JP2011195855A - クランプ装置及び基板ホルダー - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ベース部41上に支持シャフトを支点として揺動可能に設けられ、その一端側に基板Sに当接する当接部46を有すると共に他端側に操作部47を備えたクランプアーム42と、当接部46によって基板Sが押圧されるようにクランプアーム42を付勢する付勢部材43と、当接部46をベース部41から離間させた状態でクランプアーム42の揺動を規制可能に設けられる規制部材44と、を備える構成とする。
【選択図】図4
Description
図1は、基板ホルダーの正面図及び裏面図であり、図2は、図1のA−A′断面図である。また図3はクランプ装置の概略斜視図であり、図4はクランプ装置の正面図である。
20 保持部材
21 開口部
22 収容部
23 当接部
24 側壁部
25 凹部
30 バックプレート
40 クランプ装置
41 ベース部
42 クランプアーム
43 付勢部材
44 規制部材
45 支持シャフト
46 当接部
47 操作部
48 挿入孔
49 スライド軸
S 被処理基板
Claims (5)
- 基板が収容される収容部を有する保持部材に設けられ、前記収容部に収容された基板を押圧して前記保持部材に固定するクランプ装置であって、
ベース部上に支持シャフトを支点として揺動可能に設けられ、その一端側に前記基板に当接する当接部を有すると共に他端側に操作部を備えたクランプアームと、
前記基板に当接した前記当接部によって当該基板が押圧されるように前記クランプアームを付勢する付勢部材と、
前記当接部を前記ベース部から離間させた状態で前記クランプアームの揺動を規制可能に設けられる規制部材と、
を備えることを特徴とするクランプ装置。 - 前記規制部材は、前記当接部が前記ベース部から離間した状態で、前記ベース部と前記クランプアームとの間を前記支持シャフトに沿ってスライド可能に設けられており、
前記当接部が前記ベース部から離間した状態で、前記規制部材を所定量スライドさせることで、当該規制部材が前記クランプアームに当接して当該クランプアームの揺動が規制されることを特徴とする請求項1に記載のクランプ装置。 - 前記クランプアームには、前記規制部材が所定位置にある場合に、前記当接部が前記ベース部に近接した状態で前記規制部材が挿入される挿入孔が設けられていることを特徴とする請求項2に記載のクランプ装置。
- 前記クランプアームと前記ベース部とを電気的に接続するアース板をさらに備えることを特徴とする請求項1〜3の何れか一項に記載のクランプ装置。
- 基板が収容される収容部を有する保持部材と、
該保持部材に設けられ、前記収容部に収容された基板を押圧して当該保持部材に固定するクランプ装置と、を備え、
該クランプ装置が、
ベース部上に支持シャフトを支点として揺動可能に設けられ、その一端側に前記基板に当接する当接部を有すると共に他端側に操作部を備えたクランプアームと、
前記基板に当接した前記当接部によって当該基板が押圧されるように前記クランプアームを付勢する付勢部材と、
前記当接部を前記基板から離間させた状態で前記クランプアームの揺動を規制可能に設けられる規制部材と、
を備えることを特徴とする基板ホルダー。
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN109957765A (zh) * | 2017-12-26 | 2019-07-02 | 佳能特机株式会社 | 基板支架及成膜装置 |
Citations (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS4915566A (ja) * | 1972-06-02 | 1974-02-12 | ||
JPS6462793A (en) * | 1987-09-02 | 1989-03-09 | Mitsubishi Electric Corp | Vending machine |
JPH1018033A (ja) * | 1996-07-02 | 1998-01-20 | Tokyo Electron Ltd | 基板の保持部材、基板の収納体、基板の搬送方法及び基板の処理装置 |
JPH10296072A (ja) * | 1997-04-28 | 1998-11-10 | Sumitomo Heavy Ind Ltd | 被処理基板のクランプ機構を備えた処理容器 |
JP2001121862A (ja) * | 1999-10-28 | 2001-05-08 | Kokuyo Co Ltd | クリップ |
JP2001180164A (ja) * | 1999-12-27 | 2001-07-03 | Kokuyo Co Ltd | クリップ |
JP2002083774A (ja) * | 2000-09-07 | 2002-03-22 | Kobe Steel Ltd | 成膜装置 |
JP2002115073A (ja) * | 2000-10-11 | 2002-04-19 | Kobe Steel Ltd | プラズマ処理装置 |
JP2004296672A (ja) * | 2003-03-26 | 2004-10-21 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | 搬送装置およびこれを備えた真空処理装置 |
JP2005034515A (ja) * | 2003-07-18 | 2005-02-10 | Terumo Corp | クランプ |
JP2006188747A (ja) * | 2005-01-05 | 2006-07-20 | Samsung Sdi Co Ltd | 基板固定トレイ及びこれを利用した基板整列システム及びその方法 |
JP2008030161A (ja) * | 2006-07-31 | 2008-02-14 | Tdk Corp | ワーク位置決め装置 |
JP2011515860A (ja) * | 2008-03-27 | 2011-05-19 | グレンツェバッハ・マシーネンバウ・ゲーエムベーハー | スパッタコーティングシステムにおいて衝撃に敏感な板を固定及び輸送する方法及び装置 |
JP2011126224A (ja) * | 2009-12-21 | 2011-06-30 | Sdi Japan:Kk | 物品挟み装置 |
-
2010
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Patent Citations (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS4915566A (ja) * | 1972-06-02 | 1974-02-12 | ||
JPS6462793A (en) * | 1987-09-02 | 1989-03-09 | Mitsubishi Electric Corp | Vending machine |
JPH1018033A (ja) * | 1996-07-02 | 1998-01-20 | Tokyo Electron Ltd | 基板の保持部材、基板の収納体、基板の搬送方法及び基板の処理装置 |
JPH10296072A (ja) * | 1997-04-28 | 1998-11-10 | Sumitomo Heavy Ind Ltd | 被処理基板のクランプ機構を備えた処理容器 |
JP2001121862A (ja) * | 1999-10-28 | 2001-05-08 | Kokuyo Co Ltd | クリップ |
JP2001180164A (ja) * | 1999-12-27 | 2001-07-03 | Kokuyo Co Ltd | クリップ |
JP2002083774A (ja) * | 2000-09-07 | 2002-03-22 | Kobe Steel Ltd | 成膜装置 |
JP2002115073A (ja) * | 2000-10-11 | 2002-04-19 | Kobe Steel Ltd | プラズマ処理装置 |
JP2004296672A (ja) * | 2003-03-26 | 2004-10-21 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | 搬送装置およびこれを備えた真空処理装置 |
JP2005034515A (ja) * | 2003-07-18 | 2005-02-10 | Terumo Corp | クランプ |
JP2006188747A (ja) * | 2005-01-05 | 2006-07-20 | Samsung Sdi Co Ltd | 基板固定トレイ及びこれを利用した基板整列システム及びその方法 |
JP2008030161A (ja) * | 2006-07-31 | 2008-02-14 | Tdk Corp | ワーク位置決め装置 |
JP2011515860A (ja) * | 2008-03-27 | 2011-05-19 | グレンツェバッハ・マシーネンバウ・ゲーエムベーハー | スパッタコーティングシステムにおいて衝撃に敏感な板を固定及び輸送する方法及び装置 |
JP2011126224A (ja) * | 2009-12-21 | 2011-06-30 | Sdi Japan:Kk | 物品挟み装置 |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN109957765A (zh) * | 2017-12-26 | 2019-07-02 | 佳能特机株式会社 | 基板支架及成膜装置 |
CN109957765B (zh) * | 2017-12-26 | 2023-09-01 | 佳能特机株式会社 | 基板支架及成膜装置 |
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Publication number | Publication date |
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