JPH10291321A - インクジェットヘッドの製造方法 - Google Patents
インクジェットヘッドの製造方法Info
- Publication number
- JPH10291321A JPH10291321A JP10425297A JP10425297A JPH10291321A JP H10291321 A JPH10291321 A JP H10291321A JP 10425297 A JP10425297 A JP 10425297A JP 10425297 A JP10425297 A JP 10425297A JP H10291321 A JPH10291321 A JP H10291321A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ink
- passage
- chamber
- diaphragm
- bond
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】複数あるチャンネル間の特性を一定にし、生産
性の良いインクジェットヘッドの製法を提供する。 【解決手段】インクチャンバの隔壁を構成する部材を金
属で構成することにより、金属同士の分子間結合力によ
る接合、いわゆる金属拡散接合が可能になる。
性の良いインクジェットヘッドの製法を提供する。 【解決手段】インクチャンバの隔壁を構成する部材を金
属で構成することにより、金属同士の分子間結合力によ
る接合、いわゆる金属拡散接合が可能になる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明はインクジェットヘッ
ドの製造方法に関する。
ドの製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来のインクジェットヘッドは、隔壁を
接合するために例えばエポキシ系の接着剤を用いて接合
を行っていたため、接着剤の塗布量の管理が必要であ
り、量が多すぎた場合にはインクの流路を狭めたり、塞
いだりする弊害があった。特に一つのインクジェットヘ
ッドで多数のオリフィスを有するものの場合は、何処か
一箇所のオリフィスで、所要の性能が得られないため
に、インクジェットヘッドとしては、不良になってしま
うという不具合があった。また、金属拡散接合時接合部
材の厚みが異なると熱膨張の違いにより、常温に戻した
時厚みの薄い部材の非接合面に皺が発生するという不具
合があった。
接合するために例えばエポキシ系の接着剤を用いて接合
を行っていたため、接着剤の塗布量の管理が必要であ
り、量が多すぎた場合にはインクの流路を狭めたり、塞
いだりする弊害があった。特に一つのインクジェットヘ
ッドで多数のオリフィスを有するものの場合は、何処か
一箇所のオリフィスで、所要の性能が得られないため
に、インクジェットヘッドとしては、不良になってしま
うという不具合があった。また、金属拡散接合時接合部
材の厚みが異なると熱膨張の違いにより、常温に戻した
時厚みの薄い部材の非接合面に皺が発生するという不具
合があった。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、接着
剤等の接合手段を用いずに、インクチャンバの隔壁を接
合し、目的とする流路寸法を確保することにより、複数
あるチャンネル間の特性を一定にし、生産性の良いイン
クジェットヘッドの製法を提供することにある。
剤等の接合手段を用いずに、インクチャンバの隔壁を接
合し、目的とする流路寸法を確保することにより、複数
あるチャンネル間の特性を一定にし、生産性の良いイン
クジェットヘッドの製法を提供することにある。
【０００４】
【課題を解決するための手段】インクチャンバの隔壁を
構成する部材を金属で構成することにより、金属同士の
分子間結合力による接合、所謂金属拡散接合が可能にな
る。
構成する部材を金属で構成することにより、金属同士の
分子間結合力による接合、所謂金属拡散接合が可能にな
る。
【０００５】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施例を図１を参
照して説明する。
照して説明する。
【０００６】図１は本発明になるインクジェットヘッド
の断面図である。図示していないインク供給タンクから
押さえ板４に設けられた共通インク室１０にインクが供
給され、インクとヘッドの水頭差と毛細管現象によりイ
ンクはプレート５とチャンバプレート７の流路９を通っ
てダイヤフラム６，チャンバプレート７及びオリフィス
プレート１２で構成される加圧室１１に充填される。ダ
イヤフラム６にはフット３を介し、スペーサ１９で保持
する基板１に取り付けられた電歪素子２に接続してお
り、図示はしていない駆動回路により、電気信号が電歪
素子２に加えられることにより、機械的な変位が電歪素
子２に生じ、剛体であるフット３を介しダイヤフラム６
を変形させる。加圧室１１の変形はその体積を縮小する
方向に生じ、オリフィスプレート１２に設けられたオリ
フィス８よりインク滴が噴出する。図１は良く知られて
いるオン・デマンド型のインクジェットヘッドである。
の断面図である。図示していないインク供給タンクから
押さえ板４に設けられた共通インク室１０にインクが供
給され、インクとヘッドの水頭差と毛細管現象によりイ
ンクはプレート５とチャンバプレート７の流路９を通っ
てダイヤフラム６，チャンバプレート７及びオリフィス
プレート１２で構成される加圧室１１に充填される。ダ
イヤフラム６にはフット３を介し、スペーサ１９で保持
する基板１に取り付けられた電歪素子２に接続してお
り、図示はしていない駆動回路により、電気信号が電歪
素子２に加えられることにより、機械的な変位が電歪素
子２に生じ、剛体であるフット３を介しダイヤフラム６
を変形させる。加圧室１１の変形はその体積を縮小する
方向に生じ、オリフィスプレート１２に設けられたオリ
フィス８よりインク滴が噴出する。図１は良く知られて
いるオン・デマンド型のインクジェットヘッドである。
【０００７】図２は図１で説明したオン・デマンドヘッ
ドの各部品の平面図である。オリフィスプレート１２に
はオリフィス８が所望の数だけ設けられている。チャン
バプレート７には加圧室１１を構成するための貫通孔１
３及びインク供給の流路９を形成するための流路溝１４
が掘りこまれている。ダイヤフラム６には流路９を構成
するための流路孔１５が開けられている。また、ダイヤ
フラム６は図４に示すように、接合部と電歪素子２によ
り変形させられる部位とでは厚みを異なって作られてお
り、一例として接合部は０.１mm，変形部は０.０１mmと
して熱膨張，収縮時に変形部に皺を発生させないように
している。プレート５にはフット３及び電歪素子２が入
るための貫通孔１６及び流路９を形成するための流路溝
１７が掘りこまれている。押さえ板４には共通インク室
１０となる共通インク室溝１８が掘りこまれている。
ドの各部品の平面図である。オリフィスプレート１２に
はオリフィス８が所望の数だけ設けられている。チャン
バプレート７には加圧室１１を構成するための貫通孔１
３及びインク供給の流路９を形成するための流路溝１４
が掘りこまれている。ダイヤフラム６には流路９を構成
するための流路孔１５が開けられている。また、ダイヤ
フラム６は図４に示すように、接合部と電歪素子２によ
り変形させられる部位とでは厚みを異なって作られてお
り、一例として接合部は０.１mm，変形部は０.０１mmと
して熱膨張，収縮時に変形部に皺を発生させないように
している。プレート５にはフット３及び電歪素子２が入
るための貫通孔１６及び流路９を形成するための流路溝
１７が掘りこまれている。押さえ板４には共通インク室
１０となる共通インク室溝１８が掘りこまれている。
【０００８】これらのヘッド構成部品の表面に付着して
いる油脂等を取り除くために洗浄をした後、図３に示す
ように配置し、金属拡散接合のための真空炉にいれる。
炉内を高温、高圧の状態にすることにより各部品の接続
部は合金状態となり、確実な接合が出来る。この時、接
合のために接着剤等を用いる必要はなく、微細な加工を
施した、流路９を予定外に塞いでしまう事はない。
いる油脂等を取り除くために洗浄をした後、図３に示す
ように配置し、金属拡散接合のための真空炉にいれる。
炉内を高温、高圧の状態にすることにより各部品の接続
部は合金状態となり、確実な接合が出来る。この時、接
合のために接着剤等を用いる必要はなく、微細な加工を
施した、流路９を予定外に塞いでしまう事はない。
【０００９】
【発明の効果】本発明によれば、接着剤等の接合手段を
用いずに、チャンネル間特性の揃ったインクジェットヘ
ッドの製作をすることができる。
用いずに、チャンネル間特性の揃ったインクジェットヘ
ッドの製作をすることができる。
【図１】本発明のインクジェットヘッドの断面図。
【図２】本発明のインクジェットヘッドの説明図。
【図３】本発明のインクジェットヘッドの配置図。
【図４】ダイヤフラムの断面図。
１…基板、２…電歪素子、３…フット、４…押さえ板、
５…プレート、６…ダイヤフラム、７…チャンバプレー
ト、８…オリフィス、９…流路、１０…共通インク室、
１１…加圧室、１２…オリフィスプレート、１９…スペ
ーサ。
５…プレート、６…ダイヤフラム、７…チャンバプレー
ト、８…オリフィス、９…流路、１０…共通インク室、
１１…加圧室、１２…オリフィスプレート、１９…スペ
ーサ。
Claims (1)
- 【請求項１】複数のオリフィス部を有するオリフィスプ
レートと上記オリフィス部に対応する数のインクチャン
バを有するチャンバプレートとインク流路を構成するプ
レートとインクチャンバ内に保持されたインクに圧力を
加えるためのダイヤフラムプレートからなるインクジェ
ットヘッドにおいて、ダイヤフラムプレートの接合面を
増厚し金属拡散接合によりヘッドの構成部材を接合した
ことを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10425297A JPH10291321A (ja) | 1997-04-22 | 1997-04-22 | インクジェットヘッドの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10425297A JPH10291321A (ja) | 1997-04-22 | 1997-04-22 | インクジェットヘッドの製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10291321A true JPH10291321A (ja) | 1998-11-04 |
Family
ID=14375750
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10425297A Pending JPH10291321A (ja) | 1997-04-22 | 1997-04-22 | インクジェットヘッドの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH10291321A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100561355B1 (ko) * | 1999-11-04 | 2006-03-16 | 삼성전자주식회사 | 잉크분사장치의 노즐부 제작방법 및 잉크분사장치 |
-
1997
- 1997-04-22 JP JP10425297A patent/JPH10291321A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100561355B1 (ko) * | 1999-11-04 | 2006-03-16 | 삼성전자주식회사 | 잉크분사장치의 노즐부 제작방법 및 잉크분사장치 |
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