JPH11183529A - 微小電流測定方法および微小電流測定装置 - Google Patents
微小電流測定方法および微小電流測定装置Info
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- JPH11183529A JPH11183529A JP9350953A JP35095397A JPH11183529A JP H11183529 A JPH11183529 A JP H11183529A JP 9350953 A JP9350953 A JP 9350953A JP 35095397 A JP35095397 A JP 35095397A JP H11183529 A JPH11183529 A JP H11183529A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 コストを上昇させることなく、被測定体を流
れる微小電流を十分正確に測定できる微小電流測定方法
および微小電流測定装置を提供する。 【解決手段】 測定装置から被測定体に所定の電圧を印
加することによって、被測定体に流れる微小電流を測定
する微小電流測定方法であって、商用電源の１周期また
はその整数倍の時間に相当する期間中に、商用電源の半
周期について１回以上の割合で、一定時間毎に被測定体
に流れる微小電流を測定し（Ｓ６）、それらの平均値を
真の測定電流値とする（Ｓ１３）。
れる微小電流を十分正確に測定できる微小電流測定方法
および微小電流測定装置を提供する。 【解決手段】 測定装置から被測定体に所定の電圧を印
加することによって、被測定体に流れる微小電流を測定
する微小電流測定方法であって、商用電源の１周期また
はその整数倍の時間に相当する期間中に、商用電源の半
周期について１回以上の割合で、一定時間毎に被測定体
に流れる微小電流を測定し（Ｓ６）、それらの平均値を
真の測定電流値とする（Ｓ１３）。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本願発明は、たとえば半導体
ディバイスなどのリーク電流のような微小な電流を測定
する微小電流測定方法、およびその微小電流測定方法の
実施に用いる微小電流測定装置に関する。
ディバイスなどのリーク電流のような微小な電流を測定
する微小電流測定方法、およびその微小電流測定方法の
実施に用いる微小電流測定装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】一般に、ダイオード、発光ダイオード、
バイポーラトランジスタ、電界効果トランジスタ、ＩＣ
（integrated circuit）、あるいはＬＳＩ（large scal
e integration ）のような半導体ディバイスは、製造後
の工場出荷前に、各種の検査が行われ、良品と不良品と
が区別される。
バイポーラトランジスタ、電界効果トランジスタ、ＩＣ
（integrated circuit）、あるいはＬＳＩ（large scal
e integration ）のような半導体ディバイスは、製造後
の工場出荷前に、各種の検査が行われ、良品と不良品と
が区別される。
【０００３】このような検査は、たとえばＩＣテスタな
どの自動検査装置によって、各種の検査項目が連続的に
実行される。そして、この検査項目中に、リーク電流の
検査がある。このリーク電流の検査は、半導体ディバイ
スなどの被測定体に逆バイアスを印加し、そのときに被
測定体を流れる微小電流を測定するものである。
どの自動検査装置によって、各種の検査項目が連続的に
実行される。そして、この検査項目中に、リーク電流の
検査がある。このリーク電流の検査は、半導体ディバイ
スなどの被測定体に逆バイアスを印加し、そのときに被
測定体を流れる微小電流を測定するものである。
【０００４】ところで、半導体ディバイスの逆バイアス
時のインピーダンスは、絶縁体と同様に非常に大きいの
で、リーク電流は極めて微小であって、たとえばｐＡあ
るいはｎＡのオーダーであり、このような微小な電流を
測定する場合、電磁誘導による誤差が大きな問題とな
る。たとえば、自動検査装置自体、あるいは自動検査装
置の付近に設置されている機器には、変圧器や電動機な
どが備えられており、これらの変圧器や電動機などが商
用電源によって駆動されることに起因して、微小電流の
測定結果に誘導による誤差が生じる。
時のインピーダンスは、絶縁体と同様に非常に大きいの
で、リーク電流は極めて微小であって、たとえばｐＡあ
るいはｎＡのオーダーであり、このような微小な電流を
測定する場合、電磁誘導による誤差が大きな問題とな
る。たとえば、自動検査装置自体、あるいは自動検査装
置の付近に設置されている機器には、変圧器や電動機な
どが備えられており、これらの変圧器や電動機などが商
用電源によって駆動されることに起因して、微小電流の
測定結果に誘導による誤差が生じる。
【０００５】このため、従来の自動検査装置では、被測
定体のリーク電流を安定して十分正確に測定することが
できず、良品と不良品とを正しく判定できない場合があ
ることから、不良品を良品と判断する検査ミスや、良品
を不良品と判断することによる歩留りの低下を引き起こ
すという課題があった。
定体のリーク電流を安定して十分正確に測定することが
できず、良品と不良品とを正しく判定できない場合があ
ることから、不良品を良品と判断する検査ミスや、良品
を不良品と判断することによる歩留りの低下を引き起こ
すという課題があった。
【０００６】なお、このような問題を低減するために、
測定回路に電磁シールドを施すことが考えられるが、こ
のようにすると、コストが非常に高価になり、しかも完
全なシールドは困難であって、十分に満足な測定結果を
必ずしも得られないものと思われる。
測定回路に電磁シールドを施すことが考えられるが、こ
のようにすると、コストが非常に高価になり、しかも完
全なシールドは困難であって、十分に満足な測定結果を
必ずしも得られないものと思われる。
【０００７】
【発明の開示】本願発明は、上記した事情のもとで考え
出されたものであって、コストを上昇させることなく、
被測定体を流れる微小電流を十分正確に測定できる微小
電流測定方法および微小電流測定装置を提供すること
を、その課題とする。
出されたものであって、コストを上昇させることなく、
被測定体を流れる微小電流を十分正確に測定できる微小
電流測定方法および微小電流測定装置を提供すること
を、その課題とする。
【０００８】上記の課題を解決するため、本願発明で
は、次の技術的手段を講じている。
は、次の技術的手段を講じている。
【０００９】本願発明の第１の側面によれば、測定装置
から被測定体に所定の電圧を印加することによって、被
測定体に流れる微小電流を測定する微小電流測定方法で
あって、商用電源の１周期またはその整数倍の時間に相
当する期間中に、商用電源の半周期について１回以上の
割合で、一定時間毎に被測定体に流れる微小電流を測定
し、それらの平均値を真の測定電流値とすることを特徴
とする、微小電流測定方法が提供される。
から被測定体に所定の電圧を印加することによって、被
測定体に流れる微小電流を測定する微小電流測定方法で
あって、商用電源の１周期またはその整数倍の時間に相
当する期間中に、商用電源の半周期について１回以上の
割合で、一定時間毎に被測定体に流れる微小電流を測定
し、それらの平均値を真の測定電流値とすることを特徴
とする、微小電流測定方法が提供される。
【００１０】好ましい実施の形態によれば、１回目の測
定と、その測定から商用電源の半周期に相当する時間の
経過後に行った２回目の測定との平均値を真の測定電流
値とする。
定と、その測定から商用電源の半周期に相当する時間の
経過後に行った２回目の測定との平均値を真の測定電流
値とする。
【００１１】本願発明の第２の側面によれば、被測定体
に所定の電圧を印加する電圧供給手段と、被測定体に流
れる電流を測定する電流測定手段と、商用電源の１周期
またはその整数倍の時間に相当する期間中に、商用電源
の半周期について１回以上の割合で、一定時間毎に電流
測定手段による測定結果をサンプリングするサンプリン
グ手段と、サンプリング手段によりサンプリングされた
測定結果を記憶する測定結果記憶手段と、測定結果記憶
手段に記憶された測定結果の平均値を演算する演算手段
とを備えたことを特徴とする、微小電流測定装置が提供
される。
に所定の電圧を印加する電圧供給手段と、被測定体に流
れる電流を測定する電流測定手段と、商用電源の１周期
またはその整数倍の時間に相当する期間中に、商用電源
の半周期について１回以上の割合で、一定時間毎に電流
測定手段による測定結果をサンプリングするサンプリン
グ手段と、サンプリング手段によりサンプリングされた
測定結果を記憶する測定結果記憶手段と、測定結果記憶
手段に記憶された測定結果の平均値を演算する演算手段
とを備えたことを特徴とする、微小電流測定装置が提供
される。
【００１２】好ましい実施の形態によれば、サンプリン
グ手段は、１回目のサンプリング時から商用電源の半周
期に相当する時間の経過後に２回目のサンプリングを行
い、演算手段は、測定結果記憶手段に記憶されている、
サンプリング手段による１回目のサンプリング結果と２
回目のサンプリング結果との平均値を演算する。
グ手段は、１回目のサンプリング時から商用電源の半周
期に相当する時間の経過後に２回目のサンプリングを行
い、演算手段は、測定結果記憶手段に記憶されている、
サンプリング手段による１回目のサンプリング結果と２
回目のサンプリング結果との平均値を演算する。
【００１３】本願発明によれば、商用電源の１周期また
はその整数倍の時間に相当する期間中に、商用電源の半
周期について１回以上の割合で、一定時間毎に被測定体
に流れる微小電流を測定し、それらの平均値を真の測定
電流値とするので、商用電源による誘導の影響の正負を
相殺できることから、コストを上昇させることなく、被
測定体を流れる微小電流を十分正確に測定できる。すな
わち、商用電源は所定周波数の正弦波交流電力であるの
で、その周波数の半周期毎に、測定結果に正の影響と負
の影響とを交互に及ぼす。したがって、１個の被測定体
に対する測定期間を商用電源の１周期またはその整数倍
の期間とし、その期間において、商用電源の半周期につ
いて１回以上の割合で、一定時間毎に被測定体に流れる
微小電流を測定することにより、商用電源の誘導が測定
結果に及ぼす正の影響の絶対値の合計と負の影響の絶対
値の合計とが等しくなる。この結果、測定期間における
測定値の平均値を算出することにより、商用電源の影響
を排除した真のリーク電流値を得ることができる。もち
ろん、商用電源の影響を避けるための電磁シールドなど
を必要としないので、コストの上昇もない。
はその整数倍の時間に相当する期間中に、商用電源の半
周期について１回以上の割合で、一定時間毎に被測定体
に流れる微小電流を測定し、それらの平均値を真の測定
電流値とするので、商用電源による誘導の影響の正負を
相殺できることから、コストを上昇させることなく、被
測定体を流れる微小電流を十分正確に測定できる。すな
わち、商用電源は所定周波数の正弦波交流電力であるの
で、その周波数の半周期毎に、測定結果に正の影響と負
の影響とを交互に及ぼす。したがって、１個の被測定体
に対する測定期間を商用電源の１周期またはその整数倍
の期間とし、その期間において、商用電源の半周期につ
いて１回以上の割合で、一定時間毎に被測定体に流れる
微小電流を測定することにより、商用電源の誘導が測定
結果に及ぼす正の影響の絶対値の合計と負の影響の絶対
値の合計とが等しくなる。この結果、測定期間における
測定値の平均値を算出することにより、商用電源の影響
を排除した真のリーク電流値を得ることができる。もち
ろん、商用電源の影響を避けるための電磁シールドなど
を必要としないので、コストの上昇もない。
【００１４】なお、２個のハンドリング装置を用いて、
被測定体の測定中に別の被測定体のハンドリングを行う
ことにより、検査作業の効率を向上させた自動検査装置
においては、被測定体の測定中にハンドリング装置の電
動機が作動し、それによる測定結果への影響が特に大き
いのであるが、本願発明の微小電流測定装置は、このよ
うな自動検査装置に採用することにより、特に大きな効
果を発揮する。
被測定体の測定中に別の被測定体のハンドリングを行う
ことにより、検査作業の効率を向上させた自動検査装置
においては、被測定体の測定中にハンドリング装置の電
動機が作動し、それによる測定結果への影響が特に大き
いのであるが、本願発明の微小電流測定装置は、このよ
うな自動検査装置に採用することにより、特に大きな効
果を発揮する。
【００１５】また、１回目の測定と、その測定から商用
電源の半周期に相当する時間の経過後に行った２回目の
測定との平均値を真の測定電流値とれば、商用電源の半
周期に相当する時間で測定を完了させることができ、被
測定体を流れる微小電流を短時間で十分正確に測定でき
る。しかも、１回目の測定と２回目の測定との間に、逆
バイアス時のリーク電流以外の各種の検査項目について
の測定を行うことにより、極めて効率よく自動検査を行
うことができる。
電源の半周期に相当する時間の経過後に行った２回目の
測定との平均値を真の測定電流値とれば、商用電源の半
周期に相当する時間で測定を完了させることができ、被
測定体を流れる微小電流を短時間で十分正確に測定でき
る。しかも、１回目の測定と２回目の測定との間に、逆
バイアス時のリーク電流以外の各種の検査項目について
の測定を行うことにより、極めて効率よく自動検査を行
うことができる。
【００１６】被測定体としては、ダイオード、発光ダイ
オード、バイポーラトランジスタ、電界効果トランジス
タ、ＩＣ、あるいはＬＳＩなどが考えられるが、これら
に限るものではない。
オード、バイポーラトランジスタ、電界効果トランジス
タ、ＩＣ、あるいはＬＳＩなどが考えられるが、これら
に限るものではない。
【００１７】電流測定手段と被測定体との接続は、たと
えば被測定体のリード線やピンなどの端子を電流測定手
段のソケットに挿入することにより実現できるが、これ
に限るものではない。
えば被測定体のリード線やピンなどの端子を電流測定手
段のソケットに挿入することにより実現できるが、これ
に限るものではない。
【００１８】サンプリング手段は、ディスクリート部品
あるいはＩＣなどにより構成されるサンプル・ホールド
回路により実現できるが、これに限るものではない。
あるいはＩＣなどにより構成されるサンプル・ホールド
回路により実現できるが、これに限るものではない。
【００１９】測定結果記憶手段としては、ＲＡＭ（rand
om access memory）やＥＥＰＲＯＭ（electrically era
sable and programmable read only memory ）を用いる
ことができるが、これらに限るものではない。
om access memory）やＥＥＰＲＯＭ（electrically era
sable and programmable read only memory ）を用いる
ことができるが、これらに限るものではない。
【００２０】演算手段は、所定のプログラムに基づいて
動作するＣＰＵ（central processing unit ）により実
現できるが、これに限るものではない。
動作するＣＰＵ（central processing unit ）により実
現できるが、これに限るものではない。
【００２１】本願発明のその他の特徴および利点は、添
付図面を参照して以下に行う詳細な説明によって、より
明らかとなろう。
付図面を参照して以下に行う詳細な説明によって、より
明らかとなろう。
【００２２】
【発明の実施の形態】以下、本願発明の好ましい実施の
形態を、図面を参照して具体的に説明する。
形態を、図面を参照して具体的に説明する。
【００２３】図１は、本願発明に係る微小電流測定装置
を備えた自動検査装置の回路ブロック図であって、この
自動検査装置は、ＣＰＵ１、ＲＯＭ（read only memor
y）２、ＲＡＭ３、入出力インターフェイス４、電源回
路５、測定回路６、ソケット７、サンプル・ホールド回
路８、搬入用ハンドリング装置９、および搬出用ハンド
リング装置１０を備えている。ＣＰＵ１、ＲＯＭ２、Ｒ
ＡＭ３、および入出力インターフェイス４は、バス線に
より相互に接続されている。バス線には、アドレスバ
ス、データバス、および制御信号線が含まれる。入出力
インターフェイス４には、電源回路５、サンプル・ホー
ルド回路８、搬入用ハンドリング装置９、および搬出用
ハンドリング装置１０が接続されている。ソケット７は
ケーブルにより測定回路６に接続されており、測定回路
６は電源回路５およびサンプル・ホールド回路８に接続
されている。
を備えた自動検査装置の回路ブロック図であって、この
自動検査装置は、ＣＰＵ１、ＲＯＭ（read only memor
y）２、ＲＡＭ３、入出力インターフェイス４、電源回
路５、測定回路６、ソケット７、サンプル・ホールド回
路８、搬入用ハンドリング装置９、および搬出用ハンド
リング装置１０を備えている。ＣＰＵ１、ＲＯＭ２、Ｒ
ＡＭ３、および入出力インターフェイス４は、バス線に
より相互に接続されている。バス線には、アドレスバ
ス、データバス、および制御信号線が含まれる。入出力
インターフェイス４には、電源回路５、サンプル・ホー
ルド回路８、搬入用ハンドリング装置９、および搬出用
ハンドリング装置１０が接続されている。ソケット７は
ケーブルにより測定回路６に接続されており、測定回路
６は電源回路５およびサンプル・ホールド回路８に接続
されている。
【００２４】ＣＰＵ１は、自動検査装置の全体を制御す
る。ＲＯＭ２は、ＣＰＵ１を動作させるためのプログラ
ムやデータを記憶している。ＲＡＭ３は、ＣＰＵ１にワ
ーク領域を提供するとともに、測定データなどの各種の
データを記憶する。入出力インターフェイス４は、ＣＰ
Ｕ１と電源回路５、サンプル・ホールド回路８、搬入用
ハンドリング装置９、および搬出用ハンドリング装置１
０との間のインターフェイスとして機能する。電源回路
５は、商用電源を利用して安定化された直流電圧を生成
し、測定回路６などの能動素子に供給するとともに、測
定回路６に測定用の電圧を供給する。測定回路６は、ソ
ケット７に装着されるＩＣなどの被測定体の各種電気特
性を測定する。ソケット７は、搬入用ハンドリング装置
９によって被測定体（図示せず）が装着されることによ
り、被測定体と測定回路６とを接続する。サンプル・ホ
ールド回路８は、測定回路６による測定結果を所定時間
毎にサンプリングして、次のサンプリング時までそのデ
ータを記憶する。搬入用ハンドリング装置９は、ＭＰＵ
（micro processing unit ）や油圧サーボ機構などを備
えており、ＣＰＵ１からの指令に基づいて、被測定体を
所定の位置から搬送してソケット７に装着する。搬出用
ハンドリング装置１０は、ＭＰＵ（micro processing u
nit ）や油圧サーボ機構などを備えており、ＣＰＵ１か
らの指令に基づいて、被測定体をソケット７から抜き取
って所定の位置に搬送する。
る。ＲＯＭ２は、ＣＰＵ１を動作させるためのプログラ
ムやデータを記憶している。ＲＡＭ３は、ＣＰＵ１にワ
ーク領域を提供するとともに、測定データなどの各種の
データを記憶する。入出力インターフェイス４は、ＣＰ
Ｕ１と電源回路５、サンプル・ホールド回路８、搬入用
ハンドリング装置９、および搬出用ハンドリング装置１
０との間のインターフェイスとして機能する。電源回路
５は、商用電源を利用して安定化された直流電圧を生成
し、測定回路６などの能動素子に供給するとともに、測
定回路６に測定用の電圧を供給する。測定回路６は、ソ
ケット７に装着されるＩＣなどの被測定体の各種電気特
性を測定する。ソケット７は、搬入用ハンドリング装置
９によって被測定体（図示せず）が装着されることによ
り、被測定体と測定回路６とを接続する。サンプル・ホ
ールド回路８は、測定回路６による測定結果を所定時間
毎にサンプリングして、次のサンプリング時までそのデ
ータを記憶する。搬入用ハンドリング装置９は、ＭＰＵ
（micro processing unit ）や油圧サーボ機構などを備
えており、ＣＰＵ１からの指令に基づいて、被測定体を
所定の位置から搬送してソケット７に装着する。搬出用
ハンドリング装置１０は、ＭＰＵ（micro processing u
nit ）や油圧サーボ機構などを備えており、ＣＰＵ１か
らの指令に基づいて、被測定体をソケット７から抜き取
って所定の位置に搬送する。
【００２５】次に、上記自動検査装置におけるＣＰＵ１
の動作について、図２のフローチャートを参照しながら
説明する。
の動作について、図２のフローチャートを参照しながら
説明する。
【００２６】操作部（図示せず）に対して検査開始指示
操作が施されると、ＣＰＵ１が、入出力インターフェイ
ス４を介して搬入用ハンドリング装置９に装着指示コマ
ンドを供給する（Ｓ１）。これにより搬入用ハンドリン
グ装置９が、ＩＣなどの被測定体をソケット７に装着す
る、いわゆる搬入動作の最終工程を開始する。なお、一
連の検査作業の開始時の場合などのように、搬入用ハン
ドリング装置９が被測定体を保持してソケット７の近傍
に待機している状態でない場合には、搬入用ハンドリン
グ装置９が、ＩＣなどの被測定体を所定の位置から搬送
してソケット７に装着する、いわゆる搬入動作の最初の
工程を開始する。そしてＣＰＵ１が、入出力インターフ
ェイス４を介して搬入用ハンドリング装置９から供給さ
れる信号に基づいて、搬入用ハンドリング装置９による
搬入動作が完了したか否かを判断する（Ｓ２）。なお、
搬入用ハンドリング装置９は、ソケット７への被測定体
の装着が完了すれば、次の被測定体を所定の位置から搬
送して、被測定体を保持した状態でソケット７の近傍位
置で待機する。
操作が施されると、ＣＰＵ１が、入出力インターフェイ
ス４を介して搬入用ハンドリング装置９に装着指示コマ
ンドを供給する（Ｓ１）。これにより搬入用ハンドリン
グ装置９が、ＩＣなどの被測定体をソケット７に装着す
る、いわゆる搬入動作の最終工程を開始する。なお、一
連の検査作業の開始時の場合などのように、搬入用ハン
ドリング装置９が被測定体を保持してソケット７の近傍
に待機している状態でない場合には、搬入用ハンドリン
グ装置９が、ＩＣなどの被測定体を所定の位置から搬送
してソケット７に装着する、いわゆる搬入動作の最初の
工程を開始する。そしてＣＰＵ１が、入出力インターフ
ェイス４を介して搬入用ハンドリング装置９から供給さ
れる信号に基づいて、搬入用ハンドリング装置９による
搬入動作が完了したか否かを判断する（Ｓ２）。なお、
搬入用ハンドリング装置９は、ソケット７への被測定体
の装着が完了すれば、次の被測定体を所定の位置から搬
送して、被測定体を保持した状態でソケット７の近傍位
置で待機する。
【００２７】搬入用ハンドリング装置９による搬入動作
が完了すれば（Ｓ２：ＹＥＳ）、ＣＰＵ１が、入出力イ
ンターフェイス４を介して電源回路５に電圧印加指示信
号を供給する（Ｓ３）。これにより電源回路５が、測定
回路６を介してソケット７の所定の端子に、逆バイアス
時に被測定体を流れる電流を測定するための電圧を印加
する。そしてＣＰＵ１が、変数Ｎを２に設定する（Ｓ
４）。この変数Ｎは、測定結果のサンプリング回数をカ
ウントするためのものである。そしてＣＰＵ１が、タイ
マ（図示せず）を起動させる（Ｓ５）。このタイマは、
測定結果のサンプリング間隔を計時するためのものであ
り、商用電源が６０Ｈｚの場合、１／１２０秒を計時
し、商用電源が５０Ｈｚの場合、１／１００秒を計時す
る。そしてＣＰＵ１が、入出力インターフェイス４を介
してサンプル・ホールド回路８によるホールドデータを
読み取り、ＲＡＭ３の所定領域に記憶させる（Ｓ６）。
すなわち、ソケット７に被測定体が装着された状態で、
被測定体に逆バイアスを印加して、そのときに被測定体
に流れる微小電流を測定回路６により測定し、その測定
結果をサンプル・ホールド回路８によりサンプリングし
て、そのホールドデータをＲＡＭ３に記憶させておくの
である。そしてＣＰＵ１が、変数Ｎから１を減算して、
その結果を変数Ｎに設定する（Ｓ７）。そしてＣＰＵ１
が、変数Ｎが０であるか否かを判断する（Ｓ８）。
が完了すれば（Ｓ２：ＹＥＳ）、ＣＰＵ１が、入出力イ
ンターフェイス４を介して電源回路５に電圧印加指示信
号を供給する（Ｓ３）。これにより電源回路５が、測定
回路６を介してソケット７の所定の端子に、逆バイアス
時に被測定体を流れる電流を測定するための電圧を印加
する。そしてＣＰＵ１が、変数Ｎを２に設定する（Ｓ
４）。この変数Ｎは、測定結果のサンプリング回数をカ
ウントするためのものである。そしてＣＰＵ１が、タイ
マ（図示せず）を起動させる（Ｓ５）。このタイマは、
測定結果のサンプリング間隔を計時するためのものであ
り、商用電源が６０Ｈｚの場合、１／１２０秒を計時
し、商用電源が５０Ｈｚの場合、１／１００秒を計時す
る。そしてＣＰＵ１が、入出力インターフェイス４を介
してサンプル・ホールド回路８によるホールドデータを
読み取り、ＲＡＭ３の所定領域に記憶させる（Ｓ６）。
すなわち、ソケット７に被測定体が装着された状態で、
被測定体に逆バイアスを印加して、そのときに被測定体
に流れる微小電流を測定回路６により測定し、その測定
結果をサンプル・ホールド回路８によりサンプリングし
て、そのホールドデータをＲＡＭ３に記憶させておくの
である。そしてＣＰＵ１が、変数Ｎから１を減算して、
その結果を変数Ｎに設定する（Ｓ７）。そしてＣＰＵ１
が、変数Ｎが０であるか否かを判断する（Ｓ８）。
【００２８】変数Ｎが０でなければ（Ｓ８：ＮＯ）、Ｃ
ＰＵ１が、電源回路５を制御して、被測定体の逆バイア
ス時のリーク電流以外の各種の検査項目に関する測定を
行わせる（Ｓ９）。これらの測定結果は、ＲＡＭ３に格
納される。そしてＣＰＵ１が、Ｓ５で起動させたタイマ
がタイムアップしたか否かを判断する（Ｓ１０）。タイ
ムアップしていなければ（Ｓ１０：ＮＯ）、Ｓ１０に戻
ってタイマがタイムアップするのを待つ。タイムアップ
していれば（Ｓ１０：ＹＥＳ）、Ｓ６に戻って次のホー
ルドデータのＲＡＭ３への記憶のための処理を開始す
る。このように、Ｓ５〜Ｓ１０の一連の処理により、商
用電源の半周期に相当する時間に２回のリーク電流の測
定結果がサンプリングされ、それらがＲＡＭ３に記憶さ
れる。
ＰＵ１が、電源回路５を制御して、被測定体の逆バイア
ス時のリーク電流以外の各種の検査項目に関する測定を
行わせる（Ｓ９）。これらの測定結果は、ＲＡＭ３に格
納される。そしてＣＰＵ１が、Ｓ５で起動させたタイマ
がタイムアップしたか否かを判断する（Ｓ１０）。タイ
ムアップしていなければ（Ｓ１０：ＮＯ）、Ｓ１０に戻
ってタイマがタイムアップするのを待つ。タイムアップ
していれば（Ｓ１０：ＹＥＳ）、Ｓ６に戻って次のホー
ルドデータのＲＡＭ３への記憶のための処理を開始す
る。このように、Ｓ５〜Ｓ１０の一連の処理により、商
用電源の半周期に相当する時間に２回のリーク電流の測
定結果がサンプリングされ、それらがＲＡＭ３に記憶さ
れる。
【００２９】すなわち、図３に示すように、破線で示す
逆バイアス時の被測定体の真のリーク電流に対して、測
定回路６による現実の測定結果は、搬入用ハンドリング
装置９の電動機などに起因する商用電源による誘導の影
響で、実線で示すように商用電源と同一周波数の正弦波
状に変動する。そこで本実施形態においては、図３に黒
丸印で示すように、測定回路６による測定結果のサンプ
リングを、１回目のサンプリングから商用電源の半周期
に相当する時間の経過後に２回目のサンプリングを行う
ようにし、それら２回のサンプリング結果をＲＡＭ３に
記憶させている。このようにすれば、サンプリングした
測定結果を後述のように平均することにより、商用電源
による誘導の影響で真のリーク電流よりも測定結果が大
きくなったものと小さくなったものとが相殺され、正し
く真のリーク電流を求めることができる。このことは、
図３から視覚的に判断しても明らかである。しかも、１
つの被測定体について商用電源の半周期に相当する短い
時間で検査が完了する。
逆バイアス時の被測定体の真のリーク電流に対して、測
定回路６による現実の測定結果は、搬入用ハンドリング
装置９の電動機などに起因する商用電源による誘導の影
響で、実線で示すように商用電源と同一周波数の正弦波
状に変動する。そこで本実施形態においては、図３に黒
丸印で示すように、測定回路６による測定結果のサンプ
リングを、１回目のサンプリングから商用電源の半周期
に相当する時間の経過後に２回目のサンプリングを行う
ようにし、それら２回のサンプリング結果をＲＡＭ３に
記憶させている。このようにすれば、サンプリングした
測定結果を後述のように平均することにより、商用電源
による誘導の影響で真のリーク電流よりも測定結果が大
きくなったものと小さくなったものとが相殺され、正し
く真のリーク電流を求めることができる。このことは、
図３から視覚的に判断しても明らかである。しかも、１
つの被測定体について商用電源の半周期に相当する短い
時間で検査が完了する。
【００３０】Ｓ８において、変数Ｎが０であれば（Ｓ
８：ＹＥＳ）、測定を完了したということなので、ＣＰ
Ｕ１が、入出力インターフェイス４を介して電源回路５
に電圧印加停止指示信号を供給する（Ｓ１１）。これに
より電源回路５が、測定回路６を介してソケット７の所
定の端子に供給していた、被測定体に流れる微小電流を
測定するための電圧の印加を停止する。そしてＣＰＵ１
が、入出力インターフェイス４を介して搬出用ハンドリ
ング装置１０に抜取指示コマンドを供給する（Ｓ１
２）。これにより搬出用ハンドリング装置１０が、ソケ
ット７から被測定体を抜き取って所定の位置に搬送す
る、いわゆる搬出動作を開始する。そしてＣＰＵ１が、
Ｓ６でＲＡＭ３に記憶させた合計２回の測定結果の平均
値を演算し、その演算結果をＲＡＭ３の所定領域に記憶
させる（Ｓ１３）。そしてＣＰＵ１が、Ｓ１２における
演算結果と予め決められた閾値とを比較して、被測定体
が良品であるか不良品であるかを判定し、その判定結果
をＲＡＭ３の所定領域に記憶させる（Ｓ１４）。もちろ
ん、この判定には、リーク電流以外の検査項目の判定結
果も用いられる。Ｓ１３における演算結果やＳ１４にお
ける判定結果は、表示装置（図示せず）の表示画面に表
示されるとともに、プリンタ（図示せず）により記録用
紙上に随時印刷される。そしてＣＰＵ１が、入出力イン
ターフェイス４を介して搬出用ハンドリング装置１０か
ら入力される信号に基づいて、搬出用ハンドリング装置
１０による抜き取り動作が完了したか否かを判断する
（Ｓ１５）。なお、Ｓ１２における判定結果が不良であ
った被測定体は、搬出用ハンドリング装置１０による搬
出動作の完了後に、搬出用ハンドリング装置１０自体あ
るいは別の搬送装置によって、良品とは別の場所に搬送
される。検査済の被測定体を所定の位置に搬送した搬出
用ハンドリング装置１０は、ソケット７近傍の待機位置
に戻る。
８：ＹＥＳ）、測定を完了したということなので、ＣＰ
Ｕ１が、入出力インターフェイス４を介して電源回路５
に電圧印加停止指示信号を供給する（Ｓ１１）。これに
より電源回路５が、測定回路６を介してソケット７の所
定の端子に供給していた、被測定体に流れる微小電流を
測定するための電圧の印加を停止する。そしてＣＰＵ１
が、入出力インターフェイス４を介して搬出用ハンドリ
ング装置１０に抜取指示コマンドを供給する（Ｓ１
２）。これにより搬出用ハンドリング装置１０が、ソケ
ット７から被測定体を抜き取って所定の位置に搬送す
る、いわゆる搬出動作を開始する。そしてＣＰＵ１が、
Ｓ６でＲＡＭ３に記憶させた合計２回の測定結果の平均
値を演算し、その演算結果をＲＡＭ３の所定領域に記憶
させる（Ｓ１３）。そしてＣＰＵ１が、Ｓ１２における
演算結果と予め決められた閾値とを比較して、被測定体
が良品であるか不良品であるかを判定し、その判定結果
をＲＡＭ３の所定領域に記憶させる（Ｓ１４）。もちろ
ん、この判定には、リーク電流以外の検査項目の判定結
果も用いられる。Ｓ１３における演算結果やＳ１４にお
ける判定結果は、表示装置（図示せず）の表示画面に表
示されるとともに、プリンタ（図示せず）により記録用
紙上に随時印刷される。そしてＣＰＵ１が、入出力イン
ターフェイス４を介して搬出用ハンドリング装置１０か
ら入力される信号に基づいて、搬出用ハンドリング装置
１０による抜き取り動作が完了したか否かを判断する
（Ｓ１５）。なお、Ｓ１２における判定結果が不良であ
った被測定体は、搬出用ハンドリング装置１０による搬
出動作の完了後に、搬出用ハンドリング装置１０自体あ
るいは別の搬送装置によって、良品とは別の場所に搬送
される。検査済の被測定体を所定の位置に搬送した搬出
用ハンドリング装置１０は、ソケット７近傍の待機位置
に戻る。
【００３１】搬出用ハンドリング装置１０による被測定
体のソケット７からの抜き取り動作が完了すれば（Ｓ１
５：ＹＥＳ）、ＣＰＵ１が、一連の測定が終了したか否
かを判断する（Ｓ１６）。すなわち、操作部に対して検
査終了指示操作が施されたかどうか調べる。一連の測定
が終了すれば（Ｓ１６：ＹＥＳ）、このルーチンを終了
する。
体のソケット７からの抜き取り動作が完了すれば（Ｓ１
５：ＹＥＳ）、ＣＰＵ１が、一連の測定が終了したか否
かを判断する（Ｓ１６）。すなわち、操作部に対して検
査終了指示操作が施されたかどうか調べる。一連の測定
が終了すれば（Ｓ１６：ＹＥＳ）、このルーチンを終了
する。
【００３２】Ｓ１６において、一連の測定が終了してい
なければ（Ｓ１６：ＮＯ）、Ｓ１に戻って新たな被測定
体の測定を開始する。
なければ（Ｓ１６：ＮＯ）、Ｓ１に戻って新たな被測定
体の測定を開始する。
【００３３】Ｓ１５において、搬出用ハンドリング装置
１０による抜き取り動作が完了していなければ（Ｓ１
５：ＮＯ）、Ｓ１５に戻って搬出用ハンドリング装置１
０による抜き取り動作が完了するのを待つ。
１０による抜き取り動作が完了していなければ（Ｓ１
５：ＮＯ）、Ｓ１５に戻って搬出用ハンドリング装置１
０による抜き取り動作が完了するのを待つ。
【００３４】Ｓ２において、搬入用ハンドリング装置９
による装着動作が完了していなければ（Ｓ２：ＮＯ）、
Ｓ２に戻って搬入用ハンドリング装置９による装着動作
が完了するのを待つ。
による装着動作が完了していなければ（Ｓ２：ＮＯ）、
Ｓ２に戻って搬入用ハンドリング装置９による装着動作
が完了するのを待つ。
【００３５】なお、上記実施形態においては、商用電源
の半周期に相当する時間の間隔をあけてリーク電流を２
回測定し、その平均を演算したが、商用電源の１周期も
しくはその整数倍に相当する時間に、商用電源の半周期
に１回以上の割合で所定時間毎にリーク電流を測定し、
その平均を演算してもよい。
の半周期に相当する時間の間隔をあけてリーク電流を２
回測定し、その平均を演算したが、商用電源の１周期も
しくはその整数倍に相当する時間に、商用電源の半周期
に１回以上の割合で所定時間毎にリーク電流を測定し、
その平均を演算してもよい。
【００３６】また、上記実施形態においては、一連の検
査の開始と終了とを作業員が操作部に所定の操作を施す
ことによりＣＰＵ１に指示するように構成したが、所定
の位置に被測定体を検出するセンサを設け、このセンサ
からの検出信号に基づいて、ＣＰＵ１が一連の検査の開
始と終了とを自動的に判断するように構成してもよい。
査の開始と終了とを作業員が操作部に所定の操作を施す
ことによりＣＰＵ１に指示するように構成したが、所定
の位置に被測定体を検出するセンサを設け、このセンサ
からの検出信号に基づいて、ＣＰＵ１が一連の検査の開
始と終了とを自動的に判断するように構成してもよい。
【図１】本願発明に係る微小電流測定装置を備えた自動
検査装置の回路ブロック図である。
検査装置の回路ブロック図である。
【図２】図１に示す自動検査装置におけるＣＰＵの動作
を説明するフローチャートである。
を説明するフローチャートである。
【図３】図１に示す自動検査装置による測定結果のサン
プリングの状態を説明する説明図である。
プリングの状態を説明する説明図である。
１ ＣＰＵ ２ ＲＯＭ ３ ＲＡＭ ４ 入出力インターフェイス ５ 電源回路 ６ 測定回路 ７ ソケット ８ サンプル・ホールド回路 ９ 搬入用ハンドリング装置 １０ 搬出用ハンドリング装置
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 ＦＩ Ｇ０１Ｒ 31/26 Ｇ０１Ｒ 31/26 Ｆ
Claims (4)
- 【請求項１】 測定装置から被測定体に所定の電圧を印
加することによって、前記被測定体に流れる微小電流を
測定する微小電流測定方法であって、 商用電源の１周期またはその整数倍の時間に相当する期
間中に、前記商用電源の半周期について１回以上の割合
で、一定時間毎に前記被測定体に流れる微小電流を測定
し、それらの平均値を真の測定電流値とすることを特徴
とする、微小電流測定方法。 - 【請求項２】 １回目の測定と、その測定から商用電源
の半周期に相当する時間の経過後に行った２回目の測定
との平均値を真の測定電流値とする、請求項１に記載の
微小電流測定方法。 - 【請求項３】 被測定体に所定の電圧を印加する電圧供
給手段と、 前記被測定体に流れる電流を測定する電流測定手段と、 商用電源の１周期またはその整数倍の時間に相当する期
間中に、前記商用電源の半周期について１回以上の割合
で、一定時間毎に前記電流測定手段による測定結果をサ
ンプリングするサンプリング手段と、 前記サンプリング手段によりサンプリングされた測定結
果を記憶する測定結果記憶手段と、 前記測定結果記憶手段に記憶された測定結果の平均値を
演算する演算手段とを備えたことを特徴とする、微小電
流測定装置。 - 【請求項４】 前記サンプリング手段は、１回目のサン
プリング時から商用電源の半周期に相当する時間の経過
後に２回目のサンプリングを行い、 前記演算手段は、前記測定結果記憶手段に記憶されてい
る、前記サンプリング手段による１回目のサンプリング
結果と２回目のサンプリング結果との平均値を演算す
る、請求項３に記載の微小電流測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9350953A JPH11183529A (ja) | 1997-12-19 | 1997-12-19 | 微小電流測定方法および微小電流測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9350953A JPH11183529A (ja) | 1997-12-19 | 1997-12-19 | 微小電流測定方法および微小電流測定装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11183529A true JPH11183529A (ja) | 1999-07-09 |
Family
ID=18414040
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9350953A Pending JPH11183529A (ja) | 1997-12-19 | 1997-12-19 | 微小電流測定方法および微小電流測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11183529A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010276386A (ja) * | 2009-05-26 | 2010-12-09 | Panasonic Electric Works Co Ltd | 電圧検出器および電源装置および点灯装置および電力計測システム |
| JP2013145133A (ja) * | 2012-01-13 | 2013-07-25 | Rohm Co Ltd | 赤外線測定装置 |
-
1997
- 1997-12-19 JP JP9350953A patent/JPH11183529A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010276386A (ja) * | 2009-05-26 | 2010-12-09 | Panasonic Electric Works Co Ltd | 電圧検出器および電源装置および点灯装置および電力計測システム |
| JP2013145133A (ja) * | 2012-01-13 | 2013-07-25 | Rohm Co Ltd | 赤外線測定装置 |
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