JPH102281A - 真空ポンプの改良 - Google Patents
真空ポンプの改良Info
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- JPH102281A JPH102281A JP4759497A JP4759497A JPH102281A JP H102281 A JPH102281 A JP H102281A JP 4759497 A JP4759497 A JP 4759497A JP 4759497 A JP4759497 A JP 4759497A JP H102281 A JPH102281 A JP H102281A
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- piston
- vacuum pump
- spring
- stages
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- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04B—POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
- F04B25/00—Multi-stage pumps
- F04B25/02—Multi-stage pumps of stepped piston type
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04B—POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
- F04B35/00—Piston pumps specially adapted for elastic fluids and characterised by the driving means to their working members, or by combination with, or adaptation to, specific driving engines or motors, not otherwise provided for
- F04B35/04—Piston pumps specially adapted for elastic fluids and characterised by the driving means to their working members, or by combination with, or adaptation to, specific driving engines or motors, not otherwise provided for the means being electric
- F04B35/045—Piston pumps specially adapted for elastic fluids and characterised by the driving means to their working members, or by combination with, or adaptation to, specific driving engines or motors, not otherwise provided for the means being electric using solenoids
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04B—POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
- F04B37/00—Pumps having pertinent characteristics not provided for in, or of interest apart from, groups F04B25/00 - F04B35/00
- F04B37/10—Pumps having pertinent characteristics not provided for in, or of interest apart from, groups F04B25/00 - F04B35/00 for special use
- F04B37/14—Pumps having pertinent characteristics not provided for in, or of interest apart from, groups F04B25/00 - F04B35/00 for special use to obtain high vacuum
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Compressors, Vaccum Pumps And Other Relevant Systems (AREA)
- Electromagnetic Pumps, Or The Like (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 大きな効率及び改善された真空性能の可能性
をもたらす電磁作動式ピストンの真空ポンプを提供する
ことにある。 【解決手段】 真空ポンプはピストンの往復運動がソレ
ノイド駆動装置（２）及び反作用ばね装置（３１）によ
って行われる多段往復ピストン作動モードを有し、ポン
プ段がポンプ入口（２７）とポンプ出口（２８）との間
で直列に連結され、使用中、ポンプの中を移送されるガ
スが段の中を順に通る。
をもたらす電磁作動式ピストンの真空ポンプを提供する
ことにある。 【解決手段】 真空ポンプはピストンの往復運動がソレ
ノイド駆動装置（２）及び反作用ばね装置（３１）によ
って行われる多段往復ピストン作動モードを有し、ポン
プ段がポンプ入口（２７）とポンプ出口（２８）との間
で直列に連結され、使用中、ポンプの中を移送されるガ
スが段の中を順に通る。
Description
【０００１】
【発明の属する分野】本発明は真空ポンプに関し、特に
往復ピストンを有するかかるポンプに関する。
往復ピストンを有するかかるポンプに関する。
【０００２】
【従来の技術】種々の科学及び分析の目的に使用され、
また特にターボ分子ポンプを含む他の真空ポンプのバッ
キングに使用される小型の乾式（即ち運転中オイルな
し）真空ポンプの一般的な要望がある。現在のポンプは
ダイヤフラムポンプを含むが、それらは限られたダイヤ
フラム寿命の見込み（典型的には６０００時間）を有す
る。往復ピストン作動モードを有する真空ポンプが知ら
れており、これは、巻線コイル及び鉄心装置及び一端が
電磁石内に位置した磁気部材をもったピストンとからな
るソレノイドアクチエータを有する。交流の半波整流パ
ルス又はパルス直流をコイルに通すことによって電磁石
の磁化と消磁を反復することにより、ピストン装置に固
定された磁気部材を円筒形コイルの中で移動させ、流体
をシリンダに吸い込ませ、次いでそれ自体知られた方法
で逆止弁の使用によって補助される各ピストンサイクル
でシリンダから排出させる。
また特にターボ分子ポンプを含む他の真空ポンプのバッ
キングに使用される小型の乾式（即ち運転中オイルな
し）真空ポンプの一般的な要望がある。現在のポンプは
ダイヤフラムポンプを含むが、それらは限られたダイヤ
フラム寿命の見込み（典型的には６０００時間）を有す
る。往復ピストン作動モードを有する真空ポンプが知ら
れており、これは、巻線コイル及び鉄心装置及び一端が
電磁石内に位置した磁気部材をもったピストンとからな
るソレノイドアクチエータを有する。交流の半波整流パ
ルス又はパルス直流をコイルに通すことによって電磁石
の磁化と消磁を反復することにより、ピストン装置に固
定された磁気部材を円筒形コイルの中で移動させ、流体
をシリンダに吸い込ませ、次いでそれ自体知られた方法
で逆止弁の使用によって補助される各ピストンサイクル
でシリンダから排出させる。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うなポンプは、全体の真空性能の一般的な相対的欠如に
より、例えば、絶対圧１００ミリバール以下の、低圧力
応用には一般的に適用されなかった。本発明は、一般的
には、このような大きな効率及び改善された真空性能の
可能性をもたらす電磁作動式ピストンの真空ポンプを提
供することに関する。
うなポンプは、全体の真空性能の一般的な相対的欠如に
より、例えば、絶対圧１００ミリバール以下の、低圧力
応用には一般的に適用されなかった。本発明は、一般的
には、このような大きな効率及び改善された真空性能の
可能性をもたらす電磁作動式ピストンの真空ポンプを提
供することに関する。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明によれば、ピスト
ンの往復運動がソレノイド駆動装置及び逆作用ばね装置
によって行われる多段往復ピストン作動モードからな
り、ポンプ段がポンプ入口とポンプ出口との間で直列に
連結され、使用中、ポンプの中を移送されるガスが段の
中を順に通る、真空ポンプを提供する。ここで用いられ
ている用語「多段」は最低２段を意味する。しかしなが
ら、好ましくは、本発明のポンプは直列に３段又は４段
もしくはそれ以上の段を有する。好ましくはまた、ポン
プは１つ又はそれ以上の複動ピストンヘッドを有し、か
かるピストンヘッドの各々はピストンを関連させるシリ
ンダ内にピストンヘッドの各側に１つずつ、２つのポン
プ段を構成する。２つの複動ピストンを有する４段のポ
ンプが最も好まれる。
ンの往復運動がソレノイド駆動装置及び逆作用ばね装置
によって行われる多段往復ピストン作動モードからな
り、ポンプ段がポンプ入口とポンプ出口との間で直列に
連結され、使用中、ポンプの中を移送されるガスが段の
中を順に通る、真空ポンプを提供する。ここで用いられ
ている用語「多段」は最低２段を意味する。しかしなが
ら、好ましくは、本発明のポンプは直列に３段又は４段
もしくはそれ以上の段を有する。好ましくはまた、ポン
プは１つ又はそれ以上の複動ピストンヘッドを有し、か
かるピストンヘッドの各々はピストンを関連させるシリ
ンダ内にピストンヘッドの各側に１つずつ、２つのポン
プ段を構成する。２つの複動ピストンを有する４段のポ
ンプが最も好まれる。
【０００５】本発明の好ましい実施の形態では、ポンプ
は同じシリンダブロック内に収容された１つ又は２つも
しくはそれ以上のかかる複動ピストンヘッドを有する。
有利には、かかるピストンはすべて同じピストンシャフ
トにある。ソレノイド駆動装置の好ましい形態は半波整
流ＡＣ電流又はパルス直流で作動するソレノイドアクチ
エータであり、電流がソレノイドのコイルの中を流れる
磁化の間中、電流はピストンを取付けた磁気プランジャ
を駆動してコイルを取り巻く鉄心の空隙を橋渡しする。
本発明の一般的な特徴は、ポンプ段がすべてポンプ駆動
装置の一方の側にある好ましい実施形態に特に適してい
る。このような好ましい実施形態では、一般的には、ポ
ンプピストンヘッドの一方又は両方が同じピストンシャ
フトにあり、ピストンシャフトがポンプの主軸線に沿っ
て往復運動可能に位置決めされ、ポンプピストンシャフ
トがソレノイド駆動装置の中心を通るのが有利である。
は同じシリンダブロック内に収容された１つ又は２つも
しくはそれ以上のかかる複動ピストンヘッドを有する。
有利には、かかるピストンはすべて同じピストンシャフ
トにある。ソレノイド駆動装置の好ましい形態は半波整
流ＡＣ電流又はパルス直流で作動するソレノイドアクチ
エータであり、電流がソレノイドのコイルの中を流れる
磁化の間中、電流はピストンを取付けた磁気プランジャ
を駆動してコイルを取り巻く鉄心の空隙を橋渡しする。
本発明の一般的な特徴は、ポンプ段がすべてポンプ駆動
装置の一方の側にある好ましい実施形態に特に適してい
る。このような好ましい実施形態では、一般的には、ポ
ンプピストンヘッドの一方又は両方が同じピストンシャ
フトにあり、ピストンシャフトがポンプの主軸線に沿っ
て往復運動可能に位置決めされ、ポンプピストンシャフ
トがソレノイド駆動装置の中心を通るのが有利である。
【０００６】上記の有利な特徴により、プランジャ及び
取付けたピストンシャフトの往復運動中軸受面としてソ
レノイドの鉄心極片の内面を利用して軸受をプランジャ
装置に取り付けることができ、それによって、プランジ
ャと鉄心極片との間の同心性を確保する。かかる有利な
特徴はまた、ポンプの真空エンベロープの外側からソレ
ノイドを冷却することの可能性をもたらし、ソレノイド
及び全体としてポンプの寿命が潜在的に長くなる。本発
明のポンプの各段は一般的には、シリンダ内のピストン
ヘッドの関連位置で、ガスをポンプ入口又は前の段から
流入させ、かつ又ガスをその段から排出させ、そして引
き続く段又はポンプ出口に流入させる逆止弁を必要とす
る。ポンプ駆動装置の一方の側にポンプ段を全て位置さ
せた好ましい実施形態では、すべてのかかる逆止弁がシ
リンダブロックの外面に取付けられ、楽な保守のために
取り外すことができる単一のバルブプレートにあるのが
有利であることが分かった。
取付けたピストンシャフトの往復運動中軸受面としてソ
レノイドの鉄心極片の内面を利用して軸受をプランジャ
装置に取り付けることができ、それによって、プランジ
ャと鉄心極片との間の同心性を確保する。かかる有利な
特徴はまた、ポンプの真空エンベロープの外側からソレ
ノイドを冷却することの可能性をもたらし、ソレノイド
及び全体としてポンプの寿命が潜在的に長くなる。本発
明のポンプの各段は一般的には、シリンダ内のピストン
ヘッドの関連位置で、ガスをポンプ入口又は前の段から
流入させ、かつ又ガスをその段から排出させ、そして引
き続く段又はポンプ出口に流入させる逆止弁を必要とす
る。ポンプ駆動装置の一方の側にポンプ段を全て位置さ
せた好ましい実施形態では、すべてのかかる逆止弁がシ
リンダブロックの外面に取付けられ、楽な保守のために
取り外すことができる単一のバルブプレートにあるのが
有利であることが分かった。
【０００７】好ましくは、かかる単一のバルブプレート
はシリンダブロックとマニホールドとの間に位置決めさ
れ、ポンプ入口、ポンプ出口、種々の通路、並びに各ポ
ンプ段をバルブプレートの逆止弁を介して直列に連結す
るのに必要とされる部品がマニホールドに形成される。
本発明の重要な特徴は、コイルが磁化されないときの、
電磁サイクルの部分で駆動装置に反作用するためにポン
プに使用されるばね装置である。かかるばね装置の使用
は自明の理由で本質的である。しかしながら、かかる反
作用するばね装置に加えて、低い入口圧力でピストン面
の前後の差圧によって発生される力に反作用するために
ソレノイド駆動装置として同じ方向に作用する更なるば
ね装置を使用し、それによって比較的中央のストローク
位置でピストン装置をバランスさせるのが有利であるこ
とがわかった。
はシリンダブロックとマニホールドとの間に位置決めさ
れ、ポンプ入口、ポンプ出口、種々の通路、並びに各ポ
ンプ段をバルブプレートの逆止弁を介して直列に連結す
るのに必要とされる部品がマニホールドに形成される。
本発明の重要な特徴は、コイルが磁化されないときの、
電磁サイクルの部分で駆動装置に反作用するためにポン
プに使用されるばね装置である。かかるばね装置の使用
は自明の理由で本質的である。しかしながら、かかる反
作用するばね装置に加えて、低い入口圧力でピストン面
の前後の差圧によって発生される力に反作用するために
ソレノイド駆動装置として同じ方向に作用する更なるば
ね装置を使用し、それによって比較的中央のストローク
位置でピストン装置をバランスさせるのが有利であるこ
とがわかった。
【０００８】特に上記のタイプのソレノイドアクチエー
タの場合には、かかる反作用するばね装置の使用はソレ
ノイド駆動装置と関連して、共振装置を行わせるように
作用することができることが分かった。かかる装置で
は、２つのばね装置によってプランジャ／ピストンに及
ぼされる力を入念に選択しなければならないことは明ら
かであるが、これは当業者によって容易に達成できる。
ポンプ内に、特にピストンシャフトに設けられた良好な
相互段真空シールがポンプの良好な性能にとって不可欠
である。通常は、周知の設計の複数のシールがシャフト
／ヘッドの長さに沿って使用され、例えば、シャフト／
ヘッド部品の周囲の溝に収容される。
タの場合には、かかる反作用するばね装置の使用はソレ
ノイド駆動装置と関連して、共振装置を行わせるように
作用することができることが分かった。かかる装置で
は、２つのばね装置によってプランジャ／ピストンに及
ぼされる力を入念に選択しなければならないことは明ら
かであるが、これは当業者によって容易に達成できる。
ポンプ内に、特にピストンシャフトに設けられた良好な
相互段真空シールがポンプの良好な性能にとって不可欠
である。通常は、周知の設計の複数のシールがシャフト
／ヘッドの長さに沿って使用され、例えば、シャフト／
ヘッド部品の周囲の溝に収容される。
【０００９】
【発明の実施の形態】本発明のより良い理解のために、
今、例示として添付図面を参照する。図面を参照する
と、ソレノイド駆動装置２を一体部品として有する本発
明のピストンポンプ１を示す。実質的に正方形断面の本
体部材３には２つの円形ボア４、５が形成され、該ボア
は更なる円形ボア６によって連結されている。本体部材
３のボア５は特に円周シール８によって円形端板７によ
って密封されている。本体部材３の他端は更なる円周シ
ール１０によってソレノイド駆動装置２の第１鉄心極片
９に対して密封されている。極片９と同じほぼ円形断面
寸法の更なる鉄心極片１１があり、極片９と１１との間
には空隙１２が形成される。
今、例示として添付図面を参照する。図面を参照する
と、ソレノイド駆動装置２を一体部品として有する本発
明のピストンポンプ１を示す。実質的に正方形断面の本
体部材３には２つの円形ボア４、５が形成され、該ボア
は更なる円形ボア６によって連結されている。本体部材
３のボア５は特に円周シール８によって円形端板７によ
って密封されている。本体部材３の他端は更なる円周シ
ール１０によってソレノイド駆動装置２の第１鉄心極片
９に対して密封されている。極片９と同じほぼ円形断面
寸法の更なる鉄心極片１１があり、極片９と１１との間
には空隙１２が形成される。
【００１０】プラスチックボビン１４によって支持され
そして電気的に絶縁された巻線コイル１３が上記の鉄心
極片９、１１と、積層鉄ケージ１５とからなる鉄心によ
って包囲され、それによって、以下に説明するプランジ
ャとともに、ソレノイド駆動装置２を完成する。ポンプ
はプラスチックリボン１４と鉄心極片９、１１との間の
円周シールＮによってソレノイドの端が大気から密封さ
れ、有毒プロセスガスを扱うのに適した、入口から排出
部まで全体の気密ユニットを提供する。電磁プランジャ
１６は中空円筒形状のものであり、鉄心極片９、１１の
円筒内面にぴったりと嵌まるように外径が寸法決めさ
れ、従って、鉄心極片９、１１の円筒内面で軸線方向に
往復運動するようになっている。プランジャ１６と同じ
手段に取り付けられたソレノイドベアリングＸはプラン
ジャと極片９、１１との間に同心性をもたらす。ベアリ
ングＸの作動面の質を維持するために、そして鉄構成部
品の腐食を回避するために、鉄心極片９、１１及びプラ
ンジャ１６の面は適当なコーティング、例えば、硬質ク
ロームで被覆されるのが有利である。
そして電気的に絶縁された巻線コイル１３が上記の鉄心
極片９、１１と、積層鉄ケージ１５とからなる鉄心によ
って包囲され、それによって、以下に説明するプランジ
ャとともに、ソレノイド駆動装置２を完成する。ポンプ
はプラスチックリボン１４と鉄心極片９、１１との間の
円周シールＮによってソレノイドの端が大気から密封さ
れ、有毒プロセスガスを扱うのに適した、入口から排出
部まで全体の気密ユニットを提供する。電磁プランジャ
１６は中空円筒形状のものであり、鉄心極片９、１１の
円筒内面にぴったりと嵌まるように外径が寸法決めさ
れ、従って、鉄心極片９、１１の円筒内面で軸線方向に
往復運動するようになっている。プランジャ１６と同じ
手段に取り付けられたソレノイドベアリングＸはプラン
ジャと極片９、１１との間に同心性をもたらす。ベアリ
ングＸの作動面の質を維持するために、そして鉄構成部
品の腐食を回避するために、鉄心極片９、１１及びプラ
ンジャ１６の面は適当なコーティング、例えば、硬質ク
ロームで被覆されるのが有利である。
【００１１】プランジャ１６はプランジャキャリヤ１７
に取付けられ、プランジャキャリヤ１７はそれ自体ボル
ト１８によってピストンシャフト１９に固定される。ピ
ストンシャフト１９は極片９の円形ボア２０の中を延
び、そしてピストンシャフト１９の外面の複数の円周溝
内に収容された一連のシャフトシール２１によって円形
ボア２０内で密封的に軸線方向に往復運動可能になって
いる。ピストンシャフト１９は更に本体部材３の円形ボ
ア６の中を延び、そしてピストンシャフト１９の外面の
複数の円周溝内に収容された一連のシャフトシール２２
によって円形ボア２０内で密封的に軸線方向に往復運動
可能になっている。複動ピストンヘッド２３がピストン
シャフト１９と一体に形成され、そして本体部材３のボ
ア４内で密封的に往復運動するようになった円筒形外側
部分を有する。ピストンヘッド２３のこの円筒形外側部
分の外面の複数の円周溝内には中央ベアリング２４
（ｂ）及び外側シール２４（ａ）が収容されている。
に取付けられ、プランジャキャリヤ１７はそれ自体ボル
ト１８によってピストンシャフト１９に固定される。ピ
ストンシャフト１９は極片９の円形ボア２０の中を延
び、そしてピストンシャフト１９の外面の複数の円周溝
内に収容された一連のシャフトシール２１によって円形
ボア２０内で密封的に軸線方向に往復運動可能になって
いる。ピストンシャフト１９は更に本体部材３の円形ボ
ア６の中を延び、そしてピストンシャフト１９の外面の
複数の円周溝内に収容された一連のシャフトシール２２
によって円形ボア２０内で密封的に軸線方向に往復運動
可能になっている。複動ピストンヘッド２３がピストン
シャフト１９と一体に形成され、そして本体部材３のボ
ア４内で密封的に往復運動するようになった円筒形外側
部分を有する。ピストンヘッド２３のこの円筒形外側部
分の外面の複数の円周溝内には中央ベアリング２４
（ｂ）及び外側シール２４（ａ）が収容されている。
【００１２】ピストンシャフトにはまたボルト２５によ
って更なるピストンヘッド２６が取り付けられ、該ピス
トンヘッドは又本体部材３のボア５内で密封的に往復運
動するようになった円筒形外側部分を有する。ピストン
ヘッド２６のこの円筒形外側部分の外面の３つの円周溝
内には一連のシール２６（ｂ）が収容されている。従っ
て、ピストンヘッド２３はポンプの第１の２段を構成
し、その１つはピストンヘッド２３の左（図示するよう
に）にあり、もう１つはピストンヘッド２３の右（図示
するように）にある。ピストンヘッド２６はポンプの第
３及び第４段を構成し、その第３段はピストンヘッド２
６の左（図示するように）にあり、第４段はピストンヘ
ッド２６の右（図示するように）にある。
って更なるピストンヘッド２６が取り付けられ、該ピス
トンヘッドは又本体部材３のボア５内で密封的に往復運
動するようになった円筒形外側部分を有する。ピストン
ヘッド２６のこの円筒形外側部分の外面の３つの円周溝
内には一連のシール２６（ｂ）が収容されている。従っ
て、ピストンヘッド２３はポンプの第１の２段を構成
し、その１つはピストンヘッド２３の左（図示するよう
に）にあり、もう１つはピストンヘッド２３の右（図示
するように）にある。ピストンヘッド２６はポンプの第
３及び第４段を構成し、その第３段はピストンヘッド２
６の左（図示するように）にあり、第４段はピストンヘ
ッド２６の右（図示するように）にある。
【００１３】図１では、ピストン装置は左の位置で示さ
れており、従って第２及び第４段と関連した容積は「開
放」しており、第１及び第３段と関連した容積は「閉
鎖」される。従って、本体部材３は一端が端板７で密封
され、外端が極片９で密封されたポンプの単一シリンダ
ブロックと見ることができる。ポンプは入口２７及び出
口２８を有し、これら入口と出口との間には入口２７に
吸引されたガスが４段の中を通る通路が設けられ、引き
続いてガスは出口２８から排出される。本発明の好まし
い実施の形態によれば、マニホールド２９には入口２７
と出口２８が形成され、マニホールドは又、本体部分３
とマニボールド２９との間に挟まれた単一のバルブプレ
ート３０と関連してポンプの４段の中にガスを伝達する
のに必要な通路を提供し、単一のバルブプレートには、
逆止め弁があって、ピストンサイクル中関連した時間に
各室に流入流出させるようになっている。かかるマニホ
ールド及びバルブプレートの使用はポンプの構造をより
簡単にし、その後の保守をより容易にする。
れており、従って第２及び第４段と関連した容積は「開
放」しており、第１及び第３段と関連した容積は「閉
鎖」される。従って、本体部材３は一端が端板７で密封
され、外端が極片９で密封されたポンプの単一シリンダ
ブロックと見ることができる。ポンプは入口２７及び出
口２８を有し、これら入口と出口との間には入口２７に
吸引されたガスが４段の中を通る通路が設けられ、引き
続いてガスは出口２８から排出される。本発明の好まし
い実施の形態によれば、マニホールド２９には入口２７
と出口２８が形成され、マニホールドは又、本体部分３
とマニボールド２９との間に挟まれた単一のバルブプレ
ート３０と関連してポンプの４段の中にガスを伝達する
のに必要な通路を提供し、単一のバルブプレートには、
逆止め弁があって、ピストンサイクル中関連した時間に
各室に流入流出させるようになっている。かかるマニホ
ールド及びバルブプレートの使用はポンプの構造をより
簡単にし、その後の保守をより容易にする。
【００１４】２つのコイルばね３１、３２がプランジャ
キャリヤ１７と関連する。ばね３１はプランジャキャリ
ヤ１７に、それ故に、全体としてピストン装置１９に力
を及ぼすのに必要とされ、コイル１３に電流が通らない
場合に、即ちソレノイドアクチエータが作動していない
ときに、ピストン装置を図１に示す位置に押し戻す。低
圧力では、この力はピストン面に同じ方向に作用する差
圧力によって補足される。アクチエータが作動している
ときのサイクルのその部分では、極片９、１１の空隙１
２を橋渡しするプランジャの運動はばね３１に圧縮力を
及ぼす。ばね３２はソレノイド駆動装置２の電磁力を補
足する方向に作用する。このばねによってプランジャキ
ャリヤ１７に及ぼされる、プランジャ１６に作用する磁
気力と結合される運動力がばね３１及び差圧力によって
反対方向に及ぼされる運動力に対してバランスする最適
さにより、共振し、好ましくはストローク特性をもたら
す駆動機構装置を提供する。このような共振装置は本発
明の特徴、特に好ましい実施形態の使用によって補助さ
れる。
キャリヤ１７と関連する。ばね３１はプランジャキャリ
ヤ１７に、それ故に、全体としてピストン装置１９に力
を及ぼすのに必要とされ、コイル１３に電流が通らない
場合に、即ちソレノイドアクチエータが作動していない
ときに、ピストン装置を図１に示す位置に押し戻す。低
圧力では、この力はピストン面に同じ方向に作用する差
圧力によって補足される。アクチエータが作動している
ときのサイクルのその部分では、極片９、１１の空隙１
２を橋渡しするプランジャの運動はばね３１に圧縮力を
及ぼす。ばね３２はソレノイド駆動装置２の電磁力を補
足する方向に作用する。このばねによってプランジャキ
ャリヤ１７に及ぼされる、プランジャ１６に作用する磁
気力と結合される運動力がばね３１及び差圧力によって
反対方向に及ぼされる運動力に対してバランスする最適
さにより、共振し、好ましくはストローク特性をもたら
す駆動機構装置を提供する。このような共振装置は本発
明の特徴、特に好ましい実施形態の使用によって補助さ
れる。
【００１５】本発明のポンプの使用において、ピストン
の半サイクル中半波整流ＡＣパルス電流がソレノイド駆
動装置、好ましくはソレノイドアクチエータに加えら
れ、特にばね３２によって及ぼされる力によって補助さ
れ、ピストンの他の半サイクル中ばねによって反対方向
に及ぼされる力を利用してピストンの及び全体としてポ
ンプの共振作用の設定の機会を与え、これは高いポンプ
効率をもたらす。図面に図示してないが、ばね３１、３
２のいずれか又は両方についてばね調整装置を組込んで
ばねによって及ぼされる力を現場で調整できるようにし
てもよい。
の半サイクル中半波整流ＡＣパルス電流がソレノイド駆
動装置、好ましくはソレノイドアクチエータに加えら
れ、特にばね３２によって及ぼされる力によって補助さ
れ、ピストンの他の半サイクル中ばねによって反対方向
に及ぼされる力を利用してピストンの及び全体としてポ
ンプの共振作用の設定の機会を与え、これは高いポンプ
効率をもたらす。図面に図示してないが、ばね３１、３
２のいずれか又は両方についてばね調整装置を組込んで
ばねによって及ぼされる力を現場で調整できるようにし
てもよい。
【図１】バルブプレート及びマニホールドをより明瞭に
示すために若干分解して、本発明のポンプの概略斜視図
である。
示すために若干分解して、本発明のポンプの概略斜視図
である。
【図２】バルブプレート及びマニホールドを適所にした
図１のII−III 線における図１のポンプの概略断面図で
ある。
図１のII−III 線における図１のポンプの概略断面図で
ある。
１ ポンプ ２ 電磁駆動装置 １６ プランジャ １９ ピストンシャフト ２３ ピストンヘッド ２６ ピストンヘッド
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 ナイジェル ポール ショーフィールド イギリス ウェスト サセックス アール エイチ13 ５エスジェイ ホーシャム ク ラレンス ロード 33
Claims (8)
- 【請求項１】 ピストンの往復運動がソレノイド駆動装
置及び逆作用ばね装置によって行われる多段往復ピスト
ン作動モードを有し、ポンプ段がポンプ入口とポンプ出
口との間で直列に連結され、使用中、ポンプの中を移送
されるガスが段の中を順に通る、真空ポンプ。 - 【請求項２】 少なくとも３段を直列に有する、請求項
１に記載の真空ポンプ。 - 【請求項３】 １つ又はそれ以上の複動ピストンヘッド
を有し、かかるピストンヘッドの各々はピストンを関連
させるシリンダ内に２つのポンプ段を構成する、請求項
１又は２に記載の真空ポンプ。 - 【請求項４】 ポンプ段はふべてポンプ駆動装置の一方
の側にある、請求項１乃至３のいずれか１項に記載の真
空ポンプ。 - 【請求項５】 ポンプピストンヘッドがすべて同じピス
トンシャフトにあり、ピストンシャフトがポンプの主軸
線に沿って往復運動可能に位置決めされている、請求項
１乃至４のいずれか１項に記載の真空ポンプ。 - 【請求項６】 ポンプピストンシャフトがソレノイド駆
動装置の中心を通る、請求項１乃至５のいずれか１項に
記載の真空ポンプ。 - 【請求項７】 ピストンサイクルの関連した時間に各段
に流入させ、各段から排出させる１つの逆止弁」がある
バルブプレートを有する、請求項１乃至６のいずれか１
項に記載の真空ポンプ。 - 【請求項８】 第１ばね装置が駆動装置の電磁力を補足
し、第２ばね装置が駆動装置に反対方向に作用して共振
装置を作る、請求項１乃至７のいずれか１項に記載の真
空ポンプ。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| GB9604645:3 | 1996-03-01 | ||
| GBGB9604645.3A GB9604645D0 (en) | 1996-03-01 | 1996-03-01 | Improvements in vacuum pumps |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH102281A true JPH102281A (ja) | 1998-01-06 |
Family
ID=10789859
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4759497A Pending JPH102281A (ja) | 1996-03-01 | 1997-03-03 | 真空ポンプの改良 |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| EP (1) | EP0793019A3 (ja) |
| JP (1) | JPH102281A (ja) |
| GB (1) | GB9604645D0 (ja) |
Families Citing this family (16)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| GB0008281D0 (en) | 2000-04-04 | 2000-05-24 | Boc Group Plc | Improvements in reciprocating machines |
| GB0224986D0 (en) | 2002-10-28 | 2002-12-04 | Smith & Nephew | Apparatus |
| GB0325129D0 (en) | 2003-10-28 | 2003-12-03 | Smith & Nephew | Apparatus in situ |
| US20070224058A1 (en) * | 2006-03-24 | 2007-09-27 | Ingersoll-Rand Company | Linear compressor assembly |
| ATE456383T1 (de) | 2006-09-28 | 2010-02-15 | Tyco Healthcare | Tragbares wundtherapiesystem |
| EP3360519B1 (en) | 2007-11-21 | 2020-11-18 | Smith & Nephew plc | Wound dressing |
| GB201011173D0 (en) | 2010-07-02 | 2010-08-18 | Smith & Nephew | Provision of wound filler |
| GB201015656D0 (en) | 2010-09-20 | 2010-10-27 | Smith & Nephew | Pressure control apparatus |
| CN107033596A (zh) | 2010-11-25 | 2017-08-11 | 史密夫及内修公开有限公司 | 组合物i – ii及其产品和用途 |
| GB201020005D0 (en) | 2010-11-25 | 2011-01-12 | Smith & Nephew | Composition 1-1 |
| US9084845B2 (en) | 2011-11-02 | 2015-07-21 | Smith & Nephew Plc | Reduced pressure therapy apparatuses and methods of using same |
| US20150159066A1 (en) | 2011-11-25 | 2015-06-11 | Smith & Nephew Plc | Composition, apparatus, kit and method and uses thereof |
| CN104507513B (zh) | 2012-03-20 | 2017-04-12 | 史密夫及内修公开有限公司 | 基于动态占空比阈值确定的减压治疗***的控制操作 |
| US9427505B2 (en) | 2012-05-15 | 2016-08-30 | Smith & Nephew Plc | Negative pressure wound therapy apparatus |
| US20160120706A1 (en) | 2013-03-15 | 2016-05-05 | Smith & Nephew Plc | Wound dressing sealant and use thereof |
| EP3237031A1 (en) | 2014-12-22 | 2017-11-01 | Smith & Nephew PLC | Negative pressure wound therapy apparatus and methods |
Family Cites Families (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE2715102A1 (de) * | 1977-04-04 | 1978-10-12 | Syndicat Des Coproprietaires D | Kompressor mit freiflugkolben und hohem verdichtungsgrad |
| DE2855608C2 (de) * | 1978-12-22 | 1984-10-25 | Pierburg Gmbh & Co Kg, 4040 Neuss | Doppelt wirkende Vakuumpumpe |
| WO1983000539A1 (en) * | 1981-08-13 | 1983-02-17 | Balkau, Guenter, Karl, Willi | Reciprocatory piston and cylinder machine |
| US4832578A (en) * | 1986-11-14 | 1989-05-23 | The B.F. Goodrich Company | Multi-stage compressor |
| JPS6419189A (en) * | 1987-07-14 | 1989-01-23 | Nagano Keiki Seisakusho Kk | Vacuum pump |
| JPH02102385A (ja) * | 1988-10-08 | 1990-04-13 | Toyo Eng Corp | 排気装置 |
| JPH04128578A (ja) * | 1990-09-19 | 1992-04-30 | Toyo Eng Corp | 真空ポンプ |
| JPH0518351A (ja) * | 1991-07-10 | 1993-01-26 | Zhongyuan Chen | スリーブピストンポンプ |
-
1996
- 1996-03-01 GB GBGB9604645.3A patent/GB9604645D0/en active Pending
-
1997
- 1997-02-27 EP EP97301303A patent/EP0793019A3/en not_active Withdrawn
- 1997-03-03 JP JP4759497A patent/JPH102281A/ja active Pending
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| EP0793019A3 (en) | 1999-06-02 |
| GB9604645D0 (en) | 1996-05-01 |
| EP0793019A2 (en) | 1997-09-03 |
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