JP3971601B2 - 基板受渡装置および基板処理装置 - Google Patents
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体基板、液晶表示装置用ガラス基板、フォトマスク用ガラス基板、光ディスク用基板等（以下、「基板」と称する）を収納する収納容器を収容するとともに、その収納容器からの基板の搬出またはその収納容器への基板の搬入を行う技術に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来より、基板に対してエッチング処理等の表面処理を行う基板処理装置には、装置外部から未処理基板がキャリアに収納された状態で搬入される。キャリアには、容器の一部が外部雰囲気に解放されたタイプのＯＣ(open cassette)と、容器内部が密閉されたタイプのＦＯＵＰ(front opening unified pod)とがある。
【０００３】
装置間における基板の搬送にＦＯＵＰタイプのカセット（以下、単に「ＦＯＵＰ」と称する）を使用した場合は、基板が密閉された状態で搬送されることとなるため、周囲の雰囲気にパーティクル等が存在していたとしても基板の清浄度は維持できる。従って、基板処理装置を設置するクリーンルーム内の清浄度をあまり高くする必要がなくなるため、クリーンルームに要するコストを低減することができる。
【０００４】
このようなＦＯＵＰは基板処理装置に組み込まれた専用の基板受渡装置に収容され、その基板受渡装置においてＦＯＵＰから未処理基板を基板処理装置に取り出したり、ＦＯＵＰに処理済の基板を回収したりする。図１０は、従来のＦＯＵＰ用の基板受渡装置を示す斜視図である。
【０００５】
基板受渡装置１０１は、基板処理装置１００にローダーとして組み込まれており、未処理基板を収納したＦＯＵＰを収容するとともに、そのＦＯＵＰから基板処理装置１００に基板を投入する機能を有する。基板受渡装置１０１は、複数の収容棚１１１、搬送ロボット１２０、載置テーブル１３０およびリフタ１４０を備える。
【０００６】
複数の収容棚１１１のそれぞれは１つのＦＯＵＰを載せて収容することができる。基板処理装置１００の外部から基板受渡装置１０１に搬入されたＦＯＵＰは、複数の収容棚１１１のいずれかに収容される。
【０００７】
載置テーブル１３０は１つのＦＯＵＰを載置することができる。載置テーブル１３０に載置されたＦＯＵＰが開放されることにより、その内部から未処理基板が取り出されて基板処理装置１００の本体内部に投入される。
【０００８】
搬送ロボット１２０は、搬送アーム１２１を備えるとともに、基板処理装置１００の幅方向に沿って移動可能とされている。また、搬送アーム１２１は搬送ロボット１２０に対して上下動可能とされている。これにより、搬送ロボット１２０は、載置テーブル１３０および複数の収容棚１１１のそれぞれに対して搬送アーム１２１をアクセスさせることができる。そして、搬送ロボット１２０は、未処理基板を収納したＦＯＵＰを複数の収容棚１１１のいずれかから載置テーブル１３０に搬送するとともに、基板が取り出された後の空のＦＯＵＰを載置テーブル１３０から複数の収容棚１１１のいずれかに搬送する。
【０００９】
搬送ロボット１２０がＦＯＵＰを搬送するときには、搬送アーム１２１がＦＯＵＰの底部を下方より支持する。これは、搬送ロボット１２０がＦＯＵＰの上部に設けられたフランジを把持して、ＦＯＵＰを吊り下げた状態で搬送を行うと当該フランジの強度の問題から急な加減速ができず高速搬送ができないためである。
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、搬送アーム１２１がＦＯＵＰの底部を支持したときには、そのＦＯＵＰを直接載置テーブル１３０に置くことができない。そこで、従来においては、搬送アーム１２１によって下方より支持されたＦＯＵＰを一旦リフタ１４０に渡していた。リフタ１４０は、ＦＯＵＰの上部に設けられたフランジを把持して、ＦＯＵＰを吊り下げた状態で保持することができる。また、リフタ１４０は、載置テーブル１３０の上方において鉛直方向に沿って上下方向に移動可能である。よって、リフタ１４０は、搬送ロボット１２０からＦＯＵＰを受け取った後、搬送ロボット１２０が移動して搬送アーム１２１がＦＯＵＰと載置テーブル１３０との間から待避してから保持しているＦＯＵＰを下降させて載置テーブル１３０上に置いていた。その後、載置テーブル１３０に置かれたＦＯＵＰが開放され、その内部から未処理基板が取り出されて基板処理装置１００の本体内部に投入される。
【００１１】
なお、基板が取り出されて空になったＦＯＵＰを載置テーブル１３０から収容棚１１１に搬送するときには、上述と逆の手順が実行されることとなる。すなわち、一旦リフタ１４０が空のＦＯＵＰを保持して持ち上げた後、搬送ロボット１２０が載置テーブル１３０にアクセスし、リフタ１４０から搬送ロボット１２０の搬送アーム１２１にＦＯＵＰが渡される。その後、リフタ１４０がＦＯＵＰの把持を解除し、ＦＯＵＰを受け取った搬送ロボット１２０が収容棚１１１にアクセスする。
【００１２】
以上のように、従来においては、搬送ロボット１２０が直接載置テーブル１３０にＦＯＵＰを置くことができなかったり、また直接載置テーブル１３０からＦＯＵＰを受け取ることができなかったために、一旦リフタ１４０を介して搬送ロボット１２０と載置テーブル１３０との間のＦＯＵＰの受渡しを行わなければならなかった。従って、搬送ロボット１２０と載置テーブル１３０との間のＦＯＵＰの受渡しにリフタ１４０の動作分および搬送ロボット１２０の待避分の時間を必要とし、スループットが低下するという問題が生じていた。
【００１３】
本発明は、上記課題に鑑みてなされたものであり、高いスループットを得ることができる基板受渡装置および基板処理装置を提供することを目的とする。
【００１４】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するため、請求項１の発明は、基板を収納する収納容器を収容するとともに、前記収納容器からの基板の搬出または前記収納容器への基板の搬入を行う基板受渡装置において、前記収納容器を収容する収容部と、前記収容部の側方に配置され、前記収納容器からの基板の搬出または前記収納容器への基板の搬入が行われる際に、前記収納容器を載置する載置台と、前記収容部と前記載置台との間で前記収納容器に対する基板の搬出および搬入の方向と実質的に垂直な搬送方向に沿って前記収納容器を搬送する搬送手段と、を備え、前記搬送手段に、前記収納容器を下方より保持して略鉛直方向に沿って昇降する搬送アームを有させ、前記載置台には、前記搬送アームが略鉛直方向に沿って通過可能な切り欠き部を形成し、前記切り欠き部の前記搬送方向に沿った前記収容部側を開放している。
【００１６】
また、請求項２の発明は、請求項１の発明に係る基板受渡装置において、前記載置台の上方に設けられ、前記収納容器の上部に形成された把持部を保持して略鉛直方向に沿って昇降する昇降手段をさらに備え、前記昇降手段に第１の収納容器を保持させた状態にて、前記載置台に載置された第２の収納容器からの基板の搬出または第２の収納容器への基板の搬入を行う。
【００１７】
また、請求項３の発明は、基板を収納する収納容器からの基板の搬出または前記収納容器への基板の搬入を行うための基板処理装置において、前記収納容器を収容する収容部と、前記収容部の側方に配置され、前記収納容器からの基板の搬出または前記収納容器への基板の搬入が行われる際に、前記収納容器を載置する載置部と、前記収納容器を下方より保持して略鉛直方向に沿って昇降自在であり、かつ前記収納部と前記載置部との間で前記収納容器に対する基板の搬出および搬入の方向と実質的に垂直な搬送方向に沿って前記収納容器を搬送する搬送手段と、を備え、前記載置部に、前記搬送手段が略鉛直方向に沿って通過可能な前記搬送手段用の切り欠き部を形成し、前記切り欠き部の前記搬送方向に沿った前記収容部側を開放している。
【００２１】
また、請求項４の発明は、請求項３の発明に係る基板処理装置において、前記載置部の上方に設けられ、前記収納容器の上部に形成された把持部を保持して略鉛直方向に沿って昇降する昇降手段をさらに備え、前記昇降手段に第１の収納容器を保持させた状態にて、前記載置部に載置された第２の収納容器からの基板の搬出または第２の収納容器への基板の搬入を行わせる。
【００２２】
また、請求項５の発明は、請求項３または請求項４の発明に係る基板処理装置において、前記収納容器の底面のうち、前記搬送手段が前記収納容器を支持する支持位置を前記載置部が前記収納容器を載置する載置位置よりも内側としている。
【００２３】
また、請求項６の発明は、基板を収納する収納容器からの基板の搬出または前記収納容器への基板の搬入を行うための基板処理装置において、前記収納容器を収容する収容部と、前記収容部の側方に配置され、前記収納容器からの基板の搬出または前記収納容器への基板の搬入が行われる際に、前記収納容器を載置する載置部と、前記収納容器を下方より保持して略鉛直方向に沿って昇降自在であり、かつ前記収納部と前記載置部との間で前記収納容器に対する基板の搬出および搬入の方向と実質的に垂直な搬送方向に沿って前記収納容器を搬送する搬送手段と、を備え、前記載置部に、前記搬送手段がはまり込んで前記載置部の上面よりも下側まで移動可能な前記搬送手段用の凹部を設け、前記凹部の前記搬送方向に沿った前記収容部側を開放している。
【００２７】
また、請求項７の発明は、請求項６の発明に係る基板処理装置において、前記載置部の上方に設けられ、前記収納容器の上部に形成された把持部を保持して略鉛直方向に沿って昇降する昇降手段をさらに備え、前記昇降手段に第１の収納容器を保持させた状態にて、前記載置部に載置された第２の収納容器からの基板の搬出または第２の収納容器への基板の搬入を行わせる。
【００２８】
また、請求項８の発明は、請求項６または請求項７の発明に係る基板処理装置において、前記収納容器の底面のうち、前記搬送手段が前記収納容器を支持する支持位置を前記載置部が前記収納容器を載置する載置位置よりも内側としている。
【００３３】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照しつつ本発明の実施の形態について詳細に説明する。
【００３４】
＜１．第１実施形態＞
図１は、本発明に係る基板受渡装置を組み込んだ基板処理装置の外観斜視図である。図１および以降の各図には、それらの方向関係を明確にすべく必要に応じて適宜、Ｚ軸方向を鉛直方向とし、ＸＹ平面を水平面とするＸＹＺ直交座標系を付している。
【００３５】
この基板処理装置１は、１組の複数の基板（ロット）にフッ酸等の薬液によるエッチング処理や純水によるリンス処理等を順次に行う装置であって、その本体内部に薬液を貯留する薬液槽や純水を貯留する水洗槽を備えている。基板処理装置１の一方側の端部にはローダー１０が設けられるとともに、他方側の端部にはアンローダー９０が設けられている。ローダー１０およびアンローダー９０はともに本発明に係る基板受渡装置であり、同様の構成および機能を備えている。但し、ローダー１０は未処理基板を収納したＦＯＵＰを収容するとともに、そのＦＯＵＰから未処理基板を搬出して基板処理装置１の本体部に投入する役割を有するのに対し、アンローダー９０は空のＦＯＵＰを収容するとともに、基板処理装置１の本体部からそのＦＯＵＰに処理済の基板を搬入する役割を有している。
【００３６】
以下、未処理基板を基板処理装置１の本体部に投入するローダー１０を本発明に係る基板受渡装置の例として詳細に説明する。ローダー１０の外壁には収容口１１，１２が形成されている。未処理基板を収納したＦＯＵＰは、図外のロードポートによって収容口１１，１２を介してローダー１０内に搬入される。
【００３７】
ここでＦＯＵＰについて説明しておく。図２は、ＦＯＵＰの外観斜視図である。ＦＯＵＰ８０は、筐体８１の上部にフランジ８２を形成している。このフランジ８２を把持することによって、ＦＯＵＰ８０を吊り下げた状態にて保持することができる。また、筐体８１の一面（図２中矢印ＡＲ２の向きから見た面）には蓋８３が設けられている。蓋８３には筐体８１に対するロック機構が設けられており、蓋８３を筐体８１に取り付けた状態にてそのロック機構を機能させることによって蓋８３が筐体８１に固定され、筐体８１内部が密閉された閉空間となる。一方、上記のロック機構を解除すると、蓋８３を筐体８１から取り外すことが可能となる。蓋８３を筐体８１から取り外してＦＯＵＰ８０を開放した状態においては、筐体８１の内部から基板を取り出すことおよびその内部に基板を収納することが可能となる。なお、筐体８１には例えば２５枚または１３枚の基板をそれぞれの主面を水平方向に沿わせてまたは鉛直方向に沿わせて収納する。
【００３８】
通常、ローダー１０の内外にてＦＯＵＰ８０を搬送するときには蓋８３を筐体８１に装着してロック機構を機能させた状態、すなわち筐体８１内部を密閉空間とした状態にする。これにより、基板処理装置１が設置されたクリーンルームの清浄度にかかわらず、ＦＯＵＰ８０内部では高い清浄度が維持される。
【００３９】
図３は、ローダー１０の構造を示す斜視図である。ローダー１０は、主としてＦＯＵＰ８０を収容する収容部２０と、ＦＯＵＰ８０を開放してその内部から未処理基板を取り出すオープナー４０と、収容部２０とオープナー４０との間でＦＯＵＰ８０の搬送を行う搬送ロボット３０とを備えている。また、ローダー１０と基板処理装置１の本体部とは隔壁１５を挟んで接続されている。キャリアとしてＦＯＵＰ８０を採用すると、ローダー１０内部まではある程度清浄度が低下することもあるが、そのような場合であっても隔壁１５によってローダー１０内部雰囲気と基板処理装置１本体部の雰囲気とを分離することにより基板処理装置１の本体部においては高い清浄度を維持することができる。
【００４０】
収容部２０は、合計１４個の収容棚２１を備えている。収容棚２１のうちの１つはオープナー４０の上方に設けられ、別の１つはオープナー４０の下方に設けられている。残りの１２個の収容棚２１については、６個ずつ鉛直方向（Ｚ軸方向）に沿って２列に積層されている。各収容棚２１は１つのＦＯＵＰ８０を載置して収容することができる。なお、収容棚２１のそれぞれは未処理基板を収納したＦＯＵＰ８０または基板が取り出された後の空のＦＯＵＰ８０のいずれをも収容することができる。
【００４１】
搬送ロボット３０は、搬送アーム３５および水平方向駆動部３１を備えている。また、ローダー１０には、レール３２およびガイドレール３３がいずれもＸ軸方向に沿って延設されている。水平方向駆動部３１は搬送ロボット３０の下端部に固設され、レール３２上をＸ軸方向に沿って移動することができる。一方、搬送ロボット３０の上端部はガイドレール３３に摺動自在に接続されている。従って、水平方向駆動部３１がレール３２上をＸ軸方向に沿って移動すると、それに伴って搬送ロボット３０の全体がＸ軸方向に沿って移動する。
【００４２】
搬送アーム３５は、搬送ロボット３０に取り付けられ、図示を省略する昇降駆動部によって搬送ロボット３０に対し鉛直方向（Ｚ軸方向）に沿って昇降自在とされている。搬送ロボット３０全体がＸ軸方向に沿って移動可能であり、搬送アーム３５が搬送ロボット３０に対しＺ軸方向に沿って移動可能であるため、結局搬送アーム３５はＸＺ平面内にて自在に移動することができる。これにより、搬送ロボット３０は、搬送アーム３５を任意の収容棚２１およびオープナー４０に対してアクセスさせることができる。
【００４３】
オープナー４０は、ＦＯＵＰ８０を載置して蓋８３を取り外す役割を有する。図４は、オープナー４０をＸ方向から見た側面図である。図５は、オープナー４０をＹ方向から見た正面図である。また、図６は、オープナー４０をＺ方向から見た平面図である。
【００４４】
オープナー４０は、載置テーブル４１、ステージ４５および着脱部４９を備える。載置テーブル４１はステージ４５の上面に設けられている。載置テーブル４１は、ステージ４５の内部に設けられた図示を省略するスライド機構によって、図６中矢印ＡＲ６にて示すように、Ｙ方向に沿ったスライド進退移動が可能である。また、載置テーブル４１の上面には３つの支持ピン４２ａ，４２ｂ，４２ｃが立設されている。載置テーブル４１は、３つの支持ピン４２ａ，４２ｂ，４２ｃによって３点にてＦＯＵＰ８０を略水平姿勢に載置することができる。載置テーブル４１は、ＦＯＵＰ８０からの未処理基板の搬出が行われるときに、そのＦＯＵＰ８０を載置する。なお、載置テーブル４１の形状についてはさらに後述する。
【００４５】
着脱部４９は、ローダー１０と基板処理装置１の本体部との間の隔壁１５に形成された開口５０を挟んで載置テーブル４１と反対側に設けられている。着脱部４９は、ＦＯＵＰ８０の蓋８３のロック機構を開閉してその蓋８３をＦＯＵＰ８０から着脱することができる。なお、開口５０は隔壁１５に形成された唯一の開口部である。また、着脱部４９は、図示を省略する駆動部によってＹ軸方向に沿った進退移動と、Ｚ軸方向に沿った昇降動作とを行うことができる。
【００４６】
ＦＯＵＰ８０から基板を取り出すときには以下のようにして行われる。まず、ＦＯＵＰ８０を載置した載置テーブル４１が（＋Ｙ）向きに移動してＦＯＵＰ８０の端面（蓋８３が設けられた面）を開口５０に進入させ、蓋８３を着脱部４９に当接させる。着脱部４９は蓋８３のロック機構を解除してその蓋８３をＦＯＵＰ８０から取り外す。次に、着脱部４９は蓋８３を保持したまま（＋Ｙ）向きに後退し、さらに鉛直方向下向きに下降する。このとき蓋８３は、着脱部４９の移動に伴って、ＦＯＵＰ８０から離脱して開口５０を通過し下降する。このようにしてＦＯＵＰ８０が開放された後、基板処理装置１の本体部に設けられた基板移載ロボットが載置テーブル４１に載置されたＦＯＵＰ８０内部にアクセスし、未処理基板を取り出す。
【００４７】
ＦＯＵＰ８０から全ての基板が取り出されると、上記とは逆の動作が実行される。すなわち、蓋８３を保持している着脱部４９が鉛直方向上向きに上昇し、さらに蓋８３を保持したまま（−Ｙ）向きに前進する。このとき蓋８３は、着脱部４９の移動に伴って、開口５０を通過してＦＯＵＰ８０の筐体８１に嵌合する。次に、着脱部４９は蓋８３のロック機構を機能させてその蓋８３をＦＯＵＰ８０に装着する。その後、ＦＯＵＰ８０を載置した載置テーブル４１が（−Ｙ）向きに移動してＦＯＵＰ８０の端面を開口５０から離脱させる。
【００４８】
本実施形態においては、搬送アーム３５が鉛直方向に沿って通過可能な切り欠き部４３を載置テーブル４１に形成している（図６参照）。より具体的には、搬送アーム３５と同様の形状の切り欠き部４３を載置テーブル４１に形成している。また、これに対応してステージ４５の形状もＬ字型とし、搬送アーム３５が鉛直方向に沿って円滑に切り欠き部４３を通過できるようにしている。
【００４９】
一方、搬送アーム３５の上面には３つの支持ピン３６ａ，３６ｂ，３６ｃが立設されている。従って、搬送アーム３５は３つの支持ピン３６ａ，３６ｂ，３６ｃによって３点にてＦＯＵＰ８０を下方から略水平姿勢に保持することができるとともに、ＦＯＵＰ８０を下方より保持したまま鉛直方向に沿って昇降することができる。
【００５０】
ＦＯＵＰ８０を下方より略水平姿勢にて保持した搬送アーム３５が載置テーブル４１の上方から鉛直方向に沿って下降し、載置テーブル４１の切り欠き部４３を通過すると、搬送アーム３５の支持ピン３６ａ，３６ｂ，３６ｃから載置テーブル４１の支持ピン４２ａ，４２ｂ，４２ｃにＦＯＵＰ８０が渡される。すなわち、本実施形態においては、搬送アーム３５から載置テーブル４１に直接ＦＯＵＰ８０を渡すことができるのである。
【００５１】
また、図６に示すように、搬送アーム３５の支持ピン３６ａ，３６ｂ，３６ｃが載置テーブル４１の支持ピン４２ａ，４２ｂ，４２ｃよりも内側に位置している。すなわち、ＦＯＵＰ８０の底面のうち、搬送アーム３５がＦＯＵＰ８０を支持する支持位置は載置テーブル４１がＦＯＵＰ８０を載置する載置位置よりも内側とされている。
【００５２】
通常、ＦＯＵＰ８０の正面（蓋８３と反対側の面）には識別のためのＩＤラベルが取り付けられており、オープナー４０にはそのＩＤラベルを読み取るためのリーダが設置される。ＩＤラベルを取り付ける位置は規格によりＦＯＵＰ８０の正面中央と規定されているのであるが、本実施形態のように、搬送アーム３５がＦＯＵＰ８０を支持する支持位置を載置テーブル４１がＦＯＵＰ８０を載置する載置位置よりも内側としておけば、載置テーブル４１の支持ピン４２ｂの前方（（−Ｙ）側）にリーダを固定設置することができ、そのようにしても該リーダと搬送アーム３５とが干渉するおそれはない。
【００５３】
なお、本実施形態においては、ＦＯＵＰ８０が収納容器に、載置テーブル４１が載置台に、搬送ロボット３０が搬送手段に、それぞれ相当する。
【００５４】
次に、上記構成を有するローダー１０の動作内容について説明する。未処理基板を収納したＦＯＵＰ８０は、収容口１１，１２を介してローダー１０内に搬入され、１４個の収容棚２１のいずれかに収容される。そのＦＯＵＰ８０から未処理基板を取り出して基板処理装置１の本体部に投入するときには、まず搬送ロボット３０が収容棚２１にアクセスして、搬送アーム３５がＦＯＵＰ８０を下方より支持する。既述したように、搬送アーム３５がＦＯＵＰ８０のフランジ８２を把持するのではなく、ＦＯＵＰ８０を下方より支持することによって搬送ロボット３０による高速搬送が可能になる。
【００５５】
次に、搬送ロボット３０が搬送アーム３５にＦＯＵＰ８０を支持させつつ、その搬送アーム３５を載置テーブル４１の上方に、より厳密には載置テーブル４１の切り欠き部４３の直上に位置させる。そして、搬送ロボット３０が搬送アーム３５を鉛直方向に沿って下降させて切り欠き部４３を通過させると、搬送アーム３５から載置テーブル４１に直接ＦＯＵＰ８０が渡される。その後、上述の如くに載置テーブル４１が（＋Ｙ）向きに移動してＦＯＵＰ８０の蓋８３が取り外され、基板が取り出される。ＦＯＵＰ８０から搬出された基板は、基板処理装置１の本体部に投入され、所定の処理に供される。
【００５６】
ＦＯＵＰ８０から全ての基板が取り出されると、再び蓋８３が装着され、載置テーブル４１が（−Ｙ）向きに移動する。そして、搬送ロボット３０が搬送アーム３５を載置テーブル４１の下方に、より厳密には載置テーブル４１の切り欠き部４３の直下に位置させる。次に、搬送ロボット３０が搬送アーム３５を鉛直方向に沿って上昇させて切り欠き部４３を通過させると、載置テーブル４１から搬送アーム３５に空のＦＯＵＰ８０が直接渡される。その後、搬送ロボット３０がいずれかの収容棚２１にアクセスして、搬送アーム３５から収容棚２１に空のＦＯＵＰ８０を渡す。そのＦＯＵＰ８０は収容口１１，１２を介して再びローダー１０外部に搬出される。以上のようにしてローダー１０における一連の処理が終了することとなり、複数のＦＯＵＰ８０について同様の処理が繰り返される。
【００５７】
このようにすれば、搬送ロボット３０の搬送アーム３５が載置テーブル４１の切り欠き部４３を通過することによって搬送アーム３５と載置テーブル４１との間で直接ＦＯＵＰ８０の受け渡しを行うことができるため、従来必要としていたリフタ１４０の動作分および搬送ロボット１２０の待避分の時間を節約することができ、ＦＯＵＰ８０の受け渡し動作に要する時間を短縮して高いスループットを得ることができる。
【００５８】
また、搬送ロボット３０と載置テーブル４１との間のＦＯＵＰ８０の受け渡しに従来のリフタ１４０が不要となるため、ローダー１０のコストダウンを図ることができる。
【００５９】
また、第１実施形態においては、載置テーブル４１に対して搬送ロボット３０が載置テーブル４１の側方の一方側（（−Ｘ）側）からアクセスする。そして、図６に明示するように、載置テーブル４１の切り欠き部４３の上記一方側（（−Ｘ）側）が開放されている。このため、搬送ロボット３０が搬送アーム３５を下降させて搬送アーム３５から載置テーブル４１にＦＯＵＰ８０を渡した後、搬送アーム３５をＦＯＵＰ８０の底面と接触しない程度にまで若干下降させてから（−Ｘ）向きに移動すれば、切り欠き部４３の開放部分を通過して搬送アーム３５をオープナー４０から離脱させることができる。仮に、切り欠き部４３の上記一方側（（−Ｘ）側）が開放されていない場合、搬送ロボット３０は、搬送アーム３５から載置テーブル４１にＦＯＵＰ８０を渡した後、載置テーブル４１との干渉を防ぐべく搬送アーム３５を少なくともステージ４５の下側まで移動させてから（−Ｘ）向きに移動して搬送アーム３５をオープナー４０から離脱させる必要がある。この場合、ステージ４５の下側に搬送アーム３５が通るための特別なスペースを設けておく必要がある。
【００６０】
これに対して、本実施形態のように載置テーブル４１の切り欠き部４３の上記一方側（（−Ｘ）側）を開放すれば、搬送アーム３５が載置テーブル４１と同じ高さ位置にあるときに搬送ロボット３０が（−Ｘ）向きの水平移動を行っても搬送アーム３５と載置テーブル４１との干渉が生じるおそれがないため、搬送アーム３５をオープナー４０から離脱させる目的でステージ４５の下側に搬送アーム３５が通るための特別なスペースを設ける必要がなくなり、当該スペースを有効に利用することができる。例えば、第１実施形態においては、そのスペースにローダー１０のコントローラ６０を配置している。
【００６１】
また、載置テーブル４１から見た上記一方側の方向はＸ方向であり、開口５０を介してＦＯＵＰ８０からの基板の搬出が行われる搬出方向はＹ方向であり、ＦＯＵＰ８０への基板の搬入が行われる搬入方向は（−Ｙ）方向である。すなわち、載置テーブル４１から見た上記一方側の方向はＦＯＵＰ８０からの基板の搬出が行われる搬出方向または、ＦＯＵＰ８０への基板の搬入が行われる搬入方向と垂直である。このことは、開口５０を介してＦＯＵＰ８０からの基板の搬出を行う搬出方向またはＦＯＵＰ８０への基板の搬入を行う搬入方向とＦＯＵＰ８０を渡した後に搬送アーム３５がオープナー４０から離脱する方向とが垂直であることを意味している。
【００６２】
ＦＯＵＰ８０からの基板の搬出方向またはＦＯＵＰ８０への基板の搬入方向と搬送アーム３５がオープナー４０から離脱する方向とが同じである場合には、搬送アーム３５の移動分だけローダー１０の奥行き（Ｙ方向の幅）を大きくしなければならないが、本実施形態のように、ＦＯＵＰ８０からの基板の搬出方向またはＦＯＵＰ８０への基板の搬入方向と搬送アーム３５がオープナー４０から離脱する方向とが垂直であれば、ローダー１０の奥行きを小さくしてフットプリントの増大を抑制することができる。
【００６３】
以上、第１実施形態のローダー１０について説明したが、アンローダー９０（図１参照）についても同様の構成と機能とを有している。もっとも、アンローダー９０は、ＦＯＵＰ８０に処理済み基板を搬入するものであるため、搬送ロボット３０が空のＦＯＵＰ８０を収容棚２１から載置テーブル４１に搬送する。載置テーブル４１は、ＦＯＵＰ８０への処理済み基板の搬入が行われるときに、そのＦＯＵＰ８０を載置する。そして、処理済み基板の搬入が終了したＦＯＵＰ８０を搬送ロボット３０の搬送アーム３５が載置テーブル４１から受け取って収容棚２１に搬送する。
【００６４】
アンローダー９０においても、上記ローダー１０と同様に載置テーブル４１に切り欠き部４３を設けることによって、搬送アーム３５と載置テーブル４１との間で直接ＦＯＵＰ８０の受け渡しを行うことができ、ＦＯＵＰ８０の受け渡し動作に要する時間を短縮して高いスループットを得ることができる。また、アンローダー９０のコストダウンを図れる点や搬送アーム３５が通るための特別なスペースを設ける必要がない点も上記ローダー１０と同様である。
【００６５】
＜２．第２実施形態＞
次に、本発明の第２実施形態について説明する。図７は、第２実施形態のローダー１０の構造を示す斜視図である。第２実施形態のローダー１０が第１実施形態と相違するのはリフタ７０を備えている点であり、残余の点については第１実施形態と同じであるため同じ符号を付してその説明は省略する。
【００６６】
リフタ７０は、載置テーブル４１の上方に設けられている。リフタ７０はリフタアーム７１を備えており、リフタアーム７１はＦＯＵＰ８０の上部に形成されたフランジ８２（把持部）を把持することおよびその把持状態を解除することができる。また、リフタ７０は、リフタアーム７１を鉛直方向に沿って昇降させることができる。
【００６７】
載置テーブル４１に載置されているＦＯＵＰ８０のフランジ８２をリフタアーム７１が把持して上昇すると、それに伴ってＦＯＵＰ８０も吊り下げられた状態にて上昇し、載置テーブル４１からリフタ７０にそのＦＯＵＰ８０が渡されることとなる。逆に、ＦＯＵＰ８０の底面が載置テーブル４１に接触した状態にてリフタアーム７１がフランジ８２の把持を解除すると、リフタ７０から載置テーブル４１にＦＯＵＰ８０が渡されることとなる。
【００６８】
なお、第２実施形態においては、リフタ７０が昇降手段に相当する。また、リフタ７０のストロークとして、載置テーブル４１にＦＯＵＰ８０を載置してかつリフタアーム７１にも別のＦＯＵＰ８０を把持させた状態でそれら両ＦＯＵＰ８０間に搬送ロボット３０の搬送アーム３５を水平方向に挿脱できるだけの長さを最低限確保しておく。
【００６９】
第２実施形態のローダー１０の動作内容は以下のようなものとなる。まず、第１実施形態と同様に、未処理基板を収納したＦＯＵＰ８０が収容口１１，１２を介してローダー１０内に搬入され、１４個の収容棚２１のいずれかに収容される。次に、搬送ロボット３０が収容棚２１にアクセスして、搬送アーム３５がＦＯＵＰ８０を下方より保持する。
【００７０】
そして、搬送ロボット３０がオープナー４０までＦＯＵＰ８０を搬送するのであるが、このときに載置テーブル４１上に他のＦＯＵＰ８０が載置されていないときは第１実施形態と同じように直接載置テーブル４１にＦＯＵＰ８０を渡す。一方、載置テーブル４１上に他のＦＯＵＰ８０が載置されているときは搬送ロボット３０はＦＯＵＰ８０をリフタ７０に渡す。搬送アーム３５によって下方より保持されたＦＯＵＰ８０の上部に形成されたフランジ８２をリフタアーム７１が把持することによって、搬送ロボット３０からリフタ７０にＦＯＵＰ８０が渡されるため、この受け渡し動作時に搬送アーム３５とリフタアーム７１とが干渉する懸念はない。
【００７１】
載置テーブル４１上に他のＦＯＵＰ８０（第２の収納容器）が載置されているときは、そのＦＯＵＰ８０から未処理基板が搬出されて基板処理装置１の本体部に投入されているときである。このときに、未処理基板を収納した新たなＦＯＵＰ８０（第１の収納容器）が搬送ロボット３０からリフタ７０に渡されるのである。換言すれば、リフタ７０に新たなＦＯＵＰ８０を保持させた状態にて、載置テーブル４１に載置された他のＦＯＵＰ８０からの基板の搬出が行われているのであり、リフタ７０は新たなＦＯＵＰ８０を保持して待機しているのである。
【００７２】
他のＦＯＵＰ８０からの基板の搬出が終了すると、搬送ロボット３０が載置テーブル４１から空のＦＯＵＰ８０を受け取って収容棚２１に搬送するとともに、リフタ７０がリフタアーム７１を下降させて新たなＦＯＵＰ８０を載置テーブル４１に渡す。そして、載置テーブル４１に載置された新たなＦＯＵＰ８０からの基板搬出が開始されるとともに、上記空のＦＯＵＰ８０を格納した搬送ロボット３０がさらに別の新たなＦＯＵＰ８０を収容棚２１から搬送してリフタ７０に渡す。以降、同様の動作が繰り返されることとなる。
【００７３】
このようにすれば、基板搬出の終了した空のＦＯＵＰ８０を搬送ロボット３０が載置テーブル４１から取り去った後、直ちにリフタ７０が新たな未処理基板を収納したＦＯＵＰ８０を載置テーブル４１に渡すため、空のＦＯＵＰ８０の収容棚２１への格納と新たな未処理基板を収納したＦＯＵＰ８０のオープナー４０への投入がほぼ同時に行われることとなり、第１実施形態よりもＦＯＵＰ８０の受け渡し動作に要する時間をさらに短縮してより高いスループットを得ることができる。また、搬送アーム３５が通るための特別なスペースを設ける必要がない点も第１実施形態と同じである。もっとも、リフタ７０を設ける分だけ第１実施形態よりもコストアップが生じるため、そのコストアップの程度とスループットの向上の程度を比較して要求されている仕様を満たすような装置構成にするのが望ましい。
【００７４】
以上、第２実施形態のローダー１０について説明したが、第１実施形態と同じく、アンローダー９０（図１参照）についても同様の構成と機能とを持たせている。アンローダー９０において、載置テーブル４１上に他のＦＯＵＰ８０（第２の収納容器）が載置されているときは、そのＦＯＵＰ８０に基板処理装置１の本体部から処理済み基板が搬入されているときである。このときに、新たな空のＦＯＵＰ８０（第１の収納容器）が搬送ロボット３０からリフタ７０に渡されるのである。換言すれば、リフタ７０に新たな空のＦＯＵＰ８０を保持させた状態にて、載置テーブル４１に載置された他のＦＯＵＰ８０への基板の搬入が行われているのであり、リフタ７０は新たな空のＦＯＵＰ８０を保持して待機しているのである。
【００７５】
他のＦＯＵＰ８０への基板の搬入が終了すると、搬送ロボット３０が載置テーブル４１から処理済み基板を収納したＦＯＵＰ８０を受け取って収容棚２１に搬送するとともに、リフタ７０がリフタアーム７１を下降させて新たな空のＦＯＵＰ８０を載置テーブル４１に渡す。そして、載置テーブル４１に載置された新たな空のＦＯＵＰ８０への基板搬入が開始されるとともに、上記処理済み基板を収納したＦＯＵＰ８０を格納した搬送ロボット３０がさらに別の新たな空のＦＯＵＰ８０を収容棚２１から搬送してリフタ７０に渡す。以降、同様の動作が繰り返されることとなる。
【００７６】
このようにしても、基板搬入の終了したＦＯＵＰ８０を搬送ロボット３０が載置テーブル４１から取り去った後、直ちにリフタ７０が新たな空のＦＯＵＰ８０を載置テーブル４１に渡すため、ＦＯＵＰ８０の受け渡し動作に要する時間をさらに短縮してより高いスループットを得ることができる。
【００７７】
＜３．第３実施形態＞
次に、本発明の第３実施形態について説明する。図８は、第３実施形態のローダー１０の構造を示す斜視図である。第３実施形態のローダー１０が第１実施形態と相違するのは基板処理装置外部のＡＧＶ（Automatic Guided Vehicle）２００が直接ＦＯＵＰ８０をオープナー４０に対して受け渡しする点であり、残余の点については第１実施形態と同じであるため同じ符号を付してその説明は省略する。
【００７８】
第３実施形態のローダー１０には、ＦＯＵＰ８０を収容する収容部２０および収容部２０とオープナー４０との間でＦＯＵＰ８０の搬送を行う搬送ロボット３０が設けられておらず、ＦＯＵＰ８０を開放してその内部から未処理基板を取り出すオープナー４０のみが設けられている。換言すれば、第１実施形態のローダー１０から収容部２０および搬送ロボット３０を取り外したものが第３実施形態のローダー１０となる。但し、第３実施形態においては、ＡＧＶ２００の搬送時間とオープナー４０における基板取り出し時間との差を調整するためにＦＯＵＰ８０を載置する収容棚２１を１つだけ載置テーブル４１の下方に設けている。
【００７９】
ＡＧＶ２００は、基板処理装置が設置された工場内を走行してＦＯＵＰ８０を搬送する。ＡＧＶ２００は、自走機能を有する本体部２０１に搬送アーム２０２を有する多関節ロボットを備えて構成されている。
【００８０】
ローダー１０の外壁であって、載置テーブル４１と対向する位置には図１の収容口１１，１２と同様の開口（図示省略）が形成されている。ＡＧＶ２００は、その開口を介してオープナー４０にＦＯＵＰ８０を渡すことおよびオープナー４０からＦＯＵＰ８０を取り出すことができる。なお、ＡＧＶ２００はオープナー４０とは異なる位置（例えば、工場内のＦＯＵＰ８０の集積所）とオープナー４０との間でＦＯＵＰ８０を搬送する。
【００８１】
第３実施形態のローダー１０の動作内容は以下のようなものとなる。まず、ＡＧＶ２００が搬送アーム２０２にＦＯＵＰ８０を下方より保持させた状態にてローダー１０の上記開口の正面まで走行移動する。そして、ＡＧＶ２００はその開口から搬送アーム２０２を挿入し、載置テーブル４１の上方に、より厳密には載置テーブル４１の切り欠き部４３の直上に位置させる。そして、ＡＧＶ２００が搬送アーム２０２を鉛直方向に沿って下降させて切り欠き部４３を通過させると、搬送アーム２０２から載置テーブル４１に直接ＦＯＵＰ８０が渡される。
【００８２】
ＦＯＵＰ８０からの基板の搬出が完了すると、ＡＧＶ２００は搬送アーム２０２を載置テーブル４１の下方に、より厳密には載置テーブル４１の切り欠き部４３の直下に位置させる。次に、ＡＧＶ２００が搬送アーム２０２を鉛直方向に沿って上昇させて切り欠き部４３を通過させると、載置テーブル４１から搬送アーム２０２に空のＦＯＵＰ８０が直接渡される。その後、ＡＧＶ２００は上記開口から搬送アーム２０２を抜き出し、ＦＯＵＰ８０を保持して再び走行を開始する。
【００８３】
このようにすれば、ＡＧＶ２００の搬送アーム２０２が載置テーブル４１の切り欠き部４３を通過することによって搬送アーム２０２と載置テーブル４１との間で直接ＦＯＵＰ８０の受け渡しを行うことができるため、第１実施形態と同様に、ＦＯＵＰ８０の受け渡し動作に要する時間を短縮して高いスループットを得ることができる。
【００８４】
以上、第３実施形態のローダー１０について説明したが、第１実施形態と同じく、アンローダー９０（図１参照）についても同様の構成と機能とを持たせている。もっとも、アンローダー９０は、ＦＯＵＰ８０に処理済み基板を搬入するものであるため、ＡＧＶ２００が空のＦＯＵＰ８０を載置テーブル４１に搬送する。載置テーブル４１は、ＦＯＵＰ８０への処理済み基板の搬入が行われるときに、そのＦＯＵＰ８０を載置する。そして、処理済み基板の搬入が終了したＦＯＵＰ８０をＡＧＶ２００の搬送アーム２０２が載置テーブル４１から受け取って装置外部へと取り出す。
【００８５】
＜４．第４実施形態＞
次に、本発明の第４実施形態について説明する。図９は、第４実施形態のローダー１０の構造を示す斜視図である。第４実施形態のローダー１０が第１実施形態と相違するのは、ステージ４５が直方体形状とされているために、搬送アーム３５が載置テーブル４１の上方から下方に通過することが不可能とされている点である。すなわち、載置テーブル４１には搬送アーム３５が鉛直方向に沿ってはまり込むことは出来るものの、通過は不可能な凹部４４が形成されている点である。残余の点については第１実施形態と同じであるため同じ符号を付してその説明は省略する。
【００８６】
第４実施形態においては、搬送アーム３５がはまり込んで少なくとも搬送アーム３５の上面が載置テーブル４１の上面よりも下側まで移動可能な凹部４４が載置テーブル４１に設けられている。より具体的には、搬送アーム３５と同様の形状であってかつ搬送アーム３５の厚さよりも大きな深さを有する凹部４４を載置テーブル４１に形成している。また、ステージ４５の形状は直方体形状としている。従って、搬送アーム３５が鉛直方向に沿って載置テーブル４１を通過することはできない。
【００８７】
一方、第１実施形態と同様に、搬送アーム３５は３つの支持ピン３６ａ，３６ｂ，３６ｃによって３点にてＦＯＵＰ８０を下方から略水平姿勢に保持することができるとともに、ＦＯＵＰ８０を下方より支持したまま鉛直方向に沿って昇降することができる。ＦＯＵＰ８０を下方より略水平姿勢にて支持した搬送アーム３５が載置テーブル４１の上方から鉛直方向に沿って下降し、載置テーブル４１の凹部４４にはまり込んで載置テーブル４１の上面よりも下側に移動すると、搬送アーム３５の支持ピン３６ａ，３６ｂ，３６ｃから載置テーブル４１の支持ピン４２ａ，４２ｂ，４２ｃにＦＯＵＰ８０が渡される。すなわち、第４実施形態においても、搬送アーム３５から載置テーブル４１に直接ＦＯＵＰ８０を渡すことができるのである。
【００８８】
また、第１実施形態と同様に、ＦＯＵＰ８０の底面のうち、搬送アーム３５がＦＯＵＰ８０を支持する支持位置は載置テーブル４１がＦＯＵＰ８０を載置する載置位置よりも内側とされている。
【００８９】
また、第４実施形態においては、載置テーブル４１に対して搬送ロボット３０が載置テーブル４１の側方の一方側（（−Ｘ）側）からアクセスする。そして、載置テーブル４１の凹部４４の上記一方側（（−Ｘ）側）が開放されている。このため、搬送ロボット３０が搬送アーム３５を下降させて搬送アーム３５から載置テーブル４１にＦＯＵＰ８０を渡した後、搬送アーム３５をＦＯＵＰ８０の底面と接触しない程度にまで凹部４４内にて若干下降させてから（−Ｘ）向きに移動すれば、凹部４４の開放部分を通過して搬送アーム３５をオープナー４０から離脱させることができる。
【００９０】
従って、第４実施形態においても、搬送アーム３５が載置テーブル４１と同じ高さ位置にあるときに搬送ロボット３０が（−Ｘ）向きの水平移動を行っても搬送アーム３５と載置テーブル４１との干渉が生じるおそれがないため、ステージ４５の下側に搬送アーム３５が通るための特別なスペースを設ける必要がなくなり、当該スペースを有効に利用することができる。
【００９１】
さらに、第４実施形態においても、載置テーブル４１から見た上記一方側の方向はＦＯＵＰ８０からの基板の搬出が行われる搬出方向またはＦＯＵＰ８０への基板の搬入が行われる搬入方向と垂直である。すなわち、開口５０を介してＦＯＵＰ８０からの基板の搬出を行う搬出方向またはＦＯＵＰ８０への基板の搬入を行う搬入方向とＦＯＵＰ８０を渡した後に搬送アーム３５がオープナー４０から離脱する方向とが垂直である。従って、第１実施形態と同様に、ローダー１０の奥行きを小さくしてフットプリントの増大を抑制することができる。
【００９２】
なお、搬送アーム３５が鉛直方向に沿って載置テーブル４１を通過しない点を除き、ローダー１０の動作内容は第１実施形態と同じである。
【００９３】
以上、第４実施形態のローダー１０について説明したが、アンローダー９０（図１参照）についても同様の構成と機能とを有している。アンローダー９０においても、上記ローダー１０と同様に載置テーブル４１に凹部４４を設けることによって、搬送アーム３５と載置テーブル４１との間で直接ＦＯＵＰ８０の受け渡しを行うことができ、ＦＯＵＰ８０の受け渡し動作に要する時間を短縮して高いスループットを得ることができる。また、アンローダー９０のコストダウンを図れる点や搬送アーム３５が通るための特別なスペースを設ける必要がない点も上記ローダー１０と同様である。
【００９４】
＜５．変形例＞
以上、本発明の実施の形態について説明したが、本発明は上記の例に限定されるものではない。例えば、上記の各実施形態においては、本発明に係る基板受渡装置の機能がローダー１０とアンローダー９０とに分離されていたが、１つの基板受渡装置にこれらの機能を統合するようにしても良い。すなわち、１つの基板受渡装置がＦＯＵＰ８０からの未処理基板の搬出およびＦＯＵＰ８０への処理済み基板の搬入の双方を行うようにしても良い。
【００９５】
また、上記各実施形態においては、基板処理装置１を１組の複数の基板を一括して処理するいわゆるバッチ式の装置としていたが、これに限定されるものではなく、本発明に係る基板受渡装置は基板を１枚ずつ処理するいわゆる枚葉式の基板処理装置に組み込まれるようにしても良い。
【００９６】
また、搬送アーム３５（２０２）をコの字形状とし、載置テーブル４１を長方形の板状としても良い。この場合、載置テーブル４１の両側方を搬送アーム３５が鉛直方向に沿って通過する。このようにしても、搬送アーム３５と載置テーブル４１との間で直接ＦＯＵＰ８０の受け渡しを行うことができ、ＦＯＵＰ８０の受け渡し動作に要する時間を短縮して高いスループットを得ることができる。すなわち、搬送アーム３５が鉛直方向に沿って通過可能な前記搬送手段用の通過部が載置テーブル４１に形成されていれば良いのである。
【００９７】
この場合は、載置テーブル４１の厚さを薄くして下方を開放空間とし、搬送アーム３５が載置テーブル４１の下方を通過しつつ載置テーブル４１の側方に移動できるようにする。このようにすれば、開口５０を介してＦＯＵＰ８０からの基板の搬出を行う搬出方向とＦＯＵＰ８０を渡した後に搬送アーム３５がオープナー４０から離脱する方向とが垂直となり、ローダー１０の奥行きを小さくしてフットプリントの増大を抑制することができる。
【００９８】
また、第２実施形態の構成と第３実施形態の構成と組み合わせるようにしても良い。具体的には、図８の構成にリフタ７０（図７）を設ける。このときのローダー１０の動作は、第３実施形態に第２実施形態のリフタ７０の動作を加えたものとなる。
【００９９】
また、第２実施形態の構成と第４実施形態の構成と組み合わせるようにしても良い。具体的には、図９の構成にリフタ７０（図７）を設ける。このときのローダー１０の動作は、第４実施形態に第２実施形態のリフタ７０の動作を加えたものとなる。
【０１００】
さらに、第３実施形態の構成と第４実施形態の構成と組み合わせるようにしても良い。具体的には、図９のオープナー４０を図８のローダー１０に適用する。このときのローダー１０の動作は、ＡＧＶ２００の搬送アーム２０２が鉛直方向に沿って載置テーブル４１を通過しない点を除き、第３実施形態と同じである。
【０１０１】
【発明の効果】
以上、説明したように、請求項１の発明によれば、載置台に、搬送アームが略鉛直方向に沿って通過可能な切り欠き部が形成されているため、搬送アームが載置台の切り欠き部を通過することによって搬送アームと載置台との間で直接収納容器の受け渡しを行うことができ、収納容器の受け渡し動作に要する時間を短縮して高いスループットを得ることができる。また、収納容器に対する基板の搬出および搬入の方向と実質的に垂直な搬送方向に沿って収容部と載置台との間で収納容器が搬送され、切り欠き部の搬送方向に沿った収容部側が開放されているため、搬送アームを載置台から容易に離脱させることができ、搬送アームが通るための特別なスペースを設ける必要がなくなり、当該スペースを有効に利用することができ、しかも基板受渡装置の奥行きを小さくして小型化することができる。
【０１０３】
また、請求項２の発明によれば、昇降手段に第１の収納容器を保持させた状態にて、載置台に載置された第２の収納容器からの基板の搬出または第２の収納容器への基板の搬入が行われるため、搬送手段が載置台から第２の収納容器を取り去った後、直ちに昇降手段が第１の収納容器を載置台に渡すことができ、収納容器の受け渡し動作に要する時間をさらに短縮してより高いスループットを得ることができる。
【０１０４】
また、請求項３の発明によれば、載置部に、搬送手段が略鉛直方向に沿って通過可能な搬送手段用の切り欠き部が形成されているため、搬送手段が載置部の切り欠き部を通過することによって搬送手段と載置部との間で直接収納容器の受け渡しを行うことができ、収納容器の受け渡し動作に要する時間を短縮して高いスループットを得ることができる。また、収納容器に対する基板の搬出および搬入の方向と実質的に垂直な搬送方向に沿って収容部と載置部との間で収納容器が搬送され、切り欠き部の搬送方向に沿った収容部側が開放されているため、搬送アームを載置部から容易に離脱させることができ、搬送アームが通るための特別なスペースを設ける必要がなくなり、当該スペースを有効に利用することができ、しかも基板処理装置の奥行きを小さくして小型化することができる。
【０１０８】
また、請求項４の発明によれば、昇降手段に第１の収納容器を保持させた状態にて、載置部に載置された第２の収納容器からの基板の搬出または第２の収納容器への基板の搬入が行われるため、搬送手段が載置部から第２の収納容器を取り去った後、直ちに昇降手段が第１の収納容器を載置部に渡すことができ、収納容器の受け渡し動作に要する時間をさらに短縮してより高いスループットを得ることができる。
【０１０９】
また、請求項５の発明によれば、収納容器の底面のうち、搬送手段が収納容器を支持する支持位置は載置部が収納容器を載置する載置位置よりも内側とされているため、利便性が高い。
【０１１０】
また、請求項６の発明によれば、載置部に、搬送手段がはまり込んで載置部の上面よりも下側まで移動可能な前記搬送手段用の凹部が形成されているため、搬送手段が載置部の凹部にはまり込んで載置部の上面よりも下側まで移動することによって搬送手段と載置部との間で直接収納容器の受け渡しを行うことができ、収納容器の受け渡し動作に要する時間を短縮して高いスループットを得ることができる。また、収納容器に対する基板の搬出および搬入の方向と実質的に垂直な搬送方向に沿って収容部と載置部との間で収納容器が搬送され、凹部の搬送方向に沿った収容部側が開放されているため、搬送アームを載置部から容易に離脱させることができ、搬送アームが通るための特別なスペースを設ける必要がなくなり、当該スペースを有効に利用することができ、しかも基板処理装置の奥行きを小さくして小型化することができる。
【０１１４】
また、請求項７の発明によれば、昇降手段に第１の収納容器を保持させた状態にて、載置部に載置された第２の収納容器からの基板の搬出または第２の収納容器への基板の搬入が行われるため、搬送手段が載置部から第２の収納容器を取り去った後、直ちに昇降手段が第１の収納容器を載置部に渡すことができ、収納容器の受け渡し動作に要する時間をさらに短縮してより高いスループットを得ることができる。
【０１１５】
また、請求項８の発明によれば、収納容器の底面のうち、搬送手段が収納容器を支持する支持位置は載置部が収納容器を載置する載置位置よりも内側とされているため、利便性が高い。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る基板受渡装置を組み込んだ基板処理装置の外観斜視図である。
【図２】ＦＯＵＰの外観斜視図である。
【図３】図１の基板処理装置のローダーの構造を示す斜視図である。
【図４】図３のオープナーをＸ方向から見た側面図である。
【図５】図３のオープナーをＹ方向から見た正面図である。
【図６】図３のオープナーをＺ方向から見た平面図である。
【図７】第２実施形態のローダーの構造を示す斜視図である。
【図８】第３実施形態のローダーの構造を示す斜視図である。
【図９】第４実施形態のローダーの構造を示す斜視図である。
【図１０】従来のＦＯＵＰ用の基板受渡装置を示す斜視図である。
【符号の説明】
１ 基板処理装置
１０ ローダー
２０ 収容部
２１ 収容棚
３０ 搬送ロボット
３５ 搬送アーム
４０ オープナー
４１ 載置テーブル
４３ 切り欠き部
４４ 凹部
４５ ステージ
７０ リフタ
８０ ＦＯＵＰ
８２ フランジ
９０ アンローダー
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体基板、液晶表示装置用ガラス基板、フォトマスク用ガラス基板、光ディスク用基板等（以下、「基板」と称する）を収納する収納容器を収容するとともに、その収納容器からの基板の搬出またはその収納容器への基板の搬入を行う技術に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来より、基板に対してエッチング処理等の表面処理を行う基板処理装置には、装置外部から未処理基板がキャリアに収納された状態で搬入される。キャリアには、容器の一部が外部雰囲気に解放されたタイプのＯＣ(open cassette)と、容器内部が密閉されたタイプのＦＯＵＰ(front opening unified pod)とがある。
【０００３】
装置間における基板の搬送にＦＯＵＰタイプのカセット（以下、単に「ＦＯＵＰ」と称する）を使用した場合は、基板が密閉された状態で搬送されることとなるため、周囲の雰囲気にパーティクル等が存在していたとしても基板の清浄度は維持できる。従って、基板処理装置を設置するクリーンルーム内の清浄度をあまり高くする必要がなくなるため、クリーンルームに要するコストを低減することができる。
【０００４】
このようなＦＯＵＰは基板処理装置に組み込まれた専用の基板受渡装置に収容され、その基板受渡装置においてＦＯＵＰから未処理基板を基板処理装置に取り出したり、ＦＯＵＰに処理済の基板を回収したりする。図１０は、従来のＦＯＵＰ用の基板受渡装置を示す斜視図である。
【０００５】
基板受渡装置１０１は、基板処理装置１００にローダーとして組み込まれており、未処理基板を収納したＦＯＵＰを収容するとともに、そのＦＯＵＰから基板処理装置１００に基板を投入する機能を有する。基板受渡装置１０１は、複数の収容棚１１１、搬送ロボット１２０、載置テーブル１３０およびリフタ１４０を備える。
【０００６】
複数の収容棚１１１のそれぞれは１つのＦＯＵＰを載せて収容することができる。基板処理装置１００の外部から基板受渡装置１０１に搬入されたＦＯＵＰは、複数の収容棚１１１のいずれかに収容される。
【０００７】
載置テーブル１３０は１つのＦＯＵＰを載置することができる。載置テーブル１３０に載置されたＦＯＵＰが開放されることにより、その内部から未処理基板が取り出されて基板処理装置１００の本体内部に投入される。
【０００８】
搬送ロボット１２０は、搬送アーム１２１を備えるとともに、基板処理装置１００の幅方向に沿って移動可能とされている。また、搬送アーム１２１は搬送ロボット１２０に対して上下動可能とされている。これにより、搬送ロボット１２０は、載置テーブル１３０および複数の収容棚１１１のそれぞれに対して搬送アーム１２１をアクセスさせることができる。そして、搬送ロボット１２０は、未処理基板を収納したＦＯＵＰを複数の収容棚１１１のいずれかから載置テーブル１３０に搬送するとともに、基板が取り出された後の空のＦＯＵＰを載置テーブル１３０から複数の収容棚１１１のいずれかに搬送する。
【０００９】
搬送ロボット１２０がＦＯＵＰを搬送するときには、搬送アーム１２１がＦＯＵＰの底部を下方より支持する。これは、搬送ロボット１２０がＦＯＵＰの上部に設けられたフランジを把持して、ＦＯＵＰを吊り下げた状態で搬送を行うと当該フランジの強度の問題から急な加減速ができず高速搬送ができないためである。
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、搬送アーム１２１がＦＯＵＰの底部を支持したときには、そのＦＯＵＰを直接載置テーブル１３０に置くことができない。そこで、従来においては、搬送アーム１２１によって下方より支持されたＦＯＵＰを一旦リフタ１４０に渡していた。リフタ１４０は、ＦＯＵＰの上部に設けられたフランジを把持して、ＦＯＵＰを吊り下げた状態で保持することができる。また、リフタ１４０は、載置テーブル１３０の上方において鉛直方向に沿って上下方向に移動可能である。よって、リフタ１４０は、搬送ロボット１２０からＦＯＵＰを受け取った後、搬送ロボット１２０が移動して搬送アーム１２１がＦＯＵＰと載置テーブル１３０との間から待避してから保持しているＦＯＵＰを下降させて載置テーブル１３０上に置いていた。その後、載置テーブル１３０に置かれたＦＯＵＰが開放され、その内部から未処理基板が取り出されて基板処理装置１００の本体内部に投入される。
【００１１】
なお、基板が取り出されて空になったＦＯＵＰを載置テーブル１３０から収容棚１１１に搬送するときには、上述と逆の手順が実行されることとなる。すなわち、一旦リフタ１４０が空のＦＯＵＰを保持して持ち上げた後、搬送ロボット１２０が載置テーブル１３０にアクセスし、リフタ１４０から搬送ロボット１２０の搬送アーム１２１にＦＯＵＰが渡される。その後、リフタ１４０がＦＯＵＰの把持を解除し、ＦＯＵＰを受け取った搬送ロボット１２０が収容棚１１１にアクセスする。
【００１２】
以上のように、従来においては、搬送ロボット１２０が直接載置テーブル１３０にＦＯＵＰを置くことができなかったり、また直接載置テーブル１３０からＦＯＵＰを受け取ることができなかったために、一旦リフタ１４０を介して搬送ロボット１２０と載置テーブル１３０との間のＦＯＵＰの受渡しを行わなければならなかった。従って、搬送ロボット１２０と載置テーブル１３０との間のＦＯＵＰの受渡しにリフタ１４０の動作分および搬送ロボット１２０の待避分の時間を必要とし、スループットが低下するという問題が生じていた。
【００１３】
本発明は、上記課題に鑑みてなされたものであり、高いスループットを得ることができる基板受渡装置および基板処理装置を提供することを目的とする。
【００１４】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するため、請求項１の発明は、基板を収納する収納容器を収容するとともに、前記収納容器からの基板の搬出または前記収納容器への基板の搬入を行う基板受渡装置において、前記収納容器を収容する収容部と、前記収容部の側方に配置され、前記収納容器からの基板の搬出または前記収納容器への基板の搬入が行われる際に、前記収納容器を載置する載置台と、前記収容部と前記載置台との間で前記収納容器に対する基板の搬出および搬入の方向と実質的に垂直な搬送方向に沿って前記収納容器を搬送する搬送手段と、を備え、前記搬送手段に、前記収納容器を下方より保持して略鉛直方向に沿って昇降する搬送アームを有させ、前記載置台には、前記搬送アームが略鉛直方向に沿って通過可能な切り欠き部を形成し、前記切り欠き部の前記搬送方向に沿った前記収容部側を開放している。
【００１６】
また、請求項２の発明は、請求項１の発明に係る基板受渡装置において、前記載置台の上方に設けられ、前記収納容器の上部に形成された把持部を保持して略鉛直方向に沿って昇降する昇降手段をさらに備え、前記昇降手段に第１の収納容器を保持させた状態にて、前記載置台に載置された第２の収納容器からの基板の搬出または第２の収納容器への基板の搬入を行う。
【００１７】
また、請求項３の発明は、基板を収納する収納容器からの基板の搬出または前記収納容器への基板の搬入を行うための基板処理装置において、前記収納容器を収容する収容部と、前記収容部の側方に配置され、前記収納容器からの基板の搬出または前記収納容器への基板の搬入が行われる際に、前記収納容器を載置する載置部と、前記収納容器を下方より保持して略鉛直方向に沿って昇降自在であり、かつ前記収納部と前記載置部との間で前記収納容器に対する基板の搬出および搬入の方向と実質的に垂直な搬送方向に沿って前記収納容器を搬送する搬送手段と、を備え、前記載置部に、前記搬送手段が略鉛直方向に沿って通過可能な前記搬送手段用の切り欠き部を形成し、前記切り欠き部の前記搬送方向に沿った前記収容部側を開放している。
【００２１】
また、請求項４の発明は、請求項３の発明に係る基板処理装置において、前記載置部の上方に設けられ、前記収納容器の上部に形成された把持部を保持して略鉛直方向に沿って昇降する昇降手段をさらに備え、前記昇降手段に第１の収納容器を保持させた状態にて、前記載置部に載置された第２の収納容器からの基板の搬出または第２の収納容器への基板の搬入を行わせる。
【００２２】
また、請求項５の発明は、請求項３または請求項４の発明に係る基板処理装置において、前記収納容器の底面のうち、前記搬送手段が前記収納容器を支持する支持位置を前記載置部が前記収納容器を載置する載置位置よりも内側としている。
【００２３】
また、請求項６の発明は、基板を収納する収納容器からの基板の搬出または前記収納容器への基板の搬入を行うための基板処理装置において、前記収納容器を収容する収容部と、前記収容部の側方に配置され、前記収納容器からの基板の搬出または前記収納容器への基板の搬入が行われる際に、前記収納容器を載置する載置部と、前記収納容器を下方より保持して略鉛直方向に沿って昇降自在であり、かつ前記収納部と前記載置部との間で前記収納容器に対する基板の搬出および搬入の方向と実質的に垂直な搬送方向に沿って前記収納容器を搬送する搬送手段と、を備え、前記載置部に、前記搬送手段がはまり込んで前記載置部の上面よりも下側まで移動可能な前記搬送手段用の凹部を設け、前記凹部の前記搬送方向に沿った前記収容部側を開放している。
【００２７】
また、請求項７の発明は、請求項６の発明に係る基板処理装置において、前記載置部の上方に設けられ、前記収納容器の上部に形成された把持部を保持して略鉛直方向に沿って昇降する昇降手段をさらに備え、前記昇降手段に第１の収納容器を保持させた状態にて、前記載置部に載置された第２の収納容器からの基板の搬出または第２の収納容器への基板の搬入を行わせる。
【００２８】
また、請求項８の発明は、請求項６または請求項７の発明に係る基板処理装置において、前記収納容器の底面のうち、前記搬送手段が前記収納容器を支持する支持位置を前記載置部が前記収納容器を載置する載置位置よりも内側としている。
【００３３】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照しつつ本発明の実施の形態について詳細に説明する。
【００３４】
＜１．第１実施形態＞
図１は、本発明に係る基板受渡装置を組み込んだ基板処理装置の外観斜視図である。図１および以降の各図には、それらの方向関係を明確にすべく必要に応じて適宜、Ｚ軸方向を鉛直方向とし、ＸＹ平面を水平面とするＸＹＺ直交座標系を付している。
【００３５】
この基板処理装置１は、１組の複数の基板（ロット）にフッ酸等の薬液によるエッチング処理や純水によるリンス処理等を順次に行う装置であって、その本体内部に薬液を貯留する薬液槽や純水を貯留する水洗槽を備えている。基板処理装置１の一方側の端部にはローダー１０が設けられるとともに、他方側の端部にはアンローダー９０が設けられている。ローダー１０およびアンローダー９０はともに本発明に係る基板受渡装置であり、同様の構成および機能を備えている。但し、ローダー１０は未処理基板を収納したＦＯＵＰを収容するとともに、そのＦＯＵＰから未処理基板を搬出して基板処理装置１の本体部に投入する役割を有するのに対し、アンローダー９０は空のＦＯＵＰを収容するとともに、基板処理装置１の本体部からそのＦＯＵＰに処理済の基板を搬入する役割を有している。
【００３６】
以下、未処理基板を基板処理装置１の本体部に投入するローダー１０を本発明に係る基板受渡装置の例として詳細に説明する。ローダー１０の外壁には収容口１１，１２が形成されている。未処理基板を収納したＦＯＵＰは、図外のロードポートによって収容口１１，１２を介してローダー１０内に搬入される。
【００３７】
ここでＦＯＵＰについて説明しておく。図２は、ＦＯＵＰの外観斜視図である。ＦＯＵＰ８０は、筐体８１の上部にフランジ８２を形成している。このフランジ８２を把持することによって、ＦＯＵＰ８０を吊り下げた状態にて保持することができる。また、筐体８１の一面（図２中矢印ＡＲ２の向きから見た面）には蓋８３が設けられている。蓋８３には筐体８１に対するロック機構が設けられており、蓋８３を筐体８１に取り付けた状態にてそのロック機構を機能させることによって蓋８３が筐体８１に固定され、筐体８１内部が密閉された閉空間となる。一方、上記のロック機構を解除すると、蓋８３を筐体８１から取り外すことが可能となる。蓋８３を筐体８１から取り外してＦＯＵＰ８０を開放した状態においては、筐体８１の内部から基板を取り出すことおよびその内部に基板を収納することが可能となる。なお、筐体８１には例えば２５枚または１３枚の基板をそれぞれの主面を水平方向に沿わせてまたは鉛直方向に沿わせて収納する。
【００３８】
通常、ローダー１０の内外にてＦＯＵＰ８０を搬送するときには蓋８３を筐体８１に装着してロック機構を機能させた状態、すなわち筐体８１内部を密閉空間とした状態にする。これにより、基板処理装置１が設置されたクリーンルームの清浄度にかかわらず、ＦＯＵＰ８０内部では高い清浄度が維持される。
【００３９】
図３は、ローダー１０の構造を示す斜視図である。ローダー１０は、主としてＦＯＵＰ８０を収容する収容部２０と、ＦＯＵＰ８０を開放してその内部から未処理基板を取り出すオープナー４０と、収容部２０とオープナー４０との間でＦＯＵＰ８０の搬送を行う搬送ロボット３０とを備えている。また、ローダー１０と基板処理装置１の本体部とは隔壁１５を挟んで接続されている。キャリアとしてＦＯＵＰ８０を採用すると、ローダー１０内部まではある程度清浄度が低下することもあるが、そのような場合であっても隔壁１５によってローダー１０内部雰囲気と基板処理装置１本体部の雰囲気とを分離することにより基板処理装置１の本体部においては高い清浄度を維持することができる。
【００４０】
収容部２０は、合計１４個の収容棚２１を備えている。収容棚２１のうちの１つはオープナー４０の上方に設けられ、別の１つはオープナー４０の下方に設けられている。残りの１２個の収容棚２１については、６個ずつ鉛直方向（Ｚ軸方向）に沿って２列に積層されている。各収容棚２１は１つのＦＯＵＰ８０を載置して収容することができる。なお、収容棚２１のそれぞれは未処理基板を収納したＦＯＵＰ８０または基板が取り出された後の空のＦＯＵＰ８０のいずれをも収容することができる。
【００４１】
搬送ロボット３０は、搬送アーム３５および水平方向駆動部３１を備えている。また、ローダー１０には、レール３２およびガイドレール３３がいずれもＸ軸方向に沿って延設されている。水平方向駆動部３１は搬送ロボット３０の下端部に固設され、レール３２上をＸ軸方向に沿って移動することができる。一方、搬送ロボット３０の上端部はガイドレール３３に摺動自在に接続されている。従って、水平方向駆動部３１がレール３２上をＸ軸方向に沿って移動すると、それに伴って搬送ロボット３０の全体がＸ軸方向に沿って移動する。
【００４２】
搬送アーム３５は、搬送ロボット３０に取り付けられ、図示を省略する昇降駆動部によって搬送ロボット３０に対し鉛直方向（Ｚ軸方向）に沿って昇降自在とされている。搬送ロボット３０全体がＸ軸方向に沿って移動可能であり、搬送アーム３５が搬送ロボット３０に対しＺ軸方向に沿って移動可能であるため、結局搬送アーム３５はＸＺ平面内にて自在に移動することができる。これにより、搬送ロボット３０は、搬送アーム３５を任意の収容棚２１およびオープナー４０に対してアクセスさせることができる。
【００４３】
オープナー４０は、ＦＯＵＰ８０を載置して蓋８３を取り外す役割を有する。図４は、オープナー４０をＸ方向から見た側面図である。図５は、オープナー４０をＹ方向から見た正面図である。また、図６は、オープナー４０をＺ方向から見た平面図である。
【００４４】
オープナー４０は、載置テーブル４１、ステージ４５および着脱部４９を備える。載置テーブル４１はステージ４５の上面に設けられている。載置テーブル４１は、ステージ４５の内部に設けられた図示を省略するスライド機構によって、図６中矢印ＡＲ６にて示すように、Ｙ方向に沿ったスライド進退移動が可能である。また、載置テーブル４１の上面には３つの支持ピン４２ａ，４２ｂ，４２ｃが立設されている。載置テーブル４１は、３つの支持ピン４２ａ，４２ｂ，４２ｃによって３点にてＦＯＵＰ８０を略水平姿勢に載置することができる。載置テーブル４１は、ＦＯＵＰ８０からの未処理基板の搬出が行われるときに、そのＦＯＵＰ８０を載置する。なお、載置テーブル４１の形状についてはさらに後述する。
【００４５】
着脱部４９は、ローダー１０と基板処理装置１の本体部との間の隔壁１５に形成された開口５０を挟んで載置テーブル４１と反対側に設けられている。着脱部４９は、ＦＯＵＰ８０の蓋８３のロック機構を開閉してその蓋８３をＦＯＵＰ８０から着脱することができる。なお、開口５０は隔壁１５に形成された唯一の開口部である。また、着脱部４９は、図示を省略する駆動部によってＹ軸方向に沿った進退移動と、Ｚ軸方向に沿った昇降動作とを行うことができる。
【００４６】
ＦＯＵＰ８０から基板を取り出すときには以下のようにして行われる。まず、ＦＯＵＰ８０を載置した載置テーブル４１が（＋Ｙ）向きに移動してＦＯＵＰ８０の端面（蓋８３が設けられた面）を開口５０に進入させ、蓋８３を着脱部４９に当接させる。着脱部４９は蓋８３のロック機構を解除してその蓋８３をＦＯＵＰ８０から取り外す。次に、着脱部４９は蓋８３を保持したまま（＋Ｙ）向きに後退し、さらに鉛直方向下向きに下降する。このとき蓋８３は、着脱部４９の移動に伴って、ＦＯＵＰ８０から離脱して開口５０を通過し下降する。このようにしてＦＯＵＰ８０が開放された後、基板処理装置１の本体部に設けられた基板移載ロボットが載置テーブル４１に載置されたＦＯＵＰ８０内部にアクセスし、未処理基板を取り出す。
【００４７】
ＦＯＵＰ８０から全ての基板が取り出されると、上記とは逆の動作が実行される。すなわち、蓋８３を保持している着脱部４９が鉛直方向上向きに上昇し、さらに蓋８３を保持したまま（−Ｙ）向きに前進する。このとき蓋８３は、着脱部４９の移動に伴って、開口５０を通過してＦＯＵＰ８０の筐体８１に嵌合する。次に、着脱部４９は蓋８３のロック機構を機能させてその蓋８３をＦＯＵＰ８０に装着する。その後、ＦＯＵＰ８０を載置した載置テーブル４１が（−Ｙ）向きに移動してＦＯＵＰ８０の端面を開口５０から離脱させる。
【００４８】
本実施形態においては、搬送アーム３５が鉛直方向に沿って通過可能な切り欠き部４３を載置テーブル４１に形成している（図６参照）。より具体的には、搬送アーム３５と同様の形状の切り欠き部４３を載置テーブル４１に形成している。また、これに対応してステージ４５の形状もＬ字型とし、搬送アーム３５が鉛直方向に沿って円滑に切り欠き部４３を通過できるようにしている。
【００４９】
一方、搬送アーム３５の上面には３つの支持ピン３６ａ，３６ｂ，３６ｃが立設されている。従って、搬送アーム３５は３つの支持ピン３６ａ，３６ｂ，３６ｃによって３点にてＦＯＵＰ８０を下方から略水平姿勢に保持することができるとともに、ＦＯＵＰ８０を下方より保持したまま鉛直方向に沿って昇降することができる。
【００５０】
ＦＯＵＰ８０を下方より略水平姿勢にて保持した搬送アーム３５が載置テーブル４１の上方から鉛直方向に沿って下降し、載置テーブル４１の切り欠き部４３を通過すると、搬送アーム３５の支持ピン３６ａ，３６ｂ，３６ｃから載置テーブル４１の支持ピン４２ａ，４２ｂ，４２ｃにＦＯＵＰ８０が渡される。すなわち、本実施形態においては、搬送アーム３５から載置テーブル４１に直接ＦＯＵＰ８０を渡すことができるのである。
【００５１】
また、図６に示すように、搬送アーム３５の支持ピン３６ａ，３６ｂ，３６ｃが載置テーブル４１の支持ピン４２ａ，４２ｂ，４２ｃよりも内側に位置している。すなわち、ＦＯＵＰ８０の底面のうち、搬送アーム３５がＦＯＵＰ８０を支持する支持位置は載置テーブル４１がＦＯＵＰ８０を載置する載置位置よりも内側とされている。
【００５２】
通常、ＦＯＵＰ８０の正面（蓋８３と反対側の面）には識別のためのＩＤラベルが取り付けられており、オープナー４０にはそのＩＤラベルを読み取るためのリーダが設置される。ＩＤラベルを取り付ける位置は規格によりＦＯＵＰ８０の正面中央と規定されているのであるが、本実施形態のように、搬送アーム３５がＦＯＵＰ８０を支持する支持位置を載置テーブル４１がＦＯＵＰ８０を載置する載置位置よりも内側としておけば、載置テーブル４１の支持ピン４２ｂの前方（（−Ｙ）側）にリーダを固定設置することができ、そのようにしても該リーダと搬送アーム３５とが干渉するおそれはない。
【００５３】
なお、本実施形態においては、ＦＯＵＰ８０が収納容器に、載置テーブル４１が載置台に、搬送ロボット３０が搬送手段に、それぞれ相当する。
【００５４】
次に、上記構成を有するローダー１０の動作内容について説明する。未処理基板を収納したＦＯＵＰ８０は、収容口１１，１２を介してローダー１０内に搬入され、１４個の収容棚２１のいずれかに収容される。そのＦＯＵＰ８０から未処理基板を取り出して基板処理装置１の本体部に投入するときには、まず搬送ロボット３０が収容棚２１にアクセスして、搬送アーム３５がＦＯＵＰ８０を下方より支持する。既述したように、搬送アーム３５がＦＯＵＰ８０のフランジ８２を把持するのではなく、ＦＯＵＰ８０を下方より支持することによって搬送ロボット３０による高速搬送が可能になる。
【００５５】
次に、搬送ロボット３０が搬送アーム３５にＦＯＵＰ８０を支持させつつ、その搬送アーム３５を載置テーブル４１の上方に、より厳密には載置テーブル４１の切り欠き部４３の直上に位置させる。そして、搬送ロボット３０が搬送アーム３５を鉛直方向に沿って下降させて切り欠き部４３を通過させると、搬送アーム３５から載置テーブル４１に直接ＦＯＵＰ８０が渡される。その後、上述の如くに載置テーブル４１が（＋Ｙ）向きに移動してＦＯＵＰ８０の蓋８３が取り外され、基板が取り出される。ＦＯＵＰ８０から搬出された基板は、基板処理装置１の本体部に投入され、所定の処理に供される。
【００５６】
ＦＯＵＰ８０から全ての基板が取り出されると、再び蓋８３が装着され、載置テーブル４１が（−Ｙ）向きに移動する。そして、搬送ロボット３０が搬送アーム３５を載置テーブル４１の下方に、より厳密には載置テーブル４１の切り欠き部４３の直下に位置させる。次に、搬送ロボット３０が搬送アーム３５を鉛直方向に沿って上昇させて切り欠き部４３を通過させると、載置テーブル４１から搬送アーム３５に空のＦＯＵＰ８０が直接渡される。その後、搬送ロボット３０がいずれかの収容棚２１にアクセスして、搬送アーム３５から収容棚２１に空のＦＯＵＰ８０を渡す。そのＦＯＵＰ８０は収容口１１，１２を介して再びローダー１０外部に搬出される。以上のようにしてローダー１０における一連の処理が終了することとなり、複数のＦＯＵＰ８０について同様の処理が繰り返される。
【００５７】
このようにすれば、搬送ロボット３０の搬送アーム３５が載置テーブル４１の切り欠き部４３を通過することによって搬送アーム３５と載置テーブル４１との間で直接ＦＯＵＰ８０の受け渡しを行うことができるため、従来必要としていたリフタ１４０の動作分および搬送ロボット１２０の待避分の時間を節約することができ、ＦＯＵＰ８０の受け渡し動作に要する時間を短縮して高いスループットを得ることができる。
【００５８】
また、搬送ロボット３０と載置テーブル４１との間のＦＯＵＰ８０の受け渡しに従来のリフタ１４０が不要となるため、ローダー１０のコストダウンを図ることができる。
【００５９】
また、第１実施形態においては、載置テーブル４１に対して搬送ロボット３０が載置テーブル４１の側方の一方側（（−Ｘ）側）からアクセスする。そして、図６に明示するように、載置テーブル４１の切り欠き部４３の上記一方側（（−Ｘ）側）が開放されている。このため、搬送ロボット３０が搬送アーム３５を下降させて搬送アーム３５から載置テーブル４１にＦＯＵＰ８０を渡した後、搬送アーム３５をＦＯＵＰ８０の底面と接触しない程度にまで若干下降させてから（−Ｘ）向きに移動すれば、切り欠き部４３の開放部分を通過して搬送アーム３５をオープナー４０から離脱させることができる。仮に、切り欠き部４３の上記一方側（（−Ｘ）側）が開放されていない場合、搬送ロボット３０は、搬送アーム３５から載置テーブル４１にＦＯＵＰ８０を渡した後、載置テーブル４１との干渉を防ぐべく搬送アーム３５を少なくともステージ４５の下側まで移動させてから（−Ｘ）向きに移動して搬送アーム３５をオープナー４０から離脱させる必要がある。この場合、ステージ４５の下側に搬送アーム３５が通るための特別なスペースを設けておく必要がある。
【００６０】
これに対して、本実施形態のように載置テーブル４１の切り欠き部４３の上記一方側（（−Ｘ）側）を開放すれば、搬送アーム３５が載置テーブル４１と同じ高さ位置にあるときに搬送ロボット３０が（−Ｘ）向きの水平移動を行っても搬送アーム３５と載置テーブル４１との干渉が生じるおそれがないため、搬送アーム３５をオープナー４０から離脱させる目的でステージ４５の下側に搬送アーム３５が通るための特別なスペースを設ける必要がなくなり、当該スペースを有効に利用することができる。例えば、第１実施形態においては、そのスペースにローダー１０のコントローラ６０を配置している。
【００６１】
また、載置テーブル４１から見た上記一方側の方向はＸ方向であり、開口５０を介してＦＯＵＰ８０からの基板の搬出が行われる搬出方向はＹ方向であり、ＦＯＵＰ８０への基板の搬入が行われる搬入方向は（−Ｙ）方向である。すなわち、載置テーブル４１から見た上記一方側の方向はＦＯＵＰ８０からの基板の搬出が行われる搬出方向または、ＦＯＵＰ８０への基板の搬入が行われる搬入方向と垂直である。このことは、開口５０を介してＦＯＵＰ８０からの基板の搬出を行う搬出方向またはＦＯＵＰ８０への基板の搬入を行う搬入方向とＦＯＵＰ８０を渡した後に搬送アーム３５がオープナー４０から離脱する方向とが垂直であることを意味している。
【００６２】
ＦＯＵＰ８０からの基板の搬出方向またはＦＯＵＰ８０への基板の搬入方向と搬送アーム３５がオープナー４０から離脱する方向とが同じである場合には、搬送アーム３５の移動分だけローダー１０の奥行き（Ｙ方向の幅）を大きくしなければならないが、本実施形態のように、ＦＯＵＰ８０からの基板の搬出方向またはＦＯＵＰ８０への基板の搬入方向と搬送アーム３５がオープナー４０から離脱する方向とが垂直であれば、ローダー１０の奥行きを小さくしてフットプリントの増大を抑制することができる。
【００６３】
以上、第１実施形態のローダー１０について説明したが、アンローダー９０（図１参照）についても同様の構成と機能とを有している。もっとも、アンローダー９０は、ＦＯＵＰ８０に処理済み基板を搬入するものであるため、搬送ロボット３０が空のＦＯＵＰ８０を収容棚２１から載置テーブル４１に搬送する。載置テーブル４１は、ＦＯＵＰ８０への処理済み基板の搬入が行われるときに、そのＦＯＵＰ８０を載置する。そして、処理済み基板の搬入が終了したＦＯＵＰ８０を搬送ロボット３０の搬送アーム３５が載置テーブル４１から受け取って収容棚２１に搬送する。
【００６４】
アンローダー９０においても、上記ローダー１０と同様に載置テーブル４１に切り欠き部４３を設けることによって、搬送アーム３５と載置テーブル４１との間で直接ＦＯＵＰ８０の受け渡しを行うことができ、ＦＯＵＰ８０の受け渡し動作に要する時間を短縮して高いスループットを得ることができる。また、アンローダー９０のコストダウンを図れる点や搬送アーム３５が通るための特別なスペースを設ける必要がない点も上記ローダー１０と同様である。
【００６５】
＜２．第２実施形態＞
次に、本発明の第２実施形態について説明する。図７は、第２実施形態のローダー１０の構造を示す斜視図である。第２実施形態のローダー１０が第１実施形態と相違するのはリフタ７０を備えている点であり、残余の点については第１実施形態と同じであるため同じ符号を付してその説明は省略する。
【００６６】
リフタ７０は、載置テーブル４１の上方に設けられている。リフタ７０はリフタアーム７１を備えており、リフタアーム７１はＦＯＵＰ８０の上部に形成されたフランジ８２（把持部）を把持することおよびその把持状態を解除することができる。また、リフタ７０は、リフタアーム７１を鉛直方向に沿って昇降させることができる。
【００６７】
載置テーブル４１に載置されているＦＯＵＰ８０のフランジ８２をリフタアーム７１が把持して上昇すると、それに伴ってＦＯＵＰ８０も吊り下げられた状態にて上昇し、載置テーブル４１からリフタ７０にそのＦＯＵＰ８０が渡されることとなる。逆に、ＦＯＵＰ８０の底面が載置テーブル４１に接触した状態にてリフタアーム７１がフランジ８２の把持を解除すると、リフタ７０から載置テーブル４１にＦＯＵＰ８０が渡されることとなる。
【００６８】
なお、第２実施形態においては、リフタ７０が昇降手段に相当する。また、リフタ７０のストロークとして、載置テーブル４１にＦＯＵＰ８０を載置してかつリフタアーム７１にも別のＦＯＵＰ８０を把持させた状態でそれら両ＦＯＵＰ８０間に搬送ロボット３０の搬送アーム３５を水平方向に挿脱できるだけの長さを最低限確保しておく。
【００６９】
第２実施形態のローダー１０の動作内容は以下のようなものとなる。まず、第１実施形態と同様に、未処理基板を収納したＦＯＵＰ８０が収容口１１，１２を介してローダー１０内に搬入され、１４個の収容棚２１のいずれかに収容される。次に、搬送ロボット３０が収容棚２１にアクセスして、搬送アーム３５がＦＯＵＰ８０を下方より保持する。
【００７０】
そして、搬送ロボット３０がオープナー４０までＦＯＵＰ８０を搬送するのであるが、このときに載置テーブル４１上に他のＦＯＵＰ８０が載置されていないときは第１実施形態と同じように直接載置テーブル４１にＦＯＵＰ８０を渡す。一方、載置テーブル４１上に他のＦＯＵＰ８０が載置されているときは搬送ロボット３０はＦＯＵＰ８０をリフタ７０に渡す。搬送アーム３５によって下方より保持されたＦＯＵＰ８０の上部に形成されたフランジ８２をリフタアーム７１が把持することによって、搬送ロボット３０からリフタ７０にＦＯＵＰ８０が渡されるため、この受け渡し動作時に搬送アーム３５とリフタアーム７１とが干渉する懸念はない。
【００７１】
載置テーブル４１上に他のＦＯＵＰ８０（第２の収納容器）が載置されているときは、そのＦＯＵＰ８０から未処理基板が搬出されて基板処理装置１の本体部に投入されているときである。このときに、未処理基板を収納した新たなＦＯＵＰ８０（第１の収納容器）が搬送ロボット３０からリフタ７０に渡されるのである。換言すれば、リフタ７０に新たなＦＯＵＰ８０を保持させた状態にて、載置テーブル４１に載置された他のＦＯＵＰ８０からの基板の搬出が行われているのであり、リフタ７０は新たなＦＯＵＰ８０を保持して待機しているのである。
【００７２】
他のＦＯＵＰ８０からの基板の搬出が終了すると、搬送ロボット３０が載置テーブル４１から空のＦＯＵＰ８０を受け取って収容棚２１に搬送するとともに、リフタ７０がリフタアーム７１を下降させて新たなＦＯＵＰ８０を載置テーブル４１に渡す。そして、載置テーブル４１に載置された新たなＦＯＵＰ８０からの基板搬出が開始されるとともに、上記空のＦＯＵＰ８０を格納した搬送ロボット３０がさらに別の新たなＦＯＵＰ８０を収容棚２１から搬送してリフタ７０に渡す。以降、同様の動作が繰り返されることとなる。
【００７３】
このようにすれば、基板搬出の終了した空のＦＯＵＰ８０を搬送ロボット３０が載置テーブル４１から取り去った後、直ちにリフタ７０が新たな未処理基板を収納したＦＯＵＰ８０を載置テーブル４１に渡すため、空のＦＯＵＰ８０の収容棚２１への格納と新たな未処理基板を収納したＦＯＵＰ８０のオープナー４０への投入がほぼ同時に行われることとなり、第１実施形態よりもＦＯＵＰ８０の受け渡し動作に要する時間をさらに短縮してより高いスループットを得ることができる。また、搬送アーム３５が通るための特別なスペースを設ける必要がない点も第１実施形態と同じである。もっとも、リフタ７０を設ける分だけ第１実施形態よりもコストアップが生じるため、そのコストアップの程度とスループットの向上の程度を比較して要求されている仕様を満たすような装置構成にするのが望ましい。
【００７４】
以上、第２実施形態のローダー１０について説明したが、第１実施形態と同じく、アンローダー９０（図１参照）についても同様の構成と機能とを持たせている。アンローダー９０において、載置テーブル４１上に他のＦＯＵＰ８０（第２の収納容器）が載置されているときは、そのＦＯＵＰ８０に基板処理装置１の本体部から処理済み基板が搬入されているときである。このときに、新たな空のＦＯＵＰ８０（第１の収納容器）が搬送ロボット３０からリフタ７０に渡されるのである。換言すれば、リフタ７０に新たな空のＦＯＵＰ８０を保持させた状態にて、載置テーブル４１に載置された他のＦＯＵＰ８０への基板の搬入が行われているのであり、リフタ７０は新たな空のＦＯＵＰ８０を保持して待機しているのである。
【００７５】
他のＦＯＵＰ８０への基板の搬入が終了すると、搬送ロボット３０が載置テーブル４１から処理済み基板を収納したＦＯＵＰ８０を受け取って収容棚２１に搬送するとともに、リフタ７０がリフタアーム７１を下降させて新たな空のＦＯＵＰ８０を載置テーブル４１に渡す。そして、載置テーブル４１に載置された新たな空のＦＯＵＰ８０への基板搬入が開始されるとともに、上記処理済み基板を収納したＦＯＵＰ８０を格納した搬送ロボット３０がさらに別の新たな空のＦＯＵＰ８０を収容棚２１から搬送してリフタ７０に渡す。以降、同様の動作が繰り返されることとなる。
【００７６】
このようにしても、基板搬入の終了したＦＯＵＰ８０を搬送ロボット３０が載置テーブル４１から取り去った後、直ちにリフタ７０が新たな空のＦＯＵＰ８０を載置テーブル４１に渡すため、ＦＯＵＰ８０の受け渡し動作に要する時間をさらに短縮してより高いスループットを得ることができる。
【００７７】
＜３．第３実施形態＞
次に、本発明の第３実施形態について説明する。図８は、第３実施形態のローダー１０の構造を示す斜視図である。第３実施形態のローダー１０が第１実施形態と相違するのは基板処理装置外部のＡＧＶ（Automatic Guided Vehicle）２００が直接ＦＯＵＰ８０をオープナー４０に対して受け渡しする点であり、残余の点については第１実施形態と同じであるため同じ符号を付してその説明は省略する。
【００７８】
第３実施形態のローダー１０には、ＦＯＵＰ８０を収容する収容部２０および収容部２０とオープナー４０との間でＦＯＵＰ８０の搬送を行う搬送ロボット３０が設けられておらず、ＦＯＵＰ８０を開放してその内部から未処理基板を取り出すオープナー４０のみが設けられている。換言すれば、第１実施形態のローダー１０から収容部２０および搬送ロボット３０を取り外したものが第３実施形態のローダー１０となる。但し、第３実施形態においては、ＡＧＶ２００の搬送時間とオープナー４０における基板取り出し時間との差を調整するためにＦＯＵＰ８０を載置する収容棚２１を１つだけ載置テーブル４１の下方に設けている。
【００７９】
ＡＧＶ２００は、基板処理装置が設置された工場内を走行してＦＯＵＰ８０を搬送する。ＡＧＶ２００は、自走機能を有する本体部２０１に搬送アーム２０２を有する多関節ロボットを備えて構成されている。
【００８０】
ローダー１０の外壁であって、載置テーブル４１と対向する位置には図１の収容口１１，１２と同様の開口（図示省略）が形成されている。ＡＧＶ２００は、その開口を介してオープナー４０にＦＯＵＰ８０を渡すことおよびオープナー４０からＦＯＵＰ８０を取り出すことができる。なお、ＡＧＶ２００はオープナー４０とは異なる位置（例えば、工場内のＦＯＵＰ８０の集積所）とオープナー４０との間でＦＯＵＰ８０を搬送する。
【００８１】
第３実施形態のローダー１０の動作内容は以下のようなものとなる。まず、ＡＧＶ２００が搬送アーム２０２にＦＯＵＰ８０を下方より保持させた状態にてローダー１０の上記開口の正面まで走行移動する。そして、ＡＧＶ２００はその開口から搬送アーム２０２を挿入し、載置テーブル４１の上方に、より厳密には載置テーブル４１の切り欠き部４３の直上に位置させる。そして、ＡＧＶ２００が搬送アーム２０２を鉛直方向に沿って下降させて切り欠き部４３を通過させると、搬送アーム２０２から載置テーブル４１に直接ＦＯＵＰ８０が渡される。
【００８２】
ＦＯＵＰ８０からの基板の搬出が完了すると、ＡＧＶ２００は搬送アーム２０２を載置テーブル４１の下方に、より厳密には載置テーブル４１の切り欠き部４３の直下に位置させる。次に、ＡＧＶ２００が搬送アーム２０２を鉛直方向に沿って上昇させて切り欠き部４３を通過させると、載置テーブル４１から搬送アーム２０２に空のＦＯＵＰ８０が直接渡される。その後、ＡＧＶ２００は上記開口から搬送アーム２０２を抜き出し、ＦＯＵＰ８０を保持して再び走行を開始する。
【００８３】
このようにすれば、ＡＧＶ２００の搬送アーム２０２が載置テーブル４１の切り欠き部４３を通過することによって搬送アーム２０２と載置テーブル４１との間で直接ＦＯＵＰ８０の受け渡しを行うことができるため、第１実施形態と同様に、ＦＯＵＰ８０の受け渡し動作に要する時間を短縮して高いスループットを得ることができる。
【００８４】
以上、第３実施形態のローダー１０について説明したが、第１実施形態と同じく、アンローダー９０（図１参照）についても同様の構成と機能とを持たせている。もっとも、アンローダー９０は、ＦＯＵＰ８０に処理済み基板を搬入するものであるため、ＡＧＶ２００が空のＦＯＵＰ８０を載置テーブル４１に搬送する。載置テーブル４１は、ＦＯＵＰ８０への処理済み基板の搬入が行われるときに、そのＦＯＵＰ８０を載置する。そして、処理済み基板の搬入が終了したＦＯＵＰ８０をＡＧＶ２００の搬送アーム２０２が載置テーブル４１から受け取って装置外部へと取り出す。
【００８５】
＜４．第４実施形態＞
次に、本発明の第４実施形態について説明する。図９は、第４実施形態のローダー１０の構造を示す斜視図である。第４実施形態のローダー１０が第１実施形態と相違するのは、ステージ４５が直方体形状とされているために、搬送アーム３５が載置テーブル４１の上方から下方に通過することが不可能とされている点である。すなわち、載置テーブル４１には搬送アーム３５が鉛直方向に沿ってはまり込むことは出来るものの、通過は不可能な凹部４４が形成されている点である。残余の点については第１実施形態と同じであるため同じ符号を付してその説明は省略する。
【００８６】
第４実施形態においては、搬送アーム３５がはまり込んで少なくとも搬送アーム３５の上面が載置テーブル４１の上面よりも下側まで移動可能な凹部４４が載置テーブル４１に設けられている。より具体的には、搬送アーム３５と同様の形状であってかつ搬送アーム３５の厚さよりも大きな深さを有する凹部４４を載置テーブル４１に形成している。また、ステージ４５の形状は直方体形状としている。従って、搬送アーム３５が鉛直方向に沿って載置テーブル４１を通過することはできない。
【００８７】
一方、第１実施形態と同様に、搬送アーム３５は３つの支持ピン３６ａ，３６ｂ，３６ｃによって３点にてＦＯＵＰ８０を下方から略水平姿勢に保持することができるとともに、ＦＯＵＰ８０を下方より支持したまま鉛直方向に沿って昇降することができる。ＦＯＵＰ８０を下方より略水平姿勢にて支持した搬送アーム３５が載置テーブル４１の上方から鉛直方向に沿って下降し、載置テーブル４１の凹部４４にはまり込んで載置テーブル４１の上面よりも下側に移動すると、搬送アーム３５の支持ピン３６ａ，３６ｂ，３６ｃから載置テーブル４１の支持ピン４２ａ，４２ｂ，４２ｃにＦＯＵＰ８０が渡される。すなわち、第４実施形態においても、搬送アーム３５から載置テーブル４１に直接ＦＯＵＰ８０を渡すことができるのである。
【００８８】
また、第１実施形態と同様に、ＦＯＵＰ８０の底面のうち、搬送アーム３５がＦＯＵＰ８０を支持する支持位置は載置テーブル４１がＦＯＵＰ８０を載置する載置位置よりも内側とされている。
【００８９】
また、第４実施形態においては、載置テーブル４１に対して搬送ロボット３０が載置テーブル４１の側方の一方側（（−Ｘ）側）からアクセスする。そして、載置テーブル４１の凹部４４の上記一方側（（−Ｘ）側）が開放されている。このため、搬送ロボット３０が搬送アーム３５を下降させて搬送アーム３５から載置テーブル４１にＦＯＵＰ８０を渡した後、搬送アーム３５をＦＯＵＰ８０の底面と接触しない程度にまで凹部４４内にて若干下降させてから（−Ｘ）向きに移動すれば、凹部４４の開放部分を通過して搬送アーム３５をオープナー４０から離脱させることができる。
【００９０】
従って、第４実施形態においても、搬送アーム３５が載置テーブル４１と同じ高さ位置にあるときに搬送ロボット３０が（−Ｘ）向きの水平移動を行っても搬送アーム３５と載置テーブル４１との干渉が生じるおそれがないため、ステージ４５の下側に搬送アーム３５が通るための特別なスペースを設ける必要がなくなり、当該スペースを有効に利用することができる。
【００９１】
さらに、第４実施形態においても、載置テーブル４１から見た上記一方側の方向はＦＯＵＰ８０からの基板の搬出が行われる搬出方向またはＦＯＵＰ８０への基板の搬入が行われる搬入方向と垂直である。すなわち、開口５０を介してＦＯＵＰ８０からの基板の搬出を行う搬出方向またはＦＯＵＰ８０への基板の搬入を行う搬入方向とＦＯＵＰ８０を渡した後に搬送アーム３５がオープナー４０から離脱する方向とが垂直である。従って、第１実施形態と同様に、ローダー１０の奥行きを小さくしてフットプリントの増大を抑制することができる。
【００９２】
なお、搬送アーム３５が鉛直方向に沿って載置テーブル４１を通過しない点を除き、ローダー１０の動作内容は第１実施形態と同じである。
【００９３】
以上、第４実施形態のローダー１０について説明したが、アンローダー９０（図１参照）についても同様の構成と機能とを有している。アンローダー９０においても、上記ローダー１０と同様に載置テーブル４１に凹部４４を設けることによって、搬送アーム３５と載置テーブル４１との間で直接ＦＯＵＰ８０の受け渡しを行うことができ、ＦＯＵＰ８０の受け渡し動作に要する時間を短縮して高いスループットを得ることができる。また、アンローダー９０のコストダウンを図れる点や搬送アーム３５が通るための特別なスペースを設ける必要がない点も上記ローダー１０と同様である。
【００９４】
＜５．変形例＞
以上、本発明の実施の形態について説明したが、本発明は上記の例に限定されるものではない。例えば、上記の各実施形態においては、本発明に係る基板受渡装置の機能がローダー１０とアンローダー９０とに分離されていたが、１つの基板受渡装置にこれらの機能を統合するようにしても良い。すなわち、１つの基板受渡装置がＦＯＵＰ８０からの未処理基板の搬出およびＦＯＵＰ８０への処理済み基板の搬入の双方を行うようにしても良い。
【００９５】
また、上記各実施形態においては、基板処理装置１を１組の複数の基板を一括して処理するいわゆるバッチ式の装置としていたが、これに限定されるものではなく、本発明に係る基板受渡装置は基板を１枚ずつ処理するいわゆる枚葉式の基板処理装置に組み込まれるようにしても良い。
【００９６】
また、搬送アーム３５（２０２）をコの字形状とし、載置テーブル４１を長方形の板状としても良い。この場合、載置テーブル４１の両側方を搬送アーム３５が鉛直方向に沿って通過する。このようにしても、搬送アーム３５と載置テーブル４１との間で直接ＦＯＵＰ８０の受け渡しを行うことができ、ＦＯＵＰ８０の受け渡し動作に要する時間を短縮して高いスループットを得ることができる。すなわち、搬送アーム３５が鉛直方向に沿って通過可能な前記搬送手段用の通過部が載置テーブル４１に形成されていれば良いのである。
【００９７】
この場合は、載置テーブル４１の厚さを薄くして下方を開放空間とし、搬送アーム３５が載置テーブル４１の下方を通過しつつ載置テーブル４１の側方に移動できるようにする。このようにすれば、開口５０を介してＦＯＵＰ８０からの基板の搬出を行う搬出方向とＦＯＵＰ８０を渡した後に搬送アーム３５がオープナー４０から離脱する方向とが垂直となり、ローダー１０の奥行きを小さくしてフットプリントの増大を抑制することができる。
【００９８】
また、第２実施形態の構成と第３実施形態の構成と組み合わせるようにしても良い。具体的には、図８の構成にリフタ７０（図７）を設ける。このときのローダー１０の動作は、第３実施形態に第２実施形態のリフタ７０の動作を加えたものとなる。
【００９９】
また、第２実施形態の構成と第４実施形態の構成と組み合わせるようにしても良い。具体的には、図９の構成にリフタ７０（図７）を設ける。このときのローダー１０の動作は、第４実施形態に第２実施形態のリフタ７０の動作を加えたものとなる。
【０１００】
さらに、第３実施形態の構成と第４実施形態の構成と組み合わせるようにしても良い。具体的には、図９のオープナー４０を図８のローダー１０に適用する。このときのローダー１０の動作は、ＡＧＶ２００の搬送アーム２０２が鉛直方向に沿って載置テーブル４１を通過しない点を除き、第３実施形態と同じである。
【０１０１】
【発明の効果】
以上、説明したように、請求項１の発明によれば、載置台に、搬送アームが略鉛直方向に沿って通過可能な切り欠き部が形成されているため、搬送アームが載置台の切り欠き部を通過することによって搬送アームと載置台との間で直接収納容器の受け渡しを行うことができ、収納容器の受け渡し動作に要する時間を短縮して高いスループットを得ることができる。また、収納容器に対する基板の搬出および搬入の方向と実質的に垂直な搬送方向に沿って収容部と載置台との間で収納容器が搬送され、切り欠き部の搬送方向に沿った収容部側が開放されているため、搬送アームを載置台から容易に離脱させることができ、搬送アームが通るための特別なスペースを設ける必要がなくなり、当該スペースを有効に利用することができ、しかも基板受渡装置の奥行きを小さくして小型化することができる。
【０１０３】
また、請求項２の発明によれば、昇降手段に第１の収納容器を保持させた状態にて、載置台に載置された第２の収納容器からの基板の搬出または第２の収納容器への基板の搬入が行われるため、搬送手段が載置台から第２の収納容器を取り去った後、直ちに昇降手段が第１の収納容器を載置台に渡すことができ、収納容器の受け渡し動作に要する時間をさらに短縮してより高いスループットを得ることができる。
【０１０４】
また、請求項３の発明によれば、載置部に、搬送手段が略鉛直方向に沿って通過可能な搬送手段用の切り欠き部が形成されているため、搬送手段が載置部の切り欠き部を通過することによって搬送手段と載置部との間で直接収納容器の受け渡しを行うことができ、収納容器の受け渡し動作に要する時間を短縮して高いスループットを得ることができる。また、収納容器に対する基板の搬出および搬入の方向と実質的に垂直な搬送方向に沿って収容部と載置部との間で収納容器が搬送され、切り欠き部の搬送方向に沿った収容部側が開放されているため、搬送アームを載置部から容易に離脱させることができ、搬送アームが通るための特別なスペースを設ける必要がなくなり、当該スペースを有効に利用することができ、しかも基板処理装置の奥行きを小さくして小型化することができる。
【０１０８】
また、請求項４の発明によれば、昇降手段に第１の収納容器を保持させた状態にて、載置部に載置された第２の収納容器からの基板の搬出または第２の収納容器への基板の搬入が行われるため、搬送手段が載置部から第２の収納容器を取り去った後、直ちに昇降手段が第１の収納容器を載置部に渡すことができ、収納容器の受け渡し動作に要する時間をさらに短縮してより高いスループットを得ることができる。
【０１０９】
また、請求項５の発明によれば、収納容器の底面のうち、搬送手段が収納容器を支持する支持位置は載置部が収納容器を載置する載置位置よりも内側とされているため、利便性が高い。
【０１１０】
また、請求項６の発明によれば、載置部に、搬送手段がはまり込んで載置部の上面よりも下側まで移動可能な前記搬送手段用の凹部が形成されているため、搬送手段が載置部の凹部にはまり込んで載置部の上面よりも下側まで移動することによって搬送手段と載置部との間で直接収納容器の受け渡しを行うことができ、収納容器の受け渡し動作に要する時間を短縮して高いスループットを得ることができる。また、収納容器に対する基板の搬出および搬入の方向と実質的に垂直な搬送方向に沿って収容部と載置部との間で収納容器が搬送され、凹部の搬送方向に沿った収容部側が開放されているため、搬送アームを載置部から容易に離脱させることができ、搬送アームが通るための特別なスペースを設ける必要がなくなり、当該スペースを有効に利用することができ、しかも基板処理装置の奥行きを小さくして小型化することができる。
【０１１４】
また、請求項７の発明によれば、昇降手段に第１の収納容器を保持させた状態にて、載置部に載置された第２の収納容器からの基板の搬出または第２の収納容器への基板の搬入が行われるため、搬送手段が載置部から第２の収納容器を取り去った後、直ちに昇降手段が第１の収納容器を載置部に渡すことができ、収納容器の受け渡し動作に要する時間をさらに短縮してより高いスループットを得ることができる。
【０１１５】
また、請求項８の発明によれば、収納容器の底面のうち、搬送手段が収納容器を支持する支持位置は載置部が収納容器を載置する載置位置よりも内側とされているため、利便性が高い。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る基板受渡装置を組み込んだ基板処理装置の外観斜視図である。
【図２】ＦＯＵＰの外観斜視図である。
【図３】図１の基板処理装置のローダーの構造を示す斜視図である。
【図４】図３のオープナーをＸ方向から見た側面図である。
【図５】図３のオープナーをＹ方向から見た正面図である。
【図６】図３のオープナーをＺ方向から見た平面図である。
【図７】第２実施形態のローダーの構造を示す斜視図である。
【図８】第３実施形態のローダーの構造を示す斜視図である。
【図９】第４実施形態のローダーの構造を示す斜視図である。
【図１０】従来のＦＯＵＰ用の基板受渡装置を示す斜視図である。
【符号の説明】
１ 基板処理装置
１０ ローダー
２０ 収容部
２１ 収容棚
３０ 搬送ロボット
３５ 搬送アーム
４０ オープナー
４１ 載置テーブル
４３ 切り欠き部
４４ 凹部
４５ ステージ
７０ リフタ
８０ ＦＯＵＰ
８２ フランジ
９０ アンローダー
Claims (8)
- 基板を収納する収納容器を収容するとともに、前記収納容器からの基板の搬出または前記収納容器への基板の搬入を行う基板受渡装置であって、
前記収納容器を収容する収容部と、
前記収容部の側方に配置され、前記収納容器からの基板の搬出または前記収納容器への基板の搬入が行われる際に、前記収納容器を載置する載置台と、
前記収容部と前記載置台との間で前記収納容器に対する基板の搬出および搬入の方向と実質的に垂直な搬送方向に沿って前記収納容器を搬送する搬送手段と、
を備え、
前記搬送手段は、前記収納容器を下方より保持して略鉛直方向に沿って昇降する搬送アームを有し、
前記載置台には、前記搬送アームが略鉛直方向に沿って通過可能な切り欠き部が形成され、
前記切り欠き部の前記搬送方向に沿った前記収容部側が開放されていることを特徴とする基板受渡装置。 - 請求項１記載の基板受渡装置において、
前記載置台の上方に設けられ、前記収納容器の上部に形成された把持部を保持して略鉛直方向に沿って昇降する昇降手段をさらに備え、
前記昇降手段に第１の収納容器を保持させた状態にて、前記載置台に載置された第２の収納容器からの基板の搬出または第２の収納容器への基板の搬入が行われることを特徴とする基板受渡装置。 - 基板を収納する収納容器からの基板の搬出または前記収納容器への基板の搬入を行うための基板処理装置であって、
前記収納容器を収容する収容部と、
前記収容部の側方に配置され、前記収納容器からの基板の搬出または前記収納容器への基板の搬入が行われる際に、前記収納容器を載置する載置部と、
前記収納容器を下方より保持して略鉛直方向に沿って昇降自在であり、かつ前記収納部と前記載置部との間で前記収納容器に対する基板の搬出および搬入の方向と実質的に垂直な搬送方向に沿って前記収納容器を搬送する搬送手段と、
を備え、
前記載置部には、前記搬送手段が略鉛直方向に沿って通過可能な前記搬送手段用の切り欠き部が形成され、
前記切り欠き部の前記搬送方向に沿った前記収容部側が開放されていることを特徴とする基板処理装置。 - 請求項３記載の基板処理装置において、
前記載置部の上方に設けられ、前記収納容器の上部に形成された把持部を保持して略鉛直方向に沿って昇降する昇降手段をさらに備え、
前記昇降手段に第１の収納容器を保持させた状態にて、前記載置部に載置された第２の収納容器からの基板の搬出または第２の収納容器への基板の搬入が行われることを特徴とする基板処理装置。 - 請求項３または請求項４に記載の基板処理装置において、
前記収納容器の底面のうち、前記搬送手段が前記収納容器を支持する支持位置は前記載置部が前記収納容器を載置する載置位置よりも内側とされていることを特徴とする基板処理装置。 - 基板を収納する収納容器からの基板の搬出または前記収納容器への基板の搬入を行うための基板処理装置であって、
前記収納容器を収容する収容部と、
前記収容部の側方に配置され、前記収納容器からの基板の搬出または前記収納容器への基板の搬入が行われる際に、前記収納容器を載置する載置部と、
前記収納容器を下方より保持して略鉛直方向に沿って昇降自在であり、かつ前記収納部 と前記載置部との間で前記収納容器に対する基板の搬出および搬入の方向と実質的に垂直な搬送方向に沿って前記収納容器を搬送する搬送手段と、
を備え、
前記載置部には、前記搬送手段がはまり込んで前記載置部の上面よりも下側まで移動可能な前記搬送手段用の凹部が設けられ、
前記凹部の前記搬送方向に沿った前記収容部側が開放されていることを特徴とする基板処理装置。 - 請求項６記載の基板処理装置において、
前記載置部の上方に設けられ、前記収納容器の上部に形成された把持部を保持して略鉛直方向に沿って昇降する昇降手段をさらに備え、
前記昇降手段に第１の収納容器を保持させた状態にて、前記載置部に載置された第２の収納容器からの基板の搬出または第２の収納容器への基板の搬入が行われることを特徴とする基板処理装置。 - 請求項６または請求項７に記載の基板処理装置において、
前記収納容器の底面のうち、前記搬送手段が前記収納容器を支持する支持位置は前記載置部が前記収納容器を載置する載置位置よりも内側とされていることを特徴とする基板処理装置。
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