JP2010139461A - 目視検査システム - Google Patents
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Abstract
【解決手段】自動欠陥検査装置で取得したパターンの欠陥に関する情報を欠陥情報データベースに蓄積する手段と、目視検査装置で取得したパターンの欠陥に関する情報を欠陥情報データベースに蓄積する手段と、蓄積された前記パターンの欠陥に関する情報を目視検査支援システムに備わるモニター装置で閲覧する手段と、被検査基板上に形成されたパターンの撮像映像を目視検査装置に備わるモニター装置に表示する手段と、被検査基板上に形成されたパターンの欠陥部位を、前記欠陥情報データベースに蓄積された情報に基づいて、レーザポインタにより照射する手段と、を備えることを特徴とする目視検査システム。
【選択図】図1
Description
表示された文字情報から欠陥あるいは元欠陥であった部位の基板上の位置を座標として知ることができるが、その実際の位置が目視検査装置に備わる観察用モニターに映された基板のどこなのかは正確には分からない場合が多い。特に、基板サイズが大きい場合に見つけにくいという問題がある。これは作業効率の低下、欠陥部分の見落としを引き起こす可能性がある。
そこで、本発明は、目視検査用のモニター装置を用いて、大型基板上の欠陥部位を観察するに当たり、当該部位が該モニター画面上のどこにあるのか容易に認識できる手段及びこの手段を備える目視検査システムを提供することを目的とした。
図示せず)からなっている。欠陥情報に基づいて、対象欠陥近傍に位置合わせをして目視検査装置付属のモニター上に表示することができる。画像取得は反射でも透過でも可能である。
4・・・欠陥情報データベース
5、6・・・目視検査装置
7、7’・・・レーザポインタ
8・・・目視検査支援システム
10・・・第二のモニター装置
11・・・LAN
Claims (1)
- 基板上に形成されたパターンの欠陥を検査するための、少なくとも、自動欠陥検査装置、欠陥情報データベース、目視検査装置、目視検査支援システム、レーザポインタ及びこれらと接続するLANからなる目視検査システムであって、
自動欠陥検査装置で取得したパターンの欠陥に関する情報を欠陥情報データベースに蓄積する手段と、
目視検査装置で取得したパターンの欠陥に関する情報を欠陥情報データベースに蓄積する手段と、
蓄積された前記パターンの欠陥に関する情報を目視検査支援システムに備わるモニター装置で閲覧する手段と、
被検査基板上に形成されたパターンの撮像映像を目視検査装置に備わるモニター装置に表示する手段と、
被検査基板上に形成されたパターンの欠陥部位を、前記欠陥情報データベースに蓄積された情報に基づいて、レーザポインタにより照射する手段と、を備えることを特徴とする目視検査システム。
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Family Applications (1)
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---|---|
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Cited By (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2013061927A1 (ja) * | 2011-10-27 | 2013-05-02 | Wit株式会社 | 外観検査装置 |
JP2013142589A (ja) * | 2012-01-10 | 2013-07-22 | Bridgestone Corp | 被検査体の検査装置及び検査方法 |
WO2018012192A1 (ja) * | 2016-07-12 | 2018-01-18 | 吉野石膏株式会社 | 検査方法、検査・通知方法、該検査方法を含む製造方法、検査装置及び製造装置 |
WO2019208808A1 (ja) * | 2018-04-27 | 2019-10-31 | 大日本印刷株式会社 | 外観検査装置および外観検査方法 |
JP2021162330A (ja) * | 2020-03-30 | 2021-10-11 | 新東工業株式会社 | 表示制御装置及び制御プログラム |
WO2022085135A1 (ja) * | 2020-10-21 | 2022-04-28 | Wit株式会社 | 検査システム |
US11802842B2 (en) | 2020-03-30 | 2023-10-31 | Sintokogio, Ltd. | Display control device and storage medium |
US11810286B2 (en) | 2020-03-30 | 2023-11-07 | Sintokogio, Ltd. | Display control device and storage medium |
US11893723B2 (en) | 2020-03-30 | 2024-02-06 | Sintokogio, Ltd. | Inspection result display device and storage medium |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH08114551A (ja) * | 1994-10-14 | 1996-05-07 | Toshiba Corp | 実装基板修理対応スコープ及び実装基板検査修理方法 |
JPH0933395A (ja) * | 1995-07-14 | 1997-02-07 | Dainippon Printing Co Ltd | ビューファインダー用カラーフイルターの検査出荷装置 |
JPH11304721A (ja) * | 1998-04-23 | 1999-11-05 | Sony Corp | 外観検査装置 |
JP2000206479A (ja) * | 1999-01-12 | 2000-07-28 | Sharp Corp | 表示装置の欠陥絵素座標特定装置 |
JP2005164309A (ja) * | 2003-12-01 | 2005-06-23 | Hitachi Kokusai Electric Inc | 目視検査装置 |
JP2006253567A (ja) * | 2005-03-14 | 2006-09-21 | Keihin Corp | 集計分析装置及び集計分析方法 |
-
2008
- 2008-12-15 JP JP2008318022A patent/JP2010139461A/ja active Pending
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH08114551A (ja) * | 1994-10-14 | 1996-05-07 | Toshiba Corp | 実装基板修理対応スコープ及び実装基板検査修理方法 |
JPH0933395A (ja) * | 1995-07-14 | 1997-02-07 | Dainippon Printing Co Ltd | ビューファインダー用カラーフイルターの検査出荷装置 |
JPH11304721A (ja) * | 1998-04-23 | 1999-11-05 | Sony Corp | 外観検査装置 |
JP2000206479A (ja) * | 1999-01-12 | 2000-07-28 | Sharp Corp | 表示装置の欠陥絵素座標特定装置 |
JP2005164309A (ja) * | 2003-12-01 | 2005-06-23 | Hitachi Kokusai Electric Inc | 目視検査装置 |
JP2006253567A (ja) * | 2005-03-14 | 2006-09-21 | Keihin Corp | 集計分析装置及び集計分析方法 |
Cited By (18)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2013061927A1 (ja) * | 2011-10-27 | 2013-05-02 | Wit株式会社 | 外観検査装置 |
JP2013092508A (ja) * | 2011-10-27 | 2013-05-16 | Wit Co Ltd | 外観検査装置 |
CN103718027A (zh) * | 2011-10-27 | 2014-04-09 | Wit株式会社 | 外观检查装置 |
CN103718027B (zh) * | 2011-10-27 | 2015-12-23 | Wit株式会社 | 外观检查装置 |
JP2013142589A (ja) * | 2012-01-10 | 2013-07-22 | Bridgestone Corp | 被検査体の検査装置及び検査方法 |
US10830707B2 (en) | 2016-07-12 | 2020-11-10 | Yoshino Gypsum Co., Ltd. | Inspection method, inspection and reporting method, manufacturing method including the inspection method, inspection apparatus, and manufacturing apparatus |
JPWO2018012192A1 (ja) * | 2016-07-12 | 2019-04-25 | 吉野石膏株式会社 | 検査方法、検査・通知方法、該検査方法を含む製造方法、検査装置及び製造装置 |
WO2018012192A1 (ja) * | 2016-07-12 | 2018-01-18 | 吉野石膏株式会社 | 検査方法、検査・通知方法、該検査方法を含む製造方法、検査装置及び製造装置 |
AU2017296488B2 (en) * | 2016-07-12 | 2021-10-28 | Yoshino Gypsum Co., Ltd. | Inspection method, inspection/notification method, manufacturing method including inspection method, inspection apparatus, and manufacturing apparatus |
JP6997457B2 (ja) | 2016-07-12 | 2022-01-20 | 吉野石膏株式会社 | 検査方法、検査・通知方法、該検査方法を含む製造方法、検査装置及び製造装置 |
WO2019208808A1 (ja) * | 2018-04-27 | 2019-10-31 | 大日本印刷株式会社 | 外観検査装置および外観検査方法 |
JP2021162330A (ja) * | 2020-03-30 | 2021-10-11 | 新東工業株式会社 | 表示制御装置及び制御プログラム |
JP7363638B2 (ja) | 2020-03-30 | 2023-10-18 | 新東工業株式会社 | 表示制御装置及び制御プログラム |
US11796482B2 (en) | 2020-03-30 | 2023-10-24 | Sintokogio, Ltd. | Display control device and storage medium |
US11802842B2 (en) | 2020-03-30 | 2023-10-31 | Sintokogio, Ltd. | Display control device and storage medium |
US11810286B2 (en) | 2020-03-30 | 2023-11-07 | Sintokogio, Ltd. | Display control device and storage medium |
US11893723B2 (en) | 2020-03-30 | 2024-02-06 | Sintokogio, Ltd. | Inspection result display device and storage medium |
WO2022085135A1 (ja) * | 2020-10-21 | 2022-04-28 | Wit株式会社 | 検査システム |
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