JPH102281A - Improvement of vacuum pump - Google Patents
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- JPH102281A JPH102281A JP4759497A JP4759497A JPH102281A JP H102281 A JPH102281 A JP H102281A JP 4759497 A JP4759497 A JP 4759497A JP 4759497 A JP4759497 A JP 4759497A JP H102281 A JPH102281 A JP H102281A
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する分野】本発明は真空ポンプに関し、特に
往復ピストンを有するかかるポンプに関する。The present invention relates to vacuum pumps, and more particularly to such pumps having reciprocating pistons.
【０００２】[0002]
【従来の技術】種々の科学及び分析の目的に使用され、
また特にターボ分子ポンプを含む他の真空ポンプのバッ
キングに使用される小型の乾式（即ち運転中オイルな
し）真空ポンプの一般的な要望がある。現在のポンプは
ダイヤフラムポンプを含むが、それらは限られたダイヤ
フラム寿命の見込み（典型的には６０００時間）を有す
る。往復ピストン作動モードを有する真空ポンプが知ら
れており、これは、巻線コイル及び鉄心装置及び一端が
電磁石内に位置した磁気部材をもったピストンとからな
るソレノイドアクチエータを有する。交流の半波整流パ
ルス又はパルス直流をコイルに通すことによって電磁石
の磁化と消磁を反復することにより、ピストン装置に固
定された磁気部材を円筒形コイルの中で移動させ、流体
をシリンダに吸い込ませ、次いでそれ自体知られた方法
で逆止弁の使用によって補助される各ピストンサイクル
でシリンダから排出させる。BACKGROUND OF THE INVENTION Used for various scientific and analytical purposes,
There is also a general need for small, dry (i.e., no oil in operation) vacuum pumps, especially for use in backing other vacuum pumps, including turbomolecular pumps. Current pumps include diaphragm pumps, but they have limited diaphragm life prospects (typically 6000 hours). Vacuum pumps with a reciprocating piston operating mode are known, which have a solenoid actuator consisting of a wound coil and a core device and a piston with a magnetic member located at one end within an electromagnet. By repeating the magnetization and demagnetization of the electromagnet by passing an AC half-wave rectified pulse or pulse DC through the coil, the magnetic member fixed to the piston device is moved in the cylindrical coil, and the fluid is sucked into the cylinder. The cylinder is then discharged in each piston cycle, which is aided by the use of a check valve in a manner known per se.
【０００３】[0003]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うなポンプは、全体の真空性能の一般的な相対的欠如に
より、例えば、絶対圧１００ミリバール以下の、低圧力
応用には一般的に適用されなかった。本発明は、一般的
には、このような大きな効率及び改善された真空性能の
可能性をもたらす電磁作動式ピストンの真空ポンプを提
供することに関する。However, such pumps are not generally applicable to low pressure applications, for example, less than 100 mbar absolute, due to the general relative lack of overall vacuum performance. Was. The present invention generally relates to providing an electromagnetically actuated piston vacuum pump that offers such great efficiency and the potential for improved vacuum performance.
【０００４】[0004]
【課題を解決するための手段】本発明によれば、ピスト
ンの往復運動がソレノイド駆動装置及び逆作用ばね装置
によって行われる多段往復ピストン作動モードからな
り、ポンプ段がポンプ入口とポンプ出口との間で直列に
連結され、使用中、ポンプの中を移送されるガスが段の
中を順に通る、真空ポンプを提供する。ここで用いられ
ている用語「多段」は最低２段を意味する。しかしなが
ら、好ましくは、本発明のポンプは直列に３段又は４段
もしくはそれ以上の段を有する。好ましくはまた、ポン
プは１つ又はそれ以上の複動ピストンヘッドを有し、か
かるピストンヘッドの各々はピストンを関連させるシリ
ンダ内にピストンヘッドの各側に１つずつ、２つのポン
プ段を構成する。２つの複動ピストンを有する４段のポ
ンプが最も好まれる。According to the present invention, the reciprocating motion of the piston comprises a multi-stage reciprocating piston operating mode performed by a solenoid drive and a counteracting spring device, wherein the pump stage is located between the pump inlet and the pump outlet. Provide a vacuum pump in which the gases transported through the pump in use sequentially pass through the stages during use. The term “multi-stage” as used herein means at least two stages. However, preferably, the pump of the present invention has three or four or more stages in series. Preferably also, the pump has one or more double-acting piston heads, each such piston head comprising two pump stages, one on each side of the piston head in the cylinder with which the piston is associated. . A four stage pump with two double acting pistons is most preferred.
【０００５】本発明の好ましい実施の形態では、ポンプ
は同じシリンダブロック内に収容された１つ又は２つも
しくはそれ以上のかかる複動ピストンヘッドを有する。
有利には、かかるピストンはすべて同じピストンシャフ
トにある。ソレノイド駆動装置の好ましい形態は半波整
流ＡＣ電流又はパルス直流で作動するソレノイドアクチ
エータであり、電流がソレノイドのコイルの中を流れる
磁化の間中、電流はピストンを取付けた磁気プランジャ
を駆動してコイルを取り巻く鉄心の空隙を橋渡しする。
本発明の一般的な特徴は、ポンプ段がすべてポンプ駆動
装置の一方の側にある好ましい実施形態に特に適してい
る。このような好ましい実施形態では、一般的には、ポ
ンプピストンヘッドの一方又は両方が同じピストンシャ
フトにあり、ピストンシャフトがポンプの主軸線に沿っ
て往復運動可能に位置決めされ、ポンプピストンシャフ
トがソレノイド駆動装置の中心を通るのが有利である。In a preferred embodiment of the invention, the pump has one or two or more such double-acting piston heads housed in the same cylinder block.
Advantageously, all such pistons are on the same piston shaft. A preferred form of solenoid drive is a solenoid actuator that operates on half-wave rectified AC current or pulsed direct current, during which the current drives a magnetic plunger mounted with a piston during magnetization while the current flows through the coil of the solenoid. Bridge the gap in the iron core surrounding the coil.
The general features of the invention are particularly suitable for the preferred embodiment where the pump stages are all on one side of the pump drive. In such preferred embodiments, typically one or both of the pump piston heads are on the same piston shaft, the piston shaft is positioned reciprocally along the main axis of the pump, and the pump piston shaft is solenoid driven. Advantageously, it passes through the center of the device.
【０００６】上記の有利な特徴により、プランジャ及び
取付けたピストンシャフトの往復運動中軸受面としてソ
レノイドの鉄心極片の内面を利用して軸受をプランジャ
装置に取り付けることができ、それによって、プランジ
ャと鉄心極片との間の同心性を確保する。かかる有利な
特徴はまた、ポンプの真空エンベロープの外側からソレ
ノイドを冷却することの可能性をもたらし、ソレノイド
及び全体としてポンプの寿命が潜在的に長くなる。本発
明のポンプの各段は一般的には、シリンダ内のピストン
ヘッドの関連位置で、ガスをポンプ入口又は前の段から
流入させ、かつ又ガスをその段から排出させ、そして引
き続く段又はポンプ出口に流入させる逆止弁を必要とす
る。ポンプ駆動装置の一方の側にポンプ段を全て位置さ
せた好ましい実施形態では、すべてのかかる逆止弁がシ
リンダブロックの外面に取付けられ、楽な保守のために
取り外すことができる単一のバルブプレートにあるのが
有利であることが分かった。Due to the advantageous features described above, the bearing can be mounted on the plunger device by means of the inner surface of the iron core pole piece of the solenoid as the bearing surface during the reciprocating movement of the plunger and the mounted piston shaft, whereby the plunger and the core are mounted. Ensure concentricity with the pole piece. Such advantageous features also provide the possibility of cooling the solenoid from outside the pump's vacuum envelope, potentially increasing the life of the solenoid and the pump as a whole. Each stage of the pump of the present invention is generally at the location of the piston head in the cylinder, allowing gas to enter from the pump inlet or previous stage, and also to exhaust gas from that stage, and to subsequent stages or pumps. Requires a check valve to flow into the outlet. In a preferred embodiment where the pump stages are all located on one side of the pump drive, a single valve plate is provided in which all such check valves are mounted on the outer surface of the cylinder block and can be removed for easy maintenance. Has been found to be advantageous.
【０００７】好ましくは、かかる単一のバルブプレート
はシリンダブロックとマニホールドとの間に位置決めさ
れ、ポンプ入口、ポンプ出口、種々の通路、並びに各ポ
ンプ段をバルブプレートの逆止弁を介して直列に連結す
るのに必要とされる部品がマニホールドに形成される。
本発明の重要な特徴は、コイルが磁化されないときの、
電磁サイクルの部分で駆動装置に反作用するためにポン
プに使用されるばね装置である。かかるばね装置の使用
は自明の理由で本質的である。しかしながら、かかる反
作用するばね装置に加えて、低い入口圧力でピストン面
の前後の差圧によって発生される力に反作用するために
ソレノイド駆動装置として同じ方向に作用する更なるば
ね装置を使用し、それによって比較的中央のストローク
位置でピストン装置をバランスさせるのが有利であるこ
とがわかった。[0007] Preferably, such a single valve plate is positioned between the cylinder block and the manifold, and the pump inlet, the pump outlet, the various passages, and each pump stage are connected in series via the check valve of the valve plate. The parts needed to connect are formed in the manifold.
An important feature of the present invention is that when the coil is not magnetized,
A spring device used in the pump to react to the drive in the part of the electromagnetic cycle. The use of such a spring device is essential for obvious reasons. However, in addition to such a reactive spring device, a further spring device acting in the same direction as the solenoid drive is used to counteract the force generated by the differential pressure across the piston face at low inlet pressure, It has proved advantageous to balance the piston arrangement at a relatively central stroke position.
【０００８】特に上記のタイプのソレノイドアクチエー
タの場合には、かかる反作用するばね装置の使用はソレ
ノイド駆動装置と関連して、共振装置を行わせるように
作用することができることが分かった。かかる装置で
は、２つのばね装置によってプランジャ／ピストンに及
ぼされる力を入念に選択しなければならないことは明ら
かであるが、これは当業者によって容易に達成できる。
ポンプ内に、特にピストンシャフトに設けられた良好な
相互段真空シールがポンプの良好な性能にとって不可欠
である。通常は、周知の設計の複数のシールがシャフト
／ヘッドの長さに沿って使用され、例えば、シャフト／
ヘッド部品の周囲の溝に収容される。In particular, in the case of solenoid actuators of the type described above, it has been found that the use of such a counteracting spring device, in conjunction with a solenoid drive, can act to provide a resonant device. Obviously, in such a device, the force exerted on the plunger / piston by the two spring devices must be carefully selected, but this can easily be achieved by a person skilled in the art.
A good interstage vacuum seal provided in the pump, especially on the piston shaft, is essential for good performance of the pump. Typically, multiple seals of known design are used along the length of the shaft / head, for example,
It is housed in a groove around the head part.
【０００９】[0009]
【発明の実施の形態】本発明のより良い理解のために、
今、例示として添付図面を参照する。図面を参照する
と、ソレノイド駆動装置２を一体部品として有する本発
明のピストンポンプ１を示す。実質的に正方形断面の本
体部材３には２つの円形ボア４、５が形成され、該ボア
は更なる円形ボア６によって連結されている。本体部材
３のボア５は特に円周シール８によって円形端板７によ
って密封されている。本体部材３の他端は更なる円周シ
ール１０によってソレノイド駆動装置２の第１鉄心極片
９に対して密封されている。極片９と同じほぼ円形断面
寸法の更なる鉄心極片１１があり、極片９と１１との間
には空隙１２が形成される。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION For a better understanding of the present invention,
Reference will now be made, by way of example, to the accompanying drawings. Referring to the drawings, there is shown a piston pump 1 of the present invention having a solenoid drive 2 as an integral part. The body member 3 having a substantially square cross section is formed with two circular bores 4, 5, which are connected by a further circular bore 6. The bore 5 of the body member 3 is sealed by a circular end plate 7, in particular by a circumferential seal 8. The other end of the main body member 3 is sealed by a further circumferential seal 10 to the first core pole piece 9 of the solenoid driving device 2. There is a further core pole piece 11 of substantially the same circular cross-sectional dimension as pole piece 9, with a gap 12 formed between pole pieces 9 and 11.
【００１０】プラスチックボビン１４によって支持され
そして電気的に絶縁された巻線コイル１３が上記の鉄心
極片９、１１と、積層鉄ケージ１５とからなる鉄心によ
って包囲され、それによって、以下に説明するプランジ
ャとともに、ソレノイド駆動装置２を完成する。ポンプ
はプラスチックリボン１４と鉄心極片９、１１との間の
円周シールＮによってソレノイドの端が大気から密封さ
れ、有毒プロセスガスを扱うのに適した、入口から排出
部まで全体の気密ユニットを提供する。電磁プランジャ
１６は中空円筒形状のものであり、鉄心極片９、１１の
円筒内面にぴったりと嵌まるように外径が寸法決めさ
れ、従って、鉄心極片９、１１の円筒内面で軸線方向に
往復運動するようになっている。プランジャ１６と同じ
手段に取り付けられたソレノイドベアリングＸはプラン
ジャと極片９、１１との間に同心性をもたらす。ベアリ
ングＸの作動面の質を維持するために、そして鉄構成部
品の腐食を回避するために、鉄心極片９、１１及びプラ
ンジャ１６の面は適当なコーティング、例えば、硬質ク
ロームで被覆されるのが有利である。A wound coil 13 supported and electrically insulated by a plastic bobbin 14 is surrounded by an iron core consisting of the core pole pieces 9, 11 and the laminated iron cage 15, thereby being described below. The solenoid drive 2 is completed together with the plunger. The pump seals the end of the solenoid from the atmosphere by means of a circumferential seal N between the plastic ribbon 14 and the core pole pieces 9, 11 and provides the entire hermetic unit from the inlet to the outlet, suitable for handling toxic process gases. provide. The electromagnetic plunger 16 is of a hollow cylindrical shape and has an outer diameter dimensioned to fit snugly into the cylindrical inner surface of the core pole pieces 9, 11, and therefore axially at the cylindrical inner surface of the core pole pieces 9, 11. It is designed to reciprocate. A solenoid bearing X mounted on the same means as the plunger 16 provides concentricity between the plunger and the pole pieces 9,11. In order to maintain the quality of the working surface of the bearing X and to avoid corrosion of the iron components, the surfaces of the core pole pieces 9, 11 and the plunger 16 are coated with a suitable coating, for example hard chrome. Is advantageous.
【００１１】プランジャ１６はプランジャキャリヤ１７
に取付けられ、プランジャキャリヤ１７はそれ自体ボル
ト１８によってピストンシャフト１９に固定される。ピ
ストンシャフト１９は極片９の円形ボア２０の中を延
び、そしてピストンシャフト１９の外面の複数の円周溝
内に収容された一連のシャフトシール２１によって円形
ボア２０内で密封的に軸線方向に往復運動可能になって
いる。ピストンシャフト１９は更に本体部材３の円形ボ
ア６の中を延び、そしてピストンシャフト１９の外面の
複数の円周溝内に収容された一連のシャフトシール２２
によって円形ボア２０内で密封的に軸線方向に往復運動
可能になっている。複動ピストンヘッド２３がピストン
シャフト１９と一体に形成され、そして本体部材３のボ
ア４内で密封的に往復運動するようになった円筒形外側
部分を有する。ピストンヘッド２３のこの円筒形外側部
分の外面の複数の円周溝内には中央ベアリング２４
（ｂ）及び外側シール２４（ａ）が収容されている。The plunger 16 is a plunger carrier 17.
And the plunger carrier 17 is itself fixed to the piston shaft 19 by bolts 18. The piston shaft 19 extends through the circular bore 20 of the pole piece 9 and is sealed axially within the circular bore 20 by a series of shaft seals 21 housed in a plurality of circumferential grooves on the outer surface of the piston shaft 19. Reciprocating movement is possible. The piston shaft 19 further extends through the circular bore 6 of the body member 3 and a series of shaft seals 22 housed in a plurality of circumferential grooves on the outer surface of the piston shaft 19.
Thereby, it is possible to reciprocate hermetically in the axial direction in the circular bore 20. A double-acting piston head 23 is formed integrally with the piston shaft 19 and has a cylindrical outer portion adapted to reciprocate hermetically within the bore 4 of the body member 3. A central bearing 24 is provided in a plurality of circumferential grooves on the outer surface of this cylindrical outer portion of the piston head 23.
(B) and the outer seal 24 (a) are housed.
【００１２】ピストンシャフトにはまたボルト２５によ
って更なるピストンヘッド２６が取り付けられ、該ピス
トンヘッドは又本体部材３のボア５内で密封的に往復運
動するようになった円筒形外側部分を有する。ピストン
ヘッド２６のこの円筒形外側部分の外面の３つの円周溝
内には一連のシール２６（ｂ）が収容されている。従っ
て、ピストンヘッド２３はポンプの第１の２段を構成
し、その１つはピストンヘッド２３の左（図示するよう
に）にあり、もう１つはピストンヘッド２３の右（図示
するように）にある。ピストンヘッド２６はポンプの第
３及び第４段を構成し、その第３段はピストンヘッド２
６の左（図示するように）にあり、第４段はピストンヘ
ッド２６の右（図示するように）にある。A further piston head 26 is also attached to the piston shaft by bolts 25, which piston head also has a cylindrical outer part adapted to reciprocate hermetically in the bore 5 of the body member 3. A series of seals 26 (b) are housed in three circumferential grooves on the outer surface of this cylindrical outer portion of the piston head 26. Thus, piston head 23 comprises the first two stages of the pump, one to the left of piston head 23 (as shown) and the other to the right of piston head 23 (as shown). It is in. The piston head 26 constitutes the third and fourth stages of the pump, the third stage being the piston head 2
6 is to the left (as shown) and the fourth stage is to the right of piston head 26 (as shown).
【００１３】図１では、ピストン装置は左の位置で示さ
れており、従って第２及び第４段と関連した容積は「開
放」しており、第１及び第３段と関連した容積は「閉
鎖」される。従って、本体部材３は一端が端板７で密封
され、外端が極片９で密封されたポンプの単一シリンダ
ブロックと見ることができる。ポンプは入口２７及び出
口２８を有し、これら入口と出口との間には入口２７に
吸引されたガスが４段の中を通る通路が設けられ、引き
続いてガスは出口２８から排出される。本発明の好まし
い実施の形態によれば、マニホールド２９には入口２７
と出口２８が形成され、マニホールドは又、本体部分３
とマニボールド２９との間に挟まれた単一のバルブプレ
ート３０と関連してポンプの４段の中にガスを伝達する
のに必要な通路を提供し、単一のバルブプレートには、
逆止め弁があって、ピストンサイクル中関連した時間に
各室に流入流出させるようになっている。かかるマニホ
ールド及びバルブプレートの使用はポンプの構造をより
簡単にし、その後の保守をより容易にする。In FIG. 1, the piston arrangement is shown in the left position, so that the volume associated with the second and fourth stages is "open" and the volume associated with the first and third stages is "open". "Closed". Thus, the body member 3 can be viewed as a single cylinder block of the pump, one end of which is sealed by the end plate 7 and the outer end of which is sealed by the pole piece 9. The pump has an inlet 27 and an outlet 28, and a passage is provided between the inlet and the outlet through which gas sucked into the inlet 27 passes through the four stages, and the gas is subsequently discharged from the outlet 28. According to a preferred embodiment of the present invention, the manifold 29 has an inlet 27.
And an outlet 28 are formed, and the manifold is also provided with
In conjunction with a single valve plate 30 sandwiched between the pump and the manifold 29 to provide the necessary passages to transfer gas into the four stages of the pump, the single valve plate comprising:
Check valves are provided to flow into and out of each chamber at relevant times during the piston cycle. The use of such a manifold and valve plate makes the construction of the pump simpler and subsequent maintenance easier.
【００１４】２つのコイルばね３１、３２がプランジャ
キャリヤ１７と関連する。ばね３１はプランジャキャリ
ヤ１７に、それ故に、全体としてピストン装置１９に力
を及ぼすのに必要とされ、コイル１３に電流が通らない
場合に、即ちソレノイドアクチエータが作動していない
ときに、ピストン装置を図１に示す位置に押し戻す。低
圧力では、この力はピストン面に同じ方向に作用する差
圧力によって補足される。アクチエータが作動している
ときのサイクルのその部分では、極片９、１１の空隙１
２を橋渡しするプランジャの運動はばね３１に圧縮力を
及ぼす。ばね３２はソレノイド駆動装置２の電磁力を補
足する方向に作用する。このばねによってプランジャキ
ャリヤ１７に及ぼされる、プランジャ１６に作用する磁
気力と結合される運動力がばね３１及び差圧力によって
反対方向に及ぼされる運動力に対してバランスする最適
さにより、共振し、好ましくはストローク特性をもたら
す駆動機構装置を提供する。このような共振装置は本発
明の特徴、特に好ましい実施形態の使用によって補助さ
れる。Two coil springs 31, 32 are associated with the plunger carrier 17. The spring 31 is required to exert a force on the plunger carrier 17 and therefore on the piston device 19 as a whole, and when no current passes through the coil 13, i.e. when the solenoid actuator is not activated, To the position shown in FIG. At low pressure, this force is supplemented by a differential pressure acting on the piston face in the same direction. In that part of the cycle when the actuator is operating, the gap 1 of the pole pieces 9, 11
The movement of the plunger bridging 2 exerts a compressive force on the spring 31. The spring 32 acts in a direction to supplement the electromagnetic force of the solenoid driving device 2. Due to the optimal balance of the kinetic force exerted on the plunger carrier 17 by this spring, which is combined with the magnetic force acting on the plunger 16, against the kinetic force exerted in the opposite direction by the spring 31 and the differential pressure, it resonates, preferably Provides a drive mechanism device that provides stroke characteristics. Such a resonant device is assisted by the use of features of the present invention, particularly the preferred embodiments.
【００１５】本発明のポンプの使用において、ピストン
の半サイクル中半波整流ＡＣパルス電流がソレノイド駆
動装置、好ましくはソレノイドアクチエータに加えら
れ、特にばね３２によって及ぼされる力によって補助さ
れ、ピストンの他の半サイクル中ばねによって反対方向
に及ぼされる力を利用してピストンの及び全体としてポ
ンプの共振作用の設定の機会を与え、これは高いポンプ
効率をもたらす。図面に図示してないが、ばね３１、３
２のいずれか又は両方についてばね調整装置を組込んで
ばねによって及ぼされる力を現場で調整できるようにし
てもよい。In use of the pump of the present invention, during the half cycle of the piston, a half-wave rectified AC pulse current is applied to a solenoid drive, preferably a solenoid actuator, and is assisted, in particular, by the force exerted by a spring 32, and the other end of the piston. The force exerted in the opposite direction by the spring during the half cycle of the cycle provides an opportunity for setting the resonance action of the piston and of the pump as a whole, which leads to a high pump efficiency. Although not shown in the drawing, the springs 31, 3
A spring adjusting device may be incorporated for either or both of the two so that the force exerted by the spring can be adjusted on site.
【図１】バルブプレート及びマニホールドをより明瞭に
示すために若干分解して、本発明のポンプの概略斜視図
である。FIG. 1 is a schematic perspective view of a pump of the present invention with the valve plate and manifold partially exploded to more clearly show.
【図２】バルブプレート及びマニホールドを適所にした
図１のII−III 線における図１のポンプの概略断面図で
ある。FIG. 2 is a schematic cross-sectional view of the pump of FIG. 1 taken along line II-III of FIG. 1 with the valve plate and manifold in place.
１ ポンプ ２ 電磁駆動装置 １６ プランジャ １９ ピストンシャフト ２３ ピストンヘッド ２６ ピストンヘッド DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Pump 2 Electromagnetic drive 16 Plunger 19 Piston shaft 23 Piston head 26 Piston head
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 ナイジェル ポール ショーフィールド イギリス ウェスト サセックス アール エイチ13 ５エスジェイ ホーシャム ク ラレンス ロード 33 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continuing on the front page (72) Inventor Nigel Paul Shawfield UK West Sussex Earl H13 5 SJ Horsham Clarence Road 33
Claims (8)
置及び逆作用ばね装置によって行われる多段往復ピスト
ン作動モードを有し、ポンプ段がポンプ入口とポンプ出
口との間で直列に連結され、使用中、ポンプの中を移送
されるガスが段の中を順に通る、真空ポンプ。1. A multi-stage reciprocating piston operating mode in which the reciprocating motion of a piston is performed by a solenoid drive and a counteracting spring device, wherein a pump stage is connected in series between a pump inlet and a pump outlet, and during use, A vacuum pump in which the gas transported through the pump passes sequentially through the stages.
１に記載の真空ポンプ。2. The vacuum pump according to claim 1, comprising at least three stages in series.
を有し、かかるピストンヘッドの各々はピストンを関連
させるシリンダ内に２つのポンプ段を構成する、請求項
１又は２に記載の真空ポンプ。3. A vacuum pump according to claim 1, comprising one or more double-acting piston heads, each such piston head comprising two pump stages in a cylinder associated with a piston. .
の側にある、請求項１乃至３のいずれか１項に記載の真
空ポンプ。4. The vacuum pump according to claim 1, wherein the pump stages are all on one side of the pump drive.
トンシャフトにあり、ピストンシャフトがポンプの主軸
線に沿って往復運動可能に位置決めされている、請求項
１乃至４のいずれか１項に記載の真空ポンプ。5. The vacuum pump according to claim 1, wherein the pump piston heads are all located on the same piston shaft, and the piston shaft is positioned for reciprocating movement along a main axis of the pump. .
動装置の中心を通る、請求項１乃至５のいずれか１項に
記載の真空ポンプ。6. The vacuum pump according to claim 1, wherein the pump piston shaft passes through the center of the solenoid drive.
に流入させ、各段から排出させる１つの逆止弁」がある
バルブプレートを有する、請求項１乃至６のいずれか１
項に記載の真空ポンプ。7. The valve plate as claimed in claim 1, wherein the valve has one check valve which flows into and out of each stage at the relevant time of the piston cycle.
The vacuum pump according to the item.
し、第２ばね装置が駆動装置に反対方向に作用して共振
装置を作る、請求項１乃至７のいずれか１項に記載の真
空ポンプ。8. A device according to claim 1, wherein the first spring device supplements the electromagnetic force of the drive and the second spring device acts on the drive in the opposite direction to create a resonance device. Vacuum pump.
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| GBGB9604645.3A GB9604645D0 (en) | 1996-03-01 | 1996-03-01 | Improvements in vacuum pumps |
| GB9604645:3 | 1996-03-01 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH102281A true JPH102281A (en) | 1998-01-06 |
Family
ID=10789859
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4759497A Pending JPH102281A (en) | 1996-03-01 | 1997-03-03 | Improvement of vacuum pump |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| EP (1) | EP0793019A3 (en) |
| JP (1) | JPH102281A (en) |
| GB (1) | GB9604645D0 (en) |
Families Citing this family (17)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| GB0008281D0 (en) | 2000-04-04 | 2000-05-24 | Boc Group Plc | Improvements in reciprocating machines |
| GB0224986D0 (en) | 2002-10-28 | 2002-12-04 | Smith & Nephew | Apparatus |
| GB0325129D0 (en) | 2003-10-28 | 2003-12-03 | Smith & Nephew | Apparatus in situ |
| US20070224058A1 (en) * | 2006-03-24 | 2007-09-27 | Ingersoll-Rand Company | Linear compressor assembly |
| EP1905465B2 (en) | 2006-09-28 | 2013-11-27 | Smith & Nephew, Inc. | Portable wound therapy system |
| EP2214611B1 (en) | 2007-11-21 | 2018-12-26 | Smith & Nephew PLC | Wound dressing |
| GB0723855D0 (en) | 2007-12-06 | 2008-01-16 | Smith & Nephew | Apparatus and method for wound volume measurement |
| GB201011173D0 (en) | 2010-07-02 | 2010-08-18 | Smith & Nephew | Provision of wound filler |
| GB201015656D0 (en) | 2010-09-20 | 2010-10-27 | Smith & Nephew | Pressure control apparatus |
| GB201020005D0 (en) | 2010-11-25 | 2011-01-12 | Smith & Nephew | Composition 1-1 |
| ES2603152T3 (en) | 2010-11-25 | 2017-02-23 | Smith & Nephew Plc | Composition I-II and its products and uses |
| US9084845B2 (en) | 2011-11-02 | 2015-07-21 | Smith & Nephew Plc | Reduced pressure therapy apparatuses and methods of using same |
| US20150159066A1 (en) | 2011-11-25 | 2015-06-11 | Smith & Nephew Plc | Composition, apparatus, kit and method and uses thereof |
| WO2013140255A1 (en) | 2012-03-20 | 2013-09-26 | Smith & Nephew Plc | Controlling operation of a reduced pressure therapy system based on dynamic duty cycle threshold determination |
| US9427505B2 (en) | 2012-05-15 | 2016-08-30 | Smith & Nephew Plc | Negative pressure wound therapy apparatus |
| US20160120706A1 (en) | 2013-03-15 | 2016-05-05 | Smith & Nephew Plc | Wound dressing sealant and use thereof |
| AU2015370586B2 (en) | 2014-12-22 | 2020-07-16 | Smith & Nephew Plc | Negative pressure wound therapy apparatus and methods |
Family Cites Families (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE2715102A1 (en) * | 1977-04-04 | 1978-10-12 | Syndicat Des Coproprietaires D | Two stage high pressure compressor - has stepped free piston with spring assisted linear electric motor drive |
| DE2855608C2 (en) * | 1978-12-22 | 1984-10-25 | Pierburg Gmbh & Co Kg, 4040 Neuss | Double acting vacuum pump |
| DE3279209D1 (en) * | 1981-08-13 | 1988-12-15 | Commw Scient Ind Res Org | Reciprocatory piston and cylinder machine |
| US4832578A (en) * | 1986-11-14 | 1989-05-23 | The B.F. Goodrich Company | Multi-stage compressor |
| JPS6419189A (en) * | 1987-07-14 | 1989-01-23 | Nagano Keiki Seisakusho Kk | Vacuum pump |
| JPH02102385A (en) * | 1988-10-08 | 1990-04-13 | Toyo Eng Corp | Gas exhaust system |
| JPH04128578A (en) * | 1990-09-19 | 1992-04-30 | Toyo Eng Corp | Vacuum pump |
| JPH0518351A (en) * | 1991-07-10 | 1993-01-26 | Zhongyuan Chen | Sleeve piston pump |
-
1996
- 1996-03-01 GB GBGB9604645.3A patent/GB9604645D0/en active Pending
-
1997
- 1997-02-27 EP EP97301303A patent/EP0793019A3/en not_active Withdrawn
- 1997-03-03 JP JP4759497A patent/JPH102281A/en active Pending
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| EP0793019A3 (en) | 1999-06-02 |
| EP0793019A2 (en) | 1997-09-03 |
| GB9604645D0 (en) | 1996-05-01 |
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