JP2003344299A - カラーフィルターの欠陥検査装置およびカラーフィルターの欠陥検査方法 - Google Patents
カラーフィルターの欠陥検査装置およびカラーフィルターの欠陥検査方法Info
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- JP2003344299A JP2003344299A JP2002155456A JP2002155456A JP2003344299A JP 2003344299 A JP2003344299 A JP 2003344299A JP 2002155456 A JP2002155456 A JP 2002155456A JP 2002155456 A JP2002155456 A JP 2002155456A JP 2003344299 A JP2003344299 A JP 2003344299A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】カラーフィルターの表面の欠陥を精度良く検査
できる欠陥検査装置を提供する。 【解決手段】光源からカラーフィルターに光を照射して
欠陥検査をおこなうカラーフィルターの欠陥検査装置に
おいて、照射した光の透過光および反射光を撮像する撮
像手段、および撮像手段により得られた信号を画像処理
することにより欠陥を検出する際に透過光と反射光のそ
れぞれの検出信号が同座標で検出された時にのみ欠陥を
検出する検出手段を有することを特徴とするカラーフィ
ルターの欠陥検査装置。
できる欠陥検査装置を提供する。 【解決手段】光源からカラーフィルターに光を照射して
欠陥検査をおこなうカラーフィルターの欠陥検査装置に
おいて、照射した光の透過光および反射光を撮像する撮
像手段、および撮像手段により得られた信号を画像処理
することにより欠陥を検出する際に透過光と反射光のそ
れぞれの検出信号が同座標で検出された時にのみ欠陥を
検出する検出手段を有することを特徴とするカラーフィ
ルターの欠陥検査装置。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、カラーフィルター
等の外観検査装置に関し、特に微少黒欠陥を検出する装
置に関する。
等の外観検査装置に関し、特に微少黒欠陥を検出する装
置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、カラーフィルター上には白欠陥、
黒欠陥、粒状突起異物等の欠陥が発生し、これらが結果
的に製品の収率を下げてしまうため、この欠陥を検出す
るために検査を行っていた。
黒欠陥、粒状突起異物等の欠陥が発生し、これらが結果
的に製品の収率を下げてしまうため、この欠陥を検出す
るために検査を行っていた。
【０００３】検査方法としては、人手で行う方法や、検
査装置を用いて行う方法があった。カラーフィルターの
自動検査としては、反射光で粒状突起異物を検出し、透
過光で黒欠陥および白欠陥を検出するのが一般的であっ
た。黒欠陥とはパターンの上に異物などが乗りその部分
だけ透過光量が落ち、黒点のように見える欠陥（暗欠
陥）であり、白欠陥とはパターンが抜けたり欠けたりし
て透過光量が上がり、白点のように見える欠陥（明欠
陥）である。
査装置を用いて行う方法があった。カラーフィルターの
自動検査としては、反射光で粒状突起異物を検出し、透
過光で黒欠陥および白欠陥を検出するのが一般的であっ
た。黒欠陥とはパターンの上に異物などが乗りその部分
だけ透過光量が落ち、黒点のように見える欠陥（暗欠
陥）であり、白欠陥とはパターンが抜けたり欠けたりし
て透過光量が上がり、白点のように見える欠陥（明欠
陥）である。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかし、透過光ではカ
ラーフィルターの表面・裏面の区別が出来ないため、裏
面の簡単に吹き飛ばせる異物も黒欠陥として検出し、過
検出状態になり、精度の高い検査ができていなかった。
ラーフィルターの表面・裏面の区別が出来ないため、裏
面の簡単に吹き飛ばせる異物も黒欠陥として検出し、過
検出状態になり、精度の高い検査ができていなかった。
【０００５】本発明はかかる従来技術の欠点を改良し、
カラーフィルターの黒欠陥をより正確に検出する方法を
提供することをその課題とする。
カラーフィルターの黒欠陥をより正確に検出する方法を
提供することをその課題とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するた
め、本発明は以下の構成からなる。光源からカラーフィ
ルターに光を照射して欠陥検査をおこなうカラーフィル
ターの欠陥検査装置において、照射した光の透過光およ
び反射光を撮像する撮像手段、および撮像手段により得
られた信号を画像処理することにより欠陥を検出する際
に透過光と反射光のそれぞれの検出信号が同座標で検出
された時にのみ欠陥を検出する検出手段を有することを
特徴とするカラーフィルターの欠陥検査装置。光源から
カラーフィルターに光を照射して欠陥検査をおこなうカ
ラーフィルターの欠陥検査方法において、照射した光の
透過光および反射光を撮像手段により撮影し、得られた
信号を画像処理することにより欠陥を検出する際に透過
光と反射光のそれぞれの検出信号が同座標で検出された
時にのみ欠陥を検出することを特徴とするカラーフィル
ターの欠陥検査方法。
め、本発明は以下の構成からなる。光源からカラーフィ
ルターに光を照射して欠陥検査をおこなうカラーフィル
ターの欠陥検査装置において、照射した光の透過光およ
び反射光を撮像する撮像手段、および撮像手段により得
られた信号を画像処理することにより欠陥を検出する際
に透過光と反射光のそれぞれの検出信号が同座標で検出
された時にのみ欠陥を検出する検出手段を有することを
特徴とするカラーフィルターの欠陥検査装置。光源から
カラーフィルターに光を照射して欠陥検査をおこなうカ
ラーフィルターの欠陥検査方法において、照射した光の
透過光および反射光を撮像手段により撮影し、得られた
信号を画像処理することにより欠陥を検出する際に透過
光と反射光のそれぞれの検出信号が同座標で検出された
時にのみ欠陥を検出することを特徴とするカラーフィル
ターの欠陥検査方法。
【０００７】
【発明の実施の形態】本発明のカラーフィルターの自動
欠陥検査装置はカラーフィルターを透過光および反射光
を照射し、撮像手段により撮影し、得られた信号を画像
処理することにより欠陥を検出する自動検査装置であっ
てカラーフィルターの着色面を上として、カラーフィル
ター上から光を当て検査を行うものである。光源は基板
上方約400mmにあり、基板上方約200mmの位置にあるコン
デンサレンズを通過して基板に光を均一に照射してい
る。光はカラーフィルター全幅に照射されており流れ方
向には約5mmの幅の光が照射されるように設定してい
る。また、基板に照射される光の角度は図１に示すよう
に80°になるように設定しており、基板上方約250mmの
位置に反射光を検出するCCDセンサーを設置し、基板下
方約250mmに透過光を検出するCCDセンサーを設置してい
る。反射光を検出するCCDセンサーは正反射する光を受
光できるように取り付けてあり、透過光を検出するCCD
センサーは照射された光が通過する箇所（光軸上）に設
置している。CCDセンサーの視野幅は約50mmになるよう
に設定しており幅方向に反射光用、透過光用それぞれ8
台設置している。カラーフィルターの構成はガラス基板
上にRed、Green、Blueの着色層を形成しその上に、場合
によってはオーバーコート、透明電極層で構成される。
着色層とは、アクリル系樹脂またはポリイミド系などに
主顔料として赤または青または緑、副顔料として黄色等
を含む組成物の事である。オーバーコートはアクリル系
樹脂、ポリイミド系樹脂、エポキシ系樹脂などの透明樹
脂のことである。透明電極はインジウムとスズの酸化物
で構成される。光源は一般的にキセノンランプ、ハロゲ
ンランプ等が使用されるが、これに限るものではない。
図１に示すようにカラーフィルター上部から幅方向全域
に光を照射し、カラーフィルターを図の矢印の方向に移
動させほぼ全領域を照射してCCDカメラ等からなる撮像
手段により撮影することが出来る。CCDカメラの解像度
は5μｍ〜25μｍが好ましいが、ノイズ等を考慮すると8
μｍ〜15μｍがより好ましい。解像度を小さくしすぎる
とノイズを検出し、解像度が大きくなると検出したい小
さな欠陥を検出しなくなる。基板の搬送速度はカメラの
解像度が8〜15μｍになるようにするのが好ましい。ま
た、図１に示すように一つの光源から反射光および透過
光を撮像し双方の検出信号を照らし合わせることで黒欠
陥の検出が正確に行われる。
欠陥検査装置はカラーフィルターを透過光および反射光
を照射し、撮像手段により撮影し、得られた信号を画像
処理することにより欠陥を検出する自動検査装置であっ
てカラーフィルターの着色面を上として、カラーフィル
ター上から光を当て検査を行うものである。光源は基板
上方約400mmにあり、基板上方約200mmの位置にあるコン
デンサレンズを通過して基板に光を均一に照射してい
る。光はカラーフィルター全幅に照射されており流れ方
向には約5mmの幅の光が照射されるように設定してい
る。また、基板に照射される光の角度は図１に示すよう
に80°になるように設定しており、基板上方約250mmの
位置に反射光を検出するCCDセンサーを設置し、基板下
方約250mmに透過光を検出するCCDセンサーを設置してい
る。反射光を検出するCCDセンサーは正反射する光を受
光できるように取り付けてあり、透過光を検出するCCD
センサーは照射された光が通過する箇所（光軸上）に設
置している。CCDセンサーの視野幅は約50mmになるよう
に設定しており幅方向に反射光用、透過光用それぞれ8
台設置している。カラーフィルターの構成はガラス基板
上にRed、Green、Blueの着色層を形成しその上に、場合
によってはオーバーコート、透明電極層で構成される。
着色層とは、アクリル系樹脂またはポリイミド系などに
主顔料として赤または青または緑、副顔料として黄色等
を含む組成物の事である。オーバーコートはアクリル系
樹脂、ポリイミド系樹脂、エポキシ系樹脂などの透明樹
脂のことである。透明電極はインジウムとスズの酸化物
で構成される。光源は一般的にキセノンランプ、ハロゲ
ンランプ等が使用されるが、これに限るものではない。
図１に示すようにカラーフィルター上部から幅方向全域
に光を照射し、カラーフィルターを図の矢印の方向に移
動させほぼ全領域を照射してCCDカメラ等からなる撮像
手段により撮影することが出来る。CCDカメラの解像度
は5μｍ〜25μｍが好ましいが、ノイズ等を考慮すると8
μｍ〜15μｍがより好ましい。解像度を小さくしすぎる
とノイズを検出し、解像度が大きくなると検出したい小
さな欠陥を検出しなくなる。基板の搬送速度はカメラの
解像度が8〜15μｍになるようにするのが好ましい。ま
た、図１に示すように一つの光源から反射光および透過
光を撮像し双方の検出信号を照らし合わせることで黒欠
陥の検出が正確に行われる。
【０００８】本発明の着色パターンの黒欠陥検査装置
は、透過照明と反射照明とを組み合わせて検出すること
により、カラーフィルター上の欠陥のみを正確に検出す
ることを可能としている。
は、透過照明と反射照明とを組み合わせて検出すること
により、カラーフィルター上の欠陥のみを正確に検出す
ることを可能としている。
【０００９】
【実施例】実施例１
本発明の実施例１を以下、図にそって説明する。図1は
実施例1の検出方法を実施する構成図で、検査試料とし
てカラーフィルターを用いた場合で、CCDラインセンサ
により欠陥を自動検査する装置を示している。1は光源
でキセノンランプ（ウシオ電機（株）製キセノンランプ
UXL-151D-O）、2,3はCCDラインセンサ（有効画素数500
0）を用いた撮像カメラ、4はカラーフィルターでRed、G
reen、Blueをそれぞれパターン加工した上にオーバーコ
ート1μｍをコーティングしたものを使用、5は画像処理
装置である。試料と撮像カメラ2,3等の撮像するための
装置、全てを静止しておいた場合には、撮像カメラ2,3
は1個以上のCCDラインセンサを直線状に配列されてお
り、カラーフィルター4の像が、レンズによりCCDライン
センサの受光面に結像されるもので、カラーフィルター
の一直線上の像のみが撮像されるが、本実施例1は、カ
ラーフィルター4を直線状のCCDラインセンサと直交する
方向に搬送ロール6を回転させ移動させ試料全面を撮像
するようにしている。搬送速度は5.4m/minで搬送した。
７はコンデンサレンズで検査基板上を均一に照明すると
ともに光源像をCCDの入射瞳位置に形成している。
実施例1の検出方法を実施する構成図で、検査試料とし
てカラーフィルターを用いた場合で、CCDラインセンサ
により欠陥を自動検査する装置を示している。1は光源
でキセノンランプ（ウシオ電機（株）製キセノンランプ
UXL-151D-O）、2,3はCCDラインセンサ（有効画素数500
0）を用いた撮像カメラ、4はカラーフィルターでRed、G
reen、Blueをそれぞれパターン加工した上にオーバーコ
ート1μｍをコーティングしたものを使用、5は画像処理
装置である。試料と撮像カメラ2,3等の撮像するための
装置、全てを静止しておいた場合には、撮像カメラ2,3
は1個以上のCCDラインセンサを直線状に配列されてお
り、カラーフィルター4の像が、レンズによりCCDライン
センサの受光面に結像されるもので、カラーフィルター
の一直線上の像のみが撮像されるが、本実施例1は、カ
ラーフィルター4を直線状のCCDラインセンサと直交する
方向に搬送ロール6を回転させ移動させ試料全面を撮像
するようにしている。搬送速度は5.4m/minで搬送した。
７はコンデンサレンズで検査基板上を均一に照明すると
ともに光源像をCCDの入射瞳位置に形成している。
【００１０】本発明の実施例を以下、図にそって説明す
る。図１は実施例における自動検査装置の構成を示す図
でカラーフィルターを、着色面を上としてカラーフィル
ター３を矢印の方向に搬送させ、光源より光を照射しCC
D２にて反射光を撮影し画像処理を行い、CCD３にて透過
光を撮影し画像処理を実施する。図中１は光源（キセノ
ンランプ）、２，３は撮像カメラ（解像度15μｍ）、４
はカラーフィルター、５は画像処理装置、６はカラーフ
ィルター搬送ロールである。撮像カメラ２，３はCCDエ
リアセンサーを有し、カラーフィルターの像全面がレン
ズを通してCCDエリアセンサー上に結像される。光源１
はカラーフィルター全面を照射している。搬送ロール６
の間隙は検査に影響が無い範囲で狭くしており約100mm
ほどあけている。また、黒欠陥を検出する際に反射光、
透過光それぞれが同じ欠陥を検出したときのみ検出した
と出力するよう設定している。検査試料のカラーフィル
ターは赤、青、緑の着色パターン部が周期的に配列され
た物で、予め、着色パターン部の所定に位置に、所定サ
イズの黒欠陥を複数個作製されたテスト用の着色パター
ンをもったものである。黒欠陥の種類はブラックマトリ
ックスのCr（鏡面）を残したもの、各色が現像されずに
残したものである。光が着色部の微細な黒欠陥部分に照
射されると反射光、透過光がそれぞれCCDに結像、画像
処理装置にて画像処理される。このとき反射光ではCr黒
欠陥は反射の明欠陥として検出し、各色の黒欠陥は反射
の暗欠陥として検出する。透過光はそれぞれの黒欠陥を
暗欠陥として検出する。透過光、反射光の検出結果を組
み合わせることにより正確にカラーフィルター上の黒欠
陥のみ全て検出し裏面の付着異物は検出しなかった。
る。図１は実施例における自動検査装置の構成を示す図
でカラーフィルターを、着色面を上としてカラーフィル
ター３を矢印の方向に搬送させ、光源より光を照射しCC
D２にて反射光を撮影し画像処理を行い、CCD３にて透過
光を撮影し画像処理を実施する。図中１は光源（キセノ
ンランプ）、２，３は撮像カメラ（解像度15μｍ）、４
はカラーフィルター、５は画像処理装置、６はカラーフ
ィルター搬送ロールである。撮像カメラ２，３はCCDエ
リアセンサーを有し、カラーフィルターの像全面がレン
ズを通してCCDエリアセンサー上に結像される。光源１
はカラーフィルター全面を照射している。搬送ロール６
の間隙は検査に影響が無い範囲で狭くしており約100mm
ほどあけている。また、黒欠陥を検出する際に反射光、
透過光それぞれが同じ欠陥を検出したときのみ検出した
と出力するよう設定している。検査試料のカラーフィル
ターは赤、青、緑の着色パターン部が周期的に配列され
た物で、予め、着色パターン部の所定に位置に、所定サ
イズの黒欠陥を複数個作製されたテスト用の着色パター
ンをもったものである。黒欠陥の種類はブラックマトリ
ックスのCr（鏡面）を残したもの、各色が現像されずに
残したものである。光が着色部の微細な黒欠陥部分に照
射されると反射光、透過光がそれぞれCCDに結像、画像
処理装置にて画像処理される。このとき反射光ではCr黒
欠陥は反射の明欠陥として検出し、各色の黒欠陥は反射
の暗欠陥として検出する。透過光はそれぞれの黒欠陥を
暗欠陥として検出する。透過光、反射光の検出結果を組
み合わせることにより正確にカラーフィルター上の黒欠
陥のみ全て検出し裏面の付着異物は検出しなかった。
【００１１】比較例１
透過光が検出したものを黒欠陥と出力するように設定し
た例を次にあげる。検査試料に作製した黒欠陥は全て検
出したが、検出しなくても良いカラーフィルター裏面に
付着した異物まで検出した。
た例を次にあげる。検査試料に作製した黒欠陥は全て検
出したが、検出しなくても良いカラーフィルター裏面に
付着した異物まで検出した。
【００１２】
【発明の効果】上記のように反射光と透過光を組み合わ
せて欠陥を検出することにより本発明の自動検査装置
は、着色周期性パターン領域もしくは着色略パターン領
域を有する試料に対して自動化された、精度の高い欠陥
検出装置を提供するものである。
せて欠陥を検出することにより本発明の自動検査装置
は、着色周期性パターン領域もしくは着色略パターン領
域を有する試料に対して自動化された、精度の高い欠陥
検出装置を提供するものである。
【図１】本発明の欠陥検査装置の概略を表す図である。
１：光源
２：CCDラインセンサ（反射光用）
３：CCDラインセンサ（透過光用）
４：カラーフィルター
５：画像処理装置
６：搬送ロール
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
Ｆターム(参考） 2G051 AA32 AA41 AA90 AB01 AB02
BA20 CA03 CA04 CA07 CB01
CB02 CB03 DA01 DA06
2G086 EE05
2H048 BA11 BB02
Claims (2)
- 【請求項１】 光源からカラーフィルターに光を照射し
て欠陥検査をおこなうカラーフィルターの欠陥検査装置
において、照射した光の透過光および反射光を撮像する
撮像手段、および撮像手段により得られた信号を画像処
理することにより欠陥を検出する際に透過光と反射光の
それぞれの検出信号が同座標で検出された時にのみ欠陥
を検出する検出手段を有することを特徴とするカラーフ
ィルターの欠陥検査装置。 - 【請求項２】 光源からカラーフィルターに光を照射し
て欠陥検査をおこなうカラーフィルターの欠陥検査方法
において、照射した光の透過光および反射光を撮像手段
により撮影し、得られた信号を画像処理することにより
欠陥を検出する際に透過光と反射光のそれぞれの検出信
号が同座標で検出された時にのみ欠陥を検出することを
特徴とするカラーフィルターの欠陥検査方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002155456A JP2003344299A (ja) | 2002-05-29 | 2002-05-29 | カラーフィルターの欠陥検査装置およびカラーフィルターの欠陥検査方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002155456A JP2003344299A (ja) | 2002-05-29 | 2002-05-29 | カラーフィルターの欠陥検査装置およびカラーフィルターの欠陥検査方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003344299A true JP2003344299A (ja) | 2003-12-03 |
Family
ID=29771981
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2002155456A Pending JP2003344299A (ja) | 2002-05-29 | 2002-05-29 | カラーフィルターの欠陥検査装置およびカラーフィルターの欠陥検査方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2003344299A (ja) |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005195583A (ja) * | 2003-12-30 | 2005-07-21 | Xerox Corp | 結合された反射光イメージと透過光イメージとを使用するリアルタイムウエブ検査方法及び装置 |
| JP2007093539A (ja) * | 2005-09-30 | 2007-04-12 | Toppan Printing Co Ltd | カラーフィルタの検査方法 |
| JP2007163137A (ja) * | 2005-12-09 | 2007-06-28 | Hitachi High-Technologies Corp | 異物検査装置及び異物検査方法 |
| EP1832910A3 (en) * | 2006-03-08 | 2007-09-19 | Kabushi Kaisha Toshiba | Optical fiber illumination device and hologram inspection apparatus |
| US7440118B2 (en) * | 2005-06-24 | 2008-10-21 | International Business Machines Corporation | Apparatus and method for color filter inspection |
| CN104807828A (zh) * | 2014-01-27 | 2015-07-29 | 由田新技股份有限公司 | 面板亮点检测方法及*** |
| JP2017156659A (ja) * | 2016-03-04 | 2017-09-07 | 凸版印刷株式会社 | カラーフィルタの欠陥検査装置および欠陥検査方法 |
| WO2022081365A1 (en) * | 2020-10-15 | 2022-04-21 | Applied Materials, Inc. | See-through metrology systems, apparatus, and methods for optical devices |
-
2002
- 2002-05-29 JP JP2002155456A patent/JP2003344299A/ja active Pending
Cited By (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005195583A (ja) * | 2003-12-30 | 2005-07-21 | Xerox Corp | 結合された反射光イメージと透過光イメージとを使用するリアルタイムウエブ検査方法及び装置 |
| JP4530837B2 (ja) * | 2003-12-30 | 2010-08-25 | ゼロックス コーポレイション | 結合された反射光イメージと透過光イメージとを使用するリアルタイムウエブ検査方法及び装置 |
| US7440118B2 (en) * | 2005-06-24 | 2008-10-21 | International Business Machines Corporation | Apparatus and method for color filter inspection |
| JP2007093539A (ja) * | 2005-09-30 | 2007-04-12 | Toppan Printing Co Ltd | カラーフィルタの検査方法 |
| JP2007163137A (ja) * | 2005-12-09 | 2007-06-28 | Hitachi High-Technologies Corp | 異物検査装置及び異物検査方法 |
| JP4626764B2 (ja) * | 2005-12-09 | 2011-02-09 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 異物検査装置及び異物検査方法 |
| EP1832910A3 (en) * | 2006-03-08 | 2007-09-19 | Kabushi Kaisha Toshiba | Optical fiber illumination device and hologram inspection apparatus |
| US7839547B2 (en) | 2006-03-08 | 2010-11-23 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Optical fiber illumination device and inspection apparatus |
| CN104807828A (zh) * | 2014-01-27 | 2015-07-29 | 由田新技股份有限公司 | 面板亮点检测方法及*** |
| JP2017156659A (ja) * | 2016-03-04 | 2017-09-07 | 凸版印刷株式会社 | カラーフィルタの欠陥検査装置および欠陥検査方法 |
| WO2022081365A1 (en) * | 2020-10-15 | 2022-04-21 | Applied Materials, Inc. | See-through metrology systems, apparatus, and methods for optical devices |
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