JPH0969548A - 薄型基板の搬送装置 - Google Patents
薄型基板の搬送装置Info
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- JPH0969548A JPH0969548A JP7223603A JP22360395A JPH0969548A JP H0969548 A JPH0969548 A JP H0969548A JP 7223603 A JP7223603 A JP 7223603A JP 22360395 A JP22360395 A JP 22360395A JP H0969548 A JPH0969548 A JP H0969548A
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- cassette
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- distance
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- Sheets, Magazines, And Separation Thereof (AREA)
Abstract
(57)【要約】 （修正有）
【課題】 薄型基板の搬送時間を短縮し、省スペース化
を図る。 【解決手段】 カセットＣに収納されたガラス基板Ｗの
一方の側面近傍に、前後方向に２か所第１距離センサ２
７Ａ・２７Ｂを配置する。薄型基板の前方に左右方向に
移動可能に配置されたロボット３のハンド部５を上下、
前後方向の移動と共に、水平面上での回動可能に配設
し、ロボット３の上部に第２距離センサを設ける。カセ
ットＣが搬送装置Ｍの機台１上に配置されると、まず第
１距離センサ２７Ａ・２７ＢがカセットＣに収納された
ガラス基板Ｗの側面との距離を測定し、機台１上に配置
された制御装置３８を介して、ロボットを制御装置３８
内で計算されたガラス基板の位置ずれ及び角度ずれの補
正量分補正する。その後第２距離センサ５９がガラス基
板Ｗの前面との距離を測定し、制御装置を介してロボッ
ト３のハンドアーム５Ｃを移動させ、ガラス基板Ｗを吸
着して次工程カセットに搬送する。
を図る。 【解決手段】 カセットＣに収納されたガラス基板Ｗの
一方の側面近傍に、前後方向に２か所第１距離センサ２
７Ａ・２７Ｂを配置する。薄型基板の前方に左右方向に
移動可能に配置されたロボット３のハンド部５を上下、
前後方向の移動と共に、水平面上での回動可能に配設
し、ロボット３の上部に第２距離センサを設ける。カセ
ットＣが搬送装置Ｍの機台１上に配置されると、まず第
１距離センサ２７Ａ・２７ＢがカセットＣに収納された
ガラス基板Ｗの側面との距離を測定し、機台１上に配置
された制御装置３８を介して、ロボットを制御装置３８
内で計算されたガラス基板の位置ずれ及び角度ずれの補
正量分補正する。その後第２距離センサ５９がガラス基
板Ｗの前面との距離を測定し、制御装置を介してロボッ
ト３のハンドアーム５Ｃを移動させ、ガラス基板Ｗを吸
着して次工程カセットに搬送する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、液晶パネルに使用され
るガラス基板等の薄板状の薄型基板をセンタリングして
収納するための薄型基板搬送装置に関する。
るガラス基板等の薄板状の薄型基板をセンタリングして
収納するための薄型基板搬送装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、カセットに収納されたガラス基板
を次工程で加工する時は、ガラス基板がカセット内で所
定の位置に正確に配置されなければならない。なぜなら
ばロボット等でガラス基板を搬送する時に、所定の位置
からずれていると、次工程の加工時にセット不良を起こ
してしまうからである。そのため、従来からカセットに
収納されたガラス基板を、１枚づつ取り出し、カセット
と別の位置に配置されたガラス基板センタリング装置に
搬送して、その場においてセンタリングを行ない、その
後、元もとガラス基板が収納されていたカセット、ある
いは次工程用カセットに１枚づつ収納するようにしてい
た。
を次工程で加工する時は、ガラス基板がカセット内で所
定の位置に正確に配置されなければならない。なぜなら
ばロボット等でガラス基板を搬送する時に、所定の位置
からずれていると、次工程の加工時にセット不良を起こ
してしまうからである。そのため、従来からカセットに
収納されたガラス基板を、１枚づつ取り出し、カセット
と別の位置に配置されたガラス基板センタリング装置に
搬送して、その場においてセンタリングを行ない、その
後、元もとガラス基板が収納されていたカセット、ある
いは次工程用カセットに１枚づつ収納するようにしてい
た。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかし、従来のセンタ
リング方法では、ガラス基板のセンタリング装置を別に
配置し、１枚づつセンタリング装置に搬送しているた
め、その搬送作業に大幅な搬送時間を費やしているばか
りでなく、センタリング装置を設置するための広いスペ
ースが必要になっていた。
リング方法では、ガラス基板のセンタリング装置を別に
配置し、１枚づつセンタリング装置に搬送しているた
め、その搬送作業に大幅な搬送時間を費やしているばか
りでなく、センタリング装置を設置するための広いスペ
ースが必要になっていた。
【０００４】本発明は、上述の課題を解決するものであ
り、ロボットがカセットに収納された薄型基板を吸着す
ると同時に、センタリングを可能にすることによって、
センタリング装置を廃止し、室内における省スペース化
を図るとともに、薄型基板の搬送時間の大幅な短縮がで
きる薄型基板の搬送装置を提供することを目的とする。
り、ロボットがカセットに収納された薄型基板を吸着す
ると同時に、センタリングを可能にすることによって、
センタリング装置を廃止し、室内における省スペース化
を図るとともに、薄型基板の搬送時間の大幅な短縮がで
きる薄型基板の搬送装置を提供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明に係る薄型基板搬
送装置は、カセットに収納される薄型基板をセンタリン
グした後、次工程のカセットに搬送する薄型基板の搬送
装置において、機台に配置されるカセットと、前記カセ
ット内に支持される薄型基板の一方の側面近傍における
前後方向の少なくとも２箇所に配置され、それぞれ、前
記薄型基板側面との距離を予め検出する第１距離センサ
と、前記薄型基板を上方へ移動させるとともに、前後方
向及び左右方向へ移動可能でかつ水平面上で回動可能な
ロボットと、前記第１距離センサからの信号を入力し、
前記ロボットに信号を出力する制御装置と、を備え、前
記第１距離センサによって検出されるデータを基に、前
記制御装置が薄型基板の所定の位置に対する位置ずれ及
び角度ずれの補正量を計算し、計算された前記補正量を
補正して、前記ロボットを前記カセット内に移動させ、
前記薄型基板を吸着後、次工程カセットに搬送すること
を特徴とするものである。
送装置は、カセットに収納される薄型基板をセンタリン
グした後、次工程のカセットに搬送する薄型基板の搬送
装置において、機台に配置されるカセットと、前記カセ
ット内に支持される薄型基板の一方の側面近傍における
前後方向の少なくとも２箇所に配置され、それぞれ、前
記薄型基板側面との距離を予め検出する第１距離センサ
と、前記薄型基板を上方へ移動させるとともに、前後方
向及び左右方向へ移動可能でかつ水平面上で回動可能な
ロボットと、前記第１距離センサからの信号を入力し、
前記ロボットに信号を出力する制御装置と、を備え、前
記第１距離センサによって検出されるデータを基に、前
記制御装置が薄型基板の所定の位置に対する位置ずれ及
び角度ずれの補正量を計算し、計算された前記補正量を
補正して、前記ロボットを前記カセット内に移動させ、
前記薄型基板を吸着後、次工程カセットに搬送すること
を特徴とするものである。
【０００６】また、前記カセットが、薄型基板の左右下
面をそれぞれ支持可能な支持片を、左右に各１段配設し
ていれば好ましい。
面をそれぞれ支持可能な支持片を、左右に各１段配設し
ていれば好ましい。
【０００７】また、前記カセットが、薄型基板の左右下
面をそれぞれ支持可能な支持片を、上下方向に左右各複
数段配設されていてもよい。
面をそれぞれ支持可能な支持片を、上下方向に左右各複
数段配設されていてもよい。
【０００８】さらに、前記第１距離センサが、各段の前
記支持片に支持された薄型基板の側方部位に配置可能
に、昇降手段に支持されていればなおよい。
記支持片に支持された薄型基板の側方部位に配置可能
に、昇降手段に支持されていればなおよい。
【０００９】また、前記ロボットが、前記薄型基板前面
との距離を検出可能な第２距離センサーを備えていれば
さらによい。
との距離を検出可能な第２距離センサーを備えていれば
さらによい。
【００１０】
【発明の実施の形態】以下、本発明の一実施例を図面に
基づいて説明する。
基づいて説明する。
【００１１】実施例の薄型基板の搬送装置Ｍは、図１〜
４に示すように、薄型基板としての長方形板状のガラス
基板Ｗを収納保持するカセットＣの支持フレーム１９、
２つの昇降手段２９Ａ、２９Ｂによって保持される第１
距離センサ２７Ａ・２７Ｂ、ガラス基板Ｗを昇降し、次
工程カセットに搬送するロボット３、ロボット３の作動
を制御する制御装置３８、を備えて構成されている。
４に示すように、薄型基板としての長方形板状のガラス
基板Ｗを収納保持するカセットＣの支持フレーム１９、
２つの昇降手段２９Ａ、２９Ｂによって保持される第１
距離センサ２７Ａ・２７Ｂ、ガラス基板Ｗを昇降し、次
工程カセットに搬送するロボット３、ロボット３の作動
を制御する制御装置３８、を備えて構成されている。
【００１２】支持フレーム１９は、装置Ｍの機台１上に
載置され、９枚のガラス基板Ｗを収納可能な収納カセッ
トであり、底板２０と、底板２０の左右の縁付近の２箇
所ずつから上方へ延びる支柱２２・２４と、各支柱２２
・２４を連結する天板２１と、を備えて構成されてい
る。そして、各支柱２２・２４には、相互に対向するよ
うに、ガラス基板Ｗの左右両端下面を支持可能な支持片
２３・２５が突設されている。
載置され、９枚のガラス基板Ｗを収納可能な収納カセッ
トであり、底板２０と、底板２０の左右の縁付近の２箇
所ずつから上方へ延びる支柱２２・２４と、各支柱２２
・２４を連結する天板２１と、を備えて構成されてい
る。そして、各支柱２２・２４には、相互に対向するよ
うに、ガラス基板Ｗの左右両端下面を支持可能な支持片
２３・２５が突設されている。
【００１３】ロボット３は、下部に筐体に形成される水
平移動部４と、上部にガラス基板Ｗを昇降し、次工程カ
セットに搬送するハンド部５と、水平移動部４とハンド
部５を連結し、ハンド部５を回動させる連結駆動軸６を
備えて構成される。
平移動部４と、上部にガラス基板Ｗを昇降し、次工程カ
セットに搬送するハンド部５と、水平移動部４とハンド
部５を連結し、ハンド部５を回動させる連結駆動軸６を
備えて構成される。
【００１４】水平移動部４は、ハンド部５の各動作を駆
動するための駆動部４０と、搬送装置の機台１上に、相
互に平行として前後にずれ、左右方向に固着されたガイ
ドレール７・７に案内されるスライダ８と、機台１上に
ブラケット９を介して固定される駆動モータ１０によっ
て駆動されるねじ棒１１と、を備えて構成されている。
動するための駆動部４０と、搬送装置の機台１上に、相
互に平行として前後にずれ、左右方向に固着されたガイ
ドレール７・７に案内されるスライダ８と、機台１上に
ブラケット９を介して固定される駆動モータ１０によっ
て駆動されるねじ棒１１と、を備えて構成されている。
【００１５】スライダ８には、下部に、ガイドレール７
・７と嵌合する凹溝８ａが形成され、スライダ８の後面
にはねじ棒１１が螺合する突起部８ｂが形成されてい
る。そして、ねじ棒１１は駆動モータ１０の駆動軸１０
ａに連結されている。
・７と嵌合する凹溝８ａが形成され、スライダ８の後面
にはねじ棒１１が螺合する突起部８ｂが形成されてい
る。そして、ねじ棒１１は駆動モータ１０の駆動軸１０
ａに連結されている。
【００１６】そのため、駆動軸１０ａが回動することに
より、スライダ８が、ガイドレール７・７に案内され
て、左右方向に移動することとなる。
より、スライダ８が、ガイドレール７・７に案内され
て、左右方向に移動することとなる。
【００１７】駆動部４０は、ハンド部５、連結駆動軸６
を含めて薄型基板等の薄板を直線的に移動させるために
従来より一般的に使用される駆動機構を採用しているも
のであり、連結駆動軸６の下部が回動可能に支持される
筐体４１内に配置されている。連結駆動軸６の下部に連
結駆動軸６を上下移動する可動板４２が配設され、可動
板４２に螺着されるボールねじ４３がプーリを介して駆
動モータ４４に連結される。また、可動板４２の下方で
連結駆動軸６の下端に取り付けられたプーリ４５に、連
結駆動軸６を回動させる駆動モータ４６が可動板４２に
取り付けられる。
を含めて薄型基板等の薄板を直線的に移動させるために
従来より一般的に使用される駆動機構を採用しているも
のであり、連結駆動軸６の下部が回動可能に支持される
筐体４１内に配置されている。連結駆動軸６の下部に連
結駆動軸６を上下移動する可動板４２が配設され、可動
板４２に螺着されるボールねじ４３がプーリを介して駆
動モータ４４に連結される。また、可動板４２の下方で
連結駆動軸６の下端に取り付けられたプーリ４５に、連
結駆動軸６を回動させる駆動モータ４６が可動板４２に
取り付けられる。
【００１８】ハンド部５は連結駆動軸６に軸受けを介し
て連結される中空状の第１ハンド５Ａ、第１ハンドの先
端部で連結される中空状の第２ハンド５Ｂ、第２ハンド
５Ｂの先端で連結される中空状のハンドアーム５Ｃを備
えて構成される。
て連結される中空状の第１ハンド５Ａ、第１ハンドの先
端部で連結される中空状の第２ハンド５Ｂ、第２ハンド
５Ｂの先端で連結される中空状のハンドアーム５Ｃを備
えて構成される。
【００１９】連結駆動軸６はその上部が第１ハンド５Ａ
の中空部内に達し、軸芯方向に沿って、下部に大径穴６
ａ、上部に小径穴６ｂが形成され、ハンドアーム５Ｃの
先端部を直線的に移動させるための駆動モータ６１と、
駆動モータ６１に連結され連結駆動軸６の小径穴６ｂを
貫通して連結駆動軸６の上方まで延設される駆動シャフ
ト６２とが連結駆動軸６内に配設される。
の中空部内に達し、軸芯方向に沿って、下部に大径穴６
ａ、上部に小径穴６ｂが形成され、ハンドアーム５Ｃの
先端部を直線的に移動させるための駆動モータ６１と、
駆動モータ６１に連結され連結駆動軸６の小径穴６ｂを
貫通して連結駆動軸６の上方まで延設される駆動シャフ
ト６２とが連結駆動軸６内に配設される。
【００２０】第１ハンド５Ａの中空部内には、延設され
た連結駆動軸６の上端に、大プーリ５１が固着され、大
プーリ５１はプーリ５２及び第２アーム５Ｂに連結され
るプーリ５３とベルトを介して連結される。また、第１
ハンド５Ａの中空部内に、駆動シャフト６２の上端に固
着されるアーム５５が配設され、第１ハンド５Ａに取り
付けられたピン５６に連結される。そして、駆動モータ
６１の駆動により第１ハンド５Ａを回動する。また、プ
ーリ５３の上部は第２アーム５Ｂに連結され、第１アー
ム５Ａの回動を第２アーム５Ｂに伝えるように構成され
る。さらに、第２アーム５Ｂとハンドアーム５Ｃの連結
もプーリとベルトを介して構成される。この構成は、特
開平２−１７２６８９号に開示されている通りよく知ら
れた構造であるため、詳細を省略する。
た連結駆動軸６の上端に、大プーリ５１が固着され、大
プーリ５１はプーリ５２及び第２アーム５Ｂに連結され
るプーリ５３とベルトを介して連結される。また、第１
ハンド５Ａの中空部内に、駆動シャフト６２の上端に固
着されるアーム５５が配設され、第１ハンド５Ａに取り
付けられたピン５６に連結される。そして、駆動モータ
６１の駆動により第１ハンド５Ａを回動する。また、プ
ーリ５３の上部は第２アーム５Ｂに連結され、第１アー
ム５Ａの回動を第２アーム５Ｂに伝えるように構成され
る。さらに、第２アーム５Ｂとハンドアーム５Ｃの連結
もプーリとベルトを介して構成される。この構成は、特
開平２−１７２６８９号に開示されている通りよく知ら
れた構造であるため、詳細を省略する。
【００２１】ハンドアーム５Ｃにはガラス基板Ｗを吸着
する吸着穴が４か所形成され、図示しない吸着エア回路
に接続されいる。また、ハンドアーム５Ｃの第２アーム
との連結側端部上面にセンサ取付台５８が配設され、セ
ンサ取付台５８に第２距離センサ５９が保持される。そ
して、第２距離センサ５９はレーザ等の光を利用してガ
ラス基板Ｗの前端面との距離を計測し、その距離に応じ
た電気信号を制御装置３８に出力する。
する吸着穴が４か所形成され、図示しない吸着エア回路
に接続されいる。また、ハンドアーム５Ｃの第２アーム
との連結側端部上面にセンサ取付台５８が配設され、セ
ンサ取付台５８に第２距離センサ５９が保持される。そ
して、第２距離センサ５９はレーザ等の光を利用してガ
ラス基板Ｗの前端面との距離を計測し、その距離に応じ
た電気信号を制御装置３８に出力する。
【００２２】そして、ハンドアーム５Ｃは、制御装置３
８の指令に基づいて予め回転角度が設定され、各段のガ
ラス基板Ｗの中心の下方に挿入されて、順次、ガラス基
板Ｗを吸着し上昇させることができるように構成されて
いる。
８の指令に基づいて予め回転角度が設定され、各段のガ
ラス基板Ｗの中心の下方に挿入されて、順次、ガラス基
板Ｗを吸着し上昇させることができるように構成されて
いる。
【００２３】第１距離センサ２７Ａ・２７Ｂ（以下、２
７として説明する。）は、レーザ等の光を利用したもの
であり、各段の支持片２３・２５に支持されたガラス基
板Ｗの側面位置と対応する位置に配置されるように昇降
手段２９Ａ・２９Ｂ（以下、２９として説明する。）に
支持され、ガラス基板Ｗの左方側面との距離を前後方向
の２箇所で測定して、ガラス基板Ｗと各第１距離センサ
２７との間の距離に応じた電気信号を、第２距離センサ
５９とともに制御装置３８に出力することとなる。
７として説明する。）は、レーザ等の光を利用したもの
であり、各段の支持片２３・２５に支持されたガラス基
板Ｗの側面位置と対応する位置に配置されるように昇降
手段２９Ａ・２９Ｂ（以下、２９として説明する。）に
支持され、ガラス基板Ｗの左方側面との距離を前後方向
の２箇所で測定して、ガラス基板Ｗと各第１距離センサ
２７との間の距離に応じた電気信号を、第２距離センサ
５９とともに制御装置３８に出力することとなる。
【００２４】昇降手段２９は、機台１に垂設された案内
支柱３０と、第１距離センサ２７を固定させて案内支柱
３０の凹溝３０ａ内を上下方向に摺動可能なスライダ３
１と、案内支柱３０の上端面に固定されてスライダ３１
を上下動させる駆動モータ３３と、を備えて構成されて
いる。
支柱３０と、第１距離センサ２７を固定させて案内支柱
３０の凹溝３０ａ内を上下方向に摺動可能なスライダ３
１と、案内支柱３０の上端面に固定されてスライダ３１
を上下動させる駆動モータ３３と、を備えて構成されて
いる。
【００２５】駆動モータ３３の駆動軸３３ａには、スラ
イダ３１のねじ孔に螺合するねじ棒３２が連結され、駆
動軸３３ａの回動により、スライダ３１とともに第１距
離センサ２７が、各段の支持片２３・２５の上下方向の
距離分ずつ、移動することとなる。
イダ３１のねじ孔に螺合するねじ棒３２が連結され、駆
動軸３３ａの回動により、スライダ３１とともに第１距
離センサ２７が、各段の支持片２３・２５の上下方向の
距離分ずつ、移動することとなる。
【００２６】制御装置３８は、装置Ｍの所定位置に配置
され、第１距離センサ２７からの電気信号を入力し、そ
の測定されたデータを基に、予めガラス基板Ｗの左右位
置ずれの補正量及び角度ずれの補正量を計算してハンド
アーム５Ｃの位置を制御する。また、第２距離センサ５
９からの電気信号を入力してハンドアーム５Ｃをガラス
基板Ｗの中心の下方に挿入させ、ガラス基板Ｗを上昇さ
せると同時に、各段のガラス基板Ｗのセンタリングを行
なうこととなる。
され、第１距離センサ２７からの電気信号を入力し、そ
の測定されたデータを基に、予めガラス基板Ｗの左右位
置ずれの補正量及び角度ずれの補正量を計算してハンド
アーム５Ｃの位置を制御する。また、第２距離センサ５
９からの電気信号を入力してハンドアーム５Ｃをガラス
基板Ｗの中心の下方に挿入させ、ガラス基板Ｗを上昇さ
せると同時に、各段のガラス基板Ｗのセンタリングを行
なうこととなる。
【００２７】なお、第１距離センサ２７とガラス基板と
の距離の測定については、本実施形態に限るものではな
く、例えば、昇降手段２９をカセットＣに対し左右移動
可能にしてエンコーダを取り付け、その移動量をエンコ
−ダのパルス量にて測定するようにしてもよい。
の距離の測定については、本実施形態に限るものではな
く、例えば、昇降手段２９をカセットＣに対し左右移動
可能にしてエンコーダを取り付け、その移動量をエンコ
−ダのパルス量にて測定するようにしてもよい。
【００２８】次に、上記のように構成された薄型基板の
搬送装置の作用について説明する。
搬送装置の作用について説明する。
【００２９】ガラス基板Ｗを収納したカセットＣが装置
Ｍに配置されると、第１距離センサ２７が駆動モータ３
３により昇降運動を始める。そしてカセットＣに収納さ
れた全てのガラス基板Ｗ側面との距離を測定し、そのデ
ータを制御装置３８に出力する。
Ｍに配置されると、第１距離センサ２７が駆動モータ３
３により昇降運動を始める。そしてカセットＣに収納さ
れた全てのガラス基板Ｗ側面との距離を測定し、そのデ
ータを制御装置３８に出力する。
【００３０】第１距離センサ２７Ａと収納されたままの
ガラス基板Ｗとの距離を例えばＸ1、２７Ｂと収納され
たままのガラス基板Ｗ側面との距離をＸ2 とすると、ガ
ラス基板Ｗの左右のずれＸはＸ＝｜Ｘ1 −Ｘ2 ｜で表さ
れる。また、第１距離センサ２７Ａと第１距離センサ２
７Ｂ間の距離をＹとすると、薄型基板側面の所定位置に
対するずれの傾き角θはｔａｎθ＝Ｘ／Ｙで表される。
ガラス基板Ｗとの距離を例えばＸ1、２７Ｂと収納され
たままのガラス基板Ｗ側面との距離をＸ2 とすると、ガ
ラス基板Ｗの左右のずれＸはＸ＝｜Ｘ1 −Ｘ2 ｜で表さ
れる。また、第１距離センサ２７Ａと第１距離センサ２
７Ｂ間の距離をＹとすると、薄型基板側面の所定位置に
対するずれの傾き角θはｔａｎθ＝Ｘ／Ｙで表される。
【００３１】また、所定位置（基準位置）のガラス基板
Ｗ側面と第１距離センサ２７Ａ（２７Ｂ）との距離をＴ
とすると、ロボット３のガラス基板Ｗに対する左右方向
の移動補正量Ｚは、第１距離センサ２７Ａの水平線上
と、ロボット３のハンド部５の回転中心の水平線上との
最短距離をＶとすると、回転ずれによる補正量ＵがＵ＝
Ｖｔａｎθで表され、所定の位置に対する補正量Ｒ（Ｒ
＝Ｔ−Ｘ1 ）との差を考慮してＺ＝Ｕ−Ｒで表される。
Ｗ側面と第１距離センサ２７Ａ（２７Ｂ）との距離をＴ
とすると、ロボット３のガラス基板Ｗに対する左右方向
の移動補正量Ｚは、第１距離センサ２７Ａの水平線上
と、ロボット３のハンド部５の回転中心の水平線上との
最短距離をＶとすると、回転ずれによる補正量ＵがＵ＝
Ｖｔａｎθで表され、所定の位置に対する補正量Ｒ（Ｒ
＝Ｔ−Ｘ1 ）との差を考慮してＺ＝Ｕ−Ｒで表される。
【００３２】この、計算は制御装置３８内で行われ、全
てのガラス基板Ｗに対する傾き角θと、ロボット３の左
右移動補正量Ｚをロボット３に指令する。
てのガラス基板Ｗに対する傾き角θと、ロボット３の左
右移動補正量Ｚをロボット３に指令する。
【００３３】ロボット３は左右方向に補正量Ｚ分移動し
た後、ロボット３のハンドアーム５ＣはカセットＣに収
納されている最上段のガラス基板Ｗを吸着し、次工程カ
セットに搬送するため、最上段のガラス基板に対応する
待機位置Ｓ１まで上昇される。これは、駆動モータ４４
の駆動で可動板４２が上昇し、連結駆動軸６が上昇する
ことによって行なわれる。
た後、ロボット３のハンドアーム５ＣはカセットＣに収
納されている最上段のガラス基板Ｗを吸着し、次工程カ
セットに搬送するため、最上段のガラス基板に対応する
待機位置Ｓ１まで上昇される。これは、駆動モータ４４
の駆動で可動板４２が上昇し、連結駆動軸６が上昇する
ことによって行なわれる。
【００３４】ハンドアーム５Ｃが待機位置Ｓ１に配置さ
れると、駆動モータ４６が駆動し、制御装置３８によっ
て計算され、補正された傾き角θ分回転する。そして、
その位置において、第２距離センサ５９により、今度は
ガラス基板Ｗの前面との距離を計測し制御装置３８に出
力する。制御装置３８では入力されたデータの基に、ガ
ラス基板Ｗが次工程のカセットの所定の位置に収納でき
るように、ハンドアーム５Ｃの移動距離を計算し、ハン
ドアーム５Ｃに移動距離を指示する。そして、傾き角θ
と移動距離を指示されたハンドアーム５Ｃは、その指示
に従って、搬送されるガラス基板Ｗの中心の下方の吸着
位置Ｓ２に移動され、ガラス基板Ｗを吸着し僅かに上昇
する。この時点で、ガラス基板Ｗは所定の位置にセンタ
リングされていることになる。
れると、駆動モータ４６が駆動し、制御装置３８によっ
て計算され、補正された傾き角θ分回転する。そして、
その位置において、第２距離センサ５９により、今度は
ガラス基板Ｗの前面との距離を計測し制御装置３８に出
力する。制御装置３８では入力されたデータの基に、ガ
ラス基板Ｗが次工程のカセットの所定の位置に収納でき
るように、ハンドアーム５Ｃの移動距離を計算し、ハン
ドアーム５Ｃに移動距離を指示する。そして、傾き角θ
と移動距離を指示されたハンドアーム５Ｃは、その指示
に従って、搬送されるガラス基板Ｗの中心の下方の吸着
位置Ｓ２に移動され、ガラス基板Ｗを吸着し僅かに上昇
する。この時点で、ガラス基板Ｗは所定の位置にセンタ
リングされていることになる。
【００３５】ガラス基板Ｗを吸着したハンドアーム５Ｃ
は吸着位置Ｓ２から一旦、待機位置Ｓ１に戻る。そし
て、ロボット３は、駆動モータ１０の駆動で、ねじ棒１
１が回転され、水平移動部４がスライダ８を介して、ガ
イドレール７上を右方向（図１参照）に移動することに
よって、所定位置まで移動する。そして、ハンドアーム
５Ｃが再び作動され、ガラス基板Ｗを次工程カセットの
所定位置に収納する。
は吸着位置Ｓ２から一旦、待機位置Ｓ１に戻る。そし
て、ロボット３は、駆動モータ１０の駆動で、ねじ棒１
１が回転され、水平移動部４がスライダ８を介して、ガ
イドレール７上を右方向（図１参照）に移動することに
よって、所定位置まで移動する。そして、ハンドアーム
５Ｃが再び作動され、ガラス基板Ｗを次工程カセットの
所定位置に収納する。
【００３６】次に、ロボット３は次のガラス基板Ｗを次
工程カセットに収納するため、再び左方向の所定位置に
移動する。そして、ハンド部５が、すでに計算された傾
き角分回転補正され、待機位置Ｓ１で待機する。そし
て、上記と同様にハンドアームが作動され、２段目のガ
ラス基板Ｗを吸着して次工程カセットに搬送する。
工程カセットに収納するため、再び左方向の所定位置に
移動する。そして、ハンド部５が、すでに計算された傾
き角分回転補正され、待機位置Ｓ１で待機する。そし
て、上記と同様にハンドアームが作動され、２段目のガ
ラス基板Ｗを吸着して次工程カセットに搬送する。
【００３７】カセットＣに収納された全てのガラス基板
Ｗは、このように、上から順次、次工程カセットに搬送
され収納される。
Ｗは、このように、上から順次、次工程カセットに搬送
され収納される。
【００３８】
【発明の効果】上述のように、本発明によれば、カセッ
トに支持された薄型基板を、カセットが機台に配置され
た時点にて、２つの第１距離センサがその側面との距離
を測定し制御装置に出力する。そして、薄型基板の位置
ずれ及び角度ずれの補正量を予め計算しロボットに指令
をする。ロボットが左右方向に位置ずれ分補正移動し、
ロボットのハンドが補正された角度で待機した後、第２
距離センサにより薄型基板の前面との距離を計測し、そ
のデータに基づいてロボットのハンドが所定の位置まで
移動する。そして、薄型基板を吸着し、次工程カセット
に搬送する。ロボットのハンドが薄型基板を吸着すると
同時に、薄型基板の位置決め（センタリング）が完了し
ているため、従来の位置決め工程を省略することがで
き、薄型基板の搬送時間を大幅に短縮することができ
る。また、従来、別に配置されていたセンタリング装置
を省略することができるため、室内の省スペース化が図
れる。
トに支持された薄型基板を、カセットが機台に配置され
た時点にて、２つの第１距離センサがその側面との距離
を測定し制御装置に出力する。そして、薄型基板の位置
ずれ及び角度ずれの補正量を予め計算しロボットに指令
をする。ロボットが左右方向に位置ずれ分補正移動し、
ロボットのハンドが補正された角度で待機した後、第２
距離センサにより薄型基板の前面との距離を計測し、そ
のデータに基づいてロボットのハンドが所定の位置まで
移動する。そして、薄型基板を吸着し、次工程カセット
に搬送する。ロボットのハンドが薄型基板を吸着すると
同時に、薄型基板の位置決め（センタリング）が完了し
ているため、従来の位置決め工程を省略することがで
き、薄型基板の搬送時間を大幅に短縮することができ
る。また、従来、別に配置されていたセンタリング装置
を省略することができるため、室内の省スペース化が図
れる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施例の薄型基板搬送装置の平面図
【図２】図１におけるＡ矢視図
【図３】図１におけるＢ矢視図
【図４】同実施例のロボットの詳細を示す断面図
１…機台 ３…ロボット ５…ハンド部 １９…支持フレーム、 ２７Ａ・２７Ｂ…第１距離センサ ２９…昇降手段 ３８…制御装置 ５９…第２距離センサ Ｗ…ガラス基板（薄型基板） Ｍ…位置決め収納装置 Ｃ…カセット θ…傾き角 Ｚ…左右移動補正量
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｂ６５Ｈ 3/08 ３１０ Ｂ６５Ｈ 5/10 Ｂ 5/10 0333−3Ｅ Ｂ６５Ｄ 85/38 Ｒ
Claims (5)
- 【請求項１】 カセットに収納される薄型基板をセンタ
リングした後、次工程のカセットに搬送する薄型基板の
搬送装置において、 機台に配置されるカセットと、 前記カセット内に支持される薄型基板の一方の側面近傍
における前後方向の少なくとも２箇所に配置され、それ
ぞれ、前記薄型基板側面との距離を予め検出する第１距
離センサと、 前記薄型基板を上方へ移動させるとともに、前後方向及
び左右方向へ移動可能でかつ水平面上で回動可能なロボ
ットと、 前記第１距離センサからの信号を入力し、前記ロボット
に信号を出力する制御装置と、を備え、 前記第１距離センサによって検出されるデータを基に、
前記制御装置が薄型基板の所定の位置に対する位置ずれ
及び角度ずれの補正量を計算し、計算された前記補正量
を補正して、前記ロボットを前記カセット内に移動さ
せ、前記薄型基板を吸着後、次工程カセットに搬送する
ことを特徴とする薄型基板の搬送装置。 - 【請求項２】 前記カセットが、薄型基板の左右下面を
それぞれ支持可能な支持片を、左右に各１段配設してい
ることを特徴とする請求項１記載の薄型基板の搬送装
置。 - 【請求項３】 前記カセットが、薄型基板の左右下面を
それぞれ支持可能な支持片を、上下方向に左右各複数段
配設されていることを特徴とする請求項１記載の薄型基
板の搬送装置。 - 【請求項４】 前記第１距離センサが、各段の前記支持
片に支持された薄型基板の側方部位に配置可能に、昇降
手段に支持されることを特徴とする請求項１及び請求項
２、または請求項１及び請求項３記載の薄型基板の搬送
装置。 - 【請求項５】 前記ロボットが、前記薄型基板前面との
距離を検出可能な第２距離センサーを備えていることを
特徴とする請求項１記載の薄型基板の搬送装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7223603A JPH0969548A (ja) | 1995-08-31 | 1995-08-31 | 薄型基板の搬送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7223603A JPH0969548A (ja) | 1995-08-31 | 1995-08-31 | 薄型基板の搬送装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0969548A true JPH0969548A (ja) | 1997-03-11 |
Family
ID=16800779
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7223603A Withdrawn JPH0969548A (ja) | 1995-08-31 | 1995-08-31 | 薄型基板の搬送装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0969548A (ja) |
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2000340637A (ja) * | 1999-04-19 | 2000-12-08 | Applied Materials Inc | カセットを位置合わせするための方法と装置 |
| JP2002319559A (ja) * | 2001-04-23 | 2002-10-31 | Disco Abrasive Syst Ltd | 研削装置 |
| US6795156B2 (en) * | 2000-11-20 | 2004-09-21 | Hannstar Display Corp. | Orientation inspector for liquid crystal display (LCD) cell |
| JP2006351883A (ja) * | 2005-06-16 | 2006-12-28 | Tokyo Electron Ltd | 基板搬送機構及び処理システム |
| JP2010208816A (ja) * | 2009-03-11 | 2010-09-24 | Murata Machinery Ltd | 移載装置 |
| JP2017502892A (ja) * | 2013-12-16 | 2017-01-26 | 上海旭恒精工機械製造有限公司 | シート搬送システム |
| CN106516743A (zh) * | 2016-11-30 | 2017-03-22 | 东旭科技集团有限公司 | 一种基板放置位置的修正装置、方法和*** |
| CN111547508A (zh) * | 2019-02-12 | 2020-08-18 | 日本电产三协株式会社 | 基板搬运***及基板搬运***的控制方法 |
| CN112744542A (zh) * | 2020-09-30 | 2021-05-04 | 乐金显示光电科技(中国)有限公司 | 一种卡夹设备以及机器人自动示教方法 |
-
1995
- 1995-08-31 JP JP7223603A patent/JPH0969548A/ja not_active Withdrawn
Cited By (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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| JP2020128289A (ja) * | 2019-02-12 | 2020-08-27 | 日本電産サンキョー株式会社 | 基板搬送システムおよび基板搬送システムの制御方法 |
| CN112744542A (zh) * | 2020-09-30 | 2021-05-04 | 乐金显示光电科技(中国)有限公司 | 一种卡夹设备以及机器人自动示教方法 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20021105 |