JPH10180692A - セラミックグリーンシート、フレキシブル基板等の軟質シートの穿孔装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 繰り出し機構と巻き取り機構との間の軟質シ
ートの弛みを矯正して所望する位置に正確に穿孔するセ
ラミックグリーンシート、フレキシブル基板等の軟質シ
ートの穿孔装置を提供する。 【解決手段】 繰り出し機構３で繰り出し、巻き取り機
構４で巻き取りながら軟質シートＸの穿孔対象部位を穿
孔具ユニット１と相対するように定量送りをする度に軟
質シートＸを固定して弛みを矯正するようにテンション
機構５でＸ軸線方向に微動する。その微動はテンション
機構５に設けたセンサー手段が所定の張力を検出するま
で行われ、軟質シートＸの弛みを矯正する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、セラミックグリー
ンシート、フレキシブル基板等の軟質シートの穿孔装
置、更に詳しくはロール状に巻回された前記軟質シート
を繰り出しながら所望の穿孔パターンで穿孔する穿孔装
置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来、ロール状に巻回されたセラミック
グリーンシート、フレキシブル基板等の軟質シートを送
りながら穿孔する穿孔装置としては例えば特公平７−４
７２７９号公報（前者）や特公平７−４７２８０号公報
（後者）等が知られている。前者、後者とも基本的には
機台の一方側に設けられたロール状の軟質シートを繰り
出し機構（繰り出しロール）でＸ軸線方向に送り出しな
がら他方側に設けた巻き取り機構（巻き取りロール）で
巻き取りつつ、繰り出し機構と巻き取り機構との間にお
いて軟質シートの穿孔対象部位に穿孔具ユニットで穿孔
する構造である。これら穿孔装置の利点はロール状に巻
回された軟質シートを繰り出しながら穿孔することから
前もって軟質シートを板状に裁断し、それをワークホル
ダー等に挟持する前作業が不要となり、生産性を大幅に
向上させることができる。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】ところで、繰り出し機
構（繰り出しロール）と巻き取り機構（巻き取りロー
ル）とを同期させて駆動させているものの、若干の緩み
があることと、繰り出し機構（繰り出しロール）、巻き
取り機構（巻き取りロール）間の軟質シートの自重が関
連して繰り出し機構（繰り出しロール）、巻き取り機構
（巻き取りロール）間の軟質シートに弛みを生じる。そ
のため、先行技術では穿孔具ユニットの両側に下面に吸
引孔を散在して開孔した内部中空とする平板状のバキュ
ーム体を配置し、定量送りされる度にバキューム体で軟
質シートを吸引してテンションをかけている。しかしな
がら、穿孔具ユニットを挟んで両側の軟質シート部分を
若干真上に持ち上げる吸着方式になる結果、材質違いを
基にする弛み量の差異に対して正確に対応できず、穿孔
精度を低下させる。それを是正するためには繰り出し機
構と巻き取り機構との離間距離に対する軟質シートの材
質毎に弛み量を予め測定し、その測定量に応じた高さ位
置に前記するバキューム体を配置することを必要とし、
対応も面倒である。

【０００４】本発明は、このような従来事情に鑑みてな
されたもので、その目的とする処は、繰り出し機構と巻
き取り機構との間の軟質シートの弛みを矯正して所望す
る位置に正確に穿孔するセラミックグリーンシート、フ
レキシブル基板等の軟質シートの穿孔装置を提供するこ
とにある。

【０００５】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に講じた技術的手段は、請求項１は、セラミックグリー
ンシート、フレキシブル基板等の軟質シートをＸ軸線方
向に繰り出す繰り出し機構及びそれをロール状に巻き取
る巻き取り機構と、その繰り出し機構、巻き取り機構と
の間に配設されＹ軸線方向、Ｘ軸線方向に制御動させて
軟質シートに穿孔を施す穿孔具ユニットと、前記繰り出
し機構、巻き取り機構間の軟質シートを固定してＸ軸線
方向に微動する固定解除可能なテンション機構とを有
し、該テンション機構は軟質シートの所定の張力を検出
した時Ｘ軸線方向への微動を停止するセンサー手段を備
えていることを要旨とする。また請求項２は、前記請求
項１記載のテンション機構が、軟質シートをＸ軸線方向
に対して直交して上下から挟持する接近・離間可能な一
対のクランプアームと、そのクランプアームの支持部を
Ｘ軸線方向に微動させるテンション用移動機構と、前記
支持部とテンション用移動機構とを間に設けられ支持部
をＹ軸線方向に制御動させる補正動用移動機構と、前記
クランプアームに設けられ軟質シートを挟持した固定状
態とその挟持力よりも弱い挟持力で軟質シートを半挟持
する半固定状態を作り出す挟持力可変機構とを備え、機
台に軟質シートのエッジを検出するエッジ検出手段を有
し、また繰り出し機構、巻き取り機構はＹ軸線方向に制
御動可能に構成してなり、前記挟持力可変機構はクラン
プアームに周方向に遊転可能な状態で収容される突子を
軟質シート方向に突出するようにバネで付勢した構成と
し、前記エッジ検出手段の出力信号に基づいて前記半固
定状態で繰り出し機構、巻き取り機構がＹ軸線方向に制
御動されることを要旨とする。更に請求項３は、エッジ
検出手段の出力信号に基づいて前記半固定状態で繰り出
し機構、巻き取り機構がＹ軸線方向に制御動される請求
項２に代えて、エッジ検出手段の出力信号に基づいて前
記固定状態で補正動用移動機構、繰り出し機構、巻き取
り機構がＹ軸線方向に制御動されることを要旨とする。
前記するセンサー手段で検出される所定の張力は軟質シ
ートの材質毎に異にし、予め記憶値として制御部に記憶
されている。

【０００６】上記技術的手段によれば下記を作用を奏す
る。 （請求項１）繰り出し機構で繰り出し、巻き取り機構で
巻き取りながら軟質シートの穿孔対象部位を穿孔具ユニ
ットと相対するように定量送りをする。その度に軟質シ
ートを固定して弛みを矯正するようにテンション機構で
Ｘ軸線方向に微動する。その微動はテンション機構に設
けたセンサー手段が所定の張力を検出するまで行われ、
セラミックグリーンシート、フレキシブル基板等の軟質
シートの弛みを矯正する。 （請求項２）繰り出し機構と巻き取り機構との間の軟質
シートのクランプアームでの固定（挟持）は完全に挟持
する固定状態とそれよりも弱い力で挟持する半固定状態
とを作り出すことができる。半固定状態は、軟質シート
がバネの付勢力に抗して周方向に遊転可能な突子を後退
させ、そのバネの反発力が軟質シートの半固定力を付与
する。この半固定力は軟質シートを軽く押さえ、エッジ
検出手段の出力信号を基に繰り出し機構、巻き取り機構
をＹ軸線方向に制御動（詳細には例えば繰り出し機構、
巻き取り機構のどちらか一方をプラスＹ軸線方向に制御
動し、他方をマイナスＹ軸線方向に制御動）する時のθ
方向の軟質シートの回動支点となる。そのため穿孔時の
穿孔具との摩擦等で軟質シートにおける平面視でθ方向
に位置ずれが生じる時にその修正を軟質シートに皺を招
かず行うことができる。 （請求項３）また、穿孔時の穿孔具との摩擦等で軟質シ
ートがＹ軸線方向に平行移動することがあっても軟質シ
ートを挟持した固定状態でエッジ検出手段の出力信号を
基に補正動用移動機構、繰り出し機構、巻き取り機構を
夫々プラスまたはマイナス方向にＹ軸線方向に同時に同
動制御動し、平面視でＹ軸線方向の位置ずれが生じるこ
とがあってもそれを修正する。

【０００７】

【発明の実施の形態】次に、本発明の実施の形態を図面
に基づいて説明する。図１乃至図７はセラミックグリー
ンシート、フレキシブル基板等の軟質シートの穿孔装置
の実施の形態を図面に基づいて説明する。符号Ａは穿孔
装置、１は穿孔具ユニット、２はエッジ検出手段、３は
繰り出し機構、４は巻き取り機構、５はテンション機構
である。

【０００８】穿孔具ユニット１は本実施の形態ではパン
チユニット11…を必要数Ｘ軸線方向に並設したタイプを
示し、図１、図２に示すように水平な基準面（取付面）
21を上面とする段部を中途高さに形成した機台31の基準
面（取付面）11にＸ軸線移動機構41、Ｙ軸線移動機構51
を介してＸ軸線方向、Ｙ軸線方向に制御動可能に設けら
れている。

【０００９】パンチユニット11は図面では明らかにしな
いが、側面視コ型状を呈してなり、中央空間をワーク
（軟質シート）Ｘの搬送空間11ａとし、その搬送空間11
ａを挟んで正対する上側腕部にパンチ11ｂを、また下側
腕部においてパンチ11ｂと対向する上部部分に上面と面
一にしてダイス（図示せず）を埋設状に備えている。無
論パンチとダイスは交換可能である。各々のパンチユニ
ット11…は各々形状を異にするパンチ11ｂを備えてな
り、それによって異なる形状の孔を穿孔することができ
る。また、この穿孔具ユニット１はパンチユニット群の
一つにＣＣＤカメラを設けた芯出し用のカメラユニット
61を備えている。尚、穿孔具ユニット１はパンチに限定
されるものではなく、ドリルであっても良いし、また打
ち抜き型であっても良いものである。

【００１０】Ｘ軸線移動機構41は前記する穿孔具ユニッ
ト１をＸ軸線方向に移動するもので、その穿孔具ユニッ
ト１を支承する台41ａと、前記基準面（取付面）21にＸ
軸線方向に沿って平行に並設され前記台41ａを挿通する
ガイド棒41ｂ、41ｂと、ガイド棒41ｂ、41ｂ間にＸ軸線
方向に設けられ前記台41ａを挿通するネジ棒41ｃと、前
記台41ａに各々設けられネジ棒41ｃに螺合するプーリ、
スプロケット（図示せず）と、同様に台41ａに設けられ
プーリ、スプロケットに連絡する駆動源（例えばサーボ
モータ）（図示せず）等から構成され、駆動源の駆動で
プーリ、スプロケットを回転させることでそのプーリ、
スプロケットをネジ棒41ｃを中心に回転させて穿孔具ユ
ニット１を支承する台41ａをＸ軸線方向に移動させる。

【００１１】また、Ｙ軸線移動機構51は前記する穿孔具
ユニット１をＹ軸線方向に移動するもので、前記台41ａ
の上面にＹ軸線方向に沿って設けられたネジ棒51ａと、
そのネジ棒51ａを駆動させる駆動源（例えばサーボモー
タ）51ｂと、穿孔具ユニット１の下面から垂設しネジ棒
51ａに螺合する垂設部（図示せず）と、台41ａ上面にＹ
軸線方向に沿って設けたガイド部51ｃとからなってお
り、駆動源51ｂの駆動によって台41ａ上方を穿孔具ユニ
ット１がＸ軸線方向に移動する。

【００１２】繰り出し機構３はロール状に巻回されたセ
ラミックグリーンシート、フレキシブル基板等の軟質シ
ート（ワーク）Ｘの巻軸13を回転可能に設けると共に、
巻軸13の下流側に送りローラ23を設けている。

【００１３】巻き取り機構４は繰り出し機構３とは対称
的な働きをするものであり、上流側に送りローラ14を、
またその下流側に軟質シートＸの巻軸24を各々備えてい
る。

【００１４】この繰り出し機構３と巻き取り機構４は各
々モータ駆動とし、図示するように各々Ｙ軸線方向に個
別に制御動可能とする支持台33、34に支持されている。

【００１５】各々の支持台33、34をＹ軸線方向に制御動
させる機構は前記するＹ軸線移動機構51と同様な構造に
なっている。

【００１６】尚、符号６はピンチローラであり、上下昇
降動用の駆動源（例えばシリンダ等）で支持され、軟質
シートＸの巻き取り量（送り量）を測定する機能を有す
る。また符号２はエッジ検出手段であり、穿孔具ユニッ
ト１を挟んで上方位置に設置されたリニアセンサー等で
あり、軟質シートＸのエッジ（長辺側）を検出するもの
である。

【００１７】テンション機構５は図３に示すように穿孔
具ユニット１よりも上流側に配設した上下一対のクラン
プアーム15、15と、クランプアーム15、15を接近・離間
させるアクチュエータ25と、上下一対のクランプアーム
15、15の支持部35をＸ軸線方向に微動させるテンション
用移動機構45と、そのテンション用移動機構45と前記支
持部35との間に設けられた補正動用移動機構55と、軟質
シートＸを挟持した固定状態、その挟持力よりも弱い挟
持力で軟質シートＸを半挟持する挟持力可変機構65と、
軟質シートＸの所定の張力を検出した時Ｘ軸線方向への
微動を停止するセンサー手段75とを備えている。

【００１８】クランプアーム15、15はＸ軸線方向に対し
て直交する上下一対の接近・離間可能な水平帯状板から
なり、図３に示すように側面視略上向きコ型を呈する支
持部35で支持されている。その支持部35は平行片部35ａ
の上端部にＺ軸のアクチュエータ（リニアモータ、サー
ボモータ等）25、25を備えると共に、そのその下位に上
位のフクランプアーム15を下位のクランプアーム15に接
触させるガイド空間35ｃを凹設し、その上位のクランプ
アーム15にそのアクチュエータ25の駆動軸25ａを連結し
ている。

【００１９】このＺ軸のアクチュエータ25はクランプア
ーム15、15の対面同士を軟質シートＸを隔てて間接的に
接触させる固定状態時と後述する半固定状態時を作るよ
うに制御されている。

【００２０】補正動用移動機構55は図３に示すように固
定台55ａ、支持部35の底片部35ｄから垂設するナット部
35ｅ、固定台55ａにＹ軸線方向に沿って設けられナット
部35ｅに螺嵌するネジ棒55ｂ、そのネジ棒55ｂを回転さ
せる駆動源（例えばサーボモータ）55ｃからなってい
る。

【００２１】固定台55ａは内部を中空とする垂設体55ｄ
をＹ軸線方向に沿って垂設しており、上面には支持部35
のガイドレール55ｅをＹ軸線方向に向いて突設し、この
ガイドレール55ｅが前記支持部35をＹ軸線方向に移動可
能に支承している。

【００２２】この補正動用移動機構55、前記繰り出し機
構３及び繰り出し機構４のＹ軸線方向制御動用の駆動源
は前記するエッジ検出手段２に連係してある。

【００２３】テンション用移動機構45は図１乃至図３に
示すように前記垂設部55ｄに収容された駆動源45ａと前
記するＸ軸線移動機構41とで構成されている。

【００２４】その駆動源45ａは図３に示すようにネジ棒
41ｃに螺合するプーリ、スプロケットにサーボモータ等
のアクチュエータの駆動力が伝達される仕組みになって
おり、このアクチュエータの駆動によってプーリ、スプ
ロケットがネジ棒41ｃを中心に回転してガイド棒41ｂ、
41ｂをガイドとして前記上下一対のクランプアーム15、
15を備えた支持部35をＸ軸線方向に微動させて、軟質シ
ートＸにテンションをかけるようになっている。

【００２５】前記センサー手段75は前記するガイド空間
35ｃの底面から立設し上端を下位のクランプアーム15に
固定した起歪体75ａにストレーンゲージ75ｂを固着し、
このストレーンゲージ75ｂを制御部Ｙに連係して構成し
てある。

【００２６】挟持力可変機構65は図３、図４に示すよう
に上下のクランプアーム15、15の中央部位に設けられて
いる。この挟持力可変機構65は各々のクランプアーム1
5、15の対面から突出する突子65ａ、65ａをリニアガイ
ド等のガイド手段65ｂで回転可能（周方向に遊転可能）
に支持すると共にその突子65ａ、65ａを介設したバネ
（圧縮バネ）65ｃ、65ｃで突出方向に付勢し、そのバネ
65ｃの反力に抗して押さえると突子65ａが、それら突子
65ａ、ガイド手段65ｂ、バネ（圧縮バネ）65ｃを収容す
る収容ケース65ｄ内に没入する構造とし、クランプアー
ム15、15で軟質シートを挟持する固定状態（挟持状態）
と半挟持する半固定状態（半挟持状態）にすることがで
きる。

【００２７】制御部Ｙは、軟質シートＸを穿孔する所定
の制御プログラムを記憶するＲＯＭ、演算処理に必要な
穿孔パターン等を必要なデータを記憶するＲＡＭ、その
データに基づいて制御プログラムを実行するＣＰＵ、及
び繰り出し機構３及び巻き取り機構４の駆動源、そのＹ
軸線方向の駆動源、エッジ検出手段２、クランプアーム
のテンション用移動機構45、補正動用移動機構55、挟持
力可変機構65、ピンチローラ６、センサー手段75、穿孔
具ユニット４のＸ軸線移動機構41、Ｙ軸線移動機構51等
の各インターフェースを備えている。

【００２８】以上の構成になっているセラミックスグリ
ーンシート、フレキシブル基板等の軟質シートでは、ま
ずロール状に巻回された軟質シートＸを繰り出し機構３
の送りローラ23上、クランプアーム15、15間、穿孔具ユ
ニット１の搬送空間11ａ、ピンチローラ６と受けローラ
16との間、巻き取り機構４の送りローラ14上を通してそ
の遊端を巻軸24に巻着する。

【００２９】次に装置自体を作動させると、エッジ検出
手段２で軟質シートＸの両側部分（長縁部分）を検出
し、ピンチローラ６を上昇させて軟質シートＸから離し
且つ繰り出し機構３、巻き取り機構４におけるＹ軸線方
向の制御動用の駆動源を作動させて繰り出し機構３、巻
き取り機構４を個別にＹ軸線方向にプラス方向またはマ
イナス方向に制御動して平面視θ方向の位置ずれを修正
する（図６（ｂ））。次に上下一対のクランプアーム1
5、15で軟質シートＸを挟持（固定状態）し、テンショ
ン用移動機構45を作動させて軟質シートＸに張力を作用
させる。この軟質シートＸの微動は前記するストレーン
ゲージ75ｂによる歪み量を電気的に変換して換算された
値が制御部Ｙに記憶されている所定の張力値に達するま
で行われる。この制御部Ｙに記憶されている所定の張力
は穿孔対象になっている軟質シートＸの材質毎で異な
り、テンションでの切断は勿論のこと塑性変形しない最
適値である（図５（ａ）（ｂ））。そして、穿孔具ユニ
ット１がＸ・Ｙ軸線方向に制御動されて所定の穿孔パタ
ーンで穿孔対象部位を穿孔する。この穿孔時には穿孔具
ユニット１がカメラユニット61を有することから基準点
の芯出し補正を行った後、穿孔が行われる。この穿孔は
繰り出し機構３、巻き取り機構４による定量繰り出し、
定量巻き取りの度に行われるが、穿孔時の穿孔具（パン
チ）との穿孔摩擦によって軟質シートＸが平面視でθ方
向に微回動したり（図６（ａ））、平面視で平行に微移
動することがある（図７（ａ））。その時には前記エッ
ジ検出手段２が常時軟質シートＸの両側部分（長縁部
分）を検出していることから、その出力信号に基づいて
平面視でθ方向に微回動していると制御部Ｙが判断した
場合にはクランプアーム15、15を前記半固定状態すると
共にピンチローラ６を上昇させて軟質シートＸから離し
且つ繰り出し機構３、巻き取り機構４におけるＹ軸線方
向の制御動用の駆動源を作動させて繰り出し機構３、巻
き取り機構４を個別にＹ軸線方向にプラス方向またはマ
イナス方向に制御動して平面視θ方向の位置ずれを修正
する（図６（ｂ））。この修正時には突子65ａが周方向
に遊転可能になっていることから軟質シートＸに皺等を
生成することはない。一方、前記出力信号に基づいて平
面視で平行に微移動していると制御部Ｙが判断した場合
には挟持（固定状態）したままピンチローラ６を上昇さ
せて軟質シートＸから離し且つ補正動用移動機構55、繰
り出し機構３、巻き取り機構４におけるＹ軸線方向の制
御動用の駆動源をＹ軸線方向のプラス側またはマイナス
側に同時に同量制御動して平面視での平行な位置ずれを
修正する（図７（ｂ））。

【００３０】前記平面視でのθ方向への微回動や平面視
での平行な微移動は穿孔後に軟質シートＸを定量送りし
て再度クランプアーム15、15で軟質シートＸをクランプ
して所定の張力を掛けた後で且つ穿孔前に行われる。

【００３１】このようにして軟質シートＸを繰り出し、
巻き取りながらロール状の巻回された軟質シートＸに所
定の穿孔を施す。

【００３２】

【発明の効果】本発明は以上のように構成したので下記
の利点がある。 （請求項１）ロール状に巻回されたセラミックグリーン
シート、フレキシブル基板等の軟質シートを繰り出しな
がら穿孔するに際し、緩みや己の自重で自ずと弛む軟質
シートに対して最適な所定の張力を与えてその弛みを矯
正するようにしているから、所望する位置に正確に穿孔
することができる。 （請求項２）その上、軟質シートに張力を付与するテン
ション機構が上下一対のクランプアーム、そのクランプ
アームから軟質シート方向にバネ付勢された突子を周方
向に遊転可能に収容した挟持力可変機構を有する場合に
はその突子が軟質シートの平面視θ方向の回動支点にな
るので、エッジ検出手段の出力信号に基づいて前記挟持
力可変機構で軟質シートを半固定状態すると共に繰り出
し機構、巻き取り機構をＹ軸線方向に制御動することに
よって平面視θ方向の軟質シートの位置ずれを修正でき
る。そのため、穿孔具との穿孔摩擦等の影響で繰り出し
機構と巻き取り機構との間の軟質シート部分が平面視θ
方向に回動するようなことがあっても軟質シートに皺等
穿孔誤差の要因を招かずにその位置ずれを修正できる。 （請求項３）また、前記軟質シートに張力を付与するテ
ンション機構はＹ軸線方向に制御動するようになってい
ることから、エッジ検出手段の出力信号に基づいて挟持
力可変機構で軟質シートを固定状態すると共に、補正動
用移動機構、繰り出し機構、巻き取り機構をＹ軸線方向
に制御動することによって穿孔具との穿孔摩擦等の影響
で繰り出し機構と巻き取り機構との間の軟質シート部分
が平面視で平行な位置ずれが生じた時にそれを修正で
き、請求項２と同様に軟質シートに所望穿孔位置に正し
く穿孔できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】穿孔装置の正面図。

【図２】穿孔装置の平面図。

【図３】テンション機構の側面断面図。

【図４】テンション機構の要部の拡大図で一部切欠して
示し、（ａ）は挟持する前の状態を示す。（ｂ）は半固
定状態を示す。（ｃ）は完全固定状態を示す。

【図５】穿孔途中の正面図で概略的に示し、（ａ）はテ
ンションを掛ける前、（ｂ）はテンションを掛けた後を
示す。

【図６】軟質シートの平面図を示し、（ａ）は軟質シー
トがθ方向に傾斜している状態を示す。（ｂ）はそれを
修正した状態を示す。

【図７】軟質シートの平面図を示し、（ａ）は軟質シー
トがＹ方向に微動している状態を示す。（ｂ）はそれを
修正した状態を示す。

【符号の説明】

Ｘ ：軟質シート（ワーク） ３ ：繰り出し機構 ４ ：巻き取り機構 １ ：穿孔具ユニッ
ト ５ ：テンション機構 ２ ：センサー手段 15、15 ：クランプアーム 45 ：テンション用
移動機構 35 ：支持部 55 ：補正動用移動
機構 65 ：挟持力可変機構 ２ ：エッジ検出手
段 65ａ：突子 65ｃ：バネ 75 ：センサー手段 31 ：機台 ６ ：ピンチローラ

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 セラミックグリーンシート、フレキシブ
   ル基板等の軟質シートをＸ軸線方向に繰り出す繰り出し
   機構及びそれをロール状に巻き取る巻き取り機構と、そ
   の繰り出し機構、巻き取り機構との間に配設されＹ軸線
   方向、Ｘ軸線方向に制御動させて軟質シートに穿孔を施
   す穿孔具ユニットと、前記繰り出し機構、巻き取り機構
   間の軟質シートを固定してＸ軸線方向に微動する固定解
   除可能なテンション機構とを有し、該テンション機構は
   軟質シートの所定の張力を検出した時Ｘ軸線方向への微
   動を停止するセンサー手段を備えているセラミックグリ
   ーンシート、フレキシブル基板等の軟質シートの穿孔装
   置。
2. 【請求項２】 前記テンション機構が、軟質シートをＸ
   軸線方向に対して直交して上下から挟持する接近・離間
   可能な一対のクランプアームと、そのクランプアームの
   支持部をＸ軸線方向に微動させるテンション用移動機構
   と、前記支持部とテンション用移動機構とを間に設けら
   れ支持部をＹ軸線方向に制御動させる補正動用移動機構
   と、前記クランプアームに設けられ軟質シートを挟持し
   た固定状態とその挟持力よりも弱い挟持力で軟質シート
   を半挟持する半固定状態を作り出す挟持力可変機構とを
   備え、機台に軟質シートのエッジを検出するエッジ検出
   手段を有し、また繰り出し機構、巻き取り機構はＹ軸線
   方向に制御動可能に構成してなり、前記挟持力可変機構
   はクランプアームに周方向に遊転可能な状態で収容され
   る突子を軟質シート方向に突出するようにバネで付勢し
   た構成とし、前記エッジ検出手段の出力信号に基づいて
   前記半固定状態で繰り出し機構、巻き取り機構がＹ軸線
   方向に制御動される請求項１記載のセラミックグリーン
   シート、フレキシブル基板等の軟質シートの穿孔装置。
3. 【請求項３】 前記エッジ検出手段の出力信号に基づい
   て前記半固定状態で繰り出し機構、巻き取り機構がＹ軸
   線方向に制御動されるものに代えて、エッジ検出手段の
   出力信号に基づいて前記固定状態で補正動用移動機構、
   繰り出し機構、巻き取り機構がＹ軸線方向に制御動され
   る請求項２記載のセラミックグリーンシート、フレキシ
   ブル基板等の軟質シートの穿孔装置。