JPH0933395A - ビューファインダー用カラーフイルターの検査出荷装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 （修正有） 【課題】 人手を介さずに、全ての種類の欠陥検出がで
き、良品のみを出荷用容器へ搭載することができるビュ
ーファインダー用カラーフイルターの検査出荷装置を提
供する。 【解決手段】 本検査出荷装置は、全種類の欠陥を検出
することができる欠陥検査部１００と、欠陥検査された
ビューファインダー用カラーフイルター１１０が複数個
面付されたシート１２０を各ビューファインダー用カラ
ーフイルター１１０毎に切断分離し、洗浄し、所定のも
ののみを所定の出荷用容器へ搭載する切断出荷ライン３
００と、シートを欠陥検査部１００へ搭載、欠陥検査部
１００から切断出荷ライン３００へ移載する移載手段２
００とを有し、且つ、欠陥検査部１００、移載手段２０
０、切断出荷ライン３００とを関連づけて動作制御する
制御手段１６０とを備える。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は，ビューファインダー用
カラーフイルターの外観欠陥を自動で検査出荷する装置
に関し、特に、製造ラインにて１枚のシートにビューフ
ァインダー用カラーフイルターを複数個面付して作製し
たものを、外観検査して、各ビューファインダー用カラ
ーフイルターに切断後、外観検査に対応した良品のみを
出荷容器に搭載できる装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、ビューファインダー用カラーフイ
ルターの外観検査方法としては、投光器による人間の目
視方法、及び、目視での検査が難しい微細な欠陥に対し
ては、顕微鏡による方法が採られていた。しかし、近
年、ビューファインダー用ーカラーフイルターについて
は、益々、高品質化、微細化、量産化が求められるよう
になってきた。高品質化、微細化に伴い、欠陥について
も、益々、微細な欠陥を検出することが要求されるよう
になってきており、従来の投光器や顕微鏡を用いた肉眼
での検査については、人による差や再現性に問題がある
為、人手でない自動化された検査方法が求められるよう
になってきた。量産対応としても自動化された検査方法
が求められるようになってきた。又、ビューファインダ
ー用カラーフイルターにおいては、製品の表裏のほぼ全
面が検査対象領域である為、全種類の欠陥を対象にして
検査することは難しく、表裏の欠陥全てを一つの検査装
置にて、できるだけコンパクトにした状態で欠陥検出す
ることが望まれており、その対応が求められていた。更
に、ビューファインダー用カラーフイルターはサイズが
小さく取扱が難しく、人手を介すると製品の汚れや破損
等が発生する為、人手を介さずに検査から出荷までを行
える検査出荷装置が求められるようになってきた。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】このような状況のも
と、ビューファインダー用カラーフイルターの量産に対
応して、人手を介さず、ビューファインダー用カラーフ
イルターの表裏の全ての種類の欠陥検出を、コンパクト
な自動外観検査部にて一度に行い、且つ、良品と判定さ
れたものを出荷用容器等へ移載できる検査出荷装置が求
められていた。本発明は、人手を介さず、ビューファイ
ンダー用カラーフイルターの全ての種類の欠陥検出がで
き、且つ、良品と判定されたものを人手を介さず出荷用
容器に移す手段を備えた、コンパクトなビューファイン
ダー用カラーフイルターの自動欠陥検査出荷装置を提供
しようとするものである。

【０００４】

【課題を解決するための手段】本発明のビューファイン
ダー用カラーフイルターの検査出荷装置は、ビューファ
インダー用カラーフイルターが複数個面付されたシート
に対し、各ビューファインダー用カラーフイルター毎に
欠陥検出を行い、欠陥検査後に各ビューファインダー用
カラーフイルター毎に切断分離し、欠陥検査結果に対応
して、所望のもののみを出荷用容器へ搭載するビューフ
ァインダー用カラーフイルターの検査出荷装置であっ
て、ビューファインダー用カラーフイルターが複数個面
付されたシートを、ＸＹ駆動制御されたＸＹステージ上
の透明な保持板上に搭載し、透過照明手段およびまたは
反射照明手段を用いて、各ビューファインダー用カラー
フイルター毎にＣＣＤ素子等の画素分割素子にて撮像
し、撮像により得られた信号を画像処理手段により画像
処理することにより欠陥を検出する欠陥検査部と、少な
くとも、欠陥検査されたビューファインダー用カラーフ
イルターが複数個面付されたシートを各ビューファイン
ダー用カラーフイルター毎に切断分離し、分離された各
ビューファインダー用カラーフイルターを洗浄し、所定
のもののみを所定の出荷用容器へと搭載する切断出荷ラ
インと、検査前のビューファインダー用カラーフイルタ
ーが複数個面付されたシートを欠陥検査部へ搭載、およ
び欠陥検査部にて欠陥検査されたビューファインダー用
カラーフイルターが複数個面付されたシートを切断出荷
ラインへと移す、移載手段とを有し、且つ、前記欠陥検
査部、切断出荷ライン、移載手段とを関連づけて動作制
御する制御手段とを備えたことを特徴とするものであ
る。そして、上記における欠陥検査部には、透明な保持
板上のビューファインダー用カラーフイルターを透過な
いし反射照明手段を用いて観察する顕微鏡等の観察手段
を備えていることを特徴とするものである。そしてま
た、上記における欠陥検査部は、ビューファインダー用
カラーフイルターが複数個面付されたシートを保持板上
に着色面を上にして搭載するもので、該シートを保持板
上に搭載した際、ビューファインダー用カラーフイルタ
ーの着色面側には、ビューファインダー用カラーフイル
ターに対向して、ＣＣＤ等の画素分割素子からなる第一
撮像手段と、該第一撮像手段の受像面上にビューファイ
ンダー用カラーフイルターの像を結像させる第一結像手
段と、ビューファインダー用カラーフイルター面に垂直
落射照明して、その正反射光像を第一結像手段により第
一撮像手段に結像させる第一照明手段とを有し、ビュー
ファインダー用カラーフイルターの非着色面側には、ビ
ューファインダー用カラーフイルターに対向して、ＣＣ
Ｄ等の画素分割素子からなる第二撮像手段、該第二撮像
手段の受像面上にビューファインダー用カラーフイルタ
ーの像を結像させる第二結像手段と、ビューファインダ
ー用カラーフイルター面に垂直落射照明して、その透過
光像を第一結像手段により第一撮像手段に結像させる第
二照明手段と、ビューファインダー用カラーフイルター
の非着色面側を反射暗視野照明し、散乱光を第二撮像手
段に結像させ、ビューファインダー用カラーフイルター
を透過暗視野照明し、その回折光ないし散乱光を第一撮
像手段に結像させる第三照明手段とを有しており、且
つ、画像処理手段が各撮像手段により、撮像された画像
信号を画像処理することを特徴とするものである。そし
て、上記において、第一照明手段が、第一光源よりの光
を第一撮像手段と第一結像手段との間にある第一ハーフ
ミラーを介して、第一結像手段によりビューファインダ
ー用カラーフイルター面に垂直落射照明して、その正反
射光像を第一結像手段により第一撮像手段に結像させる
照明手段であることを特徴とするものであり、第二照明
手段が、第二光源よりの光を第二撮像手段と第二結像手
段との間にある第二ハーフミラーを介して、第二結像手
段とよりビューファインダー用カラーフイルター面に垂
直落射照明して、その透過光像を第一結像手段により第
一撮像手段に結像させる照明手段であることを特徴とす
るものであり、第三照明手段が、リング型光源により、
ビューファインダー用カラーフイルターの非着色面側を
反射暗視野照明し、ビューファインダー用カラーフイル
ターを透過暗視野照明するものであることを特徴とする
ものである。

【０００５】また、本発明のビューファインダー用カラ
ーフイルターの検査出荷装置は、上記において、画像処
理手段により得られた試料の検査結果情報を保存するた
めの情報記録媒体を備えており、ＸＹステージ、画像処
理手段および移載手段を関連づけて動作制御する制御手
段に制御されていることを特徴とするものであり、情報
記録媒体の試料の検査結果情報に基づき、制御手段が試
料の欠陥と判定された箇所が観察手段の視野に入るよう
にＸ、Ｙステージを制御することを特徴とするものであ
り、情報記録媒体の試料の検査結果情報が、観察視野を
観察した結果に応じて変更されることを特徴とするもの
である。そしてまた、上記における切断出荷ラインは、
画像処理手段により得られた試料の検査結果情報ないし
観察した結果に応じて変更された、記録媒体に保存して
ある検査結果情報にもとづいて、所定の試料のみを出荷
用容器に搭載するように制御手段により制御されている
ことを特徴とするものである。

【０００６】上記本発明の検査出荷装置の欠陥検査部に
おいては、第一照明手段、第二照明手段、及び第三照明
手段にて第一撮像手段に結像することにより着色面側の
白欠陥、黒欠陥の検出ができ、第三照明手段にて第二撮
像手段に結像することによりガラス面側の汚れ、キズ等
の欠陥検出ができ、結局、第一撮像手段、第二撮像手段
から得られる画像信号により、ビューファインダー用カ
ラーフイルターの全種類の外観欠陥の検出ができる。
尚、ここでは、暗視野照明は照明光の光軸が撮像手段の
受光部の光軸と一致しないもの、明視野照明は照明光の
光軸が撮像手段の受光部の光軸と一致したものとしてい
る。第一照明手段、第二照明手段はそれぞれ、反射明視
野照明、透過明視野照明となる。また、試料であるビュ
ーファインダー用カラーフイルターの着色画素部の断面
は、一般には図９（ロ）に示すようになっており、試料
の着色層側（着色面側）を上にして透明な保持板に載せ
て検査を行う。尚、図９（イ）はビューファインダー用
カラーフイルターの平面図である。

【０００７】又、透過明視野照明、反射明視野照明によ
って、ビューファインダー用カラーフイルターの白欠
陥、黒欠陥のいずれもが検出可能となるが、本発明にお
いては、更に、暗視野照明を併用している。透過暗視野
照明、反射暗視野照明を用い撮像し、撮像により得られ
た画像信号を処理することにより、明視野照明単独使用
による撮像の場合に比べ、欠陥検出の感度を上げてい
る。透過暗視野光は、光軸が撮像手段の受光部の光軸と
一致しない為、受光部への暗視野照明による光は、周期
性パターンまたは略周期性パターン部の開口部透過光は
受光部へ入射されない為、ほぼ回折光ないし散乱光のみ
が検出され、透過明視野の場合に比べＳ／Ｎが大とな
る。反射暗視野光についても、同様に、ほぼ散乱光のみ
が検出され、反射明視野の場合に比べＳ／Ｎが大とな
る。したがって、暗視野光を単独使用して撮像する場
合、明視野光を単独使用して撮像する場合に比べ、Ｓ／
Ｎが向上するのは言うまでもない。暗視野光と明視野光
とを同時に用いて撮像する場合も、明視野光単独使用の
場合に比べＳ／Ｎが向上する。尚、欠陥検査部におい
て、ビューファインダー用カラーフイルターの非着色面
側を反射暗視野照明する理由は、試料ビューファインダ
ー用カラーフイルターを透明な保持板に載せた場合には
裏面の正反射照明像は得ることができないからであり、
試料ビューファインダー用カラーフイルターの側面を保
持し、非着色面側を正反射照明した場合には着色面の影
響により反射率が試料ビューファインダー用カラーフイ
ルターの部位によって異なるため、撮像を複数回に分け
る必要があるのに対し、反射暗視野照明にすれば撮像が
１回で済み、検査タクトを短縮することができるからで
ある。また、着色面側を反射暗視野照明で検査しようと
した場合、図８（ロ）に示すような突起欠陥とＩＴＯピ
ンホール欠陥では欠陥を検出できる照明角度が異なり自
動検査には適さない為、着色面側は正反射照明で行うべ
きである。

【０００８】本発明の検査出荷装置の欠陥検査部におい
ては、ビューファインダー用カラーフイルターが複数個
面付されたシートを着色面側を上にして、透明な保持板
等の上に載せた状態で、カラーフイルターの表裏を照明
し、各ビューファインダー用カラーフイルター毎に撮像
するもので、ビューファインダー用カラーフイルターが
複数個面付されたシートは、通常、保持板とともにＸＹ
駆動制御可能なステージ上にて位置制御される。本発明
の検査出荷装置の欠陥検査部は、具体的には図２に示す
ように、光源１０５からの光をハーフミラー１０８を介
して、レンズ１０３によりビューファインダー用カラー
フイルター面に垂直落射照明した光の正反射光像をレン
ズ１０３によりカメラ１０１に結像させる、照明手段を
有するものであり、光源１０６からの光をハーフミラー
１０９を介して、レンズ１０４によりビューファインダ
ー用カラーフイルター面に垂直落射照明した光の透過明
視野照明による光をレンズ１０３によりカメラ１０１に
結像させる透過照明手段を有する。そして、光源１０７
よりの透過暗視野照明による回折光ないし散乱光をカメ
ラ１０１にて結像させ、且つ、光源１０７より反射暗視
野照明による散乱光をカメラ１０２にて結像させる、照
明手段を有するものである。撮像手段としては、ＣＣＤ
素子等の画素分割素子を用いた撮像カメラで、特に、電
子シャッターを有し、露光時間の調整ができるものが好
ましい。照明手段の光源としては、キセノン光源等が挙
げられるが、特にこれに限定はされない。ビューファイ
ンダー用カラーフイルターの非着色面側を反射暗視野照
明し、同時にビューファインダー用カラーフイルターを
透過暗視野照明する光源としては、試料より大サイズの
孔部を有する環状（リング型）の光源が、反射暗視野照
明、透過暗視野照明いずれの照明にも適しており、この
形状の場合、第二光源よりの光を第一撮像手段と第二結
像手段（レンズ系）との間にある第二ハーフミラーを介
して、第二結像手段（レンズ系）によりビューファイン
ダー用カラーフイルター面に垂直落射照明して、その透
過光像を第一結像手段（レンズ系）により第一撮像手段
に結像させる第二透過照明手段、第二撮像手段の配置、
組合せを容易にできる。通常、リング型のフアイバー光
源を使用する。

【０００９】本発明のビューファインダー用カラーフイ
ルターの検査出荷装置の欠陥検査部における画像処理手
段は、撮像により得られた画像信号を、画素のＸ方向ま
たはＹ方向に一次微分ないし二次微分することにより、
信号の変化を得て欠陥を特定する等の強調処理を施し欠
陥検出するものである。欠陥検出処理としては、透過照
明および／または反射照明により照明して、第一、第二
撮像手段（カメラ）にて撮像した映像信号が画像処理装
置に入り、強調処理等を施して欠陥が検出されるが、以
下、欠陥検出のための強調処理について一例を挙げ、図
７にそって説明する。説明を簡単にする為、試料を透過
明視野照明して自動検査する場合、即ち、図２におい
て、光源１０６を点灯し、ビューファインダー用カラー
フイルター１１０の非着色面側から垂直照明し、撮像カ
メラ１０１で撮像する場合についての画像処理につい
て、図７を用いて説明する。先ず、試料の同一箇所にお
いて複数回、撮像手段によって撮像し、画像信号を得
て、得られた複数回分の画像信号を積算、平均処理す
る。これは、欠陥部を含む箇所については、図７に示す
（ａ）のような光透過率分布をえるが、撮像装置からの
ビデオ信号は（ｂ）のように、パターンの照明ムラ、撮
像面の感度ムラ等によるゆるやかな信号変化（シエーデ
イング）とビデオ信号回路で発生するランダムノイズ、
および光学系に付着したゴミなどによる信号の局部的変
化とが含まれた信号となってしまうことに対応するもの
で、同一箇所において、複数回、撮像手段によって撮像
し、画像信号を得て、得られた複数回分の画像信号を積
算、平均処理するものである。これにより（ｃ）のよう
に、加算回数をＮとした場合には、ランダムノイズの比
率は１／Ｎ^1/2 となる。ここで、Ａ１、Ｂ１、Ａ２、Ｂ
２は欠陥部を示すもので、Ｃは光学系に付着したゴミ等
による信号の局部的変化を示すものである。次いで、撮
像する位置をわずかにずらして、同様に積算、平均処理
することにより、信号（ｃ）をわずかに変位させた信号
（ｄ）を得ることができ、（ｃ）と（ｄ）との差信号を
えると（ｅ）のようになり、ゆるやかな信号変化（シエ
ーデイング）や撮像する位置の移動により変化しない信
号分が除去される。ここでは、光の透過率変化による信
号分と低減されたランダムノイズ成分だけが残るが、更
に、この信号（ｅ）について、近傍平均値の減算あるい
は微分処理を施すと、（ｆ）のような、ゆるやかな信号
変化（シエーデイング）成分も除去され、結果として、
得られた信号（ｆ）は、欠陥部に相当する部分のみが局
部的に変化しており、強調されていることが分かる。
又、スライス処理による２値化については、信号（ｆ）
を所定のスライスレベルＳＬで処理するもので、欠陥部
のみを判定し２値化するものである。尚、図７の（ｅ）
での欠陥部における信号の反転の順序によって、欠陥の
種類（白欠陥、黒欠陥）が識別できる。尚、ここでは、
白欠陥とは、着色パターン部のピンホールや絵柄欠けを
言い、黒欠陥とは、着色パターン部の所定の絵柄以外の
余分な着色部分または遮光部分を言っており、汚れやガ
ラス部のキズも黒欠陥として検出される。上記の処理
は、試料着色面の透過暗視野照明および正反射による撮
像、さらに試料の非着色面の反射暗視野照明によって得
られた画像に対しても、前記透過明視野による撮像に対
しても適用できる。

【００１０】例として、基板の外周部が欠けて映像信号
レベルが周囲に比べ低い欠陥が、撮像カメラによりＣＣ
Ｄエリアセンサの受光素子、３画素四方にわたって結像
された場合、平滑化処理として画像情報に図８（ａ）に
示すようなフイルターを用いて積和演算を施す。尚、積
和算方法は、着目画素中央とした場合、図８（ｂ）に示
すフイルターを用いた画像データ群ｆ（ｘ_ij）の積和算
の結果、得られる画像データ群Ｆ（Ｘ_ij）は、図８
（ｃ）に示ようになる。また、微分処理は、例えば、平
滑化処理により得られた平滑化画像データを３画素分、
左へシフトさせ、シフトさせた画像データからシフト前
の画像データを各画素毎に減算することにより１次微分
画像データを得るそして、１次微分画像データを所定の
スライスレベルで２値化し、検査対象外の部分をマスキ
ングして得ることにより、所定領域の欠陥のみを検出す
ることができる。大きさの異なる欠陥もそれぞれの大き
さに相当する画素数の局所平均化による平滑処理、及び
平滑化画像に１次微分を施し、１次微分画像を所定のス
ライスレベルで２値化、検査対象以外の部分をマスキン
グすることにより欠陥のみを検出することができる。

【００１１】

【作用】本発明のビューファインダー用カラーフイルタ
ーの検査出荷装置は、このような構成にすることによ
り、人手を介さずに、全ての種類の外観欠陥検査を一つ
の欠陥検査部にて行え、良品のみを出荷用容器へ搭載す
ることができるものとしており、且つ、量産化にも対応
できるものである。詳しくは、欠陥検査部、移載手段、
切断出荷ラインとを有し、これらを関連づけて動作制御
する制御手段を有していることにより、製造されたビュ
ーファインダー用カラーフイルターの検査出荷の自動化
を可能としており、検査後、良品と判断されたもののみ
を出荷用容器に人手を介さず移すことを可能としてい
る。そして、欠陥検査部には、透明な保持板上のビュー
ファインダー用カラーフイルターを透過ないし反射照明
手段を用いて観察する顕微鏡等の観察手段を備えている
ことにより、目視による観察を可能とし、自動検査の擬
似欠陥の排除を可能としている。更に、画像処理手段に
より得られた試料の検査結果情報を保存するための情報
記録媒体を備えており、検査結果情報の変更を行うこと
ができ、所望のもののみを出荷用容器に搭載することを
可能としている。また、欠陥検査部は、暗視野照明を使
用することにより、高い感度で検出することを可能とし
ており、表裏にそれぞれ、照明手段、撮像手段を前述の
ように配設することにより、表裏全体の欠陥を一度に検
出できるようにしている。また、リング型光源を用いる
ことにより、着色面側撮像手段への透過暗視野照明、非
着色面側撮像手段への反射暗視野照明を一つの光源にて
達成し、且つ、着色面側撮像手段へ透過明視野照明、撮
像手段の配置をし易いものとし、全体をコンパクトにし
ている。

【００１２】

【実施例】本発明のビューファインダー用カラーフイル
ター検査出荷装置の実施例を以下、図にそって説明す
る。図１は実施例における装置概略図である。図１中、
１００は欠陥検査部、１０１、１０２は撮像カメラ、１
１０はビューファインダー用カラーフイルター、１２０
はシート、１３０は保持板、１４０はＸ、Ｙステージ、
１４１はＸ、Ｙステージ制御装置、１５０は画像処理装
置、１６０はホストコンピュータ（制御部）、１６１は
ホストコンピュータ用モニタ、１８０は情報記録媒体、
２００は移載装置（ロボット）、３００は切断出荷ライ
ンである。本実施例のビューファインダー用カラーフイ
ルター検査出荷装置は、欠陥検査部１００、移載装置
（ロボット）２００、切断出荷ライン３００を持つビュ
ーファインダー用カラーフイルター検査出荷装置で、製
造工程にて作製されたビューファインダー用カラーフイ
ルターが複数個面付されたシートを欠陥検査部１００に
て各ビューファインダー用カラーフイルター毎に検査
し、切断出荷ラインへ送り、検査結果に対応した所望の
もののみを出荷用容器へ搭載するものである。

【００１３】本実施例装置の欠陥検査部１００において
は、撮像カメラ１０１、１０２で撮像された各ビューフ
ァインダー用カラーフイルター１１０毎の画像は、画像
処理装置１５０にて画像処理が施され、欠陥が検出され
る。検査結果情報は、ホストコンピュータ１６０を介し
て情報記録媒体１８０へ記録保存されるとともに、ホス
トコンピュータ１６０はＸ、Ｙステージ制御装置１４１
に対して指令を送り、情報記録媒体１８０の検査結果情
報に基づき、試料の欠陥と判定された箇所が顕微鏡観察
手段の視野に入るようにＸ、Ｙステージ１４０を制御す
る。観察者は、顕微鏡の視野内を観察し、欠陥と判定さ
れた箇所に本当に欠陥があるか否かを確認し擬似欠陥を
除く為、情報記録媒体１８０に記録されている検査結果
情報を必要な場合は訂正変更する。そして、情報記録媒
体１８０に記録されている検査結果情報にもどづいて、
ホストコンピュータ１６０は、被検査物であるシート１
２０内の各ビューァインダー用カラーフイルター１１０
が良品であるか不良品であるかという情報を切断出荷ラ
イン３００の図５に示す出荷搭載用ロボットへ送る。

【００１４】図４（ａ）は、移載装置（ロボット）２０
０とビューファインダー用カラーフイルター１１０が複
数面付されたシート１２０の流れ（矢印）を示したもの
であり、図４（ｂ）は、試料であるビューファインダー
用カラーフイルター１１０が複数面付されたシート１２
０をカセット２０１から保持板１３０へ、保持板１３０
から切断出荷ライン３００へ移し替える移載装置（ロボ
ット）２００の概略構成図を示したものである。製造工
程から持ち込まれた試料であるビューファインダー用カ
ラーフイルター１１０が複数個面付されたシート１２０
はカセット２０１等から、移載装置（ロボット）２００
により、保持板１３０へ移し替えられる。ビューファイ
ンダー用カラーフイルター１１０が複数面付されたシー
ト１２０は、シート内に例えば、図６に示すように、ビ
ューファインダー用カラーフイルター１１０が並べられ
た状態で、順に各ビューファインダー用カラーフイルタ
ー１１０の欠陥検査が行われる。ビューファインダー用
カラーフイルター１１０を全数検査した後に、シート１
２０は移載装置（ロボット）２００により、切断出荷ラ
イン３００へと移載される。この場合、シート１２０は
切断出荷ライン３００側に備えたカセットへ一旦移載さ
れ、その後１枚づつ処理される。

【００１５】図５（ａ）は図１に示す切断出荷ライン３
００の概略機能構成を示した図であり、図５（ｂ）は切
断出荷ライン３００を示したものであるが、簡単に図５
にしたがい説明する。図５中、３１０はローラー、３２
０は吸着器付き台、３２１は吸盤、３３０は切断部、３
４０は水流ジエット、３５０は洗浄部、３６０は出荷搭
載用ロボット、３７０は出荷用容器である。検査された
ビューファインダー用カラーフイルター１１０が複数面
付されたシート１２０は、ローラー３１０により１枚づ
つ搬送され、裏面を吸着器付き台３２０の所定の位置に
吸着固定され、切断部３３０にて、高圧の水流ジエット
３４０を用い、各ビューファインダー用カラーフイルタ
ー１１０毎に切断加工された後、洗浄部３５０にて洗浄
処理を施され、検査結果により良品と判断されたビュー
ファインダー用カラーフイルター１１０のみ出荷搭載用
ロボット３６０により人手を介さずに出荷用容器３７０
へ移し替えられる。吸着器付き台３２０は、検査された
ビューファインダー用カラーフィルター１１０が複数面
付けされたシート１２０を固定する台で、吸盤３２１は
各ビューファインダー用カラーフィルター１１０と対応
した位置でシートを固定する。このため、各ビューファ
インダー用カラーフィルター１１０毎に切断加工され、
洗浄部３５０にて洗浄処理されても、各カラーフィルタ
ー１１０はバラバラになることはなく、ぶつかり合って
おたがいに傷つけ合うことも無い。そして、検査結果に
対応した位置関係が保たれることとなる。切断部３３０
は検査されたビューファインダー用カラーフィルター１
１０が複数面付けされたシート１２０を、高圧の水流ジ
エット３４０を用いて切断加工するもので、水流ジエッ
ト３４０を流しながらノズルをシート１２０の面内方向
に対して、縦、横に駆動させて切断を行う。洗浄部３５
０は、切断後のビューファインダー用カラーフィルター
１１０に洗浄処理を施すものであり、切断の際に発生し
たガラス粉などを水洗して洗浄する。出荷用容器３７０
は良品と判断されたビューファインダー用カラーフィル
ター１１０を出荷用に移し替える容器で、洗浄されたビ
ューファインダー用カラーフィルター１１０の中から、
検査結果により良品と判断されたもののみ、出荷搭載用
ロボット３６０によって、この容器に移し替える。

【００１６】ホストコンピュータ（制御部）１６０は、
欠陥検査部１００、移載手段２００、切断出荷ライン３
００とを関連づけて動作制御するものであり、上記のよ
うに欠陥検査部１００で良品と判断されたもののみを出
荷用容器３１０へと搭載できるように装置全体を制御し
ている。

【００１７】図２は欠陥検査部１００の欠陥検出部の概
略構成を示したものである。図２中、１０１、１０２は
撮像カメラ、１０３、１０４はレンズ、１０５、１０
６、１０７は光源、１１０はビューファインダー用カラ
ーフイルター、１０８、１０９はハーフミラー、１３０
は保持板、１５０は画像処理装置、１４０はＸＹステー
ジである。ビューファインダー用カラーフイルター１１
０は着色面を上にして保持板１３０の上に載っており、
保持板１３０はＸＹステージ１４０の上に載っている。
撮像カメラ１０１、１０２は露光時間可変のＣＣＤエリ
アセンサを使用した。レンズ１０３は試料ビューファイ
ンダー用カラーフイルター１１０の着色面の像が撮像カ
メラ１０１の受像面上に結像するように調整されてお
り、レンズ１０４は試料であるビューファインダー用カ
ラーフイルター１１０の非着色面の像が撮像カメラ１０
２の受像面に結像するように調整されている。光源１０
５はハーフミラー１０８、レンズ１０３を介して、試料
であるビューファインダー用カラーフイルター１１０を
正反射照明する。光源１０６はハーフミラー１０９、レ
ンズ１０４を介して、試料であるビューファインダー用
カラーフイルター１１０を透過照明明する。光源１０７
はリング型ファイバー光源を使用しており、試料である
ビューファインダー用カラーフイルター１１０を透過暗
視野照明および非着色面側を反射照明する。

【００１８】図３は、欠陥検査部１００の観察手段の概
略構成を示した図である。図３中、１１０はビューファ
インダー用カラーフイルター、１３０は保持板、１４０
はＸ、Ｙステージ、４０１は撮像カメラ、４０２はモニ
タ、４１０はレンズ系（顕微鏡）、４２１、４２２は光
源である。先に述べた欠陥検出部とは異なる位置に観察
手段を設けており、欠陥検出により欠陥箇所と判断され
た箇所を情報記録媒体１８０に記録されている情報に基
づいて、レンズ系（顕微鏡）４１０を介して撮像され
た、撮像カメラ４０１の画像をモニタ４０２で観察する
もので、観察により、擬似欠陥を除くように、情報記録
媒体１８０の欠陥検査情報を変更する。尚、モニタ４０
２とホストコンピュータ１６１とを兼用して用いる場合
もある。

【００１９】本装置における撮像方法を以下、第２図を
基に簡単にのべる。試料であるビューファインダー用カ
ラーフイルター１１０を透過明視野照明して撮像する場
合には、光源１０６を点灯してハーフミラー１０９で反
射させ、レンズ１０４で集光してビューファインダー用
カラーフイルター１１０を透過照明し、透過光をレンズ
１０３で集光して撮像カメラ１０１の受光面上に結像さ
せて撮像する。ビューファインダー用カラーフイルター
１１０を透過暗視野照明して撮像する場合には、光源１
０７を点灯してビューファインダー用カラーフイルター
１１０を透過暗視野照明し、ビューファインダー用カラ
ーフイルター１１０に微小白欠陥がある場合に回折光を
レンズ１０３で集光して撮像カメラ１０１の受光面上に
結像させ撮像する。そして、ビューファインダー用カラ
ーフイルター１１０の着色面の正反射照明による撮像に
ついては、光源１０５を点灯して、ハーフミラー１０８
で反射、レンズ１０３で集光して試料着色面を正反射照
明し、反射光をレンズ１０３により撮像カメラ１０１の
受光面上に結像させて撮像する。又、ビューファインダ
ー用カラーフイルター１１０の非着色面側の反射暗視野
照明による撮像は、光源１０７を点灯して試料非着色面
を反射暗視野照明し、試料の表面の凹凸による散乱光を
レンズ１０４により撮像カメラ１０２の受光面上に結像
させて撮像する。

【００２０】本装置における各種欠陥の検出方法を以
下、図２を基に簡単に説明する。試料であるビューファ
インダー用カラーフイルター１１０の全面を光源１０６
にて透過照明、光源１０７にて透過暗視野照明し、撮像
カメラにて撮像する。ビューファインダー用カラーフイ
ルター１１０は図９（イ）に示すように、一般には着色
画素部、外周遮光部、最外周透明部と大きく３領域に分
けられ各領域により透過率が異なる為、ビューファイン
ダー用カラーフイルター１１０の各領域の透過率に合わ
せ、カメラの電子シヤッターにて露光時間を調整し、所
望の領域毎に撮影して所望の領域毎に欠陥を検出し、全
域における欠陥検出を行った。これにより着色面側の白
欠陥、黒欠陥を検出した。尚、欠陥の検出のための画像
処理については前述の通りである。次いで、光源１０５
にてハーフミラー１０８を介して、試料ビューファイン
ダー用カラーフイルター１１０を直下落射照明し、反射
光像をレンズ１０３にて撮像カメラ１０１に結像し、欠
陥検出をおこなった。これにより着色面側の汚れ、キズ
等の欠陥を検出した。この場合の画像処理についても前
述の通りである。次いで、試料ビューファインダー用カ
ラーフイルター１１０の全面を光源１０７にて透過照明
反射暗視野照明し、撮像カメラ１０２にてその散乱光を
撮像することにより欠陥検出をおこなった。これにより
非着色面側、主にガラス面の汚れ、キズ等の欠陥を検出
した。以上より、試料ビューファインダー用カラーフイ
ルターの全種類の外観欠陥検査を本装置のみで、ほぼ一
度に自動でできた。尚、上記で光源１０５を点灯し、カ
メラ１０１で反射光像、カメラ１０２で透過光像を撮像
する場合は並行して行う。

【００２１】

【発明の効果】上記のような構成にすることにより、本
発明のビューファインダー用カラーフイルターの検査出
荷装置は、人手を介さずに、ビューファインダー用カラ
ーフイルター表裏の汚れ、傷も含め全種類の外観欠陥の
自動検査と、良品のみを選別して出荷用容器へ搭載する
ことを可能としている。

【図面の簡単な説明】

【図１】実施例ビューファインダー用カラーフイルター
の検査出荷装置の概略図

【図２】欠陥検査部の撮像手段の構成を示した図

【図３】欠陥検査部の顕微鏡観察手段の構成を示した図

【図４】移載装置（ロボット）を示した図

【図５】切断出荷ラインの構成図

【図６】ビューファインダー用カラーフイルターの面付
状態を示した図

【図７】欠陥検出を説明するための図

【図８】フイルター図

【図９】ビューファインダー用カラーフイルター図

【符号の説明】

１００ 欠陥検査部 １０１、１０２ 撮像カメラ １０３、１０４ レンズ １０５、１０６、１０７ 光源 １１０ ビューファインダー用カラ
ーフイルター １０８、１０９ ハーフミラー １２０ シート １３０ 保持板 １４０ Ｘ、Ｙステージ １４１ Ｘ、Ｙステージ制御装置 １５０ 画像処理装置 １６０ ホストコンピュータ（制御
部） １６１ ホストコンピュータ用モニ
タ １８０ 情報記録媒体 ２００ 移載装置（ロボット） ２０１ カセット ３００ 切断出荷ライン ３１０ ローラ ３２０ は吸着器付き台 ３３０ 切断部 ３４０ 水流ジエット ３５０ 洗浄部 ３６０ 出荷搭載用ロボット ３７０ 出荷用容器 ４０１ 撮像カメラ ４０２ モニタ ４１０ レンズ系（顕微鏡） ４２１、４２２ 光源

Claims (10)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 ビューファインダー用カラーフイルター
   が複数個面付されたシートに対し、各ビューファインダ
   ー用カラーフイルター毎に欠陥検出を行い、欠陥検査後
   に各ビューファインダー用カラーフイルター毎に切断分
   離し、欠陥検査結果に対応して、所望のもののみを出荷
   用容器へ搭載するビューファインダー用カラーフイルタ
   ーの検査出荷装置であって、ビューファインダー用カラ
   ーフイルターが複数個面付されたシートを、ＸＹ駆動制
   御されたＸＹステージ上の透明な保持板上に搭載し、透
   過照明手段およびまたは反射照明手段を用いて、各ビュ
   ーファインダー用カラーフイルター毎にＣＣＤ素子等の
   画素分割素子にて撮像し、撮像により得られた信号を画
   像処理手段により画像処理することにより欠陥を検出す
   る欠陥検査部と、少なくとも、欠陥検査されたビューフ
   ァインダー用カラーフイルターが複数個面付されたシー
   トを各ビューファインダー用カラーフイルター毎に切断
   分離し、分離された各ビューファインダー用カラーフイ
   ルターを洗浄し、所定のもののみを所定の出荷用容器へ
   と搭載する切断出荷ラインと、検査前のビューファイン
   ダー用カラーフイルターが複数個面付されたシートを欠
   陥検査部へ搭載、および欠陥検査部にて欠陥検査された
   ビューファインダー用カラーフイルターが複数個面付さ
   れたシートを切断出荷ラインへと移す、移載手段とを有
   し、且つ、前記欠陥検査部、切断出荷ライン、移載手段
   とを関連づけて動作制御する制御手段とを備えたことを
   特徴とするビューファインダー用カラーフイルターの検
   査出荷装置。
2. 【請求項２】 請求項１における欠陥検査部には、透明
   な保持板上のビューファインダー用カラーフイルターを
   透過ないし反射照明手段を用いて観察する顕微鏡等の観
   察手段を備えていることを特徴とするビューファインダ
   ー用カラーフイルターの検査出荷装置。
3. 【請求項３】 請求項２ないし３における欠陥検査部
   は、ビューファインダー用カラーフイルターが複数個面
   付されたシートを保持板上に着色面を上にして搭載する
   もので、該シートを保持板上に搭載した際、ビューファ
   インダー用カラーフイルターの着色面側には、ビューフ
   ァインダー用カラーフイルターに対向して、ＣＣＤ等の
   画素分割素子からなる第一撮像手段と、該第一撮像手段
   の受像面上にビューファインダー用カラーフイルターの
   像を結像させる第一結像手段と、ビューファインダー用
   カラーフイルター面に垂直落射照明して、その正反射光
   像を第一結像手段により第一撮像手段に結像させる第一
   照明手段とを有し、ビューファインダー用カラーフイル
   ターの非着色面側には、ビューファインダー用カラーフ
   イルターに対向して、ＣＣＤ等の画素分割素子からなる
   第二撮像手段、該第二撮像手段の受像面上にビューファ
   インダー用カラーフイルターの像を結像させる第二結像
   手段と、ビューファインダー用カラーフイルター面に垂
   直落射照明して、その透過光像を第一結像手段により第
   一撮像手段に結像させる第二照明手段と、ビューファイ
   ンダー用カラーフイルターの非着色面側を反射暗視野照
   明し、散乱光を第二撮像手段に結像させ、ビューファイ
   ンダー用カラーフイルターを透過暗視野照明し、その回
   折光ないし散乱光を第一撮像手段に結像させる第三照明
   手段とを有しており、且つ、画像処理手段が各撮像手段
   により、撮像された画像信号を画像処理することを特徴
   とするビューファインダー用カラーフイルターの検査出
   荷装置。
4. 【請求項４】 請求項３において、第一照明手段が、第
   一光源よりの光を第一撮像手段と第一結像手段との間に
   ある第一ハーフミラーを介して、第一結像手段によりビ
   ューファインダー用カラーフイルター面に垂直落射照明
   して、その正反射光像を第一結像手段により第一撮像手
   段に結像させる照明手段であることを特徴とするビュー
   ファインダー用カラーフイルターの検査出荷装置。
5. 【請求項５】 請求項３において、第二照明手段が、第
   二光源よりの光を第二撮像手段と第二結像手段との間に
   ある第二ハーフミラーを介して、第二結像手段とよりビ
   ューファインダー用カラーフイルター面に垂直落射照明
   して、その透過光像を第一結像手段により第一撮像手段
   に結像させる照明手段であることを特徴とするビューフ
   ァインダー用カラーフイルターの検査出荷装置。
6. 【請求項６】 請求項３において、第三照明手段が、リ
   ング型光源により、ビューファインダー用カラーフイル
   ターの非着色面側を反射暗視野照明し、ビューファイン
   ダー用カラーフイルターを透過暗視野照明するものであ
   ることを特徴とするビューファインダー用カラーフイル
   ターの検査出荷装置。
7. 【請求項７】 請求項１ないし６において、画像処理手
   段により得られた試料の検査結果情報を保存するための
   情報記録媒体を備えており、ＸＹステージ、画像処理手
   段および移載手段を関連づけて動作制御する制御手段に
   制御されていることを特徴とするビューファインダー用
   カラーフイルターの検査出荷装置。
8. 【請求項８】 請求項７の情報記録媒体の試料の検査結
   果情報に基づき、制御手段が試料の欠陥と判定された箇
   所が観察手段の視野に入るようにＸ、Ｙステージを制御
   することを特徴とするビューファインダー用カラーフイ
   ルターの検査出荷装置。
9. 【請求項９】 請求項８において、情報記録媒体の試料
   の検査結果情報が、観察視野を観察した結果に応じて変
   更されることを特徴とするビューファインダー用カラー
   フイルターの検査出荷装置。
10. 【請求項１０】 請求項１ないし９における切断出荷ラ
    インは、画像処理手段により得られた試料の検査結果情
    報ないし観察した結果に応じて変更された、記録媒体に
    保存してある検査結果情報にもとづいて、所定の試料の
    みを出荷用容器に搭載するように制御手段により制御さ
    れていることを特徴とするビューファインダー用カラー
    フイルターの検査出荷装置。