JPH10170936A - Polymer film liquid crystal display and its production - Google Patents
Polymer film liquid crystal display and its productionInfo
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- JPH10170936A JPH10170936A JP33098396A JP33098396A JPH10170936A JP H10170936 A JPH10170936 A JP H10170936A JP 33098396 A JP33098396 A JP 33098396A JP 33098396 A JP33098396 A JP 33098396A JP H10170936 A JPH10170936 A JP H10170936A
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は透明電極の密着性を
改善したポリマーフィルム液晶ディスプレイ及びその製
造方法に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a polymer film liquid crystal display having improved adhesion of a transparent electrode and a method for producing the same.
【０００２】[0002]
【従来の技術】図２（ａ）乃至（ｆ）は従来のポリマー
フィルム液晶ディスプレイ（ＬＣＤ）の製造方法を工程
順に示す断面図である。先ず、図２（ａ）に示すよう
に、ＩＴＯ（インジウム・スズ酸化物）膜付きポリマー
フィルムのＩＴＯ膜をエッチングすることにより、ポリ
マーフィルム基板１上にＩＴＯからなる透明電極膜２が
パターン形成された基板を得る。2. Description of the Related Art FIGS. 2A to 2F are sectional views showing a conventional method of manufacturing a polymer film liquid crystal display (LCD) in the order of steps. First, as shown in FIG. 2A, a transparent electrode film 2 made of ITO is pattern-formed on a polymer film substrate 1 by etching an ITO film of a polymer film with an ITO (indium tin oxide) film. Obtained substrate.
【０００３】次に、図２（ｂ）に示すように、基板上に
ポリアミド膜を塗布し、このポリアミド膜に溝を付ける
ラビング処理することにより、基板上に配向膜３を形成
する。この配向膜３は液晶を配向させるためのものであ
る。[0003] Next, as shown in FIG. 2 (b), an alignment film 3 is formed on the substrate by applying a polyamide film on the substrate and performing a rubbing process for forming a groove in the polyamide film. This alignment film 3 is for aligning the liquid crystal.
【０００４】その後、図２（ｃ）に示すように、基板上
にスペーサ４を散布し、次いで、図２（ｄ）に示すよう
に、基板の縁部にシール剤５を塗布する。また、この透
明電極膜２がパターン形成された基板とは別に、ポリマ
ーフィルム基板６上にＩＴＯからなる透明電極７が形成
され、更に透明電極７上に配向膜８が形成された基板を
用意する。そして、基板１上に基板６をスペーサ４及び
シール剤５上に配向膜８が接触するようにして重ね合わ
せる。これにより、両基板１、６がスペーサ４及びシー
ル剤５を中間に挟んで貼り合わされる。[0004] Thereafter, as shown in FIG. 2 (c), spacers 4 are scattered on the substrate, and then, as shown in FIG. 2 (d), a sealing agent 5 is applied to the edge of the substrate. Separately from the substrate on which the transparent electrode film 2 is patterned, a substrate on which a transparent electrode 7 made of ITO is formed on a polymer film substrate 6 and an alignment film 8 is further formed on the transparent electrode 7 is prepared. . Then, the substrate 6 is overlaid on the substrate 1 such that the alignment film 8 is in contact with the spacer 4 and the sealant 5. As a result, the substrates 1 and 6 are bonded together with the spacer 4 and the sealant 5 interposed therebetween.
【０００５】その後、図２（ｅ）に示すように、スペー
サ４により配向膜３、８間に形成された間隙に、シール
剤５を介して、液晶９を注入する。Thereafter, as shown in FIG. 2E, a liquid crystal 9 is injected through a sealant 5 into a gap formed between the alignment films 3 and 8 by the spacer 4.
【０００６】次いで、図２（ｆ）に示すように、基板
１、６の外面に夫々偏光板１０、１１を貼付する。これ
により、ポリマーフィルム液晶ディスプレイが製造され
る。なお、偏光板１１の外面に更に光反射板が貼付され
ることもある。Next, as shown in FIG. 2F, polarizing plates 10 and 11 are attached to the outer surfaces of the substrates 1 and 6, respectively. Thereby, a polymer film liquid crystal display is manufactured. Note that a light reflection plate may be further attached to the outer surface of the polarizing plate 11.
【０００７】図３はＩＴＯ透明電極膜の近傍の構造を示
す拡大断面図、図４は同じくその平面図である。ポリマ
ーフィルム基板１上には、Ａｇ、Ｃｒ又はＮｉ等の金属
薄膜１２をスパッタにより形成した後、これをパターニ
ングすることにより配線が形成されている。そして、こ
の配線用金属薄膜１２の接続部１３上に重なるようにし
て、ＩＴＯからなる透明電極膜２が基板１上にパターン
形成されている。なお、金属薄膜１２と透明電極２とは
メタライズされている。この配線用金属薄膜１２を介し
て透明電極膜２に選択的に電圧が印加される。FIG. 3 is an enlarged sectional view showing the structure near the ITO transparent electrode film, and FIG. 4 is a plan view thereof. A wiring is formed on the polymer film substrate 1 by forming a metal thin film 12 of Ag, Cr, Ni or the like by sputtering, and then patterning the thin film. Then, a transparent electrode film 2 made of ITO is patterned on the substrate 1 so as to overlap the connection portion 13 of the wiring metal thin film 12. The metal thin film 12 and the transparent electrode 2 are metallized. A voltage is selectively applied to the transparent electrode film 2 via the wiring metal thin film 12.
【０００８】[0008]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、ＩＴＯ
からなる透明電極膜２と、Ａｇ、Ｃｒ又はＮｉ等の金属
膜１２との親和性が低く、従来のポリマーフィルム液晶
ディスプレイは、ＩＴＯ透明電極膜２が剥離しやすいと
いう欠点がある。SUMMARY OF THE INVENTION However, ITO
Has a low affinity between the transparent electrode film 2 made of and the metal film 12 of Ag, Cr, Ni or the like, and the conventional polymer film liquid crystal display has a disadvantage that the ITO transparent electrode film 2 is easily peeled off.
【０００９】本発明はかかる問題点に鑑みてなされたも
のであって、透明電極膜の密着性を向上させることがで
きるポリマーフィルム液晶ディスプレイ及びその製造方
法をを提供することを目的とする。The present invention has been made in view of the above problems, and has as its object to provide a polymer film liquid crystal display capable of improving the adhesion of a transparent electrode film, and a method of manufacturing the same.
【００１０】[0010]
【課題を解決するための手段】本発明に係るポリマーフ
ィルム液晶ディスプレイは、ポリマーフィルム基板と、
このポリマーフィルム基板上にパターン形成された配線
用金属膜と、前記配線用金属膜の接続部上に局部的に形
成されたチタン膜と、前記基板上及びチタン膜上にパタ
ーン形成されたインジウム・スズ酸化物からなる透明電
極膜とを有することを特徴とする。A polymer film liquid crystal display according to the present invention comprises a polymer film substrate,
A metal film for wiring patterned on the polymer film substrate, a titanium film locally formed on a connection portion of the metal film for wiring, and an indium film patterned on the substrate and the titanium film. A transparent electrode film made of tin oxide.
【００１１】本発明に係るポリマーフィルム液晶ディス
プレイの製造方法は、ポリマーフィルム基板上に配線用
金属膜をパターン形成する工程と、この配線用金属膜の
接続部上にチタン膜を局部的に形成する工程と、前記基
板上及びチタン膜上にインジウム・スズ酸化物からなる
透明電極膜をパターン形成する工程とを有することを特
徴とする。In the method of manufacturing a polymer film liquid crystal display according to the present invention, a step of patterning a metal film for wiring on a polymer film substrate, and locally forming a titanium film on a connection portion of the metal film for wiring. And a step of patterning a transparent electrode film made of indium tin oxide on the substrate and the titanium film.
【００１２】本発明においては、ＩＴＯ（インジウム・
スズ酸化物）からなる透明電極と、Ｃｒ又はＮｉ等の配
線用金属膜との間に、Ｔｉ膜を形成する。このＴｉ膜
は、ＩＴＯとの親和性が優れており、更に、金属膜とは
同種材料であるため、親和性が高い。このため、ＩＴＯ
と基板との間の密着性が向上する。In the present invention, ITO (indium.
A Ti film is formed between a transparent electrode made of tin oxide) and a wiring metal film such as Cr or Ni. This Ti film has excellent affinity with ITO, and furthermore, has a high affinity because it is made of the same material as the metal film. For this reason, ITO
The adhesion between the substrate and the substrate is improved.
【００１３】[0013]
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施例について、
添付の図面を参照して具体的に説明する。図１は本発明
の実施例に係るポリマーフィルム液晶ディスプレイを示
す断面図である。ポリマーフィルム基板１上にＣｒ又は
Ｎｉ等の金属からなる配線用金属膜１２がパターン形成
されており、この配線用金属膜１２の接続部１３上に、
Ｔｉ膜１４が局部的に形成されている。このＴｉ膜１４
の厚さは例えば３００Åである。そして、ＩＴＯからな
る透明電極膜２がその一部をＴｉ膜１４上に重ねて基板
１上にパターン形成されている。従って、このＩＴＯ透
明電極膜２はＴｉ膜１４を介して配線用金属膜１２の接
続部に接続されている。配向膜、シール剤、スペーサ及
び液晶等のその他の構成は従来のポリマーフィルム液晶
ディスプレイと同様であるので、その詳細な説明は省略
する。BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Hereinafter, embodiments of the present invention will be described.
This will be specifically described with reference to the accompanying drawings. FIG. 1 is a sectional view showing a polymer film liquid crystal display according to an embodiment of the present invention. A wiring metal film 12 made of a metal such as Cr or Ni is pattern-formed on the polymer film substrate 1, and on the connection portion 13 of the wiring metal film 12,
The Ti film 14 is formed locally. This Ti film 14
Is 300 °, for example. Then, a transparent electrode film 2 made of ITO is partly formed on the Ti film 14 and is patterned on the substrate 1. Therefore, the ITO transparent electrode film 2 is connected to the connection portion of the wiring metal film 12 via the Ti film 14. Other configurations such as an alignment film, a sealant, a spacer, and a liquid crystal are the same as those of a conventional polymer film liquid crystal display, and thus detailed description thereof will be omitted.
【００１４】このように構成された本実施例のポリマー
フィルム液晶ディスプレイにおいては、ＩＴＯ透明電極
膜２とＴｉ膜１４との間の親和性が優れており、また、
Ｔｉ膜１４と金属薄膜１２（接続部１３）との間の密着
性は金属同士であるので優れている。このため、ＩＴＯ
透明電極膜２は基板１に対して高強度で密着しており、
その剥離を防止することができる。In the polymer film liquid crystal display of the present embodiment thus constructed, the affinity between the ITO transparent electrode film 2 and the Ti film 14 is excellent.
The adhesion between the Ti film 14 and the metal thin film 12 (connection portion 13) is excellent because the metals are metal. For this reason, ITO
The transparent electrode film 2 adheres to the substrate 1 with high strength,
The peeling can be prevented.
【００１５】なお、Ｔｉ膜１４の厚さは、２００乃至４
０００Åであることが好ましい。Ｔｉ膜１４の厚さが２
００Å未満であると、Ｔｉ層とＣｒ層との密着性が低く
なる場合があり、４０００Åを超えると、フィルムに反
りが発生したり、回路パターンにクラックが入る場合が
ある。The thickness of the Ti film 14 is 200 to 4
Preferably, it is 2,000 °. The thickness of the Ti film 14 is 2
If it is less than 00 °, the adhesion between the Ti layer and the Cr layer may be low. If it exceeds 4000 °, the film may be warped or the circuit pattern may be cracked.
【００１６】また、本実施例のポリマーフィルム液晶デ
ィスプレイの製造方法は、図２に示す従来の製造方法に
おいて、配線用金属膜をパターン形成した後、その接続
部上にのみＴｉ膜を形成する工程を付加すればよい。こ
のＴｉ膜を接続部上に局部的に形成する方法としては、
接続部上に孔を有するレジストを設け、Ｔｉ膜をスパッ
タリング等の方法により、全面に形成し、その後、前記
レジストを除去する等の方法がある。The method of manufacturing a polymer film liquid crystal display according to the present embodiment is the same as the conventional manufacturing method shown in FIG. 2 except that a metal film for wiring is formed in a pattern and then a Ti film is formed only on the connection portion. May be added. As a method of locally forming the Ti film on the connection portion,
There is a method in which a resist having holes is provided on the connection portion, a Ti film is formed on the entire surface by a method such as sputtering, and then the resist is removed.
【００１７】[0017]
【発明の効果】以上説明したように、本発明はＩＴＯ透
明電極膜と、配線用金属膜との間に、Ｔｉ膜を設けたか
ら、ＩＴＯ透明電極膜と基板との間の密着性が著しく向
上し、その剥離を防止することができる。As described above, according to the present invention, since the Ti film is provided between the ITO transparent electrode film and the wiring metal film, the adhesion between the ITO transparent electrode film and the substrate is significantly improved. Then, the peeling can be prevented.
【図１】本発明の実施例に係るポリマーフィルム液晶デ
ィスプレイの透明電極の近傍の構造を拡大して示す断面
図である。FIG. 1 is an enlarged sectional view showing a structure near a transparent electrode of a polymer film liquid crystal display according to an embodiment of the present invention.
【図２】従来のポリマーフィルム液晶ディスプレイの製
造方法を工程順に示す断面図である。FIG. 2 is a cross-sectional view showing a method for manufacturing a conventional polymer film liquid crystal display in the order of steps.
【図３】従来のポリマーフィルム液晶ディスプレイの透
明電極の近傍の構造を拡大して示す断面図である。FIG. 3 is an enlarged sectional view showing a structure near a transparent electrode of a conventional polymer film liquid crystal display.
【図４】同じくその平面である。FIG. 4 is the same plane.
１、６：ポリマーフィルム基板 ２、７：ＩＴＯ透明電極 ３、８：配向膜 ４：スペーサ ５：シール剤 ９：液晶 １０，１１：偏光板 １２：金属薄膜 １３：接続部 １４：Ｔｉ膜 1, 6: polymer film substrate 2, 7: ITO transparent electrode 3, 8: alignment film 4: spacer 5: sealant 9: liquid crystal 10, 11: polarizing plate 12: metal thin film 13: connection portion 14: Ti film
Claims (2)
フィルム基板上にパターン形成された配線用金属膜と、
前記配線用金属膜の接続部上に局部的に形成されたチタ
ン膜と、前記基板上及びチタン膜上にパターン形成され
たインジウム・スズ酸化物からなる透明電極膜とを有す
ることを特徴とするポリマーフィルム液晶ディスプレ
イ。1. A polymer film substrate, a metal film for wiring patterned on the polymer film substrate,
It has a titanium film formed locally on a connection part of the metal film for wiring, and a transparent electrode film made of indium tin oxide patterned on the substrate and the titanium film. Polymer film liquid crystal display.
をパターン形成する工程と、この配線用金属膜の接続部
上にチタン膜を局部的に形成する工程と、前記基板上及
びチタン膜上にインジウム・スズ酸化物からなる透明電
極膜をパターン形成する工程とを有することを特徴とす
るポリマーフィルム液晶ディスプレイの製造方法。2. A step of patterning a wiring metal film on a polymer film substrate, a step of locally forming a titanium film on a connection portion of the wiring metal film, and a step of forming a titanium film on the substrate and the titanium film. Forming a pattern of a transparent electrode film made of indium tin oxide. A method for producing a polymer film liquid crystal display.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33098396A JPH10170936A (en) | 1996-12-11 | 1996-12-11 | Polymer film liquid crystal display and its production |
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| JP33098396A JPH10170936A (en) | 1996-12-11 | 1996-12-11 | Polymer film liquid crystal display and its production |
Publications (1)
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| JPH10170936A true JPH10170936A (en) | 1998-06-26 |
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| JP33098396A Pending JPH10170936A (en) | 1996-12-11 | 1996-12-11 | Polymer film liquid crystal display and its production |
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-
1996
- 1996-12-11 JP JP33098396A patent/JPH10170936A/en active Pending
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