JPH1091912A - 磁気ヘッド - Google Patents
磁気ヘッドInfo
- Publication number
- JPH1091912A JPH1091912A JP8245232A JP24523296A JPH1091912A JP H1091912 A JPH1091912 A JP H1091912A JP 8245232 A JP8245232 A JP 8245232A JP 24523296 A JP24523296 A JP 24523296A JP H1091912 A JPH1091912 A JP H1091912A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- magnetic
- magnetic head
- film
- metal
- core
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
- G11B5/33—Structure or manufacture of flux-sensitive heads, i.e. for reproduction only; Combination of such heads with means for recording or erasing only
- G11B5/332—Structure or manufacture of flux-sensitive heads, i.e. for reproduction only; Combination of such heads with means for recording or erasing only using thin films
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
- G11B5/1274—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive with "composite" cores, i.e. cores composed in some parts of magnetic particles and in some other parts of magnetic metal layers
- G11B5/1276—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive with "composite" cores, i.e. cores composed in some parts of magnetic particles and in some other parts of magnetic metal layers including at least one magnetic thin film
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
- G11B5/187—Structure or manufacture of the surface of the head in physical contact with, or immediately adjacent to the recording medium; Pole pieces; Gap features
- G11B5/1875—"Composite" pole pieces, i.e. poles composed in some parts of magnetic particles and in some other parts of magnetic metal layers
- G11B5/1877—"Composite" pole pieces, i.e. poles composed in some parts of magnetic particles and in some other parts of magnetic metal layers including at least one magnetic thin film
- G11B5/1878—"Composite" pole pieces, i.e. poles composed in some parts of magnetic particles and in some other parts of magnetic metal layers including at least one magnetic thin film disposed immediately adjacent to the transducing gap, e.g. "Metal-In-Gap" structure
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
- G11B5/187—Structure or manufacture of the surface of the head in physical contact with, or immediately adjacent to the recording medium; Pole pieces; Gap features
- G11B5/23—Gap features
- G11B5/232—Manufacture of gap
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
- G11B5/1272—Assembling or shaping of elements
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Magnetic Heads (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 磁路を構成する各部分における磁気抵抗の分
布を理想的とすることによって、電磁変換効率の向上が
図られた薄膜磁気ヘッドを提供する。 【解決手段】 磁気ヘッド１は、一対の非磁性基板４の
突合わせ面側に磁性材料よりなる補助コア５が接合され
るとともに、この補助コア５に接して金属磁性膜６が形
成され、上記金属磁性膜６の端面同士がギャップ材を介
して突き合わされ、磁気ギャップが形成されている。こ
の磁気ヘッド１は、金属磁性膜６及び補助コア５からな
る磁気コアの各部分における磁気抵抗の分布が理想的な
ものとされる。つまり、本発明に係る磁気ヘッド１は、
磁気抵抗が急激に変化することがないため、電磁変換特
性に優れたものとなる。
布を理想的とすることによって、電磁変換効率の向上が
図られた薄膜磁気ヘッドを提供する。 【解決手段】 磁気ヘッド１は、一対の非磁性基板４の
突合わせ面側に磁性材料よりなる補助コア５が接合され
るとともに、この補助コア５に接して金属磁性膜６が形
成され、上記金属磁性膜６の端面同士がギャップ材を介
して突き合わされ、磁気ギャップが形成されている。こ
の磁気ヘッド１は、金属磁性膜６及び補助コア５からな
る磁気コアの各部分における磁気抵抗の分布が理想的な
ものとされる。つまり、本発明に係る磁気ヘッド１は、
磁気抵抗が急激に変化することがないため、電磁変換特
性に優れたものとなる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、金属磁性膜により
磁路を形成してなる磁気ヘッドに関する。
磁路を形成してなる磁気ヘッドに関する。
【０００２】
【従来の技術】例えば、ビデオテープレコーダ等の磁気
記録再生装置においては、画質を向上させるために信号
をデジタル化して記録するデジタル記録が進められてお
り、これに対応して記録の高密度化、記録周波数の高周
波数化がなされている。
記録再生装置においては、画質を向上させるために信号
をデジタル化して記録するデジタル記録が進められてお
り、これに対応して記録の高密度化、記録周波数の高周
波数化がなされている。
【０００３】ところで、磁気記録の高密度化、記録周波
数の高周波数化が進むにつれ、磁気記録再生装置に搭載
される磁気ヘッドには、高周波領域で出力が高く、ノイ
ズが少ないことが要求される。例えば、従来ＶＴＲ用磁
気ヘッドとして多用されているフェライト材に金属磁性
膜を成膜して、捲線を施したいわゆる複合型メタル・イ
ン・ギャップタイプの磁気ヘッドでは、インダクタンス
が大きく、インダクタンス当たりの出力低下のため、高
周波領域で出力が低く、高周波、高密度が必要とされる
デジタル画像記録に充分対応することが難しい。
数の高周波数化が進むにつれ、磁気記録再生装置に搭載
される磁気ヘッドには、高周波領域で出力が高く、ノイ
ズが少ないことが要求される。例えば、従来ＶＴＲ用磁
気ヘッドとして多用されているフェライト材に金属磁性
膜を成膜して、捲線を施したいわゆる複合型メタル・イ
ン・ギャップタイプの磁気ヘッドでは、インダクタンス
が大きく、インダクタンス当たりの出力低下のため、高
周波領域で出力が低く、高周波、高密度が必要とされる
デジタル画像記録に充分対応することが難しい。
【０００４】このような状況から、薄膜形成工程で作製
したいわゆる薄膜型の磁気ヘッドが、高周波対応の磁気
ヘッドとして検討されている。
したいわゆる薄膜型の磁気ヘッドが、高周波対応の磁気
ヘッドとして検討されている。
【０００５】この薄膜型の磁気ヘッドは、金属磁性膜を
備える一対の磁気ヘッド半体をギャップ材を介して接合
することによって形成される。この磁気ヘッド半体に
は、金属磁性膜が埋設され、その接合する面がガラス等
の非磁性材料からなるとともにその略中央部に略矩形状
のコイル形成用凹部が設けられている。また、磁気ヘッ
ド半体は、このコイル形成用凹部内に、フォトリソグラ
フィ等の薄膜形成手法によって形成されたコイル（図示
せず。）を備える。そして、一対の磁気ヘッド半体は、
非磁性体からなるギャップ材を介して接合されることに
より金属磁性膜間に磁気ギャップを形成する。
備える一対の磁気ヘッド半体をギャップ材を介して接合
することによって形成される。この磁気ヘッド半体に
は、金属磁性膜が埋設され、その接合する面がガラス等
の非磁性材料からなるとともにその略中央部に略矩形状
のコイル形成用凹部が設けられている。また、磁気ヘッ
ド半体は、このコイル形成用凹部内に、フォトリソグラ
フィ等の薄膜形成手法によって形成されたコイル（図示
せず。）を備える。そして、一対の磁気ヘッド半体は、
非磁性体からなるギャップ材を介して接合されることに
より金属磁性膜間に磁気ギャップを形成する。
【０００６】この磁気ヘッド半体を構成する金属磁性膜
１００Ａ，１００Ｂは、図１２に示すように、一対の磁
気ヘッド半体が接合されることによって、薄膜磁気ヘッ
ドにおける磁路となる磁気コア１０１を形成する。この
金属磁性膜１００Ａ，１００Ｂには、凹部１０２が形成
されており、この凹部１０２が上述したコイル形成用凹
部を構成する。そして、これら金属磁性膜１００Ａ，１
００Ｂは、例えば、８ｍｍ用の磁気ヘッドとして用いら
れる場合、磁気ヘッドの厚み寸法により規定される幅寸
法（図１２中Ａで示す幅寸法）が約２００μｍとされ、
また、媒体摺接部の厚み寸法により規定される幅寸法
（図１２中Ｂで示す幅寸法）が約５０μｍとされる。し
たがって、この一対の金属磁性膜１００Ａ，１００Ｂが
接合されると、磁気コア１０１は、中心部付近を開口部
１０３とする略凸字状に形成されることとなる。
１００Ａ，１００Ｂは、図１２に示すように、一対の磁
気ヘッド半体が接合されることによって、薄膜磁気ヘッ
ドにおける磁路となる磁気コア１０１を形成する。この
金属磁性膜１００Ａ，１００Ｂには、凹部１０２が形成
されており、この凹部１０２が上述したコイル形成用凹
部を構成する。そして、これら金属磁性膜１００Ａ，１
００Ｂは、例えば、８ｍｍ用の磁気ヘッドとして用いら
れる場合、磁気ヘッドの厚み寸法により規定される幅寸
法（図１２中Ａで示す幅寸法）が約２００μｍとされ、
また、媒体摺接部の厚み寸法により規定される幅寸法
（図１２中Ｂで示す幅寸法）が約５０μｍとされる。し
たがって、この一対の金属磁性膜１００Ａ，１００Ｂが
接合されると、磁気コア１０１は、中心部付近を開口部
１０３とする略凸字状に形成されることとなる。
【０００７】このように、薄膜型の磁気ヘッドは、磁気
コア１０１の媒体摺接部の厚み寸法により規定される幅
寸法Ｂが磁気ヘッドの厚み寸法により規定される幅寸法
Ａに対して大とされてなる。このため、磁気ヘッドは、
磁気記録媒体との接触状態を良好に保つとともに、磁気
抵抗を良好に維持している。
コア１０１の媒体摺接部の厚み寸法により規定される幅
寸法Ｂが磁気ヘッドの厚み寸法により規定される幅寸法
Ａに対して大とされてなる。このため、磁気ヘッドは、
磁気記録媒体との接触状態を良好に保つとともに、磁気
抵抗を良好に維持している。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】ところで、上述した従
来の薄膜磁気ヘッドでは、磁気記録媒体に対して信号磁
界を再生する又は信号磁界を記録する際、金属磁性膜１
００Ａ，１００Ｂが接合されてなる磁気コア１０１が磁
路となる。すなわち、コイル形成用凹部に形成されたコ
イルから発生する磁界又は磁気記録媒体から発生する信
号磁界は、金属磁性膜１００Ａ，１００Ｂが接合される
ことにより形成される磁気コア１０１を磁化することと
なる。
来の薄膜磁気ヘッドでは、磁気記録媒体に対して信号磁
界を再生する又は信号磁界を記録する際、金属磁性膜１
００Ａ，１００Ｂが接合されてなる磁気コア１０１が磁
路となる。すなわち、コイル形成用凹部に形成されたコ
イルから発生する磁界又は磁気記録媒体から発生する信
号磁界は、金属磁性膜１００Ａ，１００Ｂが接合される
ことにより形成される磁気コア１０１を磁化することと
なる。
【０００９】また、上述した従来の薄膜型の磁気ヘッド
は、磁気ヘッド厚み寸法により規定される幅寸法Ａが媒
体摺接部の厚み寸法により規定される幅寸法Ｂに対して
大とされて構成されている。これによって、薄膜型の磁
気ヘッドでは、図１３に示すように、磁路となる磁気コ
ア１０１の形状が略凸字状とされる。さらに、この薄膜
型の磁気ヘッドには、上述したようにコイル形成用凹部
が形成されている。これによって、この薄膜磁気ヘッド
では、略凸字状に形成された磁気コア１０１の略中心部
が開口部１０３とされている。
は、磁気ヘッド厚み寸法により規定される幅寸法Ａが媒
体摺接部の厚み寸法により規定される幅寸法Ｂに対して
大とされて構成されている。これによって、薄膜型の磁
気ヘッドでは、図１３に示すように、磁路となる磁気コ
ア１０１の形状が略凸字状とされる。さらに、この薄膜
型の磁気ヘッドには、上述したようにコイル形成用凹部
が形成されている。これによって、この薄膜磁気ヘッド
では、略凸字状に形成された磁気コア１０１の略中心部
が開口部１０３とされている。
【００１０】従来の薄膜型の磁気ヘッドにおいては、磁
気コア１０１の形状が上述したように略凸字状に形成さ
れると、磁気コア１０１の各部分における断面積が異な
るものとなる。そして、この薄膜型の磁気ヘッドでは、
磁気コア１０１の各部分における断面積が異なると、断
面積の変化に応じて磁気抵抗が変化することとなる。す
なわち、薄膜型の磁気ヘッドでは、図１３中Ｒで示すよ
うに、急激に断面積が小となる部分において、急激に磁
気抵抗が大きくなってしまう。
気コア１０１の形状が上述したように略凸字状に形成さ
れると、磁気コア１０１の各部分における断面積が異な
るものとなる。そして、この薄膜型の磁気ヘッドでは、
磁気コア１０１の各部分における断面積が異なると、断
面積の変化に応じて磁気抵抗が変化することとなる。す
なわち、薄膜型の磁気ヘッドでは、図１３中Ｒで示すよ
うに、急激に断面積が小となる部分において、急激に磁
気抵抗が大きくなってしまう。
【００１１】一般に、磁気ヘッドでは、コイルが巻回さ
れている部分から磁気ギャップにかけて徐々に磁気抵抗
が大きくなるような構成であると、電磁変換効率がよい
と考えられている。しかしながら、上述した薄膜磁気ヘ
ッドでは、領域Ｒにおいて、上述したように急激に磁気
抵抗が大きくなってしまう。このため、従来の薄膜型の
磁気ヘッドでは、電磁変換効率が低下してしまうといっ
た問題点があった。
れている部分から磁気ギャップにかけて徐々に磁気抵抗
が大きくなるような構成であると、電磁変換効率がよい
と考えられている。しかしながら、上述した薄膜磁気ヘ
ッドでは、領域Ｒにおいて、上述したように急激に磁気
抵抗が大きくなってしまう。このため、従来の薄膜型の
磁気ヘッドでは、電磁変換効率が低下してしまうといっ
た問題点があった。
【００１２】そこで、本発明は、上述した従来の薄膜磁
気ヘッド問題点を解決して、磁気抵抗が磁気ギャップに
向かうにつれて徐々に大となるようにすることによっ
て、電磁変換効率の向上が図られた薄膜磁気ヘッドを提
供することを目的とする。
気ヘッド問題点を解決して、磁気抵抗が磁気ギャップに
向かうにつれて徐々に大となるようにすることによっ
て、電磁変換効率の向上が図られた薄膜磁気ヘッドを提
供することを目的とする。
【００１３】
【課題を解決するための手段】上述した問題点を解決し
た本発明にかかる磁気ヘッドは、一対の非磁性基板の突
合わせ面側に磁性材料よりなる補助コアが接合されると
ともに、この補助コアに接して金属磁性膜が形成され、
上記金属磁性膜の端面同士がギャップ材を介して突き合
わされ、磁気ギャップが形成されていることを特徴とす
る。
た本発明にかかる磁気ヘッドは、一対の非磁性基板の突
合わせ面側に磁性材料よりなる補助コアが接合されると
ともに、この補助コアに接して金属磁性膜が形成され、
上記金属磁性膜の端面同士がギャップ材を介して突き合
わされ、磁気ギャップが形成されていることを特徴とす
る。
【００１４】以上のように構成された本発明に係る磁気
ヘッドでは、補助コアが磁性材料から形成されているた
め、補助コアでも磁路を形成することとなる。このた
め、この磁気ヘッドにおいて、金属磁性膜の磁気抵抗が
大きくなるような部分では、補助コアが磁路を補助す
る。したがって、本発明に係る磁気ヘッドは、磁気コア
の磁気抵抗が理想的に分布しているため、電磁変換特性
に優れたものとなる。
ヘッドでは、補助コアが磁性材料から形成されているた
め、補助コアでも磁路を形成することとなる。このた
め、この磁気ヘッドにおいて、金属磁性膜の磁気抵抗が
大きくなるような部分では、補助コアが磁路を補助す
る。したがって、本発明に係る磁気ヘッドは、磁気コア
の磁気抵抗が理想的に分布しているため、電磁変換特性
に優れたものとなる。
【００１５】
【発明の実施の形態】以下、本発明に係る磁気ヘッドの
実施の形態を図面を参照にしながら詳細に説明する。
実施の形態を図面を参照にしながら詳細に説明する。
【００１６】本発明に係る磁気ヘッド１は、図１及び図
２に示すように、一対の磁気ヘッド半体２，３が非磁性
体からなるギャップ材（図示せず。）を介して接合され
て構成されている。この磁気ヘッド１は、磁気ヘッド半
体２，３が接合した状態で図中矢印Ａで示した方向に磁
気記録媒体が摺動することによって、磁気記録媒体に記
録された信号磁界を再生又は信号磁界を磁気記録媒体に
記録する。一対の磁気ヘッド半体２，３は、非磁性基板
４と、この非磁性基板４上に形成された補助コア５と、
この補助コア５上に形成された金属磁性膜６とからそれ
ぞれ構成されている。また、一対の磁気ヘッド半体２、
３は、少なくとも一方に励磁用又は誘導起電圧検出用の
コイル７が形成されてなる。
２に示すように、一対の磁気ヘッド半体２，３が非磁性
体からなるギャップ材（図示せず。）を介して接合され
て構成されている。この磁気ヘッド１は、磁気ヘッド半
体２，３が接合した状態で図中矢印Ａで示した方向に磁
気記録媒体が摺動することによって、磁気記録媒体に記
録された信号磁界を再生又は信号磁界を磁気記録媒体に
記録する。一対の磁気ヘッド半体２，３は、非磁性基板
４と、この非磁性基板４上に形成された補助コア５と、
この補助コア５上に形成された金属磁性膜６とからそれ
ぞれ構成されている。また、一対の磁気ヘッド半体２、
３は、少なくとも一方に励磁用又は誘導起電圧検出用の
コイル７が形成されてなる。
【００１７】この磁気ヘッド１において、金属磁性膜６
は、一対の磁気ヘッド半体２，３がギャップ材を介して
接合された状態で磁気コアを形成する。金属磁性膜６
は、補助コア５上に所定の角度を有して斜めに形成され
ている。このため、一対の磁気ヘッド２，３がギャップ
材を介して接合されると、磁気コアは、磁気記録媒体の
摺動方向に対して斜めに配されることとなる。
は、一対の磁気ヘッド半体２，３がギャップ材を介して
接合された状態で磁気コアを形成する。金属磁性膜６
は、補助コア５上に所定の角度を有して斜めに形成され
ている。このため、一対の磁気ヘッド２，３がギャップ
材を介して接合されると、磁気コアは、磁気記録媒体の
摺動方向に対して斜めに配されることとなる。
【００１８】この磁気ヘッド半体２，３において、非磁
性基板４は、例えば、ＭｎＯ−ＮｉＯ系の非磁性材料か
らなるが、これに限定されず、チタン酸カルシウム、チ
タン酸バリウム、酸化ジルコニウム（ジルコニア）、ア
ルミナ、アルミナチタンカーバイド、ＳｉＯ2 、Ｚｎフ
ェライト、結晶化ガラス、高硬度ガラス等からなるもの
であればよい。また、補助コア５は、例えば、Ｍｎ−Ｚ
ｎフェライト等の磁性材料からなる。さらに、金属磁性
膜６は、例えば、Ｆｅ−Ａｌ−Ｓｉ合金（センダスト）
等の金属磁性材料からなるが、これに限定されず、Ｆｅ
−Ａｌ合金、Ｆｅ−Ｓｉ−Ｃｏ合金、Ｆｅ−Ｇａ−Ｓｉ
合金、Ｆｅ−Ｇａ−Ｓｉ−Ｒｕ合金、Ｆｅ−Ａｌ−Ｇｅ
合金、Ｆｅ−Ｇａ−Ｇｅ合金、Ｆｅ−Ｓｉ−Ｇｅ合金、
Ｆｅ−Ｃｏ−Ｓｉ−Ａｌ合金、Ｆｅ−Ｎｉ合金等の結晶
質合金からなるものであればよい。あるいは、金属磁性
膜６は、Ｆｅ，Ｃｏ，Ｎｉのうちの１以上の元素とＰ，
Ｃ，Ｂ，Ｓｉのうちの１以上の元素とからなる合金、ま
たはこれを主成分としＡｌ，Ｇｅ，Ｂｅ，Ｓｎ，Ｉｎ，
Ｍｏ，Ｗ，Ｔｉ，Ｍｎ，Ｃｒ，Ｚｒ，Ｈｆ，Ｎｂ等を含
んだ合金等に代表されるメタル−メタロイド系アモルフ
ァス合金や、Ｃｏ，Ｈｆ，Ｚｒ等の遷移金属と希土類元
素を主成分とするメタル−メタル系アモルファス合金等
の非晶質合金からなるようなものであってもよい。
性基板４は、例えば、ＭｎＯ−ＮｉＯ系の非磁性材料か
らなるが、これに限定されず、チタン酸カルシウム、チ
タン酸バリウム、酸化ジルコニウム（ジルコニア）、ア
ルミナ、アルミナチタンカーバイド、ＳｉＯ2 、Ｚｎフ
ェライト、結晶化ガラス、高硬度ガラス等からなるもの
であればよい。また、補助コア５は、例えば、Ｍｎ−Ｚ
ｎフェライト等の磁性材料からなる。さらに、金属磁性
膜６は、例えば、Ｆｅ−Ａｌ−Ｓｉ合金（センダスト）
等の金属磁性材料からなるが、これに限定されず、Ｆｅ
−Ａｌ合金、Ｆｅ−Ｓｉ−Ｃｏ合金、Ｆｅ−Ｇａ−Ｓｉ
合金、Ｆｅ−Ｇａ−Ｓｉ−Ｒｕ合金、Ｆｅ−Ａｌ−Ｇｅ
合金、Ｆｅ−Ｇａ−Ｇｅ合金、Ｆｅ−Ｓｉ−Ｇｅ合金、
Ｆｅ−Ｃｏ−Ｓｉ−Ａｌ合金、Ｆｅ−Ｎｉ合金等の結晶
質合金からなるものであればよい。あるいは、金属磁性
膜６は、Ｆｅ，Ｃｏ，Ｎｉのうちの１以上の元素とＰ，
Ｃ，Ｂ，Ｓｉのうちの１以上の元素とからなる合金、ま
たはこれを主成分としＡｌ，Ｇｅ，Ｂｅ，Ｓｎ，Ｉｎ，
Ｍｏ，Ｗ，Ｔｉ，Ｍｎ，Ｃｒ，Ｚｒ，Ｈｆ，Ｎｂ等を含
んだ合金等に代表されるメタル−メタロイド系アモルフ
ァス合金や、Ｃｏ，Ｈｆ，Ｚｒ等の遷移金属と希土類元
素を主成分とするメタル−メタル系アモルファス合金等
の非晶質合金からなるようなものであってもよい。
【００１９】この磁気ヘッド半体２，３において、金属
磁性膜からなる一対の金属磁性膜６は、磁気ヘッド半体
２，３が接合することにより磁気コアを形成する。この
金属磁性膜６は、磁気記録媒体対向面側の端部が幅狭と
され、コイル７が形成されるための図示しないコイル形
成用凹部を有して構成されている。そして、この金属磁
性膜６は、磁気記録媒体対向面側をフロントギャップ８
とし、このフロントギャップ８と反対の端部をバックギ
ャップ９とする。このように構成された金属磁性膜６を
接合することにより磁気コアを形成すると、磁気コア
は、全体形状が略凸字状となり、略中心部にコイル形成
用凹部による開口部１０を有するようになる。そして、
一対の金属磁性膜６は、ギャップ材を介して接合される
ことによって、フロントギャップ９間で磁気ギャップを
形成する。
磁性膜からなる一対の金属磁性膜６は、磁気ヘッド半体
２，３が接合することにより磁気コアを形成する。この
金属磁性膜６は、磁気記録媒体対向面側の端部が幅狭と
され、コイル７が形成されるための図示しないコイル形
成用凹部を有して構成されている。そして、この金属磁
性膜６は、磁気記録媒体対向面側をフロントギャップ８
とし、このフロントギャップ８と反対の端部をバックギ
ャップ９とする。このように構成された金属磁性膜６を
接合することにより磁気コアを形成すると、磁気コア
は、全体形状が略凸字状となり、略中心部にコイル形成
用凹部による開口部１０を有するようになる。そして、
一対の金属磁性膜６は、ギャップ材を介して接合される
ことによって、フロントギャップ９間で磁気ギャップを
形成する。
【００２０】この磁気ヘッド１は、上述した磁気コアに
一体に接合してなる補助コア５を有している。この補助
コア５は、磁性体からなり、上述した金属磁性膜６の一
側面に形成され、金属磁性膜６と磁気的に結合してい
る。すなわち、補助コア５は、非磁性基板４と金属磁性
膜６との間に配され、金属磁性膜６とともに磁路を構成
することとなる。ここで、この補助コア５は、図２中Ｄ
ｆで示す磁気ギャップを起点とする長さ寸法の最大値が
１５μｍ以上、４５０μｍ以下とされることが好まし
い。
一体に接合してなる補助コア５を有している。この補助
コア５は、磁性体からなり、上述した金属磁性膜６の一
側面に形成され、金属磁性膜６と磁気的に結合してい
る。すなわち、補助コア５は、非磁性基板４と金属磁性
膜６との間に配され、金属磁性膜６とともに磁路を構成
することとなる。ここで、この補助コア５は、図２中Ｄ
ｆで示す磁気ギャップを起点とする長さ寸法の最大値が
１５μｍ以上、４５０μｍ以下とされることが好まし
い。
【００２１】コイル７は、電解メッキ法等の薄膜形成法
を用いて導電性を有する金属により、上述したバックギ
ャップ９を中心として渦巻状に形成されている。
を用いて導電性を有する金属により、上述したバックギ
ャップ９を中心として渦巻状に形成されている。
【００２２】上述したように構成された本実施の形態に
係る磁気ヘッド１では、磁気記録媒体に対して信号を記
録する又は信号磁界を再生する際、上述した一対の金属
磁性膜６からなる磁気コアが主磁路を形成する。また、
金属磁性膜６において、断面積が小である部分では、補
助コア５が磁路を補助する。このように、この磁気ヘッ
ド１では、金属磁性膜６の磁気抵抗が大きくなるような
部分で補助コア５が磁路を補助する。
係る磁気ヘッド１では、磁気記録媒体に対して信号を記
録する又は信号磁界を再生する際、上述した一対の金属
磁性膜６からなる磁気コアが主磁路を形成する。また、
金属磁性膜６において、断面積が小である部分では、補
助コア５が磁路を補助する。このように、この磁気ヘッ
ド１では、金属磁性膜６の磁気抵抗が大きくなるような
部分で補助コア５が磁路を補助する。
【００２３】したがって、この磁気ヘッド１では、磁路
を構成する各部分における磁気抵抗が急激に変化するよ
うなことがない。磁気ヘッド１は、磁路における磁気抵
抗の分布が理想的な状態とされると、電磁変換特性が良
好なものとなる。
を構成する各部分における磁気抵抗が急激に変化するよ
うなことがない。磁気ヘッド１は、磁路における磁気抵
抗の分布が理想的な状態とされると、電磁変換特性が良
好なものとなる。
【００２４】ここで、補助コア５の長さ寸法と磁気ヘッ
ド１の出力との関係を図３に示す。この図３において、
横軸は、補助コア５の長さ寸法のＤｆを表し、縦軸は、
補助コア５の長さ寸法Ｄｆが０μｍのとき、すなわち、
補助コア５がないときを基準とした相対出力を表す。こ
のとき、上述した関係は、３次元有限要素法による線形
解析により算出された。この３次元有限要素法における
算出条件としては、要素数を約７０００とし、金属磁性
膜の比透磁率を約１０００とし、補助コア５の比透磁率
を約５００とした。
ド１の出力との関係を図３に示す。この図３において、
横軸は、補助コア５の長さ寸法のＤｆを表し、縦軸は、
補助コア５の長さ寸法Ｄｆが０μｍのとき、すなわち、
補助コア５がないときを基準とした相対出力を表す。こ
のとき、上述した関係は、３次元有限要素法による線形
解析により算出された。この３次元有限要素法における
算出条件としては、要素数を約７０００とし、金属磁性
膜の比透磁率を約１０００とし、補助コア５の比透磁率
を約５００とした。
【００２５】この図３から明らかなように、図３中Ｒで
示す範囲、すなわち補助コア５の長さ寸法の最大値が１
５μｍ以上、４５０μｍ以下の場合には、補助コア５が
ない場合と比較して相対出力が１ｄＢ以上向上する。こ
れは、補助コア５が金属磁性膜６の断面積減少部分にお
ける急激な磁気抵抗の増大を緩和し、磁気コアの磁気抵
抗の分布を理想的な状態としたためである。このため、
この磁気ヘッド１では、その電磁変換特性が向上したも
のとなる。
示す範囲、すなわち補助コア５の長さ寸法の最大値が１
５μｍ以上、４５０μｍ以下の場合には、補助コア５が
ない場合と比較して相対出力が１ｄＢ以上向上する。こ
れは、補助コア５が金属磁性膜６の断面積減少部分にお
ける急激な磁気抵抗の増大を緩和し、磁気コアの磁気抵
抗の分布を理想的な状態としたためである。このため、
この磁気ヘッド１では、その電磁変換特性が向上したも
のとなる。
【００２６】一方、この磁気ヘッド１において、より好
ましくは、補助コア５の厚み寸法は、テープの当たり幅
よりも大とされる。本実施の形態に係る磁気ヘッド１の
場合、テープの当たり幅が約８０μｍとされているた
め、補助コア５の厚み寸法は、約８０〜３００μｍとさ
れることが好ましい。
ましくは、補助コア５の厚み寸法は、テープの当たり幅
よりも大とされる。本実施の形態に係る磁気ヘッド１の
場合、テープの当たり幅が約８０μｍとされているた
め、補助コア５の厚み寸法は、約８０〜３００μｍとさ
れることが好ましい。
【００２７】磁気ヘッド１は、補助コア５の厚み寸法を
テープの当たり幅よりも大とすることによって、磁気記
録媒体との当たりの状態が良好なものとなる。同時に、
この磁気ヘッド１では、磁気記録媒体と接触している領
域の外側に補助コア５と非磁性基板４との境界があるこ
とになる。これにより、この磁気ヘッド１では、補助コ
ア５と非磁性基板４との境界において発生する、いわゆ
るコンター効果により電磁変換特性が劣化することがな
い。
テープの当たり幅よりも大とすることによって、磁気記
録媒体との当たりの状態が良好なものとなる。同時に、
この磁気ヘッド１では、磁気記録媒体と接触している領
域の外側に補助コア５と非磁性基板４との境界があるこ
とになる。これにより、この磁気ヘッド１では、補助コ
ア５と非磁性基板４との境界において発生する、いわゆ
るコンター効果により電磁変換特性が劣化することがな
い。
【００２８】以上のように構成された本発明に係る磁気
ヘッド１は、複数個の磁気ヘッド半体２，３が同一基板
上に形成される。そして、磁気ヘッド１は、この基板を
一対貼り合わせ、個々の磁気ヘッド１に切り離すことに
より形成される。
ヘッド１は、複数個の磁気ヘッド半体２，３が同一基板
上に形成される。そして、磁気ヘッド１は、この基板を
一対貼り合わせ、個々の磁気ヘッド１に切り離すことに
より形成される。
【００２９】先ず、この磁気ヘッド１を製造するには、
図４に示すように、略平板状の基板２１を用意する。こ
の基板２１は、例えば、厚み寸法が約２ｍｍとされ、長
さ寸法及び幅寸法が約３０ｍｍとされてなる。この基板
２１は、非磁性層２２上に磁性層２３が形成されてなる
構成を有している。ここで、磁性層２３は、上述した磁
気ヘッド１における補助コア５となる層であり、その厚
み寸法が、上述したように、１５μｍ以上４５０μｍ以
下となるように形成されることが好ましい。
図４に示すように、略平板状の基板２１を用意する。こ
の基板２１は、例えば、厚み寸法が約２ｍｍとされ、長
さ寸法及び幅寸法が約３０ｍｍとされてなる。この基板
２１は、非磁性層２２上に磁性層２３が形成されてなる
構成を有している。ここで、磁性層２３は、上述した磁
気ヘッド１における補助コア５となる層であり、その厚
み寸法が、上述したように、１５μｍ以上４５０μｍ以
下となるように形成されることが好ましい。
【００３０】次に、図５に示すように、上述した基板２
１の磁性層２３が形成された一方側面２１Ａに対して第
１の溝加工を施す。この第１の溝加工では、その一方側
面２１Ａに対して、例えば約４５゜の角度を有するよう
に複数本の磁気コア形成溝２４を平行に形成する。そし
て、この第１の溝加工で形成された磁気コア形成溝２４
によって、複数の傾斜面２４Ａが形成されることとな
る。
１の磁性層２３が形成された一方側面２１Ａに対して第
１の溝加工を施す。この第１の溝加工では、その一方側
面２１Ａに対して、例えば約４５゜の角度を有するよう
に複数本の磁気コア形成溝２４を平行に形成する。そし
て、この第１の溝加工で形成された磁気コア形成溝２４
によって、複数の傾斜面２４Ａが形成されることとな
る。
【００３１】次に、図６に示すように、傾斜面２４Ａが
形成された面に対して、上述したような材料からなる金
属磁性膜２５が成膜される。この成膜工程では、傾斜面
２４Ａが形成された面に対して均一の膜厚となるように
金属磁性膜２５が形成される。この成膜工程は、例えば
マグネトロンスパッタリング法等のＰＶＤ法又はＣＶＤ
法等により行われる。
形成された面に対して、上述したような材料からなる金
属磁性膜２５が成膜される。この成膜工程では、傾斜面
２４Ａが形成された面に対して均一の膜厚となるように
金属磁性膜２５が形成される。この成膜工程は、例えば
マグネトロンスパッタリング法等のＰＶＤ法又はＣＶＤ
法等により行われる。
【００３２】また、金属磁性膜２５は、単層からなるも
のに限定されず、非磁性層を介して金属磁性層が積層さ
れてなる複数層からなるような構成であってもよい。金
属磁性膜２５は、複数層からなるような場合、例えば、
Ｆｅ−Ａｌ−Ｓｉ合金（センダスト）５μｍ上にアルミ
ナ０．２５μｍが交互に積層され、３層のＦｅ−Ａｌ−
Ｓｉ合金層を有するような構成であってもよい。
のに限定されず、非磁性層を介して金属磁性層が積層さ
れてなる複数層からなるような構成であってもよい。金
属磁性膜２５は、複数層からなるような場合、例えば、
Ｆｅ−Ａｌ−Ｓｉ合金（センダスト）５μｍ上にアルミ
ナ０．２５μｍが交互に積層され、３層のＦｅ−Ａｌ−
Ｓｉ合金層を有するような構成であってもよい。
【００３３】次に、図７に示すように、金属磁性膜２５
が形成された面に対して磁気コア形成溝２４と略直交す
る方向に第２の溝加工を施す。この第２の溝加工では、
所望の大きさの磁気コアに分離するために形成される分
離溝２６と、この分離溝２６により分離された各磁気コ
アにコイル形成用凹部を形成する巻線溝２７とが形成さ
れる。
が形成された面に対して磁気コア形成溝２４と略直交す
る方向に第２の溝加工を施す。この第２の溝加工では、
所望の大きさの磁気コアに分離するために形成される分
離溝２６と、この分離溝２６により分離された各磁気コ
アにコイル形成用凹部を形成する巻線溝２７とが形成さ
れる。
【００３４】ここで、分離溝２６は、磁気コアを基板２
１上で前後方向に磁気的に分離して各磁気コアを形成
し、各磁気コアに閉磁路を構成するための溝である。こ
の分離溝２６は、図７の例示では２本形成されている
が、形成される磁気ヘッド半体２，３の列の数だけ設け
る必要がある。また、この分離溝２６は、前後方向に並
んで配される各磁気コアを磁気的に分離するため、金属
磁性膜２５及び補助コア５となる磁性層２３が完全に切
断される程度の深さ寸法を有するように形成される必要
がある。
１上で前後方向に磁気的に分離して各磁気コアを形成
し、各磁気コアに閉磁路を構成するための溝である。こ
の分離溝２６は、図７の例示では２本形成されている
が、形成される磁気ヘッド半体２，３の列の数だけ設け
る必要がある。また、この分離溝２６は、前後方向に並
んで配される各磁気コアを磁気的に分離するため、金属
磁性膜２５及び補助コア５となる磁性層２３が完全に切
断される程度の深さ寸法を有するように形成される必要
がある。
【００３５】一方、巻線溝２７は、フロントギャップ８
とバックギャップ９とを有する磁気コアを形成し、コイ
ル形成用凹部を形成するために、金属磁性膜２５を切断
しない程度の深さ寸法で形成される必要がある。巻線溝
２７は、その形状がフロントギャップ８及びバックギャ
ップ９の長さ寸法に応じて決定されるが、ここでは、幅
寸法が約１４０μｍ程度とされ、フロントギャップ８が
約３００μｍとなり、バックギャップ９が約８５μｍと
なるように形成される。なお、この巻線溝２７は、金属
磁性膜２５を切断することのない程度の深さ寸法でよい
が、深すぎると磁路長が大きくなって磁束伝達の効率が
低下する虞れがある。また、巻線溝２７は、その深さ寸
法が後述する工程で形成されるコイル７の厚み寸法に依
存するが、ここでは、例えば約２０μｍとした。さら
に、この巻線溝２７は、その形状が限定されるものでは
ないが、ここでは、例えばフロントギャップ８側の側面
を約４５゜の傾斜面２７Ａとする。これにより、この金
属磁性膜６は、フロントギャップ８側に磁束が集中する
構造となることによって、感度が向上したものとなる。
とバックギャップ９とを有する磁気コアを形成し、コイ
ル形成用凹部を形成するために、金属磁性膜２５を切断
しない程度の深さ寸法で形成される必要がある。巻線溝
２７は、その形状がフロントギャップ８及びバックギャ
ップ９の長さ寸法に応じて決定されるが、ここでは、幅
寸法が約１４０μｍ程度とされ、フロントギャップ８が
約３００μｍとなり、バックギャップ９が約８５μｍと
なるように形成される。なお、この巻線溝２７は、金属
磁性膜２５を切断することのない程度の深さ寸法でよい
が、深すぎると磁路長が大きくなって磁束伝達の効率が
低下する虞れがある。また、巻線溝２７は、その深さ寸
法が後述する工程で形成されるコイル７の厚み寸法に依
存するが、ここでは、例えば約２０μｍとした。さら
に、この巻線溝２７は、その形状が限定されるものでは
ないが、ここでは、例えばフロントギャップ８側の側面
を約４５゜の傾斜面２７Ａとする。これにより、この金
属磁性膜６は、フロントギャップ８側に磁束が集中する
構造となることによって、感度が向上したものとなる。
【００３６】次に、図８に示すように、上述したように
磁気コア形成溝２４、分離溝２６及び巻線溝２７が形成
された基板２１の一主面に対して溶融した低融点ガラス
２９を充填させる。そして、低融点ガラス２９が充填さ
れた一主面に対して表面平坦化処理を施す。
磁気コア形成溝２４、分離溝２６及び巻線溝２７が形成
された基板２１の一主面に対して溶融した低融点ガラス
２９を充填させる。そして、低融点ガラス２９が充填さ
れた一主面に対して表面平坦化処理を施す。
【００３７】次に、図９に示すように、バックギャップ
９を中心とするコイル７（この図９では図示せず。）を
形成する。このコイル７を形成するには、先ず、表面平
坦化処理された低融点ガラス２９に対してエッチング等
の手法を用いて、例えば約５μｍの深さ寸法を有するコ
イル形成用凹部３０を形成する。
９を中心とするコイル７（この図９では図示せず。）を
形成する。このコイル７を形成するには、先ず、表面平
坦化処理された低融点ガラス２９に対してエッチング等
の手法を用いて、例えば約５μｍの深さ寸法を有するコ
イル形成用凹部３０を形成する。
【００３８】そして、このコイル形成用凹部３０内で所
望のコイル形状に応じてパターニングされたフォトレジ
ストを形成する。その後、Ｃｕ等の導電材料を用いた電
解めっき等の手法を用いてコイル７を形成し、レジスト
を除去することにより所望のコイル７が形成される。な
お、コイル７の形成方法は、このような方法に限定され
ることなく、スパッタリングや蒸着法等の手法を用いて
もよい。
望のコイル形状に応じてパターニングされたフォトレジ
ストを形成する。その後、Ｃｕ等の導電材料を用いた電
解めっき等の手法を用いてコイル７を形成し、レジスト
を除去することにより所望のコイル７が形成される。な
お、コイル７の形成方法は、このような方法に限定され
ることなく、スパッタリングや蒸着法等の手法を用いて
もよい。
【００３９】次に、コイル７を外気との接触から保護す
るための保護層３１を形成する。この保護層３１は、上
述したコイル７を形成するために形成されたコイル形成
用凹部３０を埋め込むように形成される。その後、保護
層３１が形成された表面に対して平坦化処理を行う。こ
れにより、バックギャップ８及びコイル接続端子７Ａが
外方へ露出するように形成される。
るための保護層３１を形成する。この保護層３１は、上
述したコイル７を形成するために形成されたコイル形成
用凹部３０を埋め込むように形成される。その後、保護
層３１が形成された表面に対して平坦化処理を行う。こ
れにより、バックギャップ８及びコイル接続端子７Ａが
外方へ露出するように形成される。
【００４０】次に、図１０に示すように、上述のように
同時に形成された複数個の磁気ヘッド半体６を横方向に
一列に並ぶように切断して磁気ヘッド半体ブロック３２
を作成する。その後、図１１に示すように、一対の磁気
ヘッド半体ブロック３２を張り合わせる。このとき、一
対の磁気ヘッド半体ブロック３２は、保護層３１が形成
された面が対向し、バックギャップ９及びコイル接続端
子７Ａが正確に対向するように位置決めされる。そし
て、一対の磁気ヘッド半体ブロック３２が張り合わされ
る際には、いわゆる金属拡散接合法が用いられる。この
金属拡散接合法によれば、一対の磁気ヘッド半体ブロッ
ク３２間で電気的に接続する必要のある部分を確実に接
合することができる。
同時に形成された複数個の磁気ヘッド半体６を横方向に
一列に並ぶように切断して磁気ヘッド半体ブロック３２
を作成する。その後、図１１に示すように、一対の磁気
ヘッド半体ブロック３２を張り合わせる。このとき、一
対の磁気ヘッド半体ブロック３２は、保護層３１が形成
された面が対向し、バックギャップ９及びコイル接続端
子７Ａが正確に対向するように位置決めされる。そし
て、一対の磁気ヘッド半体ブロック３２が張り合わされ
る際には、いわゆる金属拡散接合法が用いられる。この
金属拡散接合法によれば、一対の磁気ヘッド半体ブロッ
ク３２間で電気的に接続する必要のある部分を確実に接
合することができる。
【００４１】次に、上述のように一対の磁気ヘッド半体
ブロック３２を接合することにより得られた磁気ヘッド
ブロック３３を個々の磁気ヘッド１に分離する。このと
き、磁気ヘッドブロック３３は、図１２中Ｂ−Ｂ線で示
す部分で切断される。これにより、フロントギャップ間
に磁気ギャップを有する磁気ヘッド１が形成される。そ
して、図示しないが、この磁気ヘッド１の媒体摺動面に
対して表面が円筒形を呈するように研磨加工が施され
る。また、磁気記録媒体との当たり特性が良好なものと
なるために、媒体摺動面に対して当たり規制溝３４を形
成する。この当たり規制溝３４は、磁気記録媒体の摺動
方向に対して略平行となるように形成され、磁気記録媒
体との摩擦を規制している。
ブロック３２を接合することにより得られた磁気ヘッド
ブロック３３を個々の磁気ヘッド１に分離する。このと
き、磁気ヘッドブロック３３は、図１２中Ｂ−Ｂ線で示
す部分で切断される。これにより、フロントギャップ間
に磁気ギャップを有する磁気ヘッド１が形成される。そ
して、図示しないが、この磁気ヘッド１の媒体摺動面に
対して表面が円筒形を呈するように研磨加工が施され
る。また、磁気記録媒体との当たり特性が良好なものと
なるために、媒体摺動面に対して当たり規制溝３４を形
成する。この当たり規制溝３４は、磁気記録媒体の摺動
方向に対して略平行となるように形成され、磁気記録媒
体との摩擦を規制している。
【００４２】
【発明の効果】以上、詳細に説明したように本発明に係
る磁気ヘッドでは、磁路となる磁気コアに磁気的に接合
するように補助コアが形成されているため、磁気コアと
補助コアとが磁路として機能することとなる。このた
め、この磁気ヘッドでは、磁路の各部分における磁気抵
抗が急激に変化することがなく、理想的な磁気抵抗の分
布を呈することとなる。したがって、本発明に係る磁気
ヘッドでは、磁気記録媒体からの信号磁界を再生する又
は磁気記録媒体に信号磁界を記録する際の電磁変換効率
が向上したものとなる。
る磁気ヘッドでは、磁路となる磁気コアに磁気的に接合
するように補助コアが形成されているため、磁気コアと
補助コアとが磁路として機能することとなる。このた
め、この磁気ヘッドでは、磁路の各部分における磁気抵
抗が急激に変化することがなく、理想的な磁気抵抗の分
布を呈することとなる。したがって、本発明に係る磁気
ヘッドでは、磁気記録媒体からの信号磁界を再生する又
は磁気記録媒体に信号磁界を記録する際の電磁変換効率
が向上したものとなる。
【図１】本発明に係る磁気ヘッドの斜視図である。
【図２】本発明に係る磁気ヘッドの要部斜視図である。
【図３】磁気ヘッドの補助コアの厚み寸法と相対出力と
の関係を示す特性図である。
の関係を示す特性図である。
【図４】本発明に係る磁気ヘッドを製造する際の製造工
程を示す斜視図である。
程を示す斜視図である。
【図５】本発明に係る磁気ヘッドを製造する際の製造工
程を示す斜視図である。
程を示す斜視図である。
【図６】本発明に係る磁気ヘッドを製造する際の製造工
程を示す斜視図である。
程を示す斜視図である。
【図７】本発明に係る磁気ヘッドを製造する際の製造工
程を示す斜視図である。
程を示す斜視図である。
【図８】本発明に係る磁気ヘッドを製造する際の製造工
程を示す斜視図である。
程を示す斜視図である。
【図９】本発明に係る磁気ヘッドを製造する際の製造工
程を示す斜視図である。
程を示す斜視図である。
【図１０】本発明に係る磁気ヘッドを製造する際の製造
工程を示す斜視図である。
工程を示す斜視図である。
【図１１】本発明に係る磁気ヘッドを製造する際の製造
工程を示す斜視図である。
工程を示す斜視図である。
【図１２】従来の磁気ヘッドを構成する磁気コアの斜視
図である。
図である。
【図１３】従来の磁気コアの平面図である。
１ 磁気ヘッド、２，３ 磁気ヘッド半体、４ 非磁性
基板、５ 補助コア、６金属磁性膜、７ コイル、８
フロントギャップ、９ バックギャップ
基板、５ 補助コア、６金属磁性膜、７ コイル、８
フロントギャップ、９ バックギャップ
─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成８年１２月１０日
【手続補正１】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】全図
【補正方法】変更
【補正内容】
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図１３】
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 管野 丘 東京都品川区北品川６丁目７番35号 ソニ ー株式会社内
Claims (5)
- 【請求項１】 一対の非磁性基板の突合わせ面側に磁性
材料よりなる補助コアが接合されるとともに、この補助
コアに接して金属磁性膜が形成され、 上記金属磁性膜の端面同士がギャップ材を介して突き合
わされ、磁気ギャップが形成されていることを特徴とす
る磁気ヘッド。 - 【請求項２】 上記補助コアは、上記金属磁性膜の磁束
密度が大なる箇所と接している部分の断面積が大とされ
てなることを特徴とする請求項１記載の磁気ヘッド。 - 【請求項３】 上記金属磁性膜が磁気記録媒体走行方向
に対して斜めに配されるとともに、この金属磁性膜の一
側面に補助コアが配されていることを特徴とする請求項
１記載の磁気ヘッド。 - 【請求項４】 上記補助コアは、磁気記録媒体走行方向
での長さ寸法の最大値が１５μｍ以上、４５０μｍ以下
とされてなることを特徴とする請求項３記載の磁気ヘッ
ド。 - 【請求項５】 少なくとも一方の金属磁性膜は、他方の
金属磁性膜との突合せ面にコイルが形成される凹部が形
成されるとともに、この凹部に薄膜形成工程により形成
されたコイルが形成されてなることを特徴とする請求項
１記載の磁気ヘッド。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8245232A JPH1091912A (ja) | 1996-09-17 | 1996-09-17 | 磁気ヘッド |
| US08/931,743 US5936815A (en) | 1996-09-17 | 1997-09-16 | Magnetic head |
| KR1019970047517A KR19980024692A (ko) | 1996-09-17 | 1997-09-18 | 자기 헤드 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8245232A JPH1091912A (ja) | 1996-09-17 | 1996-09-17 | 磁気ヘッド |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1091912A true JPH1091912A (ja) | 1998-04-10 |
Family
ID=17130632
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8245232A Withdrawn JPH1091912A (ja) | 1996-09-17 | 1996-09-17 | 磁気ヘッド |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5936815A (ja) |
| JP (1) | JPH1091912A (ja) |
| KR (1) | KR19980024692A (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6288870B1 (en) * | 1998-01-13 | 2001-09-11 | Quantum Corporation | Self-aligned metal film core multi-channel recording head for tape drives |
| JP3551099B2 (ja) * | 1999-09-28 | 2004-08-04 | 日本電気株式会社 | 磁気テープ装置用薄膜磁気ヘッド |
Family Cites Families (16)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59185015A (ja) * | 1983-04-04 | 1984-10-20 | Hitachi Ltd | 磁気ヘツドおよびその製造方法 |
| JPS59207415A (ja) * | 1983-05-11 | 1984-11-24 | Hitachi Ltd | 複合型磁気ヘツドおよびその製造方法 |
| US4819113A (en) * | 1984-03-29 | 1989-04-04 | Sony Corporation | Magnetic transducer head with inclined magnetic gap |
| JPS61184705A (ja) * | 1985-02-13 | 1986-08-18 | Hitachi Ltd | 磁気ヘツド |
| JPH0770020B2 (ja) * | 1985-06-14 | 1995-07-31 | 株式会社日立製作所 | 磁気ヘツド |
| US5278716A (en) * | 1987-07-14 | 1994-01-11 | Sanyo Electric Co. | Magnetic head with suppressed generation of pseudogap |
| DE3934284C2 (de) * | 1988-10-13 | 1994-06-16 | Canon Denshi Kk | Magnetkopf |
| US5421915A (en) * | 1989-01-26 | 1995-06-06 | Fuji Photo Film Co., Ltd. | Method for preparing same and magnetic head |
| US5155645A (en) * | 1989-11-14 | 1992-10-13 | Sanyo Electric Co., Ltd. | Magnetic head with improved efficiency in both high and low frequency ranges |
| JPH0430308A (ja) * | 1990-05-25 | 1992-02-03 | Hitachi Ltd | 磁気ヘッドおよびその製造方法 |
| JPH04278205A (ja) * | 1991-03-06 | 1992-10-02 | Sony Corp | 磁気ヘッド |
| EP0650628B1 (en) * | 1992-07-17 | 1997-09-24 | Ampex Systems Corporation | Composite metal and ferrite head transducer and manufacturing method therefor |
| JP3538930B2 (ja) * | 1994-09-21 | 2004-06-14 | ソニー株式会社 | 磁気ヘッド |
| KR100385126B1 (ko) * | 1994-10-31 | 2003-08-09 | 소니 가부시끼 가이샤 | 자기헤드 |
| US5684659A (en) * | 1994-11-11 | 1997-11-04 | Canon Kabushiki Kaisha | Magnetic head with coil formed by thin film |
| JP3612906B2 (ja) * | 1996-03-14 | 2005-01-26 | ソニー株式会社 | 磁気ヘッド |
-
1996
- 1996-09-17 JP JP8245232A patent/JPH1091912A/ja not_active Withdrawn
-
1997
- 1997-09-16 US US08/931,743 patent/US5936815A/en not_active Expired - Fee Related
- 1997-09-18 KR KR1019970047517A patent/KR19980024692A/ko not_active Application Discontinuation
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| KR19980024692A (ko) | 1998-07-06 |
| US5936815A (en) | 1999-08-10 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPH10302211A (ja) | 磁気ヘッド及びその製造方法 | |
| JPH1091912A (ja) | 磁気ヘッド | |
| JP3620207B2 (ja) | 磁気ヘッド及びその製造方法 | |
| JP3620204B2 (ja) | 磁気ヘッド及びその製造方法 | |
| JPH09231512A (ja) | 磁気ヘッドの製法 | |
| JP2959909B2 (ja) | 磁気ヘッド | |
| JP2000057517A (ja) | 磁気ヘッド及びその製造方法 | |
| JP2000293812A (ja) | 磁気ヘッド及びその製造方法 | |
| JPH11144207A (ja) | 磁気ヘッド及びその製造方法 | |
| JP2000123314A (ja) | 磁気ヘッド及びその製造方法 | |
| JPH10255223A (ja) | 磁気ヘッドの製造方法 | |
| JPH1166513A (ja) | 磁気ヘッド及びその製造方法 | |
| JPH10334406A (ja) | 磁気ヘッド及びその製造方法 | |
| JPH10269519A (ja) | 磁気ヘッド及びその製造方法 | |
| JP2000113410A (ja) | 磁気ヘッド | |
| JPH06119611A (ja) | 磁気ヘッド | |
| JP2000057515A (ja) | 磁気ヘッドの製造方法 | |
| JPH07220221A (ja) | 磁気ヘッド | |
| JPH11213318A (ja) | 磁気ヘッドの製造方法 | |
| JPH05166124A (ja) | 磁気ヘッド | |
| JPH10269515A (ja) | 磁気ヘッド及びその製造方法 | |
| JPH09282605A (ja) | 磁気ヘッド及びその製造方法 | |
| JPH05234026A (ja) | 磁気ヘッドおよびその製造方法 | |
| JPH08147619A (ja) | 磁気ヘッド | |
| JPH07210810A (ja) | 磁気ヘッド |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Application deemed to be withdrawn because no request for examination was validly filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20031202 |