JP4206248B2

JP4206248B2 - 電磁式ポンプ

Info

Publication number: JP4206248B2
Application number: JP2002286188A
Authority: JP
Inventors: 政志大久保
Original assignee: Shinano Kenshi Co Ltd
Current assignee: Shinano Kenshi Co Ltd
Priority date: 2002-09-30
Filing date: 2002-09-30
Publication date: 2009-01-07
Anticipated expiration: 2022-09-30
Also published as: JP2004124724A

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は電磁式ポンプに関し、より詳細には気体、液体等の流体の輸送に使用するコンパクトな電磁式ポンプに関する。
【０００２】
【従来の技術】
シリンダ室内にピストンを往復動自在に配置し、吸排弁を介してシリンダ室と外部とを連通させ、ピストンを往復動させることによって、気体あるいは液体のポンプ作用をなすことができる。このようなポンプ作用を利用した装置として、シリンダ内に配置するピストンにマグネットを装着し、シリンダの外周に電磁コイルを配置して、電磁コイルの電磁力をピストンに作用させることによってピストンを往復動させるように構成した装置（特許文献１参照）、また、シリンダを二重管構造とし、シリンダを対向させて２段に接合した構成としたポンプ装置（特許文献２参照）が提案されている。
【０００３】
【特許文献１】
実開平７−４８７５号公報
【特許文献２】
特開平６−１５９２３２号公報
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
シリンダ室に配置したピストンをシリンダ室の外部から電磁力を作用させて往復駆動する従来装置においては、シリンダを軸線方向の細長い形状に設け、ピストンの移動ストロークを比較的大きくとって吸排する構成とされている。したがって、ノートパソコン等の小型の電子機器の冷却用に使用するといった場合のように、小型かつ薄型のポンプ装置が求められる場合には、従来のポンプ装置の構成によってはコンパクト化が困難であるという課題があった。また、ピストンを往復動させることから、駆動時に振動および音が発生しやすく、電子機器等においては、振動低減、静音化が求められるという課題もあった。
【０００５】
本発明はこれらの課題を解決すべくなされたものであり、その目的とするところは、装置の小型化、薄型化を効率的に図ることができ、駆動時の振動を低減して電子機器等に好適に搭載可能とする電磁式ポンプを提供するにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
本発明は上記目的を達成するため、次の構成を備える。
すなわち、一対のフレーム体により両端面が閉止されたシリンダ内に、前記各々のフレーム体の端面との間をポンプ室として摺動可能に磁性体を備えた可動子を設け、前記シリンダの外周囲に空芯の電磁コイルを配置し、電磁コイルに通電して前記可動子をシリンダの軸線方向に往復駆動することにより流体を輸送する電磁式ポンプであって、前記フレーム体の前記シリンダの端面領域内に、前記ポンプ室と外部とを連通する吸入用バルブと送出用バルブとが設けられ、前記可動子が、シリンダの軸線方向に磁化したマグネットを一対のインナーヨークにより挟持して形成され、該インナーヨークが、マグネットを挟持する平板部の周縁部に、電磁コイルに対向する配置に、シリンダの内面に摺接する短筒状のフランジ部が設けられていて、前記吸入用バルブと送出用バルブとが、前記インナーヨークのフランジ部の内側に形成される凹部内に配置されていることを特徴とする。
【０００７】
また、前記フレーム体が、非磁性体からなることを特徴とする。
また、前記シリンダの軸線方向に磁化したマグネットを一対のインナーヨークにより挟持することにより単位可動子を形成し、該単位可動子が非磁性材を介して軸線方向に複数個連結して設けられていることを特徴とする。
また、前記インナーヨークによって挟まれたマグネットの外周面が、非磁性材料からなる封止材により封止されていることを特徴とする。
また、前記封止材の外周径が、前記インナーヨークの外周径よりも小径に形成されていることを特徴とする。
また、前記電磁コイルの外周に、電磁コイルを囲む軟磁性材料からなるアウターヨークが設けられていることを特徴とする。
また、前記電磁コイルのシリンダの軸線方向の長さが、ポンプ室内でのインナーヨークの可動範囲よりも長く設けられていることを特徴とする。
また、前記フレーム体の端面に、可動子がフレーム体の端面に当接した際の衝撃を緩和するダンパーが設けられていることを特徴とする。
また、前記可動子の前記フレーム体の端面に対向する面に、可動子がフレーム体の端面に当接した際の衝撃を緩和するダンパーが設けられていることを特徴とする。
【０００８】
また、前記可動子の一方の面側に設けられたポンプ室の吸入用流路と、前記可動子の他方の面側に設けられたポンプ室の吸入用流路とが連通して設けられ、前記可動子の一方の面側に設けられたポンプ室の送出用流路と、前記可動子の他方の面側に設けられたポンプ室の送出用流路とが連通して設けられていることを特徴とする。
また、前記可動子の一方の面側に設けられたポンプ室の吸入用流路が、前記可動子の他方の面側に設けられたポンプ室の送出用流路に連通して設けられていることを特徴とする。
また、前記可動子の移動位置を検知するセンサを設け、該センサの検知信号に基づいて可動子が駆動制御されることを特徴とする。
【０００９】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の好適な実施の形態について添付図面とともに詳細に説明する。
図１は本発明に係る電磁式ポンプの構成を示す断面図である。
本実施形態の電磁式ポンプは円筒状に形成したシリンダ内にマグネット（永久磁石）を備えた可動子をシリンダの軸線方向に摺動可能に配置し、シリンダの外周に配置した電磁コイルの電磁力を可動子に作用させ、可動子を往復動させることによってポンプ作用をなすように構成したものである。
【００１０】
図１で、１０はシリンダの軸線方向に往復動可能に配置した可動子である。
可動子１０は円板状に形成したマグネット１２とマグネット１２を厚さ方向に挟持する一対のインナーヨーク１４ａ、１４ｂとからなる。マグネット１２は一方の面をＮ極、他方の面をＳ極として、厚さ方向に磁化されている永久磁石である。インナーヨーク１４ａ、１４ｂは軟磁性材によって形成され、各々のインナーヨーク１４ａ、１４ｂは、マグネット１２よりも若干大径に形成された平板部１５ａと、平板部１５ａの周縁部に短筒状に起立したフランジ部１５ｂとを備える。
【００１１】
１６はマグネット１２の外周側面を被覆したプラスチック等の非磁性材からなる封止材である。封止材１６はマグネット１２が錆びたりしないようマグネット１２が外部に露出しないように被覆する作用と、マグネット１２とインナーヨーク１４ａ、１４ｂとを一体に形成する作用を有する。封止材１６はインナーヨーク１４ａ、１４ｂに挟まれたマグネット１２の外周側面を充填するように設けられているが、封止材１６の外周径はインナーヨーク１４ａ、１４ｂの外周径よりも若干小径に形成されている。このように封止材１６を形成しておくと、インナーヨーク１４ａ、１４ｂの外周面を仕上げ研削する際に、封止材１６が研削刃に接触せず、研削刃を傷めずに作業できるという利点と、封止材１６の熱膨張係数がインナーヨーク１４ａ、１４ｂの熱膨張係数よりも大きい場合に、ポンプを高温状態で使用したとき可動子１０とシリンダ間の空隙が封止材１６の熱膨張によって減少または無くなることを防止し、ポンプを安定して動作させることができるという利点がある。
【００１２】
図２に、インナーヨーク１４ａ、１４ｂによってマグネット１２が挟持され、封止材１６によって一体形成されて、可動子１０が円柱状体に形成された状態の斜視図を示す。インナーヨーク１４ａ、１４ｂは、周縁部にフランジ部１５ｂを起立させて形成しているから、可動子１０の軸線方向の両端面には凹部１０ａが形成されている。本実施形態の電磁式ポンプは可動子１０の両端面に凹部１０ａを設けることによって、電磁式ポンプを薄型に形成することができ、フランジ部１５ｂの作用によって可動子１０の往復動作を的確に行わせることが可能となる。
【００１３】
可動子１０はシリンダ内で往復動するが、本実施形態では、一対のフレームを組み合わせて円筒状のシリンダを形成し、このシリンダ内に可動子１０を配置している。
図１で、２０ａ、２０ｂがシリンダを形成する非磁性材からなる一対のフレーム体であり、２０ａが上フレーム、２０ｂが下フレームである。本実施形態においては、下フレーム２０ｂの本体２２ｂから、円筒状に形成した筒体部２４を延出させ、筒体部２４の端部を上フレーム２０ａの本体２２ａに設けた嵌合溝２８に嵌合させて可動子１０を収容するシリンダを構成している。嵌合溝２８の筒体部２４の端面が当接する部位にはシール材２９が設けられており、筒体部２４の端面をシール材２９に突き当てることにより、シリンダ内が外部からシールされる。なお、上フレーム２０ａから筒体部２４を延出させて下フレーム２０ｂに嵌合させることもできる。また、筒体部２４を上フレーム２０ａと下フレーム２０ｂと別体に形成してもよい。
【００１４】
このように、上フレーム２０ａと下フレーム２０ｂとを組み合わせて形成されたシリンダの両端面は上フレーム２０ａの本体２２ａと下フレーム２０ｂの本体２２ｂとによって閉止され、可動子１０の両端面にそれぞれポンプ室３０ａ、３０ｂが形成される。
なお、可動子１０は筒体部２４の内面に接触した状態で、筒体部２４と気密あるいは液密にシールした状態で摺動する。可動子１０の摺動性を良好にするため、インナーヨーク１４ａ、１４ｂの外周面にフッ素樹脂コーティングやＤＬＣ（ダイヤモンド・ライク・カーボン）コーティング等の潤滑性と防錆力を兼ね備えたコーティングを施す。また、可動子１０が周方向に回ることを防止する回り止めを設けることもできる。
【００１５】
ポンプ室３０ａ、３０ｂは可動子１０の両端面と上フレーム２０ａの本体２２ａ、下フレーム２０ｂの本体２２ｂとの間に形成される空隙部分に相当する。
本実施形態では、上フレーム２０ａの本体２２ａが可動子１０の一方の端面に形成された凹部１０ａ内に突出するように形成され、同様に、下フレーム２０ｂの本体２２ｂが可動子１０の他方の端面に形成された凹部１０ａ内に突出するように形成されて、ポンプ室３０ａ、３０ｂは断面形状で屈曲した空間部に形成されている。
【００１６】
３２は本体２２ａ、２２ｂの端面に取り付けたダンパーである。ダンパー３２は可動子１０の移動範囲の終端位置でインナーヨーク１４ａ、１４ｂが本体２２ａ、２２ｂの端面に当接した際の衝撃を吸収するために設けられている。なお、ダンパーは本体２２ａ、２２ｂの端面に設けるかわりに、インナーヨーク１４ａ、１４ｂの端面で、本体２２ａ、２２ｂに当接する面に設けてもよい。
【００１７】
３４ａは上フレーム２０ａの本体２２ａ内にポンプ室３０ａに連通して設けられた吸入用バルブ、３６ａは本体２２ａ内にポンプ室３０ａに連通して設けられた送出用バルブである。３４ｂは下フレーム２０ｂの本体２２ｂ内にポンプ室３０ｂに連通して設けられた吸入用バルブ、３６ｂは本体２２ｂ内にポンプ室３０ｂに連通して設けられた送出用バルブである。
本実施形態では、可動子１０の凹部１０ａ内に突出する本体２２ａ、２２ｂの内部に吸入用バルブ３４ａ、３４ｂと送出用バルブ３６ａ、３６ｂを設けることにより、吸入用バルブ３４ａ、３４ｂと送出用バルブ３６ａ、３６ｂをシリンダの長さ範囲内に収容して、ポンプ装置の薄型化を図っている。
【００１８】
３８ａ、３８ｂは吸入用バルブ３４ａ、３４ｂに連通させて、上フレーム２０ａと下フレーム２０ｂに設けた吸入用流路である。４０ａ、４０ｂは送出用バルブ３６ａ、３６ｂに連通させて、上フレーム２０ａと下フレーム２０ｂに設けた送出用流路である。
４２は上フレーム２０ａの吸入用流路３８ａと下フレーム２０ｂの吸入用流路３８ｂとを連通する連通管、４４は上フレーム２０ａの送出用流路４０ａと下フレーム２０ｂの送出用流路４０ｂとを連通する連通管である。これによって、上フレーム２０ａと下フレーム２０ｂの吸入用流路と送出用流路が各々、一つの吸入口３８と送出口４０に連通する。なお、連通管４２、４４は、図４に示すように前記アウターヨーク５２に貫通孔として形成し、貫通孔を介して吸入用流路と送出用流路とを相互に連通させるようにしてもよい。
【００１９】
図１で、５０ａ、５０ｂは筒体部２４、すなわちシリンダの外周囲を囲むように配置した空芯の電磁コイルである。電磁コイル５０ａ、５０ｂはシリンダの軸線方向に若干離間させ、シリンダの軸線方向の中心位置に対して均等位置となるように配置されている。電磁コイル５０ａ、５０ｂはインナーヨーク１４ａ、１４ｂのフランジ部１５ｂの可動範囲よりも軸線長を長く設定されている。
なお、電磁コイル５０ａと電磁コイル５０ｂとは巻き線方向が逆向きであり、同一電源による通電によって、互いに逆向きの電流が流れるように設定されている。電磁コイル５０ａ、５０ｂの巻き線方向を逆向きにしているのは、マグネット１２の磁束と鎖交する電磁コイル５０ａ、５０ｂに流れる電流に作用する力が重畳して、反力として可動子１０に作用し、この力が推力になるためである。
【００２０】
５２は電磁コイル５０ａ、５０ｂの外周囲を囲む筒状に形成した、軟磁性材からなるアウターヨークである。アウターヨーク５２により電磁コイル５０ａ、５０ｂの外周囲を囲むことにより、電磁力を効果的に可動子１０に作用させることができる。
可動子１０を構成するインナーヨーク１４ａ、１４ｂの周辺部にフランジ部１５ｂを起立させて設けているのも、マグネット１２の磁気回路の抵抗を下げ、マグネット１２が発生する総磁束量を増加させると共に、マグネット１２が発生した磁束が電磁コイル５０ａ、５０ｂに流れる電流と軸線方向に対して直角に鎖交させることで、軸線方向の推力を効果的に発生させるためである。また、本構成による可動子１０は発生推力に比して質量が軽くなるため、高速応答が可能となり、出力流量も増加できる。
【００２１】
電磁コイル５０ａ、５０ｂおよびアウターヨーク５２は、上フレーム２０ａと下フレーム２０ｂとを組み合わせる際に、上フレーム２０ａと下フレーム２０ｂに設けた嵌合溝２８にアウターヨーク５２を嵌合させることによってシリンダ（筒体部２４）と同芯に組み付けることができる。図２に、可動子１０と電磁コイル５０ａ、５０ｂとアウターヨーク５２との配置を示す。
【００２２】
可動子１０は、電磁コイル５０ａ、５０ｂに交番電流を通電することにより、電磁コイル５０ａ、５０ｂによって発生する電磁力の作用により往復駆動（上下動）される。電磁コイル５０ａ、５０ｂによる電磁力は、電磁コイル５０ａ、５０ｂへの通電方向によって可動子１０を一方向と他方向へ押動するから、制御装置により、電磁コイル５０ａ、５０ｂへの通電時間、通電方向を制御することによって可動子１０を適宜ストロークで往復駆動させることができる。可動子１０のインナーヨーク１４ａ、１４ｂの端面が上フレーム２０ａの本体２２ａおよび下フレーム２０ｂの本体２２ｂの端面に衝突しないよう可動子１０を往復動させることにより装置の振動の発生を抑えることができる。可動子１０が本体２２ａ、２２ｂの内面に当接した際には、ダンパー３２の作用によって衝撃を吸収することができる。
【００２３】
なお、シリンダ内における可動子１０の移動位置を検出するセンサを設けておき、センサの検知信号に基づいて可動子１０の往復動を制御することもできる。可動子１０の移動位置を検知する方法としては、シリンダの外部に可動子１０の移動位置を検知する磁気検知センサを設ける方法、ダンパー３２に感圧センサを設けて、可動子１０がダンパー３２に接触した時点を検知する方法等が可能である。本実施形態の電磁式ポンプでは可動子１０の移動ストロークが比較的小さいがポンプ室３０ａ、３０ｂは比較的広い面積を確保することができるから、可動子１０を高速で往復動させることによって一定の流量を確保することが可能である。
【００２４】
本実施形態の電磁式ポンプのポンプ作用は、電磁コイル５０ａ、５０ｂによって可動子１０を往復動させることにより、ポンプ室３０ａ、３０ｂに交互に流体が吸入され、送出される作用によってなされる。
すなわち、図１の状態で、可動子１０が下方に移動すると、一方のポンプ室３０ａには流体が導入され、同時に他方のポンプ室３０ｂからは流体が送出される。また、逆に可動子１０が上方に移動すると、一方のポンプ室３０ａからは流体が送出され、他方のポンプ室３０ｂに流体が導入される。こうして、可動子１０がどちらの側へ移動する際にも流体の吸排がなされ、流体の脈動を抑え、効率的に流体を輸送することが可能となる。
【００２５】
本実施形態の電磁式ポンプは可動子１０に、フランジ部１５ｂを備えたインナーヨーク１４ａ、１４ｂを取り付け、可動子１０の両端面に近接して吸入用バルブ３４ａ、３４ｂと送出用バルブ３６ａ、３６ｂを設けることによって、きわめて薄型で小型のポンプとして提供することが可能となった。実施形態の電磁式ポンプの場合は、高さ１５ｍｍ、幅２０ｍｍ程度の小型ポンプに形成することができる。
【００２６】
また、本実施形態の電磁式ポンプは気体あるいは液体の輸送に使用することができ、流体の種類が限定されるものではない。液体ポンプとして使用する際に、可動子１０が一つでは輸送圧力が不足するような場合には、図３に示すように、マグネット１２とインナーヨーク１４ａ、１４ｂからなる同形の単位可動子を複数個連結した多段型の可動子１０を使用すればよい。５４は隣接するインナーヨーク１４ａ、１４ｂの間に配置した非磁性材である。マグネット１２の磁極の向きを一方向にそろえ、各々の単位可動子ごとに、上述した実施形態と同様に巻き線の向きを逆向きにした電磁コイル５０ａ、５０ｂを配置する。５２はすべての電磁コイル５０ａ、５０ｂの外周を囲むように設けたアウターヨークである。単位可動子を多段に連結することによって、大きな推力を備えた可動子とすることができ、所要の輸送圧力を備えた電磁式ポンプとすることができる。
【００２７】
なお、上記実施形態においては、可動子１０に装着したインナーヨーク１４ａ、１４ｂにフランジ部１５ｂを設ける構成としたが、インナーヨーク１４ａ、１４ｂにフランジ部１５ｂを設けずに、インナーヨーク１４ａ、１４ｂを単板状に形成することも可能である。この場合は可動子１０の質量が増加するため高速応答性が劣化し、ポンプ装置の薄型化が若干阻害されるが、構造は簡単になり、生産性の向上と生産コストの削減が可能になる。
【００２８】
また、上記実施形態においては、可動子１０にマグネット１２を装着し、マグネット１２をインナーヨーク１４ａ、１４ｂによって挟持した構成としたが、可動子１０はマグネット１２を常に備えていなければならない訳ではない。可動子１０を磁性体によって形成し、電磁コイル５０ａ、５０ｂの一方に対して可動子１０が偏位した位置にある場合は、一方の電磁コイルにのみ通電して可動子１０を軸線方向に移動させ、他方の電磁コイルに対して偏位位置まで移動したところで、他方の電磁コイルに通電し、一方の電磁コイルへの通電を停止することによって再度可動子を逆方向に移動させることができる。このように、一対の電磁コイルに対する通電をＯＮ−ＯＦＦ制御することによっても可動子１０を軸線方向に往復動させることが可能である。
【００２９】
また、図１に示す電磁式ポンプは、可動子１０の一方側と他方側に設けられた吸入用流路３８ａ、３８ｂを連通し、可動子１０の一方側と他方側に設けられた送出用流路４０ａ、４０ｂを連通して、いわば、並列的に流路を連通させた例であるが、複数の電磁式ポンプを直列に流路を連通して使用することも可能である。この場合は、送出用流路４０ａを吸入用流路３８ｂに連通するか、送出用流路４０ｂを吸入用流路３８ａに連通させればよい。
【００３０】
【発明の効果】
本発明による電磁式ポンプは、上述したように、気体あるいは液体のポンプ作用をなすポンプ装置としてきわめて小型かつ薄型に形成することができ、的確なポンプ作用を可能として、電子機器の冷却用ポンプ装置等として好適に利用することができる等の著効を奏する。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る電磁式ポンプの構成を示す断面図である。
【図２】電磁式ポンプの可動子の構成を示す斜視図である。
【図３】多段型に形成した可動子の構成を示す断面図である。
【図４】アウターヨークに貫通孔を設けて連通管とした例を示す説明図である。
【符号の説明】
１０可動子
１０ａ凹部
１２マグネット
１４ａ、１４ｂインナーヨーク
１５ｂフランジ部
１６封止材
２０ａ上フレーム
２０ｂ下フレーム
２２ａ、２２ｂ本体
２４筒体部
２９シール材
３０ａ、３０ｂポンプ室
３２ダンパー
３４ａ、３４ｂ吸入用バルブ
３６ａ、３６ｂ送出用バルブ
３８ａ、３８ｂ吸入用流路
４０ａ、４０ｂ送出用流路
４２、４４連通管
５０ａ、５０ｂ電磁コイル
５２アウターヨーク

Claims

一対のフレーム体により両端面が閉止されたシリンダ内に、前記各々のフレーム体の端面との間をポンプ室として摺動可能に磁性体を備えた可動子を設け、前記シリンダの外周囲に空芯の電磁コイルを配置し、電磁コイルに通電して前記可動子をシリンダの軸線方向に往復駆動することにより流体を輸送する電磁式ポンプであって、
前記フレーム体の前記シリンダの端面領域内に、前記ポンプ室と外部とを連通する吸入用バルブと送出用バルブとが設けられ、
前記可動子が、シリンダの軸線方向に磁化したマグネットを一対のインナーヨークにより挟持して形成され、
該インナーヨークが、マグネットを挟持する平板部の周縁部に、電磁コイルに対向する配置に、シリンダの内面に摺接する短筒状のフランジ部が設けられていて、
前記吸入用バルブと送出用バルブとが、前記インナーヨークのフランジ部の内側に形成される凹部内に配置されていることを特徴とする電磁式ポンプ。
前記フレーム体が、非磁性体からなることを特徴とする請求項１記載の電磁式ポンプ。
前記シリンダの軸線方向に磁化したマグネットを一対のインナーヨークにより挟持することにより単位可動子を形成し、該単位可動子が非磁性材を介して軸線方向に複数個連結して設けられていることを特徴とする請求項１または２記載の電磁式ポンプ。
前記インナーヨークによって挟まれたマグネットの外周面が、非磁性材料からなる封止材により封止されていることを特徴とする請求項１〜３のいずれか一項記載の電磁式ポンプ。
前記封止材の外周径が、前記インナーヨークの外周径よりも小径に形成されていることを特徴とする請求項４記載の電磁式ポンプ。
前記電磁コイルの外周に、電磁コイルを囲む軟磁性材料からなるアウターヨークが設けられていることを特徴とする請求項１〜５のいずれか一項記載の電磁式ポンプ。
前記電磁コイルのシリンダの軸線方向の長さが、ポンプ室内でのインナーヨークの可動範囲よりも長く設けられていることを特徴とする請求項１〜６のいずれか一項記載の電磁式ポンプ。
前記フレーム体の端面に、可動子がフレーム体の端面に当接した際の衝撃を緩和するダンパーが設けられていることを特徴とする請求項１〜７のいずれか一項記載の電磁式ポンプ。
前記可動子の前記フレーム体の端面に対向する面に、可動子がフレーム体の端面に当接した際の衝撃を緩和するダンパーが設けられていることを特徴とする請求項１〜８のいずれか一項記載の電磁式ポンプ。
前記可動子の一方の面側に設けられたポンプ室の吸入用流路と、前記可動子の他方の面側に設けられたポンプ室の吸入用流路とが連通して設けられ、前記可動子の一方の面側に設けられたポンプ室の送出用流路と、前記可動子の他方の面側に設けられたポンプ室の送出用流路とが連通して設けられていることを特徴とする請求項１〜９のいずれか一項記載の電磁式ポンプ。
前記可動子の一方の面側に設けられたポンプ室の吸入用流路が、前記可動子の他方の面側に設けられたポンプ室の送出用流路に連通して設けられていることを特徴とする請求項１〜９のいずれか一項記載の電磁式ポンプ。
前記可動子の移動位置を検知するセンサを設け、該センサの検知信号に基づいて可動子が駆動制御されることを特徴とする請求項１〜１１記載の電磁式ポンプ。