JPH0985597A - 薄物工作物の両頭平面研削盤 - Google Patents

薄物工作物の両頭平面研削盤

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JPH0985597A
JPH0985597A JP26626195A JP26626195A JPH0985597A JP H0985597 A JPH0985597 A JP H0985597A JP 26626195 A JP26626195 A JP 26626195A JP 26626195 A JP26626195 A JP 26626195A JP H0985597 A JPH0985597 A JP H0985597A
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 インプロセスで電解ドレッシング可能な薄物
工作物の両頭平面研削盤を提供する。 【解決手段】 対向する砥石車Ga,Gbの間に薄板状
のドレッシング電極2が介装されるとともに、該ドレッ
シング電極2と上記砥石車Ga,Gbとの間に電解液を
供給するノズル3が設けられる。このドレッシング電極
2は、上記砥石車Ga,Gbの間に緊張状態で張架され
る。このように、砥石車Ga,Gbの間に、キャリアプ
レートとは別個にドレッシング電極2を設けることで、
ドレッシング電極2を薄板状に構成することができ、薄
物工作物の両頭平面研削盤でのインプロセス電解ドレッ
シングを実現可能とする。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】この発明は両頭平面研削盤に
関し、さらに詳細には、インプロセスでの電解ドレッシ
ングが可能な薄物工作物の両頭平面研削盤に関する。
【0002】
【従来の技術】例えば、セラミックスや水晶等の難削材
を高能率,高品質で平面研削加工するには、いわゆる電
解インプロセスドレッシング研削法(Electrolyc Inproc
ess Dressing:以下 ELID 研削法と称する)が有効とさ
れる。しかし、この ELID 研削法は、砥石車の研削面に
対面させてトレッシング電極を設けることが必要とな
る。そのため、従来より、このドレッシング電極の設置
場所の確保が容易な片面平面研削盤への適用は種々提案
されているが、例えば、1mm以下の薄物工作物を両面
研削する ELID 研削装置は、スペース的な制約からほと
んど提案されていなかった。
【0003】このような状況下において、この技術を両
頭平面研削盤に応用したものとして、特開平3−136
758号が挙げられる。図4は、この ELID 研削法を利
用した立軸両頭平面研削盤を示しており、メタルボンド
砥石からなる砥石車a,aが上下に対向して設けられる
とともに、この砥石車a,aはそれぞれ電源の(+)極
と接続されている。また、この砥石車a,a間には、ワ
ークWを供給・排出する円盤状のキャリアプレートbが
配設されており、このキャリアプレートbはワークWを
保持するキャリアポケットcを備えるとともに、電源の
(−)極と接続されるドレッシング電極dを備える。
【0004】そして、このドレッシング電極dは、砥石
車a,aのそれぞれの研削面に対面するようにキャリア
プレートbの上下両面にそれぞれ接着固定されており、
ワークWの研削加工時には、ワークWの供給・排出作動
にともなって、このキャリアプレートbとともに上記砥
石車a,aの研削面間を回転可能とされている。
【0005】したがって、この例においては、ドレッシ
ング電極bはワークWの供給・排出を行うキャリアプレ
ートbと一体に設けられて、ワークWの研削加工時に、
このドレッシング電極bと砥石車a,aとの間に電解液
を供給し、かつ、これらの間に電圧を印可することで、
メタルボンド砥石の電解作用を利用したインプロセスで
砥石の電解ドレッシングが行われている。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うなドレッシング方法は、薄物工作物の両面研削への適
用が極めて困難である。
【0007】すなわち、このような構成では、例えば、
ワークの厚さが1mm以下となるような薄物工作物の両
頭平面研削盤においては、ワークの厚さに対応して対向
する砥石間(砥石の研削面間)の間隔も狭くなることか
ら、この極小空間内に配設されたキャリアプレート上に
ドレッシング電極を一体に設けようとすると、必要以上
にキャリアプレートが薄くなってしまい、キャリアプレ
ートに十分な剛性が得られなくなる反面、キャリアプレ
ートの厚みを十分にとってこれに十分な剛性を得ようと
すると、どうしてもドレッシング電極が厚くなりすぎ、
砥石間の極小空間内にドレッシング電極を配置できなく
なってしまう。
【0008】また、その場合、キャリアプレートの径を
小さくすることでキャリアプレートの剛性を得ることも
考えられるが、それでは加工できるワークの大きさもキ
ャリアプレートの縮径にともなって必然的に小さくなっ
てしまい、問題の本質的な解決には至らない。
【0009】したがって、上記のようにキャリアプレー
トにドレッシング電極を一体に設ける構成では、対向す
る砥石車間に十分な間隔が得られる場合、すなわちワー
クの厚みが十分にある場合には有効であるが、薄物工作
物の両面研削のように、これらの間隔が極小となる場合
への適用は事実上困難であった。
【0010】本発明はかかる従来の問題点に鑑みてなさ
れたものであって、その目的とするところは、インプロ
セスで電解ドレッシングが可能な薄物工作物の両頭平面
研削盤を提供することにある。
【0011】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明の薄物工作物の両頭平面研削盤は、メタルボ
ンド製の砥石車を備えた両頭平面研削盤において、対向
する砥石車の間に、これら両砥石車の研削面に対面して
薄板状のドレッシング電極が介装されるとともに、該ド
レッシング電極と上記砥石車との間に電解液を供給する
ノズルが設けられ、上記砥石車の外周近傍に、上記ドレ
ッシング電極をクランプしてドレッシング電極の研削面
方向の位置を位置決め可能とするクランプ手段と、上記
ドレッシング電極に張力を与えてこれを緊張状態で保持
可能とするテンション付与手段が備えられていることを
特徴とする。
【0012】このように本発明においては、砥石車の間
に、上述のキャリアプレートとは別個に独立した状態で
ドレッシング電極を配置することにより、ドレッシング
電極を従来より薄く構成することができ、これまで適用
が困難であった薄物工作物の両頭平面研削盤におけるイ
ンプロセスでの電解ドレッシングを実現している。
【0013】そして、ドレッシング電極を薄板状に構成
することに伴ってドレッシング電極自体の剛性低下が問
題となるが、それについては、砥石車の外周近傍にクラ
ンプ手段およびテンション付与手段を設け、クランプ手
段によってドレッシング電極の研削面方向の位置を位置
決め可能とするとともに、テンション付与手段によって
ドレッシング電極に張力(テンション)を与えてドレッ
シング電極を緊張状態で保持可能とすることにより、ド
レッシング電極に所望の剛性を得ることを可能とした。
【0014】また、請求項2に記載したように、ドレッ
シング電極を帯状に形成するとともに、このドレッシン
グ電極を上記砥石車の間に繰り出す電極繰出し手段と、
この電極繰出し手段から繰り出されたドレッシング電極
を回収する電極回収手段を備えることにより、劣化等し
たドレッシング電極を適宜繰り出し回収することで、常
に良好な状態のドレッシング電極を供給することが可能
となる。
【0015】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施例を図面に基
づいて説明する。
【0016】本発明に係る薄物工作物の両頭平面研削盤
を立形の両頭平面研削盤に適用した例を図1に示す。こ
の両頭平面研削盤は、厚さが1mm以下となるような薄
物の工作物(以下、単にワークと称する)Wの両面を同
時平面研削するもので、上下に一対設けられた砥石車G
a,Gbと、ドレッシング電極2、電解液供給ノズル
(ノズル)3、クランプ手段4、テンション付与手段4
6、電極繰出し手段5、電極回収手段6および電源7を
主要部として備える。そして、砥石車Ga,Gbへのワ
ークWの供給・排出は、ワーク供給手段(図示例におい
てはキャリアプレートの形態)Cにより行われる。
【0017】砥石車Ga,Gbは、それぞれ円筒状の導
電性を有するメタルボンド製の砥石からなり、それぞれ
砥石軸8,8の先端に設けられて、その研削面G1 ,G
1 が互いに対向するよう平行状に配設されている。そし
て、この研削面G1 ,G1 の間隔は、被加工物たるワー
クWの厚みに応じて適宜1mm以下に設定される。した
がって、両者の間は間隔が1mm以下の極小空間とな
る。
【0018】また、この砥石車Ga,Gbは、給電体9
を介して電源7の(+)極に電気的に接続されている。
なお、上記砥石軸8,8は、それぞれ図示しないが、動
力伝達機構を介して駆動源に連係されており、その軸線
まわりに回転可能とされるとともに、ワークWの厚みに
応じて軸方向へも移動可能とされている。
【0019】ドレッシング電極2は、ワークWの厚みよ
りも薄い薄板状に形成された帯状の電極とされ、このド
レッシング電極2としては銅板が好適に使用される。そ
して、このドレッシング電極2は、給電ブラシ10を介
して電源7の(−)極に電気的に接続されるとともに、
上記砥石車Ga,Gb間において、ワークWの供給・排
出作動を妨げない位置に配置されている(図2参照)。
【0020】より具体的には、研削加工時にワークW
は、キャリアプレートCによって順次砥石車Ga,Gb
間に供給されるが、ドレッシング電極2は、このキャリ
アプレートCによって搬送されるワークWの搬送経路を
回避して上記砥石車Ga,Gbの研削面G1 ,G1 に対
面するように、上記研削面G1 ,G1 間の極小空間内に
介装される。そして、このドレッシング電極2は、上記
研削面G1 ,G1 のうちドレッシングが必要とされる部
位、すなわち、研削面G1 ,G1 におけるワークWとの
接触部が描く円周軌跡と交叉する位置に配置される。
【0021】電解液供給ノズル3は、上記ドレッシング
電極2と上記砥石車Ga,Gbとの間に電解液を供給す
るノズルであり、図1に示すように、上記砥石車Ga,
Gbの外周部近傍に、研削面G1 とドレッシング電極2
に臨んで複数設けられる。そして、これらの電解液供給
ノズル3,3,…からは、砥石車Ga,Gbに向けて研
削液と兼用される電解液が噴射される。
【0022】クランプ手段4は、上記帯状のドレッシン
グ電極2の研削面方向の位置を位置決めするもので、上
記砥石車Ga,Gbの外周近傍に一対設けられた電極支
持台11a,11bにそれぞれ配設される。そして、こ
のクランプ手段4は、クランプ台41とクランプ板42
とクランプレバー43とから構成される。
【0023】このクランプ台41およびクランプ板42
は、図3に示すように、それぞれ噛合可能な係合凹部4
4および係合凸部45を備えるとともに、上記クランプ
レバー43に設けられた軸部(図示省略)がこれら両者
を貫通するように螺合されている。そして、研削加工開
始時には、上記ドレッシング電極2を上記砥石車Ga,
Gb間に介装させた状態で、ドレッシング電極2の両側
をこのクランプ台41とクランプ板42との間に挟み込
んで、クランプレバー43をねじ込むことにより、上記
係合凸部45がドレッシング電極2とともに係合凹部4
4に噛合され(図3矢符参照)、上記ドレッシング電極
2が上記電極支持台11a,11bに位置決め固定され
る。なお、図1において13は絶縁シートを示す。
【0024】なお、この係合凹部44および係合凸部4
5の形状は、本例においては図3に示すように円弧状断
面を有する溝と突起から構成されているが、両者は噛合
可能であればこの形状に限定されず、例えば、山形とす
ることも可能である。
【0025】また、テンション付与手段46は、上記ド
レッシング電極2を電極支持台11a,11b間に緊張
状態で張架するためのもので、このテンション付与手段
46は、上記一方の電極支持台11aの位置を上記砥石
車Ga,Gbに対して前進後退動作させることにより、
ドレッシング電極2を弛緩・緊張させるものである。よ
り具体的には、このテンション付与手段46は、上記電
極支持台11aの基台12に設けられたスライドレール
47とシリンダ装置48とから構成される。
【0026】このスライドレール47は、図1に示すよ
うに、上記基台12上に砥石車Ga,Gbに向けて配設
されており、このスライドレール47上に上記電極支持
台11aが摺動可能に載置されている。そして、シリン
ダ装置48は、上記基台12の外側端に設けられるとと
もに、そのピストンロッド48aの先端が上記電極支持
11aに取付けられ、このシリンダ装置48を駆動する
ことによって上記電極支持台11aを上記砥石車Ga,
Gbに対して前進後退作動可能としている。
【0027】電極繰出し手段5および電極回収手段6
は、それぞれドレッシング電極2を巻装した繰出しリー
ル51と、この繰出しリール51から繰り出されたドレ
ッシング電極2を回収する巻取りリール61とから構成
される。そして、これらの繰出しおよび巻取りリール5
1,61は、それぞれケース52,62内に収容される
とともに、それぞれ上記電極支持台11a,11bに設
けられたクランプ手段4の外側に着脱可能に装着され
る。
【0028】また、これらの繰出しリール51および巻
取りリール61は、上記電極支持台11a,11bに装
着した状態で、それぞれ回転可能に、かつ、図示しない
回転駆動機構を介して駆動源(例えば、電動モータ等)
に連係されており、この駆動源が駆動されると、ドレッ
シング電極2が繰出しリール51から繰り出されるとと
もに、この繰り出されたドレッシング電極2が巻取りリ
ール61によって巻取り回収される。
【0029】なお、上記電極支持台11a,11bは、
図示しない駆動機構により、それぞれ上下方向に位置調
整可能とされており(図1矢符参照)、研削加工開始前
に上記ドレッシング電極2の高さ位置調節を調節して、
ドレッシング電極2が砥石車Ga,Gbの研削面G1
1 と平行状態で、かつ、この研削面G1 ,G1 と接触
しないように位置調整を行うことを可能としている。
【0030】しかして、以上のように構成された両頭平
面研削盤における薄物工作物の両面研削および砥石車G
a,Gbの電解ドレッシング過程を説明する。
【0031】まず、円盤状のキャリアプレートCは、図
2に示すように複数のキリャアポケットCp,Cp,…
を備え、矢符(a) 方向に回転駆動される。そして、ワー
クWは矢符(b) のところでキャリアポケットCpに投入
され、砥石車Ga,Gbの間を通過する際に両面研削が
行われ、矢符(c) のところでキャリアポケットCpから
排出される。
【0032】その際、上記電解液供給ノズル3からは、
研削液と兼用の電解液が常時上記ドレッシング電極2と
上記砥石車Ga,Gbとの間に噴射・供給される。ま
た、上記電源7からは、砥石車Ga,Gbにそれぞれ
(+)の電圧が印可される。
【0033】これにより、上記電解液を介して砥石車G
a,Gbとドレッシング電極2との間が通電状態とな
り、砥石表面(研削面G1 )の金属部(ボンド)が電解
効果により溶解してダイヤモンド砥粒が突出される。す
なわち、研削加工中、電源7から電圧を印可することに
より、対向する一対の砥石車Ga,Gbの電解ドレッシ
ングが同時にインプロセスで行われる。
【0034】ここで、ドレッシング電極2は、研削加工
を開始する前に、あらかじめ上記テンション付与手段4
6を駆動して、砥石車Ga,Gb間に緊張状態で張架さ
せておく。すなわち、砥石車Ga,Gb間にドレッシン
グ電極2を介装するとともに、作業員の手により上記ク
ランプ手段4のクランプレバー43を締め付けて、ドレ
ッシング電極2を位置決め固定した状態で、上記シリン
ダ装置48のピストンロッド48aに退入動作を与えて
上記電極支持台11aを後退させ、ドレッシング電極2
に所定の張力(テンション)を与えておく。
【0035】そのため、本発明においてはドレッシング
電極2として薄板状の帯状電極を使用しても、このドレ
ッシング電極2は所定のテンションを与えられて緊張状
態で張架されているため、砥石車Ga,Gbの高速回転
による風圧や上記電解液の噴射に伴う水圧等の影響(こ
れらにともなうドレッシング電極2の振動)を殆ど受け
ることなく、常に安定した電解ドレッシングが実現され
る。
【0036】また、上記研削加工の実施にともない、ド
レッシング電極2が劣化等した場合には、一旦研削加工
を中断して、上記クランプ手段4およびテンション付与
手段46を緩め、上記電極繰出し手段5および電極回収
手段6を駆動して、新たなドレッシング電極2を砥石車
Ga,Gb間に繰り出すとともに、劣化等した使用済み
のドレッシング電極2を巻取り回収させる。
【0037】これにより、ドレッシング電極2の繰り出
し・巻き取りといった簡単な作業によって、常に良好な
状態のドレッシング電極2を砥石車Ga,Gb間に供給
することができる。また、ドレッシング電極2を全て繰
り出し終わると、使用済みの繰出しリール51および巻
取りリール61を新しいリールに交換することで、継続
してドレッシングを行うことができる。
【0038】なお、本発明は上記実施の形態に限定され
ることなく、適宜設計変更可能である。
【0039】例えば、上述の装置においては、クランプ
手段4のクランプレバー43が作業員の手によって手作
業で締め付けられているが、これについては上記電極繰
出し手段5とともに自動化を図ることも可能である。
【0040】その場合、上記両頭平面研削盤は、クラン
プ手段4および電極繰出し手段5の作動を制御する制御
部Sを備える(図1二点鎖線参照)。そして、上記クラ
ンプ手段4は、図示しないがエアシリンダ等を備えてな
り、この制御部Sからの制御信号に基づいて、自動的に
クランプ作動またはその解除作動を行うように構成され
る。
【0041】また、電極繰出し手段5は、上記制御部S
によってクランプ手段4のクランプ作動および解除作動
に連動して、ドレッシング電極2を繰り出すように制御
される。より具体的には、電極繰出し手段5は、上記ク
ランプ手段4が解除状態にある時にドレッシング電極2
の繰り出しを行うように制御される。
【0042】これにより、例えば、あらかじめドレッシ
ング電極2の劣化状態をセンサ等を使って監視させてお
きドレッシング電極2の劣化を検知させるか、またはタ
イマ手段を用いることにより、クランプ手段4および電
極繰出し手段5を駆動させるようにすれば、ドレッシン
グ電極2の繰り出し・巻取り(交換作業)を完全に自動
化することができる。
【0043】また、上述の装置におていは、テンション
付与手段46を備える構成を示したが、これを設けるこ
となく上記電極繰出し手段5および電極回収手段6を調
節(逆回転)するこにより、ドレッシング電極2に所望
のテンションを付与してドレッシング電極2を緊張状態
に張架することも可能であり、また、上記電極繰出し手
段5および電極回収手段6としてリールを用いることな
く、水平状態のままで電極の繰り出し、回収をさせるこ
とも可能である。
【0044】さらに、上述の装置においては、本発明を
立形の両頭平面研削盤に適用した例を示したが、本発明
はもちろん横形の両頭平面研削盤に適用することも可能
である。
【0045】
【発明の効果】以上詳述したように、本発明によれば、
対向する砥石車の間に設けられるドレッシング電極が薄
板状とされることから、薄物工作物の両頭平面研削盤に
おけるインプロセスでの電解ドレッシングが実現でき
る。
【0046】すなわち、本発明によれば、例えば、ワー
クの厚さが1mm以下となるような場合においても、そ
れに伴ってドレッシング電極の厚みを薄くすることがで
きるため、これまで実現不可能とされていた薄物工作物
の両頭平面研削盤においても砥石車の研削面間に容易に
ドレッシング電極を介装することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係る薄物工作物の両頭平面研削盤を一
部切欠いて示す概略正面図である。
【図2】同両頭平面研削盤におけるドレッシング電極の
架設状態を示す平面図である。
【図3】同両頭平面研削盤のクランプ手段の構造を示す
説明図である。
【図4】従来の両頭平面研削盤の構成を示す説明図であ
る。
【符号の説明】
W ワーク(薄物工作物) Ga,Gb 砥石車 G1 研削面 C ワーク供給手段(キャリアプレー
ト) Cp キャリアポケット S 制御部 2 ドレッシング電極 3 電解液供給ノズル(ノズル) 4 クランプ手段 41 クランプ台 42 クランプ板 43 クランプレバー 46 テンション付与手段 47 スライドレール 48 シリンダ装置 5 電極繰出し手段 51 繰出しリール 6 電極巻取り手段 61 巻取りリール 7 電源 8 砥石軸 9 給電体 10 給電ブラシ 11a,11b 電極支持台

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 メタルボンド製の砥石車を備えた両頭平
    面研削盤において、 対向する砥石車の間に、これら両砥石車の研削面に対面
    して薄板状のドレッシング電極が介装されるとともに、
    該ドレッシング電極と上記砥石車との間に電解液を供給
    するノズルが設けられ、 上記砥石車の外周近傍に、上記ドレッシング電極をクラ
    ンプしてドレッシング電極の研削面方向の位置を位置決
    め可能とするクランプ手段と、上記ドレッシング電極に
    張力を与えてこれを緊張状態で保持可能とするテンショ
    ン付与手段が備えられていることを特徴とする薄物工作
    物の両頭平面研削盤。
  2. 【請求項2】 上記ドレッシング電極が帯状とされると
    ともに、このドレッシング電極を上記砥石車の間に繰り
    出す電極繰出し手段と、この電極繰出し手段から繰り出
    されたドレッシング電極を回収する電極回収手段を備え
    る請求項1に記載の薄物工作物の両頭平面研削盤。
  3. 【請求項3】 請求項2に記載の両頭平面研削盤が制御
    部を備え、この制御部によって、上記クランプ手段が自
    動的にクランプ作動またはその解除作動を行うように制
    御されるとともに、上記電極繰出し手段がこのクランプ
    手段の作動に連動して上記ドレッシング電極の繰り出し
    を行うように制御されている薄物工作物用の両頭平面研
    削盤。
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002535152A (ja) * 1999-01-19 2002-10-22 エルンスト・ティーレンハウス・ゲゼルシャフト・ミト・ベシュレンクテル・ハフツング・ウント・コンパニー・コマンディトゲゼルシャフト 自動車のディスクブレーキの平坦面の加工方法
CN112621419A (zh) * 2021-01-20 2021-04-09 深圳市铭蔚医疗器械有限公司 一种医疗钢板加工装置

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002535152A (ja) * 1999-01-19 2002-10-22 エルンスト・ティーレンハウス・ゲゼルシャフト・ミト・ベシュレンクテル・ハフツング・ウント・コンパニー・コマンディトゲゼルシャフト 自動車のディスクブレーキの平坦面の加工方法
CN112621419A (zh) * 2021-01-20 2021-04-09 深圳市铭蔚医疗器械有限公司 一种医疗钢板加工装置

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