JPH10325705A - 測長方法及びこれを用いたテーブル型測長装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 画像取り込み手段の高さを補正することによ
り、測定効率を高めることができる測長方法及びこれを
用いたテーブル型測長装置を提供する。 【解決手段】 測定テーブル１に直交するＺ方向のたわ
み量を測定するオートフォーカス制御部４１と、たわみ
量と座標とを対応付けて記憶するたわみ量記憶部５３
と、画像取り込み手段７のＺ方向の高さを補正するラッ
ク４３、ピニオン４７、Ｚ軸サーボモータ４５ａとを備
え、たわみ量記憶部５３に記憶されているたわみ量に基
づいて画像取り込み手段７の高さを補正しつつ、被測定
物Ｗの特定箇所の長さや座標を測定する。Ｚ方向の高さ
調整により『たわみ』を相殺するので、オートフォーカ
ス制御部４１による焦点調整が迅速にできる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、プリント配線基板
作成用の原板や、液晶表示装置や半導体ウエハに所定の
パターンを焼き付けるためのガラスマスク作成用の原板
や、高い精度を必要とする印刷物等の図形の寸法や座標
の位置などを測定する測長方法及びこれを用いたテーブ
ル型測長装置に係り、特に、被測定物を載置する水平姿
勢の測定テーブルと画像を取り込む画像取り込み手段と
を移動手段によって相対移動することにより測定を行う
技術に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来のこの種の測長方法として、例え
ば、プリント配線基板作成用のフィルム原板を被測定物
として水平姿勢の測定テーブルの上面に密着させて載置
し、この測定テーブルの上方においてこれと平行なＸ−
Ｙ平面内で画像取り込み部を移動させることにより、被
測定物の特定箇所の座標や長さを測定するものが挙げら
れる。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな従来方法によると次のような問題がある。すなわ
ち、光透過性の基材に光非透過性のパターンを形成され
てなる被測定物を測長する際には、その下方から照明す
る方が測定精度が良いことなどの理由から、測定テーブ
ルとして光透過性のガラス等を板状に形成したものが一
般的に利用されている。すると、その自重などに起因し
て測定テーブルの中央部が周辺部に比べて僅かに垂れ下
がる『たわみ』が生じ、これに直交する高さが測定テー
ブル上の位置によって異なることになる。

【０００４】測定は、画像取り込み部を測定テーブルと
平行なＸ−Ｙ平面内で移動させることにより行われる
が、この『たわみ』（例えば、数十〜数百μｍ程度）に
起因して被測定物に焦点が合わない（以下、非合焦と称
する）ことがある。このような場合には、測定精度が極
端に低下あるいは測定不能となるため画像取り込み部の
オートフォーカス機構が作動して合焦するように自動的
に焦点が調整されるが、測定テーブル上の位置によって
「たわみ量」が異なる関係上、それぞれの位置ごとに焦
点の調整量が異なる。したがって、被測定物上の測定点
が変わるごとに頻繁にこのような焦点調整が必要となっ
て測定効率が低下するという問題がある。因みに、オー
トフォーカス機構による焦点合わせには、一般的に１〜
２秒程度要するので、測定点が多い場合には特にロスが
大きくなる。

【０００５】なお、画像取り込み部にオートフォーカス
機構が配備されていない固定焦点方式を採用している場
合には、画像取り込み部が測定点に移動した後、オペレ
ータが手動で画像取り込み部の高さ調整を行ってから測
定を行うことになるので、極めて測定効率が低下する。

【０００６】本発明は、このような事情に鑑みてなされ
たものであって、予め測定しておいた測定テーブルのた
わみ量に基づいて画像取り込み手段の高さを補正するこ
とにより、測定効率を高めることができる測長方法及び
これを用いたテーブル型測長装置を提供することを目的
とする。

【０００７】

【課題を解決するための手段】本発明は、このような目
的を達成するために、次のような構成をとる。すなわ
ち、請求項１に記載の測長方法は、被測定物を載置する
水平姿勢の測定テーブルと、前記被測定物の画像を取り
込む画像取り込み手段とを、移動手段によって前記測定
テーブルと平行なＸ−Ｙ平面内で相対移動することによ
り前記被測定物の特定箇所の長さや座標を測定する測長
方法において、（ａ）前記測定テーブルのＸ−Ｙ平面に
直交するＺ方向のたわみ量を測定する過程と、（ｂ）前
記たわみ量をＸ−Ｙ平面の座標に対応付けて記憶する過
程とを前記被測定物の測定に先立ち行い、Ｘ−Ｙ平面の
座標に対応するたわみ量に基づいて前記画像取り込み手
段のＺ方向の高さを補正しつつ前記被測定物の測定を行
うことを特徴とするものである。

【０００８】また、請求項２に記載のテーブル型測長装
置は、被測定物を載置する水平姿勢の測定テーブルと、
前記被測定物の画像を取り込む画像取り込み手段とを、
移動手段によって前記測定テーブルと平行なＸ−Ｙ平面
内で相対移動することにより前記被測定物の特定箇所の
長さや座標を測定するテーブル型測長装置において、前
記測定テーブルのＸ−Ｙ平面に直交するＺ方向のたわみ
量を測定する測定手段と、前記たわみ量をＸ−Ｙ平面の
座標に対応付けて記憶する記憶手段と、前記画像取り込
み手段のＺ方向の高さを補正する高さ補正手段とを備
え、前記記憶手段に記憶されているたわみ量に基づいて
前記高さ補正手段により前記画像取り込み手段の高さを
補正しつつ、前記被測定物の特定箇所の長さや座標を測
定するようにしたことを特徴とするものである。

【０００９】また、請求項３に記載のテーブル型測長装
置は、請求項２に記載のテーブル型測長装置において、
前記測定手段は、前記画像取り込み手段の合焦／非合焦
の判別が容易な測定マスターパターンを有するシートを
前記測定テーブルに密着させた状態で、前記画像取り込
み手段が前記測定マスターパターンに合焦するのに要す
る焦点合わせ量に基づいてたわみ量を測定することを特
徴とするものである。

【００１０】

【作用】請求項１に記載の方法発明の作用は次のとおり
である。測定に先立ち、たわみを生じている測定テーブ
ルのＸ−Ｙ平面に直交するＺ方向の「わたみ量」を測定
し（過程（ａ））、Ｘ−Ｙ平面の座標と「たわみ量」と
を対応付けて記憶する（過程（ｂ））。そして、測定を
行う際には、Ｘ−Ｙ平面の座標に対応する「たわみ量」
に基づいて画像取り込み手段のＺ方向の高さを補正しつ
つ測定する。これにより測定点の「たわみ量」に応じて
画像取り込み手段のＺ方向の高さが補正され、測定テー
ブルに生じている『たわみ』をほぼ相殺することができ
て「たわみ量」による焦点ずれを抑制できる。

【００１１】また、請求項２に記載の装置発明の作用は
次のとおりである。測定テーブルのＸ−Ｙ平面に直交す
るＺ方向の「たわみ量」を測定手段で測定し、Ｘ−Ｙ平
面の座標に対応付けて記憶手段に記憶させる。移動手段
により測定テーブルと画像取り込み手段とを相対移動さ
せて被測定物の測定を行う際には、測定した「たわみ
量」に基づいて高さ補正手段により画像読み取り手段の
高さを補正しつつ行う。これによって測定点の「たわみ
量」に応じて画像取り込み手段のＺ方向の高さが補正さ
れ、測定テーブルに生じている『たわみ』をほぼ相殺す
ることができて「たわみ量」による焦点ずれを抑制でき
る。

【００１２】また、請求項３に記載の装置発明によれ
ば、測定マスターパターンを測定テーブルに密着させた
状態で、画像取り込み手段が合焦するのに要する焦点合
わせ量を測定すると、その値から測定テーブルの「たわ
み量」を求めることができる。したがって、特別な機構
を設けることなく、「たわみ量」を測定することができ
る。

【００１３】

【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明の一
実施例を説明する。図１は本発明に係るテーブル型測長
装置の概略構成を示す外観斜視図であり、図２は装置の
概略構成を示すブロック図である。なお、以下の説明に
おいては、プリント配線基板作成用の原板や印刷物等を
単に被測定物と称する。

【００１４】ガラスなどの光透過性材料で平板状に形成
され、被測定物Ｗを載置する測定テーブル１は、装置を
操作するための各種スイッチを含む操作パネル３を前面
に備えた装置筐体５の上面に水平姿勢で配設されてい
る。測定テーブル１の上方には、画像取り込み手段７が
箱状の取付け架台８の前面に取り付けられてＸ方向駆動
架台９を介して取り付けられている。取付け架台８は、
Ｘ方向駆動架台９の上面に長手方向に移動自在に嵌め付
けられており、これとともに画像取り込み手段７がＸ方
向駆動架台９の上面をＸ方向に移動されるようになって
いる。また、Ｘ方向駆動架台９は、装置筐体５の上部に
内蔵されたＹ方向駆動部１１により画像取り込み手段７
および取付け架台８ごとＹ方向に移動されるようになっ
ており、Ｘ方向駆動架台９とＹ方向駆動部１１によって
測定テーブル１に平行なＸ−Ｙ平面内で画像取り込み手
段７が移動されるようになっている。なお、上記のＸ方
向駆動架台９とＹ方向駆動部１１とが本発明の移動手段
に相当する。

【００１５】測定テーブル１の下方には、図２に示すよ
うに、画像取り込み手段７に対向する位置に反射鏡１３
ａを有する投光部１３が配設されている。この投光部１
３には、光ファイバー１５を介してハロゲンランプ１９
からの光が導かれており、常に画像取り込み手段７と対
向した状態で移動しつつ被測定物Ｗを下方から照明する
ようになっている。

【００１６】なお、上記の構成のように投光部１３によ
って画像取り込み手段７の直下付近のみを照明するので
はなく、測定台１の下面全体に蛍光灯を配設して、全体
を照明するようにしてもよく、また被測定物Ｗの上方か
ら照明する照明手段をさらに設けて、下方あるいは上方
のいずれか一方または上方および下方の両面から照明す
るようにしてもよい。

【００１７】画像取り込み手段７は、対物レンズを含む
オートフォーカス機構を内蔵した鏡筒部２１の上部にＣ
ＣＤカメラ２３を備えている。ＣＣＤカメラ２３は、カ
メラコントロール部２５によって制御されるとともに、
画像取り込み部２７に画像信号を出力するようになって
いる。取り込まれた画像信号は、制御部２９によって適
宜の処理を施されて測定テーブル１の上方に取り付けら
れたＣＲＴ３１に出力され、画像取り込み手段７の視野
内にある被測定物Ｗの画像が映し出されるようになって
いる。

【００１８】この画像取り込み手段７は、サーボモータ
コントローラ３３に制御される２つのＸ／Ｙ軸サーボモ
ータ３３ａおよび上述したＸ方向駆動架台９とＹ方向駆
動部１１によってＸ／Ｙ方向のそれぞれに駆動されるよ
うになっている。また、Ｘ／Ｙ軸サーボモータ３３ａの
回転量に応じた移動距離は、エンコーダ３５によって検
出されてＸ／Ｙ座標読み取り部３７によって測定テーブ
ル１上のＸ−Ｙ座標として読み取られる。

【００１９】鏡筒部２１に内蔵されたオートフォーカス
機構（図示省略）は、オートフォーカス制御部４１を介
して制御部２９によって制御される。また、鏡筒部２１
は、取付け架台８の前面に配設された図示しない垂直レ
ールに摺動自在に嵌め付けられているとともに、鏡筒部
２１に配設されたラック４３と、Ｚ軸サーボモータ４５
ａの回転軸に取り付けられたピニオン４７を介してＸ−
Ｙ平面に直交するＺ方向に昇降自在に構成されている。
Ｚ軸サーボモータ４５ａは、Ｚ軸サーボモータコントロ
ーラ４５を介して制御部２９によって制御されるように
なっており、さらにＺ軸サーボモータコントローラ４５
の回転量に応じたＺ方向の移動距離がエンコーダ４９に
よって検出され、Ｚ座標読み取り部５１によってＺ方向
の座標として読み取られるようになっている。なお、上
記のラック４３と、Ｚ軸サーボモータ４５ａと、ピニオ
ン４７とが本発明の高さ補正手段に相当する。

【００２０】また、制御部２９は、後述する『たわみ量
測定処理』においてオートフォーカス制御部４１により
検出された焦点合わせ量に基づいて「たわみ量」を算出
し、測定テーブル１上の座標と関連付けて、本発明の記
憶手段に相当するたわみ量記憶部５３に格納する。ま
た、たわみ量補間演算部５５は、たわみ量記憶部５３に
格納されている各たわみ量に基づいて、たわみ量が測定
された座標間のたわみ量を補間によって算出して補間た
わみ量記憶部５７に格納する。なお、上記の制御部２９
とオートフォーカス制御部４１とが本発明の測定手段に
相当する。

【００２１】上述した画像取り込み部２７、カメラコン
トロール部２５、たわみ量補間演算部５５などは、バス
を介して制御部２９により統括制御されるようになって
おり、さらにハロゲンランプ１９も制御部２９によって
その光量などが制御されるようになっている。

【００２２】ここで、上述した『たわみ』および「たわ
み量」について図３を参照して説明する。

【００２３】薄板状の測定テーブル１は、例えば、１１
００ｍｍ×１１００ｍｍの大きさを有するものであり、
図３に示すようにその中央部が周辺部に比べて、本来の
測定テーブル１のＺ方向の高さ（図中の二点鎖線）より
も僅かに垂れ下がって『たわみ』を生じている。この
『たわみ』の大きさを「たわみ量」Ｄで表すことにす
る。このたわみ量Ｄの具体的な値は、図３では図示の関
係で誇張して描写しているが、例えば、数十〜数百μｍ
程度である。したがって、測定テーブル１とＸ方向駆動
架台９との設計高さＬは、設計上、測定テーブル１のど
の位置においても同一であるが、『たわみ』によって測
定テーブル１の位置ごとに異なる。なお、説明の都合
上、画像取り込み手段７のＺ方向の高さを示すために鏡
筒部２１の中央部付近に付加した点を基準点Ｒとする。
そして、この基準点Ｒは、初期状態においてＸ方向駆動
架台９と同一高さにあるものとする。

【００２４】上記理由により測定テーブル１面から基準
点Ｒまでの距離が、測定テーブル１面の位置ごとに設計
高さＬと異なるため、図４に示すようにして、測定テー
ブル１の各位置において「たわみ量」を測定する。この
測定は、制御部２９がオートフォーカス制御部４１を介
して焦点合わせ量を検出することによって行われる。つ
まり、「たわみ量」が大きいと設計高さＬからの変位量
が大きくなるので焦点合わせ量が大きくなる一方、「た
わみ量」が小さいと設計高さＬからの変位量が小さくな
るので焦点合わせ量が小さくなるように、焦点合わせ量
は「たわみ量」に比例するので、焦点合わせ量を検出す
ることによって鏡筒部２１内の図示しないオートフォー
カス機構、フォーカス制御部４１、鏡筒部２１内のレン
ズ系の設計値などから制御部２９が「たわみ量」を求め
ることができる。

【００２５】例えば、画像取り込み手段７の基準点Ｒを
設計高さＬに保持したまま、図４に示すように、測定テ
ーブル１の座標ＤＭ１（ｘ，ｙ）に画像取り込み手段７
を移動し、焦点合わせ量に基づく「たわみ量」がＤ１で
あったとし、測定ステップに基づき座標ＤＭ１（ｘ，
ｙ）から一定距離だけ離れた座標ＤＭ２（ｘ，ｙ）にお
ける「たわみ量」がＤ２であったとし、座標ＤＭｎ
（ｘ，ｙ）における「たわみ量」がＤｎであったとす
る。このようにして測定された各「たわみ量」は、例え
ば、図５の模式図に示すような格納態様でたわみ量記憶
部５３に格納される。つまり、上記のようにして測定さ
れた各「たわみ量」Ｄｎを、各座標ＤＭｎ（ｘ，ｙ）に
対応付けて格納する。

【００２６】なお、上記のように一定の測定ステップで
「たわみ量」Ｄｎの測定を行った場合、例えば、予め作
成されている測定プログラムを用いた自動測定による測
定点や、手動により指定されたマニュアル測定による測
定点が、「たわみ量」Ｄｎを測定した座標ＤＭｎ（ｘ，
ｙ）と異なることが起こり得る。このような場合には、
たわみ量補間演算部５５がたわみ量記憶部５３に記憶さ
れている各「たわみ量」Ｄｎと対応する座標ＤＭｎ
（ｘ，ｙ）とに基づいて、例えば直線補間などの手法に
より「たわみ量」が測定されていない測定点（測定プロ
グラムなどで指示されている測定点など）におけるたわ
み量を算出する。

【００２７】このようにして算出された補間たわみ量
Ｄ’は、図６に示すようにしてたわみ量補間点ＤＭ’
（ｘ，ｙ）に対応付けて格納される。なお、図６におけ
る「たわみ量補間点」ＤＭ１−２は、図７に示すよう
に、「たわみ量」Ｄが測定された座標ＤＭ１とＤＭ２と
の間に位置し、「補間たわみ量」Ｄ１−２’は、それら
の座標ＤＭ１，ＤＭ２とそれらの「たわみ量」Ｄ１，Ｄ
２に基づいて求められたものである。

【００２８】次に、図８を参照して『たわみ量の測定処
理』について説明する。なお、この処理は、予め被測定
物Ｗの測定に先立って行われるものであり、この装置の
製造メーカーが装置をユーザーに納品して設置した後に
一度だけ行えばよい。しかし、例えば、ユーザーが装置
を移動した場合など、『たわみ』に変動が生じたと考え
られる場合に必要に応じてユーザー自身が被測定物Ｗの
測定前に行うようにしてもよい。

【００２９】ステップＳ１（測定マスターパターンを載
置） 画像取り込み手段７が内蔵しているオートフォーカス機
構（図示省略）が合焦／非合焦を判別し易い特定パター
ンを有する測定マスターパターンを測定テーブル１のた
わみに沿うように密着させる。

【００３０】なお、オートフォーカス機構が合焦／非合
焦を判別し易い特定パターンが測定テーブル１面に形成
されている場合や、合焦／非合焦を判別しやすい材質で
測定テーブル１が構成されている場合には、上記のよう
に測定マスターパターンを密着載置させる必要はない。

【００３１】ステップＳ２（測定範囲等の指示） 測定テーブル１の測定範囲を指示し、その範囲内をどの
程度のステップで測定するかを示す測定ステップを操作
パネル３から指示する。測定範囲は、例えば、測定テー
ブル１の大きさが１１００ｍｍ×１１００ｍｍである場
合には、その測長有効範囲が９００ｍｍ×７００ｍｍ程
度であるので、測長有効範囲内の任意の範囲を指示す
る。また、測定ステップは小さいほど補正精度の向上が
期待できるが、測定に要する時間とたわみ量記憶部５３
の記憶容量とを勘案して決定すればよい。測定ステップ
の具体的な値としては、例えば、１００ｍｍ程度であ
る。

【００３２】ステップＳ３（たわみ量の測定） 指示された測定範囲内において、指示された測定ステッ
プにより画像取り込み手段７を移動させつつ、各たわみ
量測定点ＤＭｎ（図４参照）における「たわみ量」Ｄｎ
を測定する。そして、「たわみ量」Ｄｎとたわみ量測定
点ＤＭｎとを対応付けてたわみ量記憶部５３に格納する
（図５参照）。

【００３３】なお、このステップＳ３は、本方法発明の
過程（ａ）および過程（ｂ）に相当するものである。

【００３４】ステップＳ４（補間たわみ量の算出） 制御部２９は、測定プログラム中に設定されている全測
定点と、たわみ量記憶部５３に記憶されているたわみ量
測定点ＤＭｎとを比較する。そして、測定点に対応する
たわみ量測定点ＤＭｎが存在しない場合には、その測定
点をたわみ量補間点とし、上述したようにたわみ量補間
演算部５５により補間たわみ量Ｄ’を算出する。算出さ
れた補間たわみ量Ｄ’は、上述した態様で補間たわみ量
記憶部５７に記憶される（図６参照）。

【００３５】次いで、図９及び図１０を参照して測定プ
ログラムによる被測定物Ｗの測長処理について説明す
る。

【００３６】なお、図９は測定処理を示すフローチャー
トであり、図１０は測長処理時における画像取り込み手
段７の高さ補正を示す模式図である。また、画像取り込
み手段７は、図１０の左側に示す初期状態にあるものと
し、その焦点は設計高さＬを隔てた本来の測定テーブル
１面（図中の二点鎖線）に合わせられているものとす
る。

【００３７】ステップＳ１０（測定プログラムの指示） オペレータは、操作パネル３を操作して、予め作成され
ている測定プログラムを指示（自動測定）して測定点を
間接的に指示するか、または測定したい位置を測定点と
して直接的に指示（手動による測定）する。なお、測定
したい位置をオペレータが直接的に指示した場合には、
この時点で制御部２９がたわみ量記憶部５３と補間たわ
み量記憶部５７を参照し、その位置に一致するたわみ量
測定点ＤＭかたわみ補間点ＤＭ’が存在するか否かを判
断し、存在しない場合には上述したようにして補間を行
ってその位置の補間たわみ量を求める。

【００３８】ステップＳ１１（たわみ量，補間たわみ量
を読み出す） 制御部２９は、測定点に対応するたわみ量Ｄおよび補間
たわみ量Ｄ’をたわみ量記憶部５３と補間たわみ量記憶
部５７から読み出す。

【００３９】ステップＳ１２（高さ補正） 画像取り込み手段７が測定点に移動し、この測定点に対
応するたわみ量Ｄまたは補間たわみ量Ｄ’に応じてＺ軸
サーボモータ４５ａが駆動され、たわみ量Ｄまたは補間
たわみ量Ｄ’分だけＺ方向の高さが補正される。例え
ば、たわみ量測定点ＤＭ１に測定点が一致している場合
には、図１０に示すように、図左の初期状態から画像取
り込み手段７が測定点ＤＭ１に移動されるとともに、Ｚ
方向の高さがたわみ量Ｄ１だけ補正（鏡筒部２１が下
降）される。

【００４０】したがって、鏡筒部２１の基準点Ｒが初期
状態からたわみ量Ｄ１だけ下降して『たわみ』が相殺さ
れ、たわんだ測定テーブル１面（図中の実線）と基準点
Ｒまでの距離が設計高さＬに一致することになる。その
結果、画像取り込み手段７はほとんど焦点調整を行う必
要がない。

【００４１】ステップＳ１３（測定） 上述したようにして画像取り込み手段７の高さがたわみ
量に応じて補正された後、制御部２９が測定処理を行
う。このとき、鏡筒部２１がたわみ量Ｄだけ下降されて
いるので、画像取り込み手段７はほぼ合焦した状態であ
り、たわみが存在すると一般的に１〜２秒程度かかる焦
点調整が不要あるいは必要であったとしても瞬時に合焦
するので測定を即座に行うことができる。したがって、
複数個の測定点について順次に測定を行ってゆく測長処
理を効率よく行うことができる。

【００４２】ステップＳ１４（測定終了？） 制御部２９は、全測定点における測定が終了したか否か
を判断して処理を分岐する。全ての測定が終了した場合
には、測長処理を終了する。

【００４３】未測定の測定点がある場合には、上記のス
テップＳ１１に戻って、対応するたわみ量または補間た
わみ量を読み出し、画像取り込み手段７を測定点に移動
して同様に処理を行う。

【００４４】例えば、たわみ量測定点ＤＭ２に一致する
測定点が未測定である場合には、図１０に示すように画
像取り込み手段７をその位置ＤＭ２に移動させるととも
に、そのたわみ量Ｄ２だけ画像取り込み手段７を下降さ
せてＺ方向の高さを補正して測定する。

【００４５】また、測定点がたわみ量補間点ＤＭ１−２
に一致する場合には、画像取り込み手段７をその位置Ｄ
Ｍ１−２に移動させるとともに、その補間たわみ量Ｄ１
−２’だけＺ方向の高さを補正して測定を行えばよい。
なお、補間たわみ量Ｄ１−２’は補間によって求められ
ているので、鏡筒部２１の基準点Ｒと測定テーブル１面
の距離は高さ補正を行っても設計高さＬに正確には一致
せず多少の誤差が存在することになるが、その測定点に
おける実際のたわみ量に近い補正が行われている関係
上、オートフォーカス制御部４１が合焦位置を検出する
範囲が限定できて合焦までの時間が短縮されるので、や
はり測定までの時間を短縮することが可能である。

【００４６】上記説明では、測定プログラムによる自動
測定を主として説明したが、手動による測長処理の場合
は、ステップＳ１０に再び戻って測定点を指示すること
から繰り返し行うようにする。

【００４７】なお、たわみ量及び補間たわみ量を、各々
たわみ量記憶部５３及び補間たわみ量記憶部５７に記憶
する態様は、上述した態様（図５及び図６）に限定され
るものではなく種々の態様が可能である。

【００４８】なお、上述した実施例では、測長装置が一
般的に備えている制御部２９とオートフォーカス制御部
４１を測定手段として、その焦点合わせ量に基づいて
「たわみ量」を測定したが、測定テーブル１までの高さ
を直接的に測定する測定手段を別個に配設するようにし
てもよい。例えば、レーザ変位計を鏡筒部２１に並設し
て、測定テーブル１の「たわみ量」を直接測定するよう
にしてもよい。

【００４９】また、上記実施例では、画像取り込み手段
７がオートフォーカス機構を内蔵したものであったが、
画像取り込み手段７が固定焦点式である場合には、Ｚ軸
サーボモータ４５ａを駆動して画像取り込み手段７を昇
降させ、そのときの合焦／非合焦を判定して、昇降量に
基づき「たわみ量」を測定すればよい。

【００５０】

【発明の効果】以上の説明から明らかなように、請求項
１に記載の方法発明によれば、予め測定しておいた「た
わみ量」に基づいて画像取り込み手段のＺ方向の高さを
補正することにより、測定テーブルに生じている『たわ
み』をほぼ相殺することができて「たわみ量」による焦
点ずれを抑制することができる。したがって、画像取り
込み手段が頻繁に焦点調整を行う必要がなく、測定効率
を向上させることができ、測定に要する時間を短縮する
ことができる。

【００５１】また、請求項２に記載の装置発明によれ
ば、請求項１に記載の測長方法を好適に実施することが
できる。

【００５２】また、請求項３に記載の装置発明によれ
ば、画像取り込み手段が合焦するのに要する焦点合わせ
量を測定すると、その値から測定テーブルの「たわみ
量」を求めることができ、特別な機構を設けることなく
「たわみ量」を測定することができる。したがって、装
置の構成を複雑化することなく測定効率を向上させるこ
とが可能である。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係るテーブル型測長装置の概略構成を
示す斜視図である。

【図２】本発明に係るテーブル型測長装置の概略構成を
示すブロック図である。

【図３】測定テーブルのたわみの説明に供する図であ
る。

【図４】たわみ量の測定の説明に供する図である。

【図５】測定したたわみ量の格納態様を示す模式図であ
る。

【図６】算出した補間たわみ量の格納態様を示す模式図
である。

【図７】補間たわみ量の説明に供する図である。

【図８】たわみ量の測定処理を示すフローチャートであ
る。

【図９】測長処理を示すフローチャートである。

【図１０】測長処理時における画像取り込み手段の高さ
補正を説明する図である。

【符号の説明】

Ｗ … 被測定物 １ … 測定テーブル ７ … 画像取り込み手段 ８ … 取付け架台 ９ … Ｘ方向駆動架台（移動手段） １１ … Ｙ方向駆動部（移動手段） １３ … 投光部 ２１ … 鏡筒部 ２３ … ＣＣＤカメラ ２９ … 制御部（測定手段） ４１ … オートフォーカス制御部 ４３ … ラック（高さ補正手段） ４５ａ … Ｚ軸サーボモータ（高さ補正手段） ４７ … ピニオン（高さ補正手段） ５３ … たわみ量記憶部（記憶手段） ５５ … たわみ量補間演算部 ５７ … 補間たわみ量記憶部

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 被測定物を載置する水平姿勢の測定テー
   ブルと、前記被測定物の画像を取り込む画像取り込み手
   段とを、移動手段によって前記測定テーブルと平行なＸ
   −Ｙ平面内で相対移動することにより前記被測定物の特
   定箇所の長さや座標を測定する測長方法において、 （ａ）前記測定テーブルのＸ−Ｙ平面に直交するＺ方向
   のたわみ量を測定する過程と、 （ｂ）前記たわみ量をＸ−Ｙ平面の座標に対応付けて記
   憶する過程とを前記被測定物の測定に先立ち行い、 Ｘ−Ｙ平面の座標に対応するたわみ量に基づいて前記画
   像取り込み手段のＺ方向の高さを補正しつつ前記被測定
   物の測定を行うことを特徴とする測長方法。
2. 【請求項２】 被測定物を載置する水平姿勢の測定テー
   ブルと、前記被測定物の画像を取り込む画像取り込み手
   段とを、移動手段によって前記測定テーブルと平行なＸ
   −Ｙ平面内で相対移動することにより前記被測定物の特
   定箇所の長さや座標を測定するテーブル型測長装置にお
   いて、 前記測定テーブルのＸ−Ｙ平面に直交するＺ方向のたわ
   み量を測定する測定手段と、 前記たわみ量をＸ−Ｙ平面の座標に対応付けて記憶する
   記憶手段と、 前記画像取り込み手段のＺ方向の高さを補正する高さ補
   正手段とを備え、 前記記憶手段に記憶されているたわみ量に基づいて前記
   高さ補正手段により前記画像取り込み手段の高さを補正
   しつつ、前記被測定物の特定箇所の長さや座標を測定す
   るようにしたことを特徴とするテーブル型測長装置。
3. 【請求項３】 請求項２に記載のテーブル型測長装置に
   おいて、前記測定手段は、前記画像取り込み手段の合焦
   ／非合焦の判別が容易な測定マスターパターンを有する
   シートを前記測定テーブルに密着させた状態で、前記画
   像取り込み手段が前記測定マスターパターンに合焦する
   のに要する焦点合わせ量に基づいてたわみ量を測定する
   ことを特徴とするテーブル型測長装置。