JPH10215146A - 弾性表面波装置 - Google Patents
弾性表面波装置Info
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- JPH10215146A JPH10215146A JP1644097A JP1644097A JPH10215146A JP H10215146 A JPH10215146 A JP H10215146A JP 1644097 A JP1644097 A JP 1644097A JP 1644097 A JP1644097 A JP 1644097A JP H10215146 A JPH10215146 A JP H10215146A
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- reflector
- resonator
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 小型化が可能であるとともに、例えば通過帯
域内におけるリップルを低減でき、良好な周波数特性を
有した優れた弾性表面波装置を提供すること。 【解決手段】 圧電基板１上に、櫛歯状の駆動電極と該
駆動電極を挟む一対の反射器電極とから成る共振子の複
数を直列及び並列に接続して、梯子型回路を形成した弾
性表面波装置Ｆであって、直列に接続した直列共振子２
を成す反射器電極の電極線数が、並列に接続した並列共
振子３を成す反射器電極の電極線数より多いことを特徴
とする。
域内におけるリップルを低減でき、良好な周波数特性を
有した優れた弾性表面波装置を提供すること。 【解決手段】 圧電基板１上に、櫛歯状の駆動電極と該
駆動電極を挟む一対の反射器電極とから成る共振子の複
数を直列及び並列に接続して、梯子型回路を形成した弾
性表面波装置Ｆであって、直列に接続した直列共振子２
を成す反射器電極の電極線数が、並列に接続した並列共
振子３を成す反射器電極の電極線数より多いことを特徴
とする。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は自動車電話や携帯電
話などの小型移動体無線機器に搭載される弾性表面波フ
ィルタ等の弾性表面波装置に関するものである。
話などの小型移動体無線機器に搭載される弾性表面波フ
ィルタ等の弾性表面波装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】現在、ＴＶ，ＶＴＲ，移動体通信などに
は、弾性表面波フィルタが多く使用されており、このよ
うな弾性表面波フィルタとして圧電基板上に櫛歯状の駆
動電極（以下、ＩＤＴ（Inter Digital Transducer）電
極という）が形成され、そのＩＤＴ電極でもって電気信
号を弾性表面波に変換させる、いわゆる梯子型回路（ラ
ダー型回路）が形成された弾性表面波フィルタが提案さ
れている。
は、弾性表面波フィルタが多く使用されており、このよ
うな弾性表面波フィルタとして圧電基板上に櫛歯状の駆
動電極（以下、ＩＤＴ（Inter Digital Transducer）電
極という）が形成され、そのＩＤＴ電極でもって電気信
号を弾性表面波に変換させる、いわゆる梯子型回路（ラ
ダー型回路）が形成された弾性表面波フィルタが提案さ
れている。
【０００３】上記弾性表面波フィルタについて、図７に
基づき説明する。図７は弾性表面波フィルタＪにおい
て、タンタル酸リチウム等の圧電基板１１上に、直列に
接続された共振子（以下、直列共振子という）１２と並
列に接続された共振子（以下、並列共振子という）１３
とを接続させた様子を模式的に示した図であり、１２
ａ，１３ａはそれぞれＩＤＴ電極、１２ｂ，１３ｂはそ
れぞれ反射器電極であり、直列共振子１２は、ＩＤＴ電
極１２ａと、このＩＤＴ電極１２ａを挟む一対の反射器
電極１２ｂ，１２ｂとから構成される。また、並列共振
子１３は、ＩＤＴ電極１３ａと、このＩＤＴ電極１３ａ
を挟む一対の反射器電極１３ｂ，１３ｂとから構成され
ている。なお、図において、ＩＤＴ電極１２ａ，１３
ａ、及び反射器電極１２ｂ，１３ｂの電極線の態様はあ
くまで模式的なものであって、その電極線数は図示され
ている本数と同一ではない。直列共振子１２及び並列共
振子１３には入出力用の信号電極１４が接続されてお
り、並列共振子１３にはグランド電極１５が接続されて
いる。
基づき説明する。図７は弾性表面波フィルタＪにおい
て、タンタル酸リチウム等の圧電基板１１上に、直列に
接続された共振子（以下、直列共振子という）１２と並
列に接続された共振子（以下、並列共振子という）１３
とを接続させた様子を模式的に示した図であり、１２
ａ，１３ａはそれぞれＩＤＴ電極、１２ｂ，１３ｂはそ
れぞれ反射器電極であり、直列共振子１２は、ＩＤＴ電
極１２ａと、このＩＤＴ電極１２ａを挟む一対の反射器
電極１２ｂ，１２ｂとから構成される。また、並列共振
子１３は、ＩＤＴ電極１３ａと、このＩＤＴ電極１３ａ
を挟む一対の反射器電極１３ｂ，１３ｂとから構成され
ている。なお、図において、ＩＤＴ電極１２ａ，１３
ａ、及び反射器電極１２ｂ，１３ｂの電極線の態様はあ
くまで模式的なものであって、その電極線数は図示され
ている本数と同一ではない。直列共振子１２及び並列共
振子１３には入出力用の信号電極１４が接続されてお
り、並列共振子１３にはグランド電極１５が接続されて
いる。
【０００４】ここで、直列共振子１２、並列共振子１
３、信号電極１４、及びグランド電極１５は、それぞれ
スパッタ法や蒸着法などによって形成されたアルミニウ
ム等の金属膜から成るものであり、直列共振子１２及び
並列共振子１３の配置態様を変えたり、ＩＤＴ電極１２
ａ，１３ａ及び反射器電極１２ｂ，１３ｂの電極形状等
を適宜設定することにより、所望の周波数特性が得られ
るようにしている。
３、信号電極１４、及びグランド電極１５は、それぞれ
スパッタ法や蒸着法などによって形成されたアルミニウ
ム等の金属膜から成るものであり、直列共振子１２及び
並列共振子１３の配置態様を変えたり、ＩＤＴ電極１２
ａ，１３ａ及び反射器電極１２ｂ，１３ｂの電極形状等
を適宜設定することにより、所望の周波数特性が得られ
るようにしている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】上記構成の弾性表面波
フィルタＪは、弾性表面波の十分な反射量を確保するこ
とにより、通過帯域内において挿入損失を低減すること
ができるので、少なくとも反射器電極１２ｂ，１３ｂの
電極線数をそれぞれ１００本以上としており、さらに、
反射器電極１２ｂ，１３ｂの電極線数は、電極を同一膜
厚に形成するなどの理由から、直列共振子１２及び並列
共振子１３の双方において、それぞれ同一本数とするの
が一般的であった。
フィルタＪは、弾性表面波の十分な反射量を確保するこ
とにより、通過帯域内において挿入損失を低減すること
ができるので、少なくとも反射器電極１２ｂ，１３ｂの
電極線数をそれぞれ１００本以上としており、さらに、
反射器電極１２ｂ，１３ｂの電極線数は、電極を同一膜
厚に形成するなどの理由から、直列共振子１２及び並列
共振子１３の双方において、それぞれ同一本数とするの
が一般的であった。
【０００６】しかしながら、反射器電極の電極線数を多
くすると、それに対応するために圧電基板自体を大きく
する必要があり、ひいては弾性表面波フィルタが大型化
することになり問題である。
くすると、それに対応するために圧電基板自体を大きく
する必要があり、ひいては弾性表面波フィルタが大型化
することになり問題である。
【０００７】また、反射器電極の電極線数を直列共振子
及び並列共振子の双方において等しくすると、バルク波
放射が原因の***振点より高周波側に発生したリップル
（偏差）の影響で、通過帯内のリップルが増大すること
が判明した。
及び並列共振子の双方において等しくすると、バルク波
放射が原因の***振点より高周波側に発生したリップル
（偏差）の影響で、通過帯内のリップルが増大すること
が判明した。
【０００８】そこで本発明では、叙上の問題点を解消
し、小型化が可能であるとともに、例えば通過帯域内に
おけるリップルを低減でき、良好な周波数特性を有した
優れた弾性表面波装置を提供することを目的とする。
し、小型化が可能であるとともに、例えば通過帯域内に
おけるリップルを低減でき、良好な周波数特性を有した
優れた弾性表面波装置を提供することを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決する本発
明の弾性表面波装置は、圧電基板上に、櫛歯状の駆動電
極と該駆動電極を挟む一対の反射器電極とから成る共振
子の複数を直並列に接続して、梯子型回路を形成した弾
性表面波装置であって、直列に接続された共振子（直列
共振子）を成す反射器電極の電極線数が、並列に接続さ
れた共振子（並列共振子）を成す反射器電極の電極線数
より多いことを特徴とする。
明の弾性表面波装置は、圧電基板上に、櫛歯状の駆動電
極と該駆動電極を挟む一対の反射器電極とから成る共振
子の複数を直並列に接続して、梯子型回路を形成した弾
性表面波装置であって、直列に接続された共振子（直列
共振子）を成す反射器電極の電極線数が、並列に接続さ
れた共振子（並列共振子）を成す反射器電極の電極線数
より多いことを特徴とする。
【００１０】さらに、直列共振子の反射器電極の電極線
数をＭｓ、並列共振子の反射器電極の電極線数をＭｐと
したときに、１５ ＜ Ｍｓ ＜ ３０、１４ ≧ Ｍ
ｐ≧５の関係を共に満足することを特徴とする。この関
係を満足する圧電基板としては、タンタル酸リチウム
（ＬｉＴａＯ3 ）単結晶が好適であり、特に主面が３６
°ＹカットＸ伝搬の基板が最適である。
数をＭｓ、並列共振子の反射器電極の電極線数をＭｐと
したときに、１５ ＜ Ｍｓ ＜ ３０、１４ ≧ Ｍ
ｐ≧５の関係を共に満足することを特徴とする。この関
係を満足する圧電基板としては、タンタル酸リチウム
（ＬｉＴａＯ3 ）単結晶が好適であり、特に主面が３６
°ＹカットＸ伝搬の基板が最適である。
【００１１】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施形態について
図面に基づき説明する。図１は本発明の弾性表面波装置
である弾性表面波フィルタＦを説明する平面図であり、
弾性表面波フィルタＦにおいて、ニオブ酸リチウム、四
ホウ酸リチウム、もしくはタンタル酸リチウム等の圧電
基板１上に、直列共振子２と並列共振子３とを接続させ
た様子を模式的に示した電極配置図である。
図面に基づき説明する。図１は本発明の弾性表面波装置
である弾性表面波フィルタＦを説明する平面図であり、
弾性表面波フィルタＦにおいて、ニオブ酸リチウム、四
ホウ酸リチウム、もしくはタンタル酸リチウム等の圧電
基板１上に、直列共振子２と並列共振子３とを接続させ
た様子を模式的に示した電極配置図である。
【００１２】また、直列共振子２は、ＩＤＴ電極２ａ
と、このＩＤＴ電極２ａを挟む一対の反射器電極２ｂ，
２ｂとから構成され、並列共振子３は、ＩＤＴ電極３ａ
と、このＩＤＴ電極３ａを挟む一対の反射器電極３ｂ，
３ｂとから構成されている。なお、図７において、各共
振子を構成するＩＤＴ電極及び反射器電極の電極線（電
極指ともいう）の態様及びその本数は、あくまで模式
的、イメージ的なものであって、電極線を正確に図示し
たものではない。
と、このＩＤＴ電極２ａを挟む一対の反射器電極２ｂ，
２ｂとから構成され、並列共振子３は、ＩＤＴ電極３ａ
と、このＩＤＴ電極３ａを挟む一対の反射器電極３ｂ，
３ｂとから構成されている。なお、図７において、各共
振子を構成するＩＤＴ電極及び反射器電極の電極線（電
極指ともいう）の態様及びその本数は、あくまで模式
的、イメージ的なものであって、電極線を正確に図示し
たものではない。
【００１３】直列共振子２、並列共振子３、信号電極
４、及びグランド電極５は、それぞれスパッタ法や蒸着
法などの各種薄膜成膜法により形成された、アルミニウ
ムやアルミニウムを主成分とする合金（Ａｌ−Ｓｉ系，
Ａｌ−Ｃｕ系，Ａｌ−Ｔｉ系等）を主体とする金属膜か
ら成るものであって、直列共振子２及び並列共振子３の
配置態様やＩＤＴ電極２ａ，３ａ及び反射器電極２ｂ，
３ｂの電極形状等を適当なものとすることにより所望の
周波数特性が得られる。
４、及びグランド電極５は、それぞれスパッタ法や蒸着
法などの各種薄膜成膜法により形成された、アルミニウ
ムやアルミニウムを主成分とする合金（Ａｌ−Ｓｉ系，
Ａｌ−Ｃｕ系，Ａｌ−Ｔｉ系等）を主体とする金属膜か
ら成るものであって、直列共振子２及び並列共振子３の
配置態様やＩＤＴ電極２ａ，３ａ及び反射器電極２ｂ，
３ｂの電極形状等を適当なものとすることにより所望の
周波数特性が得られる。
【００１４】特に、通過帯域８５０〜８６５ＭＨｚにお
いて挿入損失を−３．５ｄＢ以下を実現させるために、
圧電基板として３６°ＹカットＸ伝搬のタンタル酸リチ
ウム単結晶を用い、上記各共振子２，３、信号電極４、
グランド電極５の材料としてアルミニウムを使用し、且
つその規格化膜厚（Ｈ／λ：Ｈは膜厚、λは弾性表面波
の波長）を０．１以下とする。
いて挿入損失を−３．５ｄＢ以下を実現させるために、
圧電基板として３６°ＹカットＸ伝搬のタンタル酸リチ
ウム単結晶を用い、上記各共振子２，３、信号電極４、
グランド電極５の材料としてアルミニウムを使用し、且
つその規格化膜厚（Ｈ／λ：Ｈは膜厚、λは弾性表面波
の波長）を０．１以下とする。
【００１５】そして、直列共振子２及び並列共振子３を
構成するＩＤＴ電極２ａ，３ａのそれぞれの対数を６０
〜８０対、それぞれの交差幅を１５λ〜３０λとし、さ
らに、直列共振子２の反射器電極の電極線数をＭｓ、並
列共振子の反射器電極の電極線数をＭｐとしたときに、
１５ ＜ Ｍｓ ＜ ３０、１４ ≧ Ｍｐ ≧ ５の
関係を共に満足するように構成すると、上記通過帯域内
でリップルが非常に低減される（０．２ｄＢ以下）こと
が判明した。ここで、Ｍｐを５以上としたのは、急峻性
（ピーク・バレイ：Ｐ／Ｖ、肩特性ともいう）が低くな
り特性が劣化するからである。
構成するＩＤＴ電極２ａ，３ａのそれぞれの対数を６０
〜８０対、それぞれの交差幅を１５λ〜３０λとし、さ
らに、直列共振子２の反射器電極の電極線数をＭｓ、並
列共振子の反射器電極の電極線数をＭｐとしたときに、
１５ ＜ Ｍｓ ＜ ３０、１４ ≧ Ｍｐ ≧ ５の
関係を共に満足するように構成すると、上記通過帯域内
でリップルが非常に低減される（０．２ｄＢ以下）こと
が判明した。ここで、Ｍｐを５以上としたのは、急峻性
（ピーク・バレイ：Ｐ／Ｖ、肩特性ともいう）が低くな
り特性が劣化するからである。
【００１６】かくして、上記構成の弾性表面波フィルタ
Ｆによれば、反射器電極の電極線数を１００本よりずっ
と少なくしたので、全体のサイズを小さくすることがで
き、その上、直列共振子の反射器電極の電極線数を並列
共振子の反射器電極の電極線数より多くすることによ
り、特に通過帯域の高周波側の肩特性をより急峻にする
ことができ、通過帯域内のリップルを極力抑えることが
でき、非常に良好な特性を得ることができるのである。
なお、並列側を多くすると、バルク波放射の影響により
***振点より高周波側に発生リップルが発生して特性が
劣化する。
Ｆによれば、反射器電極の電極線数を１００本よりずっ
と少なくしたので、全体のサイズを小さくすることがで
き、その上、直列共振子の反射器電極の電極線数を並列
共振子の反射器電極の電極線数より多くすることによ
り、特に通過帯域の高周波側の肩特性をより急峻にする
ことができ、通過帯域内のリップルを極力抑えることが
でき、非常に良好な特性を得ることができるのである。
なお、並列側を多くすると、バルク波放射の影響により
***振点より高周波側に発生リップルが発生して特性が
劣化する。
【００１７】
【実施例】以下に具体的な実施例について説明する。ま
ず、圧電基板であるウエハーとして３６°ＹカットＸ伝
搬のタンタル酸リチウム単結晶を用意した。この圧電基
板の一主面上に、アルミニウムを主成分とする微細電極
パターンを形成した。このパターンはＤｅｅｐ−ＵＶ光
を用いた密着露光機によるフォトリソグラフィでもって
作製を行った。また、成膜には電子ビーム蒸着で行い、
電極の膜厚を約５０００Åとした。不要パターンの除去
にはレジスト剥離液中でリフトオフ法により行って、所
望形状の電極パターンを成す直列共振子及び並列共振子
を形成させた。
ず、圧電基板であるウエハーとして３６°ＹカットＸ伝
搬のタンタル酸リチウム単結晶を用意した。この圧電基
板の一主面上に、アルミニウムを主成分とする微細電極
パターンを形成した。このパターンはＤｅｅｐ−ＵＶ光
を用いた密着露光機によるフォトリソグラフィでもって
作製を行った。また、成膜には電子ビーム蒸着で行い、
電極の膜厚を約５０００Åとした。不要パターンの除去
にはレジスト剥離液中でリフトオフ法により行って、所
望形状の電極パターンを成す直列共振子及び並列共振子
を形成させた。
【００１８】ここで、ＩＤＴ電極の対数を８０対、交差
幅を２０λ、弾性表面波の波長を略４．４μm とした
（ただし、弾性表面波の波長は直列共振子と並列共振子
とで若干異なる）。また、梯子型回路の段数を３．５段
とした。さらに、反射器電極の電極線数を１００本より
少なくし、反射器電極の電極線数を並列共振子において
１０本、直列共振子においてはこれより多い６０本とし
た。
幅を２０λ、弾性表面波の波長を略４．４μm とした
（ただし、弾性表面波の波長は直列共振子と並列共振子
とで若干異なる）。また、梯子型回路の段数を３．５段
とした。さらに、反射器電極の電極線数を１００本より
少なくし、反射器電極の電極線数を並列共振子において
１０本、直列共振子においてはこれより多い６０本とし
た。
【００１９】その後、上記圧電基板をダイシングにより
所定形状・所定の大きさに切断し、エポキシ樹脂等によ
りＳＭＤ（Surface Mounted Device) パッケージ内に固
着させる。さらに、直径３５μm のアルミニウムワイヤ
ーをＳＭＤパッケージのパッド部とチップ上のアルミニ
ウムパッド部上に超音波ボンディング法によりボンディ
ングを行って、しかる後にパッケージリッドにてシーリ
ングして弾性表面波装置を完成させた（サンプル１）。
所定形状・所定の大きさに切断し、エポキシ樹脂等によ
りＳＭＤ（Surface Mounted Device) パッケージ内に固
着させる。さらに、直径３５μm のアルミニウムワイヤ
ーをＳＭＤパッケージのパッド部とチップ上のアルミニ
ウムパッド部上に超音波ボンディング法によりボンディ
ングを行って、しかる後にパッケージリッドにてシーリ
ングして弾性表面波装置を完成させた（サンプル１）。
【００２０】また、上記サンプル１より特性を向上させ
るために、さらに反射器電極本数を減少させたものを用
意した。すなわち、直列共振子の反射器電極の電極線数
を２０本、並列共振子の反射器電極の電極線数を１０本
とし、他の構成についてはサンプル１と同様なサンプル
２を用意した。
るために、さらに反射器電極本数を減少させたものを用
意した。すなわち、直列共振子の反射器電極の電極線数
を２０本、並列共振子の反射器電極の電極線数を１０本
とし、他の構成についてはサンプル１と同様なサンプル
２を用意した。
【００２１】また、上記サンプル１とサンプル２との特
性と比較するための比較用サンプルを用意した。すなわ
ち、直列共振子及び並列共振子のそれぞれの反射器電極
の電極線数を６０本とし、他の構成についてはサンプル
１と同様なもの（比較サンプル１）、直列共振子及び並
列共振子のそれぞれの反射器電極の電極線数を２０本と
し、他の構成についてはサンプル１と同様なもの（比較
サンプル２）、そして、直列共振子及び並列共振子のそ
れぞれの反射器電極の電極線数を１０本とし、他の構成
についてはサンプル１と同様なもの（比較サンプル３）
をそれぞれ用意した。
性と比較するための比較用サンプルを用意した。すなわ
ち、直列共振子及び並列共振子のそれぞれの反射器電極
の電極線数を６０本とし、他の構成についてはサンプル
１と同様なもの（比較サンプル１）、直列共振子及び並
列共振子のそれぞれの反射器電極の電極線数を２０本と
し、他の構成についてはサンプル１と同様なもの（比較
サンプル２）、そして、直列共振子及び並列共振子のそ
れぞれの反射器電極の電極線数を１０本とし、他の構成
についてはサンプル１と同様なもの（比較サンプル３）
をそれぞれ用意した。
【００２２】上記各サンプルの周波数特性についてネッ
トワークアナライザ（ヒューレットパッカード社製、Ｈ
Ｐ−８７５３Ｃ）を用いて測定した結果を図２〜図６に
示す。通過帯域８５０〜８６５ＭＨｚ（中心周波数８５
７．５ＭＨｚ）において、図２及び図３から明らかなよ
うに、サンプル１及びサンプル２ではリップルがほとん
どない優れた特性を示し（サンプル１：０．４ｄＢ，サ
ンプル２：０．１ｄＢ）、挿入損失も低いものであった
（最大損失；サンプル１：−２．１ｄＢ，サンプル２：
−１．９ｄＢ）。
トワークアナライザ（ヒューレットパッカード社製、Ｈ
Ｐ−８７５３Ｃ）を用いて測定した結果を図２〜図６に
示す。通過帯域８５０〜８６５ＭＨｚ（中心周波数８５
７．５ＭＨｚ）において、図２及び図３から明らかなよ
うに、サンプル１及びサンプル２ではリップルがほとん
どない優れた特性を示し（サンプル１：０．４ｄＢ，サ
ンプル２：０．１ｄＢ）、挿入損失も低いものであった
（最大損失；サンプル１：−２．１ｄＢ，サンプル２：
−１．９ｄＢ）。
【００２３】これに対して、比較用サンプルにおいて
は、図４〜図６から明らかなように、通過帯域において
リップルが大きく（比較サンプル１：０．６ｄＢ，比較
サンプル２：０．６ｄＢ，比較サンプル３：０．３ｄ
Ｂ）、特性カーブも悪いものであった。
は、図４〜図６から明らかなように、通過帯域において
リップルが大きく（比較サンプル１：０．６ｄＢ，比較
サンプル２：０．６ｄＢ，比較サンプル３：０．３ｄ
Ｂ）、特性カーブも悪いものであった。
【００２４】さらに、サンプル１及びサンプル２では、
反射器電極の大きさが低減されるので、例えば反射器本
数を直列共振子及び並列共振子ともに１００本のものに
比べて、圧電基板サイズが約１／２程度になり大幅な小
型化が実現された。
反射器電極の大きさが低減されるので、例えば反射器本
数を直列共振子及び並列共振子ともに１００本のものに
比べて、圧電基板サイズが約１／２程度になり大幅な小
型化が実現された。
【００２５】
【発明の効果】以上のとおり、本発明の弾性表面波装置
によれば、直列共振子の反射器電極の電極線数が並列に
接続した並列共振子の反射器電極の電極線数より多いの
で、フィルタ特性に及ぼす並列共振子のリップルの影響
がないので、特性の非常に優れた弾性表面波装置を提供
できる。
によれば、直列共振子の反射器電極の電極線数が並列に
接続した並列共振子の反射器電極の電極線数より多いの
で、フィルタ特性に及ぼす並列共振子のリップルの影響
がないので、特性の非常に優れた弾性表面波装置を提供
できる。
【００２６】また、特に直列共振子の反射器電極の電極
線数をＭｓ、並列共振子の反射器電極の電極線数をＭｐ
としたときに、１５＜Ｍｓ＜３０、で且つ１４≧Ｍｐ≧
５としたので、より良好な特性を得るとともに、装置全
体の大幅な小型化を実現することができ、製造時の歩留
りも向上する。
線数をＭｓ、並列共振子の反射器電極の電極線数をＭｐ
としたときに、１５＜Ｍｓ＜３０、で且つ１４≧Ｍｐ≧
５としたので、より良好な特性を得るとともに、装置全
体の大幅な小型化を実現することができ、製造時の歩留
りも向上する。
【図１】本発明に係る弾性表面波装置（弾性表面波フィ
ルタ）の直列共振子と並列共振子とを圧電基板上に接続
させた様子を説明する電極配置図である。
ルタ）の直列共振子と並列共振子とを圧電基板上に接続
させた様子を説明する電極配置図である。
【図２】本発明に係る弾性表面波フィルタ（サンプル
１）の周波数特性図である。
１）の周波数特性図である。
【図３】本発明に係る弾性表面波フィルタ（サンプル
２）の周波数特性図である。
２）の周波数特性図である。
【図４】比較サンプル１の周波数特性図である。
【図５】比較サンプル２の周波数特性図である。
【図６】比較サンプル３の周波数特性図である。
【図７】従来の弾性表面波フィルタの直列共振子と並列
共振子とを圧電基板上に接続させた様子を説明する電極
配置図である。
共振子とを圧電基板上に接続させた様子を説明する電極
配置図である。
１ ： 圧電基板 ２ ： 直列共振子 ３ ： 並列共振子 ２ａ，３ａ ： ＩＤＴ電極 ２ｂ，３ｂ ： 反射器電極 ４ ： 信号電極 ５ ： グランド電極 Ｆ ： 弾性表面波フィルタ
Claims (2)
- 【請求項１】 圧電基板上に、櫛歯状の駆動電極と該駆
動電極を挟む一対の反射器電極とから成る共振子の複数
を直並列接続し、梯子型回路を形成して成る弾性表面波
装置であって、直列に接続される共振子の反射器電極の
電極線数が、並列に接続される並列共振子の反射器電極
の電極線数より多いことを特徴とする弾性表面波装置。 - 【請求項２】 請求項１に記載の弾性表面波装置であっ
て、前記直列に接続される共振子の反射器電極の電極線
数をＭｓ、前記並列に接続される共振子の反射器電極の
電極線数をＭｐとしたときに、下記式（１），（２）を
満足することを特徴とする弾性表面波装置。 １５ ＜ Ｍｓ ＜ ３０ ・・・ （１） １４ ≧ Ｍｐ ≧ ５ ・・・ （２）
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1644097A JPH10215146A (ja) | 1997-01-30 | 1997-01-30 | 弾性表面波装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1644097A JPH10215146A (ja) | 1997-01-30 | 1997-01-30 | 弾性表面波装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10215146A true JPH10215146A (ja) | 1998-08-11 |
Family
ID=11916303
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1644097A Pending JPH10215146A (ja) | 1997-01-30 | 1997-01-30 | 弾性表面波装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH10215146A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6606016B2 (en) | 2000-03-10 | 2003-08-12 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Surface acoustic wave device using two parallel connected filters with different passbands |
| JP2020096291A (ja) * | 2018-12-13 | 2020-06-18 | 太陽誘電株式会社 | 弾性波共振器、フィルタおよびマルチプレクサ |
-
1997
- 1997-01-30 JP JP1644097A patent/JPH10215146A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6606016B2 (en) | 2000-03-10 | 2003-08-12 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Surface acoustic wave device using two parallel connected filters with different passbands |
| JP2020096291A (ja) * | 2018-12-13 | 2020-06-18 | 太陽誘電株式会社 | 弾性波共振器、フィルタおよびマルチプレクサ |
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