JPH09321218A - 半導体装置およびその製造方法 - Google Patents

半導体装置およびその製造方法

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JPH09321218A
JPH09321218A JP8315009A JP31500996A JPH09321218A JP H09321218 A JPH09321218 A JP H09321218A JP 8315009 A JP8315009 A JP 8315009A JP 31500996 A JP31500996 A JP 31500996A JP H09321218 A JPH09321218 A JP H09321218A
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 薄型かつ高密度実装が可能な半導体装置を得
る。 【解決手段】 基板11に設けた開口部12に、パッケ
ージ本体18が半収容の形となるように、各開口部12
に対しICパッケージ17を基板11の両面に実装す
る。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】この発明は、薄型で高密度の
実装が可能な半導体装置に関する。
【0002】
【従来の技術】図6は従来の半導体装置を示す側面図で
ある。図6に示すように、従来の半導体装置は、マザー
ボード1の上下面上に複数の半導体集積回路パッケージ
(以下ICパッケージという)2が直接に実装されて構
成されている。3はマザーボード1の上下面上に設けら
れたICパッケージ2を搭載するためのランドである。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】従来の半導体装置は上
述したようにICパッケージ2をマザーボード1の上下
面上に直接実装して構成されているため、実装スペース
がマザーボード1の上下面面積による制約を受け、高密
度実装が困難であるという問題があった。また、ICパ
ッケージ2をマザーボード1上に浮かせて実装するもの
であるため、実装が低密度である割に実装に厚みを要す
るという問題もあった。
【0004】この発明は上記のような問題点を解決する
ためになされたもので、薄型で高密度の実装が可能な半
導体装置を得ることを目的とする。
【0005】
【課題を解決するための手段】この発明の請求項1に係
る半導体装置は、開口部を有する基板と、前記開口部に
臨むパッケージ本体と、該パッケージ本体から突出し前
記開口部の周縁において前記基板に支持されたリードと
を有し、前記開口部に対し前記基板の上面側と下面側と
に配置された集積回路パッケージとを備え、前記上面側
と下面側の集積回路パッケージの少なくとも一方は前記
開口部に半収容されて構成されている。
【0006】この発明の請求項2に係る半導体装置は、
前記リードがストレートリードであることを特徴として
いる。
【0007】この発明の請求項3に係る半導体装置は、
前記基板の上面側と下面側とに、上下対応するもの同士
が電気的に接続されて配設され、同一面側の前記リード
に電気的に接続された外部接続用端子と、前記基板の片
面側において前記外部接続用端子上に配設されたはんだ
バンプと、をさらに備えて構成されている。
【0008】この発明の請求項4に係る半導体装置は、
マザーボードの片面上に請求項3記載の半導体装置を複
数個積み重ね、それらを前記はんだバンプで接続固定し
たことを特徴としている。
【0009】この発明の請求項5に係る半導体装置は、
前記マザーボードのもう片面上にも請求項3記載の半導
体装置を複数個積み重ね、それらを前記はんだバンプで
接続固定したことを特徴としている。
【0010】この発明の請求項6に係る半導体装置は、
前記外部接続用端子が前記リードの数よりも余分に設け
られたダミー端子を含んで構成されている。
【0011】この発明の請求項7に係る半導体装置にお
いて、前記ダミー端子は、ダミー端子以外の前記外部接
続用端子とは別の少なくとも1列に整列配置される。
【0012】この発明の請求項8に係る半導体装置にお
いて、前記整列配置はチドリ状の整列配置とされる。
【0013】この発明の請求項9に係る半導体装置にお
いて、前記基板は、前記開口部の1辺あるいは対向2辺
において、前記開口部を囲わないように削除されてい
る。
【0014】この発明の請求項10に係る半導体装置の
製造方法は、請求項5記載の半導体装置の製造方法であ
って、マザーボードの片面上に請求項3記載の半導体装
置を複数個積み重ねる第1工程を備え、当該第1工程に
おいて前記はんだバンプは共晶もしくは高温はんだバン
プが用いられ、かつ前記はんだバンプと他部との当接部
位にはフラックスあるいははんだペーストが供給され、
前記はんだバンプを溶融させることにより前記第1工程
で積み重ねられた複数個の半導体装置を前記マザーボー
ドの片面上に接続固定する第2工程と、前記マザーボー
ドを裏返し、前記マザーボードのもう片面上に請求項3
記載の半導体装置を複数個積み重ねる第3工程とをさら
に備え、当該第3工程において前記はんだバンプは低温
はんだバンプが用いられ、かつ前記はんだバンプと他部
との当接部位にはフラックスあるいははんだペーストが
供給され、前記はんだバンプを溶融させることにより前
記第3工程で積み重ねられた複数個の半導体装置を前記
マザーボードのもう片面上に接続固定する第4工程をさ
らに備えて構成されている。
【0015】
【発明の実施の形態】
(実施の形態1)図1はこの発明の実施の形態1による
半導体装置を示す平面図、図2はその側面説明図であ
る。この半導体装置は基板11を備えている。基板11
にはその上下面に連通した2つの開口部12が設けられ
ている。各開口部12の周縁において、基板11の上面
上および下面上には、ICパッケージ実装用のランド1
3が配設されている。さらにランド13の外方におい
て、基板11の上面上および下面上には、外部接続用端
子としての外部接続用ランド14がICパッケージ実装
用ランド13に対応して配設されている。外部接続用ラ
ンド14とICパッケージ実装用ランド13は、対応す
るもの同士が基板11上に設けられた配線15により電
気的に接続されている。また外部接続用ランド14は、
基板11の上面側と下面側とで上下対応するもの同士が
例えばスルーホール内に設けられた導体などにより電気
的に接続されている。基板11の一方面側(図2では下
面側)において、外部接続用ランド14上には外部接続
用のはんだバンプ16が設けられている。
【0016】ICパッケージ17は、パッケージ本体1
8と、該本体18の左右側面から横方向に直状に突出し
たストレートリード19とを備えている。パッケージ本
体18は、基板11の開口部12に半収容されている。
すなわち、パッケージ本体18の略半分は開口部12内
に収容され、残りの略半分は外方に露出している。スト
レートリード19は対応するICパッケージ実装用ラン
ド13上に固定され電気的接続されることにより、開口
部12の周縁において基板11に支持されている。この
ようなICパッケージ17は、各開口部12ごとに、基
板11の上面側と下面側との両面にそれぞれ配設されて
いる。
【0017】この配設の手順は次の通りである。すなわ
ち、まず基板11の上面側にICパッケージ17を位置
決めし、リフローの手法でストレートリード19をIC
パッケージ実装用ランド13にはんだづけする。次に基
板11を裏返し、基板11の下面側にも同様にしてIC
パッケージ17をはんだづけする。
【0018】この実施の形態1によれば、ICパッケー
ジ17を基板11の開口部12に半収容した形で両面実
装しているため、薄型化が実現できる。しかも、パッケ
ージ本体18の略半分は外方に露出しているため、略半
分が開口部12内に収容されていても放熱性が悪くなる
ことはほとんどない。さらに、ストレートリード18を
用いているため、リード加工の手間が省ける。加えて、
基板11の一方面側において外部接続用ランド14上に
はんだバンプ16を設けているので、以下の実施の形態
で述べるようにパッケージを多段化して実装密度を高め
ることが容易に可能となる。
【0019】(実施の形態2)図3はこの発明の実施の
形態2による半導体装置を示す側面説明図である。この
半導体装置は、マザーボード20を備えている。マザー
ボード20の上面上には、ICパッケージ実装基板を搭
載するためのランド21が設けられている。このランド
21上には、はんだバンプ16を介して、前述した実施
の形態1におけるICパッケージ17を両面実装した基
板11が固定され電気的接続される。この1段目の基板
11の上面の外部接続用ランド14上にはさらに、はん
だバンプ16を介して、同じく実施の形態1におけるI
Cパッケージ17を両面実装した基板11が固定され電
気的接続される。このようにして、マザーボード20の
片面上に、実施の形態1におけるICパッケージ17を
両面実装した基板11が複数段積み重ねられて、はんだ
バンプ16により接続固定される。
【0020】この接続固定の手順は次の通りである。す
なわち、まずマザーボード20の上面側に、実施の形態
1におけるICパッケージ17を両面実装した基板11
を多段に位置決めする。このとき、はんだバンプ16と
ランド14,21との当接部位には、フラックスあるい
ははんだペーストを供給しておく。そして、次に、はん
だバンプ16を溶融させ、多段の基板11とマザーボー
ド20とを接続固定する。
【0021】この実施の形態2によれば、ICパッケー
ジ17を両面実装した基板11をマザーボード20上に
多段実装することで、実装面積を小さくでき、かつ高密
度実装を実現できる。しかも、ICパッケージ17を両
面実装した基板11が薄型化されているため、これを多
段実装したとしても所要厚みはそれ程大きなものとはな
らない。
【0022】(実施の形態3)図4はこの発明の実施の
形態3による半導体装置を示す側面説明図である。この
半導体装置のマザーボード20は、上面と下面の両面上
にICパッケージ実装基板を搭載するためのランド21
が設けられている。前述した実施の形態2では、マザー
ボード20の片面上に、実施の形態1によるICパッケ
ージ17を両面実装した基板11を多段に積み重ねて接
続固定したが、この実施の形態3では、マザーボード2
0のもう片面上にも、実施の形態1によるICパッケー
ジ17を両面実装した基板11を多段に積み重ねて接続
固定している。
【0023】この接続固定の手順は次の通りである。す
なわち、まず実施の形態2で述べた手順に従って、マザ
ーボード20の片面上に、実施の形態1におけるICパ
ッケージ17を両面実装した基板11を多段に接続固定
する。このとき、はんだバンプ16aとしては、共晶は
んだもしくは高温はんだバンプを用いる。次に、マザー
ボード20を裏返す。そして、マザーボード20のもう
片面上にも、実施の形態2で述べた手順に従って、実施
の形態1におけるICパッケージ17を両面実装した基
板11を多段に接続固定する。このとき、はんだバンプ
16bとしては、低温はんだバンプを用いる。これによ
り、はんだバンプ16bの溶融時に先に溶融固着したは
んだバンプ16aが再溶融することがなく、多段の基板
11が重くともマザーボード20の裏面から離脱するこ
とがなく、確実に両面多段実装が可能となる。
【0024】この実施の形態3によれば、ICパッケー
ジ17を両面実装した基板11をマザーボード20の両
面上に多段実装することで、実施の形態2よりもさらに
高密度実装を実現できる。
【0025】(実施の形態4)図5はこの発明の実施の
形態4による半導体装置を示す部分平面図である。この
実施の形態4は、上下多段に電気的接続する各ICパッ
ケージ17において共有できないリードが存在する場合
に有効なものである。図5では、基板11の上下面にそ
れぞれ実装されるICパッケージ17において、上面側
ICパッケージ17のリード19aと下面側ICパッケ
ージ17のリード19bとが共有不可の場合を示してい
る。
【0026】この実施の形態4では、共有不可のリード
19を別々に配線するために、リード19の数よりも余
分に設けられた外部接続用ランド、すなわちダミーラン
ド14aを基板11の上下面に設けている。このダミー
ランド14aも、通常の外部接続用ランド14と同様に
上下対応するもの同士が電気的接続されている。そし
て、図5の例では、上面側ICパッケージ17のリード
19aを通常の外部接続用ランド14に配線15で電気
的接続し、下面側ICパッケージ17のリード19bを
ダミーランド14aに配線15で電気的接続している。
【0027】この実施の形態4によれば、共有不可のリ
ードが存在する場合であっても図3や図4のようにIC
パッケージを多段実装することが可能となる。
【0028】(実施の形態5)図7および図8はこの発
明の実施の形態5による半導体装置を示す平面図であ
る。図7の半導体装置において、基板11は、図1に示
す実施の形態1と異なり、開口部12の1辺(図7にお
いては下辺)において、開口部12を囲わないように削
除された形となっている。また図8の半導体装置におい
ても、基板11は、図1に示す実施の形態1と異なり、
開口部12の対向2辺(図8においては上辺と下辺)に
おいて開口部12を囲わないように削除された形となっ
ている。なお、図7および図8のいずれの半導体装置に
おいても、その他の構成は図1,図2に示す半導体装置
と全く同様であり、従って図3や図4のような多段実装
とすることができる。
【0029】この実施の形態5によれば、基板11の削
除部分の分だけ基板11の面積を縮小することができ
る。従って、マザーボード上への実装スペースが小さく
て済み、実装効率を向上させることができる。
【0030】(実施の形態6)図9および図10はこの
発明の実施の形態6による半導体装置を示す部分平面図
である。これらの半導体装置は、いずれも、図5に示す
実施の形態4と同様のダミーランド14aを備えてい
る。ただし、図5の半導体装置のダミーランド14aが
通常の外部接続用ランド14と1列に整列配置されてい
るのに対し、図9および図10の半導体装置のダミーラ
ンド14aは通常の外部接続用ランド14の配列の外側
に別途に配列されている。図9では通常の外部接続用ラ
ンド14の真横にダミーランド14aがくるように配置
されており、図10では通常の外部接続用ランド14と
ダミーランド14aが互い違いにチドリ状となるように
配置されている。なお、図9および図10のいずれの半
導体装置においても、その他の構成は、図5に示す半導
体装置と同様である。
【0031】この実施の形態6によれば、前述した実施
の形態4の利点に加えて、次のような利点がある。すな
わち、上下で共有不可のリードが多数ある場合、図5の
ような1列配置ではダミーランド14aの数が少数に限
られるため対応できなくなる。そのような場合でも、図
9や図10のように2列配置としてダミーランド14a
を別途に配列すればダミーランド14aを多く設けるこ
とが可能になるため、十分に対応できる。さらにダミー
ランド14aの数を増やしたい場合には、3列以上配置
としてダミーランド14aの配列数を増やせばよい。な
お、図10のようにチドリ状配置とすることにより、配
線15が直線状でよいので配線がし易くなる。
【0032】(変形例)なお、リード19の形状はスト
レートリードに限らない。要はリード19が基板11に
支持されたときにパッケージ本体18が基板11の開口
部12に半収容されるリード形状であればよい。そうで
あれば、放熱性を犠牲にすることなく薄型化が実現でき
る。
【0033】また、この明細書で言う半収容は、パッケ
ージ本体18が基板11の開口部12に約半分収容され
る場合のみならず、全部ではなく任意の一部が収容され
る場合をも含む広い概念である。パッケージ本体18の
一部でも開口部12の外方に露出しておれば、放熱性の
低下をそれ程来たさずかつ薄型化に寄与するからであ
る。
【0034】さらに、基板11の上面側と下面側のパッ
ケージ本体18の両方が開口部12に半収容される場合
について説明したが、図11に示すようにいずれか一方
(図11では下面側)のパッケージ本体18のみが開口
部12に半収容されるものであってもよい。この場合、
基板11の厚みとしては、一方のパッケージ本体18を
半収容できる厚みがあれば足りるので、基板11を比較
的薄く形成することができる。一般に、基板端より基板
上の導体パターンまでの余白距離は、基板外形加工時の
信頼性を考慮すると、基板厚みに比例することが知られ
ている。従って、図11の場合、基板厚みを比較的薄く
できることで、上記余白距離を短くすることができ、装
置寸法を小型化することが可能になる。
【0035】さらに、リード19がパッケージ本体18
の対向2辺から出ている場合について説明したが、4辺
から出ている場合においても実施の形態5を除き同様に
この発明を適用することができる。
【0036】
【発明の効果】この発明の請求項1に係る半導体装置に
よれば、基板の上面側と下面側の少なくとも一方の集積
回路パッケージを基板の開口部に半収容した形で両面実
装しているため、放熱性を落とすことなく実装の薄型化
が実現できるという効果がある。
【0037】この発明の請求項2に係る半導体装置によ
れば、リードをストレートリードとしているため、リー
ド加工の手間を省いた上で簡便に基板開口部への半収容
すなわち薄型実装が実現できるという効果がある。
【0038】この発明の請求項3に係る半導体装置によ
れば、基板の片面側において外部接続用端子上にはんだ
バンプを備えているので、パッケージを多段化して実装
密度を高めることが容易に可能となるという効果があ
る。
【0039】この発明の請求項4に係る半導体装置によ
れば、集積回路パッケージを両面実装した基板をマザー
ボード上に多段実装しているので、実装面積を小さくで
き、高密度実装を実現できるという効果がある。しかも
集積回路パッケージを両面実装した基板が薄型化されて
いるため、これを多段実装しても厚みは小さくて済むと
いう効果もある。
【0040】この発明の請求項5に係る半導体装置によ
れば、集積回路パッケージを両面実装した基板をマザー
ボードの両面上に多段実装しているので、片面多段実装
の場合と比べてさらに高密度実装を実現できるという効
果がある。
【0041】この発明の請求項6に係る半導体装置によ
れば、上下に多段実装される集積回路パッケージに共有
不可のリードが存在する場合であっても、その共有不可
のリードの一方をダミーリードに配線することにより容
易に集積回路パッケージを多段実装することができると
いう効果がある。
【0042】この発明の請求項7に係る半導体装置によ
れば、前記共有不可のリードが多数存在する場合でも、
余裕をもって対応することができるという効果がある。
【0043】この発明の請求項8に係る半導体装置によ
れば、チドリ状配置とすることにより配線が直線状でよ
いので配線し易くなるという効果がある。
【0044】この発明の請求項9に係る半導体装置によ
れば、基板の削除部分の分だけ基板面積を縮小すること
ができ、従ってマザーボード上への実装スペースが小さ
くて済むので、実装効率を向上させることができるとい
う効果がある。
【0045】この発明の請求項10に係る半導体装置の
製造方法によれば、集積回路パッケージを両面実装した
基板をマザーボードの両面に多段実装する場合に、多段
の基板が重くとも、製造途中にそれがマザーボードの裏
面から離脱することなく、確実に両面実装が可能となる
という効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図1】 この発明の実施の形態1による半導体装置を
示す平面図である。
【図2】 図1の側面説明図である。
【図3】 この発明の実施の形態2による半導体装置を
示す側面説明図である。
【図4】 この発明の実施の形態3による半導体装置を
示す側面説明図である。
【図5】 この発明の実施の形態4による半導体装置を
示す部分平面図である。
【図6】 従来の半導体装置を示す側面図である。
【図7】 この発明の実施の形態5による半導体装置を
示す平面図である。
【図8】 この発明の実施の形態5による半導体装置を
示す平面図である。
【図9】 この発明の実施の形態6による半導体装置を
示す部分平面図である。
【図10】 この発明の実施の形態6による半導体装置
を示す部分平面図である。
【図11】 この発明の変形例による半導体装置を示す
側面説明図である。
【符号の説明】
11 基板、12 開口部、17 ICパッケージ、1
8 パッケージ本体、19 リード。

Claims (10)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 開口部を有する基板と、 前記開口部を臨むパッケージ本体と、該パッケージ本体
    から突出し前記開口部の周縁において前記基板に支持さ
    れたリードとを有し、前記開口部に対し前記基板の上面
    側と下面側とに配置された集積回路パッケージとを備
    え、 前記上面側と下面側の集積回路パッケージの少なくとも
    一方は前記開口部に半収容されている半導体装置。
  2. 【請求項2】 前記リードはストレートリードであるこ
    とを特徴とする、請求項1記載の半導体装置。
  3. 【請求項3】 前記基板の上面側と下面側とに、上下対
    応するもの同士が電気的に接続されて配設され、同一面
    側の前記リードに電気的に接続された外部接続用端子
    と、 前記基板の片面側において前記外部接続用端子上に配設
    されたはんだバンプと、 をさらに備える請求項2記載の半導体装置。
  4. 【請求項4】 マザーボードの片面上に請求項3記載の
    半導体装置を複数個積み重ね、それらを前記はんだバン
    プで接続固定したことを特徴とする半導体装置。
  5. 【請求項5】 前記マザーボードのもう片面上にも請求
    項3記載の半導体装置を複数個積み重ね、それらを前記
    はんだバンプで接続固定したことを特徴とする、請求項
    4記載の半導体装置。
  6. 【請求項6】 前記外部接続用端子は前記リードの数よ
    りも余分に設けられたダミー端子を含む、請求項3ない
    し請求項5のうちのいずれか1項に記載の半導体装置。
  7. 【請求項7】 前記ダミー端子は、ダミー端子以外の前
    記外部接続用端子とは別の少なくとも1列に整列配置さ
    れる、請求項6記載の半導体装置。
  8. 【請求項8】 前記整列配置はチドリ状の整列配置であ
    る、請求項7記載の半導体装置。
  9. 【請求項9】 前記基板は、前記開口部の1辺あるいは
    対向2辺において、前記開口部を囲わないように削除さ
    れている、請求項1ないし請求項8のうちのいずれか1
    項に記載の半導体装置。
  10. 【請求項10】 請求項5記載の半導体装置の製造方法
    であって、 マザーボードの片面上に請求項3記載の半導体装置を複
    数個積み重ねる第1工程を備え、当該第1工程において
    前記はんだバンプは共晶もしくは高温はんだバンプが用
    いられ、かつ前記はんだバンプと他部との当接部位には
    フラックスあるいははんだペーストが供給され、 前記はんだバンプを溶融させることにより前記第1工程
    で積み重ねられた複数個の半導体装置を前記マザーボー
    ドの片面上に接続固定する第2工程と、 前記マザーボードを裏返し、前記マザーボードのもう片
    面上に請求項3記載の半導体装置を複数個積み重ねる第
    3工程とをさらに備え、当該第3工程において前記はん
    だバンプは低温はんだバンプが用いられ、かつ前記はん
    だバンプと他部との当接部位にはフラックスあるいはは
    んだペーストが供給され、 前記はんだバンプを溶融させることにより前記第3工程
    で積み重ねられた複数個の半導体装置を前記マザーボー
    ドのもう片面上に接続固定する第4工程、 をさらに備える半導体装置の製造方法。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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DE19721967C2 (de) * 1996-12-06 2002-03-07 Mitsubishi Electric Corp Speicherbaustein
JP2002170924A (ja) * 2000-11-29 2002-06-14 Kyocera Corp 積層型半導体装置および実装基板
JP2007250764A (ja) * 2006-03-15 2007-09-27 Elpida Memory Inc 半導体装置及びその製造方法

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE19721967C2 (de) * 1996-12-06 2002-03-07 Mitsubishi Electric Corp Speicherbaustein
JP2002170924A (ja) * 2000-11-29 2002-06-14 Kyocera Corp 積層型半導体装置および実装基板
JP4521984B2 (ja) * 2000-11-29 2010-08-11 京セラ株式会社 積層型半導体装置および実装基板
JP2007250764A (ja) * 2006-03-15 2007-09-27 Elpida Memory Inc 半導体装置及びその製造方法

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