JPH10170936A - ポリマーフィルム液晶ディスプレイ及びその製造方法 - Google Patents
ポリマーフィルム液晶ディスプレイ及びその製造方法Info
- Publication number
- JPH10170936A JPH10170936A JP33098396A JP33098396A JPH10170936A JP H10170936 A JPH10170936 A JP H10170936A JP 33098396 A JP33098396 A JP 33098396A JP 33098396 A JP33098396 A JP 33098396A JP H10170936 A JPH10170936 A JP H10170936A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- film
- substrate
- polymer film
- liquid crystal
- crystal display
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Liquid Crystal (AREA)
- Devices For Indicating Variable Information By Combining Individual Elements (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 透明電極膜の密着性を向上させることができ
るポリマーフィルム液晶ディスプレイ及びその製造方法
をを提供する。 【解決手段】 ポリマーフィルム液晶ディスプレイは、
ポリマーフィルム基板1と、このポリマーフィルム基板
1上にパターン形成された配線用金属膜12と、配線用
金属膜12の接続部13上に局部的に形成されたチタン
膜14と、基板1上及びチタン膜14上にパターン形成
されたインジウム・スズ酸化物からなる透明電極膜2と
を有する。
るポリマーフィルム液晶ディスプレイ及びその製造方法
をを提供する。 【解決手段】 ポリマーフィルム液晶ディスプレイは、
ポリマーフィルム基板1と、このポリマーフィルム基板
1上にパターン形成された配線用金属膜12と、配線用
金属膜12の接続部13上に局部的に形成されたチタン
膜14と、基板1上及びチタン膜14上にパターン形成
されたインジウム・スズ酸化物からなる透明電極膜2と
を有する。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は透明電極の密着性を
改善したポリマーフィルム液晶ディスプレイ及びその製
造方法に関する。
改善したポリマーフィルム液晶ディスプレイ及びその製
造方法に関する。
【0002】
【従来の技術】図2(a)乃至(f)は従来のポリマー
フィルム液晶ディスプレイ(LCD)の製造方法を工程
順に示す断面図である。先ず、図2(a)に示すよう
に、ITO(インジウム・スズ酸化物)膜付きポリマー
フィルムのITO膜をエッチングすることにより、ポリ
マーフィルム基板1上にITOからなる透明電極膜2が
パターン形成された基板を得る。
フィルム液晶ディスプレイ(LCD)の製造方法を工程
順に示す断面図である。先ず、図2(a)に示すよう
に、ITO(インジウム・スズ酸化物)膜付きポリマー
フィルムのITO膜をエッチングすることにより、ポリ
マーフィルム基板1上にITOからなる透明電極膜2が
パターン形成された基板を得る。
【0003】次に、図2(b)に示すように、基板上に
ポリアミド膜を塗布し、このポリアミド膜に溝を付ける
ラビング処理することにより、基板上に配向膜3を形成
する。この配向膜3は液晶を配向させるためのものであ
る。
ポリアミド膜を塗布し、このポリアミド膜に溝を付ける
ラビング処理することにより、基板上に配向膜3を形成
する。この配向膜3は液晶を配向させるためのものであ
る。
【0004】その後、図2(c)に示すように、基板上
にスペーサ4を散布し、次いで、図2(d)に示すよう
に、基板の縁部にシール剤5を塗布する。また、この透
明電極膜2がパターン形成された基板とは別に、ポリマ
ーフィルム基板6上にITOからなる透明電極7が形成
され、更に透明電極7上に配向膜8が形成された基板を
用意する。そして、基板1上に基板6をスペーサ4及び
シール剤5上に配向膜8が接触するようにして重ね合わ
せる。これにより、両基板1、6がスペーサ4及びシー
ル剤5を中間に挟んで貼り合わされる。
にスペーサ4を散布し、次いで、図2(d)に示すよう
に、基板の縁部にシール剤5を塗布する。また、この透
明電極膜2がパターン形成された基板とは別に、ポリマ
ーフィルム基板6上にITOからなる透明電極7が形成
され、更に透明電極7上に配向膜8が形成された基板を
用意する。そして、基板1上に基板6をスペーサ4及び
シール剤5上に配向膜8が接触するようにして重ね合わ
せる。これにより、両基板1、6がスペーサ4及びシー
ル剤5を中間に挟んで貼り合わされる。
【0005】その後、図2(e)に示すように、スペー
サ4により配向膜3、8間に形成された間隙に、シール
剤5を介して、液晶9を注入する。
サ4により配向膜3、8間に形成された間隙に、シール
剤5を介して、液晶9を注入する。
【0006】次いで、図2(f)に示すように、基板
1、6の外面に夫々偏光板10、11を貼付する。これ
により、ポリマーフィルム液晶ディスプレイが製造され
る。なお、偏光板11の外面に更に光反射板が貼付され
ることもある。
1、6の外面に夫々偏光板10、11を貼付する。これ
により、ポリマーフィルム液晶ディスプレイが製造され
る。なお、偏光板11の外面に更に光反射板が貼付され
ることもある。
【0007】図3はITO透明電極膜の近傍の構造を示
す拡大断面図、図4は同じくその平面図である。ポリマ
ーフィルム基板1上には、Ag、Cr又はNi等の金属
薄膜12をスパッタにより形成した後、これをパターニ
ングすることにより配線が形成されている。そして、こ
の配線用金属薄膜12の接続部13上に重なるようにし
て、ITOからなる透明電極膜2が基板1上にパターン
形成されている。なお、金属薄膜12と透明電極2とは
メタライズされている。この配線用金属薄膜12を介し
て透明電極膜2に選択的に電圧が印加される。
す拡大断面図、図4は同じくその平面図である。ポリマ
ーフィルム基板1上には、Ag、Cr又はNi等の金属
薄膜12をスパッタにより形成した後、これをパターニ
ングすることにより配線が形成されている。そして、こ
の配線用金属薄膜12の接続部13上に重なるようにし
て、ITOからなる透明電極膜2が基板1上にパターン
形成されている。なお、金属薄膜12と透明電極2とは
メタライズされている。この配線用金属薄膜12を介し
て透明電極膜2に選択的に電圧が印加される。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、ITO
からなる透明電極膜2と、Ag、Cr又はNi等の金属
膜12との親和性が低く、従来のポリマーフィルム液晶
ディスプレイは、ITO透明電極膜2が剥離しやすいと
いう欠点がある。
からなる透明電極膜2と、Ag、Cr又はNi等の金属
膜12との親和性が低く、従来のポリマーフィルム液晶
ディスプレイは、ITO透明電極膜2が剥離しやすいと
いう欠点がある。
【0009】本発明はかかる問題点に鑑みてなされたも
のであって、透明電極膜の密着性を向上させることがで
きるポリマーフィルム液晶ディスプレイ及びその製造方
法をを提供することを目的とする。
のであって、透明電極膜の密着性を向上させることがで
きるポリマーフィルム液晶ディスプレイ及びその製造方
法をを提供することを目的とする。
【0010】
【課題を解決するための手段】本発明に係るポリマーフ
ィルム液晶ディスプレイは、ポリマーフィルム基板と、
このポリマーフィルム基板上にパターン形成された配線
用金属膜と、前記配線用金属膜の接続部上に局部的に形
成されたチタン膜と、前記基板上及びチタン膜上にパタ
ーン形成されたインジウム・スズ酸化物からなる透明電
極膜とを有することを特徴とする。
ィルム液晶ディスプレイは、ポリマーフィルム基板と、
このポリマーフィルム基板上にパターン形成された配線
用金属膜と、前記配線用金属膜の接続部上に局部的に形
成されたチタン膜と、前記基板上及びチタン膜上にパタ
ーン形成されたインジウム・スズ酸化物からなる透明電
極膜とを有することを特徴とする。
【0011】本発明に係るポリマーフィルム液晶ディス
プレイの製造方法は、ポリマーフィルム基板上に配線用
金属膜をパターン形成する工程と、この配線用金属膜の
接続部上にチタン膜を局部的に形成する工程と、前記基
板上及びチタン膜上にインジウム・スズ酸化物からなる
透明電極膜をパターン形成する工程とを有することを特
徴とする。
プレイの製造方法は、ポリマーフィルム基板上に配線用
金属膜をパターン形成する工程と、この配線用金属膜の
接続部上にチタン膜を局部的に形成する工程と、前記基
板上及びチタン膜上にインジウム・スズ酸化物からなる
透明電極膜をパターン形成する工程とを有することを特
徴とする。
【0012】本発明においては、ITO(インジウム・
スズ酸化物)からなる透明電極と、Cr又はNi等の配
線用金属膜との間に、Ti膜を形成する。このTi膜
は、ITOとの親和性が優れており、更に、金属膜とは
同種材料であるため、親和性が高い。このため、ITO
と基板との間の密着性が向上する。
スズ酸化物)からなる透明電極と、Cr又はNi等の配
線用金属膜との間に、Ti膜を形成する。このTi膜
は、ITOとの親和性が優れており、更に、金属膜とは
同種材料であるため、親和性が高い。このため、ITO
と基板との間の密着性が向上する。
【0013】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施例について、
添付の図面を参照して具体的に説明する。図1は本発明
の実施例に係るポリマーフィルム液晶ディスプレイを示
す断面図である。ポリマーフィルム基板1上にCr又は
Ni等の金属からなる配線用金属膜12がパターン形成
されており、この配線用金属膜12の接続部13上に、
Ti膜14が局部的に形成されている。このTi膜14
の厚さは例えば300Åである。そして、ITOからな
る透明電極膜2がその一部をTi膜14上に重ねて基板
1上にパターン形成されている。従って、このITO透
明電極膜2はTi膜14を介して配線用金属膜12の接
続部に接続されている。配向膜、シール剤、スペーサ及
び液晶等のその他の構成は従来のポリマーフィルム液晶
ディスプレイと同様であるので、その詳細な説明は省略
する。
添付の図面を参照して具体的に説明する。図1は本発明
の実施例に係るポリマーフィルム液晶ディスプレイを示
す断面図である。ポリマーフィルム基板1上にCr又は
Ni等の金属からなる配線用金属膜12がパターン形成
されており、この配線用金属膜12の接続部13上に、
Ti膜14が局部的に形成されている。このTi膜14
の厚さは例えば300Åである。そして、ITOからな
る透明電極膜2がその一部をTi膜14上に重ねて基板
1上にパターン形成されている。従って、このITO透
明電極膜2はTi膜14を介して配線用金属膜12の接
続部に接続されている。配向膜、シール剤、スペーサ及
び液晶等のその他の構成は従来のポリマーフィルム液晶
ディスプレイと同様であるので、その詳細な説明は省略
する。
【0014】このように構成された本実施例のポリマー
フィルム液晶ディスプレイにおいては、ITO透明電極
膜2とTi膜14との間の親和性が優れており、また、
Ti膜14と金属薄膜12(接続部13)との間の密着
性は金属同士であるので優れている。このため、ITO
透明電極膜2は基板1に対して高強度で密着しており、
その剥離を防止することができる。
フィルム液晶ディスプレイにおいては、ITO透明電極
膜2とTi膜14との間の親和性が優れており、また、
Ti膜14と金属薄膜12(接続部13)との間の密着
性は金属同士であるので優れている。このため、ITO
透明電極膜2は基板1に対して高強度で密着しており、
その剥離を防止することができる。
【0015】なお、Ti膜14の厚さは、200乃至4
000Åであることが好ましい。Ti膜14の厚さが2
00Å未満であると、Ti層とCr層との密着性が低く
なる場合があり、4000Åを超えると、フィルムに反
りが発生したり、回路パターンにクラックが入る場合が
ある。
000Åであることが好ましい。Ti膜14の厚さが2
00Å未満であると、Ti層とCr層との密着性が低く
なる場合があり、4000Åを超えると、フィルムに反
りが発生したり、回路パターンにクラックが入る場合が
ある。
【0016】また、本実施例のポリマーフィルム液晶デ
ィスプレイの製造方法は、図2に示す従来の製造方法に
おいて、配線用金属膜をパターン形成した後、その接続
部上にのみTi膜を形成する工程を付加すればよい。こ
のTi膜を接続部上に局部的に形成する方法としては、
接続部上に孔を有するレジストを設け、Ti膜をスパッ
タリング等の方法により、全面に形成し、その後、前記
レジストを除去する等の方法がある。
ィスプレイの製造方法は、図2に示す従来の製造方法に
おいて、配線用金属膜をパターン形成した後、その接続
部上にのみTi膜を形成する工程を付加すればよい。こ
のTi膜を接続部上に局部的に形成する方法としては、
接続部上に孔を有するレジストを設け、Ti膜をスパッ
タリング等の方法により、全面に形成し、その後、前記
レジストを除去する等の方法がある。
【0017】
【発明の効果】以上説明したように、本発明はITO透
明電極膜と、配線用金属膜との間に、Ti膜を設けたか
ら、ITO透明電極膜と基板との間の密着性が著しく向
上し、その剥離を防止することができる。
明電極膜と、配線用金属膜との間に、Ti膜を設けたか
ら、ITO透明電極膜と基板との間の密着性が著しく向
上し、その剥離を防止することができる。
【図1】本発明の実施例に係るポリマーフィルム液晶デ
ィスプレイの透明電極の近傍の構造を拡大して示す断面
図である。
ィスプレイの透明電極の近傍の構造を拡大して示す断面
図である。
【図2】従来のポリマーフィルム液晶ディスプレイの製
造方法を工程順に示す断面図である。
造方法を工程順に示す断面図である。
【図3】従来のポリマーフィルム液晶ディスプレイの透
明電極の近傍の構造を拡大して示す断面図である。
明電極の近傍の構造を拡大して示す断面図である。
【図4】同じくその平面である。
1、6:ポリマーフィルム基板 2、7:ITO透明電極 3、8:配向膜 4:スペーサ 5:シール剤 9:液晶 10,11:偏光板 12:金属薄膜 13:接続部 14:Ti膜
Claims (2)
- 【請求項1】 ポリマーフィルム基板と、このポリマー
フィルム基板上にパターン形成された配線用金属膜と、
前記配線用金属膜の接続部上に局部的に形成されたチタ
ン膜と、前記基板上及びチタン膜上にパターン形成され
たインジウム・スズ酸化物からなる透明電極膜とを有す
ることを特徴とするポリマーフィルム液晶ディスプレ
イ。 - 【請求項2】 ポリマーフィルム基板上に配線用金属膜
をパターン形成する工程と、この配線用金属膜の接続部
上にチタン膜を局部的に形成する工程と、前記基板上及
びチタン膜上にインジウム・スズ酸化物からなる透明電
極膜をパターン形成する工程とを有することを特徴とす
るポリマーフィルム液晶ディスプレイの製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP33098396A JPH10170936A (ja) | 1996-12-11 | 1996-12-11 | ポリマーフィルム液晶ディスプレイ及びその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP33098396A JPH10170936A (ja) | 1996-12-11 | 1996-12-11 | ポリマーフィルム液晶ディスプレイ及びその製造方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH10170936A true JPH10170936A (ja) | 1998-06-26 |
Family
ID=18238532
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP33098396A Pending JPH10170936A (ja) | 1996-12-11 | 1996-12-11 | ポリマーフィルム液晶ディスプレイ及びその製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH10170936A (ja) |
-
1996
- 1996-12-11 JP JP33098396A patent/JPH10170936A/ja active Pending
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP3613294B2 (ja) | 液晶表示パネル | |
JP3317387B2 (ja) | アクティブマトリクス基板およびその製造方法 | |
JP2849008B2 (ja) | カラー液晶表示装置 | |
JPH11264970A (ja) | 液晶表示装置 | |
JP3445402B2 (ja) | 薄膜トランジスタとその製造方法およびアクティブマトリックス基板とその製造方法 | |
JPH10170936A (ja) | ポリマーフィルム液晶ディスプレイ及びその製造方法 | |
JPH0230024A (ja) | 透明タッチパネル | |
JPH0862591A (ja) | フィルム液晶パネルとその製造に使用するベース基板とアクティブマトリックス基板およびフィルム液晶パネルの製造方法 | |
JPH02281237A (ja) | 表示装置の電極構造 | |
JPH1096948A (ja) | 液晶表示装置 | |
JP3111658B2 (ja) | 電極基板の製造方法及び液晶装置の製造方法 | |
JP2003121860A (ja) | 液晶表示パネル | |
JP3284175B2 (ja) | 液晶表示装置の製造方法 | |
JPH08271869A (ja) | 液晶表示パネルの製造方法 | |
JP2003186020A (ja) | 液晶表示装置及びその製造方法 | |
JPH06342139A (ja) | 液晶表示体の製造方法 | |
JPH0468314A (ja) | 液晶表示素子 | |
KR0154809B1 (ko) | 액정 표시 장치 및 그 제조 방법 | |
JPH07209663A (ja) | 液晶パネル及び表示装置製造方法 | |
JP2002350800A (ja) | 液晶パネルの製造方法 | |
JPH10186389A (ja) | 配線基板、配線基板の製造方法及び該配線基板を用いた液晶素子 | |
JP2834933B2 (ja) | 液晶表示素子の製造方法 | |
JPS63314521A (ja) | 液晶カラ−表示装置 | |
JPH08201831A (ja) | 液晶表示素子の製造方法 | |
JP2002108246A (ja) | 樹脂基板を有する電子装置の製造方法および樹脂基板を有する液晶表示装置の製造方法 |