JP2531653Y2 - 露光装置のベース板装置 - Google Patents

露光装置のベース板装置

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JP2531653Y2
JP2531653Y2 JP12887690U JP12887690U JP2531653Y2 JP 2531653 Y2 JP2531653 Y2 JP 2531653Y2 JP 12887690 U JP12887690 U JP 12887690U JP 12887690 U JP12887690 U JP 12887690U JP 2531653 Y2 JP2531653 Y2 JP 2531653Y2
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mask film
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transparent plate
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circumferential
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Orc Manufacturing Co Ltd
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【考案の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本考案は、プリント基板等の写真製版に使用される露
光装置の、マスクフィルムを位置出しして固定保持する
ベース板装置に関するものである。
〔従来の技術〕
プリント基板等の写真製版に使用される露光装置の
内、単一のパターンを多数の生フィルムに次々と焼付け
る場合には、マスクフィルムを露光台としてのベース板
装置の表面に位置出しした状態で取付け固定し、このベ
ース板装置表面に固定されたマスクフィルムに一枚づつ
生フィルムを重ねて焼付けを行っている。
この焼付けに際して、マスクフィルムおよび生フィル
ムは、ベース板装置に対して正確に位置出しされた状態
で取付け固定されている必要があるが、一回の焼付け操
作の度にベース板装置から取り外される各生フィルム
は、そのベース板装置への位置出しした状態での取付け
を、その取付けの度に位置出しすれば良いのに対して、
マスクフィルムは、予定された枚数の生フィルムの焼付
けが終了するまで、ベース板装置の表面に正確に位置出
しされた状態で不動に保持される必要がある。
そこで、ベース板装置表面に対するマスクフィルムの
正確に位置出しされた状態の保持は、例えば実開平2−
108329号公報における第7図に示されているように、ベ
ース板装置の表面に位置出しされて取付けられたマスク
フィルムを、接着テープを用いて接着固定するとか、ベ
ース板装置表面の、位置出しされて取付けられたマスク
フィルムの周端縁部に対向する箇所に、バキューム装置
に接続された一つの周溝を刻設し、この周溝によりベー
ス板装置表面にマスクフィルムの周端縁部を吸着固定す
るとかの手段が採られていた。
〔考案が解決しようとする課題〕
しかしながら、接着テープを使用するベース板装置表
面に対するマスクフィルムの取付け固定手段は、接着テ
ープによるマスクフィルムの接着固定操作が手作業とな
って面倒であり、また接着テープにほこりとか塵等が付
着して、露光台としてのベース板装置の表面を汚して不
良露光の発生原因となる等の問題点があった。
また、周溝の吸着作用を利用してベース板装置表面に
マスクフィルムを不動に吸着保持する手段にあっては、
吸着力が強過ぎると柔らかいマスクフィルムが変形する
と云う不都合があるので、周溝からマスクフィルムに作
用する吸着力の強さに制限があり、このためベース板装
置表面へのマスクフィルムの不動な固定が不確実となる
と云う問題があった。
さらに、この周溝の吸着作用を利用したものにあって
は、一つの周溝による吸着作用だけによってマスクフィ
ルムの固定を達成しているので、この周溝にわずかなリ
ークが発生すると、このリークのために周溝による吸着
力は極端に弱くなり、ベース板装置表面へのマスクフィ
ルムの不動な保持と到底不可能となると云う問題があ
る。
そこで、本考案は、上記した従来技術における問題点
を解消すべく考案されたもので、マスクフィルムを変形
させることなしに、周溝が発揮する吸着力をマスクフィ
ルムの確実な不動保持を達成できる程度まで高めること
を技術的課題とし、もってベース板装置表面に対するマ
スクフィルムの不動な取付け保持を確実で安定したもの
とすることを目的とする。
〔課題を解決するための手段〕
上記技術的課題を解決する本考案の手段は、 平坦な表面にマスクフィルムを位置出して取付ける透明
板を有すること、 この透明板の表面の、位置出しして取付けられたマスク
フィルムの周端縁部に対向する箇所に、周状にかつ多重
に刻設された複数の周溝を有すること、 この各周溝別に、この周溝内を透明板の裏面に連通させ
る吸気孔を有すること、 各周溝に吸気孔を介して個々に接続された、周溝と同数
のバキューム装置を有すること、 にある。
透明板の表面に刻設される周溝の数としては二つとす
るのが良く、これに対応してバキューム装置(6)は二
つ設ける。
また、各周溝(2)には、複数の吸気孔を、この周溝
に沿って略等間隔に設けるのが良い。
〔作用〕
透明板の表面に刻設された複数の周溝は、それぞれが
独立して多重に設けられているので、個々の周溝がマス
クフィルムに対して吸着保持力を独立して作用させるこ
とになり、それゆえ透明板へのマスクフィルムの吸着保
持力は、各周溝が発揮する吸着保持力を合成したものと
なる。
このため、個々の周溝が、柔らかいマスクフィルムを
変形させることなしに透明板表面に吸着保持する力が、
マスクフィルムを透明板表面に不動に保持するのには不
足であっても、周溝によるマスクフィルムの透明板表面
への吸着保持力は、複数の周溝の発揮する吸着保持力を
合計したものであるので、必要な数の周溝を設けること
により、柔らかいマスクフィルムに変形を生じさせるこ
となしに、マスクフィルムを透明板表面に確実にかつ強
力にそして安定して不動に保持する。
また、各周溝は、それぞれが専用のバキューム装置に
接続されているので、例え一つの周溝にリークが発生し
て、この周溝によるマスクフィルムに対する吸着力が低
下したとしても、この周溝に発生したリークが他の周溝
の吸着力を低下させることがなく、これにより周溝によ
るマスクフィルムの安定したかつ確実な吸着保持が達成
される。
さらに、内側の周溝により吸着されているマスクフィ
ルム部分は不動に固定された状態となっているので、外
側の周溝のマスクフィルムに対する吸着力を、柔らかい
マスクフィルムに多少の変形が発生する程度に強めたと
しても、この外側の周溝の吸着力により発生したマスク
フィルムの変形は、この外側の周溝に吸着させている部
分だけに限定され、他の部分に影響を与えないので、内
側の周溝に接続されるバキューム装置に比べて、外側の
周溝に接続されるバキューム装置の能力を高めておくこ
とにより、マスクフィルムに対する吸着保持力は充分に
強力なものとなる。
このことから、内側の周溝に接続されるバキューム装
置の能力に比べて、外側の周溝に接続されるバキューム
装置の能力が高くすることにより、設けられる周溝の数
を最低の二つにすることができる。
なお、各周溝に設けられる吸気孔を、周溝に沿って略
等間隔に複数設けることにより、周溝の全長にわたって
吸引力を略均一に発揮させることができ、これにより安
定したマスクフィルムの吸着保持を達成できる。
〔実施例〕
以下、本考案の一実施例を、図面を参照しながら説明
する。
図示実施例は、透明板1の下側に露光光源(図示省
略)を配置した片面露光装置のベース板装置の構成を示
すもので、第1図は平面図、第2図は縦断側面図であ
る。
表面である上面を平坦とした透明板1は、長方形肉厚
平板形状をしていて、その表面の周端縁部には、二重に
周溝2が刻設されている。
この周溝2は、透明板1の表面にマスクフィルム5を
位置出しした状態で取付けた際に、このマスクフィルム
5のパターンが描かれていない周端縁部に対向する位置
に設けられている。
両周溝2の各辺の中央部には、周溝2を透明板1の裏
面に連通する吸気孔3が、透明板1を上下に貫通した形
態で開設されており、各吸気孔3の透明板1裏面側の開
口部には、周溝2別に接続管4を介してバキューム装置
6が接続されている。
内側の周溝2に接続されたバキューム装置6に対し
て、外側の周溝2に接続されたバキューム装置6は、そ
の能力が大きく設定されていて、内側の周溝2に比べて
外側の周溝2のマスクフィルム5に対する吸着保持力が
大きくなるように設定されている。
なお、透明板1表面上には、位置出し取付けされたマ
スクフィルム5を囲む形態で、外側の周溝2の外側とな
る箇所に、パッキンとしての土手ゴム7が設けられ、ま
たこの土手ゴム7を介して平板状の押さえ板9が載置組
付けされて露光装置の露光台装置が構成される。
生フィルム9の焼付け操作の一例を、以下に順に説明
する。
透明板1の表面(上面)にマスクフィルム5を位置出
しした状態で取付けた後、両バキューム装置6を稼働さ
せて周溝2によりマスクフィルム5を透明板1表面に不
動に吸着保持し、マスクフィルム5の透明板1に対する
取付けを達成する。
この状態から、マスクフィルム5に生フィルム9を位
置出しした状態で載置し、次いで押さえ板8を土手ゴム
7を介して透明板1上に搭載し、吸引装置(図示省略)
により透明板1と押さえ板8との間の空気を吸引し、こ
の吸引作用を利用して押さえ板8により生フィルム9を
透明板1上のマスクフィルム5上に空隙を発生しない状
態で押付ける。
生フィルム9のマスクフィルム5への押付けが達成さ
れたならば、透明板1の下方に設置された露光光源を稼
働させて、生フィルム9の露光を達成する。
生フィルム9の露光を達成したならば、吸引装置の停
止して吸引作用を解除し、押さえ板8を開けて露光済み
の生フィルム9を取り出し、次の生フィルム9をマスク
フィルム5上に位置出しして取付け、前記した操作を繰
り返す。
両バキューム装置6は、予め設定されている全ての生
フィルム9の露光が終了するまで稼働され続ける。
なお、上記した実施例は、片面露光の実施例を示した
が、両面露光の場合には、押さえ板8の代わりに本考案
によるベース板装置を上側にも設ければ良い。
〔考案の効果〕
本考案は、上記した構成となっているので、以下に示
す効果を奏する。
マスクフィルムを吸引する周溝を複数設けたので、各
周溝が発揮するマスクフィルムに対する吸引保持力の合
計を、透明板に対するマスクフィルムの吸引保持力とす
ることができ、これによってマスクフィルムに不正変形
を生じさせることなしに、マスクフィルムを強力に透明
板に吸着することができ、もって透明板に対するマスク
フィルムの不動な取付けを確実に達成できる。
各周溝には、それぞれ独立した一つのバキューム装置
を接続しているので、例え任意の周溝にリークが発生し
たとしても、他の周溝のマスクフィルムに対する吸引力
が低下することかなく、もって透明板に対するマスクフ
ィルムの安定した不動保持を維持することができる。
内側の周溝により吸引されたマスクフィルム部分は、
この吸引により形態が固定された状態となっているの
で、例え外側の周溝の吸引力が強くてこの外側の周溝に
吸引されているマスクフィルム部分に変形が生じたとし
ても、この変形がマスクフィルムの中央側に影響を与え
ることが皆無であり、もってマスクフィルムの姿勢を適
正に保ったまま、このマスクフィルムをより強力に吸引
保持することができ、また良好な露光処理を得ることが
できる。
【図面の簡単な説明】
第1図は、本考案の一実施例を示す平面図である。 第2図は、第1図に示した実施例の縦断側面図である。 符号の説明 1;透明板、2;周溝、3;吸気孔、4;接続管、5;マスクフィ
ルム、6;バキューム装置、7;土手ゴム、8;押さえ板、9;
生フィルム。

Claims (3)

    (57)【実用新案登録請求の範囲】
  1. 【請求項1】平坦な表面にマスクフィルム(5)を位置
    出して取付ける透明板(1)と、 該透明板(1)の表面の、前記位置出しして取付けられ
    たマスクフィルム(5)の周端縁部に対向する箇所に周
    状にかつ多重に刻設された複数の周溝(2)と、 該各周溝(2)別に、該周溝(2)内を前記透明板
    (1)の裏面に連通させる吸気孔(3)と、 前記各周溝(2)に前記吸気孔(3)を介して個々に接
    続された、前記周溝(2)と同数のバキューム装置
    (6)と、 から成る露光装置のベース板装置。
  2. 【請求項2】周溝(2)を二つ設けると共に、バキュー
    ム装置(6)を二つ設けた請求項1に記載の露光装置の
    ベース板装置。
  3. 【請求項3】各周溝(2)に、複数の吸気孔(3)を周
    溝(2)に沿って略等間隔に設けた請求項1または2に
    記載の露光装置のベース板装置。
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JP6200224B2 (ja) * 2012-09-13 2017-09-20 日本メクトロン株式会社 フォトマスク、フォトマスク組、露光装置および露光方法

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