JP2003086655A - 無人搬送車 - Google Patents
無人搬送車Info
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Abstract
体あるいは床面が傾いていても、枚葉移載装置によるス
テーションとの間でのウエハの移載作業が確実かつ円滑
に行える無人搬送車を提供する。 【解決手段】 無人搬送車1に、走行車輪9・9・・・
を備えた走行部2と、枚葉移載装置5およびバッファカ
セット6を備えた作業部3とを備え、作業部3を走行部
2に対して上下方向へ揺動可能に設けると共に、作業部
3を走行部2に対して揺動させるサーボモータ14と、
サーボモータ14の制御部27とを設け、枚葉移載装置
5に物品を支持する移載ハンド31を設け、移載ハンド
31のウエハ10の支持面31aと、ストッカ22上ウ
エハ10の載置面(棚23b)とが略平行となるよう
に、制御部27がサーボモータ14を制御する。
Description
え、該装置によってステーションと搬送車本体との間
で、物品の移載作業を行う無人搬送車に関する。詳細に
は、該装置による移載作業を円滑かつ確実に行うための
姿勢制御の技術に関する。
ファカセットと、バッファカセットに収納されたウエハ
を、移載作業の対象であるステーションに移載する、移
載装置を備えた無人搬送車が知られている。前記のステ
ーションとしては、ウエハを利用した製造工程におい
て、ウエハの処理作業を行う処理装置に形成したステー
ション(物品載置部)や、ウエハを多数収納するカセッ
トを一時保管するための棚が多数設けられたストッカに
形成したステーションなどがある。これらのステーショ
ンと、無人搬送車に設けたバッファカセットとの間で、
同じく無人搬送車に搭載した枚葉移載装置により、ウエ
ハの移載が行われる。
誤差等によって水平から傾けられて設けられるおそれが
あり、また、ステーションを設置する床面そのものが、
無人搬送車が走行する床面に対して、傾いているおそれ
がある。このため、ウエハをステーション上のウエハ載
置面に対し、平行に置くことができないおそれがあっ
た。このことは、ステーションが処理装置に形成したス
テーションである場合は、処理作業が適切に行われない
ことを意味し、ステーションがカセットを載置したスト
ッカに形成したステーションである場合は、カセット内
にウエハを収納したり、カセットよりウエハを取り出し
たりできないことを意味する。本発明の目的は、ステー
ションそのものが傾いていても、あるいは床面が傾いて
いても、ウエハをステーションに円滑かつ適切に移載可
能とする無人搬送車を提供することにある。
る課題は以上の如くであり、次に該課題を解決するため
の手段を説明する。即ち、請求項1においては、走行車
輪が設けられた走行部と、物品を収納する物品収納装置
および物品を移載する枚葉移載装置が設けられた作業部
とを備え、枚葉移載装置により、物品収納装置と、走行
経路に沿って設けられているステーションとの間で、物
品を移載する無人搬送車であって、作業部を走行部に対
して上下方向へ揺動可能に設けると共に、作業部を走行
部に対して揺動させる揺動手段と、揺動手段の制御部と
を設け、枚葉移載装置には物品を支持する移載ハンドを
設け、移載ハンドの物品支持面と、目的のステーション
の物品載置面とが略平行となるように、制御部が揺動手
段を制御するものである。
のステーションに対し、移載ハンドの物品支持面とステ
ーションの物品載置面とが略平行となるのに要する作業
部の揺動量を、目標値として記憶する記憶手段を備え、
制御部は前記目標値に基づいて揺動手段を制御するもの
である。
ーションに対応させて記憶手段に記憶させるものとし、
移載作業を行うステーションに応じた目標値に基づい
て、制御部が揺動手段を制御するものである。
搬送車1の全体構成について、図1から図4を用いて説
明する。図1はステーション間を走行し、移載作業を行
う無人搬送車1を示す斜視図であり、図2は無人搬送車
1の側面図、図3は同じく正面一部断面図、図4は同じ
く平面図である。無人搬送車1は、前進、後進いずれも
可能であるが、図1における矢視F方向を、無人搬送車
1の前方として説明する。従って、図1中で、ストッカ
22(後述)や処理装置21(後述)の位置する側が、
無人搬送車1の右側となる。図1に示すように、無人搬
送車1は、走行レール19・20上を自動走行する有軌
道台車であり、ストッカ22や処理装置21等のステー
ション間を走行すると共に、該ステーションと無人搬送
車1との間で、ウエハ10・10・・・の移載作業を行
うものである。
は、下部の走行部2と、上部の作業部3とから構成され
る。走行部2の前後左右の四隅には、それぞれ走行車輪
9が備えられている。走行車輪9・9・・には、それぞ
れ駆動モータ(不図示)が備えられている。この駆動モ
ータの駆動により、走行車輪9・9・・・がレール19
・20上で回転し、無人搬送車1が走行するようにして
いる。
より駆動される。本実施例では、クリーンルーム等の塵
挨の発生を嫌う場所での利用を想定しており、無人搬送
車1への電力供給は、電磁誘導を利用した非接触給電に
よって行われる。具体的には、レール19に沿って、給
電装置に接続される給電線7・7(図3に図示)が敷設
されると共に、無人搬送車1には受電装置であるピック
アップユニット16が備えられる。ピックアップユニッ
ト16は走行部2に備えられ、給電線7・7はレール1
9上に設けられる給電線ホルダ18に保持されている。
ピックアップユニット16には、電磁誘導により電圧が
印加されるピックアップコイルと、ピックアップコイル
を通過する磁力線を強化するためのコアとが備えられて
いる。なお、無人搬送車1への給電は、例えばバッテリ
によって駆動されるようにして行うようにしてもよく、
以上の電磁誘導を利用した方法に限定されない。
に、本体の中央部にウエハ10を移載するための枚葉移
載装置5が設けられている。また、枚葉移載装置5の前
後両側に、姿勢合わせ装置4およびバッファカセット6
が配置されている。
り、略円盤状に形成されている。また、ウエハ10には
位置検出のために、外周上に、オリフラもしくはノッチ
等の切欠が形成されている。また、ウエハ10の一面に
は、外周付近にIDマークが刻印されており、後述のO
CRによるIDマークの検出により、ウエハ10の製造
履歴等に関する情報が、OCRを備えた装置で特定され
るようにしている。
ーブル12、二組のロボットハンド30M・30Sが備
えられている。基台11は作業部3の中央部に設けら
れ、該作業部3に対して昇降可能とされる。これによ
り、基台11上に備え付けられるロボットハンド30M
・30Sの高さを変更することができる。ターンテーブ
ル12は、基台11に対して水平面内で相対回転可能に
構成され、該ターンテーブル12上に設けられるロボッ
トハンド30M・30Sを旋回させ、ロボットハンド3
0M・30Sの水平面内での向きを変更することができ
る。ロボットハンド30M・30Sはそれぞれ、ウエハ
10を支持する移載ハンド31と、移載ハンド31とタ
ーンテーブル12とを連結する第一アーム32・第二ア
ーム33とから構成される。両アーム32・33のなす
角度を変化させることで、移載ハンド31はターンテー
ブル12を基点として進退可能である。両アーム32・
33が一直線状に連続するとき(なす角度が180°の
とき)が、移載ハンド31の最大進出限界である。
10を支持するように構成されている。移載ハンド31
の上面には吸入口が形成されると共に、図示せぬエアポ
ンプが枚葉移載装置5に備えられている。
するウエハ10の支持位置を整える装置である。姿勢合
わせ装置4には、ウエハ10の載置台41が備えられて
おり、ウエハ10を吸着して回転可能に構成されてい
る。また、載置台41の水平方向外側に、オリフラセン
サ42・42、OCR(オプティカルキャラクタリーダ
ー)43が備えられている。そして、ウエハ10を載置
台41上で回転させることで、前述したウエハ10の切
欠をオリフラセンサ42で検出し、載置台41上でのウ
エハ10の支持位置を検出する。この検出情報に基づい
て、載置台41の中心とウエハ10の中心が一致するよ
うに、ウエハ10を移載ハンド31を用いて再び載置台
41上に載置し直す。また、同心位置となったウエハ1
0を回転させて、OCR43の直下方にウエハ10のI
Dマークが位置するようにし、このOCR43によりI
Dマークを検出して、そのウエハ10が特定されるよう
にしている。ウエハ10に設けた前記切欠の位置とID
マークの印字位置との間には一定の関係が予め定められ
ており、切欠が特定の位置に来るように前記ウエハ10
を回転させて、OCR43とIDマークの位置を合わせ
るようにしている。OCR43によってIDマークが読
み取られウエハ10が特定されることで、そのウエハ1
0に関する情報を無人搬送車1側で得ることができる。
以上のようにして、姿勢合わせ装置4では、IDマーク
の検出を行い、それと共に、載置台41上のウエハ10
の位置を調整することで、移載ハンド31にウエハ10
が適正位置にて支持されるようにしている。
ウエハ10を複数枚収納しておくための物品収納装置で
ある。バッファカセット6は、ウエハを収納するカセッ
ト51と、カセット51を支持する支持台50とを備え
ている。支持台50は、作業部3の上面の後部に設けら
れ、カセット51を回動自在に支持している。カセット
51の前側(枚葉移載装置5を向く側)は開口してお
り、枚葉移載装置5の移載ハンド31をカセット51内
部に挿入して、カセット51にウエハ10を収納するも
のである。カセット51の内部には、ウエハ10の側端
を水平に支持可能とするように、開口方向に対する左右
にリブ51a・51aを設け、左右一対のリブ51a・
51aにより棚51bを構成し、このような棚51bを
上下に多数段設けている。そして、カセット51内部
に、多数のウエハ10を水平に収納する構成としてい
る。カセット51は支持台50に対して回動可能に構成
され、ウエハ10をカセット51に出し入れする際は、
カセット51の前記開口が水平方向(直前方)を向くよ
うにし、無人搬送車1の走行時には、カセット51の開
口が斜上方を向くように、カセット51を上方へ回動さ
せるようにしている。この構成により、無人搬送車1の
走行時に慣性力が発生しても、収納されているウエハ1
0・10・・・がカセット51より脱落したり、あるい
は位置ズレを起こしたりすることは回避される。
るステーションについて説明する。前述したように、無
人搬送車1の走行経路であるレール19・20に沿っ
て、ストッカ22・22・・・、処理装置21・21・
・・が配置される。ストッカ22および処理装置21に
はそれぞれ、物品載置部としてのステーションが形成さ
れており、これらのステーションと、無人搬送車1のバ
ッファカセット6との間で、移載作業が行われる。スト
ッカ22の上面は物品載置部としてのステーションであ
り、該ステーション上に、複数のカセット23・23・
・・が並設されている。カセット23内部の構成は、前
述したバッファカセット6のカセット51と同様の構成
であり、カセット23に設けた、(開口方向に対する)
左右に一対設けたリブ23a・23aにより、ウエハ1
0の側端を支持可能な棚23bが形成される。棚23b
は上下に多数段設けられて、これらの複数の棚23b上
に、ウエハ10・10・・・を収納可能である。処理装
置21には、ウエハ10を挿入可能とする取込口21a
が形成されており、該取込口21aが物品載置部として
のステーションである。取込口21a内には、ウエハの
載置台が設けられており、移載ハンド31に吸着させた
ウエハ10をこの取込口21a内に挿入して、前記載置
台上に載置し、ウエハ10の検査処理を行うようにして
いる。なお、取込口21aにウエハ10を挿入する際に
は、前記姿勢合わせ装置4で予めウエハ10の姿勢を整
え、処理装置21での検査処理が確実に行われるように
する。また、処理装置21の取込口21a内の載置台、
ストッカ22上に載置したカセット23の棚23bは、
ステーション上に設けたウエハ10の載置面である。
要性について、図5を用いて説明する。図5は無人搬送
車1とストッカ22上のカセット23を示す正面図であ
る。ストッカ22上のカセット23と、無人搬送車1の
枚葉移載装置5との間で移載作業を可能とするには、図
5に示すように、ウエハ10及び移載ハンド31が、カ
セット23内の上下の棚23b・23b間に、接触する
ことなく挿入されなければならない。このため、ウエハ
10の載置面となる棚23b(一点鎖線)と、移載ハン
ド31の支持面31a(二点鎖線)とのなす角度θが、
所定角度以下である必要がある。ここで、移載ハンド3
1において、ウエハ10を吸引して支持する面が支持面
31aである。棚23bは、前述したように、カセット
23の内部に、開口方向に対する左右で一対となるリブ
23a・23aによって形成されるものであり、これら
のリブ23a・23aの両上面を連結して形成される面
が、棚23bであり、ウエハ10の載置面となる。な
お、図5に示す移載作業時の様子、つまり、移載ハンド
31のカセット23に対する進入角度の様子は、無人搬
送車1において、後述する姿勢制御機構を作動させてい
ない状態、もしくは、姿勢制御機構を持たない無人搬送
車の場合を示している。後述する誤差がまったくのゼロ
であると仮定すると、カセット23は水平面上に載置さ
れて、カセット23内の棚23bは水平方向に沿うこと
になる。このとき、この棚23bによるウエハ10の支
持面も水平面となる。また、無人搬送車1の枚葉移載装
置5より伸び出る移載ハンド31も水平面上に位置する
こととなる。
(処理装置21およびストッカ22)には、据付誤差や
製造誤差等による誤差が生じる。また、ステーション側
部における、無人搬送車1の停止位置の床面が水平面に
対して傾斜していたり、その床面上に敷設される走行レ
ール19・20に、据付誤差や製造誤差等による誤差が
生じることがある。このような場合、ストッカ22の場
合はカセット23の棚23b(ウエハ10の載置面)
が、処理装置21の場合は取込口21aが、それぞれ水
平面に対して傾きを生じることになる。同じく、無人搬
送車1側では、移載ハンド31が水平面に対して傾きを
生じることになる。この結果、ウエハ載置面(棚23b
や取込口21a内の載置台)と移載ハンド31とが平行
とはならなくなってしまう。
棚23bと、移載ハンド31とのなす角度θが、前記所
定角度以下である場合は、相互が水平面に対して傾きな
がらも、ウエハ10の移載作業を行うことが可能であ
る。本実施例では、棚23b・23b間の距離は10m
m程度であり、移載ハンド31の厚みは3mm程度であ
る。また、ウエハ10としては、12インチおよび8イ
ンチのものが用いられる。以上の条件下で移載作業を適
切に行うためには、、移載ハンド31と棚23bとのな
す角度θが、±0.1°以下であることが要求される。
すなわち本実施例では±0.1°が、移載作業を適切に
行うために要求される前記の所定角度である。また、処
理装置21においては、処理装置21内での適切な処理
作業を行うためには、取込口21aの底面にウエハ10
が略平行に載置されることを要する。したがって、処理
装置21においても、ウエハ10を支持する移載ハンド
31と取込口(ウエハ載置面)とを略平行とする制御を
必要とする。
について、図2、図3、図6、図7を用いて説明する。
図6は第一実施例の無人搬送車1が備える姿勢制御機構
を示す走行部2の上面図であり、図7は第一実施例の無
人搬送車1において、作業部3が揺動した状態を示す正
面図である。第一実施例においては、走行部2に対して
作業部3が、左右方向で揺動可能となるように構成され
ている。図2、図3、図6に示すように、走行部2と作
業部3との間には、左右一側(本実施例では右側)の前
後両端部に、走行部2に対して作業部3を、ヒンジ13
を介して揺動自在に取り付けている。ヒンジ13は図3
に示すように、取付部材13a・13bと、両取付部材
の支点となる回動支軸13cとから構成される。回動支
軸13cはその軸方向が前後方向となるように配置さ
れ、取付部材13a・13bは、相対的に左右に回動可
能である。そして、取付部材13aが走行部2に固設さ
れ、取付部材13bが作業部3に固設されて、走行部2
に対して作業部3が揺動自在となるようにしている。な
お、走行部2に対して作業部3を左右に揺動自在とする
手段としては、ヒンジ13に限定されるものではなく、
同様の作用を持つ構成であれば他の機構でもよい。
に対する他側(本実施例では左側)の前後中央部に、走
行部2に対して作業部3を揺動させる揺動手段が設けら
れている。本実施例での揺動手段は、走行部2の上面に
設けたサーボモータ14、サーボモータ14のモータ軸
に固設したピニオン14a、作業部3の下面に取り付け
たラック体15とから構成している。ラック体15は円
弧状に形成され、ピニオン14aと噛合する歯の刻まれ
た面が左右のいずれか一側を向くように配置される。そ
して、サーボモータ14の駆動により、ピニオン14a
と噛合するラック体15を上下動させ、前記回動支軸1
3cを支点として、作業部3を走行部2に対して揺動さ
せるようにしている。また、ラック体15の歯の形成面
は正面視で円弧を描くように形成され、回動支軸13c
からこの形成面までの距離が一定となるようにしてい
る。これにより、作業部3が上下動しても、ラック体1
5とピニオン14aとの距離は一定に保たれ、相互間に
押圧や離間が生じることはない。なお、走行部2に対し
て作業部3を左右に揺動させる揺動手段としては、以上
の構成に限定されるものではない。例えば、走行部2に
回動自在に支持されると共に、作業部3を回動自在に支
持する電動シリンダ、または、搭載されているエアポン
プにより作動するエアシリンダを用いて、前記回動支軸
13cを支点として作業部3を揺動させるような構成と
してもよい。
び、揺動手段を構成するサーボモータ14は、走行部2
の上面を形成する天板25に固定される。この天板25
には、枚葉移載装置5の基台11を上下に通過させる挿
通孔25a、および、作業部3に固設されるラック体1
5を上下に通過させる挿通孔25bが設けられている。
また、作業部3の下面を形成する底板26にも、挿通孔
25a・25bに対応するように挿通孔26a・26b
が形成されており、それぞれ基台11、ラック体15を
通過自在としている。
部2に対して作業部3が左右に揺動可能となるようにし
ている。この姿勢制御によって、カセット23に対する
移載ハンド31の進入角度を調節することができる。こ
のため、無人搬送車1やステーション(ストッカ2
2)、ステーション側部の移載作業位置の床面(走行レ
ール19・20)に、据付誤差や製造誤差等による傾き
誤差が生じる場合でも、その傾き誤差に沿う方向へ姿勢
制御を行うことで、移載作業を適切かつ円滑に行うこと
ができる。
動自在とする手段(ヒンジ13)を、左右一側の前後に
設けると共に、前記の揺動手段(サーボモータ14)
を、左右一側に対する他側の中央に設けている。つま
り、揺動自在とする手段は二箇所に設け、揺動手段は一
箇所に設け、合計三点にて、走行部2が作業部3を支持
する構成としている。ただし、ヒンジ13はそのまま
(左右一側の前後二箇所に設けたまま)で、サーボモー
タ14を左右一側で前後二箇所に設け、合計四点によっ
て、走行部2が作業部3を支持する構成としてもよい。
この構成は、作業部3の支持構成がより安定的なものと
なる点で有利である。
ョンの水平面に対する傾き(誤差)を、図5で示す傾
き、即ち、無人搬送車1の走行方向(正面視の方向)を
軸とした傾きに限定して説明している。図5では、無人
搬送車1の走行方向(紙面と垂直となる方向)を軸とし
て、無人搬送車1やステーションの水平面からの傾きを
図示したものである。しかしながら実際には、無人搬送
車1やステーションや移載作業位置の床面の水平面に対
する傾きの軸は、前述の軸の方向にのみ限られるもので
はない。即ち、無人搬送車1の傾きの方向は様々な方向
が考えられる。さらに言えば、無人搬送車1とステーシ
ョンおよび床面とで、通例は、傾きの軸が異なるもので
ある。以下述べる第二実施例で、走行方向に対して垂直
となる方向(水平面内に属する方向)を軸とする傾きへ
の対処と、任意の方向を軸とする傾きへの対処について
説明する。
機構について、図8、図9を用いて説明する。図8は第
二実施例の無人搬送車100が備える姿勢制御機構を示
す走行部2の上面図であり、図9は第二実施例の無人搬
送車100を示す側面図である。この第二実施例におい
ては第一実施例と異なり、前述した傾き、即ち走行方向
に対して垂直となる方向を軸とする傾きに対処すべく、
以下の構成としている。図8、図9に示すように、走行
部2と作業部3との間には、前後一側(本実施例では前
側)の左右両端部に、走行部2に対して作業部3を揺動
自在すべく、ヒンジ13が備えられている。ヒンジ13
は、取付部材13a・13bと、両取付部材の支点とな
る回動支軸13cとから構成される。回動支軸13cは
その軸方向が左右方向となるように配置され、取付部材
13a・13bは、相対的に前後に回動可能である。そ
して、取付部材13aが走行部2に固設され、取付部材
13bが作業部3に固設されて、走行部2に対して作業
部3が揺動自在となるようにしている。なお、走行部2
に対して作業部3を前後に揺動自在とする手段として
は、ヒンジ13に限定されるものではなく、同様の作用
を持つ構成であれば他の機構でもよい。
に対する他側(本実施例では後側)の左右中央部に、走
行部2に対して作業部3を揺動させる揺動手段が設けら
れている。本実施例では、この揺動手段を、走行部2の
上面に設けたサーボモータ14、サーボモータ14のモ
ータ軸に固設したピニオン14a、作業部3の下面に取
り付けたラック体15とから構成している。ラック体1
5は、ピニオン14aと噛合する歯の刻まれた面が前後
のいずれか一側を向くように配置される。そして、サー
ボモータ14の駆動により、ピニオン14aと噛合する
ラック体15を上下動させ、前記回動支軸13cを支点
として、作業部3を走行部2に対して揺動させるように
している。また、ラック体15の歯の形成面は側面視で
円弧を描くように形成され、回動支軸13cからこの形
成面までの距離が一定となるようにしている。これによ
り、作業部3が上下揺動しても、ラック体15とピニオ
ン14aとの距離が一定に保たれて、相互に押圧や離間
が生じることはない。なお、走行部2に対して作業部3
を前後に揺動させる揺動手段としては、以上の構成に限
定されるものではなく、走行部2に回動自在に支持され
ると共に、作業部3を回動自在に支持する電動シリン
ダ、または、搭載されているエアポンプにより作動する
エアシリンダを用いて、前記回動支軸13cを支点とし
て作業部3を揺動させるような構成としてもよい。
3が前後に揺動可能となるようにしている。また、ヒン
ジ13の取付部材13aおよび、揺動手段を構成するサ
ーボモータ14は、走行部2の上面を形成する天板12
5に固定される。この天板125には、枚葉移載装置5
の基台11を上下に通過させる挿通孔125aおよび、
作業部3に固設されるラック体15を上下に通過させる
挿通孔125bが設けられている。また、作業部3の下
面を形成する底板にも、挿通孔125a・125bに対
応するように挿通孔が形成されており、それぞれ基台1
1、ラック体15を通過させている。
動自在とする手段(ヒンジ13)を、前後一側の左右に
設けると共に、前記の揺動手段(サーボモータ14)
を、前後一側に対する他側の中央に設けている。つま
り、揺動自在とする手段は二箇所に設け、揺動手段は一
箇所に設け、合計三点にて、走行部2が作業部3を支持
する構成としている。揺動自在とする手段はそのまま
(左右一側の前後二箇所に設けたまま)で、揺動手段を
前後一側で左右二箇所に設け、合計四点によて、走行部
2が作業部3を支持する構成としてもよい。このとき、
揺動自在とする手段も、前後二箇所に設けるものであ
る。このように構成することで、作業部3の支持構成が
より安定的なものとすることができる。
機構について、図10を用いて説明する。図10は第三
実施例の無人搬送車200を示す側面図である。第三実
施例においては、走行部2に対して作業部3が、前後お
よび左右に揺動可能となるように構成されている。第三
実施例は、前述した、任意の方向を軸とする傾きへの対
処である。図10に示すように、走行部2と作業部3と
の間には、支持板24が設けられ、走行部2と支持板2
4との間と、支持板24と作業部3との間に、それぞれ
姿勢制御機構が設けられている。走行部2と支持板24
との間には、第一実施例の無人搬送車1に備えた姿勢制
御機構が備えられており、走行部2に対して支持板24
が左右に揺動可能となるようにしている。また、支持板
24と作業部3との間には、第二実施例の無人搬送車1
00に備えた姿勢制御機構が備えられており、支持板2
4に対して作業部3が前後に揺動可能となるようにして
いる。
200では、走行部2に対して作業部3が、左右および
前後に揺動可能である。このため、作業部3の水平面に
対する姿勢を、任意の方向を軸として傾斜させることが
でき、ステーション上のカセット23への移載ハンド3
1の進入角度を調節することができる。前述したよう
に、ステーション(処理装置21およびストッカ22)
や無人搬送車には、据付誤差や製造誤差等の誤差が避け
られないものであり、移載ハンド31およびウエハ載置
面(取込口21a内の載置台および棚23b)の水平面
に対する傾き誤差は、様々な方向に発生する。このよう
な場合でも、無人搬送車200では、移載ハンド31の
進入角度を任意の方向を軸として傾斜させることができ
るので、移載ハンド31とウエハ載置面とのなす傾き誤
差に沿う方向に、移載ハンド31の進入角度を調節する
ことで、移載作業を適切かつ円滑に行うことができる。
右に揺動可能とする構成は、以上構成に限定されるもの
ではなく、例えば、走行部2の上面の四隅に、電動シリ
ンダ17・17・・・を設けるような構成でもよい。な
お、走行部2の上面は略矩形に構成されており、矩形の
頂点部に電動シリンダ17・17・・・を配置して、作
業部3を走行部2上に支持するものである。そして、電
動シリンダ17・17・・・のそれぞれの駆動制御を行
うことで、作業部3を前後左右に揺動可能とし、移載ハ
ンド31の進入角度が任意の方向を軸として傾けられる
ようにしている。
ぞれ制御部が備えられており、制御部によって、それぞ
れの無人搬送車が備える揺動手段が制御されるようにし
ている。以上の三実施例で、姿勢制御機構を管理する制
御部は略同一であるので、以下では、第一実施例の無人
搬送車1で代表し、図11を用いて説明する。図11は
第一実施例の無人搬送車1が備える姿勢制御機構のブロ
ック図である。
揺動手段を構成するサーボモータ14とは、制御部27
よりサーボモータ14へ信号伝達可能に接続されてい
る。前述した姿勢制御は、制御部27が、揺動手段を構
成するサーボモータ14の駆動を制御することで、行わ
れるものである。制御部27には、サーボモータ14へ
制御指令を下す制御回路29と、記憶手段であるメモリ
28とが備えられている。また、無人搬送車1には、自
らの位置検出を行うための位置検出センサ34が備えら
れており、該位置検出センサは制御部27へ信号伝達可
能に接続されている。本明細書においては、位置検出の
具体的機構は省略するが、位置検出センサ34による検
出信号に基づき、無人搬送車1がどのステーションで停
止しているか(即ち、目的のステーションがいずれであ
るか)が、制御部27で判定される。
し、移載ハンド31とウエハ10の載置面(取込口21
a内の載置台および棚23b)とが、略平行となるのに
要する作業部3の揺動量が目標値として記憶されてい
る。本実施例の場合は、揺動手段をサーボモータ14に
より構成しているので、前記揺動量は、サーボモータ1
4のモータ軸の回転量に相当する。つまり、この回転量
がメモリ28に記憶されている。
いて、メモリ28に記憶された作業部3の揺動量、つま
りサーボモータ14の回転数に基づいて、制御部27の
制御回路29がサーボモータ14の駆動を制御し、移載
ハンド31を傾けることができる。なお、目的のステー
ションで作業部3を揺動させるべき量は予め記憶されて
いるから、無人搬送車1が目的のステーション前(移載
作業位置)に停止する前、即ち走行中に、サーボモータ
14を駆動させて移載ハンド31を傾ける制御を行わせ
るようにすることもできる。このようにすれば、ステー
ション側部の移載作業位置に停止した時点で移載ハンド
31は適切な角度に傾けられており、移載作業を直ちに
開始することができる。即ち、無人搬送車1に移載ハン
ド31とウエハ載置面(取込口21a内の載置台および
棚23b)との間の傾きを検出する手段を備え、ステー
ション側部の移載作業位置に到着してから、傾きの検出
を行うと共に、移載ハンド31を傾ける制御を行う場合
と比べて、より早く移載ハンドを傾ける制御を終了する
ことができ、迅速に移載作業を行うことができる。
ら、サーボモータ14の目標値、つまり、移載ハンド3
1とウエハ載置面(取込口21a内の載置台および棚2
3b)とが略平行となるのに要するサーボモータ14を
回転させるべき量も、ステーション毎に異なってくる。
ステーション毎に目標値を変更する必要がないのは、ス
テーションおよび、移載作業時に無人搬送車1が停止す
るステーション側部での床面(走行レール19・20)
の双方に、前述した据付誤差や製造誤差等の誤差がまっ
たく存在しない場合だけである。実際には、ステーショ
ンおよびステーション側部の移載作業位置での床面に
も、誤差が生じるものである。したがって、これらの誤
差の影響を除くためには、ステーション毎にサーボモー
タ14の目標値を設定しておく必要がある。
ョン間での移載作業を行わせる前に、予め、それぞれの
ステーションで必要とされる作業部3の揺動量の検出を
行っておく。必要とされる揺動量は前述したようにサー
ボモータ14の回転量に相当するので、必要とされるサ
ーボモータ14の回転量(目標値)を、各ステーション
に対応させたテーブル形式でメモリ28に記憶させてお
けばよい。そして、無人搬送車1がそれぞれのステーシ
ョンに停止し、移載する際に、予めメモリ28に記憶し
ているそれぞれのステーションに対応する目標値を呼び
出し、その目標量となるようにサーボモータ14の回転
を制御するように、制御部27にプログラミングをして
おく(ティーチング)。以上のティーチング作業を予め
行っておくことで、一台の無人搬送車1が担当する範囲
のすべてのステーションについて、その無人搬送車1の
メモリ28の中に、サーボモータ14の目標値が記憶さ
れる。このため、無人搬送車1において、移載作業にお
ける目的のステーションが変更される度に、制御回路2
9は、現時点で目的とされるステーションでのサーボモ
ータ14の目標値をメモリ28より読み取り、制御回路
29は、その目標値となるようにサーボモータ14を制
御することができる。
ーション側部の移載作業位置での床面(走行レール19
・20)に、据付誤差や製造誤差等の誤差があり、移載
作業の目的とされるステーション毎に、移載ハンド31
とウエハ載置面(取込口21a内の載置台および棚23
b)とを略平行とするのに要する作業部3の揺動量が異
なる場合であっても、それぞれのステーション毎に移載
ハンド31の傾きを調節して、適切に移載作業を行うこ
とができる。このため、一台の無人搬送車1が担当する
すべてのステーションにおいて、無人搬送車が移載作業
位置に停止する前に、移載ハンドを傾ける制御を終了す
ることができる。
れた走行部と、物品を収納する物品収納装置および物品
を移載する枚葉移載装置が設けられた作業部とを備え、
枚葉移載装置により、物品収納装置と、走行経路に沿っ
て設けられているステーションとの間で、物品を移載す
る無人搬送車であって、作業部を走行部に対して上下方
向へ揺動可能に設けると共に、作業部を走行部に対して
揺動させる揺動手段と、揺動手段の制御部とを設け、枚
葉移載装置には物品を支持する移載ハンドを設け、移載
ハンドの物品支持面と、目的のステーションの物品載置
面とが略平行となるように、制御部が揺動手段を制御す
るので、無人搬送車の姿勢制御を行うことで、ステーシ
ョン上のカセットへの移載ハンドの進入角度を調節する
ことができる。このため、無人搬送車やステーション
(例えばストッカ)、ステーション側部の移載作業位置
の床面(例えば走行レール)に、据付誤差や製造誤差等
が生じている場合でも、誤差の影響をなくす方向へ作業
部の姿勢制御を行うことで、枚葉移載装置による移載作
業を適切かつ円滑に行うことができる。
に対し、移載ハンドの物品支持面とステーションの物品
載置面とが略平行となるのに要する作業部の揺動量を、
目標値として記憶する記憶手段を備え、制御部は前記目
標値に基づいて揺動手段を制御するので、目的のステー
ションにおいて、記憶手段に記憶された移載ハンドの揺
動量に基づいて、制御部が揺動手段の駆動を制御し、移
載ハンドを傾けることができる。加えて、目的のステー
ションでの揺動量が予め分かっているので、無人搬送車
が移載作業位置に停止する前に、移載ハンドを傾ける制
御を開始することができ、この場合は、ステーション側
部の移載作業位置に停止してから移載作業を開始するま
での時間を短くすることができる。移載ハンドを傾ける
制御が搬送車の停止前に終了すれば、停止後直ちに移載
作業を開始することも可能である。このため、無人搬送
車に移載ハンドとウエハ載置面との間の傾きを検出する
手段を備え、ステーション側部の移載作業位置に到着し
てから、傾きの検出を行うと共に、移載ハンドを傾ける
制御を行う場合と比べて、より早く移載ハンドを傾ける
制御を終了することができ、迅速に移載作業を行うこと
ができる。
ーションに対応させて記憶手段に記憶させるものとし、
移載作業を行うステーションに応じた目標値に基づい
て、制御部が揺動手段を制御するので、ステーションお
よびステーション側部の移載作業位置での床面(走行レ
ール)に、据付誤差や製造誤差等の誤差があり、移載作
業の目的とされるステーション毎に、移載ハンドとステ
ーション上のウエハ載置面とを略平行とするのに要する
作業部の揺動量が異なる場合であっても、それぞれのス
テーション毎に移載ハンドの傾きを調節して、適切に移
載作業を行うことができる。このため、一台の無人搬送
車が担当するすべてのステーションにおいて、無人搬送
車が移載作業位置に停止する前に、移載ハンドを傾ける
制御を終了することができる。
搬送車1を示す斜視図である。
を示す正面図である。
構を示す走行部2の上面図である。
が揺動した状態を示す正面図である。
御機構を示す走行部2の上面図である。
ある。
である。
機構のブロック図である。
Claims (3)
- 【請求項1】 走行車輪が設けられた走行部と、物品を
収納する物品収納装置および物品を移載する枚葉移載装
置が設けられた作業部とを備え、枚葉移載装置により、
物品収納装置と、走行経路に沿って設けられているステ
ーションとの間で、物品を移載する無人搬送車であっ
て、作業部を走行部に対して上下方向へ揺動可能に設け
ると共に、作業部を走行部に対して揺動させる揺動手段
と、揺動手段の制御部とを設け、枚葉移載装置には物品
を支持する移載ハンドを設け、移載ハンドの物品支持面
と、目的のステーションの物品載置面とが略平行となる
ように、制御部が揺動手段を制御することを特徴とする
無人搬送車。 - 【請求項2】 目的のステーションに対し、移載ハンド
の物品支持面とステーションの物品載置面とが略平行と
なるのに要する作業部の揺動量を、目標値として記憶す
る記憶手段を備え、制御部は前記目標値に基づいて揺動
手段を制御することを特徴とする請求項1に記載の無人
搬送車。 - 【請求項3】 前記目標値は各ステーションに対応させ
て記憶手段に記憶させるものとし、移載作業を行うステ
ーションに応じた目標値に基づいて、制御部が揺動手段
を制御することを特徴とする請求項2に記載の無人搬送
車。
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