JPH0969751A - 弾性表面波フィルタ - Google Patents
弾性表面波フィルタInfo
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- JPH0969751A JPH0969751A JP7222139A JP22213995A JPH0969751A JP H0969751 A JPH0969751 A JP H0969751A JP 7222139 A JP7222139 A JP 7222139A JP 22213995 A JP22213995 A JP 22213995A JP H0969751 A JPH0969751 A JP H0969751A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 素子寸法を小さくすることができ、かつより
広帯域の縦結合型のＳＡＷフィルタを得る。 【解決手段】 圧電基板１２上に、入力側の第１のＩＤ
Ｔ１３と、出力側の第２のＩＤＴ１４とを形成してな
り、圧電基板１２の対向２端面１２ａ，１２ｂ間でＳＨ
タイプの表面波を反射させることにより定在波を発生さ
せるように構成されたＳＨタイプの表面波を利用した縦
結合型二重モードＳＡＷフィルタ１１。
広帯域の縦結合型のＳＡＷフィルタを得る。 【解決手段】 圧電基板１２上に、入力側の第１のＩＤ
Ｔ１３と、出力側の第２のＩＤＴ１４とを形成してな
り、圧電基板１２の対向２端面１２ａ，１２ｂ間でＳＨ
タイプの表面波を反射させることにより定在波を発生さ
せるように構成されたＳＨタイプの表面波を利用した縦
結合型二重モードＳＡＷフィルタ１１。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、ＳＨタイプの表面
波を利用した弾性表面波フィルタに関し、特に、縦結合
型の弾性表面波（以下、ＳＡＷと略す。）フィルタに関
する。
波を利用した弾性表面波フィルタに関し、特に、縦結合
型の弾性表面波（以下、ＳＡＷと略す。）フィルタに関
する。
【０００２】
【従来の技術】従来、表面波を利用した縦結合型の二重
モードＳＡＷフィルタが知られている。この種の縦結合
型のＳＡＷフィルタの一例を、図１を参照して説明す
る。 図１に示すように、ＳＡＷフィルタ１は、矩形の
圧電基板２上に、第１，第２のインターデジタルトラン
スデューサ（以下、ＩＤＴと略す。）３，４を配置し、
かつ両側に反射器５，６を形成した構造を有する。ＩＤ
Ｔ３は、それぞれが複数本の電極指を有する一対のくし
歯電極３ａ，３ｂを有する。くし歯電極３ａと、くし歯
電極３ｂとは、互いの電極指が間挿し合うように配置さ
れている。同様に、ＩＤＴ４は、一対のくし歯電極４
ａ，４ｂからなる。
モードＳＡＷフィルタが知られている。この種の縦結合
型のＳＡＷフィルタの一例を、図１を参照して説明す
る。 図１に示すように、ＳＡＷフィルタ１は、矩形の
圧電基板２上に、第１，第２のインターデジタルトラン
スデューサ（以下、ＩＤＴと略す。）３，４を配置し、
かつ両側に反射器５，６を形成した構造を有する。ＩＤ
Ｔ３は、それぞれが複数本の電極指を有する一対のくし
歯電極３ａ，３ｂを有する。くし歯電極３ａと、くし歯
電極３ｂとは、互いの電極指が間挿し合うように配置さ
れている。同様に、ＩＤＴ４は、一対のくし歯電極４
ａ，４ｂからなる。
【０００３】ＩＤＴ３，４では、隣合う電極指の間の間
隔がλ／４、各電極指の幅がλ／４とされている。な
お、λは、励振される表面波の波長を示す。また、ＩＤ
Ｔ３とＩＤＴ４の隣合う電極指間の間隔は、λ／４とさ
れている。
隔がλ／４、各電極指の幅がλ／４とされている。な
お、λは、励振される表面波の波長を示す。また、ＩＤ
Ｔ３とＩＤＴ４の隣合う電極指間の間隔は、λ／４とさ
れている。
【０００４】ＳＡＷフィルタ１では、ＩＤＴ３の一方の
くし歯電極３ａが入力端、他方のＩＤＴ４の一方のくし
歯電極４ａが出力端ＯＵＴとされている。また、くし歯
電極３ｂ，４ｂは、アース電位に接続される。
くし歯電極３ａが入力端、他方のＩＤＴ４の一方のくし
歯電極４ａが出力端ＯＵＴとされている。また、くし歯
電極３ｂ，４ｂは、アース電位に接続される。
【０００５】従って、ＩＤＴ３に入力電圧が引加された
場合、ＩＤＴ３において表面波が励振され、励振された
表面波は、電極指の延びる方向と直交する方向に伝搬
し、反射器５，６間で反射され、定在波となる。この定
在波に基づく出力が、ＩＤＴ４で取り出される。
場合、ＩＤＴ３において表面波が励振され、励振された
表面波は、電極指の延びる方向と直交する方向に伝搬
し、反射器５，６間で反射され、定在波となる。この定
在波に基づく出力が、ＩＤＴ４で取り出される。
【０００６】この場合、上記ＳＡＷフィルタ１では、表
面波として、図２に実線Ａで示す基本モードと、破線Ｂ
で示す高次モード（反対称モード）とが発生され、従っ
て、ＳＡＷフィルタ１は、縦結合型の二重モードＳＡＷ
フィルタとして動作する。
面波として、図２に実線Ａで示す基本モードと、破線Ｂ
で示す高次モード（反対称モード）とが発生され、従っ
て、ＳＡＷフィルタ１は、縦結合型の二重モードＳＡＷ
フィルタとして動作する。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、図１に
示した縦結合型のＳＡＷフィルタ１は、上記のように反
射器５，６間において表面波を反射させて定在波とする
構造を有するため、反射器５，６が設けられている分だ
け全体の寸法が大きくならざるを得なかった。また、従
来のＳＡＷフィルタ１では、圧電基板２の電気機械結合
係数がさほど大きくないため、狭い帯域のフィルタしか
構成することができないという問題があった。
示した縦結合型のＳＡＷフィルタ１は、上記のように反
射器５，６間において表面波を反射させて定在波とする
構造を有するため、反射器５，６が設けられている分だ
け全体の寸法が大きくならざるを得なかった。また、従
来のＳＡＷフィルタ１では、圧電基板２の電気機械結合
係数がさほど大きくないため、狭い帯域のフィルタしか
構成することができないという問題があった。
【０００８】本発明の目的は、全体の寸法を小さくする
ことができ、かつより広い帯域特性を有する縦結合型の
二重モードＳＡＷフィルタを提供することにある。
ことができ、かつより広い帯域特性を有する縦結合型の
二重モードＳＡＷフィルタを提供することにある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】本発明は、上記課題を達
成するためになされたものであり、本発明の広い局面に
よれば、対向２端面を有する圧電基板と、前記圧電基板
上に形成されており、かつ電極指が前記端面と平行な方
向に延ばされた第１，第２のインターデジタルトランス
デューサとを備え、前記対向２端面間でＳＨタイプの表
面波が反射されるように構成されている、端面反射型の
ＳＨタイプの表面波を利用した縦結合型の二重モードＳ
ＡＷフィルタが提供される。
成するためになされたものであり、本発明の広い局面に
よれば、対向２端面を有する圧電基板と、前記圧電基板
上に形成されており、かつ電極指が前記端面と平行な方
向に延ばされた第１，第２のインターデジタルトランス
デューサとを備え、前記対向２端面間でＳＨタイプの表
面波が反射されるように構成されている、端面反射型の
ＳＨタイプの表面波を利用した縦結合型の二重モードＳ
ＡＷフィルタが提供される。
【００１０】本発明のＳＡＷフィルタは、上記のよう
に、ＳＨタイプの表面波を利用した縦結合型の二重モー
ドＳＡＷフィルタである。本明細書において、ＳＨタイ
プの表面波とは、変位が表面波伝搬方向と垂直であり、
基板表面と平行な方向の成分を主成分とする表面波を広
く含むものとし、このようなＳＨタイプの表面波とし
て、ＳＨタイプのリーキー波、ラブ波、ＢＧＳ波などを
例示することができる。
に、ＳＨタイプの表面波を利用した縦結合型の二重モー
ドＳＡＷフィルタである。本明細書において、ＳＨタイ
プの表面波とは、変位が表面波伝搬方向と垂直であり、
基板表面と平行な方向の成分を主成分とする表面波を広
く含むものとし、このようなＳＨタイプの表面波とし
て、ＳＨタイプのリーキー波、ラブ波、ＢＧＳ波などを
例示することができる。
【００１１】本発明では、縦結合型の二重モードＳＡＷ
フィルタを構成するために、上記対向２端面を有する圧
電基板上に、第１，第２のＩＤＴが形成されている。ま
た、上記ＳＨタイプの表面波を利用した端面反射型の表
面波装置として構成されているので、圧電基板の対向２
端面間で表面波が反射され、定在波となる。
フィルタを構成するために、上記対向２端面を有する圧
電基板上に、第１，第２のＩＤＴが形成されている。ま
た、上記ＳＨタイプの表面波を利用した端面反射型の表
面波装置として構成されているので、圧電基板の対向２
端面間で表面波が反射され、定在波となる。
【００１２】本発明のＳＡＷフィルタは、上記のように
端面反射型の表面波装置として構成されているので、Ｉ
ＤＴの外側に反射器を構成する必要がない。よって、圧
電基板のサイズを小さくし得るため、小型の縦結合型の
二重モードＳＡＷフィルタを構成することができる。ま
た、反射器を設けた構造の場合には、反射器における損
失が存在するため、広帯域のフィルタを構成することが
困難であったのに対し、本発明のＳＡＷフィルタは反射
器を有しないため、反射器による損失が発生しない。従
って、同じ電気機械結合係数の圧電基板を用いた場合、
従来に比べて広い帯域特性を有するＳＡＷフィルタを構
成し得る。
端面反射型の表面波装置として構成されているので、Ｉ
ＤＴの外側に反射器を構成する必要がない。よって、圧
電基板のサイズを小さくし得るため、小型の縦結合型の
二重モードＳＡＷフィルタを構成することができる。ま
た、反射器を設けた構造の場合には、反射器における損
失が存在するため、広帯域のフィルタを構成することが
困難であったのに対し、本発明のＳＡＷフィルタは反射
器を有しないため、反射器による損失が発生しない。従
って、同じ電気機械結合係数の圧電基板を用いた場合、
従来に比べて広い帯域特性を有するＳＡＷフィルタを構
成し得る。
【００１３】また、本発明においては、好ましくは、上
記圧電基板の第１，第２のＩＤＴが形成されている側と
は反対側の面が荒らされ、それによって圧電基板の第
１，第２のＩＤＴが形成されている側の面と反対側の面
で反射されるバルク波の影響を低減することができる。
その結果、不要スプリアスを低減することができる。
記圧電基板の第１，第２のＩＤＴが形成されている側と
は反対側の面が荒らされ、それによって圧電基板の第
１，第２のＩＤＴが形成されている側の面と反対側の面
で反射されるバルク波の影響を低減することができる。
その結果、不要スプリアスを低減することができる。
【００１４】また、本発明の特定的な局面によれば、第
１，第２のＩＤＴの電極指のうち、表面波伝搬方向外側
端に存在する、すなわち対向し合っている端面に最も近
い、電極指の幅が、表面波の波長λとしたときに、λ／
８〜７λ／１６の範囲とされ、それによって、後述の実
施例から明らかなように、通過帯域内におけるリップル
を効果的に低減することができる。また、基板の対向２
端面間の距離Ｌは、
１，第２のＩＤＴの電極指のうち、表面波伝搬方向外側
端に存在する、すなわち対向し合っている端面に最も近
い、電極指の幅が、表面波の波長λとしたときに、λ／
８〜７λ／１６の範囲とされ、それによって、後述の実
施例から明らかなように、通過帯域内におけるリップル
を効果的に低減することができる。また、基板の対向２
端面間の距離Ｌは、
【００１５】
【数２】
【００１６】とすればよく、同様に通過帯域内における
リップルを効果的に低減し得る。
リップルを効果的に低減し得る。
【００１７】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照しつつ本発明の
実施形態につき説明する。図３は、本発明の一実施形態
にかかるＳＡＷフィルタの平面図を、図４は図３のＣ−
Ｃ線に沿う断面図である。
実施形態につき説明する。図３は、本発明の一実施形態
にかかるＳＡＷフィルタの平面図を、図４は図３のＣ−
Ｃ線に沿う断面図である。
【００１８】ＳＡＷフィルタ１１は、平面形状が矩形の
圧電基板１２を用いて構成されている。圧電基板１２
は、例えば、ＬｉＴａＯ3 圧電単結晶、ＬｉＮｂＯ3 圧
電単結晶などの圧電単結晶やＰＺＴ系などの圧電セラミ
ックスにより構成され得る。
圧電基板１２を用いて構成されている。圧電基板１２
は、例えば、ＬｉＴａＯ3 圧電単結晶、ＬｉＮｂＯ3 圧
電単結晶などの圧電単結晶やＰＺＴ系などの圧電セラミ
ックスにより構成され得る。
【００１９】圧電基板１２は、その分極軸が図示の矢印
Ｐ方向となるように構成されている。圧電基板１２は、
対向し合う一対の端面１２ａ，１２ｂを有する。
Ｐ方向となるように構成されている。圧電基板１２は、
対向し合う一対の端面１２ａ，１２ｂを有する。
【００２０】また、圧電基板１２上には、第１，第２の
ＩＤＴ１３，１４が形成されている。ＩＤＴ１３は、く
し歯電極１３ａとくし歯電極１３ｂとを有する。くし歯
電極１３ａ，１３ｂは、それぞれ、複数本の電極指を有
し、くし歯電極１３ａの電極指と、くし歯電極１３ｂの
電極指とは互いに間挿し合うように配置されている。ま
た、ＩＤＴ１３の表面波伝搬方向において最も外側の電
極指１３ｃは、その幅が、λ／８〜７λ／１６の範囲と
なるように形成されている。残りの電極指は、全て、λ
／４の幅を有し、かつ隣り合う電極指間の間隔もλ／４
とされている。
ＩＤＴ１３，１４が形成されている。ＩＤＴ１３は、く
し歯電極１３ａとくし歯電極１３ｂとを有する。くし歯
電極１３ａ，１３ｂは、それぞれ、複数本の電極指を有
し、くし歯電極１３ａの電極指と、くし歯電極１３ｂの
電極指とは互いに間挿し合うように配置されている。ま
た、ＩＤＴ１３の表面波伝搬方向において最も外側の電
極指１３ｃは、その幅が、λ／８〜７λ／１６の範囲と
なるように形成されている。残りの電極指は、全て、λ
／４の幅を有し、かつ隣り合う電極指間の間隔もλ／４
とされている。
【００２１】同様に、ＩＤＴ１４は、一対のくし歯電極
１４ａ，１４ｂを有する。くし歯電極１４ａ，１４ｂ
は、くし歯電極１３ａ，１３ｂと同様に構成されてい
る。また、ＩＤＴ１４においても、表面波伝搬方向にお
いて最も外側に位置する電極指１４ｃの幅は、λ／８〜
７λ／１６の間の大きさを有するように構成されてい
る。
１４ａ，１４ｂを有する。くし歯電極１４ａ，１４ｂ
は、くし歯電極１３ａ，１３ｂと同様に構成されてい
る。また、ＩＤＴ１４においても、表面波伝搬方向にお
いて最も外側に位置する電極指１４ｃの幅は、λ／８〜
７λ／１６の間の大きさを有するように構成されてい
る。
【００２２】さらに、ＩＤＴ１３とＩＤＴ１４との間の
間隔、すなわち、ＩＤＴ１３の最も内側の電極指と、Ｉ
ＤＴ１４の最も内側の電極指との間の間隔Ｄも、λ／４
の幅とされている。
間隔、すなわち、ＩＤＴ１３の最も内側の電極指と、Ｉ
ＤＴ１４の最も内側の電極指との間の間隔Ｄも、λ／４
の幅とされている。
【００２３】上記ＩＤＴ１３のくし歯電極１３ａ，１３
ｂ間に入力電圧を引加した場合、ＢＧＳ波が励振され、
励振されたＢＧＳ波は、端面１２ａと端面１２ｂとを結
ぶ方向に伝搬し、端面１２ａ，１２ｂで反射されてさら
に表面波の基本波と高次モードの波とが結合して、定在
波が端面１２ａ，１２ｂ間に発生する。
ｂ間に入力電圧を引加した場合、ＢＧＳ波が励振され、
励振されたＢＧＳ波は、端面１２ａと端面１２ｂとを結
ぶ方向に伝搬し、端面１２ａ，１２ｂで反射されてさら
に表面波の基本波と高次モードの波とが結合して、定在
波が端面１２ａ，１２ｂ間に発生する。
【００２４】上記定在波に基づく出力は、ＩＤＴ１４の
くし歯電極１４ａ，１４ｂ間で取り出される。従って、
くし歯電極１３ｂ，１４ｂをアース電位に接続し、くし
歯電極１３ａを入力端、くし歯電極１４ａを出力端とし
て用いることにより、ＢＧＳ波を利用した縦結合二重モ
ードＳＡＷフィルタとして、ＳＡＷフィルタ１１を動作
させることができる。
くし歯電極１４ａ，１４ｂ間で取り出される。従って、
くし歯電極１３ｂ，１４ｂをアース電位に接続し、くし
歯電極１３ａを入力端、くし歯電極１４ａを出力端とし
て用いることにより、ＢＧＳ波を利用した縦結合二重モ
ードＳＡＷフィルタとして、ＳＡＷフィルタ１１を動作
させることができる。
【００２５】上記のように、本実施形態のＳＡＷフィル
タ１１では、ＩＤＴ１３，１４の外側に反射器を設ける
必要がない。従って、圧電基板１２として小型のものを
用いることができ、ＳＡＷフィルタのサイズの低減を図
り得ることがわかる。また、反射器を用いないため、反
射器による挿入損失の増大を避けることができ、従っ
て、広帯域のＳＡＷフィルタを実現し得ることがわか
る。
タ１１では、ＩＤＴ１３，１４の外側に反射器を設ける
必要がない。従って、圧電基板１２として小型のものを
用いることができ、ＳＡＷフィルタのサイズの低減を図
り得ることがわかる。また、反射器を用いないため、反
射器による挿入損失の増大を避けることができ、従っ
て、広帯域のＳＡＷフィルタを実現し得ることがわか
る。
【００２６】なお、本実施形態のＳＡＷフィルタ１１に
おいて、表面波伝搬方向両側に位置する電極指１３ｃ，
１４ｃの幅を上記特定の範囲としたのは、後述の具体的
な実施例から明らかなように、上記範囲の幅とすること
により、通過帯域内におけるリップルを抑制し得るから
である。
おいて、表面波伝搬方向両側に位置する電極指１３ｃ，
１４ｃの幅を上記特定の範囲としたのは、後述の具体的
な実施例から明らかなように、上記範囲の幅とすること
により、通過帯域内におけるリップルを抑制し得るから
である。
【００２７】また、図５に示すように、ＳＡＷフィルタ
では、圧電基板１２の裏面において、複数の溝１５，１
６が形成されている。これらの溝１５，１６を形成する
ことにより、ＩＤＴ１３，１４が形成されている側とは
反対側の圧電基板面が荒らされており、それによってパ
ルク波に起因するフィルタ特性に現れる不要スプリアス
を抑制し得る。
では、圧電基板１２の裏面において、複数の溝１５，１
６が形成されている。これらの溝１５，１６を形成する
ことにより、ＩＤＴ１３，１４が形成されている側とは
反対側の圧電基板面が荒らされており、それによってパ
ルク波に起因するフィルタ特性に現れる不要スプリアス
を抑制し得る。
【００２８】なお、本実施形態では、上記複数本の溝１
５，１６を形成することにより圧電基板１２の裏面を荒
らしていたが、圧電基板１２の裏面を荒らす方法は、そ
の他、圧電基板１２の裏面にランダムな凹部を形成した
り、圧電基板１２の裏面を研磨材や研磨装置を用いて研
磨することにより行ってもよい。
５，１６を形成することにより圧電基板１２の裏面を荒
らしていたが、圧電基板１２の裏面を荒らす方法は、そ
の他、圧電基板１２の裏面にランダムな凹部を形成した
り、圧電基板１２の裏面を研磨材や研磨装置を用いて研
磨することにより行ってもよい。
【００２９】なお、本実施形態では、ＢＧＳ波を利用し
たＳＡＷフィルタ１１につき説明したが、ＢＧＳ波では
なく、ラブ波や漏洩弾性波などの他のＳＨタイプの表面
波を利用してもよい。特に、漏洩弾性波については、反
射器を有する従来の縦結合型ＳＡＷフィルタでは、表面
波エネルギーの損失が大きくなるため、使用することが
できなかったが、本実施形態のＳＡＷフィルタでは、端
面１２ａ，１２ｂ間で反射されて表面波エネルギーの低
下が防止されるため、上記漏洩弾性表面波を用いてＳＡ
Ｗフィルタ１１を構成することができる。
たＳＡＷフィルタ１１につき説明したが、ＢＧＳ波では
なく、ラブ波や漏洩弾性波などの他のＳＨタイプの表面
波を利用してもよい。特に、漏洩弾性波については、反
射器を有する従来の縦結合型ＳＡＷフィルタでは、表面
波エネルギーの損失が大きくなるため、使用することが
できなかったが、本実施形態のＳＡＷフィルタでは、端
面１２ａ，１２ｂ間で反射されて表面波エネルギーの低
下が防止されるため、上記漏洩弾性表面波を用いてＳＡ
Ｗフィルタ１１を構成することができる。
【００３０】
【実施例の説明】以下、本発明の具体的な実施例につき
説明する。図３及び図４で示したＳＡＷ装置１１の実施
例として、以下の仕様のものを作製した。
説明する。図３及び図４で示したＳＡＷ装置１１の実施
例として、以下の仕様のものを作製した。
【００３１】実施例１ 圧電基板１２…チタン酸ジルコン酸鉛系圧電セラミック
スからなり、１．３×０．８×厚み０．５ｍｍの寸法の
ものを用いた。
スからなり、１．３×０．８×厚み０．５ｍｍの寸法の
ものを用いた。
【００３２】ＩＤＴ１３，１４…アルミニウムを圧電基
板１２上に全面に蒸着し、マスクを用いてエッチングす
ることにより形成した。なお、ＩＤＴ１３，１４におけ
る電極指の対数は、何れも７であり、各電極指は、電極
指１３ｃ，１４ｃを除いて幅が３０．３μｍ、電極指間
の中心間距離は６０．６μｍとし、両側の電極指１３
ｃ，１４ｃの幅は２２μｍとした。
板１２上に全面に蒸着し、マスクを用いてエッチングす
ることにより形成した。なお、ＩＤＴ１３，１４におけ
る電極指の対数は、何れも７であり、各電極指は、電極
指１３ｃ，１４ｃを除いて幅が３０．３μｍ、電極指間
の中心間距離は６０．６μｍとし、両側の電極指１３
ｃ，１４ｃの幅は２２μｍとした。
【００３３】実施例１のＳＡＷフィルタの挿入損失−周
波数特性を図６に示す。図６から明らかなように、実施
例１のＳＡＷフィルタでは、通過帯域が２０．９〜２
１．９ＭＨｚである帯域フィルタを構成し得ることがわ
かる。また、図６に示した特性を拡大して観察したとこ
ろ、通過帯域内における挿入損失は１．３ｄＢであり、
３ｄＢ帯域幅（すなわち、挿入損失が３ｄＢまでの範囲
となる帯域幅）はフィルタの中心周波数に対して４．５
％の帯域となっていることが確かめられた。
波数特性を図６に示す。図６から明らかなように、実施
例１のＳＡＷフィルタでは、通過帯域が２０．９〜２
１．９ＭＨｚである帯域フィルタを構成し得ることがわ
かる。また、図６に示した特性を拡大して観察したとこ
ろ、通過帯域内における挿入損失は１．３ｄＢであり、
３ｄＢ帯域幅（すなわち、挿入損失が３ｄＢまでの範囲
となる帯域幅）はフィルタの中心周波数に対して４．５
％の帯域となっていることが確かめられた。
【００３４】実施例２ 圧電基板１２の裏面に溝１５，１６を形成しなかったこ
と以外は、実施例１と同様の条件で実施例２のＳＡＷフ
ィルタを作製し、その挿入損失−周波数特性を測定し
た。結果を図７に示す。
と以外は、実施例１と同様の条件で実施例２のＳＡＷフ
ィルタを作製し、その挿入損失−周波数特性を測定し
た。結果を図７に示す。
【００３５】図７を図６と比較すれば明らかなように、
圧電基板１２の裏面側において溝加工を行わなかった実
施例２のＳＡＷフィルタでは、通過帯域内において矢印
Ｘで示すリップルの発生していることが認められる。
圧電基板１２の裏面側において溝加工を行わなかった実
施例２のＳＡＷフィルタでは、通過帯域内において矢印
Ｘで示すリップルの発生していることが認められる。
【００３６】もっとも、この図７に示す特性において
も、実施例１の場合と同様に、通過帯域、すなわち３ｄ
Ｂ帯域幅は４．５％と大きく、かつ通過帯域における挿
入損失も１．３ｄＢと小さいことが確かめられている。
も、実施例１の場合と同様に、通過帯域、すなわち３ｄ
Ｂ帯域幅は４．５％と大きく、かつ通過帯域における挿
入損失も１．３ｄＢと小さいことが確かめられている。
【００３７】実施例３ 表面波伝搬方向両端に位置する電極指１３ｃ，１４ｃの
幅を７．６μｍ、すなわちλ／１６としたことを除いて
は、実施例１のＳＡＷフィルタと同様にして実施例３の
ＳＡＷフィルタを作製した。この実施例３のＳＡＷフィ
ルタの減衰量−周波数特性を測定したところ、図８に示
す結果が得られた。
幅を７．６μｍ、すなわちλ／１６としたことを除いて
は、実施例１のＳＡＷフィルタと同様にして実施例３の
ＳＡＷフィルタを作製した。この実施例３のＳＡＷフィ
ルタの減衰量−周波数特性を測定したところ、図８に示
す結果が得られた。
【００３８】図８から明らかなように、通過帯域は２
０．９〜２１．９ＭＨｚであり、通過帯域の指標となる
３ｄＢ帯域幅は実施例１のＳＡＷフィルタと同様に４．
５％と大きかった。従って、本実施例においても広帯域
のＳＡＷフィルタを実現し得ることがわかる。また、通
過帯域内における挿入損失についても、１．５ｄＢであ
り、従って、実施例１のＳＡＷフィルタと同等のフィル
タ特性が得られることがわかる。
０．９〜２１．９ＭＨｚであり、通過帯域の指標となる
３ｄＢ帯域幅は実施例１のＳＡＷフィルタと同様に４．
５％と大きかった。従って、本実施例においても広帯域
のＳＡＷフィルタを実現し得ることがわかる。また、通
過帯域内における挿入損失についても、１．５ｄＢであ
り、従って、実施例１のＳＡＷフィルタと同等のフィル
タ特性が得られることがわかる。
【００３９】もっとも、実施例３のＳＡＷフィルタで
は、通過帯域内において、矢印Ｙで示すリップルがいく
らか発生していることが認められた。実施例１〜３の結
果から明らかなように、本発明によれば、広い通過帯域
を有するＳＡＷフィルタを構成し得ることがわかる。
は、通過帯域内において、矢印Ｙで示すリップルがいく
らか発生していることが認められた。実施例１〜３の結
果から明らかなように、本発明によれば、広い通過帯域
を有するＳＡＷフィルタを構成し得ることがわかる。
【００４０】また、実施例１の結果から明らかなよう
に、圧電基板の裏面を荒らした場合には、不要スプリア
スを抑制することができ、さらに両端の電極指１３ｃ，
１４ｃの幅を２２μｍ（３λ／１６）とすることによ
り、通過帯域内のリップルを効果的に抑制し得ることも
わかる。なお、本願発明者の実験によれば、上記両端の
電極指１３ｃ，１４ｃ幅を変更して種々のＳＡＷフィル
タを同様にして作製し、特性を評価したところ、前述し
たように、該幅を、λ／８〜７λ／１６の間に設定する
ことにより、図６に示した特性と同様に通過帯域内のリ
ップルを効果的に抑制し得ることが確かめられている。
に、圧電基板の裏面を荒らした場合には、不要スプリア
スを抑制することができ、さらに両端の電極指１３ｃ，
１４ｃの幅を２２μｍ（３λ／１６）とすることによ
り、通過帯域内のリップルを効果的に抑制し得ることも
わかる。なお、本願発明者の実験によれば、上記両端の
電極指１３ｃ，１４ｃ幅を変更して種々のＳＡＷフィル
タを同様にして作製し、特性を評価したところ、前述し
たように、該幅を、λ／８〜７λ／１６の間に設定する
ことにより、図６に示した特性と同様に通過帯域内のリ
ップルを効果的に抑制し得ることが確かめられている。
【００４１】なお、以上は電極指とギャップが同幅に形
成されたものであるが、これに限らず、異なる幅でもよ
い。その場合、基板の対向２端面間の距離Ｌを前述した
式（１）を満たすように形成すれば同様の効果の得られ
ることが本願発明者により確かめられている。
成されたものであるが、これに限らず、異なる幅でもよ
い。その場合、基板の対向２端面間の距離Ｌを前述した
式（１）を満たすように形成すれば同様の効果の得られ
ることが本願発明者により確かめられている。
【００４２】
【発明の効果】本発明によれば、ＳＨタイプの表面波を
利用し、しかも端面反射型の表面波装置として縦結合型
二重モードＳＡＷフィルタが構成されているため、ＩＤ
Ｔの両側に反射器を設ける必要がない。従って、反射器
を設ける必要がない分だけ、ＳＡＷフィルタのサイズを
小さくすることが可能となる。
利用し、しかも端面反射型の表面波装置として縦結合型
二重モードＳＡＷフィルタが構成されているため、ＩＤ
Ｔの両側に反射器を設ける必要がない。従って、反射器
を設ける必要がない分だけ、ＳＡＷフィルタのサイズを
小さくすることが可能となる。
【００４３】加えて、反射器を用いないため、反射器に
よる挿入損失の増大を避けることができ、それによって
従来の縦結合型の二重モードＳＡＷフィルタに比べて、
挿入損失が小さく、従って広帯域のＳＡＷフィルタを実
現し得ることが可能となる。
よる挿入損失の増大を避けることができ、それによって
従来の縦結合型の二重モードＳＡＷフィルタに比べて、
挿入損失が小さく、従って広帯域のＳＡＷフィルタを実
現し得ることが可能となる。
【図１】従来の縦結合型二重モードＳＡＷフィルタの一
例を説明するための模式的平面図。
例を説明するための模式的平面図。
【図２】従来の縦結合型二重モードＳＡＷフィルタで励
振される表面波を説明するための模式図。
振される表面波を説明するための模式図。
【図３】本発明の一実施形態にかかるＳＡＷフィルタを
示す平面図。
示す平面図。
【図４】図３のＣ−Ｃ線に沿う断面図。
【図５】図３に示したＳＡＷフィルタの底面図。
【図６】実施例１のＳＡＷフィルタの挿入損失−周波数
特性を示す図。
特性を示す図。
【図７】実施例２のＳＡＷフィルタの挿入損失−周波数
特性を示す図。
特性を示す図。
【図８】実施例３のＳＡＷフィルタの挿入損失−周波数
特性を示す図。
特性を示す図。
１１…ＳＡＷフィルタ １２…圧電基板 １２ａ，１２ｂ…端面 １３，１４…ＩＤＴ １３ａ，１３ｂ，１４ａ，１４ｂ…くし歯電極 １３ｃ，１４ｃ…表面波伝搬方向外側端の電極指 １５，１６…溝
Claims (4)
- 【請求項１】 対向２端面を有する圧電基板と、 前記圧電基板上に形成されており、かつ電極指が前記端
面と平行な方向に延ばされた第１，第２のインターデジ
タルトランスデューサとを備え、 前記対向２端面間でＳＨタイプの表面波が反射されるよ
うに構成されている、端面反射型のＳＨタイプの表面波
を利用した縦結合型の弾性表面波フィルタ。 - 【請求項２】 前記圧電基板の第１，第２のインターデ
ジタルトランスデューサが形成されている面と反対側の
面が荒らされていることを特徴とする、請求項１に記載
の弾性表面波フィルタ。 - 【請求項３】 前記第１，第２のインターデジタルトラ
ンスデューサの電極指のうち、表面波伝搬方向において
外側端に存在する電極指の幅が、表面波の波長λとした
ときに、λ／８から７λ／１６の範囲内の大きさとされ
ている、請求項１または２に記載の弾性表面波フィル
タ。 - 【請求項４】 基板端面の長さＬは、 【数１】 の範囲にあることを特徴とする請求項１または２に記載
の弾性表面波フィルタ。
Priority Applications (7)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7222139A JPH0969751A (ja) | 1995-08-30 | 1995-08-30 | 弾性表面波フィルタ |
| TW086210389U TW327010U (en) | 1995-08-30 | 1996-08-23 | Acoustic surface wave filter |
| SG1996010540A SG73987A1 (en) | 1995-08-30 | 1996-08-28 | Acoustic surface wave filter |
| EP96113760A EP0762643B1 (en) | 1995-08-30 | 1996-08-28 | Acoustic surface wave filter |
| DE69620524T DE69620524T2 (de) | 1995-08-30 | 1996-08-28 | Oberflächenwellenfilter |
| US08/704,942 US5838217A (en) | 1995-08-30 | 1996-08-30 | Longitudinally coupling acoustic surface wave double mode filter utilizing end-face reflecting waves |
| KR1019960037140A KR100198161B1 (ko) | 1995-08-30 | 1996-08-30 | 탄성 표면파 필터 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7222139A JPH0969751A (ja) | 1995-08-30 | 1995-08-30 | 弾性表面波フィルタ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0969751A true JPH0969751A (ja) | 1997-03-11 |
Family
ID=16777793
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7222139A Pending JPH0969751A (ja) | 1995-08-30 | 1995-08-30 | 弾性表面波フィルタ |
Country Status (7)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5838217A (ja) |
| EP (1) | EP0762643B1 (ja) |
| JP (1) | JPH0969751A (ja) |
| KR (1) | KR100198161B1 (ja) |
| DE (1) | DE69620524T2 (ja) |
| SG (1) | SG73987A1 (ja) |
| TW (1) | TW327010U (ja) |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6297712B1 (en) * | 1998-05-21 | 2001-10-02 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Multi-mode edge reflection saw filter device with ground electrodes between stages, duplexer, and communication device |
| US6346864B1 (en) | 1999-02-19 | 2002-02-12 | Murata Manufacturing Co., Ltd | Saw resonator filter and duplexer utilizing SH waves, substrate edge reflection, and sub-interdigital transducer portions |
| US6373167B1 (en) | 1999-11-09 | 2002-04-16 | Nec Corporation | Surface acoustic wave filter |
| US7038353B2 (en) | 2001-01-10 | 2006-05-02 | Seiko Epson Corporation | Surface acoustic wave device and method of manufacturing the same |
| KR100609965B1 (ko) * | 2001-04-16 | 2006-08-04 | 가부시키가이샤 무라타 세이사쿠쇼 | 탄성표면파 장치 및 통신 장치 |
| WO2015005267A1 (ja) * | 2013-07-08 | 2015-01-15 | 株式会社村田製作所 | 弾性波装置 |
| JP2015106857A (ja) * | 2013-11-29 | 2015-06-08 | 太陽誘電株式会社 | 弾性波素子 |
| JPWO2015137054A1 (ja) * | 2014-03-14 | 2017-04-06 | 株式会社村田製作所 | 弾性波装置 |
Families Citing this family (20)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3233087B2 (ja) * | 1997-01-20 | 2001-11-26 | 株式会社村田製作所 | 弾性表面波フィルタ |
| JP3171144B2 (ja) * | 1997-07-07 | 2001-05-28 | 株式会社村田製作所 | 表面波装置 |
| US5986523A (en) * | 1997-08-29 | 1999-11-16 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Edge reflection type longitudinally coupled surface acoustic wave filter |
| JP3206548B2 (ja) * | 1998-05-14 | 2001-09-10 | 株式会社村田製作所 | 表面波フィルタ、共用器、通信機装置 |
| JP3341709B2 (ja) * | 1998-06-01 | 2002-11-05 | 株式会社村田製作所 | 表面波装置及びそれを用いた通信装置 |
| JP3298538B2 (ja) * | 1999-02-16 | 2002-07-02 | 株式会社村田製作所 | 端面反射縦結合型ｓａｗ共振子フィルタ |
| JP3341699B2 (ja) | 1999-02-18 | 2002-11-05 | 株式会社村田製作所 | 端面反射型表面波装置 |
| JP3587354B2 (ja) * | 1999-03-08 | 2004-11-10 | 株式会社村田製作所 | 横結合共振子型表面波フィルタ及び縦結合共振子型表面波フィルタ |
| JP2000278091A (ja) * | 1999-03-19 | 2000-10-06 | Murata Mfg Co Ltd | 端面反射型表面波装置 |
| JP3353742B2 (ja) * | 1999-05-07 | 2002-12-03 | 株式会社村田製作所 | 表面波共振子、表面波装置、通信機装置 |
| JP3705722B2 (ja) * | 1999-10-20 | 2005-10-12 | 株式会社村田製作所 | 表面波装置 |
| JP3402311B2 (ja) * | 2000-05-19 | 2003-05-06 | 株式会社村田製作所 | 弾性表面波装置 |
| JP3797155B2 (ja) * | 2000-09-06 | 2006-07-12 | 株式会社村田製作所 | 端面反射型表面波装置の周波数調整方法 |
| JP3918497B2 (ja) * | 2000-11-02 | 2007-05-23 | 株式会社村田製作所 | 端面反射型表面波装置 |
| JP3760378B2 (ja) * | 2001-09-14 | 2006-03-29 | 株式会社村田製作所 | 端面反射型表面波装置及びその製造方法 |
| US7002418B2 (en) * | 2004-05-07 | 2006-02-21 | Lattice Semiconductor Corporation | Control signal generation for a low jitter switched-capacitor frequency synthesizer |
| JP4254772B2 (ja) * | 2005-01-17 | 2009-04-15 | セイコーエプソン株式会社 | 弾性表面波装置 |
| CN100544201C (zh) * | 2005-12-16 | 2009-09-23 | 中国科学院声学研究所 | 一种宽带声表面波可开关滤波器组 |
| JP2018037719A (ja) * | 2016-08-29 | 2018-03-08 | 株式会社村田製作所 | 弾性波装置 |
| KR102554129B1 (ko) * | 2016-11-25 | 2023-07-12 | 도호쿠 다이가쿠 | 탄성파 디바이스들 |
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|---|---|---|---|---|
| GB2000409A (en) * | 1977-04-07 | 1979-01-04 | Philips Electronic Associated | Resonators employing surface skimming bulk waves |
| GB1583295A (en) * | 1977-04-07 | 1981-01-21 | Woodhead R W | Cases for throwing darts |
| JPH0426211A (ja) * | 1990-05-21 | 1992-01-29 | Murata Mfg Co Ltd | 表面波装置 |
-
1995
- 1995-08-30 JP JP7222139A patent/JPH0969751A/ja active Pending
-
1996
- 1996-08-23 TW TW086210389U patent/TW327010U/zh unknown
- 1996-08-28 DE DE69620524T patent/DE69620524T2/de not_active Expired - Lifetime
- 1996-08-28 EP EP96113760A patent/EP0762643B1/en not_active Expired - Lifetime
- 1996-08-28 SG SG1996010540A patent/SG73987A1/en unknown
- 1996-08-30 KR KR1019960037140A patent/KR100198161B1/ko active IP Right Grant
- 1996-08-30 US US08/704,942 patent/US5838217A/en not_active Expired - Lifetime
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