JPH09109014A - ワイヤソーのガイドローラ取付構造 - Google Patents
ワイヤソーのガイドローラ取付構造Info
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- JPH09109014A JPH09109014A JP26582195A JP26582195A JPH09109014A JP H09109014 A JPH09109014 A JP H09109014A JP 26582195 A JP26582195 A JP 26582195A JP 26582195 A JP26582195 A JP 26582195A JP H09109014 A JPH09109014 A JP H09109014A
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- Japan
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- guide roller
- wire
- rotary shaft
- ring
- wire saw
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-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23D—PLANING; SLOTTING; SHEARING; BROACHING; SAWING; FILING; SCRAPING; LIKE OPERATIONS FOR WORKING METAL BY REMOVING MATERIAL, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23D57/00—Sawing machines or sawing devices not covered by one of the preceding groups B23D45/00 - B23D55/00
- B23D57/003—Sawing machines or sawing devices working with saw wires, characterised only by constructional features of particular parts
- B23D57/0053—Sawing machines or sawing devices working with saw wires, characterised only by constructional features of particular parts of drives for saw wires; of wheel mountings; of wheels
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】ガイドローラの交換作業を容易に行うことがで
きるガイドローラ取付構造の提供。 【解決手段】ガイドローラ１８が取り付けられる回転軸
６２には、先端部に雄ネジ７６Ａが形成され、基端部に
フランジ７２が形成されている。前記回転軸６２の先端
部に形成された雄ネジ７６Ａには、内径部に雌ネジ８０
Ａが形成されたリング８０が螺合される。ガイドローラ
１８は、内径部を回転軸６２の軸部に沿って挿入し、そ
の軸部の先端に形成された雄ネジ７６Ａにリング８０を
螺合させることにより、リング８０と回転軸６２のフラ
ンジ７２とで挟持されて回転軸６２に固定される。
きるガイドローラ取付構造の提供。 【解決手段】ガイドローラ１８が取り付けられる回転軸
６２には、先端部に雄ネジ７６Ａが形成され、基端部に
フランジ７２が形成されている。前記回転軸６２の先端
部に形成された雄ネジ７６Ａには、内径部に雌ネジ８０
Ａが形成されたリング８０が螺合される。ガイドローラ
１８は、内径部を回転軸６２の軸部に沿って挿入し、そ
の軸部の先端に形成された雄ネジ７６Ａにリング８０を
螺合させることにより、リング８０と回転軸６２のフラ
ンジ７２とで挟持されて回転軸６２に固定される。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明はワイヤソーのガイド
ローラ取付構造に係り、特に被加工物を走行するワイヤ
で多数のウェーハに切断するワイヤソーのガイドローラ
取付構造に関する。
ローラ取付構造に係り、特に被加工物を走行するワイヤ
で多数のウェーハに切断するワイヤソーのガイドローラ
取付構造に関する。
【０００２】
【従来の技術】ワイヤソーは、一対のワイヤリール間を
走行するワイヤを複数の溝付ローラに巻きかけ、その溝
付ローラで形成されるワイヤ列に砥粒を含む加工液を供
給しながら被加工物を押し当てることにより、被加工物
を多数のウェーハに切断するものである。
走行するワイヤを複数の溝付ローラに巻きかけ、その溝
付ローラで形成されるワイヤ列に砥粒を含む加工液を供
給しながら被加工物を押し当てることにより、被加工物
を多数のウェーハに切断するものである。
【０００３】前記ワイヤソーにおいて、ワイヤは装置本
体フレームに配設されたガイドローラにガイドされて走
行する。このガイドローラは加工液が付着したワイヤを
ガイドするため、使用しているうちに溝が磨耗する。こ
のため、定期的に交換する必要がある。一般に、ガイド
ローラはワイヤソーの本体フレームに設けられた回転軸
に着脱自在に取り付けられており、交換する際は、回転
軸ごとの交換は行なわず、ガイドローラのみを交換する
ような構造になっている。
体フレームに配設されたガイドローラにガイドされて走
行する。このガイドローラは加工液が付着したワイヤを
ガイドするため、使用しているうちに溝が磨耗する。こ
のため、定期的に交換する必要がある。一般に、ガイド
ローラはワイヤソーの本体フレームに設けられた回転軸
に着脱自在に取り付けられており、交換する際は、回転
軸ごとの交換は行なわず、ガイドローラのみを交換する
ような構造になっている。
【０００４】図６は、従来のガイドローラ取付構造の一
例である。同図に示すように、従来のガイドローラ１
は、シャフト２に回動自在に支持されたフランジ付回転
軸３に、ガイドローラ１を挿入し、フランジ部３´にボ
ルト４、４でボルト止めすることにより装着される。
例である。同図に示すように、従来のガイドローラ１
は、シャフト２に回動自在に支持されたフランジ付回転
軸３に、ガイドローラ１を挿入し、フランジ部３´にボ
ルト４、４でボルト止めすることにより装着される。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】ところで、通常ガイド
ローラは１台のワイヤソーに２０個前後と多量に使用さ
れ、また極めて寿命が短いため、頻繁に交換作業を行な
う必要がある。しかしながら、前記従来の取付構造は、
ボルト４の締結作業に工具を要するとともに、その締結
作業が極めて面倒であるという欠点がある。
ローラは１台のワイヤソーに２０個前後と多量に使用さ
れ、また極めて寿命が短いため、頻繁に交換作業を行な
う必要がある。しかしながら、前記従来の取付構造は、
ボルト４の締結作業に工具を要するとともに、その締結
作業が極めて面倒であるという欠点がある。
【０００６】本発明は、このような事情を鑑みてなされ
たもので、ガイドローラの交換作業を容易に行うことが
できるワイヤソーのガイドローラ取付構造を提供するこ
とを目的とする。
たもので、ガイドローラの交換作業を容易に行うことが
できるワイヤソーのガイドローラ取付構造を提供するこ
とを目的とする。
【０００７】
【課題を解決する為の手段】本発明は前記目的を達成す
る為に、一対のワイヤリール間をガイドローラにガイド
されて走行するワイヤを複数個の溝付ローラに巻き掛け
てワイヤ列を形成し、該ワイヤ列に被加工物を押し当て
ることにより、前記被加工物を多数のウェーハに切断す
るワイヤソーにおいて、ワイヤソー本体に回動自在に支
持されたフランジ付回転軸の軸部にガイドローラを挿入
するとともに、前記回転軸の先端に形成されたネジ部に
リングのネジ部を螺合し、該リングと前記フランジ付回
転軸のフランジ部とで前記ガイドローラを挟持すること
により該ガイドローラをワイヤソー本体に回動自在に支
持することを特徴とする。
る為に、一対のワイヤリール間をガイドローラにガイド
されて走行するワイヤを複数個の溝付ローラに巻き掛け
てワイヤ列を形成し、該ワイヤ列に被加工物を押し当て
ることにより、前記被加工物を多数のウェーハに切断す
るワイヤソーにおいて、ワイヤソー本体に回動自在に支
持されたフランジ付回転軸の軸部にガイドローラを挿入
するとともに、前記回転軸の先端に形成されたネジ部に
リングのネジ部を螺合し、該リングと前記フランジ付回
転軸のフランジ部とで前記ガイドローラを挟持すること
により該ガイドローラをワイヤソー本体に回動自在に支
持することを特徴とする。
【０００８】本発明によれば、ガイドローラの回転軸へ
の取り付けは、ガイドローラをフランジ付回転軸に挿入
し、その回転軸の先端に形成されたネジ部にリングを螺
合させることにより、リングと回転軸のフランジ部とで
ガイドローラを挟持して回転軸に固定する。
の取り付けは、ガイドローラをフランジ付回転軸に挿入
し、その回転軸の先端に形成されたネジ部にリングを螺
合させることにより、リングと回転軸のフランジ部とで
ガイドローラを挟持して回転軸に固定する。
【０００９】
【発明の実施の形態】以下添付図面に従って本発明に係
るワイヤソーのガイドローラ取付構造の好ましい実施の
形態について詳説する。図１は、本発明に係るワイヤソ
ーのガイドローラ取付構造が適用されるワイヤソー１０
の全体構成図である。同図に示すように、ワイヤソー１
０は、一対のワイヤリール１２、２６間を走行するワイ
ヤ１４で形成したワイヤ列２４に砥粒を含む加工液４０
を供給しながら半導体インゴット５４を押し当てること
により半導体インゴット５４を多数のウェーハに切断す
る。
るワイヤソーのガイドローラ取付構造の好ましい実施の
形態について詳説する。図１は、本発明に係るワイヤソ
ーのガイドローラ取付構造が適用されるワイヤソー１０
の全体構成図である。同図に示すように、ワイヤソー１
０は、一対のワイヤリール１２、２６間を走行するワイ
ヤ１４で形成したワイヤ列２４に砥粒を含む加工液４０
を供給しながら半導体インゴット５４を押し当てること
により半導体インゴット５４を多数のウェーハに切断す
る。
【００１０】一方のワイヤリール１２に巻回されたワイ
ヤ１４は、ワイヤ案内装置１６、複数のガイドローラ１
８、１８、ダンサローラ２０を経て、三角形を成すよう
に配列された３本の溝付きローラ２２Ａ、２２Ｂ、２２
Ｃに巻き掛けられてワイヤ列２４を形成する。ワイヤ列
２４を形成したワイヤ１４は、複数のガイドローラ１
８、１８、ダンサローラ２０、ワイヤ案内装置１６を経
て他方のワイヤリール２６に巻き取られる。
ヤ１４は、ワイヤ案内装置１６、複数のガイドローラ１
８、１８、ダンサローラ２０を経て、三角形を成すよう
に配列された３本の溝付きローラ２２Ａ、２２Ｂ、２２
Ｃに巻き掛けられてワイヤ列２４を形成する。ワイヤ列
２４を形成したワイヤ１４は、複数のガイドローラ１
８、１８、ダンサローラ２０、ワイヤ案内装置１６を経
て他方のワイヤリール２６に巻き取られる。
【００１１】前記ワイヤ案内装置１６は、ワイヤリール
１２、２６に巻きかけられているワイヤ１４を一定ピッ
チで繰り出すとともに、ワイヤリール１２、２６に巻き
取られるワイヤ１４を一定ピッチで巻き取る。前記ガイ
ドローラ１８は、ワイヤ走行路中の所定の位置に配設さ
れて、前記一対のワイヤリール１２、２６間を走行する
ワイヤ１４をガイドする。
１２、２６に巻きかけられているワイヤ１４を一定ピッ
チで繰り出すとともに、ワイヤリール１２、２６に巻き
取られるワイヤ１４を一定ピッチで巻き取る。前記ガイ
ドローラ１８は、ワイヤ走行路中の所定の位置に配設さ
れて、前記一対のワイヤリール１２、２６間を走行する
ワイヤ１４をガイドする。
【００１２】前記ダンサローラ２０は、所定重量の錘４
４が吊設されており、走行するワイヤ１４に常時一定の
張力を付与する。前記ワイヤ走行路の途中にはワイヤ洗
浄装置４６が設けられており、前記一対のワイヤリール
１２、２６間を走行するワイヤ１４は、このワイヤ洗浄
装置４６を通過することによって、付着している加工液
４０が除去される。
４が吊設されており、走行するワイヤ１４に常時一定の
張力を付与する。前記ワイヤ走行路の途中にはワイヤ洗
浄装置４６が設けられており、前記一対のワイヤリール
１２、２６間を走行するワイヤ１４は、このワイヤ洗浄
装置４６を通過することによって、付着している加工液
４０が除去される。
【００１３】前記一対のワイヤリール１２、２６には、
それぞれ正逆回転可能なモータ２８、３０が連結され、
このモータ２８、３０を駆動するとにより、ワイヤ１４
は一対のワイヤリール１２、２６間を往復走行する。ま
た、前記溝付ローラ２２Ａにも同様に正逆回転可能なモ
ータ３２が連結されている。このモータ３２は前記モー
タ２８、３０に同期するように駆動制御される。
それぞれ正逆回転可能なモータ２８、３０が連結され、
このモータ２８、３０を駆動するとにより、ワイヤ１４
は一対のワイヤリール１２、２６間を往復走行する。ま
た、前記溝付ローラ２２Ａにも同様に正逆回転可能なモ
ータ３２が連結されている。このモータ３２は前記モー
タ２８、３０に同期するように駆動制御される。
【００１４】前記ワイヤ列２４には、スラリ貯留タンク
３８に貯留されたスラリ４０がスラリ供給ノズル４２、
４２を介して供給される。このワイヤ列２４に供給され
るスラリ４０には、砥粒（通常、ＧＣ♯６００〜♯１０
００程度のものが使用される）が含有されており、被加
工物はこの砥粒によるラッピング作用により切断され
る。
３８に貯留されたスラリ４０がスラリ供給ノズル４２、
４２を介して供給される。このワイヤ列２４に供給され
るスラリ４０には、砥粒（通常、ＧＣ♯６００〜♯１０
００程度のものが使用される）が含有されており、被加
工物はこの砥粒によるラッピング作用により切断され
る。
【００１５】前記ワイヤ列２４の下方には、モータ５０
で回動するネジ棒５２により上下方向に移動するワーク
送りテーブル４８が設置されている。ワーク送りテーブ
ル４８には、被加工物である半導体インゴット５４が、
ワークブロック５６、スライスベース５８を介して固定
される。切断時は、ワーク送りテーブル４８を前記ワイ
ヤ列２４に向けて移動させ、高速走行するワイヤ列２４
に半導体インゴット５４を押し当てることにより、半導
体インゴット５４を多数のウェーハに切断する。
で回動するネジ棒５２により上下方向に移動するワーク
送りテーブル４８が設置されている。ワーク送りテーブ
ル４８には、被加工物である半導体インゴット５４が、
ワークブロック５６、スライスベース５８を介して固定
される。切断時は、ワーク送りテーブル４８を前記ワイ
ヤ列２４に向けて移動させ、高速走行するワイヤ列２４
に半導体インゴット５４を押し当てることにより、半導
体インゴット５４を多数のウェーハに切断する。
【００１６】図２は、本発明に係るワイヤソーのガイド
ローラ取付構造の実施の形態の側面断面図である。同図
に示すように、前記ガイドローラ１８は、シャフト６０
に回動自在に支持された回転軸６２に着脱自在に取り付
けられる。前記シャフト６０は円柱状に形成されてお
り、中央部に六角柱状の拡径部６４が形成されている。
また、シャフト６０の基端部には、ネジ部６６が形成さ
れており、ネジ部６６はワイヤソー１０の本体フレーム
６８に形成されたネジ穴７０に螺合されている。
ローラ取付構造の実施の形態の側面断面図である。同図
に示すように、前記ガイドローラ１８は、シャフト６０
に回動自在に支持された回転軸６２に着脱自在に取り付
けられる。前記シャフト６０は円柱状に形成されてお
り、中央部に六角柱状の拡径部６４が形成されている。
また、シャフト６０の基端部には、ネジ部６６が形成さ
れており、ネジ部６６はワイヤソー１０の本体フレーム
６８に形成されたネジ穴７０に螺合されている。
【００１７】前記回転軸６２は円筒状に形成され、その
基端部にはフランジ７２が形成されている。この回転軸
６２は、前記シャフト６０にベアリング７４、７４を介
して回動自在に支持されている。前記回転軸６２の先端
には、回転軸６２内にスラリ４０等が流入するのを防止
する円筒状のキャップ７６が、ボルト７８、７８、…に
よって回転軸６２の端面にボルト止めされている。この
キャップ７６の外周面には、雄ネジ７６Ａが形成されて
いる。
基端部にはフランジ７２が形成されている。この回転軸
６２は、前記シャフト６０にベアリング７４、７４を介
して回動自在に支持されている。前記回転軸６２の先端
には、回転軸６２内にスラリ４０等が流入するのを防止
する円筒状のキャップ７６が、ボルト７８、７８、…に
よって回転軸６２の端面にボルト止めされている。この
キャップ７６の外周面には、雄ネジ７６Ａが形成されて
いる。
【００１８】前記キャップ７６の外周面に形成された雄
ネジ７６Ａには、リング８０の内周面に形成された雌ネ
ジ８０Ａが螺合する。このリング８０は、外径が前記回
転軸６２の外径よりも大径に形成され、外周面に前記雄
ネジ７６Ａに螺合させる際の滑り止め用の溝が多数形成
されている。前記ガイドローラ１８は、ポリウレタンゴ
ムやプラスチック等の合成樹脂材で形成され、外周部に
ワイヤ案内用のガイド溝８２、８２が２溝形成されてい
る。このように、ガイド溝８２、８２を２溝形成するこ
とにより、一方のガイド溝８２が磨耗したときに、ガイ
ドローラ１８を反転させて他方も利用することができ、
ガイドローラ１８の寿命を長くすることができる。ま
た、ガイドローラ１８の内径は、前記回転軸６２の軸部
の外径と略同径に形成され、装着時はこの内径部を前記
回転軸６２の軸部に挿入することにより行う。また、ガ
イドローラ１８の幅Ｄは、回転軸６２の軸部の長さｄよ
りも若干長めに形成されている。
ネジ７６Ａには、リング８０の内周面に形成された雌ネ
ジ８０Ａが螺合する。このリング８０は、外径が前記回
転軸６２の外径よりも大径に形成され、外周面に前記雄
ネジ７６Ａに螺合させる際の滑り止め用の溝が多数形成
されている。前記ガイドローラ１８は、ポリウレタンゴ
ムやプラスチック等の合成樹脂材で形成され、外周部に
ワイヤ案内用のガイド溝８２、８２が２溝形成されてい
る。このように、ガイド溝８２、８２を２溝形成するこ
とにより、一方のガイド溝８２が磨耗したときに、ガイ
ドローラ１８を反転させて他方も利用することができ、
ガイドローラ１８の寿命を長くすることができる。ま
た、ガイドローラ１８の内径は、前記回転軸６２の軸部
の外径と略同径に形成され、装着時はこの内径部を前記
回転軸６２の軸部に挿入することにより行う。また、ガ
イドローラ１８の幅Ｄは、回転軸６２の軸部の長さｄよ
りも若干長めに形成されている。
【００１９】前記の如く構成される本発明に係るワイヤ
ソーのガイドローラ取付構造の実施の形態の作用は次の
通りである。図３に示すように、まず、ガイドローラ１
８の内径部を回転軸６２に沿って挿入する。次に、リン
グ８０を回転軸６２の先端に形成された雄ネジ７６Ａに
螺合させる。この螺合作業は、作業者が手で行う。
ソーのガイドローラ取付構造の実施の形態の作用は次の
通りである。図３に示すように、まず、ガイドローラ１
８の内径部を回転軸６２に沿って挿入する。次に、リン
グ８０を回転軸６２の先端に形成された雄ネジ７６Ａに
螺合させる。この螺合作業は、作業者が手で行う。
【００２０】リング８０を螺合させてゆくと、リング８
０はガイドローラ１８の一方側の端面に当接するので、
更にリング８０螺合させてゆくと、ガイドローラ１８
は、リング８０によりフランジ７２に押しつけられて、
回転軸６２に固定される。前記の如く取り付けられたガ
イドローラ１８は、２つあるガイド溝８２、８２のうち
一方のガイド溝８２のみを使用する。そして、その一方
のガイド溝８２が磨耗したら、ガイドローラ１８を取り
外し、反転させて再び取り付け、他方のガイド溝８２を
使用する。このガイドローラ１８の反転作業は、まず、
リング１８を回転軸６２から取り外してガイドローラ１
８を取り外し、ガイドローラ１８を反転させた後、再び
回転軸６２に挿入して、リング８０を螺合させる。
０はガイドローラ１８の一方側の端面に当接するので、
更にリング８０螺合させてゆくと、ガイドローラ１８
は、リング８０によりフランジ７２に押しつけられて、
回転軸６２に固定される。前記の如く取り付けられたガ
イドローラ１８は、２つあるガイド溝８２、８２のうち
一方のガイド溝８２のみを使用する。そして、その一方
のガイド溝８２が磨耗したら、ガイドローラ１８を取り
外し、反転させて再び取り付け、他方のガイド溝８２を
使用する。このガイドローラ１８の反転作業は、まず、
リング１８を回転軸６２から取り外してガイドローラ１
８を取り外し、ガイドローラ１８を反転させた後、再び
回転軸６２に挿入して、リング８０を螺合させる。
【００２１】このように、本実施の形態のワイヤソーの
ガイドローラ取付構造によれば、ガイドローラ１８を回
転軸６２に挿入し、リング１８を回転軸６２に螺合させ
るという工具を用いない簡便な作業でガイドローラ１８
を回転軸６２に取り付けることができる。これにより、
ガイドローラ１８の取付作業及び交換作業を迅速に行な
うことができる。したがって、ワイヤソーの運転停止時
間を短縮化でき、稼働効率を向上させることができる。
ガイドローラ取付構造によれば、ガイドローラ１８を回
転軸６２に挿入し、リング１８を回転軸６２に螺合させ
るという工具を用いない簡便な作業でガイドローラ１８
を回転軸６２に取り付けることができる。これにより、
ガイドローラ１８の取付作業及び交換作業を迅速に行な
うことができる。したがって、ワイヤソーの運転停止時
間を短縮化でき、稼働効率を向上させることができる。
【００２２】なお、本実施の形態では、回転軸６２の先
端部に雄ネジ７６Ａを形成し、リング８０に雌ネジ８０
Ａを形成したが、図４に示すように、回転軸６２の先端
に環状の凹部８４を形成し、その凹部８４の外周面に雌
ネジ８４Ａを形成すると共に、リング８０の先端にその
雌ネジ８４Ａに螺合する環状の雄ネジ８０Ｂを形成して
もよい。これにより、本実施の形態と同様にガイドロー
ラ１８を回転軸６２に挿入し、リング１８を回転軸６２
に螺合させるという簡便な作業でガイドローラ１８を回
転軸６２に取り付けることができる。
端部に雄ネジ７６Ａを形成し、リング８０に雌ネジ８０
Ａを形成したが、図４に示すように、回転軸６２の先端
に環状の凹部８４を形成し、その凹部８４の外周面に雌
ネジ８４Ａを形成すると共に、リング８０の先端にその
雌ネジ８４Ａに螺合する環状の雄ネジ８０Ｂを形成して
もよい。これにより、本実施の形態と同様にガイドロー
ラ１８を回転軸６２に挿入し、リング１８を回転軸６２
に螺合させるという簡便な作業でガイドローラ１８を回
転軸６２に取り付けることができる。
【００２３】また、図５に示すように、円盤８６の一方
側の端面にリング状の押さえ部材８８を一体形成し、こ
の押さえ部材８８と回転軸６２に形成されたフランジ７
２とでガイドローラ１８を挟持するようにしてもよい。
このとき、円盤８６は、回転軸６２に対して蝶ボルト９
０でネジ止めする。
側の端面にリング状の押さえ部材８８を一体形成し、こ
の押さえ部材８８と回転軸６２に形成されたフランジ７
２とでガイドローラ１８を挟持するようにしてもよい。
このとき、円盤８６は、回転軸６２に対して蝶ボルト９
０でネジ止めする。
【００２４】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
ガイドローラを回転軸に挿入し、リングを回転軸に螺合
させるという簡便な作業でガイドローラを回転軸に取り
付けることができるので、ガイドローラの交換作業を迅
速に行なうことができる。
ガイドローラを回転軸に挿入し、リングを回転軸に螺合
させるという簡便な作業でガイドローラを回転軸に取り
付けることができるので、ガイドローラの交換作業を迅
速に行なうことができる。
【図１】ワイヤソーの全体構成図
【図２】本発明に係るワイヤソーのガイドローラ取付構
造の実施の形態の側面断面図
造の実施の形態の側面断面図
【図３】本発明に係るワイヤソーのガイドローラ取付構
造の実施の形態の説明図
造の実施の形態の説明図
【図４】本発明に係るワイヤソーのガイドローラ取付構
造の他の実施の形態の側面断面図
造の他の実施の形態の側面断面図
【図５】本発明に係るワイヤソーのガイドローラ取付構
造の他の実施の形態の側面断面図
造の他の実施の形態の側面断面図
【図６】従来のワイヤソーのガイドローラの構成を説明
する説明図
する説明図
１０…ワイヤソー １２、２６…ワイヤリール １４…ワイヤ １８…ガイドローラ ２２Ａ〜２２Ｃ…溝付ローラ ２４…ワイヤ列 ６０…シャフト ６２…回転軸 ６８…ワイヤソー本体フレーム ７２…フランジ ７６…キャップ ７６Ａ…雄ネジ ８０…リング ８０Ａ…雌ネジ ８２…ガイド溝
Claims (1)
- 【請求項１】 一対のワイヤリール間をガイドローラに
ガイドされて走行するワイヤを複数個の溝付ローラに巻
き掛けてワイヤ列を形成し、該ワイヤ列に被加工物を押
し当てることにより、前記被加工物を多数のウェーハに
切断するワイヤソーにおいて、 ワイヤソー本体に回動自在に支持されたフランジ付回転
軸の軸部にガイドローラを挿入するとともに、前記回転
軸の先端に形成されたネジ部にリングのネジ部を螺合
し、該リングと前記フランジ付回転軸のフランジ部とで
前記ガイドローラを挟持することにより該ガイドローラ
をワイヤソー本体に回動自在に支持することを特徴とす
るワイヤソーのガイドローラ取付構造
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26582195A JPH09109014A (ja) | 1995-10-13 | 1995-10-13 | ワイヤソーのガイドローラ取付構造 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26582195A JPH09109014A (ja) | 1995-10-13 | 1995-10-13 | ワイヤソーのガイドローラ取付構造 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09109014A true JPH09109014A (ja) | 1997-04-28 |
Family
ID=17422531
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP26582195A Pending JPH09109014A (ja) | 1995-10-13 | 1995-10-13 | ワイヤソーのガイドローラ取付構造 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09109014A (ja) |
Cited By (4)
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1995
- 1995-10-13 JP JP26582195A patent/JPH09109014A/ja active Pending
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