JP2007198633A - 空気調和方法、空気調和設備及びこの空気調和設備の制御方法 - Google Patents
空気調和方法、空気調和設備及びこの空気調和設備の制御方法 Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】空気調和設備10は、外気導入経路20を介して外気を導入し空調する外気調和機22と、外気調和機22の出口側とクリーンルーム12内とを連通する空調機吸入経路24を介して、外気と環気との混合気を空調した後、クリーンルーム12内に供給する空調機26と、クリーンルーム12の空気を排気してスクラバ48に導入した後、外部に排出する局所排気部18とを備える。また、水槽50と外気導入経路20に設けられる第1熱交換器52の入口側とが第1経路54により連通され、第1熱交換器52の出口側と水槽50とが第2経路56により連通される。
【選択図】図1
Description
14…空気調和部 16…熱媒体循環部
18…局所排気部 19…制御装置
20…外気導入経路 22…外気調和機
24…空調機吸入経路 24a…外気調和機側経路
24b…クリーンルーム側経路 26…空調機
28…循環経路 48…スクラバ
50…水槽 52…第1熱交換器
54…第1経路 56…第2経路
58…第2熱交換器 60…三方弁
62…切換経路 64、72…ポンプ
74…噴霧部
80a、80b、80c、80d…温度センサ
Claims (8)
- 外気調和機により外気を導入して空調し、
前記空調された外気と被空調空間からの空気とを吸気し、空調機により空調した後、前記被空調空間に供給し、
排気手段により前記被空調空間の空気を排気して湿式集塵機に導入し、該湿式集塵機にて液体を噴射し、前記噴射した液体と前記排気とを接触させて前記排気を洗浄する空気調和方法であって、
前記液体と、前記外気調和機に導入される前の外気とを熱交換させることを特徴とする空気調和方法。 - 請求項1記載の空気調和方法において、
前記外気調和機に導入される前の外気と熱交換した後の前記液体の温度が、前記被空調空間内の温度よりも低い場合には、
前記熱交換した後の前記液体を、前記被空調空間から吸気され且つ前記空調機に導入される前の空気と熱交換させることを特徴とする空気調和方法。 - 請求項1又は2記載の空気調和方法において、
前記外気調和機に導入される前の外気と熱交換した後の前記液体の温度が、前記被空調空間内の温度よりも高い場合には、
前記熱交換した後の前記液体を、前記被空調空間から吸気され且つ前記空調機に導入される前の空気とは熱交換させずに前記湿式集塵機に循環させることを特徴とする空気調和方法。 - 請求項2記載の空気調和方法において、
前記外気調和機に導入される前の外気と熱交換した後の前記液体の温度が、前記被空調空間内の温度よりも低く、前記被空調空間内の温度と前記液体の温度との差が所定の範囲以上である場合には、
前記熱交換した後の前記液体と、前記被空調空間から吸気され且つ前記空調機に導入される前の空気と断続的に熱交換させることを特徴とする空気調和方法。 - 被空調空間を空調する空気調和設備であって、
外気導入経路を介して外気を導入し空調する外気調和機と、
前記外気調和機の出口側と前記被空調空間とを連通する空調機吸入経路を介して、前記外気調和機により空調された外気と前記被空調空間からの空気とを吸気して空調した後、前記被空調空間に供給する空調機と、
前記被空調空間の空気を排気して湿式集塵機に導入する排気手段と、
前記外気導入経路に設けられた第1の熱交換器と、
前記湿式集塵機に設けられた液体貯留部と前記第1の熱交換器の入口側とを連通する第1の経路と、
前記第1の熱交換器の出口側と前記液体貯留部とを連通する第2の経路とを備えることを特徴とする空気調和設備。 - 被空調空間を空調する空気調和設備であって、
外気導入経路を介して外気を導入し空調する外気調和機と、
前記外気調和機の出口側と前記被空調空間とを連通する空調機吸入経路を介して、前記外気調和機により空調された外気と前記被空調空間からの空気とを吸気して空調した後、前記被空調空間に供給する空調機と、
前記被空調空間の空気を排気して湿式集塵機に導入する排気手段と、
前記外気導入経路に設けられた第1の熱交換器と、
前記空調機吸入経路に設けられた第2の熱交換器と、
前記湿式集塵機に設けられた液体貯留部と前記第1の熱交換器の入口側とを連通する第1の経路と、
前記第2の熱交換器を経由して、前記第1の熱交換器の出口側と前記液体貯留部とを連通する第3の経路とを備えることを特徴とする空気調和設備。 - 被空調空間を空調する空気調和設備であって、
外気導入経路を介して外気を導入し空調する外気調和機と、
前記外気調和機の出口側と前記被空調空間とを連通する空調機吸入経路を介して、前記外気調和機により空調された外気と前記被空調空間からの空気とを吸気して空調した後、前記被空調空間に供給する空調機と、
前記被空調空間の空気を排気して湿式集塵機に導入する排気手段と、
前記外気導入経路に設けられた第1の熱交換器と、
前記空調機吸入経路に設けられた第2の熱交換器と、
前記湿式集塵機に設けられた液体貯留部と前記第1の熱交換器の入口側とを連通する第1の経路と、
前記第1の熱交換器の出口側と前記液体貯留部とを連通する第2の経路と、
前記第2の熱交換器を経由して、前記第1の熱交換器の出口側と前記液体貯留部とを連通する第3の経路とを備え、
前記第2の経路は、前記第2の熱交換器をバイパスしており、
前記第2の経路と前記第3の経路とを選択的に切換える切換手段を備えることを特徴とする空気調和設備。 - 請求項5乃至7のいずれか1項に記載の空気調和設備の制御方法であって、
前記外気調和機に導入される前の外気の温度が、前記被空調空間内の温度と前記液体貯留部内の液体の温度と間の温度域にある場合には、前記液体の循環を停止させることを特徴とする空気調和設備の制御方法。
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