JPH10510682A - 半導体ウエハーのテストおよびバーン・イン - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 製品ウエハー上のすべての集積回路チップに同時にテストまたはバーン・インを行うための装置および方法が開示される。この装置はテスト・チップを有するガラス・セラミック・キャリア、および製品ウエハー上の多数のチップのパッドに接続するための手段を含む。テスト。チップ上の電圧調整器は電源と製品チップ上のパッドとの間のインタフェースを与え、各製品チップには少なくとも１つの電圧調整器がある。電圧調整器は製品チップに特定のＶdd電圧を与え、これによりＶdd電圧は製品チップにより引き出される電流に実質上無関係となる。電圧調整器またはその他の電子的手段は、何れかの製品チップが短絡している場合そのチップへの電流を制限する。電圧調整器回路はゲート動作型、および可変型であって良く、それは製品チップに延びる感知線を有していても良い。テスト・チップはまたテスト・パターン等のテスト機能およびテスト結果を格納するレジスタをも与える。

Description

【発明の詳細な説明】 半導体ウエハーのテストおよびバーン・イン 技術分野 本発明は集積回路のテスト装置に関するものであり、更に具体的にはウエハー の段階で集積回路をテストし、バーン・インするための構成に関する。 背景技術 ウエハーの段階と言う早期の段階で欠陥の有無を判定するとコストをかなり低 減する事ができるので、ウエハーの段階で集積回路をテストするのが望ましいと いう事には特別の関心がある。現在のところ、ウエハーの形で集積回路チップを テストすることは全般的にその範囲が限られており、また手順に時間がかかって 一時にはわずかな個数のチップについて精密なテストができるだけである。つま り、ウエハー段階でのテストは機械的なステップ送り装置を用いて行われ、１つ １つの回路を順次にテストするものであることが多い。更に、現在利用できるウ エハー段階のテストは、バーン・イン等のような欠陥加速手順に適しないもので あることが多く、従って製造工程の後の段階でさらなるテストをする必要がある 。 集積回路のテスト装置の一例が米国特許第5,148,103号（1992年９月15日付与 ）に示されているが、これは一時に１ つのチップをテストするためのプローブ装置を支持する可撓性の膜を利用するも のである。この特許は高インピーダンス、低容量性負荷を与えるために膜の上に 終端抵抗またはチップを用いている。 米国特許第5,012,187号（1991年４月30日付与）には一時に少数個の回路チッ プを同時にテストする事が述べられている。この特許は回路板材料から成る可撓 性膜に製品チップのパッドに接触するプローブ・バンプを設けたものから成るテ スト・ヘッドについて述べている。各回路チップとテスト装置に結合するために プローブ・バンプが伝送線により膜の縁部に接続される。 一時に複数個のチップをテストするには過電流を引き込む欠陥チップを隔離す る必要があることが判るであろう。この問題はテスト中の各製品チップに個別の スイッチまたはヒューズ回路を用いることによって解決することができるが、こ れは例えばＩＢＭ Ｔechnical Ｄisclosure Ｂulletin,Ｖol.32,Ｎo. 6Ｂ,Ｎove mber 1989およびＶol.33,Ｎo.８,Ｊanuary 1991に述べられている。この内後者 の文献には電源線およびテスト線が回路チップを遠隔のテスタに接続するために 製品ウエハーの裁断（カーフ）領域に設けられている。 ＩＢＭ Ｔechnical Ｄisclosure Ｂulletin,Ｖol.34,Ｎo.８,Ｊanuary 1992に は別の手法として、製品ウエハーの回路チップを順次または同時にテストするた めに、パッド・バンプにより製品ウエハーの前面に半田付けできるようになった テスト・ヘッドが開 示されている。このテスト・ヘッドは製品ウエハーの不良チップを切り離すため のスイッチを各々が有する複数の活性チップを含んでいる。 これらの従来のテスト装置は、複数のチップの同時的テスト、例えば、一般的 寸法の集積回路ウエハー内にある実質上すべてのチップを一時にテストすること からもたらされる電流に対応することができない。 他方、ＰＣＴ出願 ＷＯ 93/04375,国際出願番号 ＰＣＴ/ＵＳ92/07044,国際出 願日1991年８月23日にはウエハーの同時バーン・イン・テストのための装置が記 述されており、そこではテスト基板に、基板表面の変形可能な半田バンプにバイ アを介して接続された電源プレーンおよび接地プレーンが設けられている。バー ン・イン・テストのときには、基板はその半田バンプがウエハー・チップのパッ ドに係合するようにして製品ウエハーの表面に押しつけられる。 基板上に隔離用抵抗が設けられ、これが電源プレーンおよび接地プレーンを集 積回路チップに接続して短絡したチップに対応するようになっている。このよう な隔離用抵抗の使用はバーン・イン・テストを可能にするが、その他のテスト・ モードを制限し、また大電流を引き込んで隣接チップに印加するのに利用できる 電圧を低下させる短絡製品チップの問題を十分に解決することができない。 発明の開示 従って、本発明の目的はウエハーの段階で集積回路チップをテストし、バーン ・インする改良型の構造を提供することにある。 本発明のもう１つの目的は集積回路ウエハー上の複数の製品チップを同時にテ ストし、バーン・インする改良型のテスト装置を提供することにある。 本発明の更にもう１つの目的は集積回路ウエハー上の各製品チップに、各チッ プおよびその隣接チップが引き出す電流に実質上関係なく、かつ製品ウエハー上 の短絡チップの存在に実質上関係しない外部で指定されたＶdd電圧を与える改良 型の配電構造を提供することにある。 本発明の更にもう１つの目的は短絡製品チップを電力配分から効果的に取り除 く改良型配電構造を提供することにある。 本発明の特徴は、ガラス・セラミック、窒化アルミニウム、コバー（Ｋｏｖａ ｒ）、インバー（Ｉｎｖａｒ）、シリコン、またはコバー、銅・インバー・銅等 の積層金属、タングステン、モリブデンのような熱膨張係数の低い基板が製品ウ エハーをテストするのに用いられることにある。 本発明の特徴はテストされる各製品チップに電圧調整回路が与えられることに ある。 本発明の１実施例の特徴は電力がガラス・セラミック基板を経て電圧調整器を 有するテスト・チップに分配され、それから製品ウエハーに分配されることにあ る。 本発明のもう１つの実施例の特徴は電源からの電流が電圧 調整器を有するテスト・チップの背面を経て製品ウエハーに供給されることにあ る。 本発明のもう１つの特徴はテストされるべき各回路チップに与えられる電圧調 整器が外部から制御可能な電圧を有することにある。 本発明のもう１つの目的は短絡部を持ったチップから信号Ｉ/Ｏを切り離すこ とにある。 本発明の更なる目的は電圧調整回路を含む複数の活性テスト・チップを有する テスト・ヘッドを提供することにある。 本発明の更にもう１つの目的は製品ウエハーをテスト・ヘッドと整列させ、テ スタまたはバーン・イン・チャンバに直ちに挿入できるようになっているためポ ータブル装置を提供することにある。 本発明の特徴は製品ウエハーの背面またはテスト・ヘッドの背面にあるシール を有する真空クランプが、テスタまたはバーン・イン・チャンバに直ちに挿入で きるポータブルな整合した装置を与えることにある。 本発明の特徴は平面状でないことがあるプローブ・アレイに製品ウエハーを適 合させながら製品ウエハーの温度制御を維持する手段を提供することにある。 本発明のこれらの諸目的およびその他の目的、特徴、および利点は、前面およ び背面を有する製品ウエハー上にあり信号Ｉ/Ｏ、接地、および電源パッドを有 する複数の集積回路製品チップに同時に接触する電源に接続可能な装置により達 成 される。この装置は、製品ウエハー上の複数の製品チップに接続可能なテスト・ ヘッドを備え、このテスト・ヘッドは製品チップに電気的に接続可能な少なくと も１つのテスト・チップを含み、この少なくとも１つのテスト・チップ上には複 数の電圧調整器が備えられ、この電圧調整器は、電源と製品チップ上の電源パッ ドとの間に接続可能になっている。 本発明の別の目的または特徴は前面および背面を有する製品ウエハー上にあり 信号Ｉ/Ｏ、接地、および電源パッドを有する集積回路製品チップの実質上すべ てのものに同時に接触することが可能で電源に接続可能な装置によって達成され る。この装置は第１の側部および第２の側部を有するテスト・ヘッドを備え、こ のテスト・ヘッドの前記第１の側部は製品ウエハー上の製品チップの実質上すべ てのものにある電源パッドに同時に接触することが可能であり、前記テスト・ヘ ッドは電源から前記接触手段に電力を供給するための手段を有し、前記テスト・ ヘッドは製品ウエハーの熱膨張係数に一致する熱膨張係数を有するセラミック材 料、金属、または積層金属から構成される。 本発明の別の目的または特徴は製品ウエハー上にあり、信号Ｉ/Ｏ、接地、お よび電源パッドを有する集積回路製品チップの実質上すべてのものをテストまた はバーン・インする方法によって達成される。この方法は、ａ）製品ウエハーの 熱膨張係数に一致する熱膨張係数を有するセラミック材料、金属、または積層金 属から構成されるテスト・ヘッドを製品ウ エハー上の集積回路製品チップの実質上すべてのもののパッドに同時に接触させ 、ｂ）前記テスト・ヘッドを経て電源から製品チップの電源パッドに電力を供給 し、ｃ）ウエハー上の複数の製品チップを前記テスト・ヘッドによりテストまた はバーン・インするステップを含む。 本発明の別の目的または特徴は前面および背面を有する製品ウエハー上の複数 のチップをテスト・システムに接続して製品チップを同時にテストまたはバーン ・インすることができる装置によって達成される。この装置は前面、背面および 複数の接点を有するテスト・ヘッドと、前記複数の接点をテスト・システムに電 気的に接続する手段と、前記接点を製品ウエハーに接続する手段とを備え、前記 接続する手段は製品ウエハーと前記テスト・ヘッドとの間に備えられたプローブ および真空クランプ、少なくとも１つの製品ウエハーの背面に備えられた前記真 空クランプのための真空シール、および前記テスト・ヘッドを含む。 本発明の別の目的または特徴はウエハー段階でのテストおよびバーン・インを 行うことができる装置によって達成される。この装置は製品ウエハー上の実質上 すべての製品チップのパッドに室温でかつ選ばれたバーン・イン温度で接触する 手段と、製品ウエハー上のテストまたはバーン・インされるべきすべての製品チ ップに、製品ウエハー上に短絡チップが存在してもこれに関係ない電圧レベルの 電力を供給する手段とを含む。 本発明の別の目的または特徴は背面を有する製品ウエハーの温度を制御する装 置によって達成される。この装置はウエハーの背面のほとんどの領域に接触する ことができるピストンのアレイと、ピストンとウエハーとの間に熱的接触を与え テスト・ウエハーの温度を制御するため前記アレイの各ピストンに力を加えるこ とのできる手段とを含む。 本発明の装置のテスト・ヘッドはガラス・セラミック等の材料から作られたセ ラミック基板およびテスト・チップを含み、また基板に取り付けられた電圧調整 回路を含んでいる。調整器は電圧の大きさを制御し、ウエハー上の短絡チップの 存在に感応せずかつ各チップにより引き出される電流の大きさに感応しないよう なテスト条件の元で電圧を各製品チップに供給させる。調整器は正確な電圧の選 択を可能にするため可変調整器となっている。調整器は調整器回路の選択的オン ・オフ・スイッチングをするためにゲートされ、または３状態を取ることができ る（高インピーダンス状態にされる）。従って、関連する製品チップは電力との 接触から取り外すことができる。この代わりに短絡したチップへの電流を制限す るため調整器に適応電流が設定されてもよい。調整器の出力にデカップリング容 量が設けられて高速のテストを可能にするようになっている。多数の薄い銅層を 有するガラス・セラミック基板はテスト・チップに非調整の電圧を与えることが でき、調整された電圧をテスト・チップから製品ウエハー上の製品チップに最小 限の電圧降下で供給することができる。 図面の簡単な説明 第１図は本発明に従って構成されたテスト固定具およびテスト・ヘッドの透視 図を破断断面で示す図。 第２図は第１図のテスト固定具を用いたテスト・システム全体のブロック線図 。 第３ａ図は第１図のテスト構造体において利用されるテスト・チップの前面の 平面図であり、テスト・チップに設けられる回路の少なくとも一部をブロック線 図の形で示す図。 第３ｂ図は第１図のテスト構造体において利用されるテスト・チップの前面の 平面図であり、テスト・チップに設けられる信号Ｉ/Ｏパッドのためのスイッチ をブロック線図の形で示す図。 第４図は第１図の製品ウエハーの回路チップの前面の平面図であり、そこに設 けられる電気的パッドの幾つかを示す図。 第５図は本発明の別実施例に従って可変電圧調整器を用いたテスト・チップの 平面図。 第６ａ図は本発明による個別テスト・チップから構成された複合テスト・ヘッ ドの断面図。 第６ｂ図は本発明による個別テスト・チップから構成された複合テスト・ヘッ ドの別実施例の断面図。 第７ａ図は本発明更に別の実施例に従って構成されたテスト固定具およびテス ト・ヘッドの透視図を破断断面で示す図。 第７ｂ図は第７ａ図に示された破断断面図の一部の拡大図。 第７ｃ図はテスタと直接接続ための、テスト・チップおよ びプローブの両方を有するテスト・ヘッドを示す図。 第８図は第１図に示すテスト固定具のより小型かつポータブルの代替例の断面 図。 発明を実施するための最良の形態 ウエハー上の複数の製品チップを同時にテストするための手段をそれぞれ含む 幾つかの本発明の実施例を以下に説明する。本発明は一時に１つのチップをテス トするのに利用されるが、製品ウエハー上の多数の製品チップ、例えば、チップ の４分の１、または大部分を同時にテストするのに最も適しており、また特に非 短絡製品チップのすべてまたは実質上すべてを同時にテストするのに最も適して いる。幾つかの実施例は調整されたＶdd電圧を製品チップに与える手段を含んで いる。或実施例では電圧調整器を有するテスト・ウエハーが製品ウエハーのパッ ドに直接接触するために用いられる。電圧調整器は、その出力が所望の電圧を与 えることを確かなものとするように、可変性、ゲート動作、適応電流を設定する 能力、および製品チップ上の実際の電圧を調整器にフィードバックする能力を含 むことができる。 他の実施例においては個々のテスト・チップを保持するためにキャリアが用い られ、これはテスト・ウエハー全体を用いるのに比べてかなりの有利性を与える 。このような実施例の１つにおいて、テスト・チップは製品ウエハーに面してキ ャリアに取り付けられる。電源はキャリアの背面に接続し、 そこからテスト・チップの背面に接続することができる。この代わりに、テスタ にプラグ差し込みするためキャリアの背面にピンを設けることができる。製品ウ エハーがキャリアの一側に取り付けられ、テスト・チップが反対側に取り付けら れてキャリアを通して接続がなされるようにすることもできる。 キャリアはガラス・セラミックまたは窒化アルミニウム等のセラミック材料で あってよい。ガラス・セラミックは本出願人が所有する米国特許第4,301,324号 に記述されている。ガラス・セラミックは最小限の電圧降下でウエハーをテスト し、バーン・インするのに必要な大電流を流すため厚い銅の導体を多層に有する 。またキャリアは低熱膨張係数ＴＣＥを有する絶縁材料であってもよく、ポリマ および低熱膨張係数金属の交互の層で積層された金属であってもよい。低ＴＣＥ 金属としては、インバーまたはコバー等の金属合金、およびタングステンまたは モリブデン等の元素金属が含まれる。積層金属は本出願人が所有する米国特許第 5,224,265号および第5,128,008号に記述されている。キャリアは、特に低電力チ ップがテストおよびバーン・インされようとするときには製品ウエハーと同じ材 料、典型的にはシリコン、から作られてもよい。 図面、特に第１図および第２図を参照すると、テスト固定具１０が示されてお り、これはテスト・ヘッド１６を支持し整置するためのテスト・ヘッド・ハウジ ング・ユニット１２、 および製品ウエハー１８をテストおよびバーン・インするための対抗した関係で 製品ウエハー１８を支持し、整置する製品ウエハー・ハウジング・ユニット１７ を含む。テスト・ヘッド・ハウジング・ユニット１２はテスト・ヘッド・ハウジ ング２２およびテスト・ヘッド支持体２４を含み、製品ウエハー・ハウジング・ ユニット１７はハウジング２６および製品ウエハー支持体２８を含んでいる。 １実施例において、テスト・ヘッド１６はテスト・ウエハー３０（上面を下に して図示）および剣山状の接触子ユニット３１から成る。テスト・ウエハー３０ はテスト・チップ３２を含む。テスト・ウエハー３０の前面（第１図では不可視 ）は接触子ユニット３１に接続されており、テスト・ウエハー３０の周縁に沿っ ている縁部接触子３３ａはフレキシブル・ケーブル３３ｃのＩ/Ｏ信号線３３ｂ に固定されている。 テスト・ウエハー３０は複数の集積回路テスト・チップ３２（第１図ではテス ト・ウエハー３０の背面が図示されているので点線で示される）を有し、各テス ト・チップは製品チップに対応している。テスト・チップ３２はウエハー１８の 製品チップ３４の分布に相応した実質上平面分布で設けられており、テスト・ヘ ッド１６および製品ウエハー１８がテストのために整合して係合されるときテス ト・チップ３２が対応して位置づけられた製品チップ３４と電気的に接続するよ うに位置づけられるようになっている。テスト・ウエハー３０（第２図）上のテ スト・チップ３２の前面３５は製品ウエ ハー１８上の製品チップ３４の前面３７に面している。テスト・チップ３２の背 面３８はテスト・ヘッド支持体２４に接触し、製品チップ３４の背面３９は製品 ウエハー支持体２８に接触している。各テスト・チップ３２は第３ａ図のブロッ ク線図に示す電圧調整器４０を含むテスト回路を有する。 第３図および第４図に関して後で詳細に述べるが、テスト・ヘッド１６と製品 ウエハー１８との間の電気的接続を与えるために各テスト・チップ３２は電源電 圧パッド６５を含む複数のテスト・チップ・パッド５０を有する。テスト・チッ プ３２のテスト・チップ・パッド５０は関連する製品チップ３４の製品チップ・ パッド５３に対して鏡像関係に配置されている。 第１図に示すように、テスト・ウエハー３０の前面に接触ユニット３１が取り 付けられている。この接触ユニット３１は、テスト・チップ３２のテスト・チッ プ・パッド５０に電気的に接続された複数の細長いプローブまたは電気的接触部 材５４から成る。接触部材５４は、テスト固定具１０がそのテスト形態に整合さ れてクランプされたときに関連する製品チップ３４の製品チップ・パッド５３（ 第４図）にプローブの端部５５を係合させるように延び出ている。 この実施例において、接触部材５４はワイア・ボンディングによりテスト・ウ エハー３０のテスト・チップ・パッド５０に電気的にかつ物理的に取り付けられ 、そしてエポキシ等の絶縁材料５７により一体的ユニットの形に形成され、最終 的にはユニットの形に平面化されて接触部材５４のプローブ端５５がヘアブラシ または剣山状の構造でテスト・ヘッド１６の接触平面を画定するようにされる。 このタイプの構造は本出願人による別出願に記述されている。接触部材５４はプ ローブ、ピン、バックル・ビーム、変形可能な金属バンプおよびポゴ・ピンを含 んでいる。更に、テスト・チップ３２と製品チップ３４との間に接続を与えるた めに、Ｃ４はんだバンプ、および本出願人が所有する米国特許第4,975,079号に 記述されたもののようなその他の導体を用いることもできる。公知のリフロー構 造ではＣ４接触子に対して小さな領域が設けられるが（Ｒ３として知られている ）、これはバーン・インが完了した後における製品ウエハー１８の切り離しをか なり容易にする。粒子による相互接続法も知られており、これによれば金属で被 覆されたダイアモンドがアルミニウム・パッドとの一時的接触を作るのに用いら れる。 テスト・ヘッド１６の説明を終えるにあたって、テスト・ウエハー３０の縁部 接触子３３ａに取り付けられたフレキシブル・ケーブル３３ｃは、遠隔のテスト 装置５８（第２図に示される）とテスト・ヘッド１６との間にあるＩ/Ｏ信号線 ３３ｂ（第１図にはその内の僅かだけが示されている）を有する。テスト・ウエ ハー上でＩ/Ｏ信号線３３ｂはテスト・チップ３２相互間のカーフ領域にまとめ て載置され、ウエハー３０上のすべての製品チップに接続する。 複数のチップ、例えばウエハー全体のチップ、を同時にテ ストし、またはバーン・インすることから引き出される大電流は、電源電圧およ び接地電圧をテスト・ウエハー３０および製品ウエハー１８の背面３８および３ ９（第１図および第２図）に接続することによって対処される。このようにして 電源電圧がテスト・ウエハー３０の背面３８に印加され、接地電流が製品ウエハ ー１８の背面を経て電源に戻される。電力を与えるこの方法は製品ウエハーとし てｐ型のウエハーを用い、テスト・ウエハーとしてｎ型のウエハーを用いること 、またはこの反対にすることにより実施される。 第１図において電源電圧はテスト・ヘッド支持体２４上の端子パッド５９に接 続されているものとして示されている。接地接続も同様に製品ウエハー支持体２ ８に対してなされている。実際に実施する際には、ウエハー全体にあるすべての チップにも及ぶ多数のチップの並列テストに必要とされる大電流を受け入れるた めには、支持体２４および２８は背面３８および３９と電気的に接触する銅また は真鍮のような低抵抗導電材料から成ることが望ましい。 電源電圧および接地電圧はテスト・ヘッド１６、（テスト・ウエハー３０）お よび製品ウエハー１８の背面に印加されるので、ハウジング２２および２６を絶 縁するための配置が与えられる。図示のように、１つの配置はハウジング２２お よび２６をセラミックのような絶縁材料のものとすることである。この代わりに 、テスト・ヘッド１６および製品ウエハー１８の背面３８および３９にそれぞれ 電気的接続を維持し た上でこれらの素子とハウジング２２および２６との間の部分を絶縁材料で作る こともできる。 第３ａ図はテスト・チップ３２の前面３５に埋め込まれた単純な電圧調整器回 路４０を示す。接続は点線で示されている。電源電圧入力路６１は電圧調整器回 路４０をテスト・チップ３２の背面３８を経て電源電圧ＰＳに接続する。電圧調 整器４０の調整された出力は出力線６３を経て前面３５上の出力パッド６５に接 続される。デカップリング容量６７は出力線におけるノイズを低減する。デカッ プリング容量６７は各電圧調整器の出力線上にあることが望ましい。デカップリ ング容量６７は、プレーナＭＯＳキャパシタ、トレンチ・キャパシタ、トレンチ ・キャパシタの大規模アレイ、または金属層間のフルーナ・キャパシタ（薄膜キ ャパシタ）等の構造を用いてテスト・チップ３２に形成される。 第３ａ図および第４図に見られるように、製品チップ３４のＶdd電圧パッド６ ９は製品チップ３４の前面３７において、テスト・チップ３２の出力パッド６５ の鏡像に相当する位置に置かれる。Ｖddパッド６９は、テスト・ヘッド１６およ び製品ウエハー１８がそのテスト配置に係合されるときに製品回路７１にゲート されかつ制御された電圧入力を与えるために製品回路７１に接続されている。 電圧調整器回路４０の動作はゲート信号パッド７３に与えられるゲート信号に よって決まる。このゲート動作は所望のときに選択されたチップの個別のテスト を可能にするばかり でなく、短絡されたチップの隔離も行うので好都合である。ゲート信号パッド７ ３はテスト・チップ３２の制御に専用のものであるので、これは製品チップ３４ には接続されない。短絡チップの隔離または短絡チップへの電流制限は、調整器 の分野で知られているように調整器回路４０で自動的に行うことができる。 製品ウエハー１８をテストするために第１および第２ハウジング・ユニット１ ２および１７はクランプ（図示せず）などの任意の通常の手段で共に押し付けら れてテスト・ヘッド１６のプローブ５４を製品ウエハー１８の前面３７にある製 品ウエハー・パッド５３に係合させる。テスト・ヘッド支持体２４はテスト・ヘ ッド１６の背面３８に押し付けられる導電性スプリング部材７５を複数個有する 。ピストン（第７ｂ図参照）の中にあるスプリング部材７５は第１図に示される アセンブリのすべての要素を、テスト・ヘッド１６のプローブ５４を含めて、す べて一緒に製品ウエハー・パッド５３、支持体２４と電気的に接触するように弾 性的にテスト・ヘッド１６（ウエハー３０）に押し付け、製品ウエハー１８を支 持体２８に押し付ける。スプリング部材７５はまたテスト・チップ３２から熱を 取り去るのを助け、製品ウエハー支持体２８は製品チップ３４から熱を取り去る のを助ける。半導体ウエハーを冷却するのにスプリングおよびピストンを使用す ることは本出願人が所有する米国特許第5,228,502号に記述されている。これと 同様にして、スプリングおよびピストン は製品ウエハーのすべての部分と良好な熱的接触を維持しながら製品ウエハー１ ８をプローブ５４に弾性的に押し付けるように製品ウエハー支持体２８内で用い られ得る。（製品ウエハーをテスト・ヘッドに押し付けるための別の方法は真空 または水圧を用いるものであり、これは第８図の説明に関して後で述べる。） このように、テスト・ヘッド１６およびウエハー１８の対向するチップ３２お よび３４は互いに電気的に接触するように押し付けられるだけではなく、支持体 ２４および２８の間に挟まれて電源電圧の電流を支持体２４からテスト・ヘッド １６の背面３８に導通させ、接地電圧の電流を製品ウエハー１８の背面３９から 支持体２８に導通させることを可能にしている。通常の電源ソケット（図示せず ）がテスト構造体１０に備えられており、これにより適当な電源から支持体２４ および２８へ、また支持体２４および２８から電流を導通させるようになってい る。 ウエハー支持体２４および２８は支持体を通して熱いまたは冷たい流体を導通 させるための流体導管７７、７８をそれぞれ組み込んでおり、これにより所望の テストまたはバーン・イン手順に従ってテスト・ヘッド１６および製品ウエハー １８の温度を限定する。 ハウジング２６にはＯリング（図示せず）を受け入れる溝７９があり、これに よりテスト構造体１０がそのテスト配置にクランプされたときにハウジング・ユ ニット１２および１ ７の間の間隙の僅少な変化を許容してテスト・ヘッド１６および製品ウエハー１ ８の間に構造体の係合の制御が存在するようにされている。Ｏリングはまた製品 ウエハーをプローブ５４に真空クランプするのを容易にすることができる。 ハウジング・ユニット１２および１７間、もっと重要なものとして、テスト・ ヘッド１６および製品ウエハー１８間の整列を助けるために、ハウジング２６は 間を置いて離隔した整列ポスト８１および８２を有し、またハウジング２２はこ れらのポストを受け入れるための対応位置にある孔８３および８４を有する。テ スト・ヘッド１６とウエハー１８との正確な整列を確かなものとするために、チ ップ裏返し実装においテスト・チップを整列させるのに用いられる光学的整列装 置等のようなその他の周知の構成を用いることもできる。像分割光学的顕微鏡法 はチップを基板に装着する周知の方法であり、これもテスト・ヘッド１６とウエ ハー１８との整列のために利用できる。 テストのためには適当な電源から電圧がクランプされたテスト構造１０に跨っ て印加され、電源電圧を各テスト・チップ３２の電圧調整器回路４０に印加する ようにされる。テスト装置５８（第２図）によりゲート信号がフレキシブル・ケ ーブル３３ｃの選択された信号線を経て各テスト・チップ３２のゲート信号パッ ドに印加される。電圧調整器４０の内選択されたもの、望ましくはすべて、がオ ンになり、各出力パッド６５（第３ａ図）に調整された電圧を与え、その関連す る接触部材５４を経て選択された各製品チップ３４の各Ｖddパッド６９に、およ びその上の各製品回路７１（第４図）に調整された電圧を与える。短絡したチッ プを除去するかまたは電流を適応レベルに制限する自動的手段が電圧調整器回路 ４０に備えられるならば、ゲート信号およびゲート信号パッド７３はなくてもよ い。 上述のように、テスト信号は、望ましくはテスト・チップ３２同士の間の領域 において、テスト・ウエハー３０の表面に沿ってテスト・チップに分配される。 第３ｂ図に示されたように、信号Ｉ/Ｏ線はテスト・チップ３２のテスト・チッ プ・パッド８６ａに受け取られ、短絡したＩ/Ｏまたはその他の短絡を有する製 品チップからテスト信号を切り離すためにテスト・チップ３２上にスイッチ８４ が設けられる。共通Ｉ/Ｏ線電圧を引き下ろすのを避けるため、Ｉ/Ｏは電源から その他の理由で切り離された製品チップから切り離される。スイッチ８４はテス ト・チップ・パッド８６ａおよび８６ｂをリンクするＦＥＴによって与えられ、 すべてのＩ/ＯのＦＥＴは共通ゲート８７により制御される。テスト・チップ３ ２はテスタ機能を含んでもよく、製品チップ３４にテスト用パターンを与える様 にすることができる。この場合、より少ないＩ/Ｏ信号線がテスト・ウエハー３ ０に設けられる必要がある。 テスタ機能が備えられるかどうかに関係なく、テスト構造体１０はテスト・ヘ ッド３０と共に所望の製品回路のすべてに電源電圧、接地電圧、および信号Ｉ/ Ｏを同時に印加するの を容易ならしめ、またゲート動作される調整器回路４０および信号Ｉ/ＯＦＥＴ ８４は短絡チップまたはテストされないチップを隔離するのを容易ならしめる。 テスト・チップ３２上のスイツチは製品チップをすべて同時にではなく順次に 、または小グループずつ立ち上げるのを容易ならしめる。これはシステムの電力 需要を低減し、単一チップまたはチップの一部分をテストすることを可能にする 。更に、これはテストが選択されたチップに個別的に適合するようにする。 第５図に示された実施例において、第３ａ図に示されたのと同じ素子が同じ態 様で配置されており、そして追加の機能が付加されている。テスト・チップ３２ は制御可能な電圧調整器回路１４０を含んでいるが、これはゲート動作されかつ 可変である。調整器回路１４０はその電源電圧入力６１がテスト・チップ３２の 背面３８（第２図）を経て給電され、その調整された電圧出力線６３が出力パッ ド６５を経て、更に接触部材５４を解して関連する製品チップ３４のＶddパッド ６９に接続されるように図示されており、これはすべて第３ａ図の調整器回路４ ０と同じ形である。 この実施例は調整器回路１４０がテスト・チップ３２の他の領域からパッド８ ９ａに、または基準信号線８９ｂを経てテスト装置５８（第２図に示す）から直 接に基準信号電圧を受け取るように構成されている点において区別される。基準 信号電圧は電圧調整器回路１４０から望まれる調整された出 力電圧を設定するのに用いられる。例えば、調整器回路１４０は、基準信号線８ ９ｂを経てパッド８９ａに与えられる基準電圧に等しい出力電圧レベルをパッド ６５に供給するように設計される。このような回路設計は電圧調整器の分野で周 知である。 典型的には製品チップはＶdd、およびＶdd +/- 10％ 等の数種の電圧でテスト される。製品チップはそれから典型的にはＶdd +/- 40％ でバーン・インされる 。調整出力を変える能力は、このことや、その他の任意の範囲のテストおよびバ ーン・イン条件が製品チップに加えられることを可能にする。 基準電圧レベルが外部から供給できるのと丁度同じように、適応電流レベルも 適応レベル信号線８９ｄを用いてパッド８９ｃに外部から設定できる。 同様に幾つかの基準電圧および基準電圧線を有する幾つかの電圧調整器は必要 に応じて製品チップ３４に幾つかの異なる電圧レベルを与えることができる。別 々の基準電圧線が用いられる場合には電圧調整器のグループが個別に制御され得 る。 第７ａ図、第７ｂ図についての記述において電圧調整器回路１４０の更なる機 能強化が説明されるが、これは製品チップ上の接地およびＶddから調整器へのフ ィードバックを付加して製品チップで見た電圧差が基準電圧信号線を経てパッド ８９ａに印加される電圧となることを保証することなどを 含む。 テスト・ヘッドを作るのにウエハー全体を使用する代わりにテスト・ヘッドは テスト・ウエハーからダイスされ、テストされ、取り上げられた個々のテスト・ チップの合成物として形成されてもよい。ウエハー全体の代わりに個々のテスト ・チップを用いることの利点は欠陥テスト・チップが置換可能であることである 。３つの実施例が説明される。第６ａ図に関して説明される第１の実施例におい て個々のテスト・チップは製品ウエハーに対面して載置されるが、これはテスト ・ウエハーの部分であるテスト・チップについて上述したのとまったく同じであ る。第６ｂ図に関して説明される第２の実施例では、個々のテスト・チップはキ ャリアの製品ウエハーと同じ側にはんだバンプで溶着される。第７ａ図、第７ｂ 図に関して説明される第３の実施例では、個々のテスト・チップはキャリアの製 品ウエハーとは反対側に載置される。 第６ａ図を参照すると、テスト・チップ３２の背面３８がキャリア９０に取り 付けられている。その要点を述べると、キャリア９０はテスト・ウエハー３０（ 第１図）上のチップと同じ態様で個々のテスト・チップ３２のすべてを正しい位 置に保持し、キャリア９０上で空間的に配置し、整列させて、キャリア９０上の 各テスト・チップ３２とウエハー１８の各製品チップ３４との間の電気的接続を 可能にする。更に、導電層９２を介して載置された各テスト・チップ３２の背面 にキャリア９０を経て電気的接続が与えられる。キャリア９０ 上のテスト・チップ３２相互間には絶縁体９４内の信号線９３が設けられ、これ らの信号線とテスト・チップ・パッド５０との間に接続が与えられる。 絶縁体、信号線、および接触パッドは周知の付着法およびフォトリソグラフィ 法によりキャリア９０上に形成される。所要数の信号線を設けるために幾層かの 金属レベルが用いられてもよい。テスト・チップ３２に接続するためのパッドは 最上層に形成される。キャリア９０上の信号線９３とテスト・チップ３２上のパ ッドとの間の接続は、ワイア・ボンディングおよびはんだバンプ等の標準的な手 法で形成される。テスト・チップ３２は製品チップよりも相当に小さくすること ができるので、テスト・チップ相互間には信号線およびワイア・ボンド・パッド のためにキャリア９０上で必要とされる金属レベルを与えるのに十分な空間があ る。製品チップ・パッドと整列した接触部材５４をキャリア９０上に与えるのに 十分な空間もある（第６ｂ図）。 キャリア９０の背面９５は少なくともテスト・チップ領域においてはアルミニ ウム等の導電性材料で形成される。背面９５はテスト・チップ３２に大電流を供 給するためのテスト・ヘッド１６用の電源プレーンを画定する。キャリア９０と テスト・チップ３２との間の接続は、テスト・チップ３２の背面３８上に金属層 を蒸着してテスト・チップ３２のシリコン基板とのオーミック接触を形成し、次 いでキャリア９０をテスト・チップ３２の金属化された背面３８にはんだ付け、 溶着、またはその他の方法で接続する。このようにしてキャリア９０は一表面に 沿ってテスト・チップ３２に対する信号線９３を与え、また反対側の表面に沿っ てテスト・チップ３２の背面に至る導電路を画定する。 キャリア９０は第１図および第２図のテスト・ウエハー３０に関して先に述べ た態様でテスト・ヘッド１６に取り付けられる。例えば、接触部材５４は、テス ト・チップがキャリア９０に固定される前または後に、あるいは前述のように接 触部材５４がキャリア９０自体のパッドに当てられる前または後に、各テスト・ チップ３２のパッド（図示せず）に当てられる。最後に、この図では示されてい ないキャリア９０の部分がテスト構造体の外部に延び出て信号線９３を第２図の テスト装置５８に接続するようにされる。 第６ｂ図はもう１つの実施例を示し、そこではテスト・チップ３２がキャリア ９０にはんだバンプで接合されている。キャリア９０は金属の複数レベルまたは 薄膜層９７を有し、これを通して電源線、接地線および信号線が設けられるが、 これについては第７ａ図ないし第７ｃ図に関してもっと詳細に説明される。キャ リア９０の背面にあるピン９９はキャリア９０をテスタ・ソケットに接続するた めの手段を与える。接触部材５４について上述したその他の接続体もキャリア９ ０をテスタに接続するのに用いることができる。キャリア９０は以下に述べるよ うに製品ウエハーのＴＣＥと同じＴＣＥを持った材料から作られる。接触部材５ ４がキャリア９０上に 置かれるので、接触部材５４がテスト・チップ３２上に置かれている第６ａ図の 実施例と比べて欠陥チップの取り替えが更に簡単になる。 キャリア９０では、テスト・ヘッド１６が使用状態に置かれたときすべてのテ スト・チップが機能的になることができ、そして欠陥状態になったチップがどれ でも置き換えられるという点において、キャリア９０はウエハー３０（第１図） に比べて有利である。第１図の実施例の場合と同様に全ウエハーのテストおよび バーン・インに必要とされる大電流を供給することができる。また、製品ウエハ ー上のチップに実質上一定な電圧を供給し、かつ短絡チップを自動的に切り離す ことができるようにテスト・チップ３２上にピン毎に調整器を備えることができ る。 第７ａ図ないし第７ｂ図はテスト・ヘッドのもう１つの実施例を示すが、ここ でテスト・ヘッドは前述したものに比べて更に有意な利点を有する。主要な利点 は、この実施例ではテスト・チップおよび製品ウエハーがキャリア９０の両側に 載置されていることにある。従って、テスト・チップ３２および製品ウエハー１ ８はキャリア９０を介して互いに対面することにより、チップの背面が電源、接 地線、または放熱に利用できるようになっている。この実施例は欠陥チップが接 触部材５４に影響することなく容易に取り外せるという利点を持つ。これはまた テスト・チップ３２の特別の整合が必要とされないという利点をも持っている。 図示のようにテスト・ヘッド１１６はキャリア１９０にはんだバンプで取り付 けられた個々のテスト・チップ３２から構成される。はんだバンプによる取り付 けは半導体実装の分野で周知である。はんだバンプによる取り付けは、テスト・ チップ３２が欠陥を有するとき、テスト・ヘッド１１６の他の部分を取り外す必 要なしにテスト・チップ３２を取り外しおよび交換するのを容易にする。ワイア ・ボンディングまたはＴＡＢボンディング等のその他の取り付け方法もまた用い ることができる。 キャリア１９０は上述のようにガラス・セラミック等の材料から作られる。ガ ラス・セラミックはＴＣＥがシリコンのＴＣＥと同等であるので、温度が室温か らテストおよびバーン・イン温度まで変化する間ウエハー上のすべてのチップに 対してプローブの接触を維持する能力を与える。典型的なバーン・イン温度は約 １４０°Ｃであるが、バーン・イン温度は１８０°Ｃまで及ぶことがある。テス トおよびバーン・インは室温以下の温度でも行うことができる。キャリア１９０ は窒化アルミニウム、シリコン、絶縁された低ＴＣＥ金属、またはここに列挙し たようなシリコンのＴＣＥに近い低ＴＣＥの金属や積層金属等のその他のセラミ ック材料から作ることもできる。 キャリア１９０上のチップはバーン・インの間製品ウエハーよりも幾分低い温 度に保たれるのが望ましい。これによりキャリア１９０上のチップはより小さな 応力を受け、より長 期間存続する。例えば、製品ウエハーはバーン・インの間１４０°Ｃまで温度上 昇することがあるが、キャリア上のチップは好ましいことに１００°Ｃまでしか 上昇しない。キャリア１９０のＴＣＥは、製品ウエハーおよびキャリアの温度が 室温とバーン・イン温度との間で変化するとき、製品ウエハーの直径全体にわた ってパッドと接触するプローブが幾つかのチップとの接触を失うほどにはずれな いような程度にキャリアおよびウエハーが、所望の温度差を考慮して、膨張する ならば、シリコンのＴＣＥにマッチするものと考えられる。ウエハーのバーン・ インのためのマッチングに必要とされるキャリアのＴＣＥは、バーン・イン温度 、製品ウエハーの直径、プローブおよびパッドの寸法が与えられれば容易に計算 される。 チップ実装のために開発されたガラス・セラミック材/銅材のシステムはウエ ハー・テストおよびバーン・インにとって理想的な基盤である。その熱的特性の 他に、ガラス・セラミックはウエハーのテストおよびバーン・インに望ましいそ の他の幾つかの特性を持っている。それはミクロン単位に研磨することができ、 また本来機械的に安定である。ガラス・セラミック基板内部の銅導体は高速のウ エハーのテストのための５０オーム・インピーダンス伝送線を与えるように配置 され得る。３次元銅導体回路網の現在の配線密度は２１５ｍｍのガラス・セラミ ック基板の上面および底面の両方に100,000個もの接続を布線するのに十分な容 量を許容する。また、 ウエハーを基板に整列させるための光学的整合システムの一部として用いるため に、ガラス・セラミック/銅基板に孔を設けることができる。ガラス・セラミッ ク/銅基板は、基板への電力および信号の機械的接続を最適化するために、任意 の形状の縁部を形成されてもよく、また縁部条件の任意の組み合わせを取るよう に形成されてもよい。 ガラス・セラミック基板はまた厚い銅導体を与え、これはウエハー全体にある チップに良好な電圧の一様性を保つ一方でウエハー上のすべてのチップの同時的 テストまたはバーン・インに必要な低抵抗および大電流分配能力を与える。多数 のチップを実装するのに用いられるガラス・セラミック基板はガラス・セラミッ ク内にダース単位の金属厚膜１９２を有し、また基板の上面および底面にある薄 膜層に更に別の金属層を有する。例えば、実装に用いられる現在の２１５ｍｍ多 層ガラス・セラミック/銅基板は直流の１０，０００アンペアを配電することが でき、これはウエハー上のすべてにチップに対して十分である。従って、ガラス ・セラミック基板によれば電圧の一様性を維持するように電力を分配するために はテスト・チップ３２の背面は必要とされない。電流はガラス・セラミックのキ ャリア１９０を経て電圧調整器２４０を有するテスト・チップ３２に配電され、 そこから製品チップ３４に配電される。第７ｂ図に概念的に示されたように、電 源バス２５２ａおよび接地バス２５２ｂはキャリア１９０の両表面に延びる導電 層１９２ａおよび１９２ｂにそれぞれ電 気的に接続されてガラス・セラミック基板に低抵抗の接触を与える。接続は溶着 、はんだ付け、またはクランプ等の方法でなされる。 第７ｂ図に示されるように、金属層１９２はキャリア１９０の一部または全体 に進入する垂直導体（２４２、２４４および２４６等）を形成するように重ねら れる。従って、キャリア１９０の上面および底面は相互接続されて、キャリア１ ９０の上面に下向きに載置されたテスト・チップ３２とキャリア１９０の下にあ る製品チップ３４との間の接触を容易にすることができる。キャリア１９０と製 品チップ３４上のパッドとの間の接触は、剣山状の接触部材５４、Ｃ４またはＲ ３ボンディング等、上に述べた本発明の実施例について記載された方法によって 行うことができる。本実施例においては接触部材５４は第１図について述べたも のよりも相当に短かくすることができるが、これはフレキシブル・ケーブル接続 が必要とされないからであり、この接触部材の長さは、ウエハー上のすべてのパ ッドへの接触を保証するためのプローブの追従性の必要によってのみ定められる 。はんだ付けボンディングが用いられたとき、製品ウエハー１８の取り付けおよ び取り外しを容易にするため、テスト・チップ３２を取り付けるのに用いられる はんだは製品ウエハー１８の取り付けに用いられるはんだよりも高い融点を持つ ものとすることができ、つまり製品ウエハーをテスト・チップよりも高い温度に 加熱することができる。 各テスト・チップ３２上にある１つ以上の電圧調整器回路２４０は垂直導体２ ４１を経て製品チップ３４に調整された電圧を与える。別の垂直導体２４２、２ ４４が製品チップ３４におけるＶddおよび接地レベルをそれぞれ感知するのに用 いられ、この差が電圧調整器回路２４０にフィードバックされて調整器回路２４ ０の基準信号パッドにおける指定された電圧が製品チップ３４のＶddパッドと接 地パッドとの間に実際に印加されるのを保証するようにされる。 製品チップからのフィードバックにより電圧調整器２４０は、電源とテスト・ チップ３２との間、テスト・チップ３２と製品チップ３４との間、または製品チ ップ３４と接地バスとの間のいずれかに存在する可能性のあるどのようなＩＲ電 圧降下にも関係なく、基準信号パッド２４６で指定された全電圧を高精度で製品 チップに供給するという意味ある利点を与える。この精度は、電圧調整器２４０ がその関連する製品チップ上の電源パッドと接地パッドとの間の電圧を電圧調整 器の分野で周知の回路を用いて感知し、チップのＶddパッドと接地パッドとの間 に印加される実際の電圧が極めて厳しい制限内に保たれることを保証することに より得られる。 電圧調整器２４０は、電圧調整器の分野で周知の電圧調整器２４０により、短 絡チップへの電流を適応範囲の値に制限し、または短絡チップをテストまたはバ ーン・インからそっくり取り除くことができるという利点をも与える。このよう にして短絡チップが隣接チップの電圧レベルに与える可能性 のある潜在的な不都合が避けられる。 電圧調整器２４０は、製品ウエハー１８上の様々なチップが相当に異なる大き さの電流を引き出して相当に異なるＩＲ電圧降下を受けることがあるような場合 でも、製品ウエハー上のすべての非短絡チップに厳密に調整されたＶddを与える という別の意味ある利点を有する。電圧調整器２４０は、各チップおよびその隣 接チップにより引き出される電流に実質上関係なく、電圧調整器回路２４０の許 容範囲内で実質上同一の電圧を各動作チップに与える。 スプリング７５およびピストン７６を用いてはんだバンプで載置されたチップ の背面から熱を放散することは第７ｂ図に示されるように半導体実装の分野にお いて周知である。典型的には、スプリングがピストンを冷却すべきチップと熱的 な接触をなすように押し付ける。本発明において、この方法はダイスされていな い製品ウエハー１８上の製品チップ３４への、および製品チップ３４からの熱伝 達を与えるように拡張される。ピストンのアレイが用いられ、これはその間にピ ストンおよび空間を有し、またウエハーの背面のほとんどの領域を覆う領域を有 する。 ガラス・セラミックのキャリア１９０は剛性であるため、ウエハー１８上の製 品チップ３４と接触部材５４との間の良好な電気的接触のためには製品ウエハー を剛性の支持チャックに結合させないことが必要となることがある。これは特に 、上述のようにテスト・チップ３２が製品ウエハー１８よりも 相当に低い温度に保たれる場合である。この場合、キャリア１９０の厚さにわた る相当な温度勾配がキャリア１９０の反り返りを生じ、この反り返りは５０ミク ロン程度またはそれ以上となることがある。しかしながら、薄い製品ウエハーの 相対的な可撓性の利点を利用して製品ウエハー１８の背面３９全体にわたって順 応的な力を加えるスプリング７５およびピストン７６により、製品チップ３４の 背面に良好な熱的接触を実現し、製品チップ３４と接触部材５４との間に良好な 電気的接触を実現することは依然可能である。順応的なチャックおよび製品ウエ ハー１８の背面への熱的接触子を用いることにより、接触部材５４と製品ウエハ ー１８との間の平坦度および平行度に許容度の緩和が許容される。 スプリング７５に加えて、ピストン７６をチップ３２または３４に押し付ける 力を与えるために水圧または圧縮空気システムを使用することができる。接触部 材５４に対するウエハーの順応を確実にするのに要する力は良好な熱伝達を得る のに要する力よりも相当に大きい。水圧または圧縮空気システムはピストンが移 動する距離に対して力が無関係である点、および力の大きさが容易に切り替えま たは調節できるという点において利点がある。別の方法として順応的な力を与え る真空による方法が第６図についてこの後説明される。製品ウエハーと接触部材 との間に順応的な接触を与えるのにこのような方法が用いられる場合には、ピス トン７５にかけられる力は良好な熱伝達を与えるのに十分なものであることが必 要 なだけであり、弱いスプリングで十分である。 その他多くの冷却方法が周知であり、浸積冷却、衝撃冷却、ヒートポンプ、お よびベロウズなどがあるが、これらの方法は本発明の機械的手段に比べて相当に 高価なものとなる。 上に述べたように信号Ｉ/Ｏはキャリア１９０に接続されたフレキシブル・ケ ーブル３３ｂ（第１図）を介し、そしてキャリア１９０上の、またはキャリア１ ９０内の導体２４８を経てテスト・チップ３２上のテスト信号パッド８６ａ（第 ３ｂ図）に与えられる。フレキシブル・ケーブル３３ｂとキャリア１９０との間 の接続は通常の手段によってなされる。第３ｂ図を参照して上述したように、製 品チップ上でＩ/Ｏが短絡した場合にすべての信号Ｉ/Ｏを切り離すためにテスト ・チップ３２においてスイッチ８４が利用できる。このようにして製品ウエハー １８上のすべてのチップに対するそれぞれの信号Ｉ/Ｏを切り換えることができ る。任意の１チップで信号Ｉ/Ｏに短絡が生じたことから生じる大電流および大 電圧振幅は、その関連するテスト・チップ３２上のスイッチによりそのチップを オフに切り換えることにより回避することができる。この切替はこの分野で周知 のテスト・チップ３２上の回路を用いて自動的に行うことができる。良好なチッ プに対しては、信号Ｉ/Ｏは垂直導体２４９を経てテスト・チップ３４から製品 チップ３４に与えられる。もちろん、短絡Ｉ/Ｏを有するチップの切替による制 御が必要でないならば、信号Ｉ/Ｏはテスト・チップ３２を通ることなくキャリ ア１９０を経て フレキシブル・ケーブル３３ｂから製品チップ３４に直接に与えられ得る。 キャリア１９０からテスト・チップ３２を経て製品チップ３４に信号Ｉ/Ｏを 分配する上述の方法は、テスト・チップ３２の入力当たり１つ、および出力当た り１つの、各パッド当たり２倍の個数のパッドを必要とする。たとえば、２５６ 個のパッドを有する製品チップの場合、テスト・チップ３２は５１２個のＩ/Ｏ パッドを必要とすることになる。電源接続はテスト・チップ３２を経て同様なＵ ターンをなすので、テスト・チップ３２には電源用に余分のパッドも必要となる 。しかしながら、テスト機能がテスト・チップ３２上に配置されているならば、 Ｉ/Ｏ線の殆どはテスト・チップ３２と製品チップ３４との間にだけ向けられ、 テスト・チップ３２を外部で接続するＩ/Ｏ線は僅かしか必要とされない。同様 に製品チップ３４が自己テスト回路を作り付けられているならば製品チップ３４ をテスト・チップ３２又は外部に接続するＩ/Ｏ線の数は非常に少なくなる。 製品チップは単一の調整器から、又は複数の調整器から給電され得る。標準的 なトランジスタが使用できるので、製品チップの電源パッド当たり少なくとも１ つの調整器が特に有利である。各調整器はより小さく、より少ない電流を引き出 し、制御するのにより容易であり、また現在のテクノロジーで実現するのにより 容易である。妥当な程度に小電流を流す装置を有するテスト・チップ上に電圧調 整器を設けることは 電圧調整器の設計および実装を簡単なものとする。各チップに多くの調整器を設 けるとテスト・チップの頑丈さを増す。これとは別に、単一の大きな調整器なら ばいくつかの製品チップに給電できるであろうが、１つの製品チップが短絡する とこの調整器により給電されるすべての製品チップはテストまたはバーン・イン 中に間違った大きさの電圧レベルを受けることになる。従って各調整器が単一の 製品チップに電流を供給することが望ましい。調整器は単一のテスト・チップ又 は複数のテスト・チップに配置することができる。 本発明は２つ以上の電源レベルを必要とする製品チップに特に適する。特化さ れた電圧調整器を各レベルに対して使用することができ、または個別の基準電圧 レベルが調整器の個別の組に利用できるようにすることができる。 もし必要ならば、テスト・チップ３２上の所要のパッドの幾つかは、電源バス １９２ａをテスト・チップ３２に接続する電源パッドの数を、電源を製品チップ ３４に接続するのに用いられるパッドの数より少なくするだけで無くすることが できる。同様にテスト・チップ３２上の各調整器回路１７４からの単一の出力線 ２４１をキャリア１９０において幾つかの線２４１ａないしｃに分割し、これで 製品チップ３４上の幾つかのＶdd電源パッド６９ａないしｃを給電するようにす ることができる。テスト・チップ３２上の電圧調整器回路２４０は製品チップ３ ４上で直接電圧差を感知し、テスト・チップ３２を電源バス１９２ａに接続する 電源パッドの数が 減少された結果生じる追加の抵抗およびＩＲ電圧降下をすべて補償する。 接地レベルはテスト・チップ３２を通ることなく接地バス１９２ｂから製品チ ップ３４上の接地パッド２５０に直接供給され、テスト・チップ３２は接地レベ ルを製品チップ３４に接続するのに用いられるのよりも少ない数の接地パッドを 有するようにすることができる。事実、テスト・チップ３２にはテスト・チップ ３２の背面を経由するだけで接地レベルが与えられ、これによりテスト・チップ ３２上のパッド場所を更に解放する。 上述の種々の実施例において、本発明はチップ上に電圧調整および切替を与え る能力のみならず、テスト・パターンやテスト結果やその他のテストおよびバー ン・イン機能を格納するテスト回路およびレジスタを与える機会をも提供する。 製品チップがバーン・イン自己テスト（ＢＩＳＴ）能力を持っているならば、テ スト・チップ上のテスト回路がテストを開始し結果を格納することができる。Ｂ ＩＳＴを使用したり、テスト・チップにテスタ機能を備えることにより、外部接 続に必要とされる信号Ｉ/Ｏ線の数を著しく減少させ、また外部テスタの必要性 をなくしまたは外部テスタのコストを低減させることができる。テスト・チップ は製品チップの数分の一インチ（２５．４ｍｍ）の寸法内に配置されるので、本 発明の手法は高性能のテスト能力を与え、テスタは必要ならば製品チップを非常 な高速で動作させることができる。また、製 品チップ又はテスト・チップの何れかにテスタ機能またはデータ・ログ機能が備 えられるならば、バーン・イン・ボード、ソケット、オーブン、およびバーン・ イン・テスタの必要が無くなるのでバーン・インが大いに簡単になる。 もう１つの実施例において、キャリア１９０はテスタのソケットに取り付ける ためのピン２６０などの標準的なプローブを一方の側に有する。電圧調整器２４ ０を有するテスト・チップ３２がプローブと共に用いられないならば、短絡の場 合に電流を制限するために標準的な抵抗またはヒューズが使用されても良い。し かしながら、第７ｃ図に示すようにキャリア１９０上のテスト・チップ３２と共 にピン２６０を用いることができ、これにより外部テスタおよび局部の電子的電 圧制御手段への直接接続および短絡製品チップ３４の切り離しを可能にすること ができる。 第８図は第１図のテスト固定具を小型にかつポータブルにした代替物を示す。 この実施例において、製品ウエハーはテスト・ヘッドに整合され、その組み合わ せがテスタまたはバーン・イン装置に運ばれるようにできる。このやりかたはテ スト・ヘッドおよび製品ウエハーをポータブルのカセットにして、このカセット のアレイがテスタまたはバーン・イン・チャンバにプラグ・インされるようにす ることができる。このやり方では整合ステップをテストおよびバーン・インのス テップと別にすることができるのでこのやり方は意味ある利点を与える。テスト およびバーン・インは高価な道具を用い て行われるが、このようにステップを別にすることによりこれらの道具がウエハ ー整合に伴う不使用時間を持たないようにされる。このようにして、製品ウエハ ーおよびテスト・ヘッドはオフ・ラインで整合され、バーン・イン・チャンバに はあらかじめ整合された複数のカセットが迅速に装荷されるようにすることがで きる。 第８図に示されるように、テスト・ヘッド３１６は真空ポート３２０を有する 真空クランプ３１８によって製品ウエハー１８にクランプされる。真空シール３ ２２が製品ウエハー１８の背面をクランプ３１８に対してシールし、真空シール ３２４がテスト・ヘッド３１６の背面をクランプ３１８に対してシールする。領 域３２６に真空を与えることによりウエハー１８およびテスト・ヘッド３１６を クランプするのに大気圧が与えられる。必要ならばウエハー１８およびテスト・ ヘッド３１６の背面に追加の圧力が与えられても良い。追加の圧力は、水圧、静 水圧、動水圧を含む方法、およびピストン、スプリングまたは機械的プレス等の 機械的手段により与えられる。真空クランプ３１８は製品ウエハー１８およびテ スト・ヘッド３１６の順応能力を利用する。プローブ３３０（ダミーのプローブ を含む）がテスト・ヘッド３１６の縁部まで延び、またはシール３２２がプロー ブ３３０の最後の行まで延びているならば、製品ウエハー１８の縁部における不 所望な反りが避けられる。この後者の配置は上述のように、熱を発生しない周縁 領域に冷却を加えることを避けながら、 熱を発生するウエハー領域に冷却を加えることを可能にし、これによりウエハー １８内の温度の不均一および熱的勾配を低減する。製品ウエハー１８上の整合マ ークと光学的に整列させるためにテスト・ヘッド３１６にガラス・レチクルを設 けることができる。Ｏリング・シール３２７およびウイングナット３２８などの ラッチが真空シールを完成する。テスタまたはバーン・イン・チャンバにアセン ブリを搬送する間に真空が失われた場合、このラッチが整列を維持する。テスト ・ヘッド３１６は上述したようにガラス・セラミック基板などのウエハーまたは キャリアであり、プローブ、フレキシブル・ケーブル、熔着電源リード、ピン、 およびワイア・ボンドなどの手段で外部に接続される。印刷回路リング３３４は 追加のテスト機能、電源入力などのための支持部を与え、これはワイア・ボンド ３３６等の手段によりテスト・ヘッド３１６に接続される。 真空クランプ３１８はウエハー１８の表面にわたって一様な力を加えることを 可能にし、これによりプローブの損傷、特にウエハー１８の縁部の損傷の可能性 を低減する。真空クランプ３１８はまた、ウエハー１８およびテスト・ヘッド３ １６の背面のほぼ全体を冷却または電気的接触のためアクセス可能にする。更に 、テストおよびバーン・インが完了したときに製品ウエハー１８を取り除くのを 助けるために、テスト・ヘッド３１６と製品ウエハー１８との間の領域に真空ポ ートを介して正の圧力が加えられても良い。また、プローブ および製品チップに不活性な環境を与えるため製品ウエハー１８とテスト・ヘッ ド３１６との間に不活性ガスが導入されても良い。このガスはクランプを維持す るため低い圧力で導入され得る。この環境は湿度などの活性成分を含んでその場 での加速された応力テストを与えるようにすることもできる。 本発明の幾つかの実施例およびその変形例が詳細に説明され、添付図面に図示 されてきたが、本発明の精神から逸脱することなく更に種々の変更を加えること ができることは言うまでもない。たとえば、本発明は製品ウエハー上のすべての 製品チップに接触する可能性を持っているが、製品ウエハーのある領域に接触部 材を含めなかったり、又はテスト・ヘッドの領域を製品ウエハー上のすべてのチ ップの投影面積よりも僅かに小さくしたりする事などによって、より少ない数の チップが接触されるようにできることは自明である。製品ウエハー上の集積回路 製品チップの「実質上すべて」に同時に接触する能力を持つ装置とは、室温およ びバーン・イン温度の両方においてテスト・ヘッドが製品ウエハー上のすべての 製品チップに接触できるようなＴＣＥをテスト・ヘッドが有するような装置を意 味する。本明細書の上記のいかなる記載も本発明を添付請求の範囲よりも狭く限 定するように意図されたものではない。開示された幾つかの例は限定的なもので はなく、例示的であることのみを意図するものである。

【手続補正書】 【提出日】１９９８年２月６日 【補正内容】 請求の範囲 １．前面および背面を有する製品ウエハー（１８）上にあり、信号Ｉ/Ｏパッド 、接地パッド、および電源パッドを有する複数の集積回路製品チップ（２４）に 同時的に接触するための電源に接続可能な装置であって、 前記製品ウエハー（１８）上の複数の製品チップ（３４）に接続可能であり、 前面および背面を有しかつ前記製品ウエハー（３４）に電気的に接続可能な少な くとも１つのテスト・チップ（３２）を含むテスト・ヘッド（１６）と、 前記製品チップ上の電源パッドと電源（ＰＳ）との間に接続可能な、前記少な くとも１つのテスト・チップ（３２）上の複数の電圧調整器（４０）と、 を含む 複数の集積回路製品チップ（３４）に同時的に接触する装置。 ２．前記電圧調整器は各製品チップ当たり少なくとも１つの電圧調整器を含む請 求の範囲第１項に記載の装置。 ３．各製品チップが短絡したとき各製品チップへの電流を制限する電子的手段を 更に含む請求の範囲第２項に記載の装置。 ４．前記電流を制限する手段は選択された製品チップから電力を切り離すために 前記電圧調整器に与えられるゲート制御を含む請求の範囲第３項に記載の装置。 ５．前記電圧調整器の背面にある製品チップにＶdd電圧および接地電圧の何れか を給電するため前記電圧調整器から製品チップに延びる感知線を更に含む請求の 範囲第２項に記載の装置。 ６．各製品チップにテスト・チップが対応している請求の範囲第１項に記載の装 置。 ７．前記電源は電源電圧レベルおよび接地電圧レベルを供給し、前記電源電圧レ ベルが前記テスト・チップの前記背面を経て前記電圧調整器に供給される請求の 範囲第１項に記載の装置。 ８．前記電源は電源電圧レベルおよび接地電圧レベルを供給し、前記接地電圧レ ベルが前記製品チップの前記背面を経て供給される請求の範囲第１項に記載の装 置。 ９．前記テスト・チップは製品チツプの信号Ｉ/Ｏパッドへの接触を切り離す手 段を更に含む請求の範囲第１項に記載の装置。 １０．前面および背面を有する製品ウエハー（１８）上にあり、信号Ｉ/Ｏパッ ド、接地パッド、および電源パッドを有する集積回路製品チップ（３４）の実質 上すべてに同時的に接触することができる、電源に接続可能な装置であって、 第１の側および第２の側を有するテスト・ヘッド（１６）を含み、 前記テスト・ヘッドの第１の側は前記製品ウエハー（１８）上の実質上すべて の前記製品チップ（３４）の電源パッド（ ６９）に同時に接触する事ができる複数の接触子（５５）を有し、 前記テスト・ヘッド（１６）は前記電源から前記接触子に電力を分配するため の手段を有し、 前記電力を分配する手段はテスト・チップ（３２）を含み、 前記テスト・ヘッドは製品ウエハー（１８）の熱膨張係数と一致する熱膨張係 数を有する材料から成り、 前記テスト・ヘッド（１６）は前記テスト・チップ（３２）のための支持体で ある、 複数の集積回路製品チップ（３４）に同時的に接触する装置。 １１．前記電源からの電力は前記テスト・ヘッドを経て前記テスト・チップに分 配され、前記テスト・チップは製品チップの電源パッドへの接触を切り離す手段 を含む請求の範囲第１０項に記載の装置。 １２．前記テスト・ヘッドは製品ウエハー上の複数の製品チップにあるＩ/Ｏパ ッドに接触する手段を含み、前記テスト・チップは製品チップの信号Ｉ/Ｏパッ ドへの接触を切り離す手段を含む請求の範囲第１０項に記載の装置。 １３．前記接触手段は製品ウエハー・プローブおよび真空クランプを含む請求の 範囲第１０項に記載の装置。 １４．前記真空クランプは製品ウエハーの背面に真空シールを与えるように設計 される請求の範囲第１３項に記載の装置。 １５．製品ウエハー（１８）上にあり、信号Ｉ/Ｏパッド、接 地パッド、および電源パッドを各々が有する複数の集積回路製品チップ（３４） をテストし、またはバーン・インする方法であって、 ａ）製品ウエハーの熱膨張係数と一致する熱膨張係数を有する材料から成り、 電圧調整器（４０）およびテスト機能の何れかを含むテスト・チップ（３２）を 含むテスト・ヘッド（１６）により、製品ウエハー（１８）上の実質上すべての 製品チップ（３４）のパッド（５３）に同時に接触するステツプと、 ｂ）前記テスト・ヘッド（１６）および前記テスト・チップ（３２）を経て製 品チップ（３４）の電源パッド（６９）に電源から電力を供給するステップと、 ｃ）ウエハー（１８）上の複数の製品チップ（３４）をテストまたはバーン・ インするステップと、 を含む方法。 １６．前記ステップｂ）は、前記電圧調整器の１つに外部から接続可能な基準信 号線を介して基準電圧を与えるステップを更に含み、前記調整器は前記電源から 製品チップの電源パッドに、前記基準信号線に印加される電圧レベルに相当する 電圧レベルで、前記電力を与えることを特徴とする請求の範囲第１５項に記載の 方法。 １７．前記電圧調整器は、ウエハー上の製品チップにおける電圧差を感知し、こ れに対応して該電圧差が基準電圧に一致するように前記電圧調整器の出力電圧を 調整するための手段 を更に含む請求の範囲第１５項に記載の方法。 １８．前記テスト・チップは選択された製品チップから電力を切り離すように電 圧調整器をゲートするための手段を更に含む請求の範囲第１５項に記載の方法。 １９．前記テスト・ヘッドは、製品チップの信号Ｉ/Ｏパッドへの接触を切り離 すための手段を有する少なくとも１っのテスト・チップを更に含む請求の範囲第 １５項に記載の方法。 ２０．室温および選択されたバーン・イン温度で製品ウエハー（１８）上の実質 上すべての製品チップ（３４）にあるパッド（５３）に接触する手段を含む、ウ エハー段階でのテストおよびバーン・インを行う装置であって、 製品ウエハー（１８）上のテスト又はバーン・インされるべきすべての製品チ ップ（３４）に、製品ウエハー上の短絡チップの存在に関係しない電圧レベルで 電力を与えるための手段と、 各製品チップおよびその近隣のチップにより引き出される電流に実質上無関係 な電圧レベルで前記電力を与えるための手段と、 を有するウエハー段階でのテストおよびバーン・インを行う装置。 ２１．製品ウエハーに接触するための前記手段をクランプする手段を更に含み、 接触するための前記手段はテスト・ヘッドの一部であり、前記クランプする手段 は、少なくとも１つの製品ウエハーおよび前記テスト・ヘッドの背面に対してシ ールすることが可能な真空クランプを含むことを特徴とする請求の範囲第２０項 に記載の装置。 ２２．パッドに接触する前記手段は製品ウエハーの熱膨張係数に一致する熱膨張 係数を有する基板から成ることを特徴とする請求の範囲第２０項に記載の装置。 ２３．製品ウエハー上の製品チップに短絡Ｉ/Ｏが存在することに無関係に製品 ウエハー上のテストまたはバーン・インされるべきすべての製品チップに信号Ｉ /Ｏを与えるための手段を更に含む請求の範囲第２０項に記載の装置。 ２４．接触するための前記手段はテスト・チップを有するテスト・ヘッドを含み 、テスト・ヘッド上の少なくとも１つのテスト・チップが製品ウエハー上のテス トまたはバーン・インされるべき製品チップにテスト機能を与えることを特徴と する請求の範囲第２０項に記載の装置。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 ヴァンホーン、ジョディ、ジョン アメリカ合衆国ヴァーモント州アンダーヒ ル、ボックス 1170、アール・デイ １ (72)発明者 ワーカー、ジョージ、フレデリック アメリカ合衆国ニューヨーク州ニューヨー ク、ヨーク・アヴェニー 1540 アパート メント ナンンバー11ケイ (72)発明者 パリイ、チャールズ、ハンプトン アメリカ合衆国ニューヨーク州ポキプシ ー、スパイ・ヒル 14 (72)発明者 ガーデル、デヴィッド、ルイース アメリカ合衆国ヴァーモント州ファイアー ファックス、リチャード・ロード 51 (72)発明者 デイングル、ステイーブ、レオ アメリカ合衆国ヴァーモント州ジェリコ、 ミドー・ウッド・サークル 407 (72)発明者 プリリック、ロナルド アメリカ合衆国ヴァーモント州チェスター フィールド、ミドルフィルド・レーン 5908

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １．前面および背面を有する製品ウエハー（１８）上にあり、信号Ｉ/Ｏパッド 、接地パッド、および電源パッドを有する複数の集積回路製品チップ（２４）に 同時的に接触するための電源に接続可能な装置であって、 前記製品ウエハー（１８）上の複数の製品チップ（３４）に接続可能であり、 前面および背面を有しかつ前記製品ウエハー（３４）に電気的に接続可能な少な くとも１つのテスト・チップ（３２）を含むテスト・ヘッド（１６）と、 前記製品チップ上の電源パッドと電源（ＰＳ）との間に接続可能な、前記少な くとも１つのテスト・チップ（３２）上の複数の電圧調整器（４０）と、 を含む 複数の集積回路製品チップ（３４）に同時的に接触する装置。 ２．前記電圧調整器は各製品チップ当たり少なくとも１つの電圧調整器を含む請 求の範囲第１項に記載の装置。 ３．各製品チップが短絡したとき各製品チップへの電流を制限する電子的手段を 更に含む請求の範囲第２項に記載の装置。 ４．前記電流を制限する手段は選択された製品チップから電力を切り離すために 前記電圧調整器に与えられるゲート制御を含む請求の範囲第３項に記載の装置。 ５．前記ゲート制御は外部から制御可能なオン状態およびオ フ状態を有する請求の範囲第４項に記載の装置。 ６．前記電流を制限する手段は前記電圧調整器の各々に対する適応電流設定を含 む請求の範囲第３項に記載の装置。 ７．前記適応電流設定は外部から制御可能である請求の範囲第６項に記載の装置 。 ８．前記電圧調整器の各々の出力線にデカップリング容量を更に含む請求の範囲 第２項に記載の装置。 ９．前記デカップリング容量はトレンチ・キャパシタおよび薄膜キャパシタの何 れかである請求の範囲第８項に記載の装置。 １０．前記デカップリング容量は各電源パッドに設けられる請求の範囲第８項に 記載の装置。 １１．前記電圧調整器の背面にある製品チップにＶdd電圧および接地電圧の何れ かを給電するため前記電圧調整器から製品チップに延びる感知線を更に含む請求 の範囲第２項に記載の装置。 １２．前記電圧調整器は可変である請求の範囲第１項に記載の装置。 １３．前記複数の電圧調整器は第１群および第２群を含み、前記第１群は前記第 ２群とは別に制御可能である請求の範囲第１２項に記載の装置。 １４．前記製品チップに供給されるＶdd電圧を設定するため前記可変電圧調整器 に外部から接続できる基準線を更に含む請求の範囲第１２項に記載の装置。 １５．前記テスト・チップは製品チップをテストするためのテスト回路を更に含 む請求の範囲第１項に記載の装置。 １６．前記複数のテスト・チップの各々が前記テスト・ヘッドに別々に載置され る請求の範囲第１項に記載の装置。 １７．各製品チップにテスト・チップが対応している請求の範囲第１６項に記載 の装置。 １８．前記電源は電源電圧レベルおよび接地電圧レベルを供給し、前記電源電圧 レベルが前記テスト・チップの前記背面を経て前記電圧調整器に供給される請求 の範囲第１項に記載の装置。 １９．前記電源は電源電圧レベルおよび接地電圧レベルを供給し、前記接地電圧 レベルが前記製品チップの前記背面を経て供給される請求の範囲第１項に記載の 装置。 ２０．前記テスト・チップは製品チップの信号Ｉ/Ｏパッドへの接触を切り離す 手段を更に含む請求の範囲第１項に記載の装置。 ２１．前面および背面を有する製品ウエハー（１８）上にあり、信号Ｉ/Ｏパッ ド、接地パッド、および電源パッドを有する集積回路製品チップ（３４）の実質 上すべてに同時的に接触することができる、電源に接続可能な装置であって、 第１の側および第２の側を有するテスト・ヘッド（１６）を含み、 前記テスト・ヘッドの第１の側は前記製品ウエハー（１８）上の実質上すべて の前記製品チップ（３４）の電源パッド（ ６９）に同時に接触する事ができる複数の接触子（５５）を有し、 前記テスト・ヘッド（１６）は前記電源から前記接触子に電力を分配するため の手段を有し、 前記電力を分配する手段はテスト・チップ（３２）を含み、 前記テスト・ヘッドは製品ウエハー（１８）の熱膨張係数と一致する熱膨張係 数を有する材料から成り、 前記テスト・ヘッド（１６）は前記テスト・チップ（３２）のための支持体で ある、 複数の集積回路製品チップ（３４）に同時的に接触する装置。 ２２．前記材料はガラス・セラミック、窒化アルミニウム、コバー、インバー、 タングステン、シリコン、およびモリブデンの何れかである請求の範囲第２１項 に記載の装置。 ２３．削除 ２４．前記テスト・チップは前記第２の側にある請求の範囲第２１項に記載の装 置。 ２５．前記テスト・チップは前記電力分配機能およびテスト機能のいずれかを含 む請求の範囲第２１項に記載の装置。 ２６．前記テスト・チップは製品チップの各々に特定されたＶdd電圧を供給する 手段を含む請求の範囲第２５項に記載の装置。 ２７．前記電源からの電力は前記テスト・ヘッドを経て前記テスト・チップに分 配される請求の範囲第２１項に記載の装 置。 ２８．前記テスト・チップは製品チップの電源パッドへの接触を切り離す手段を 含む請求の範囲第２７項に記載の装置。 ２９．製品チップとテスト・チップとの間の電気的接続が前記テスト・ヘッドを 経て与えられる請求の範囲第２１項に記載の装置。 ３０．前記テスト・ヘッドは製品ウエハー上の複数の製品チップにあるＩ/Ｏパ ッドに接触する手段を含み、前記テスト・チップは製品チップの信号Ｉ/Ｏパッ ドへの接触を切り離す手段を含む請求の範囲第２１項に記載の装置。 ３１．前記テスト・ヘッドの前記第２の側は前記テスト・ヘッドをテスタに接続 するための複数の導体を更に含む請求の範囲第２１項に記載の装置。 ３２．前記接触手段は製品ウエハー・プローブおよび真空クランプを含む請求の 範囲第２１項に記載の装置。 ３３．前記真空クランプは製品ウエハーの背面に真空シールを与えるように設計 される請求の範囲第３２項に記載の装置。 ３４．製品ウエハー（１８）上にあり、信号Ｉ/Ｏパッド、接地パッド、および 電源パッドを各々が有する複数の集積回路製品チップ（３４）をテストし、また はバーン・インする方法であって、 ａ）製品ウエハーの熱膨張係数と一致する熱膨張係数を有する材料から成り、 電圧調整器（４０）およびテスト機能の何れかを含むテスト・チップ（３２）を 含むテスト・ヘッド （１６）により、製品ウエハー（１８）上の実質上すべての製品チップ（３４） のパッド（５３）に同時に接触するステップと、 ｂ）前記テスト・ヘッド（１６）および前記テスト・チップ（３２）を経て製 品チップ（３４）の電源パッド（６９）に電源から電力を供給するステップと、 ｃ）ウエハー（１８）上の複数の製品チップ（３４）をテストまたはバーン・ インするステップと、 を含む方法。 ３５．前記テスト・ヘッドは外部接続のための接続体を更に含む請求の範囲第３ ４項に記載の方法。 ３６．削除 ３７．前記電圧調整器は調整電圧を変更するための手段を更に含む請求の範囲第 ３４項に記載の方法。 ３８．前記ステップｂ）は、前記電圧調整器の１つに外部から接続可能な基準信 号線を介して基準電圧を与えるステップを更に含み、前記調整器は前記電源から 製品チップの電源パッドに、前記基準信号線に印加される電圧レベルに相当する 電圧レベルで、前記電力を与えることを特徴とする請求の範囲第３７項に記載の 方法。 ３９．前記電圧調整器は、ウエハー上の製品チップにおける電圧差を感知し、こ れに対応して該電圧差が基準電圧に一致するように前記電圧調整器の出力電圧を 調整するための手段を更に含む請求の範囲第３４項に記載の方法。 ４０．製品ウエハーおよび前記少なくとも１つのテスト・チップは前記テスト・ ヘッドの互いに反対側に載置され製品チップと前記少なくとも１つのテスト・チ ップとの間の電気的接続が前記テスト・ヘッドを経て与えられる請求の範囲第３ ４項に記載の方法。 ４１．前記テスト・チップは選択された製品チップから電力を切り離すように電 圧調整器をゲートするための手段を更に含む請求の範囲第３４項に記載の方法。 ４２．前記テスト・ヘッドはシリコン、ガラス・セラミック、窒化アルミニウム 、コバー、インバー、タングステン、およびモリブデンの何れかから成る請求の 範囲第３４項に記載の方法。 ４３．電源からの電力が前記テスト・ヘッドを経て前記テスト・チップに分配さ れることを特徴とする請求の範囲第３４項に記載の方法。 ４４．前記電圧調整器が適応電流を設定する手段を含む請求の範囲第３４項に記 載の方法。 ４５．前記適応電流は外部から制御可能である請求の範囲第４４項に記載の方法 。 ４６．前記電圧調整器の出力線にデカップリング容量を更に含む請求の範囲第３ ４項に記載の方法。 ４７．前記デカップリング容量はトレンチ・キャパシタから成る請求の範囲第４ ６項に記載の方法。 ４８．電源が電源電圧レベルおよび接地電圧レベルを供給し、 前記電源電圧レベルが前記テスト・チップの背面を経て前記電圧調整器に供給さ れる請求の範囲第３４項に記載の方法。 ４９．電源が電源電圧レベルおよび接地電圧レベルを供給し、前記接地電圧レベ ルが前記テスト・チップの背面を経て供給される請求の範囲第３４項に記載の方 法。 ５０．前記テスト・ヘッドは、製品チップの信号Ｉ/Ｏパッドへの接触を切り離 すための手段を有する少なくとも１つのテスト・チップを更に含む請求の範囲第 ３４項に記載の方法。 ５１．削除 ５２．削除 ５３．削除 ５４．削除 ５５．室温および選択されたバーン・イン温度で製品ウエハー（１８）上の実質 上すべての製品チップ（３４）にあるパッド（５３）に接触する手段を含む、ウ エハー段階でのテストおよびバーン・インを行う装置であって、 製品ウエハー（１８）上のテスト又はバーン・インされるべきすべての製品チ ップ（３４）に、製品ウエハー上の短絡チップの存在に関係しない電圧レベルで 電力を与えるための手段と、 各製品チップおよびその近隣のチップにより引き出される電流に実質上無関係 な電圧レベルで前記電力を与えるための手段と、 を有するウエハー段階でのテストおよびバーン・インを行 う装置。 ５６．電圧レベルを設定するための手段を更に含む請求の範囲第５５項に記載の 装置。 ５７．複数の電圧レベルを同時に与えるための手段を更に含む請求の範囲第５５ 項に記載の装置。 ５８．削除 ５９．電圧レベルを与えるための前記手段は、製品チップに接続可能な少なくと も１つのテスト・チップ上に複数の電圧調整器回路を含む請求の範囲第５５項に 記載の装置。 ６０．電圧レベルを与えるための前記手段は、前記少なくとも１つのテスト・チ ップの背面、および前記少なくとも１つのテスト・チップ上の電圧調整器を経由 する通路に沿って製品ウエハー上の製品チップに電力を分配するための手段を含 む請求の範囲第５９項に記載の装置。 ６１．製品ウエハーに接触するための前記手段をクランプする手段を更に含む請 求の範囲第５５項に記載の装置。 ６２．接触するための前記手段はテスト・ヘッドの一部であり、前記クランプす る手段は、少なくとも１つの製品ウエハーおよび前記テスト・ヘッドの背面に対 してシールすることが可能な真空クランプを含むことを特徴とする請求の範囲第 ６１項に記載の装置。 ６３．パッドに接触する前記手段は製品ウエハーの熱膨張係数に一致する熱膨張 係数を有する基板から成ることを特徴とする請求の範囲第５５項に記載の装置。 ６４．前記基板はシリコン、ガラス・セラミック、窒化アルミニウム、コバー、 インバー、タングステン、およびモリブデンの何れかから成ることを特徴とする 請求の範囲第６３項に記載の装置。 ６５．接触するための前記手段は基板に物理的に接続されたプローブを含む請求 の範囲第６３項に記載の装置。 ６６．製品ウエハー上の製品チップに短絡Ｉ/Ｏが存在することに無関係に製品 ウエハー上のテストまたはバーン・インされるべきすべての製品チップに信号Ｉ /Ｏを与えるための手段を更に含む請求の範囲第５５項に記載の装置。 ６７．接触するための前記手段はテスト・チップを有するテスト・ヘッドを含み 、テスト・ヘッド上の少なくとも１つのテスト・チップが製品ウエハー上のテス トまたはバーン・インされるべき製品チップにテスト機能を与えることを特徴と する請求の範囲第５５項に記載の装置。 ６８．削除 ６９．削除 ７０．削除 ７１．削除 ７２．削除 ７３．削除 ７４．削除 ７５．削除 ７６．削除 ７７．削除