JPH10231932A - 封止装置 - Google Patents
封止装置Info
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- JPH10231932A JPH10231932A JP5415497A JP5415497A JPH10231932A JP H10231932 A JPH10231932 A JP H10231932A JP 5415497 A JP5415497 A JP 5415497A JP 5415497 A JP5415497 A JP 5415497A JP H10231932 A JPH10231932 A JP H10231932A
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- Japan
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- sealing
- opposing surfaces
- peripheral seal
- outer peripheral
- inner peripheral
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 高い封止効果が得られと共に、脱ガスや金属
汚染、耐熱性等の問題も解消し得る封止装置を提供す
る。 【解決手段】 容器１内が所定のガス雰囲気もしくは減
圧雰囲気にされる容器１における封止部１８ａの互いの
対向面１９間を封止する装置において、上記封止部１８
ａの互いの対向面１９間に、内周側の対向面１９ａを互
に当接させて封止する内周シール部２１と、外周側の対
向面１９ｂ間をＯリング２２を介して封止する外周シー
ル部２３とを設け、これら内周シール部２１と外周シー
ル部２３との間に形成した環状空間部２４に上記内周シ
ール部２１を境とする内外の圧力差が小さくなるように
減圧排気する排気手段２５を接続している。
汚染、耐熱性等の問題も解消し得る封止装置を提供す
る。 【解決手段】 容器１内が所定のガス雰囲気もしくは減
圧雰囲気にされる容器１における封止部１８ａの互いの
対向面１９間を封止する装置において、上記封止部１８
ａの互いの対向面１９間に、内周側の対向面１９ａを互
に当接させて封止する内周シール部２１と、外周側の対
向面１９ｂ間をＯリング２２を介して封止する外周シー
ル部２３とを設け、これら内周シール部２１と外周シー
ル部２３との間に形成した環状空間部２４に上記内周シ
ール部２１を境とする内外の圧力差が小さくなるように
減圧排気する排気手段２５を接続している。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、封止装置に関す
る。
る。
【０００２】
【従来の技術】容器内が所定のガス雰囲気もしくは減圧
雰囲気にされる容器を有し、この容器における封止部の
互いの対向面間を封止装置により封止するようにしたも
のとしては、例えば半導体装置の製造工程で用いられる
熱処理装置が知られている。この熱処理装置は、被処理
体である半導体ウエハを収容する処理容器である反応管
を有しており、この反応管の周囲には炉内である反応管
内を所定の温度に加熱するヒータが設けられている。
雰囲気にされる容器を有し、この容器における封止部の
互いの対向面間を封止装置により封止するようにしたも
のとしては、例えば半導体装置の製造工程で用いられる
熱処理装置が知られている。この熱処理装置は、被処理
体である半導体ウエハを収容する処理容器である反応管
を有しており、この反応管の周囲には炉内である反応管
内を所定の温度に加熱するヒータが設けられている。
【０００３】上記反応管の開口端には、処理ガス等の供
給、排気を行なうガス供給管部や排気管部を有するマニ
ホールドが接続されており、炉口として開口したマニホ
ールドの開口端は開閉可能な蓋体により閉じられるよう
になっている。また、上記マニホールドのガス供給管部
や排気管部には、ガス供給管や排気管が接続されいる。
排気管には、反応管内を所定の減圧雰囲気にするための
真空ポンプ等が接続されている。
給、排気を行なうガス供給管部や排気管部を有するマニ
ホールドが接続されており、炉口として開口したマニホ
ールドの開口端は開閉可能な蓋体により閉じられるよう
になっている。また、上記マニホールドのガス供給管部
や排気管部には、ガス供給管や排気管が接続されいる。
排気管には、反応管内を所定の減圧雰囲気にするための
真空ポンプ等が接続されている。
【０００４】上記熱処理装置においては、反応管内を所
定のガス雰囲気もしくは減圧雰囲気に保つために、上記
反応管とマニホールドの接続部、マニホールドの開口端
と蓋体の接触部、マニホールドのガス供給管部や排気管
部とガス供給管や排気管の接続部が、反応管内を気密に
保つための封止部とされており、これらの封止部に封止
装置が設けられている。このような封止装置としては、
種々のものが提案されている（例えば、実開平１−１２
３３６号公報等参照。）。
定のガス雰囲気もしくは減圧雰囲気に保つために、上記
反応管とマニホールドの接続部、マニホールドの開口端
と蓋体の接触部、マニホールドのガス供給管部や排気管
部とガス供給管や排気管の接続部が、反応管内を気密に
保つための封止部とされており、これらの封止部に封止
装置が設けられている。このような封止装置としては、
種々のものが提案されている（例えば、実開平１−１２
３３６号公報等参照。）。
【０００５】従来、一般的に用いられている封止装置
は、封止部の互いの対向面間をＯリングを介して封止す
るようになっている。また、高耐熱性を有する封止装置
としては、封止部の互いの対向面に環状溝部を形成し、
これら環状溝部を含む上記対向面間に環状のメタルシー
トを介設し、上記両環状溝部に排気手段を接続して上記
メタルシートを上記対向面に吸着させるようにしたもの
などがある。
は、封止部の互いの対向面間をＯリングを介して封止す
るようになっている。また、高耐熱性を有する封止装置
としては、封止部の互いの対向面に環状溝部を形成し、
これら環状溝部を含む上記対向面間に環状のメタルシー
トを介設し、上記両環状溝部に排気手段を接続して上記
メタルシートを上記対向面に吸着させるようにしたもの
などがある。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
封止装置においては、反応管内が高真空の状態にされる
場合、十分な封止効果を得ることが困難となり、外部か
ら容器内へリークが発生しやすくなる問題があった。ま
た、Ｏリングやメタルシートが封止部の対向面間の隙間
を通して反応管内に露出する構造であったため、Ｏリン
グの場合には、Ｏリングからガスや含有水分の放出（脱
ガスともいう）が生じ、熱処理上の不具合が発生した
り、あるいはメタルシートの場合には、腐食性を有する
処理ガスとの接触によりメタルシートが腐食したり、ウ
エハへの金属汚染が発生しやすくなる問題があった。
封止装置においては、反応管内が高真空の状態にされる
場合、十分な封止効果を得ることが困難となり、外部か
ら容器内へリークが発生しやすくなる問題があった。ま
た、Ｏリングやメタルシートが封止部の対向面間の隙間
を通して反応管内に露出する構造であったため、Ｏリン
グの場合には、Ｏリングからガスや含有水分の放出（脱
ガスともいう）が生じ、熱処理上の不具合が発生した
り、あるいはメタルシートの場合には、腐食性を有する
処理ガスとの接触によりメタルシートが腐食したり、ウ
エハへの金属汚染が発生しやすくなる問題があった。
【０００７】そこで、本発明は、上記問題点を解決すべ
くなされたもので、高い封止効果が得られと共に、脱ガ
スや金属汚染等の問題も解消し得る封止装置を提供する
ことを目的とする。
くなされたもので、高い封止効果が得られと共に、脱ガ
スや金属汚染等の問題も解消し得る封止装置を提供する
ことを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に本発明のうち請求項１記載の封止装置は、容器内が所
定のガス雰囲気もしくは減圧雰囲気にされる容器におけ
る封止部の互いの対向面間を封止する装置において、上
記封止部の互いの対向面間に、内周側の対向面を互に当
接させて封止する内周シール部と、外周側の対向面間を
Ｏリングを介して封止する外周シール部とを設け、これ
ら内周シール部と外周シール部との間に形成した環状空
間部に上記内周シール部を境とする内外の圧力差が小さ
くなるように減圧排気する排気手段を接続したことを特
徴とする。
に本発明のうち請求項１記載の封止装置は、容器内が所
定のガス雰囲気もしくは減圧雰囲気にされる容器におけ
る封止部の互いの対向面間を封止する装置において、上
記封止部の互いの対向面間に、内周側の対向面を互に当
接させて封止する内周シール部と、外周側の対向面間を
Ｏリングを介して封止する外周シール部とを設け、これ
ら内周シール部と外周シール部との間に形成した環状空
間部に上記内周シール部を境とする内外の圧力差が小さ
くなるように減圧排気する排気手段を接続したことを特
徴とする。
【０００９】請求項２記載の封止装置は、容器内が所定
のガス雰囲気もしくは減圧雰囲気にされる容器における
封止部の互いの対向面間を封止する装置において、上記
封止部の互いの対向面間に、内周側の対向面を互に当接
させて封止する内周シール部と、外周側の対向面間を封
止する外周シール部とを設け、この外周シール部は、上
記対向面にそれぞれ形成された環状溝部と、これら環状
溝部を含む上記対向面間に介在された環状のメタルシー
トと、このメタルシートを上記対向面に吸着させるため
に両環状溝部に接続された第１の排気手段とからなり、
上記内周シール部と外周シール部との間に形成される環
状空間部に上記内周シール部を境とする内外の圧力差が
小さくなるように減圧排気する第２の排気手段を接続し
たことを特徴とする。
のガス雰囲気もしくは減圧雰囲気にされる容器における
封止部の互いの対向面間を封止する装置において、上記
封止部の互いの対向面間に、内周側の対向面を互に当接
させて封止する内周シール部と、外周側の対向面間を封
止する外周シール部とを設け、この外周シール部は、上
記対向面にそれぞれ形成された環状溝部と、これら環状
溝部を含む上記対向面間に介在された環状のメタルシー
トと、このメタルシートを上記対向面に吸着させるため
に両環状溝部に接続された第１の排気手段とからなり、
上記内周シール部と外周シール部との間に形成される環
状空間部に上記内周シール部を境とする内外の圧力差が
小さくなるように減圧排気する第２の排気手段を接続し
たことを特徴とする。
【００１０】請求項１記載の封止装置によれば、封止部
の互いの対向面間に、内周側の対向面を互に当接させて
封止する内周シール部と、外周側の対向面間をＯリング
を介して封止する外周シール部とを設け、これら内周シ
ール部と外周シール部との間に形成した環状空間部に上
記内周シール部を境とする内外の圧力差が小さくなるよ
うに減圧排気する排気手段を接続しているため、容器内
が高真空の状態にされる場合でも、高い封止効果が得ら
れ、リークを十分に抑制ないし防止することが可能とな
り、熱処理装置に適用した場合における脱ガス等の問題
も解消し得る。
の互いの対向面間に、内周側の対向面を互に当接させて
封止する内周シール部と、外周側の対向面間をＯリング
を介して封止する外周シール部とを設け、これら内周シ
ール部と外周シール部との間に形成した環状空間部に上
記内周シール部を境とする内外の圧力差が小さくなるよ
うに減圧排気する排気手段を接続しているため、容器内
が高真空の状態にされる場合でも、高い封止効果が得ら
れ、リークを十分に抑制ないし防止することが可能とな
り、熱処理装置に適用した場合における脱ガス等の問題
も解消し得る。
【００１１】請求項２記載の封止装置によれば、封止部
の互いの対向面間に、内周側の対向面を互に当接させて
封止する内周シール部と、外周側の対向面間を封止する
外周シール部とを設け、この外周シール部は、上記対向
面にそれぞれ形成された環状溝部と、これら環状溝部を
含む上記対向面間に介在された環状のメタルシートと、
このメタルシートを上記対向面に吸着させるために両環
状溝部に接続された第１の排気手段とからなり、上記内
周シール部と外周シール部との間に形成される環状空間
部に上記内周シール部を境とする内外の圧力差が小さく
なるように減圧排気する第２の排気手段を接続している
ため、容器内が高真空の状態にされる場合でも、高い封
止効果が得られ、リークを十分に抑制ないし防止するこ
とが可能となり、熱処理装置に適用した場合における金
属汚染等の問題も解消し得る。
の互いの対向面間に、内周側の対向面を互に当接させて
封止する内周シール部と、外周側の対向面間を封止する
外周シール部とを設け、この外周シール部は、上記対向
面にそれぞれ形成された環状溝部と、これら環状溝部を
含む上記対向面間に介在された環状のメタルシートと、
このメタルシートを上記対向面に吸着させるために両環
状溝部に接続された第１の排気手段とからなり、上記内
周シール部と外周シール部との間に形成される環状空間
部に上記内周シール部を境とする内外の圧力差が小さく
なるように減圧排気する第２の排気手段を接続している
ため、容器内が高真空の状態にされる場合でも、高い封
止効果が得られ、リークを十分に抑制ないし防止するこ
とが可能となり、熱処理装置に適用した場合における金
属汚染等の問題も解消し得る。
【００１２】
【実施の形態】以下に、本発明の実施の形態を添付図面
に基づいて詳述する。図１は本発明の実施の形態を示す
封止装置の断面図、図２は本発明が適用される縦型熱処
理装置の縦断面図である。
に基づいて詳述する。図１は本発明の実施の形態を示す
封止装置の断面図、図２は本発明が適用される縦型熱処
理装置の縦断面図である。
【００１３】先ず、縦型熱処理装置について図２を参照
して説明する。この縦型熱処理装置は、処理用の容器
（処理室）である例えば石英製の反応管１を有してい
る。この反応管１の外部は、大気圧側となる。上記反応
管１は、縦長の円筒状で、その上端が閉塞され、下端が
開口されている。この反応管１の開口端には、処理ガス
等の供給、排気を行なうガス供給管部２および排気管部
３を側壁に有する円筒状のマニホールド４が接続されて
いる。
して説明する。この縦型熱処理装置は、処理用の容器
（処理室）である例えば石英製の反応管１を有してい
る。この反応管１の外部は、大気圧側となる。上記反応
管１は、縦長の円筒状で、その上端が閉塞され、下端が
開口されている。この反応管１の開口端には、処理ガス
等の供給、排気を行なうガス供給管部２および排気管部
３を側壁に有する円筒状のマニホールド４が接続されて
いる。
【００１４】このマニホールド４は、一般的に、耐食性
を有する材料、例えばステンレスにより形成されてい
る。マニホールド４は、更に高耐食性とするために、セ
ラミック製のもの、あるいはセラミックで被覆されたも
のであることが好ましい。マニホールド４は、上方に水
平に配置されたベースプレート５に図示しない取付部材
を介して取付けられており、そのマニホールド４上に上
記反応管１を設置した構成がとられる。
を有する材料、例えばステンレスにより形成されてい
る。マニホールド４は、更に高耐食性とするために、セ
ラミック製のもの、あるいはセラミックで被覆されたも
のであることが好ましい。マニホールド４は、上方に水
平に配置されたベースプレート５に図示しない取付部材
を介して取付けられており、そのマニホールド４上に上
記反応管１を設置した構成がとられる。
【００１５】上記マニホールド４の内側には、例えば石
英製の円筒状の内管６が起立した状態で取付けられ、こ
の内管６と外管である反応管１とにより反応管１は二重
管構造とされていることが好ましい。上記ガス供給管部
２は、上記内管６の内側に沿って上方へ処理ガス等を供
給するように設けられ、上記排気管部３は、上記内管６
と反応管１との間の環状通路７から処理後の排ガスを排
気するように設けられている。
英製の円筒状の内管６が起立した状態で取付けられ、こ
の内管６と外管である反応管１とにより反応管１は二重
管構造とされていることが好ましい。上記ガス供給管部
２は、上記内管６の内側に沿って上方へ処理ガス等を供
給するように設けられ、上記排気管部３は、上記内管６
と反応管１との間の環状通路７から処理後の排ガスを排
気するように設けられている。
【００１６】上記反応管１の周囲には、反応管１内を所
定の温度、例えば５００〜１２００℃に加熱するため
に、ヒータ８が配置されている。このヒータ８は、ヒー
タ線（発熱抵抗線）９をコイル状等に形成し、このヒー
タ線９の外側を断熱材１０で覆い、更にこの断熱材１０
の外側を冷却ジャケット等のアウターシェル１１で覆っ
た構造になっている。このヒータ８は、上記ベースプレ
ート５上に設置されている。
定の温度、例えば５００〜１２００℃に加熱するため
に、ヒータ８が配置されている。このヒータ８は、ヒー
タ線（発熱抵抗線）９をコイル状等に形成し、このヒー
タ線９の外側を断熱材１０で覆い、更にこの断熱材１０
の外側を冷却ジャケット等のアウターシェル１１で覆っ
た構造になっている。このヒータ８は、上記ベースプレ
ート５上に設置されている。
【００１７】上記マニホールド４の下端の開口端は、蓋
体１１で開閉可能に閉じられるようになっている。この
蓋体１１は、耐食性を有する材料、例えばステンレスに
より形成されている。この蓋体１１上には、例えば石英
製の保温筒１２を介して被処理体保持具である例えば石
英製のボート１３が載置される。ボート１３には、被処
理体であるウエハＷが水平状態で高さ方向に所定の間隔
で多数枚、例えば１５０枚程度保持される。
体１１で開閉可能に閉じられるようになっている。この
蓋体１１は、耐食性を有する材料、例えばステンレスに
より形成されている。この蓋体１１上には、例えば石英
製の保温筒１２を介して被処理体保持具である例えば石
英製のボート１３が載置される。ボート１３には、被処
理体であるウエハＷが水平状態で高さ方向に所定の間隔
で多数枚、例えば１５０枚程度保持される。
【００１８】上記蓋体１１は、昇降機構１４の昇降アー
ム１５に取付けられており、この昇降機構１４により蓋
体１１の開閉と共に、反応管１に対するボート１３の搬
入、搬出が行なわれるようになっている。上記蓋体１１
には、保温筒１２を介してボート１３を軸廻りに回転さ
せるための回転機構（図示省略）が設けられていること
が好ましい。上記マニホールド４の側壁に設けられたガ
ス供給管部２には、処理ガス等の供給源に通じるガス供
給管１６が接続され、排気管部３には、排気系に通じる
排気管１７が接続されている。排気系には、反応管１内
を所定の減圧雰囲気ないし真空度、例えば１０〜１０-8
Ｔｏｒｒに減圧排気するための図示しない真空ポンプ等
を有する減圧制御装置（図示省略）が設けられている。
ム１５に取付けられており、この昇降機構１４により蓋
体１１の開閉と共に、反応管１に対するボート１３の搬
入、搬出が行なわれるようになっている。上記蓋体１１
には、保温筒１２を介してボート１３を軸廻りに回転さ
せるための回転機構（図示省略）が設けられていること
が好ましい。上記マニホールド４の側壁に設けられたガ
ス供給管部２には、処理ガス等の供給源に通じるガス供
給管１６が接続され、排気管部３には、排気系に通じる
排気管１７が接続されている。排気系には、反応管１内
を所定の減圧雰囲気ないし真空度、例えば１０〜１０-8
Ｔｏｒｒに減圧排気するための図示しない真空ポンプ等
を有する減圧制御装置（図示省略）が設けられている。
【００１９】以上のように構成された縦型熱処理装置に
おいては、反応管１内を所定のガス雰囲気もしくは減圧
雰囲気に保つために、上記反応管１とマニホールド４の
接続部１８ａ、マニホールド４の開口端と蓋体１１の接
合部１８ｂ、マニホールド４のガス供給管部２および排
気管部３とガス供給管１６および排気管１７の接続部１
８ｃ，１８ｄ等が、反応管１内を気密に保つための封止
部とされており、これらの封止部１８ａ〜１８ｄに封止
装置が設けられる。
おいては、反応管１内を所定のガス雰囲気もしくは減圧
雰囲気に保つために、上記反応管１とマニホールド４の
接続部１８ａ、マニホールド４の開口端と蓋体１１の接
合部１８ｂ、マニホールド４のガス供給管部２および排
気管部３とガス供給管１６および排気管１７の接続部１
８ｃ，１８ｄ等が、反応管１内を気密に保つための封止
部とされており、これらの封止部１８ａ〜１８ｄに封止
装置が設けられる。
【００２０】次に、上記封止装置（タイプＡ）について
図１を参照して説明する。図１は、反応管１とマニホー
ルド４の接続部１８ａを封止部の一例として示してい
る。この封止部１８ａは、互に対向する広い対向面１９
を有するように、フランジ２０ａ，２０ｂにより形成さ
れていることが好ましい。この場合、反応管１の開口端
とマニホールド４の開口端に、相対向するフランジ２０
ａ，２０ｂが形成されている。
図１を参照して説明する。図１は、反応管１とマニホー
ルド４の接続部１８ａを封止部の一例として示してい
る。この封止部１８ａは、互に対向する広い対向面１９
を有するように、フランジ２０ａ，２０ｂにより形成さ
れていることが好ましい。この場合、反応管１の開口端
とマニホールド４の開口端に、相対向するフランジ２０
ａ，２０ｂが形成されている。
【００２１】これらフランジ２０ａ，２０ｂの互いの対
向面１９間に、内周側の対向面１９ａを互に当接させて
封止する内周シール部２１と、外周側の対向面１９ｂ間
をＯリング２２を介して封止する外周シール部２３とが
設けられている。内周シール部２１を形成する内周側の
対向面１９ａは、互に密着して高いシール効果が得られ
るように、鏡面仕上げされ、鏡面仕上げ面になっている
ことが好ましい。上記Ｏリング２２は、例えばフッ素ゴ
ムにより形成されている。
向面１９間に、内周側の対向面１９ａを互に当接させて
封止する内周シール部２１と、外周側の対向面１９ｂ間
をＯリング２２を介して封止する外周シール部２３とが
設けられている。内周シール部２１を形成する内周側の
対向面１９ａは、互に密着して高いシール効果が得られ
るように、鏡面仕上げされ、鏡面仕上げ面になっている
ことが好ましい。上記Ｏリング２２は、例えばフッ素ゴ
ムにより形成されている。
【００２２】上記外周シール部２３を形成する外周側の
対向面１９ｂは、Ｏリング２２を挟むためにＯリング２
２の厚さよりも小さい所定の隙間で対向するように形成
されている。上記内周シール部２１と外周シール部２３
との間には、密封された環状空間部２４が形成され、こ
の環状空間部２４には、上記内周シール部２１を境とす
る内外の圧力差が小さくなるように減圧排気する排気手
段２５が接続されている。
対向面１９ｂは、Ｏリング２２を挟むためにＯリング２
２の厚さよりも小さい所定の隙間で対向するように形成
されている。上記内周シール部２１と外周シール部２３
との間には、密封された環状空間部２４が形成され、こ
の環状空間部２４には、上記内周シール部２１を境とす
る内外の圧力差が小さくなるように減圧排気する排気手
段２５が接続されている。
【００２３】この排気手段２５は、上記フランジ２０
ａ，２０ｂのうちのいずれか一方のフランジ２０ａに上
記環状空間部２４と連通するように設けられた排気管２
６と、この排気管２６の排気系に設けられた減圧排気装
置２７とにより構成されている。この減圧排気装置２７
は、例えばターボ分子ポンプにより構成されていること
が好ましい。
ａ，２０ｂのうちのいずれか一方のフランジ２０ａに上
記環状空間部２４と連通するように設けられた排気管２
６と、この排気管２６の排気系に設けられた減圧排気装
置２７とにより構成されている。この減圧排気装置２７
は、例えばターボ分子ポンプにより構成されていること
が好ましい。
【００２４】反応管１内が高真空、例えば１０-7Ｔｏｒ
ｒとされる場合、上記内周シール部２１におけるリーク
が極めて少ない値、例えば１０-2〜１０-4Ｔｏｒｒ・ｌ
／ｓｅｃ以下のリークレートとなるようにフランジ２０
ａ，２０ｂが密着され、上記環状空間部２４は、減圧排
気装置２７により所定の真空度、例えば１０-4〜１０ -7
Ｔｏｒｒに減圧排気されることが好ましい。このよう
に、上記内周シール部２１を境とする内外の圧力差が小
さくなるように環状空間部２４を減圧排気することによ
り、封止部１８ａにおけるリークを十分に抑制ないし防
止することが可能となる。
ｒとされる場合、上記内周シール部２１におけるリーク
が極めて少ない値、例えば１０-2〜１０-4Ｔｏｒｒ・ｌ
／ｓｅｃ以下のリークレートとなるようにフランジ２０
ａ，２０ｂが密着され、上記環状空間部２４は、減圧排
気装置２７により所定の真空度、例えば１０-4〜１０ -7
Ｔｏｒｒに減圧排気されることが好ましい。このよう
に、上記内周シール部２１を境とする内外の圧力差が小
さくなるように環状空間部２４を減圧排気することによ
り、封止部１８ａにおけるリークを十分に抑制ないし防
止することが可能となる。
【００２５】以上のように構成された封止装置によれ
ば、封止部１８ａの互いの対向面１９間に、内周側の対
向面１９ａを互に当接させて封止する内周シール部２１
と、外周側の対向面１９ｂ間をＯリング２２を介して封
止する外周シール部２３とを設け、これら内周シール部
２１と外周シール部２３との間に形成した環状空間部２
４に上記内周シール部２１を境とする内外の圧力差が小
さくなるように減圧排気する排気手段２５を接続してい
るため、反応管１内が高真空の状態にされる場合でも、
高い封止効果が得られ、リークを十分に抑制ないし防止
することが可能となり、熱処理装置に適用した場合にお
ける脱ガス等の問題も解消し得る。
ば、封止部１８ａの互いの対向面１９間に、内周側の対
向面１９ａを互に当接させて封止する内周シール部２１
と、外周側の対向面１９ｂ間をＯリング２２を介して封
止する外周シール部２３とを設け、これら内周シール部
２１と外周シール部２３との間に形成した環状空間部２
４に上記内周シール部２１を境とする内外の圧力差が小
さくなるように減圧排気する排気手段２５を接続してい
るため、反応管１内が高真空の状態にされる場合でも、
高い封止効果が得られ、リークを十分に抑制ないし防止
することが可能となり、熱処理装置に適用した場合にお
ける脱ガス等の問題も解消し得る。
【００２６】上記Ｏリング２２は、環状空間部２４が真
空引きされることにより、脱ガスを生じるが、この脱ガ
スは環状空間部２４に接続された排気手段２５によって
排気されるため、および封止部１８ａには内周シール部
２１が設けられていてＯリング２２が反応管１内に露出
しないため、脱ガスが反応管１内に直接リークすること
がなくなり、脱ガスによるウエハＷへの汚染等の問題を
解消することができる。なお、蓋体１１を開けるに際し
て、反応管１内を常圧（大気圧）に戻すときには、上記
環状空間部２４の圧力も反応管１内の圧力と同じように
常圧に戻すことが好ましい。
空引きされることにより、脱ガスを生じるが、この脱ガ
スは環状空間部２４に接続された排気手段２５によって
排気されるため、および封止部１８ａには内周シール部
２１が設けられていてＯリング２２が反応管１内に露出
しないため、脱ガスが反応管１内に直接リークすること
がなくなり、脱ガスによるウエハＷへの汚染等の問題を
解消することができる。なお、蓋体１１を開けるに際し
て、反応管１内を常圧（大気圧）に戻すときには、上記
環状空間部２４の圧力も反応管１内の圧力と同じように
常圧に戻すことが好ましい。
【００２７】次に、上記Ａタイプとは別の封止装置（Ｂ
タイプ）について図３ないし図４を参照して説明する。
図３は、本発明の他の実施の形態を示す封止装置の断面
図、図４はこの封止装置に用いられるメタルシートの斜
視図である。図３の封止装置において、図１の封止装置
と同一部分には同一参照符合が付されている。この封止
装置においても、封止部１８ａの互いの対向面１９間
に、内周側の対向面１９ａを互に当接させて封止する内
周シール部２１と、外周側の対向面１９ｂ間を封止する
外周シール部２３とが設けられている。
タイプ）について図３ないし図４を参照して説明する。
図３は、本発明の他の実施の形態を示す封止装置の断面
図、図４はこの封止装置に用いられるメタルシートの斜
視図である。図３の封止装置において、図１の封止装置
と同一部分には同一参照符合が付されている。この封止
装置においても、封止部１８ａの互いの対向面１９間
に、内周側の対向面１９ａを互に当接させて封止する内
周シール部２１と、外周側の対向面１９ｂ間を封止する
外周シール部２３とが設けられている。
【００２８】上記外周シール２３部は、外周側の対向面
１９ｂにそれぞれ形成された環状溝部２８と、これら環
状溝部２８を含む上記対向面１９ｂ間に介在された環状
のメタルシート２９と、このメタルシート２９を上記対
向面１９ｂに吸着させるために両環状溝部２８に接続さ
れた第１の排気手段３０とにより構成されている。上記
メタルシート２９は、図４に示すように、耐食性を有す
る材料例えばステンレス製の環状の二枚の薄板２９ａ，
２９ｂを重ね合わせ、両薄板２９ａ，２９ｂを内周部に
て溶接２９ｃにより接合してなる。
１９ｂにそれぞれ形成された環状溝部２８と、これら環
状溝部２８を含む上記対向面１９ｂ間に介在された環状
のメタルシート２９と、このメタルシート２９を上記対
向面１９ｂに吸着させるために両環状溝部２８に接続さ
れた第１の排気手段３０とにより構成されている。上記
メタルシート２９は、図４に示すように、耐食性を有す
る材料例えばステンレス製の環状の二枚の薄板２９ａ，
２９ｂを重ね合わせ、両薄板２９ａ，２９ｂを内周部に
て溶接２９ｃにより接合してなる。
【００２９】上記メタルシート２９は、両薄板２９ａ，
２９ｂの外周側が大気側に開口していることにより、両
薄板２９ａ，２９ｂ間に大気圧が作用し、各薄板２９
ａ，２９ｂが減圧排気された環状溝部２８を有する対向
面１９ｂにそれぞれ十分に吸着されて対向面１９ｂ間を
シールすることができるようになっている。上記第１の
排気手段３０は、上記両フランジ２０ａ，２０ｂに上記
環状溝部２８と連通するようにそれぞれ設けられた排気
管３１ａ，３１ｂと、これら排気管３１ａ，３１ｂの共
通の排気系に設けられた第１の減圧排気装置３２とによ
り構成されている。この第１の減圧排気装置３２は、例
えばドライポンプにより構成されていることが好まし
い。
２９ｂの外周側が大気側に開口していることにより、両
薄板２９ａ，２９ｂ間に大気圧が作用し、各薄板２９
ａ，２９ｂが減圧排気された環状溝部２８を有する対向
面１９ｂにそれぞれ十分に吸着されて対向面１９ｂ間を
シールすることができるようになっている。上記第１の
排気手段３０は、上記両フランジ２０ａ，２０ｂに上記
環状溝部２８と連通するようにそれぞれ設けられた排気
管３１ａ，３１ｂと、これら排気管３１ａ，３１ｂの共
通の排気系に設けられた第１の減圧排気装置３２とによ
り構成されている。この第１の減圧排気装置３２は、例
えばドライポンプにより構成されていることが好まし
い。
【００３０】上記内周シール部２１と外周シール部２３
との間には、上記Ａタイプと同様、環状空間部２４が形
成されており、この環状空間部２４に上記内周シール部
２１を境とする内外の圧力差が小さくなるように減圧排
気する第２の排気手段２５が接続されている。この第２
の排気手段２５は、上記フランジ２０ａ，２０ｂのうち
のいずれか一方のフランジ２０ａに上記環状空間部２４
と連通するように設けられた排気管２６と、この排気管
２６の排気系に設けられた第２の減圧排気装置２７とに
より構成されている。この第２の減圧排気装置２７は、
例えばターボ分子ポンプにより構成されていることが好
ましい。
との間には、上記Ａタイプと同様、環状空間部２４が形
成されており、この環状空間部２４に上記内周シール部
２１を境とする内外の圧力差が小さくなるように減圧排
気する第２の排気手段２５が接続されている。この第２
の排気手段２５は、上記フランジ２０ａ，２０ｂのうち
のいずれか一方のフランジ２０ａに上記環状空間部２４
と連通するように設けられた排気管２６と、この排気管
２６の排気系に設けられた第２の減圧排気装置２７とに
より構成されている。この第２の減圧排気装置２７は、
例えばターボ分子ポンプにより構成されていることが好
ましい。
【００３１】反応管１内が高真空、例えば１０-7Ｔｏｒ
ｒとされる場合、上記内周シール部２１におけるリーク
が極めて少ない値、例えば１０-2〜１０-4Ｔｏｒｒ・ｌ
／ｓｅｃ以下のリークレートとなるようにフランジ２０
ａ，２０ｂが密着され、上記環状空間部２４は、第２の
減圧排気装置２７により所定の真空度、例えば１０-4〜
１０-7ＴｏｒｒＴｏｒｒに減圧排気されることが好まし
い。また、上記外周シール部２３の環状溝部２８は、第
１の減圧排気装置３２により所定の真空度、例えば１０
〜１０-2Ｔｏｒｒに減圧排気されることが好ましい。
ｒとされる場合、上記内周シール部２１におけるリーク
が極めて少ない値、例えば１０-2〜１０-4Ｔｏｒｒ・ｌ
／ｓｅｃ以下のリークレートとなるようにフランジ２０
ａ，２０ｂが密着され、上記環状空間部２４は、第２の
減圧排気装置２７により所定の真空度、例えば１０-4〜
１０-7ＴｏｒｒＴｏｒｒに減圧排気されることが好まし
い。また、上記外周シール部２３の環状溝部２８は、第
１の減圧排気装置３２により所定の真空度、例えば１０
〜１０-2Ｔｏｒｒに減圧排気されることが好ましい。
【００３２】以上のように構成された封止装置によれ
ば、封止部１８ａの互いの対向面１９間に、内周側の対
向面１９ａを互に当接させて封止する内周シール部２１
と、外周側の対向面間１９ｂを封止する外周シール部２
３とを設け、この外周シール部２３は、上記対向面１９
ｂにそれぞれ形成された環状溝部２８と、これら環状溝
部２８を含む上記対向面１９ｂ間に介在された環状のメ
タルシート２９と、このメタルシート２９を上記対向面
１９ｂに吸着させるために両環状溝部２８に接続された
第１の排気手段３０とからなり、上記内周シール部２１
と外周シール部２３との間に形成される環状空間部２４
に上記内周シール部２１を境とする内外の圧力差が小さ
くなるように減圧排気する第２の排気手段２５を接続し
ているため、反応管１内が高真空の状態にされる場合で
も、高い封止効果が得られ、リークを十分に抑制ないし
防止することが可能となり、熱処理装置に適用した場合
における脱ガスや金属汚染、耐熱性等の問題も解消し得
る。
ば、封止部１８ａの互いの対向面１９間に、内周側の対
向面１９ａを互に当接させて封止する内周シール部２１
と、外周側の対向面間１９ｂを封止する外周シール部２
３とを設け、この外周シール部２３は、上記対向面１９
ｂにそれぞれ形成された環状溝部２８と、これら環状溝
部２８を含む上記対向面１９ｂ間に介在された環状のメ
タルシート２９と、このメタルシート２９を上記対向面
１９ｂに吸着させるために両環状溝部２８に接続された
第１の排気手段３０とからなり、上記内周シール部２１
と外周シール部２３との間に形成される環状空間部２４
に上記内周シール部２１を境とする内外の圧力差が小さ
くなるように減圧排気する第２の排気手段２５を接続し
ているため、反応管１内が高真空の状態にされる場合で
も、高い封止効果が得られ、リークを十分に抑制ないし
防止することが可能となり、熱処理装置に適用した場合
における脱ガスや金属汚染、耐熱性等の問題も解消し得
る。
【００３３】上記メタルシート２９は、耐食性を有する
材料により形成されているといえども腐食性を有する処
理ガスと接触した場合には腐食が生じ、また、金属製で
あることから、ウエハＷに対して汚染源にもなる。とこ
ろが、封止部１８ａには内周シール部２１が設けられて
いるため、メタルシート２９が反応管内に露出すること
がなく、しかも、環状空間部２４を真空引きすることに
より、上記内周シール部２１を境とする内外の圧力差を
小さくして、内周シール部２１におけるリークを抑制な
いし防止しているため、腐食性を有する処理ガスを使用
したとしても、メタルシート２９が腐食することがな
く、また、メタルシート２９がウエハＷの汚染源となる
こともない。
材料により形成されているといえども腐食性を有する処
理ガスと接触した場合には腐食が生じ、また、金属製で
あることから、ウエハＷに対して汚染源にもなる。とこ
ろが、封止部１８ａには内周シール部２１が設けられて
いるため、メタルシート２９が反応管内に露出すること
がなく、しかも、環状空間部２４を真空引きすることに
より、上記内周シール部２１を境とする内外の圧力差を
小さくして、内周シール部２１におけるリークを抑制な
いし防止しているため、腐食性を有する処理ガスを使用
したとしても、メタルシート２９が腐食することがな
く、また、メタルシート２９がウエハＷの汚染源となる
こともない。
【００３４】上記Ａタイプの封止装置は、Ｏリング２２
を有しているため、２５０℃以下で使用されることが好
ましい。従って、このＡタイプの封止装置は、主に、マ
ニホールド４のガス供給管部２とガス供給管１６の接続
部１８ｃ、排気管部３と排気管１７の接続部１８ｄ、蓋
体１１における回転機構の回転導入部等、温度の低い封
止部に適用されることが好ましい。一方、上記Ｂタイプ
の封止装置は、２５０℃以上でも使用可能である。従っ
て、このＢタイプの封止装置は、温度の低い封止部にも
勿論適用できるが、温度の高い封止部、例えば反応管１
とマニホールド４の接続部１８ａやマニホールド４と蓋
体１１の接合部１８ｂに好適に適用可能である。
を有しているため、２５０℃以下で使用されることが好
ましい。従って、このＡタイプの封止装置は、主に、マ
ニホールド４のガス供給管部２とガス供給管１６の接続
部１８ｃ、排気管部３と排気管１７の接続部１８ｄ、蓋
体１１における回転機構の回転導入部等、温度の低い封
止部に適用されることが好ましい。一方、上記Ｂタイプ
の封止装置は、２５０℃以上でも使用可能である。従っ
て、このＢタイプの封止装置は、温度の低い封止部にも
勿論適用できるが、温度の高い封止部、例えば反応管１
とマニホールド４の接続部１８ａやマニホールド４と蓋
体１１の接合部１８ｂに好適に適用可能である。
【００３５】以上、本発明の実施の形態を図面により詳
述してきたが、本発明は上記実施の形態に限定されるも
のではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲での種々の
設計変更等が可能である。例えば、上記実施の形態で
は、縦型熱処理装置を例にとって説明されているが、拡
散炉や常圧ＣＶＤ装置等の熱処理装置に応用してもよ
く、縦型装置に限られず、横型装置にも適用可能であ
る。また、熱処理装置に限られず、封止部を有するもの
であれば、エッチング装置やイオン注入装置等いずれに
も適用可能である。
述してきたが、本発明は上記実施の形態に限定されるも
のではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲での種々の
設計変更等が可能である。例えば、上記実施の形態で
は、縦型熱処理装置を例にとって説明されているが、拡
散炉や常圧ＣＶＤ装置等の熱処理装置に応用してもよ
く、縦型装置に限られず、横型装置にも適用可能であ
る。また、熱処理装置に限られず、封止部を有するもの
であれば、エッチング装置やイオン注入装置等いずれに
も適用可能である。
【００３６】
【発明の効果】以上要するに本発明によれば、次のよう
な優れた効果が得られる。
な優れた効果が得られる。
【００３７】（１）請求項１記載の封止装置によれば、
封止部の互いの対向面間に、内周側の対向面を互に当接
させて封止する内周シール部と、外周側の対向面間をＯ
リングを介して封止する外周シール部とを設け、これら
内周シール部と外周シール部との間に形成した環状空間
部に上記内周シール部を境とする内外の圧力差が小さく
なるように減圧排気する排気手段を接続しているため、
容器内が高真空の状態にされる場合でも、高い封止効果
が得られ、リークを十分に抑制ないし防止することが可
能となり、熱処理装置に適用した場合における脱ガス等
の問題も解消し得る。
封止部の互いの対向面間に、内周側の対向面を互に当接
させて封止する内周シール部と、外周側の対向面間をＯ
リングを介して封止する外周シール部とを設け、これら
内周シール部と外周シール部との間に形成した環状空間
部に上記内周シール部を境とする内外の圧力差が小さく
なるように減圧排気する排気手段を接続しているため、
容器内が高真空の状態にされる場合でも、高い封止効果
が得られ、リークを十分に抑制ないし防止することが可
能となり、熱処理装置に適用した場合における脱ガス等
の問題も解消し得る。
【００３８】（２）請求項２記載の封止装置によれば、
封止部の互いの対向面間に、内周側の対向面を互に当接
させて封止する内周シール部と、外周側の対向面間を封
止する外周シール部とを設け、この外周シール部は、上
記対向面にそれぞれ形成された環状溝部と、これら環状
溝部を含む上記対向面間に介在された環状のメタルシー
トと、このメタルシートを上記対向面に吸着させるため
に両環状溝部に接続された第１の排気手段とからなり、
上記内周シール部と外周シール部との間に形成される環
状空間部に上記内周シール部を境とする内外の圧力差が
小さくなるように減圧排気する第２の排気手段を接続し
ているため、容器内が高真空の状態にされる場合でも、
高い封止効果が得られ、リークを十分に抑制ないし防止
することが可能となり、熱処理装置に適用した場合にお
ける金属汚染等の問題も解消し得る。
封止部の互いの対向面間に、内周側の対向面を互に当接
させて封止する内周シール部と、外周側の対向面間を封
止する外周シール部とを設け、この外周シール部は、上
記対向面にそれぞれ形成された環状溝部と、これら環状
溝部を含む上記対向面間に介在された環状のメタルシー
トと、このメタルシートを上記対向面に吸着させるため
に両環状溝部に接続された第１の排気手段とからなり、
上記内周シール部と外周シール部との間に形成される環
状空間部に上記内周シール部を境とする内外の圧力差が
小さくなるように減圧排気する第２の排気手段を接続し
ているため、容器内が高真空の状態にされる場合でも、
高い封止効果が得られ、リークを十分に抑制ないし防止
することが可能となり、熱処理装置に適用した場合にお
ける金属汚染等の問題も解消し得る。
【図１】本発明の実施の形態を示す封止装置の断面図で
ある。
ある。
【図２】本発明が適用される縦型熱処理装置の縦断面図
である。
である。
【図３】本発明の他の実施の形態を示す封止装置の断面
図である。
図である。
【図４】メタルシートの斜視図である。
１ 反応管（容器） １８ａ〜１８ｄ 封止部 １９ 対向面 １９ａ 内周側の対向面 １９ｂ 外周側の対向面 ２１ 内周シール部 ２２ Ｏリング ２３ 外周シール部 ２４ 環状空間部 ２５ 排気手段、第２の排気手段 ２８ 環状溝部 ２９ メタルシート ３０ 第１の排気手段
Claims (2)
- 【請求項１】 容器内が所定のガス雰囲気もしくは減圧
雰囲気にされる容器における封止部の互いの対向面間を
封止する装置において、上記封止部の互いの対向面間
に、内周側の対向面を互に当接させて封止する内周シー
ル部と、外周側の対向面間をＯリングを介して封止する
外周シール部とを設け、これら内周シール部と外周シー
ル部との間に形成した環状空間部に上記内周シール部を
境とする内外の圧力差が小さくなるように減圧排気する
排気手段を接続したことを特徴とする封止装置。 - 【請求項２】 容器内が所定のガス雰囲気もしくは減圧
雰囲気にされる容器における封止部の互いの対向面間を
封止する装置において、上記封止部の互いの対向面間
に、内周側の対向面を互に当接させて封止する内周シー
ル部と、外周側の対向面間を封止する外周シール部とを
設け、この外周シール部は、上記対向面にそれぞれ形成
された環状溝部と、これら環状溝部を含む上記対向面間
に介在された環状のメタルシートと、このメタルシート
を上記対向面に吸着させるために両環状溝部に接続され
た第１の排気手段とからなり、上記内周シール部と外周
シール部との間に形成される環状空間部に上記内周シー
ル部を境とする内外の圧力差が小さくなるように減圧排
気する第２の排気手段を接続したことを特徴とする封止
装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5415497A JPH10231932A (ja) | 1997-02-21 | 1997-02-21 | 封止装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5415497A JPH10231932A (ja) | 1997-02-21 | 1997-02-21 | 封止装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10231932A true JPH10231932A (ja) | 1998-09-02 |
Family
ID=12962640
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5415497A Pending JPH10231932A (ja) | 1997-02-21 | 1997-02-21 | 封止装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH10231932A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US20130313783A1 (en) * | 2009-09-07 | 2013-11-28 | Fei Company | High-Vacuum Seal |
| US10518416B2 (en) | 2014-07-10 | 2019-12-31 | Aktiebolaget Electrolux | Method for detecting a measurement error in a robotic cleaning device |
-
1997
- 1997-02-21 JP JP5415497A patent/JPH10231932A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US20130313783A1 (en) * | 2009-09-07 | 2013-11-28 | Fei Company | High-Vacuum Seal |
| US10518416B2 (en) | 2014-07-10 | 2019-12-31 | Aktiebolaget Electrolux | Method for detecting a measurement error in a robotic cleaning device |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
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Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20040226 |
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Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20040615 |
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| A521 | Written amendment |
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Effective date: 20060403 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422 |
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| A521 | Written amendment |
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