ１２が配置されている。
スキージ１２の走査移動側には図示しない供給系からク
リームはんだ等の印刷ペースト１４が供給されるように
なっており、図示しない駆動系によりスキージ１２をマ
スク２のメタル部上面のＸ方向に走査させることによ
り、マスク２表面に供給された印刷ペースト１４を印刷
パターン形成領域８内のパターン１０開口部に充填する
ことができるようになっている。

【００１９】また、載置されたマスク２の裏面側には、
基板１６を載置して図中Ｚ方向に移動可能な基板ホルダ
１８が設けられている。基板ホルダ１８は、Ｘ−Ｙ平面
内をＸ、Ｙ方向およびＺ軸回りの回転θの３自由度で２
次元移動可能なＸ−Ｙステージ２０上に配置されてお
り、従って、図示を省略したステージ駆動系により基板
ホルダ１８およびＸ−Ｙステージ２０を所定量移動させ
ることにより、載置されたマスク２の印刷パターン形成
領域８裏面に近接してほぼ対向する位置に、基板１６を
位置決めできるようになっている。なお、図示は省略し
たが、この位置決めのためにマスク２の位置および基板
１６の位置を測定する測定系が設けられている。

【００２０】また、本実施の形態によるスクリーン印刷
装置には、マスク２裏面の、特に印刷パターン形成領域
８裏面を清掃するマスク清掃装置２２が備えられてい
る。このマスク清掃装置２２は、印刷パターン形成領域
８裏面に回り込んだ印刷ペースト１４を取り除いて清掃
するために、図示しないガイド機構及び駆動系により、
マスク２裏面を図中−Ｙ方向に走査移動することができ
るようになっている。また、図１ではマスク清掃装置２
２が待機している状態を示しており、基板１６を載置す
る基板ホルダ１８が＋Ｚ方向に上昇してマスク２裏面に
基板１６を近接させても干渉しない位置にマスク清掃装
置２２を待機させるようになっている。また、マスク清
掃装置２２を−Ｙ方向に走査移動させてマスク２裏面の
清掃を行う際には、基板ホルダ１８はマスク清掃装置２
２の移動に対して干渉しない位置まで−Ｚ方向に降下す
るようになっている。このマスク清掃装置２２の構成に
ついては後程詳述する。

【００２１】さて次に、以上のような概略構成を有する
本スクリーン印刷装置による印刷動作およびマスク裏面
の清掃動作を図１を参照しつつ簡単に説明する。まず、
マスク載置台４上に、スクリーン印刷用のマスク２が載
置される。次に、図示しない基板搬送系内で待機してい
た基板１６’が基板ホルダ１８上に搬入されて載置され
る（矢印）。Ｘ−Ｙステージ２０は、図示しない測定
系による測定結果に基づいて基板ホルダ１８に載置され
た基板１６とマスク２の印刷パターン形成領域８との位
置を合わせるためにＸ、Ｙ方向に所定量移動し、またθ
方向に所定量回転する。基板１６とマスク２の印刷パタ
ーン形成領域８との位置合わせが終了したら、基板ホル
ダ１８はＺ方向に上昇し（矢印）、基板１６表面をマ
スク２の印刷パターン形成領域８裏面に一致させる。

【００２２】次に、スキージ１２をマスク２のメタル部
上面でＸ方向に走査移動させ、マスク２表面に供給され
た印刷ペースト１４を印刷パターン形成領域８内のパタ
ーン１０開口部に充填して基板１６上に転写する。印刷
ペースト１４の転写が終了したら、基板１６を載置した
基板ホルダ１８を下降させてから転写された基板１６を
搬出する（矢印）。搬出された基板１６’’は、図示
しない基板搬出系により所定の基板収納位置まで移動さ
れる。そして、次の基板１６’が基板ホルダ１８に搬入
されて載置され、次の印刷動作が開始される。

【００２３】以上の印刷動作が所定の複数回繰り返され
た後、マスク清掃装置２２によるマスク２裏面の清掃が
開始される。基板ホルダ１８が基板１６’の搬入および
載置する位置まで下降している状態で、マスク清掃装置
２２がマスク２裏面を矢印に示すように走査移動し
て、印刷パターン形成領域８裏面に回り込んだ印刷ペー
スト１４を取り除いて清掃する。マスク２裏面の清掃が
終了したらマスク清掃装置２２は待機位置に戻り、基板
１６を載置した基板ホルダ１８が上昇して印刷動作が再
開される。

【００２４】次に、図１に示した本実施の形態によるマ
スク清掃装置２２を図２および図３を用いてより詳細に
説明する。図２は、本実施の形態によるマスク清掃装置
の構成を示す斜視図であり、図３は図２のＡ−Ａ線で切
断した側断面図である。なお、図２および図３中に示す
Ｘ、Ｙ、Ｚ座標系は図１に示した座標系と同一であるも
のとする。

【００２５】図２および図３に示すように、本マスク清
掃装置２２は、Ｘ方向に長辺を有しＸ−Ｙ面にほぼ平行
な長方形状の平板部を持つベース部材２３を有してい
る。ベース部材２３の平板部上には、四角形の角部を構
成し、それぞれ独立に伸縮可能な４つのコイルスプリン
グ２４の各一端部が固定して配置され、４つのコイルス
プリング２４の各他端部には清掃ユニット４４の底部が
固定されている。なお、コイルスプリング２４に代え
て、他のクッション材を用いてももちろんよい。ベース
部材２３は図示しないガイド機構によりマスク２裏面に
沿ってＹ方向に移動可能に支持されている。

【００２６】清掃ユニット４４には、Ｘ方向に対向した
清掃ユニット４４の両側板間に回転可能に支持された吸
引用補助ローラ２６が取り付けられている。吸引用補助
ローラ２６の回転軸はＸ軸にほぼ平行である。また、吸
引用補助ローラ２６は、少なくともその表面が例えばシ
リコンゴムで形成されている。吸引用補助ローラ２６
は、マスク清掃装置２２がマスク２裏面に対して相対的
に走査移動する際、マスク２裏面を押圧しつつマスク２
裏面との接触面をほぼ密着させてマスク２の相対移動に
より回転させられるようになっている。

【００２７】また、吸引用補助ローラ２６のマスク２に
対する相対移動方向（図中−Ｙ方向）の後方側の清掃ユ
ニット４４の両側板間にはブレード／吸引口支持体３０
が取り付けられている。このブレード／吸引口支持体３
０のＹ−Ｚ面での断面形状は、図３に示すように、Ｙ−
Ｚ面内で傾いた長方形形状をしており、吸引用補助ロー
ラ２６と対向する面３０ａが、吸引用補助ローラ２６と
非接触ではあるが近接するように配置されている。ま
た、面３０ａに対して＋Ｚ方向側で隣接する面３０ｂと
面３０ａとで形成されるエッジ領域にテフロン製の清掃
ブレード３２がＸ方向に渡って取り付けられている。つ
まり、清掃ブレード３２は、吸引用補助ローラ２６のマ
スク２に対する相対移動方向（図中−Ｙ方向）の後方に
位置して、吸引用補助ローラ２６と所定距離を隔てて追
従して移動するように清掃ユニット４４の両側板に固定
され、マスク２裏面を押圧しつつマスク２裏面に付着し
た印刷ペースト１４を掻き取るように作用する。少なく
とも清掃ブレード３２のマスク２裏面と接する領域の材
質をテフロンにすることによりマスク２裏面に損傷を与
えることなく、確実に印刷ペースト１４を掻き取ること
ができるようになる。なお、ブレード／吸引口支持体３
０をテフロン素材で形成して清掃ブレード３２を一体的
に形成するようにしてももちろんよい。また、清掃ブレ
ード３２を金属材料等で形成して、少なくともマスク２
裏面と接するエッジ領域の金属表面にテフロンコーティ
ングを施すようにしてもよい。また、ウレタン材を用い
て清掃ブレード３２を作製してもよい。

【００２８】また、清掃ブレード３２のエッジ部から面
３０ａの吸引用補助ローラ２６との近接領域までの間の
領域であって、清掃ブレード３２のエッジ部近傍には、
清掃ブレード３２が掻き取った印刷ペースト１４を吸引
する吸引口３４がＸ方向に沿って形成されている。この
吸引口３４は、ブレード／吸引口支持体３０内を通り外
部に伸びる吸引ダクト３１に接続され、図示しない吸引
ポンプにより吸引力を発生できるようになっている。こ
れら吸引口３４、吸引ダクト３１および図示しない吸引
ポンプ等を含めて吸引部が構成される。

【００２９】また、清掃ユニット４４の両側板の＋Ｚ方
向側の辺部には吸引用補助ローラ２６および清掃ブレー
ド３２の両側部間を塞ぐように吸引用側板部材３６ａ、
３６ｂが取り付けられている。

【００３０】このような構成にすることにより、マスク
２裏面に対して接触面をほぼ密着させてマスク２の移動
に随伴して吸引用補助ローラ２６が回転し、且つ清掃ブ
レード３２、および両側部の吸引用側板部材３６ａ、３
６ｂと、マスク２裏面とで画定される空間内を密閉に近
い状態に維持することができるようになり、吸引部での
吸引力を向上させることができるようになる。

【００３１】さて、清掃ユニット４４の吸引用補助ロー
ラ２６の相対移動方向の前方に吸引用補助ローラ２６と
所定距離を隔てて設けられ、印刷ペースト１４を溶かす
溶剤をマスク２裏面に塗布する自走回転式の溶剤塗布用
回転ローラ４８が設けられている。溶剤塗布用回転ロー
ラ４８は、ベース部材２３の平板部上に固定された溶剤
タンク４６のＸ方向の両端部で回転可能に支持されてい
る。溶剤タンク４６内には例えばアルコールからなる溶
剤５４が、溶剤塗布用回転ローラ４８表面に溶剤５４が
浸透するのに十分な液面の高さを維持するように入れら
れている。また、溶剤５４を塗布する際にマスク２裏面
から溶剤塗布用回転ローラ４８表面に付着した印刷ペー
スト１４を掻き取って除去する掻き取り板５２が溶剤タ
ンク４６内に設けられている。

【００３２】Ｘ軸に平行な溶剤塗布用回転ローラ４８の
回転シャフト５０は、マスク２裏面の清掃動作の際に
は、図示しない駆動系により例えばＸ軸回りを反時計回
りに回転して溶剤塗布用回転ローラ４８表面で溶剤５４
をマスク２裏面に塗布すると共に、図中−Ｙ方向に自走
して走査移動することができるようになっている。ま
た、ガイド機構に案内されるベース部材２３を介して、
マスク清掃装置２２が一体として走査方向に移動できる
ようになっている。この駆動機構については図５を用い
て後程詳述する。

【００３３】そして、溶剤塗布用回転ローラ４８は、そ
の表面がブラシ状に形成されている。また、溶剤塗布用
回転ローラ４８の少なくとも表面の部材をスポンジとし
てもよい。ローラ表面をブラシ状あるいはスポンジにす
ることにより、適量の溶剤５４をマスク２裏面に容易に
塗布することができるようになる。

【００３４】このように本実施の形態のマスク清掃装置
２２によれば、清掃ブレード３２の相対移動方向の前方
に溶剤塗布用回転ローラ４８が設けられているので、溶
剤塗布用回転ローラ４８からマスク２裏面に印刷ペース
ト１４の溶剤５４を塗布することにより、清掃ブレード
３２での印刷ペースト１４の掻き取りをさらに容易にす
ることができるようになる。

【００３５】さらに、本実施の形態によるマスク清掃装
置２２は、清掃ブレード３２の相対移動方向の後方に清
掃ブレード３２と所定距離を隔てて設けられ、マスク２
裏面を押圧しつつ印刷ペースト１４を拭き取る清掃ロー
ラ３８を備えている。清掃ローラ３８はＸ軸と平行な回
転軸を有し、ローラ支持体４２に回転可能に支持されて
いる。そして、ローラ支持体４２は清掃ユニット４４に
固定されている。清掃ローラ３８表面には例えばポリエ
ステルの清掃紙が巻き付けられており、Ｘ軸に平行な回
転シャフト４０は、マスク２裏面の清掃動作の際には、
図示しない駆動系により例えばＸ軸回りを反時計回りに
回転して、清掃ローラ３８表面の清掃紙を回転させなが
らマスク２裏面に対して拭き取り動作を行うようになっ
ている。このように、清掃ブレード３２の後段にさらに
清掃ローラ３８を設けるようにしているので、清掃ブレ
ード３２で掻き取ることができなかった印刷ペースト１
４、あるいは掻き取られたが吸引部で吸引されなかった
印刷ペースト１４を清掃ローラ３８で拭き取ることがで
きるようになり、マスク２裏面の清掃をより完璧に行う
ことができるようになる。

【００３６】次に、本実施の形態によるマスク清掃装置
２２の動作を図４および図５を用いて説明する。図４
は、本実施の形態によるマスク清掃装置２２がマスク２
裏面に接触している清掃動作時の側断面面図であり、図
５は、マスク清掃装置２２の駆動系を含む清掃装置全体
を示すスクリーン印刷装置の概略図である。なお、図４
および図５中に示すＸ、Ｙ、Ｚ座標系は図１に示した座
標系と同一であるものとする。

【００３７】図４において、−Ｚ方向を走査移動方向と
して本実施の形態によるマスク清掃装置２２がマスク２
裏面に接触している状態を示しており、溶剤塗布用回転
ローラ４８の外周を基準にして、４つのコイルスプリン
グ２４の反力を受けつつ清掃ユニット４４が沈み込んで
吸着用補助ローラ２６、清掃ブレード３２、および清掃
ローラ３８が所定の力でマスク２裏面を押圧している。

【００３８】また図４に示すように、吸引用側板部材３
６ａ、３６ｂのＡ部のＺ方向の高さは吸着用補助ローラ
２６のマスク２裏面の接触位置の高さとほぼ等しく、ま
た、Ｂ部のＺ方向の高さは、清掃ブレード３２のマスク
２裏面との接触位置の高さとほぼ等しくなるように形成
されている。また、吸引用側板部材３６ａ、３６ｂのＡ
部からＢ部に至る辺部は直線状に形成されている。従っ
て、吸着用補助ローラ２６、面３０ａ、および吸引用側
板部材３６ａ、３６ｂ、およびマスク２裏面でほぼ密閉
された空間を形成することができるようになっている。
走査移動中に順次マスク２裏面を移動させながらこのほ
ぼ密閉された空間を作り出すことができるので、清掃ブ
レード３２にマスク２裏面を密着させて印刷ペースト１
４を掻き取る力を増大させることができ、また、吸引口
３４からの吸引力を増大させることができるようにな
る。

【００３９】なお、本実施の形態では図４に示すよう
に、−Ｙ方向の移動方向に対して溶剤塗布用回転ローラ
４８は反回転回りに回転しながら溶剤５４をマスク２裏
面に塗布するようにしているが、時計回りに回転させて
ももちろんよい。

【００４０】次に、図５を用いてマスク清掃装置２２の
走査移動動作について説明する。図５は、走査移動方向
にマスク清掃装置２２が移動している最中の状態を示し
ている。また、図５では、マスク清掃装置２２内の構成
は走査移動についての要部の構成要素だけを示し、例え
ば溶剤タンク４６等の図示は省略している。

【００４１】本実施の形態によるスクリーン印刷装置１
の図示しない架台には、マスク２を載置するマスク載置
台４の図中＋Ｙ方向側のマスク載置台４から＋Ｙ方向側
に所定距離隔てた位置に、マスク清掃装置２２を駆動す
るモータ６０が固定されている。一方、図中−Ｙ方向側
のマスク載置台４から−Ｙ方向側に所定距離隔てた位置
には、プーリ６２が回転可能に架台上に固定されてい
る。

【００４２】また、マスク清掃装置２２の溶剤塗布用回
転ローラ４８のシャフト５０にはプーリ６８が固定され
ており、さらに図５に示すようにマスク清掃装置２２
は、プーリ６８より上方（＋Ｚ方向）で、マスク２のメ
タル部より高い位置にプーリ６４、６６が回転可能に設
けられている。プーリ６８に対してベルト７０の張力を
十分確保することを目的として、プーリ６４の回転軸は
シャフト５０より若干＋Ｙ方向にずれており、プーリ６
６の回転軸は、プーリ６８に掛け渡されたベルト７０の
間隔がプーリ６８の直径よりわずかに小さくなるような
位置に配置されている。ベルト７０は、モータ６０、プ
ーリ６２、プーリ６４、プーリ６８、プーリ６６に至り
モータ６０に戻るように掛け渡されている。すなわち、
ベルト７０の内側部がモータ６０、プーリ６２、および
プーリ６８に掛け渡され、ベルト７０の外側部がプーリ
６４、６６に掛け渡されている。

【００４３】また、マスク清掃装置２２内に設けられた
ベルト固定具７２に図中上方（＋Ｚ方向側）のベルト７
０が固定されており、従って、モータ６０の回転に伴う
ベルト７０の移動と共にマスク清掃装置２２はＹ方向に
移動できるようになっている。また、図示は省略した
が、マスク清掃装置２２はＹ方向に沿って設けられたガ
イド機構に案内されてＹ方向に摺動可能に支持されてい
る。さらに、マスク清掃装置２２のベース部材２３は図
示を省略したＺ方向駆動機構によりＺ方向に移動するこ
とができるようになっており、マスク２裏面の清掃の際
には＋Ｚ方向に移動して溶剤塗布用回転ローラ４８と、
清掃ユニット４４の吸引用補助ローラ２６、清掃ブレー
ド３２、および清掃ローラ３８をマスク２裏面に接触さ
せ、清掃時以外には−Ｚ方向に移動させてこれらローラ
４８、２６、３８および清掃ブレード３２をマスク２裏
面から離隔させておくことができるようになっている。

【００４４】また、図５において、マスク清掃装置２２
の待機位置の図示は省略しているが、図中＋Ｙ方向の破
断線で示した省略位置にある。待機位置でのマスク清掃
装置２２のベース部材２３はＺ方向駆動装置により−Ｚ
方向に移動している。

【００４５】以上のような配置関係を有してマスク清掃
装置２２の駆動系が構成されており、モータ６０が図中
反時計回りに回転を始めると、待機位置にあったマスク
清掃装置２２はベルト７０の移動と共に図中−Ｙ方向に
移動を開始する。所定の清掃開始位置に至るとＺ方向駆
動機構により、マスク清掃装置２２のベース部材２３は
＋Ｚ方向に移動させられて、まず、ベース部材２３に固
定された清掃ユニット４４の吸引用補助ローラ２６、清
掃ブレード３２、および清掃ローラ３８がそれぞれマス
ク２裏面に接触して、コイルスプリング２４からの反力
によりマスク２裏面を押圧する。さらにベース部材２３
を＋Ｚ方向に移動させることにより、コイルスプリング
２４が縮むと共に、ベルト７０の移動により反時計回り
に回転させられている溶剤塗布用回転ローラ４８がマス
ク２裏面に接触し、ローラ表面の例えばブラシによりマ
スク２裏面へ溶剤５４の塗布を開始する。

【００４６】このようにして、マスク２裏面を図中＋Ｙ
方向から−Ｙ方向へ向かってマスク清掃装置２２がマス
ク２に対して走査移動しつつマスク２裏面の清掃を行
う。マスク清掃装置２２がプーリ６２側に移動してマス
ク２裏面の清掃が終了したら、Ｚ方向駆動機構により、
マスク清掃装置２２のベース部材２３を−Ｚ方向に移動
させて、ベース部材２３に固定された清掃ユニット４４
の吸引用補助ローラ２６、清掃ブレード３２、清掃ロー
ラ３８、および溶剤塗布用回転ローラ４８をマスク２裏
面から離間させた後、モータ６０を時計回りに回転させ
ることによりマスク清掃装置２２を待機位置まで移動さ
せる。

【００４７】このように、本実施の形態によるマスク清
掃装置およびそれを備えたスクリーン印刷装置によれ
ば、従来では、マスク裏面をクリーニングする際に、回
り込んだ印刷ペーストを溶剤を含んだウエスで拭くと、
溶けた印刷ペーストがマスク裏面全体に拡がってしま
い、完全に洗浄するにはこの動作を何度も繰り返す必要
があったのに対し、１〜２回程度の清掃動作でマスク裏
面に回り込んだ印刷ペーストをほぼ完全に取り去ること
ができるようになる。

【００４８】また、マスク裏面に回り込んだ印刷ペース
トを溶剤を含むローラブラシ、またはスポンジローラで
膨潤させて、これをマスク裏面を傷つけない材質（例え
ば、テフロン）の清掃ブレードで掻き取りながら吸引
し、さらにその後に拭き取りローラによりマスク裏面を
拭き取るようにしているので、マスク裏面の印刷ペース
トを完全に安全に取り去る清掃作業を実現できるように
なる。

【００４９】また、本実施の形態によるマスク清掃装置
では、マスク裏面に対して接触面をほぼ密着させてマス
クの移動に随伴して回転する吸引用補助ローラを有して
いるので、吸引用補助ローラ、清掃ブレード、および両
側部の吸引用側板部材と、マスク裏面とで画定される空
間内を密閉に近い状態に維持することができ、吸引部で
の吸引力を向上させることができるようになる。従っ
て、マスク裏面を清掃ブレード側に吸引させて清掃ブレ
ードでの印刷ペーストの掻き取りを確実にさせるととも
に、掻き取られた印刷ペーストを確実に吸引することが
できるようになる。

【００５０】本発明は、上記実施の形態に限らず種々の
変形が可能である。例えば、上記実施の形態において
は、スキージの走査移動方向と直交する方向にマスク清
掃装置の走査移動方向を設定したが、本発明はこれに限
られず、スキージの走査移動方向に平行にマスク清掃装
置の走査移動方向を設定してももちろんよい。

【００５１】

【発明の効果】以上の通り、本発明によれば、マスクを
装置から取り外さずにマスクの清掃をすることができ、
熟練した作業者による清掃作業と同等、あるいはそれ以
上にスクリーン印刷用マスクの清掃が行えるマスク清掃
装置およびそれを備えたスクリーン印刷装置を実現でき
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施の形態によるマスク清掃装置を
備えたスクリーン印刷装置の概略の構成を示す図であ
る。

【図２】本発明の一実施の形態によるマスク清掃装置の
概略の構成を示す斜視図である。

【図３】本発明の一実施の形態によるマスク清掃装置の
概略の構成を示す側断面図である。

【図４】本発明の一実施の形態によるマスク清掃装置の
動作を示す側断面図である。

【図５】本発明の一実施の形態によるマスク清掃装置の
走査移動動作を示す側断面図である。

【符号の説明】

１ スクリーン印刷装置 ２ マスク ４ マスク載置台 ６ 枠体 ８ 印刷パターン形成領域 １０ パターン １２ スキージ １４ 印刷ペースト １６ 基板 １８ 基板ホルダ ２０ Ｘ−Ｙステージ ２２ マスク清掃装置 ２３ ベース部材 ２４ コイルスプリング ２６ 吸引用補助ローラ ３０ ブレード／吸引口支持体 ３１ 吸引ダクト ３２ 清掃ブレード ３４ 吸引口 ３６ａ、３６ｂ 吸引用側板部材 ３８ 清掃ローラ ４０ 回転シャフト ４２ ローラ支持体 ４４ 清掃ユニット ４６ 溶剤タンク ４８ 溶剤塗布用回転ローラ ５０ 回転シャフト ５２ 掻き取り板 ５４ 溶剤 ６０ モータ ６２、６４、６６、６８ プーリ ７０ ベルト ７２ ベルト固定具

Claims (7)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】印刷パターンが形成されたスクリーン印刷
   用マスクの裏面に付着した印刷ペーストを取り除いて清
   掃するマスク清掃装置であって、 前記マスク裏面上を前記マスクに対して相対的に走査移
   動して、前記マスク裏面を押圧しつつ前記マスク裏面の
   相対移動に伴って回転する吸引用補助ローラと、 前記吸引用補助ローラの相対移動方向に対して後方から
   前記吸引用補助ローラと所定距離を隔てて追従して移動
   し、前記マスク裏面を押圧しつつ前記マスク裏面に付着
   した前記印刷ペーストを掻き取る清掃ブレードと、 前記吸引用補助ローラおよび前記清掃ブレードの両側部
   間を塞ぐように設けられた吸引用側板部材と、 掻き取られた前記印刷ペーストを吸引する吸引口が、前
   記吸引用補助ローラ、前記清掃ブレード、及び前記吸引
   用側板部材とで画定された領域内に形成された吸引部と
   を備えていることを特徴とするスクリーン印刷用マスク
   のマスク清掃装置。
2. 【請求項２】請求項１記載のマスク清掃装置において、 前記清掃ブレードは、少なくとも前記マスク裏面と接す
   る領域の材質がテフロンであることを特徴とするマスク
   清掃装置。
3. 【請求項３】請求項１または２に記載のマスク清掃装置
   において、 前記吸引用補助ローラの相対移動方向の前方に前記吸引
   用補助ローラと所定距離を隔てて設けられ、前記印刷ペ
   ーストの溶剤を前記マスク裏面に塗布する溶剤塗布用回
   転ローラを備えていることを特徴とするマスク清掃装
   置。
4. 【請求項４】請求項３記載のマスク清掃装置において、 前記溶剤塗布用回転ローラは、その表面がブラシ状に形
   成されていることを特徴とするマスク清掃装置。
5. 【請求項５】請求項３記載のマスク清掃装置において、 前記溶剤塗布用回転ローラは、少なくともその表面の部
   材がスポンジであることを特徴とするマスク清掃装置。
6. 【請求項６】請求項１乃至５のいずれかに記載のマスク
   清掃装置において、 前記清掃ブレードの相対移動方向に対して後方に前記清
   掃ブレードと所定距離を隔てて設けられ、前記マスク裏
   面を押圧しつつ前記印刷ペーストを拭き取る清掃ローラ
   を備えていることを特徴とするマスク清掃装置。
7. 【請求項７】印刷パターンが形成されたスクリーン印刷
   用マスクの表面を走査して、前記マスク表面に供給され
   た印刷ペーストを前記印刷パターン開口部に充填するス
   キージと、 前記マスク裏面に対向して位置し、前記開口部に充填さ
   れた前記印刷ペーストが転写される基板を載置する基板
   ステージと、 請求項１乃至７のいずれかに記載のマスク清掃装置とを
   備えたことを特徴とするスクリーン印刷装置。