JPH10214881A - Ｉｄカードの入出装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 カセット側面の保持部と搬送ロボットの間に
おけるＩＤカードの授受を円滑に行うことができる入出
装置を提供する。 【解決手段】 被処理体Ｗを収納するカセットＣの側面
に形成された保持部５に対してＩＤカードＡを挿入およ
び取出するための入出装置５０であって，保持部５に挿
入されているＩＤカードＡを突き上げるためのプッシャ
５１，５２と，保持部５から取り出したＩＤカードＡを
一時的に保持しておくストッカー１７と，保持部５とス
トッカー１７の上方位置を移動自在であり，かつ，保持
部５とストッカー１７の上方位置において昇降自在に構
成された，搬送ロボット２６とを備えた入出装置５０に
おいて，保持部５からＩＤカードＡを突き上げる際，お
よび／または保持部５にＩＤカードＡを挿入する際に，
ＩＤカードＡを案内するガイド５７，６６を設けたこと
を特徴とする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は，半導体ウェハやＬ
ＣＤ基板等の被処理体を収納するカセットの側面に形成
されたＩＤカード保持部に対してＩＤカードを挿入およ
び取出するための装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】例えば，半導体デバイスの製造工程にお
いては，半導体ウェハ（以下，「ウェハ」という）表面
のパーティクル，有機汚染物等のコンタミネーションを
除去するために洗浄システムが使用されている。その中
でもウェハを処理槽内にて洗浄液に浸漬して洗浄するウ
エット型の洗浄システムは，ウェハに付着したパーティ
クルを効果的に除去できるといった長所がある。

【０００３】このウエット型の洗浄システムは，ウェハ
を収納するカセットが載置されるインタフェイスと，ウ
ェハの洗浄及び乾燥を行う洗浄乾燥部と，これらインタ
フェイスと洗浄乾燥部の間でカセットの搬入および搬出
を行う移載装置を備えている。洗浄乾燥部には，カセッ
トからウェハを取り出す操作を行うローダと，ウェハを
洗浄する種々の洗浄槽及びウェハを乾燥する乾燥槽と，
ウェハをカセットに収納する操作を行うアンローダなど
が設けられている。そして，ロボット等によってインタ
フェイスにカセットが載置されると，該カセットを移載
装置によって洗浄乾燥部に搬入する。次いで，洗浄乾燥
部のローダにおいてこのカセットからウェハを取り出
す。そして，例えばカセット２個分に収納されていた５
０枚のウェハをまとめて各洗浄槽に搬送しながら種々の
液体を用いてバッチ式に洗浄し，更に乾燥槽にてウェハ
を乾燥させる。こうして洗浄および乾燥処理を終了した
ウェハを，アンローダにて再びカセットに収納し，その
カセットを移載装置によってインタフェイスに戻すよう
に構成されている。

【０００４】ところで，最近ではカセットに収納された
ウェハに関する情報などを表示するためのＩＤカードを
カセットの一部に保持させることが行われている。この
ＩＤカードの保持は，カセットの側面に保持部を形成し
ておき，そこにＩＤカードを挿入することによって行わ
れるのが一般的である。そして，このようなＩＤカード
を用いれば，ウェハに関する種々の情報を容易に正確に
把握することができ，洗浄等の制御がし易いといった利
点がある。

【０００５】一方，上記のような洗浄システムにおいて
は，洗浄システムにウェハを搬入する際に使用していた
カセットと，洗浄システムからウェハを搬出する際に使
用されるカセットが一致するとは限らない。特に，洗浄
前のウェハからカセットを介して汚染物質が移転するこ
とを防ぐため，洗浄後のウェハを洗浄前のウェハを収納
していたカセットとは別の清潔なカセットに収納する方
法も行われているが，かかる場合は，搬入時に使用され
るカセットと搬出時に使用されるカセットは必ず別のも
のとなる。このため，洗浄前のウェハを収納していたカ
セットからＩＤカードを取り出し，そのＩＤカードを洗
浄後のウェハを収納した別のカセットに新たに保持させ
直す必要が生じる。

【０００７】そこで，洗浄システムのインタフェイスに
ＩＤカードの入出装置を設け，洗浄前のウェハを収納し
ているカセットからＩＤカードを取り出してそのＩＤカ
ードをストッカーに一時的に保持し，洗浄後のウェハを
収納するカセット側面の保持部にＩＤカードを再び挿入
し直す方法が採用されている。そして，かかる入出装置
は，カセット側面の保持部からＩＤカードを突き上げる
ためのプッシャと，ＩＤカードを保持部上方とストッカ
ーとの間で搬送する搬送ロボットとによって構成されて
いるのが一般的である。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら従来は，
このように入出装置によってＩＤカードを保持部から突
き上げて搬送ロボットで掴む際や，或いは搬送ロボット
を下降させてＩＤカードを保持部に挿入する際に，受け
渡しミスを生じやすかった。このため，受け渡しミスを
生じるたびに装置の稼働を停止させて人為的な対処をす
ることが必要であり，稼働効率を向上させることの妨げ
となっていた。

【０００９】従って本発明の目的は，カセット側面の保
持部と搬送ロボットの間におけるＩＤカードの授受を円
滑に行うことができる入出装置を提供することにある。

【００１０】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に，本発明は，被処理体を収納するカセットの側面に形
成された保持部に対してＩＤカードを挿入および取出す
るための装置であって，保持部に挿入されているＩＤカ
ードを突き上げるためのプッシャと，保持部から取り出
したＩＤカードを一時的に保持しておくストッカーと，
保持部とストッカーの上方位置を移動自在であり，か
つ，保持部とストッカーの上方位置において昇降自在に
構成された，搬送ロボットとを備えた入出装置におい
て，保持部からＩＤカードを突き上げる際，および／ま
たは保持部にＩＤカードを挿入する際に，ＩＤカードを
案内するガイドを設けたことを特徴とする。

【００１１】この入出装置において，ＩＤカード底面と
プッシャ上端の接触する位置が，ＩＤカードの重心の真
下位置からＩＤカード底面の短辺方向に偏心した位置で
あるように構成することが好ましい。また，ストッカー
においてＩＤカード底面を支持する位置が，ＩＤカード
の重心の真下位置からＩＤカード底面の短辺方向に偏心
した位置であるように構成することが好ましい。そして
また，搬送ロボットがＩＤカードを把持しているか否か
を検知するセンサや，プッシャによって突き上げられた
ＩＤカードの有無を検知するセンサや，ストッカーにお
けるＩＤカードの有無を検知するセンサを設けることが
好ましい。

【００１２】

【発明の実施の形態】以下，本発明の好ましい実施の形
態を，被処理体の一例としてのウェハＷを洗浄するため
の洗浄システム１に基づいて説明する。図１は，洗浄シ
ステム１の斜視図である。この洗浄システム１は，図示
しないロボット等によってカセットＣが載置されるイン
タフェイス２と，ウェハの洗浄及び乾燥を行う洗浄乾燥
部３と，これらインタフェイス２と洗浄乾燥部３との間
でカセットＣの搬入および搬出を行う移載装置４を備え
ている。

【００１３】図２は，カセットＣの斜視図である。カセ
ットＣの内面には左右対称の位置に多数の溝１０が設け
られており，これらの溝１０に円板形状のウェハＷを上
から差し込むことによって，一つのカセットＣ内におい
て例えば２５枚のウェハＷを垂直に立てた姿勢で平行に
整列させて保持するようになっている。カセットＣの側
面には，ＩＤカードＡを保持するための保持部５が形成
されている。ＩＤカードＡには，カセットＣ内に収納さ
れているウェハＷに関する情報などが表示されている。
保持部５は左右一対の鈎形状の係止片１１，１１からな
り，これら係止片１１，１１同士の間にＩＤカードＡを
上から差し込むことによって，ＩＤカードＡをカセット
Ｃの側面との間で保持するように構成されている。そし
て，このように保持部５に保持されたＩＤカードＡの底
面中央部は露出した状態になっており，その露出した部
分を後述するプッシャで突き上げることにより，ＩＤカ
ードＡを保持部５から上方に取り出すことができる構成
になっている。

【００１４】以上のようなカセットＣが載置されるイン
タフェイス２の上面には，図３に示すように，洗浄シス
テム１に搬入するカセットＣが載置される搬入部１５
と，洗浄システム１から搬出するカセットＣが載置され
る搬出部１６が並んで設けられている。また，搬入部１
５の後方には，後に詳しく説明する入出装置によってカ
セットＣの保持部５から取り出したＩＤカードＡを一時
的に保持しておくためのストッカー１７が配置されてい
る。

【００１５】搬入部１５には，４本のレール２０，２
１，２２，２３が設けられている。図示の形態において
は，後方２本のレール２０，２１上には，これから洗浄
システム１で洗浄しようとするウェハＷを収納したカセ
ットＣが，図示しないロボット等によって載置されるよ
うになっている。このようにレール２０，２１上にウェ
ハＷを収納したカセットＣが載置される際には，そのカ
セットＣの保持部５にはＩＤカードＡは入った状態にな
っている。また，前方２本のレール２２，２３上には，
ウェハＷを収納していない清潔なカセットＣが，図示し
ないロボット等によって載置されるようになっている。
このようにレール２２，２３上にウェハＷを収納してい
ないカセットＣが載置される際には，そのカセットＣの
保持部５には，ＩＤカードＡは入っていない状態になっ
ている。これらレール２０，２１，２２，２３上におい
て，カセットＣは何れも図３において左側位置に載置さ
れるようになっている。そして，カセットＣはその載置
後においてレール２０，２１，２２，２３上の右側位置
まで搬送されるようになっている。図３において，レー
ル２０，２１上のカセットＣは，ロボット等によって搬
入された直後の左側位置に載置された状態を示してい
る。また，レール２２，２３上のカセットＣは，載置後
において右側位置まで搬送された状態を示している。

【００１６】この搬入部１５とストッカー１７の上方に
はガイドレール２５が設けてあり，後に詳しく説明する
入出装置の搬送ロボット２６が，このガイドレール２５
に沿って移動することによって，レール２０，２１上に
おいて右側位置まで搬送されたカセットＣからＩＤカー
ドＡを取り出してそのＩＤカードＡをストッカー１７ま
で搬送し，また，ストッカー１７から取り出したＩＤカ
ードＡをレール２２，２３上において右側位置まで搬送
されたカセットＣに挿入するように構成されている。

【００１７】また，搬出部１６にも同様に，４本のレー
ル３０，３１，３２，３３が設けられている。図示の形
態においては，後方２本のレール３０，３１上には，洗
浄システム１において既に洗浄を終了したウェハＷを収
納したカセットＣが，次に説明する移載装置４のアーム
３５によって載置されるようになっている。また，前方
２本のレール３２，３３上には，洗浄前のウェハＷを抜
き取った後の空のカセットＣが，次に説明する移載装置
４のアーム３５によって載置されるようになっている。
これらレール３０，３１，３２，３３上においては，カ
セットＣはアーム３５によって何れも図３において右側
位置に載置されるようになっている。そして，カセット
Ｃはその載置後においてレール３０，３１，３２，３３
上の左側位置まで搬送されるようになっている。図３に
おいて，レール３２，３３上のカセットＣは，アーム３
５によって右側位置に載置された直後の状態を示してい
る。また，レール３０，３１上のカセットＣは，載置後
において左側位置まで搬送された状態を示している。

【００１８】移載装置４の上面には，図３に示すよう
に，前後に伸びるガイドレール３６が配置されており，
前述のアーム３５は，このガイドレール３６に沿って走
行するアーム本体３７の上面に，昇降自在かつ回転自在
に装着されている。そして，これらアーム本体３７の走
行とアーム３５の昇降および回転によって，先に説明し
たインタフェイス２の搬入部１５においてレール２０，
２１，２２，２３上の右側位置まで搬送されたカセット
Ｃをアーム３５ですくい上げて，そのカセットＣを次に
説明する洗浄乾燥部３の入出口４０に搬入する構成にな
っている。また同様に，これらアーム本体３７の走行と
アーム３５の昇降および回転によって，次に説明する洗
浄乾燥部３からカセットＣをアーム３５ですくい上げる
ようにして取り出し，そのカセットＣを先に説明したイ
ンタフェイス２の搬出部１６においてレール３０，３
１，３２，３３上の右側位置に載置する構成になってい
る。

【００１９】洗浄乾燥部３の最も手前側には，先に説明
した移載装置４のアーム３５によるカセットＣの授受が
行われる入出口４０が配置されており，この入出口４０
の後方にアンローダ４１が配置され，このアンローダ４
１の後方にウェハＷの洗浄および乾燥等を行う種々の洗
浄乾燥槽４２が直列に配置され，更にそれら洗浄乾燥槽
４２の最も後方にローダ４３が配置されている。そし
て，インタフェイス２の搬入部１５においてレール２
０，２１上に洗浄前のウェハＷを収納したカセットＣが
載置され，そのカセットＣがアーム３５によって洗浄乾
燥部３の入出口４０に搬入された場合には，図示しない
リフタによってカセットＣは洗浄乾燥部３の上方に持ち
上げられた後，ライナによって洗浄乾燥槽４２の最も後
方まで搬送され，更に，図示しないリフタで下降される
ことにより，洗浄前のウェハＷを収納したカセットＣは
ローダ４３まで搬送されるようになっている。そして，
ローダ４３においてカセットＣからウェハＷが取り出さ
れて，ウェハＷを各洗浄乾燥槽４２に対してバッチ式に
順次搬送して洗浄および乾燥を行い，こうして洗浄等の
処理を終了したウェハＷがアンローダ４１に供給される
ようになっている。一方，ローダ４３においてウェハＷ
が取り出されて空となったカセットＣは，再びリフタに
よって洗浄乾燥部３の上方に持ち上げられた後，ライナ
によって洗浄乾燥槽４２の最も前方まで搬送され，更
に，図示しないリフタで下降されることにより，空とな
ったカセットＣは入出口４０まで搬送されるようになっ
ている。そして，こうして入出口４０まで搬送されたカ
セットＣは，その後，アーム３５によって搬送されて，
インタフェイス２の搬出部１６のレール３２，３３上に
載置されるようになっている。

【００２０】また，インタフェイス２の搬入部１５にお
いてレール２２，２３上にウェハＷを収納していない清
潔なカセットＣが載置され，そのカセットＣがアーム３
５によって洗浄乾燥部３の入出口４０に搬入された場合
には，そのカセットＣはアンローダ４１に搬入されるよ
うになっている。そして，前述のように洗浄乾燥部３の
各洗浄乾燥槽４２における洗浄等の処理を終了したウェ
ハＷが，こうしてアンローダ４１に搬入された空の清潔
なカセットＣに収納されるようになっている。そして，
こうして洗浄済みのウェハＷを収納したカセットＣは，
その後，アーム３５によって搬送されて，インタフェイ
ス２の搬出部１６のレール３０，３１上に載置されるよ
うになっている。

【００２１】次に図１に示すように，以上のような洗浄
システム１においてインタフェイス２の搬入部１５近傍
には，カセットＣの保持部５からＩＤカードＡを取り出
す動作と保持部５にＩＤカードＡを挿入する動作を行う
入出装置５０が配置されている。

【００２２】図４，５に示すように，入出装置５０は，
インタフェイス２の搬入部１５のレール２０，２１下方
に配置されたプッシャ５１，５２を備えている。図４，
５において実線で示したカセットＣは，何れもレール２
０，２１上の右側位置まで搬送された状態を示してい
る。このようにカセットＣがレール２０，２１上の右側
位置にある場合には，カセットＣ側面の保持部５に保持
されたＩＤカードＡの真下にプッシャ５１，５２がそれ
ぞれ位置するようになっている。先ず，プッシャ５１に
ついて説明すると，プッシャ５１の下端は，レール２０
下方に垂設された支柱５３に沿って移動する昇降部材５
４に支持されている。図５に示されるロッドレスシリン
ダ５５の稼働によるこの昇降部材５４の上昇に伴ってプ
ッシャ５１が上方に移動し，プッシャ５１の上端でＩＤ
カードＡの底面中央部を突き上げることにより，ＩＤカ
ードＡを保持部５から上方に取り出す構成になってい
る。図４，５において一点鎖線５１’は，そのように上
昇したプッシャ５１の状態を示しており，一点鎖線Ａ’
は，プッシャ５１の上昇によって上方に突き上げられた
ＩＤカードＡの状態を示している。

【００２３】また，このようにレール２０上の右側位置
まで搬送されたカセットＣの側方には，プッシャ５１に
よって上方に突き上げられたＩＤカードＡを案内するた
めのガイド５７が設けられている。このガイド５７は，
摺動部材５８上に立設された支柱５９の上端に取り付け
られており，摺動部材５８の移動に伴ってガイド５７を
カセットＣ側面の保持部５に保持されたＩＤカードＡの
真上に移動させることができる構成になっている。図４
において一点鎖線５７’は，そのようにＩＤカードＡの
真上に移動したガイド５７の状態を示している。

【００２４】図６は，ガイド５７を部分的に切断して示
した斜視図である。図示の如く，ガイド５７の中央には
上下に貫通した溝６０が形成されている。この溝６０の
間隔は，ＩＤカードＡの厚さよりも余裕を持った長さに
形成されている。溝６０の上下には，テーパ状部分６
１，６２がそれぞれ形成されている。このようなガイド
５７をカセットＣ側面の保持部５に保持されたＩＤカー
ドＡの真上に移動させた状態で，先に説明したようにプ
ッシャ５１によってＩＤカードＡを保持部５上方に突き
上げることにより，図４において一点鎖線Ａ’で示した
ように，ＩＤカードＡはガイド５７内に丁度嵌入し，ガ
イド５７内部の溝６０によって案内される構成になって
いる。

【００２５】プッシャ５１の上端は，図７に示すように
傾斜面６５に形成されていることにより，プッシャ５１
の上端において中央から偏心した位置５１ａ（隅角部）
が最も高くなるように形成されている。そして，先に説
明したようにプッシャ５１によってＩＤカードＡの底面
を突き上げた際には，ＩＤカードＡ底面に対してプッシ
ャ５１上端の偏心した位置５１ａが接触することによっ
て，両者の接触位置６４が，ＩＤカードＡの重心Ｇの真
下位置Ｇ’からＩＤカードＡ底面の短辺方向に長さＬだ
け偏心した位置となる構成になっている。

【００２６】ここで図８は，プッシャ５１の突き上げに
よってガイド５７内部の溝６０にＩＤカードＡが嵌入し
た状態を示す断面図である。先に図７で説明したよう
に，プッシャ５１上端がＩＤカードＡの重心Ｇの真下位
置Ｇ’から偏心した位置を突き上げているので，ＩＤカ
ードＡは溝６０内部において必ず常に同じ方向（図８に
おいては時計回転方向ａ）に傾いた姿勢となるように構
成されている。

【００２７】また，プッシャ５２も，先に説明したプッ
シャ５１と同様に，昇降部材６５に伴って上昇し，レー
ル２１上のカセットＣの保持部５からＩＤカードＡを上
方に突き上げるように構成されている。図４，５におい
て一点鎖線５２’は，そのように上昇したプッシャ５２
の状態を示しており，一点鎖線Ａ’は，プッシャ５２の
上昇によって上方に突き上げられたＩＤカードＡの状態
を示している。

【００２８】また同様に，レール２１上の右側位置まで
搬送されたカセットＣの側方には，プッシャ５２によっ
て上方に突き上げられたＩＤカードＡを案内するための
ガイド６６が設けられており，このガイド６６も，レー
ル２１上のカセットＣ側面の保持部５に保持されたＩＤ
カードＡの真上に移動させることができる構成になって
いる。図４において一点鎖線６６’は，そのようにＩＤ
カードＡの真上に移動したガイド６６の状態を示してい
る。なお，ガイド６６およびプッシャ５２の上端形状の
具体的な構成は先に図６〜８で説明したガイド５７およ
びプッシャ５１と同様であるため，詳細な説明は省略す
るが，プッシャ５２によってＩＤカードＡを突き上げた
際には，先に図８で説明した場合と同様に，ＩＤカード
Ａはガイド６６内部において必ず常に同じ方向に傾いた
姿勢となるように構成されている。

【００２９】図９，１０に示すように，入出装置５０
は，インタフェイス２の搬入部１５とストッカー１７の
上方においてガイドレール２５に沿って移動する搬送ロ
ボット２６を備えている。図９，１０に示されるカセッ
トＣは，何れもレール２０，２１，２２，２３上の右側
位置まで搬送された状態を示している。そして，搬送ロ
ボット２６は，このようにレール２０，２１，２２，２
３上の右側位置にあるカセットＣ側面の保持部５に保持
されたＩＤカードＡの真上位置を移動するように構成さ
れている。駆動プーリ７０と従動プーリ７１に巻回され
た無端ベルト７２がガイドレール２５と平行に配置され
ており，この無端ベルト７２の一部に取り付けられたブ
ラケット７３をロボット本体７４の側面に接続すること
により，無端ベルト７２の摺動に伴って搬送ロボット２
６全体がカセットＣとストッカー１７の上方においてガ
イドレール２５に沿って往復移動する構成になってい
る。

【００３０】ロボット本体７４の内部にはシリンダ７５
が設けられており，ロボット本体７４の下面に突出する
このシリンダ７５のピストンロッド７６の左右に別のシ
リンダ７７，７８を介して一対の開閉チャック７９，８
０が装着されている。なお，これらシリンダ７７，７８
を一つのシリンダで構成しても良い。そして，シリンダ
７５の伸縮稼働に伴って開閉チャック７９，８０が昇降
動作し，シリンダ７７，７８の伸縮稼働に伴って開閉チ
ャック７９，８０が開閉動作を行う構成になっている。

【００３１】図１０において実線で示した開閉チャック
７９，８０は，シリンダ７５の短縮稼働によって上昇
し，シリンダ７７，７８の伸張稼働によって開いた状態
を示している。この状態からシリンダ７５が伸張稼働す
ることによって，開閉チャック７９，８０は下降する。
そして，その下降位置においてシリンダ７７，７８が短
縮稼働することによって，開閉チャック７９，８０は閉
じられ，その際に，先に図４，５で説明したプッシャ５
１，５２によってカセットＣ側面の保持部５から上方に
突き上げられ，ガイド５７，６６内に嵌入した状態で待
機しているＩＤカードＡの上方を開閉チャック７９，８
０の間で掴むようになっている。図１０において一点鎖
線７９’，８０’で示した開閉チャック７９，８０は，
そのようにプッシャ５１，５２によって上方に突き上げ
られたＩＤカードＡを開閉チャック７９，８０の間に掴
んだ状態を示している。そして，このようにＩＤカード
Ａを掴んだ後，シリンダ７５の短縮稼働によって開閉チ
ャック７９，８０が上昇することにより，ＩＤカードＡ
を更に上方に持ち上げ，これにより，ＩＤカードＡをガ
イド５７および６６内から完全に上方に抜き去ることが
できるようになっている。図１０において二点鎖線７
９”，８０”で示した開閉チャック７９，８０は，その
ようにＩＤカードＡを更に上方に持ち上げることによっ
てガイド５７および６６内から完全に上方に抜き去った
状態を示している。

【００３２】そして，レール２０，２１上の右側位置に
載置されたカセットＣに対しては，このように，先ず開
閉チャック７９，８０が下降し，次いで開閉チャック７
９，８０が閉じられてＩＤカードＡを掴み，その後，開
閉チャック７９，８０が上昇することによりＩＤカード
Ａを上方に抜き去る構成になっている。また，こうして
ＩＤカードＡを上方に抜き去った後，無端ベルト７２の
摺動で搬送ロボット２６全体がストッカー１７上方まで
移動する。そして，ストッカー１７上方においてシリン
ダ７５の伸張稼働により開閉チャック７９，８０が下降
して，開閉チャック７９，８０の間に掴んでいたＩＤカ
ードＡがストッカー１７内に納められるようになってい
る。なお，こうしてストッカー１７内に納められた際の
ＩＤカードＡの高さは，先に説明したプッシャ５１，５
２によって上方に突き上げられた際のＩＤカードＡの高
さと同じになるように構成されている。そして，このよ
うにしてＩＤカードＡをストッカー１７内に納めた後，
開閉チャック７９，８０は再び上昇するようになってい
る。

【００３３】一方，レール２２，２３上の右側位置に載
置されたカセットＣにＩＤカードＡを挿入する場合は，
先ずストッカー１７上方において待機していた開閉チャ
ック７９，８０がシリンダ７５の伸張稼働によって下降
し，次いで開閉チャック７９，８０が閉じられＩＤカー
ドＡを掴み，その後，開閉チャック７９，８０が上昇す
ることによりＩＤカードＡをストッカー１７の上方に抜
き去る。そして，こうしてＩＤカードＡをストッカー１
７上方に抜き去った後，無端ベルト７２の摺動で搬送ロ
ボット２６全体が，レール２２，２３上の右側位置に載
置されたカセットＣの上方まで移動する。そして先ず，
レール２２上のカセットＣに対してＩＤカードＡを挿入
する場合は，搬送ロボット２６がレール２２上の右側位
置に載置されたカセットＣ側面の保持具５の真上位置に
移動し，その後，開閉チャック７９，８０が下降するこ
とにより，ＩＤカードＡをレール２２上のカセットＣの
保持具５内に挿入するようになっている。また，レール
２３上のカセットＣに対してＩＤカードＡを挿入する場
合は，ＩＤカードＡをストッカー１７内から抜き去った
後，搬送ロボット２６がレール２３上の右側位置に載置
されたカセットＣ側面の保持具５の真上位置に移動し，
その後，開閉チャック７９，８０が下降することによ
り，ＩＤカードＡをレール２３上のカセットＣの保持具
５内に挿入するようになっている。

【００３４】図１１は，ストッカー１７の平面図であ
る。図示のように，ストッカー１７の内面には左右対称
の位置に多数の溝９０数設けられており，先に説明した
開閉チャック７９，８０の下降によってこれらの溝９０
にＩＤカードＡを上から差し込むことによって，ストッ
カー１７内に複数枚のＩＤカードＡを垂直に立てた姿勢
で平行に整列させて収納するようになっている。ストッ
カー１７の下面には，このようにしてストッカー１７内
に収納されたＩＤカードＡの底面を支持するための突起
９１が，各溝９０に対応して配置されている。この突起
９１の上端は，図１２に示すように傾斜面９２に形成さ
れていることにより，突起９１の上端において中央から
偏心した位置９１ａ（隅角部）が最も高くなるように形
成されている。そして，先に説明したように開閉チャッ
ク７９，８０の下降によってストッカー１７の溝９０に
ＩＤカードＡが上から差し込まれた際には，ＩＤカード
Ａ底面に対して突起９１上端の偏心した位置９１ａが接
触することによって，両者の接触位置９３が，ＩＤカー
ドＡの重心Ｇの真下位置Ｇ’からＩＤカードＡ底面の短
辺方向に長さＭだけ偏心した位置となる構成になってい
る。このように，突起９１上端がＩＤカードＡの重心Ｇ
の真下位置Ｇ’から偏心した位置を支えているので，Ｉ
ＤカードＡは溝９０内部において必ず常に同じ方向（図
１２においては時計回転方向ａ）に傾いた姿勢となるよ
うに構成されている。

【００３５】また，図９，１０に示すように，開閉チャ
ック７９，８０の外側には，ロボット本体７４に懸吊さ
れた一対の支柱１００，１０１が配置されている。これ
ら支柱１００，１０１の内面には，下端に配置された一
対のセンサ素子１０２，１０３と，これらセンサ素子１
０２，１０３よりも上方に配置された一対のセンサ素子
１０４，１０５が取り付けられている。これらセンサ素
子１０２，１０３およびセンサ素子１０４，１０５は，
例えば発光素子と受光素子などの光電センサ組によって
構成されている。そして，下方側に配置されているセン
サ素子１０２，１０３は，先に説明したプッシャ５１，
５２によって上方に突き上げられた状態のＩＤカードＡ
と，ストッカー１７内に納められた状態のＩＤカードＡ
を丁度検知できる高さに配置されている。一方，上方側
に配置されているセンサ素子１０４，１０５は，図１０
において二点鎖線で示したＩＤカードＡのように，開閉
チャック７９，８０の上昇によって上方に持ち上げた状
態のＩＤカードＡを丁度検知できる高さに配置されてい
る。

【００３６】さて，この洗浄システム１においては，図
示しないロボットにより，インタフェイス２の搬入部１
５に設けられたレール２０，２１，２２，２３上にカセ
ットＣが載置される。なおこの場合，レール２０，２１
上には，これから洗浄システム１で洗浄しようとするウ
ェハＷを収納したカセットＣが載置されるが，このカセ
ットＣの保持部５には，カセットＣ内のウェハＷに関す
る情報などを表示したＩＤカードＡが挿入された状態に
なっている。一方，レール２２，２３上には，ウェハＷ
を収納していない清潔なカセットＣが載置されるが，こ
のカセットＣの保持部５には，ＩＤカードＡが入ってい
ない状態になっている。また，これらカセットＣは，先
に図３で説明したように，何れもレール２０，２１，２
２，２３上の左側位置に載置されるようになっている。
そして，各カセットＣはその載置後においてレール２
０，２１，２２，２３上の右側位置まで搬送される。

【００３７】次に，入出装置５０において，レール２
０，２１上の右側位置まで搬送されたカセットＣの側方
にガイド５７，６６が近付くように移動し，こうして，
各ガイド５７，６６がレール２０，２１上のカセットＣ
の保持部５に保持されたＩＤカードＡの真上にそれぞれ
移動した状態となる。その後，プッシャ５１，５２が上
昇し，レール２０，２１上に載置されたカセットＣの保
持部５からＩＤカードＡをそれぞれ上方に突き上げる。
これにより，各ＩＤカードＡはガイド５７，６６内に嵌
入した状態となる。なお，プッシャ５１，５２の上端が
傾斜面に形成されているので，このようにプッシャ５
１，５２によってＩＤカードＡを突き上げた際には，先
に図８で説明したように，ＩＤカードＡはガイド５７，
６６内部において必ず常に同じ方向に傾いた姿勢とな
る。

【００３８】次に，入出装置５０における搬送ロボット
２６が先ずレール２０上の右側位置に載置されたカセッ
トＣの上に移動する。この時，センサ素子１０２，１０
３によって，プッシャ５１で突き上げられた状態のＩＤ
カードＡの検知が行われ，ＩＤカードＡが検知されない
場合は，例えば警報等を発して稼働を停止する。一方，
ＩＤカードＡが検知された場合は，先ずシリンダ７５が
伸張稼働することによって，開閉チャック７９，８０が
下降する。次いで開閉チャック７９，８０が閉じられ，
ガイド５７内においてプッシャ５１で突き上げられた状
態で待機しているＩＤカードＡを掴む。なお，このよう
にＩＤカードＡを掴む際には，先に図８で説明したよう
に，ＩＤカードＡがガイド５７内部において必ず常に同
じ方向に傾いた姿勢となっているので，ＩＤカードＡが
ガイド５７内にてふらつくことがなく，ＩＤカードＡの
上端が常に同じ位置にくるようになる。そして，このよ
うにガイド５７内において常に同じ方向に傾いた姿勢で
位置決めされたＩＤカードＡの上端を開閉チャック７
９，８０で掴むことにより，掴みミスが極めて少なくな
る。

【００３９】そして，このようにＩＤカードＡの上端を
開閉チャック７９，８０で掴んだ後，開閉チャック７
９，８０が上昇してＩＤカードＡを上方に抜き取る。こ
の時，センサ素子１０４，１０５によって，開閉チャッ
ク７９，８０で掴んでいるＩＤカードＡの検知が行わ
れ，ＩＤカードＡが検知されない場合は，例えば警報等
を発して稼働を停止する。一方，ＩＤカードＡが検知さ
れた場合は，無端ベルト７２の摺動で搬送ロボット２６
全体がストッカー１７上方まで移動する。そして，スト
ッカー１７上方においてシリンダ７５の伸張稼働により
開閉チャック７９，８０が下降して，開閉チャック７
９，８０の間に掴んでいたＩＤカードＡがストッカー１
７内に納められる。こうしてＩＤカードＡをストッカー
１７内に納めた後，開閉チャック７９，８０は再び上昇
する。

【００４０】次に，搬送ロボット２６はレール２１上の
右側位置に載置されたカセットＣの上に移動する。そし
て，レール２０上のカセットＣに対する場合と同様の工
程を繰り返すことにより，レール２１上に載置されたカ
セットＣの保持部５からＩＤカードＡを抜き取り，その
ＩＤカードＡをストッカー１７内に納める。

【００４１】こうして，レール２０，２１上においてＩ
ＤカードＡを抜き取られたカセットＣは，次に，移載装
置４のアーム３５によって洗浄乾燥部３の入出口４０に
順次搬入される。そして，このカセットＣはリフタおよ
びライナによって洗浄乾燥槽４２の後方に搬送されて，
ローダ４３に搬入される。そして，ローダ４３において
カセットＣからウェハＷが取り出されて，ウェハＷを各
洗浄乾燥槽４２に対してバッチ式に順次搬送して洗浄お
よび乾燥を行い，こうして洗浄等の処理を終了したウェ
ハＷがアンローダ４１に供給される。

【００４２】一方，ローダ４３においてウェハＷが取り
出されて空となったカセットＣは，再びリフタおよびラ
イナによって入出口４０まで搬送される。そして，この
空のカセットＣは，その後，アーム３５によって入出口
４０から搬出され，インタフェイス２の搬出部１６のレ
ール３２，３３上に載置される。その後，この空のカセ
ットＣは，図示しないロボットによってレール３２，３
３上から取り去られる。

【００４３】また，レール２２，２３上の右側位置まで
搬送された，ウェハＷを収納していない清潔なカセット
Ｃに対しては，入出装置５０によるＩＤカードＡの挿入
が行われる。即ち，先ずストッカー１７上方において待
機していた開閉チャック７９，８０がシリンダ７５の伸
張稼働によって下降する。この時又は下降前に，センサ
素子１０２，１０３によって，ストッカー１７に収納さ
れている状態のＩＤカードＡの検知が行われ，ＩＤカー
ドＡが検知されない場合は，例えば警報等を発して稼働
を停止する。一方，ＩＤカードＡが検知された場合は，
開閉チャック７９，８０が閉じられてＩＤカードＡを掴
む。なお，このようにＩＤカードＡを掴む際には，先に
図１２で説明したように，ＩＤカードＡがストッカー１
７の溝９０内部において必ず常に同じ方向に傾いた姿勢
となっているので，ＩＤカードＡが溝９０内にてふらつ
くことがなく，ＩＤカードＡの上端が常に同じ位置にく
るようになる。そして，このように溝９０内において常
に同じ方向に傾いた姿勢で位置決めされたＩＤカードＡ
の上端を開閉チャック７９，８０で掴むことにより，掴
みミスが極めて少なくなる。

【００４４】こうしてＩＤカードＡの上端を開閉チャッ
ク７９，８０で掴んだ後，開閉チャック７９，８０が上
昇してＩＤカードＡをストッカー１７の上方に抜き去
る。この時，センサ素子１０４，１０５によって，開閉
チャック７９，８０で掴んでいるＩＤカードＡの検知が
行われ，ＩＤカードＡが検知されない場合は，例えば警
報等を発して稼働を停止する。一方，ＩＤカードＡが検
知された場合は，その後，無端ベルト７２の摺動で搬送
ロボット２６全体が，先ず，レール２２上の右側位置に
載置されたカセットＣの上方まで移動する。その後，開
閉チャック７９，８０が下降することにより，ＩＤカー
ドＡをレール２２上のカセットＣの保持具５内に挿入す
る。こうしてレール２２上のカセットＣに対してＩＤカ
ードＡを挿入した後，再び搬送ロボット２６がストッカ
ー１７上方に移動し，ＩＤカードＡをストッカー１７の
上方に抜き去る。そして，同様に搬送ロボット２６がレ
ール２３上の右側位置に載置されたカセットＣ側面の保
持具５の真上位置に移動し，その後，開閉チャック７
９，８０が下降することにより，ＩＤカードＡをレール
２３上のカセットＣの保持具５内に挿入する。

【００４５】こうして，レール２２，２３上においてＩ
ＤカードＡを保持具５内に挿入されたカセットＣは，次
に，移載装置４のアーム３５によって洗浄乾燥部３の入
出口４０に順次搬入される。そして，このカセットＣ
は，次に洗浄乾燥部３のアンローダ４１に搬入される。
そして，前述のように洗浄乾燥部３の各洗浄乾燥槽４２
における洗浄等の処理を終了したウェハＷが，こうして
アンローダ４１に搬入された空の清潔なカセットＣに収
納される。

【００４６】そして，こうして洗浄済みのウェハＷを収
納したカセットＣは，その後，アーム３５によって搬送
されて，インタフェイス２の搬出部１６のレール３０，
３１上に載置される。次で，このウェハＷを収納したカ
セットＣも同様に，図示しないロボットによってレール
３０，３１上から取り去られる。

【００４７】かくして、以上の操作を行ってカセットＣ
に対するＩＤカードＡの入出動作を行うことにより，カ
セットＣ側面の保持部５やストッカー１７と入出装置５
０の搬送ロボット２６との間におけるＩＤカードＡの授
受を円滑に行うことができ，システム全体の稼働効率を
向上させることが可能となる。なお、ＩＤカードを抜き
取る場合にのみガイドを使用する例について説明した
が，ＩＤカードをカセット側面の保持具に挿入する際に
ガイドを使用するように構成しても良い。また，一例と
してウェハを洗浄する洗浄システムについて主たる説明
を行ったが、本発明は、ＬＣＤ基板の如き他の被処理体
を扱うシステムや，例えば他の処理等を行う各種の処理
システムなどに適応させることも可能である。

【００４８】

【発明の効果】本発明によれば、ガイドを使用している
ので，ＩＤカードを搬送ロボットで掴む際やＩＤカード
を保持部に挿入する際に受け渡しミスを生じることが極
めて少なくなり，システム全体の稼働効率を向上させる
ことが可能となる。従って、本発明によれば被処理体の
処理を円滑に行うことができ、例えば、半導体デバイス
の製造における歩留まりを向上させることが可能とな
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】洗浄システムの斜視図である。

【図２】カセットの斜視図である。

【図３】インタフェイスの平面図である。

【図４】入出装置の下部構造を示す右側面図である。

【図５】入出装置の下部構造を示す背面図である。

【図６】ガイドを部分的に切断して示した斜視図であ
る。

【図７】プッシャの上端形状とＩＤカードの底面の関係
図である。

【図８】プッシャの突き上げによってガイド内部にＩＤ
カードが嵌入した状態を示す断面図である。

【図９】入出装置の上部構造を示す左側面図である。

【図１０】入出装置の上部構造を示す背面図である。

【図１１】ストッカーの平面図である。

【図１２】ストッカー内におけるＩＤカードの保持状態
を示す断面図である。

【符号の説明】

Ａ ＩＤカード Ｃ カセット Ｗ ウェハ ５ 保持部 １７ ストッカー ２６ 搬送ロボット ５０ 入出装置 ５１，５２ プッシャ ５７，６６ ガイド １０２，１０３，１０４，１０５ センサ素子

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 被処理体を収納するカセットの側面に形
   成された保持部に対してＩＤカードを挿入および取出す
   るための装置であって，保持部に挿入されているＩＤカ
   ードを突き上げるためのプッシャと，保持部から取り出
   したＩＤカードを一時的に保持しておくストッカーと，
   保持部とストッカーの上方位置を移動自在であり，か
   つ，保持部とストッカーの上方位置において昇降自在に
   構成された，搬送ロボットとを備えた入出装置におい
   て，保持部からＩＤカードを突き上げる際，および／ま
   たは保持部にＩＤカードを挿入する際に，ＩＤカードを
   案内するガイドを設けたことを特徴とするＩＤカードの
   入出装置。
2. 【請求項２】 ＩＤカード底面とプッシャ上端の接触す
   る位置が，ＩＤカードの重心の真下位置からＩＤカード
   底面の短辺方向に偏心した位置である請求項１に記載の
   ＩＤカードの入出装置。
3. 【請求項３】 ストッカーにおいてＩＤカード底面を支
   持する位置が，ＩＤカードの重心の真下位置からＩＤカ
   ード底面の短辺方向に偏心した位置である請求項１また
   は２に記載のＩＤカードの入出装置。
4. 【請求項４】 搬送ロボットがＩＤカードを把持してい
   るか否かを検知するセンサを設けてなる請求項１，２ま
   たは３の何れかに記載のＩＤカードの入出装置。
5. 【請求項５】 プッシャによって突き上げられたＩＤカ
   ードの有無を検知するセンサを設けてなる請求項１，
   ２，３または４の何れかに記載のＩＤカードの入出装
   置。
6. 【請求項６】 ストッカーにおけるＩＤカードの有無を
   検知するセンサを設けてなる請求項１，２，３，４また
   は５の何れかに記載のＩＤカードの入出装置。