JPH09303843A - ガス状汚染成分除去方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 湿度調整器や空気温調整器の別途装備を不要
にしながら、ガス状汚染成分の室内濃度の低減と合わせ
て、室内湿度又は室内温度を調整する。 【解決手段】 対象室１の室内空気Ａ１を洗浄器２に導
き、この空気Ａ１を洗浄器２で洗浄水Ｗと接触させて、
洗浄水Ｗへの吸収により空気中のガス状汚染成分を除去
し、この洗浄処理後の空気Ａ２を対象室に戻すことによ
り、対象室１の室内におけるガス状汚染成分の濃度を低
減させることにおいて、洗浄器２で洗浄処理に用いる洗
浄水Ｗを、水温調整手段１３により冷却又は加熱して温
度調整し、この水温調整により、洗浄処理によるガス状
汚染成分の室内濃度低減とともに、対象室１の室内湿度
ｘａ又は室内温度ｔａを調整する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、半導体集積回路の
製造などにおいて品質低下の原因となる空気中ガス状汚
染成分（例えば、アンモニアイオンや塩素イオンなど）
を除去する方法に関し、詳しくは、対象室の室内空気を
洗浄器に導き、この空気を洗浄器で洗浄水と接触させ
て、洗浄水への吸収により空気中のガス状汚染成分を除
去し、この洗浄処理後の空気を前記対象室に戻すことに
より、前記対象室の室内におけるガス状汚染成分の濃度
を低減させるガス状汚染成分除去方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】ところで、空気を水と接触させて空気中
のガス状汚染成分を除去する方式は一般にスクラバ方式
と呼ばれ、このスクラバ方式では、洗浄水として水道水
を用いるもの、また、洗浄水として水道水を用いながら
その水道水を洗浄処理に繰り返し使用する水循環式のも
の、あるいはまた、純水を洗浄水として用いるものなど
があるが、従来、いずれのスクラバ方式にしても、洗浄
器から送出される洗浄処理後の空気の温度、湿度は成り
行きとなっており、したがって、洗浄処理後の空気を対
象室に戻してその対象室におけるガス状汚染成分の室内
濃度を低減する場合において、その対象室の室内湿度や
室内温度を調整するには、洗浄器から対象室に戻す空気
や対象室の室内空気を除湿ないし加湿（一般には再熱後
の加湿）する湿度調整器や、冷却（一般には除湿を伴う
冷却）ないし加熱する空気温調整器を別途必要としてい
た。（例えば、特開平５−４４９５９号公報参照）

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかし、上記の如き従
来形式では、洗浄器とは別に湿度調整器や空気温調整器
を装備するため、設備スペースが嵩む、また、設備コス
トが高く付く問題があった。

【０００４】以上の実情に対し、本発明の主たる課題
は、洗浄器を利用した合理的な温湿度調整を行うことに
より、設備スペースの縮小、及び、設備コストの低減を
図りながら、ガス状汚染成分の室内濃度低減と合わせ
て、対象室の室内湿度や室内温度を調整できるようにす
る点にある。

【０００５】

【課題を解決するための手段】

〔請求項１記載の発明〕請求項１記載の発明では、対象
室から導かれる空気を洗浄器で洗浄水と接触させて、空
気中のガス状汚染成分を洗浄水への吸収により除去する
ことと合わせ、この洗浄処理に用いる洗浄水を水温調整
手段により冷却又は加熱して温度調整することにより、
洗浄器から対象室へ戻す空気の湿度や温度を調整し、こ
れにより、対象室の室内湿度又は室内温度を調整する。

【０００６】つまり、空気を水と接触させれば、その空
気は水温と等しい温度の飽和状態に向かって状態変化す
ることから、洗浄器において空気と接触させる洗浄水に
対し冷却による温度調整を施せば、洗浄処理に伴い、空
気の絶対湿度や温度を、この冷却による水温調整を行わ
ない場合に比べ低下側に調整でき、これをもって、対象
室の室内湿度ないし室内温度を調整することができる。

【０００７】また、洗浄器において空気と接触させる洗
浄水に対し加熱による温度調整を施せば、洗浄処理に伴
い、空気の絶対湿度や温度を、この加熱による水温調整
を行わない場合に比べ上昇側に調整でき、これをもっ
て、対象室の室内湿度ないし室内温度を調整することが
できる。

【０００８】すなわち、請求項１記載の発明によれば、
洗浄処理によるガス状汚染成分の室内濃度低減と合わ
せ、洗浄器を湿度調整器や空気温調整器に兼用する形態
で、湿度調整器の別途装備を不要にしながら対象室の室
内湿度を調整する、あるいは、空気温調整器の別途装備
を不要にしながら対象室の室内温度を調整する、また場
合によっては、湿度調整器及び空気温調整器の双方の別
途装備を不要にしながら、対象室の室内湿度と室内温度
を調整するといったことができる。

【０００９】そして、洗浄水を冷却又は加熱により温度
調整する水温調整手段の付加は必要となるものの、湿度
調整器や空気温調整と水温調整手段とを比べれば、熱源
装置部分は同等としても、水に比べて体積の大きな空気
を調整対象とする湿度調整器や空気温調整器に比べ、水
温調整手段は水を調整対象とする面で全体としては装置
的に小型なもので済み、その分だけ設備スペースを縮小
し得るとともに、設備コストを低減できる。

【００１０】〔請求項２記載の発明〕請求項２記載の発
明では、水温調整手段により洗浄水を冷却又は加熱して
温度調整することにより、洗浄処理に伴い先ず空気の絶
対湿度を調整する。そして、これに続き、この洗浄処理
後の空気を空気温調整器により加熱して温度調整し、こ
の調整空気を対象室に戻す。

【００１１】つまり、このように洗浄器から対象室に戻
す空気の絶対湿度と温度を個別的に調整することによ
り、洗浄処理によるガス状汚染成分の室内濃度低減と合
わせて、対象室の室内湿度と室内温度を個別に調整す
る。

【００１２】すなわち、請求項２記載の発明によれば、
洗浄器を湿度調整器に兼用する形態で、湿度調整器の別
途装備を不要にすることができ、これにより、設備スペ
ースを縮小し得るとともに設備コストを低減できる。そ
してまた、室内湿度と室内温度を個別に調整できるか
ら、これら室内湿度の調整目標値と室内温度の調整目標
値を各々自由に設定でき、この点、種々のユーザー用途
に対して対応性の高い温湿度調整機能を得ることができ
る。

【００１３】〔請求項３記載の発明〕請求項３記載の発
明では、対象室から取り出して再び対象室に戻す循環空
気のうちの一部を洗浄器で洗浄処理することにおいて、
水温調整手段により洗浄水を冷却又は加熱して温度調整
することにより、洗浄処理に伴い、その一部空気の絶対
湿度を調整し、これにより、対象室へ戻す循環空気の絶
対湿度、すなわち、洗浄処理後の空気と洗浄器を迂回さ
せた側の空気との合流気の絶対湿度を調整する。また、
洗浄器よりも下流側において、対象室へ戻す循環空気を
空気温調整器により加熱又は冷却して温度調整する。

【００１４】つまり、このように対象室に戻す循環空気
の湿度と温度を個別的に調整することにより、上記した
請求項２記載の発明と同様、洗浄処理によるガス状汚染
成分の室内濃度低減と合わせて、対象室の室内湿度と室
内温度を個別に調整する。

【００１５】すなわち、請求項３記載の発明によれば、
請求項２記載の発明と同様、洗浄器を湿度調整器に兼用
する形態で、湿度調整器の別途装備を不要にすることが
でき、これにより、設備スペースを縮小し得るとともに
設備コストを低減できる。また、室内湿度と室内温度を
個別に調整できるから、これら室内湿度の調整目標値と
室内温度の調整目標値を各々自由に設定でき、この点
で、種々のユーザー用途に対して対応性の高い温湿度調
整機能を得ることができる。

【００１６】しかも、循環空気のうちの一部のみを洗浄
器で洗浄処理する形態を採ることから、循環風量の割り
に洗浄器が小型なもので済み、これにより、設備スペー
スの縮小、及び、設備コストの低減を一層効果的に達成
できる。

【００１７】〔請求項４記載の発明〕請求項４記載の発
明では、洗浄器で空気の洗浄処理に用いた洗浄水を捕集
し、この捕集洗浄水を空気の洗浄処理に再使用する洗浄
水の循環使用において、その捕集洗浄水を水温調整手段
の温度調整対象とし、この捕集洗浄水の水温調整によ
り、前述の如く洗浄処理に伴い空気の絶対湿度や温度を
調整して、対象室の室内湿度又は室内温度を調整する。

【００１８】すなわち、請求項４記載の発明によれば、
循環使用する洗浄水を水温調整手段により温度調整する
から、一度の洗浄処理で排出してしまう一過的使用の洗
浄水を温度調整する形態に比べ、洗浄水排出に伴う熱ロ
スを無くし、水温調整手段に要求される冷却量や加熱量
を小さくすることができ、これにより、ランニングコス
トの低減、及び、省エネを効果的に達成することができ
る。

【００１９】〔請求項５記載の発明〕請求項５記載の発
明では、洗浄水の循環使用において、捕集洗浄水におけ
る捕集汚染成分の濃度が徐々に増大し、これにより、ガ
ス状汚染成分の吸収除去効果が低下することに対し、こ
の捕集洗浄水における捕集汚染成分の濃度を検出手段に
より検出し、この検出濃度に基づき、洗浄水循環系に対
する新鮮洗浄水の補給を自動補給手段により制御するこ
とで、ガス状汚染成分の吸収除去効果を高く保つように
する。

【００２０】すなわち、請求項５記載の発明によれば、
洗浄水の循環使用により、洗浄水の消費量を少なくし
て、また、前述の如く水温調整手段の必要冷却量や必要
加熱量を小さくして、ランニングコストの節減を図りな
がらも、ガス状汚染成分の吸収除去効果を高く安定的に
保つことができる。

【００２１】〔請求項６記載の発明〕請求項６記載の発
明では、ガス状汚染成分の吸収除去効果を調整するため
に、空気と接触させる洗浄水の量を変更すると、洗浄処
理に伴う湿度調整効果や空気温調整効果も変化して、洗
浄処理後の空気の絶対湿度や温度までが変化してしまう
ことに対し、ガス状汚染成分に対する吸収除去効果の調
整と、洗浄処理に伴う空気の絶対湿度ないし温度の調整
とを次の如く行う。

【００２２】つまり、空気中におけるガス状汚染成分の
濃度、及び、空気の状態値（湿度や温度）を検出手段に
より検出し、これに対し、制御手段により、検出される
ガス状汚染成分の濃度に基づき、空気と接触させる洗浄
水の量を自動調整することで、ガス状汚染成分の吸収除
去効果について必要な効果を確保する。また、制御手段
により、検出される空気の状態値に基づき、水温調整手
段による水温調整の目標温度を自動変更することで、上
記の水量調整による吸収除去効果の調整とは独立させ
て、洗浄処理に伴う空気の絶対湿度ないし温度の調整効
果につき必要な効果を確保する。

【００２３】すなわち、請求項６記載の発明によれば、
ガス状汚染成分の吸収除去効果として必要な効果を安定
的に得るようにしながら、洗浄処理に伴う空気の絶対湿
度ないし温度の調整効果も必要な効果を安定的に得るこ
とができ、これにより、対象室におけるガス状汚染成分
の室内濃度の低減と、対象室の室内湿度又は室内温度の
調整とを、各々の要求程度に応じて的確かつ安定的に実
現できる。

【００２４】

【発明の実施の形態】

〔第１実施形態〕図１において、１はクリーンルームと
して用いる対象室、２は対象室１から通気性床３を介し
て床下排気チャンバ４に排出される空気Ａ１を洗浄処理
する洗浄器、５は洗浄処理後の空気Ａ２を天井給気チャ
ンバ６に導く縦風路、７は天井給気チャンバ６から対象
室１の室内へ供給する空気Ａ２から微細塵埃や菌類など
の微細物を除去する高性能フィルタであり、床下排気チ
ャンバ４、縦風路５、及び、天井給気チャンバ６により
循環風路を形成し、循環ファン８の運転により、対象室
１から取り出した空気Ａ１を循環風路を介して再び対象
室１に戻す循環式空調を実施する。

【００２５】洗浄器２は、対象室１からの排出空気Ａ１
を洗浄水Ｗと接触させて、洗浄水Ｗへの吸収により空気
Ａ１中のガス状汚染成分を除去するものであり、この洗
浄器２で洗浄処理した空気Ａ２を上記の循環式空調にお
いて対象室１に戻すことにより、対象室１の室内におけ
るガス状汚染成分の濃度を低減する。

【００２６】除去対象のガス状汚染成分は、例えば、半
導体集積回路の製造において品質低下の原因となる等、
クリーンルームとしての使用において支障となるアンモ
ニアイオン、塩素イオン、ナトリウムイオン、カルシウ
ムイオン等の空気中のガス状化学成分（すなわち、高性
能フィルタ７では除去できないガス状化学成分）であ
り、これらガス状汚染成分が対象室１で室内発生するこ
とに対し、あるいはまた、外部から対象室１に持ち込ま
れることに対し、上記洗浄処理によるガス状汚染成分の
室内濃度低減をもって、対象室１の室内をクリーンルー
ムとしての使用に適切な室内状態に維持する。

【００２７】洗浄器２にはエアワッシャ形式を採用して
おり、その具体的構造として、器内への取り入れ空気Ａ
１を洗浄に適した乱流状態にするバッフル板群９、通過
空気Ａ１に対し洗浄水Ｗを散水して通過空気Ａ１を洗浄
処理する散水ノズル群１０、及び、洗浄処理後の空気Ａ
２中に残存する水滴を捕捉除去（いわゆる水切り処理）
するエリミネータ１１を備えている。また、散水して洗
浄処理に用いた洗浄水Ｗ、及び、エリミネータ１１で捕
捉した洗浄水Ｗの水滴を捕集する洗浄水槽１２を備え、
この洗浄水槽１２における貯留洗浄水Ｗを、循環ポンプ
１２ｐにより散水ノズル群１０に供給して空気Ａ１の洗
浄処理に繰り返し使用する洗浄水循環方式を採用してあ
る。なお、１２ａは洗浄水槽１２に対する補給水路であ
る。

【００２８】対象室１の室内湿度ｘａ及び室内温度ｔａ
の調整については、洗浄器２を循環空気Ａ１に対する湿
度調整器及び空気温調整器に兼用する形態の調整方式を
採っており、具体的には、洗浄水槽１２における貯留洗
浄水Ｗを冷却又は加熱して温度調整する水温調整手段１
３を設け、そして、下記（Ｍ１）〜（Ｍ５）の例の如
く、この水温調整手段１３により、洗浄処理に用いる洗
浄水Ｗの温度ｔｗを調整することで、散水による洗浄処
理に伴い、通過空気Ａ１の絶対湿度及び温度を調整し、
このように温湿度調整した空気Ａ２（すなわち、洗浄処
理後の空気）を循環空調において対象室１に戻すことに
より、対象室１の室内湿度ｘａ及び室内温度ｔａを調整
する。

【００２９】なお、本実施形態では、室内湿度ｘａを絶
対湿度で表現するが、これに代え、室内湿度を相対湿度
で表現するようにしてもよい。また、下記（Ｍ１）〜
（Ｍ５）の調整例を湿り空気線図上で示す図２，図３の
（イ）〜（ホ）において、ａ点は対象室１の室内空気Ａ
１の状態（湿度ｘａ，温度ｔａ）を示し、ｂ点は洗浄処
理後の空気Ａ２の状態（湿度ｘｂ，温度ｔｂ）を示し、
図中の破線の矢印は、水温調整手段１３による水温調整
を行わない場合の洗浄器通過過程の空気Ａ１の状態変化
（つまり、成り行きの状態変化）を示す。

【００３０】（Ｍ１）図２の（イ）に示す如く、洗浄水
Ｗを水温調整手段１３により冷却して、その水温ｔｗを
ｔｗ１（ｔｗ１＜室内空気Ａ１の露点温度ｔｗ２、例え
ば、０〜７℃程度の温度）に調整することにより、洗浄
処理に伴い、空気Ａ１を冷却・除湿してａ点の状態から
ｂ点の状態に調整し、このｂ点の調整空気Ａ２を対象室
１に戻すことにより、対象室１における顕熱冷却負荷Ｑ
及び除湿負荷Ｈに対し、対象室１の室内湿度ｘａ及び室
内温度ｔａを目標の調整範囲内に調整・維持する。

【００３１】（Ｍ２）図２の（ロ）に示す如く、洗浄水
Ｗを水温調整手段１３により冷却して、その水温ｔｗを
ｔｗ２（室内空気Ａ１の露点温度）に調整することによ
り、洗浄処理に伴い、空気Ａ１を冷却してａ点の状態か
らｂ点の状態に調整し、このｂ点の調整空気Ａ２を対象
室１に戻すことにより、対象室１における顕熱冷却負荷
Ｑに対し、対象室１の室内湿度ｘａ及び室内温度ｔａを
目標の調整範囲内に調整・維持する。

【００３２】（Ｍ３）図２の（ハ）に示す如く、洗浄水
Ｗを水温調整手段１３により冷却して、その水温ｔｗを
ｔｗ３（ｔｗ２＜ｔｗ３＜前記の成り行き変化の場合の
水温ｔｗ０）に調整することにより、洗浄処理に伴い、
空気Ａ１を冷却・加湿してａ点の状態からｂ点の状態に
調整し、このｂ点の調整空気Ａ２を対象室１に戻すこと
により、対象室１における顕熱冷却負荷Ｑ及び加湿負荷
Ｈに対し、対象室１の室内湿度ｘａ及び室内温度ｔａを
目標の調整範囲内に調整・維持する。

【００３３】（Ｍ４）図３の（ニ）に示す如く、洗浄水
Ｗを水温調整手段１３により加熱して、その水温ｔｗを
ｔｗ４（ｔｗ０＜ｔｗ４＜室内空気Ａ１の温度ｔａ）に
調整することにより、洗浄処理に伴い、空気Ａ１を冷却
・加湿してａ点の状態からｂ点の状態に調整し、このｂ
点の調整空気Ａ２を対象室１に戻すことにより、対象室
１における顕熱冷却負荷Ｑ及び加湿負荷Ｈに対し、対象
室１の室内湿度ｘａ及び室内温度ｔａを目標の調整範囲
内に調整・維持する。

【００３４】（Ｍ５）図３の（ホ）に示す如く、洗浄水
Ｗを水温調整手段１３により加熱して、その水温ｔｗを
ｔｗ５（ｔａ＜ｔｗ５）に調整することにより、洗浄処
理に伴い、空気Ａ１を加熱・加湿してａ点の状態からｂ
点の状態に調整し、このｂ点の調整空気Ａ２を対象室１
に戻すことにより、対象室１における顕熱加熱負荷Ｑ及
び加湿負荷Ｈに対し、対象室１の室内湿度ｘａ及び室内
温度ｔａを目標の調整範囲内に調整・維持する。

【００３５】なお、本実施形態では水温調整手段１３と
して、洗浄水槽１２に配備した熱交換器１４に対し、熱
源装置１５で冷却又は加熱した熱媒Ｒ（例えば水やブラ
イン）を循環ポンプ１６により循環供給することで、熱
交換器１４において洗浄水Ｗと熱媒Ｒとを熱交換させて
洗浄水Ｗを冷却又は加熱する形式を採用してある。

【００３６】また、洗浄水Ｗの水温調整により対象室１
の室内湿度ｘａ及び室内温度ｔａを調整するにあたって
は、洗浄水Ｗの水温ｔｗを検出する水温センサ１７の検
出情報に基づき、制御器１８により、洗浄水Ｗの水温ｔ
ｗが目標温度ｔｗｗになるように熱源装置１５の冷却出
力又は加熱出力を自動調整するとともに、室内湿度ｘａ
を検出する湿度センサ１９、及び、室内温度ｔａを検出
する温度センサ２０の検出情報に基づき、室内湿度ｘａ
及び室内温度ｔａが目標の調整範囲内になるように、制
御器１８において、水温調整における上記の目標温度ｔ
ｗｗを自動変更（例えば、上記（Ｍ１）の例において、
ｔｗｗ＝ｔｗ１をｔｗｗ＝ｔｗ１＋αに変更）するよう
にしてある。

【００３７】つまり、室内湿度ｘａ及び室内温度ｔａの
検出情報に基づき、水温調整手段１３による水温調整の
目標温度ｔｗｗを自動的に変更調整することで、室内の
負荷変動にかかわらず、室内湿度ｘａ及び室内温度ｔａ
を目標の調整範囲内に調整・維持する。

【００３８】〔第２実施形態〕図４は前記の第１実施形
態で示した設備構成に対し構成変更を加えたものを示
し、その主な変更点は、洗浄処理後の空気Ａ２を加熱し
て温度調整する空気温調整器２１を付加装備した点にあ
る。

【００３９】すなわち、図４に示すものでは、下記（Ｍ
６）〜（Ｍ９）の例の如く、水温調整手段１３により洗
浄水Ｗを冷却又は加熱して温度調整することにより、洗
浄器２を湿度調整器に兼用する形態で、洗浄処理に伴
い、通過空気Ａ１の絶対湿度を調整し、さらに、この洗
浄処理後の空気Ａ２を空気温調整器２１により加熱して
温度調整し、この調整空気Ａ３を循環空調において対象
室１に戻す。

【００４０】つまり、このように対象室１に戻す空気Ａ
３の湿度と温度を個別的に調整することにより、洗浄処
理によるガス状汚染成分の室内濃度低減と合わせて、対
象室１の室内湿度ｘａと室内温度ｔａを個別に調整す
る。

【００４１】なお、下記（Ｍ６）〜（Ｍ９）の調整例を
湿り空気線図上で示す図５の（イ）〜（ニ）において、
ａ点は対象室１の室内空気Ａ１の状態（湿度ｘａ，温度
ｔａ）を示し、ｂ点は洗浄処理後の空気Ａ２の状態（湿
度ｘｂ，温度ｔｂ）を示し、ｃ点は空気温調整器２１に
よる温度調整後の空気Ａ３の状態（湿度ｘｃ，温度ｔ
ｃ）を示す。また、図中の破線の矢印は、図２の場合と
同様、水温調整手段１３による水温調整を行わない場合
の洗浄器通過過程の空気Ａ１の状態変化（つまり、成り
行きの状態変化）を示す。

【００４２】（Ｍ６）図５の（イ）に示す如く、洗浄水
Ｗを水温調整手段１３により冷却して、その水温ｔｗを
ｔｗ１（ｔｗ１＜室内空気Ａ１の露点温度ｔｗ２、例え
ば、０〜７℃程度の温度）に調整することにより、洗浄
処理に伴い、空気Ａ１を除湿（冷却除湿）してａ点の状
態からｂ点の状態に調整し、また、この洗浄処理後の空
気Ａ２を空気温調整器２１により加熱（いわゆる再熱）
してｂ点の状態からｃ点の状態に調整し、このｃ点の調
整空気Ａ３を対象室１に戻すことにより、対象室１にお
ける顕熱冷却負荷Ｑ及び除湿負荷Ｈに対し、対象室１の
室内湿度ｘａと室内温度ｔａとを各々の目標値ｘａａ，
ｔａａに調整・維持する。

【００４３】（Ｍ７）図５の（ロ）に示す如く、洗浄水
Ｗを水温調整手段１３により冷却して、その水温ｔｗを
ｔｗ１（ｔｗ１＜ｔｗ２）に調整することにより、洗浄
処理に伴い、空気Ａ１を除湿（冷却除湿）してａ点の状
態からｂ点の状態に調整し、また、この洗浄処理後の空
気Ａ２を空気温調整器２１により加熱（再熱）してｂ点
の状態からｃ点の状態に調整し、このｃ点の調整空気Ａ
３を対象室１に戻すことにより、対象室１における顕熱
加熱負荷Ｑ及び除湿負荷Ｈに対して、対象室１の室内湿
度ｘａと室内温度ｔａとを各々の目標値ｘａａ，ｔａａ
に調整・維持する。

【００４４】（Ｍ８）図５の（ハ）に示す如く、洗浄水
Ｗを水温調整手段１３により冷却して、その水温ｔｗを
ｔｗ３（ｔｗ２＜ｔｗ３＜前記の成り行き変化の場合の
水温ｔｗ０）に調整することにより、洗浄処理に伴い、
空気Ａ１を加湿してａ点の状態からｂ点の状態に調整
し、また、この洗浄処理後の空気Ａ２を空気温調整器２
１により加熱（再熱）してｂ点の状態からｃ点の状態に
調整し、このｃ点の調整空気Ａ３を対象室１に戻すこと
により、対象室１における顕熱加熱負荷Ｑ及び加湿負荷
Ｈに対し、対象室１の室内湿度ｘａと室内温度ｔａとを
各々の目標値ｘａａ，ｔａａに調整・維持する。

【００４５】（Ｍ９）図５の（ニ）に示す如く、洗浄水
Ｗを水温調整手段１３により加熱して、その水温ｔｗを
ｔｗ４’（ｔｗ０＜ｔｗ４’）に調整することにより、
洗浄処理に伴い、空気Ａ１を加湿してａ点の状態からｂ
点の状態に調整し、また、この洗浄処理後の空気Ａ２を
空気温調整器２１により加熱（再熱）してｂ点の状態か
らｃ点の状態に調整し、このｃ点の調整空気Ａ３を対象
室１に戻すことにより、対象室１における顕熱加熱負荷
Ｑ及び加湿負荷Ｈに対し、対象室１の室内湿度ｘａと室
内温度ｔａとを各々の目標値ｘａａ，ｔａａに調整・維
持する。

【００４６】なお、本実施形態では、洗浄水Ｗの水温調
整と、空気温調整器２１による空気温調整とをもって対
象室１の室内湿度ｘａと室内温度ｔａを調整するにあた
り、洗浄水Ｗの水温ｔｗを検出する水温センサ１７の検
出情報に基づき、制御器２２により、洗浄水Ｗの水温ｔ
ｗが目標温度ｔｗｗになるように熱源装置１５の冷却出
力又は加熱出力を自動調整するとともに、室内湿度ｘａ
を検出する湿度センサ１９の検出情報に基づき、室内湿
度ｘａが目標値ｘａａになるように、制御器２２におい
て、水温調整における上記の目標温度ｔｗｗを自動変更
（例えば、上記（Ｍ６）の例において、ｔｗｗ＝ｔｗ１
をｔｗｗ＝ｔｗ１＋αに変更）するようにしてある。

【００４７】また、室内温度ｔａを検出する温度センサ
２０の検出情報に基づき、室内温度ｔａが目標値ｔａａ
になるように、制御器２２により、空気温調整器２１の
加熱出力を自動調整（換言すれば、空気温調整器２１に
よる空気の調整温度ｔｃを自動調整）するようにしてあ
る。

【００４８】つまり、室内湿度ｘａの検出情報に基づ
き、水温調整手段１３による水温調整の目標温度ｔｗｗ
を自動的に変更調整することで、また、室内温度ｔａの
検出情報に基づき、空気温調整器２１の加熱出力を自動
調整することで、室内の負荷変動にかかわらず、室内湿
度ｘａと室内温度ｔａとを各々の目標値ｘａａ，ｔａａ
に調整・維持する。

【００４９】〔第３実施形態〕図６は前記の第２実施形
態で示した設備構成に対し構成変更を加えたものを示
し、その主な変更点は、対象室１から取り出して再び対
象室１に戻す循環空気Ａ１のうちの一部Ａ１’を洗浄器
２で洗浄処理するようにし、そして、洗浄処理後の空気
Ａ２と洗浄器２を迂回させた側の空気Ａ１”との合流気
Ａ３を、空気温調整器２１により加熱又は冷却して温度
調整するようにした点にある。

【００５０】すなわち、図６に示すものでは、下記（Ｍ
１０）〜（Ｍ１４）の例の如く、水温調整手段１３によ
り洗浄水Ｗを冷却又は加熱して温度調整することによ
り、洗浄器２を湿度調整器に兼用する形態で、洗浄処理
に伴い、通過一部空気Ａ１’の絶対湿度を調整し、これ
により、洗浄処理後の空気Ａ２と洗浄器２を迂回させた
側の空気Ａ１”との合流気Ａ３の絶対湿度を調整する。
また、これに続き、この合流気Ａ３を空気温調整器２１
により加熱又は冷却して温度調整し、この調整空気Ａ４
を循環空調において対象室１に戻す。

【００５１】つまり、このように対象室１に戻す空気Ａ
４の湿度と温度を個別的に調整することにより、洗浄処
理によるガス状汚染成分の室内濃度低減と合わせて、対
象室１の室内湿度ｘａと室内温度ｔａを個別に調整す
る。

【００５２】なお、下記（Ｍ１０）〜（Ｍ１４）の調整
例を湿り空気線図上で示す図７，図８の（イ）〜（ホ）
において、ａ点は対象室１の室内空気Ａ１の状態（湿度
ｘａ，温度ｔａ）を示し、ｂ点は洗浄処理後の空気Ａ２
の状態（湿度ｘｂ，温度ｔｂ）を示し、ｃ点は合流気Ａ
３の状態（湿度ｘｃ，温度ｔｃ）を示し、ｄ点は空気温
調整器２１による温度調整後の空気Ａ４の状態（湿度ｘ
ｄ，温度ｔｄ）を示す。また、図中の破線の矢印は、図
２や図４の場合と同様、水温調整手段１３による水温調
整を行わない場合の洗浄器通過過程の空気Ａ１’の状態
変化（つまり、成り行きの状態変化）を示す。

【００５３】（Ｍ１０）図７の（イ）に示す如く、洗浄
水Ｗを水温調整手段１３により冷却して、その水温ｔｗ
をｔｗ１（ｔｗ１＜室内空気Ａ１の露点温度ｔｗ２、例
えば、０〜７℃程度の温度）に調整することにより、洗
浄処理に伴い、通過一部空気Ａ１’を除湿（冷却除湿）
してａ点の状態からｂ点の状態に調整し、このｂ点にお
ける洗浄処理後の空気Ａ２と、洗浄器迂回側の空気Ａ
１”とを合流させることにより、ｃ点の状態の合流気Ａ
３を得る。そして、この合流気Ａ３を空気温調整器２１
により冷却してｃ点の状態からｄ点の状態に調整し、こ
のｄ点の調整空気Ａ４を対象室１に戻すことにより、対
象室１における顕熱冷却負荷Ｑ及び除湿負荷Ｈに対し、
対象室１の室内湿度ｘａと室内温度ｔａとを各々の目標
値ｘａａ，ｔａａに調整・維持する。

【００５４】（Ｍ１１）図７の（ロ）に示す如く、洗浄
水Ｗを水温調整手段１３により冷却して、その水温ｔｗ
をｔｗ１（ｔｗ１＜ｔｗ２）に調整することにより、洗
浄処理に伴い、通過一部空気Ａ１’を除湿（冷却除湿）
してａ点の状態からｂ点の状態に調整し、このｂ点にお
ける洗浄処理後の空気Ａ２と、洗浄器迂回側の空気Ａ
１”とを合流させることにより、ｃ点の状態の合流気Ａ
３を得る。そして、この合流気Ａ３を空気温調整器２１
により加熱（いわゆる再熱）してｃ点の状態からｄ点の
状態に調整し、このｄ点の調整空気Ａ４を対象室１に戻
すことにより、対象室１における顕熱冷却負荷Ｑ及び除
湿負荷Ｈに対し、対象室１の室内湿度ｘａと室内温度ｔ
ａとを各々の目標値ｘａａ，ｔａａに調整・維持する。

【００５５】（Ｍ１２）図７の（ハ）に示す如く、洗浄
水Ｗを水温調整手段１３により冷却して、その水温ｔｗ
をｔｗ１（ｔｗ１＜ｔｗ２）に調整することにより、洗
浄処理に伴い、通過一部空気Ａ１’を除湿（冷却除湿）
してａ点の状態からｂ点の状態に調整し、このｂ点にお
ける洗浄処理後の空気Ａ２と、洗浄器迂回側の空気Ａ
１”とを合流させることにより、ｃ点の状態の合流気Ａ
３を得る。そして、この合流気Ａ３を空気温調整器２１
により加熱（いわゆる再熱）してｃ点の状態からｄ点の
状態に調整し、このｄ点の調整空気Ａ４を対象室１に戻
すことにより、対象室１における顕熱加熱負荷Ｑ及び除
湿負荷Ｈに対し、対象室１の室内湿度ｘａと室内温度ｔ
ａとを各々の目標値ｘａａ，ｔａａに調整・維持する。

【００５６】（Ｍ１３）図８の（ニ）に示す如く、洗浄
水Ｗを水温調整手段１３により冷却して、その水温ｔｗ
をｔｗ３（ｔｗ２＜ｔｗ３＜前記の成り行き変化の場合
の水温ｔｗ０）に調整することにより、洗浄処理に伴
い、通過一部空気Ａ１’を加湿してａ点の状態からｂ点
の状態に調整し、このｂ点における洗浄処理後の空気Ａ
２と、洗浄器迂回側の空気Ａ１”とを合流させることに
より、ｃ点の状態の合流気Ａ３を得る。そして、この合
流気Ａ３を空気温調整器２１により加熱（再熱）してｃ
点の状態からｄ点の状態に調整し、このｄ点の調整空気
Ａ４を対象室１に戻すことにより、対象室１における顕
熱加熱負荷Ｑ及び加湿負荷Ｈに対し、対象室１の室内湿
度ｘａと室内温度ｔａとを各々の目標値ｘａａ，ｔａａ
に調整・維持する。

【００５７】（Ｍ１４）図８の（ホ）に示す如く、洗浄
水Ｗを水温調整手段１３により加熱して、その水温ｔｗ
をｔｗ４’（ｔｗ０＜ｔｗ４’）に調整することによ
り、洗浄処理に伴い、通過一部空気Ａ１’を加湿してａ
点の状態からｂ点の状態に調整し、このｂ点における洗
浄処理後の空気Ａ２と、洗浄器迂回側の空気Ａ１”とを
合流させることにより、ｃ点の状態の合流気Ａ３を得
る。そして、この合流気Ａ３を空気温調整器２１により
加熱（再熱）してｃ点の状態からｄ点の状態に調整し、
このｄ点の調整空気Ａ４を対象室１に戻すことにより、
対象室１における顕熱加熱負荷Ｑ及び加湿負荷Ｈに対
し、対象室１の室内湿度ｘａと室内温度ｔａとを各々の
目標値ｘａａ，ｔａａに調整・維持する。

【００５８】なお、本実施形態では水温調整手段１３と
して、洗浄水槽１２と熱源装置２３との間で洗浄水Ｗを
循環させて、この熱源装置２３により洗浄水Ｗを直接的
に冷却又は加熱する形式を採用してある。

【００５９】また、洗浄水Ｗの水温調整と、空気温調整
器２１による空気温調整とをもって対象室１の室内湿度
ｘａと室内温度ｔａを調整するにあたっては、洗浄水Ｗ
の水温ｔｗを検出する水温センサ１７の検出情報に基づ
き、装置側制御器２４により、洗浄水Ｗの水温ｔｗが目
標温度ｔｗｗになるように熱源装置２３の冷却出力又は
加熱出力を自動調整するとともに、洗浄処理後の空気Ａ
２の絶対湿度ｘｂを検出する湿度センサ２５の検出情報
に基づき、洗浄処理後の空気Ａ２の絶対湿度ｘｂが目標
値ｘｂｂになるように、装置側制御器２４において、水
温調整における上記の目標温度ｔｗｗを自動変更するよ
うにしてあり、さらに、対象室１の室内湿度ｘａを検出
する湿度センサ２６の検出情報に基づき、対象室側制御
器２７により、対象室１の室内湿度ｘａが目標値ｘａａ
になるように、上記の装置側制御器２４における洗浄処
理後空気Ａ２の絶対湿度目標値ｘｂｂを自動変更するよ
うにしてある。

【００６０】略言すれば、対象室側制御器２７と装置側
制御器２４とを合わせた制御動作として、室内湿度ｘａ
が目標値ｘａａになるように水温調整における目標温度
ｔｗｗを自動変更（例えば、上記（Ｍ１０）の例におい
て、ｔｗｗ＝ｔｗ１をｔｗｗ＝ｔｗ１＋αに変更）する
ようにしてある。

【００６１】そして、空気温調整については、室内温度
ｔａを検出する温度センサ２０の検出情報に基づき、室
内温度ｔａが目標値ｔａａになるように、上記の対象室
側制御器２７により、空気温調整器２１の加熱出力又は
冷却出力を自動調整（換言すれば、空気温調整器２１に
よる空気の調整温度ｔｄを自動調整）するようにしてあ
る。

【００６２】つまり、室内湿度ｘａの検出情報に基づ
き、対象室側制御器２７と装置側制御器２４とをもって
水温調整手段１３による水温調整の目標温度ｔｗｗを自
動的に変更調整することで、また、室内温度ｔａの検出
情報に基づき、対象室側制御器２７をもって空気温調整
器２１の加熱出力又は冷却出力を自動調整することで、
室内の負荷変動にかかわらず、室内湿度ｘａと室内温度
ｔａとを各々の目標値ｘａａ，ｔａａに調整・維持す
る。

【００６３】〔第４実施形態〕図９は、前述の第１〜第
３実施形態で用いた如き洗浄器２、すなわち、洗浄処理
に用いた洗浄水Ｗを捕集し、この捕集洗浄水Ｗを水温調
整手段１３により温度調整して、空気の湿度調整や温度
調整を伴う洗浄処理に再使用するようにした洗浄器２に
つき、その洗浄水循環系に対する新鮮洗浄水Ｗｓの補給
を、捕集洗浄水Ｗの水質に応じて制御するようにしたも
のの一例を示す。

【００６４】つまり、図９に示す洗浄器２では、洗浄水
槽１２の貯留洗浄水Ｗにおける捕集汚染成分の濃度ｐｗ
を検出手段２８により検出し、この検出濃度ｐｗに基づ
き、補給水路１２ａからの洗浄水槽１２に対する新鮮洗
浄水Ｗｓの補給を自動補給手段２９により制御する。

【００６５】自動補給手段２９は、補給水路１２ａを開
閉する自動弁３０と、この自動弁３０を開閉操作する弁
制御器３１とからなり、弁制御器３１は、検出手段２８
による検出濃度ｐｗが許容上限値を越えると、自動弁３
０を開いて新鮮洗浄水Ｗｓの補給を開始し、そして、一
定時間が経過した時点で、あるいは、補給水量が一定量
に達した時点で、あるいはまた、検出手段２８による検
出濃度ｐｗが所定値以下に低下した時点で、自動弁３０
を閉じて新鮮洗浄水Ｗｓの補給を停止する。

【００６６】なお、１２ｂは洗浄水槽１２のオーバーフ
ロー管である。

【００６７】〔第５実施形態〕図１０は、前述の第１な
いし第２実施形態で用いた如き水循環式洗浄器２におい
て、ガス状汚染成分に対する吸収除去効果の調整と、洗
浄処理に伴う空気Ａ１の絶対湿度ないし温度の調整とを
独立的に行うようにしたものの一例を示す。

【００６８】すなわち、図１０に示す洗浄器２では、洗
浄対象の空気Ａ１中におけるガス状汚染成分の濃度ｐ
ａ、及び、その空気Ａ１の状態値（本例では湿度ｘａ）
を検出手段３２，３３により検出し、これに対し、制御
手段３４により、検出されるガス状汚染成分の濃度ｐａ
に基づき、洗浄器２で空気Ａ１に接触させる洗浄水Ｗの
量を自動調整するとともに、検出される空気Ａ１の状態
値ｘａに基づき、水温調整手段１３による水温調整の目
標温度ｔｗｗを自動変更するようにしてある。

【００６９】具体的には、上記の制御手段３４は、循環
ポンプ１２ｐをインバータ制御することにより散水ノズ
ル群１０からの洗浄水Ｗの散水量を調整する水量側制御
器３５と、水温センサ１７による洗浄水Ｗの検出温度ｔ
ｗに基づき、洗浄水Ｗの水温ｔｗが目標温度ｔｗｗにな
るように水温調整手段１３における熱源部３６の冷却出
力又は加熱出力を自動調整する水温側制御器３７（前述
の制御器２２に相当）とで構成し、そして、水量側制御
器３５は、ガス状汚染成分の検出濃度ｐａに基づき、空
気Ａ１中におけるガス状汚染成分の濃度ｐａが目標値ｐ
ａａになるように、循環ポンプ１２ｐをインバータ制御
して洗浄水Ｗの散水量を自動調整する構成としてある。

【００７０】また、水温側制御器３７は、空気Ａ１の検
出状態値ｘａに基づき、空気Ａ１の状態値ｘａが目標値
ｘａａになるように、水温調整の目標温度ｔｗｗを自動
変更する構成としてある。

【００７１】つまり、ガス状汚染成分の吸収除去効果に
ついては、上記の如き散水量の調整により、空気Ａ１中
におけるガス状汚染成分の濃度ｐａを目標値ｐａａに調
整・維持するのに必要な効果を確保し、また、これとは
独立させて、空気の絶対湿度や温度を調整する効果につ
いては、上記の如き水温調整における目標温度ｔｗｗの
調整により、空気Ａ１の状態値ｘａを目標値ｘａａに調
整・維持するのに必要な効果を確保する。

【００７２】なお、本実施形態では、洗浄処理対象の空
気Ａ１中におけるガス状汚染成分の検出濃度ｐａに基づ
き、洗浄器２で空気Ａ１に接触させる洗浄水Ｗの量を自
動調整し、また、洗浄処理対象の空気Ａ１の検出状態値
ｘａに基づき、水温調整手段１３による水温調整の目標
温度ｔｗｗを自動変更するようにしたが、これに代え、
洗浄処理後の空気中におけるガス状汚染成分の検出濃度
に基づき、洗浄器２で空気Ａ１に接触させる洗浄水Ｗの
量を自動調整するようにしたり、また、洗浄処理後の空
気の検出状態値（湿度または温度）に基づき、水温調整
手段１３による水温調整の目標温度ｔｗｗを自動変更す
るようにしてもよい。

【００７３】〔別の実施形態〕次に発明の別の実施形態
を列記する。 （１）対象室１から取り出して再び対象室１に戻す循環
空気Ａ１のうちの一部を洗浄器２で洗浄処理する前述の
図６に示す如き形式において、室内湿度ｘａ及び室内温
度ｔａの簡易な調整方式として、空気温調整器２１を省
略し、そして、この設備構成において、水温調整手段１
３により洗浄水Ｗの水温ｔｗを調整することで通過空気
Ａ１の絶対湿度及び温度を調整して、対象室１に戻す合
流気Ａ３の絶対湿度及び温度を調整し、これにより、対
象室１の湿度ｘａ及び温度ｔａを目標の調整範囲内に調
整するようにしてもよい。

【００７４】（２）空気Ａ１を洗浄水Ｗと接触させて、
洗浄水Ｗへの吸収により空気中のガス状汚染成分を除去
する洗浄器２の具体的構造は種々の構成変更が可能であ
り、また、気水接触方式としても、洗浄対象の空気Ａ１
に対し洗浄水Ｗを散水ないし噴霧する方式に代え、洗浄
水Ｗ中へ洗浄対象の空気Ａ１をバブリングする方式を採
用するようにしてもよい。

【００７５】（３）洗浄水Ｗには、水道水や純水、ある
いは、適宜薬剤を混入させた水溶液など種々の水を使用
できる。また、洗浄水Ｗを循環使用するに代え、一過的
に使用するようにしてもよい。

【００７６】（４）除去対象のガス状汚染成分は、洗浄
水Ｗへの吸収により空気中からの除去が可能なものであ
れば、アンモニアイオン、塩素イオン、ナトリウムイオ
ン、カルシウムイオン等の空気中イオンに限らず、どの
ようなガス状成分でもよく、例えば、臭気成分などであ
ってもよい。

【００７７】（５）洗浄処理によるガス状汚染成分の室
内濃度低減と合わせて、水温調整手段１３による洗浄水
温ｔｗの調整により、対象室１の室内湿度ｘａ又は室内
温度ｔａを調整するのに、前述の第１実施形態では、洗
浄水温ｔｗの調整により、対象室１の室内湿度ｘａ及び
室温温度ｔａを調整する形態を示し、また、前述の第２
ないし第３実施形態では、洗浄水温ｔｗの調整により、
対象室１の室内湿度ｘａを調整し、室内温度ｔａの調整
については空気温調整器２１を付加装備する形態を示し
たが、これに代え、洗浄水温ｔｗの調整により、対象室
１の室内温度ｔａを調整するようにし、室内湿度ｘａに
ついては別途に湿度調整器を付加装備するようにしても
よい。

【００７８】（６）洗浄水Ｗを冷却又は加熱して温度調
整する水温調整手段１３の具体的構成は種々の構成変更
が可能であり、室内湿度ｘａ又は室内温度ｔａの調整
上、加熱による洗浄水温ｔｗの調整が不要な場合には、
冷却による洗浄水温ｔｗの調整のみを行うもの、あるい
はまた、冷却による洗浄水温ｔｗの調整が不要な場合に
は、加熱による洗浄水温ｔｗの調整のみを行うものとし
てもよい。なお、冷却による洗浄水温ｔｗの調整で、洗
浄水Ｗを０℃近くまで冷却する場合には、適当な凍結防
止制御を並行実施するのがよい。

【００７９】（７）空気温調整器２１を付加装備する場
合、この空気温調整器２１には種々の形式のものを採用
でき、また、水温調整手段１３と同様、空気温調整器２
１も、室内湿度ｘａ又は室内温度ｔａの調整上、冷却に
よる空気温調整が不要な場合には、加熱による空気温調
整のみを行うもの、あるいは、加熱による空気温調整が
不要な場合には、冷却による空気温調整のみを行うもの
を採用してもよい。

【００８０】（８）対象室１はクリーンルームに限定さ
れるものではなく、ガス状汚染成分の室内濃度の低減と
合わせて、室内湿度ｘａの調整、又は、室内温度ｔａの
調整を要する室空間であれば、種々の用途の室空間を対
象室とすることができる。

【００８１】（９）洗浄水Ｗに芳香剤を混入して、洗浄
処理によるガス状汚染成分の室内濃度の低減、水温調整
による室内湿度ｘａや室内温度ｔａの調整とともに、室
内に対し香り空調を施すようにしてもよい。

【図面の簡単な説明】

【図１】第１実施形態を示す設備構成図

【図２】第１実施形態での温湿度調整例を示す湿り空気
線図

【図３】第１実施形態での温湿度調整例を示す湿り空気
線図

【図４】第２実施形態を示す設備構成図

【図５】第２実施形態での温湿度調整例を示す湿り空気
線図

【図６】第３実施形態を示す設備構成図

【図７】第３実施形態での温湿度調整例を示す湿り空気
線図

【図８】第３実施形態での温湿度調整例を示す湿り空気
線図

【図９】第４実施形態を示す設備構成図

【図１０】第５実施形態を示す設備構成図

【符号の説明】

１ 対象室 Ａ１ 室内空気 ２ 洗浄器 Ｗ 洗浄水 １３ 水温調整手段 ｘａ 室内湿度 ｔａ 室内温度 ２１ 空気温調整器 ｐｗ 捕集汚染成分の濃度 ２８ 検出手段 Ｗｓ 新鮮洗浄水 ２９ 自動補給手段 ｐａ ガス状汚染成分の空気中濃度 ｘａ 空気の状態値（湿度） ３２，３３ 検出手段 ３４ 制御手段 ｔｗｗ 水温調整の目標温度

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 対象室の室内空気を洗浄器に導き、この
   空気を洗浄器で洗浄水と接触させて、洗浄水への吸収に
   より空気中のガス状汚染成分を除去し、この洗浄処理後
   の空気を前記対象室に戻すことにより、前記対象室の室
   内におけるガス状汚染成分の濃度を低減させるガス状汚
   染成分除去方法であって、 前記洗浄器で洗浄処理に用いる洗浄水を、水温調整手段
   により冷却又は加熱して温度調整し、この水温調整によ
   り、前記の洗浄処理によるガス状汚染成分の室内濃度低
   減に伴い、前記対象室の室内湿度又は室内温度を調整す
   るガス状汚染成分除去方法。
2. 【請求項２】 前記洗浄器で洗浄処理して前記対象室に
   戻す空気を、空気温調整器により加熱して温度調整し、
   この空気温調整により、前記の水温調整による室内湿度
   の調整とともに、前記対象室の室内温度を調整する請求
   項１記載のガス状汚染成分除去方法。
3. 【請求項３】 前記対象室から取り出して再び前記対象
   室に戻す循環空気のうちの一部を前記洗浄器で洗浄処理
   し、この洗浄器よりも下流側において、前記対象室に戻
   す循環空気を、空気温調整器により加熱又は冷却して温
   度調整し、この空気温調整により、前記の水温調整によ
   る室内湿度の調整とともに、前記対象室の室内温度を調
   整する請求項１記載のガス状汚染成分除去方法。
4. 【請求項４】 前記洗浄器では、洗浄処理に用いた洗浄
   水を捕集し、この捕集洗浄水を前記水温調整手段により
   温度調整して洗浄処理に再使用する請求項１、２又は３
   記載のガス状汚染成分除去方法。
5. 【請求項５】 前記洗浄器での捕集洗浄水における捕集
   汚染成分の濃度を検出手段により検出し、この検出濃度
   に基づき、前記洗浄器の洗浄水循環系に対する新鮮洗浄
   水の補給を自動補給手段により制御する請求項４記載の
   ガス状汚染成分除去方法。
6. 【請求項６】 空気中におけるガス状汚染成分の濃度、
   及び、空気の状態値を検出手段により検出し、これに対
   し、制御手段により、検出されるガス状汚染成分の濃度
   に基づき、前記洗浄器で空気に接触させる洗浄水の量を
   自動調整するとともに、検出される空気状態値に基づ
   き、前記水温調整手段による水温調整の目標温度を自動
   変更する請求項１、２、３、４又は５記載のガス状汚染
   成分除去方法。