JPH10170936A - ポリマーフィルム液晶ディスプレイ及びその製造方法 - Google Patents
ポリマーフィルム液晶ディスプレイ及びその製造方法Info
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- JPH10170936A JPH10170936A JP33098396A JP33098396A JPH10170936A JP H10170936 A JPH10170936 A JP H10170936A JP 33098396 A JP33098396 A JP 33098396A JP 33098396 A JP33098396 A JP 33098396A JP H10170936 A JPH10170936 A JP H10170936A
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- polymer film
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 透明電極膜の密着性を向上させることができ
るポリマーフィルム液晶ディスプレイ及びその製造方法
をを提供する。 【解決手段】 ポリマーフィルム液晶ディスプレイは、
ポリマーフィルム基板１と、このポリマーフィルム基板
１上にパターン形成された配線用金属膜１２と、配線用
金属膜１２の接続部１３上に局部的に形成されたチタン
膜１４と、基板１上及びチタン膜１４上にパターン形成
されたインジウム・スズ酸化物からなる透明電極膜２と
を有する。
るポリマーフィルム液晶ディスプレイ及びその製造方法
をを提供する。 【解決手段】 ポリマーフィルム液晶ディスプレイは、
ポリマーフィルム基板１と、このポリマーフィルム基板
１上にパターン形成された配線用金属膜１２と、配線用
金属膜１２の接続部１３上に局部的に形成されたチタン
膜１４と、基板１上及びチタン膜１４上にパターン形成
されたインジウム・スズ酸化物からなる透明電極膜２と
を有する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は透明電極の密着性を
改善したポリマーフィルム液晶ディスプレイ及びその製
造方法に関する。
改善したポリマーフィルム液晶ディスプレイ及びその製
造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】図２（ａ）乃至（ｆ）は従来のポリマー
フィルム液晶ディスプレイ（ＬＣＤ）の製造方法を工程
順に示す断面図である。先ず、図２（ａ）に示すよう
に、ＩＴＯ（インジウム・スズ酸化物）膜付きポリマー
フィルムのＩＴＯ膜をエッチングすることにより、ポリ
マーフィルム基板１上にＩＴＯからなる透明電極膜２が
パターン形成された基板を得る。
フィルム液晶ディスプレイ（ＬＣＤ）の製造方法を工程
順に示す断面図である。先ず、図２（ａ）に示すよう
に、ＩＴＯ（インジウム・スズ酸化物）膜付きポリマー
フィルムのＩＴＯ膜をエッチングすることにより、ポリ
マーフィルム基板１上にＩＴＯからなる透明電極膜２が
パターン形成された基板を得る。
【０００３】次に、図２（ｂ）に示すように、基板上に
ポリアミド膜を塗布し、このポリアミド膜に溝を付ける
ラビング処理することにより、基板上に配向膜３を形成
する。この配向膜３は液晶を配向させるためのものであ
る。
ポリアミド膜を塗布し、このポリアミド膜に溝を付ける
ラビング処理することにより、基板上に配向膜３を形成
する。この配向膜３は液晶を配向させるためのものであ
る。
【０００４】その後、図２（ｃ）に示すように、基板上
にスペーサ４を散布し、次いで、図２（ｄ）に示すよう
に、基板の縁部にシール剤５を塗布する。また、この透
明電極膜２がパターン形成された基板とは別に、ポリマ
ーフィルム基板６上にＩＴＯからなる透明電極７が形成
され、更に透明電極７上に配向膜８が形成された基板を
用意する。そして、基板１上に基板６をスペーサ４及び
シール剤５上に配向膜８が接触するようにして重ね合わ
せる。これにより、両基板１、６がスペーサ４及びシー
ル剤５を中間に挟んで貼り合わされる。
にスペーサ４を散布し、次いで、図２（ｄ）に示すよう
に、基板の縁部にシール剤５を塗布する。また、この透
明電極膜２がパターン形成された基板とは別に、ポリマ
ーフィルム基板６上にＩＴＯからなる透明電極７が形成
され、更に透明電極７上に配向膜８が形成された基板を
用意する。そして、基板１上に基板６をスペーサ４及び
シール剤５上に配向膜８が接触するようにして重ね合わ
せる。これにより、両基板１、６がスペーサ４及びシー
ル剤５を中間に挟んで貼り合わされる。
【０００５】その後、図２（ｅ）に示すように、スペー
サ４により配向膜３、８間に形成された間隙に、シール
剤５を介して、液晶９を注入する。
サ４により配向膜３、８間に形成された間隙に、シール
剤５を介して、液晶９を注入する。
【０００６】次いで、図２（ｆ）に示すように、基板
１、６の外面に夫々偏光板１０、１１を貼付する。これ
により、ポリマーフィルム液晶ディスプレイが製造され
る。なお、偏光板１１の外面に更に光反射板が貼付され
ることもある。
１、６の外面に夫々偏光板１０、１１を貼付する。これ
により、ポリマーフィルム液晶ディスプレイが製造され
る。なお、偏光板１１の外面に更に光反射板が貼付され
ることもある。
【０００７】図３はＩＴＯ透明電極膜の近傍の構造を示
す拡大断面図、図４は同じくその平面図である。ポリマ
ーフィルム基板１上には、Ａｇ、Ｃｒ又はＮｉ等の金属
薄膜１２をスパッタにより形成した後、これをパターニ
ングすることにより配線が形成されている。そして、こ
の配線用金属薄膜１２の接続部１３上に重なるようにし
て、ＩＴＯからなる透明電極膜２が基板１上にパターン
形成されている。なお、金属薄膜１２と透明電極２とは
メタライズされている。この配線用金属薄膜１２を介し
て透明電極膜２に選択的に電圧が印加される。
す拡大断面図、図４は同じくその平面図である。ポリマ
ーフィルム基板１上には、Ａｇ、Ｃｒ又はＮｉ等の金属
薄膜１２をスパッタにより形成した後、これをパターニ
ングすることにより配線が形成されている。そして、こ
の配線用金属薄膜１２の接続部１３上に重なるようにし
て、ＩＴＯからなる透明電極膜２が基板１上にパターン
形成されている。なお、金属薄膜１２と透明電極２とは
メタライズされている。この配線用金属薄膜１２を介し
て透明電極膜２に選択的に電圧が印加される。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、ＩＴＯ
からなる透明電極膜２と、Ａｇ、Ｃｒ又はＮｉ等の金属
膜１２との親和性が低く、従来のポリマーフィルム液晶
ディスプレイは、ＩＴＯ透明電極膜２が剥離しやすいと
いう欠点がある。
からなる透明電極膜２と、Ａｇ、Ｃｒ又はＮｉ等の金属
膜１２との親和性が低く、従来のポリマーフィルム液晶
ディスプレイは、ＩＴＯ透明電極膜２が剥離しやすいと
いう欠点がある。
【０００９】本発明はかかる問題点に鑑みてなされたも
のであって、透明電極膜の密着性を向上させることがで
きるポリマーフィルム液晶ディスプレイ及びその製造方
法をを提供することを目的とする。
のであって、透明電極膜の密着性を向上させることがで
きるポリマーフィルム液晶ディスプレイ及びその製造方
法をを提供することを目的とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】本発明に係るポリマーフ
ィルム液晶ディスプレイは、ポリマーフィルム基板と、
このポリマーフィルム基板上にパターン形成された配線
用金属膜と、前記配線用金属膜の接続部上に局部的に形
成されたチタン膜と、前記基板上及びチタン膜上にパタ
ーン形成されたインジウム・スズ酸化物からなる透明電
極膜とを有することを特徴とする。
ィルム液晶ディスプレイは、ポリマーフィルム基板と、
このポリマーフィルム基板上にパターン形成された配線
用金属膜と、前記配線用金属膜の接続部上に局部的に形
成されたチタン膜と、前記基板上及びチタン膜上にパタ
ーン形成されたインジウム・スズ酸化物からなる透明電
極膜とを有することを特徴とする。
【００１１】本発明に係るポリマーフィルム液晶ディス
プレイの製造方法は、ポリマーフィルム基板上に配線用
金属膜をパターン形成する工程と、この配線用金属膜の
接続部上にチタン膜を局部的に形成する工程と、前記基
板上及びチタン膜上にインジウム・スズ酸化物からなる
透明電極膜をパターン形成する工程とを有することを特
徴とする。
プレイの製造方法は、ポリマーフィルム基板上に配線用
金属膜をパターン形成する工程と、この配線用金属膜の
接続部上にチタン膜を局部的に形成する工程と、前記基
板上及びチタン膜上にインジウム・スズ酸化物からなる
透明電極膜をパターン形成する工程とを有することを特
徴とする。
【００１２】本発明においては、ＩＴＯ（インジウム・
スズ酸化物）からなる透明電極と、Ｃｒ又はＮｉ等の配
線用金属膜との間に、Ｔｉ膜を形成する。このＴｉ膜
は、ＩＴＯとの親和性が優れており、更に、金属膜とは
同種材料であるため、親和性が高い。このため、ＩＴＯ
と基板との間の密着性が向上する。
スズ酸化物）からなる透明電極と、Ｃｒ又はＮｉ等の配
線用金属膜との間に、Ｔｉ膜を形成する。このＴｉ膜
は、ＩＴＯとの親和性が優れており、更に、金属膜とは
同種材料であるため、親和性が高い。このため、ＩＴＯ
と基板との間の密着性が向上する。
【００１３】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施例について、
添付の図面を参照して具体的に説明する。図１は本発明
の実施例に係るポリマーフィルム液晶ディスプレイを示
す断面図である。ポリマーフィルム基板１上にＣｒ又は
Ｎｉ等の金属からなる配線用金属膜１２がパターン形成
されており、この配線用金属膜１２の接続部１３上に、
Ｔｉ膜１４が局部的に形成されている。このＴｉ膜１４
の厚さは例えば３００Åである。そして、ＩＴＯからな
る透明電極膜２がその一部をＴｉ膜１４上に重ねて基板
１上にパターン形成されている。従って、このＩＴＯ透
明電極膜２はＴｉ膜１４を介して配線用金属膜１２の接
続部に接続されている。配向膜、シール剤、スペーサ及
び液晶等のその他の構成は従来のポリマーフィルム液晶
ディスプレイと同様であるので、その詳細な説明は省略
する。
添付の図面を参照して具体的に説明する。図１は本発明
の実施例に係るポリマーフィルム液晶ディスプレイを示
す断面図である。ポリマーフィルム基板１上にＣｒ又は
Ｎｉ等の金属からなる配線用金属膜１２がパターン形成
されており、この配線用金属膜１２の接続部１３上に、
Ｔｉ膜１４が局部的に形成されている。このＴｉ膜１４
の厚さは例えば３００Åである。そして、ＩＴＯからな
る透明電極膜２がその一部をＴｉ膜１４上に重ねて基板
１上にパターン形成されている。従って、このＩＴＯ透
明電極膜２はＴｉ膜１４を介して配線用金属膜１２の接
続部に接続されている。配向膜、シール剤、スペーサ及
び液晶等のその他の構成は従来のポリマーフィルム液晶
ディスプレイと同様であるので、その詳細な説明は省略
する。
【００１４】このように構成された本実施例のポリマー
フィルム液晶ディスプレイにおいては、ＩＴＯ透明電極
膜２とＴｉ膜１４との間の親和性が優れており、また、
Ｔｉ膜１４と金属薄膜１２（接続部１３）との間の密着
性は金属同士であるので優れている。このため、ＩＴＯ
透明電極膜２は基板１に対して高強度で密着しており、
その剥離を防止することができる。
フィルム液晶ディスプレイにおいては、ＩＴＯ透明電極
膜２とＴｉ膜１４との間の親和性が優れており、また、
Ｔｉ膜１４と金属薄膜１２（接続部１３）との間の密着
性は金属同士であるので優れている。このため、ＩＴＯ
透明電極膜２は基板１に対して高強度で密着しており、
その剥離を防止することができる。
【００１５】なお、Ｔｉ膜１４の厚さは、２００乃至４
０００Åであることが好ましい。Ｔｉ膜１４の厚さが２
００Å未満であると、Ｔｉ層とＣｒ層との密着性が低く
なる場合があり、４０００Åを超えると、フィルムに反
りが発生したり、回路パターンにクラックが入る場合が
ある。
０００Åであることが好ましい。Ｔｉ膜１４の厚さが２
００Å未満であると、Ｔｉ層とＣｒ層との密着性が低く
なる場合があり、４０００Åを超えると、フィルムに反
りが発生したり、回路パターンにクラックが入る場合が
ある。
【００１６】また、本実施例のポリマーフィルム液晶デ
ィスプレイの製造方法は、図２に示す従来の製造方法に
おいて、配線用金属膜をパターン形成した後、その接続
部上にのみＴｉ膜を形成する工程を付加すればよい。こ
のＴｉ膜を接続部上に局部的に形成する方法としては、
接続部上に孔を有するレジストを設け、Ｔｉ膜をスパッ
タリング等の方法により、全面に形成し、その後、前記
レジストを除去する等の方法がある。
ィスプレイの製造方法は、図２に示す従来の製造方法に
おいて、配線用金属膜をパターン形成した後、その接続
部上にのみＴｉ膜を形成する工程を付加すればよい。こ
のＴｉ膜を接続部上に局部的に形成する方法としては、
接続部上に孔を有するレジストを設け、Ｔｉ膜をスパッ
タリング等の方法により、全面に形成し、その後、前記
レジストを除去する等の方法がある。
【００１７】
【発明の効果】以上説明したように、本発明はＩＴＯ透
明電極膜と、配線用金属膜との間に、Ｔｉ膜を設けたか
ら、ＩＴＯ透明電極膜と基板との間の密着性が著しく向
上し、その剥離を防止することができる。
明電極膜と、配線用金属膜との間に、Ｔｉ膜を設けたか
ら、ＩＴＯ透明電極膜と基板との間の密着性が著しく向
上し、その剥離を防止することができる。
【図１】本発明の実施例に係るポリマーフィルム液晶デ
ィスプレイの透明電極の近傍の構造を拡大して示す断面
図である。
ィスプレイの透明電極の近傍の構造を拡大して示す断面
図である。
【図２】従来のポリマーフィルム液晶ディスプレイの製
造方法を工程順に示す断面図である。
造方法を工程順に示す断面図である。
【図３】従来のポリマーフィルム液晶ディスプレイの透
明電極の近傍の構造を拡大して示す断面図である。
明電極の近傍の構造を拡大して示す断面図である。
【図４】同じくその平面である。
１、６：ポリマーフィルム基板 ２、７：ＩＴＯ透明電極 ３、８：配向膜 ４：スペーサ ５：シール剤 ９：液晶 １０，１１：偏光板 １２：金属薄膜 １３：接続部 １４：Ｔｉ膜
Claims (2)
- 【請求項１】 ポリマーフィルム基板と、このポリマー
フィルム基板上にパターン形成された配線用金属膜と、
前記配線用金属膜の接続部上に局部的に形成されたチタ
ン膜と、前記基板上及びチタン膜上にパターン形成され
たインジウム・スズ酸化物からなる透明電極膜とを有す
ることを特徴とするポリマーフィルム液晶ディスプレ
イ。 - 【請求項２】 ポリマーフィルム基板上に配線用金属膜
をパターン形成する工程と、この配線用金属膜の接続部
上にチタン膜を局部的に形成する工程と、前記基板上及
びチタン膜上にインジウム・スズ酸化物からなる透明電
極膜をパターン形成する工程とを有することを特徴とす
るポリマーフィルム液晶ディスプレイの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33098396A JPH10170936A (ja) | 1996-12-11 | 1996-12-11 | ポリマーフィルム液晶ディスプレイ及びその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33098396A JPH10170936A (ja) | 1996-12-11 | 1996-12-11 | ポリマーフィルム液晶ディスプレイ及びその製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10170936A true JPH10170936A (ja) | 1998-06-26 |
Family
ID=18238532
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP33098396A Pending JPH10170936A (ja) | 1996-12-11 | 1996-12-11 | ポリマーフィルム液晶ディスプレイ及びその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH10170936A (ja) |
-
1996
- 1996-12-11 JP JP33098396A patent/JPH10170936A/ja active Pending
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