JPH09299841A - Roll coater - Google Patents

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To minimize dust generation caused by abrasion by forming a roll coater for applying coating liquid on a substrate from an elastic roll which is contacted with the substrate to apply the coating liquid on the substrate and the peripheral surface of the roll from ethylene propylene rubber. SOLUTION: A metal roll 20, a metal doctor 22 having a notch part, and an elastic roll 12 are supported at their both ends by right and left roll coater supporting frames, the metal roll 20 and the metal doctor 22 are arranged in parallel at a fine prescribed interval to form a coating liquid storage part 40. The elastic roll 12 is formed, for example, by winding ethylene propylene rubber 5-10mm thick as an elastic member onto a stainless steel core 14. By applying coating liquid 24 on a substrate 10 by the roll 12, dust generation caused by the abrasion of the roll 12 can be reduced, keeping the substrate 10 clean.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【０００１】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、ロールコータ、特
に、液晶ディスプレイに用いられるガラス基板等の基板
主面に当接してフォトレジスト等の塗布液をこの基板主
面に塗布する弾性ロールを有するロールコータに関す
る。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a roll coater, and more particularly, to an elastic roll that contacts a substrate main surface such as a glass substrate used in a liquid crystal display to apply a coating liquid such as photoresist to the substrate main surface. Regarding roll coater.

【０００２】[0002]

【従来の技術】ロールコータは、図５に示すように、水
平に、かつ微小間隔をもって並行配置されたメタルロー
ル２０およびメタルドクター２２を有し、さらにこのメ
タルロール２０の下方にこのメタルロール２０に当接す
るように配置された弾性ロール５２、すなわちアプリケ
ータロールを有している。微小間隔を挟んで対向するメ
タルロール２０とメタルドクター２２との対向外周面の
上側面は、塗布液貯留部４０を形成し、ここに各種基板
１０の主面に塗布するフォトレジスト液や、絶縁膜（例
えば、ポリイミド）を形成するための溶液等の塗布液が
貯留される。固定されたメタルドクター２２に対して円
柱形状のメタルロール２０が図中矢印で示す方向に回転
すると、塗布液貯留部４０からメタルロール２０によっ
て塗布液が引き出される。また、このとき円柱形状の弾
性ロール５２が、例えば図中矢印で示す方向に回転して
いるので、弾性ロール５２の外周面に均一に塗布液２４
が供給される。2. Description of the Related Art As shown in FIG. 5, a roll coater has a metal roll 20 and a metal doctor 22 which are horizontally arranged in parallel with each other at a minute interval, and further below the metal roll 20, the metal roll 20 is provided. Has an elastic roll 52, i.e., an applicator roll, arranged to abut. A coating liquid storage section 40 is formed on the upper side surfaces of the opposing outer peripheral surfaces of the metal roll 20 and the metal doctor 22 which are opposed to each other with a minute gap therebetween, and a photoresist solution applied to the main surface of various substrates 10 and insulating A coating liquid such as a solution for forming a film (for example, polyimide) is stored. When the cylindrical metal roll 20 rotates in the direction indicated by the arrow in the figure with respect to the fixed metal doctor 22, the coating liquid is drawn from the coating liquid storage section 40 by the metal roll 20. Further, at this time, since the columnar elastic roll 52 is rotating, for example, in the direction shown by the arrow in the figure, the coating liquid 24 is uniformly applied to the outer peripheral surface of the elastic roll 52.
Is supplied.

【０００３】弾性ロール５２の下方には、搬送台１６上
に塗布液が塗布される基板１０が吸着保持されて配置さ
れ、また、この基板１０は水平方向には固定部材３８に
よって位置決めされている。そして、基板１０の搬送方
向に対して逆方向に回転する弾性ロール５２の外周面を
この基板１０に圧接することにより、弾性ロール５２外
周面の塗布液２４が基板１０主面に転写され、基板１０
に塗布液２４が塗布される。Below the elastic roll 52, a substrate 10 on which a coating liquid is applied on the carrier 16 is adsorbed and held, and the substrate 10 is horizontally positioned by a fixing member 38. . Then, the coating liquid 24 on the outer peripheral surface of the elastic roll 52 is transferred to the main surface of the substrate 10 by pressing the outer peripheral surface of the elastic roll 52, which rotates in the direction opposite to the transport direction of the substrate 10, against the substrate 10. 10
The coating liquid 24 is applied to the.

【０００４】また、弾性ロール５２は、ステンレス製の
芯部５４を含み、この外周面に弾性部材５６として、以
下に示すような化学式（１）を有するブチルゴムが巻着
され、基板１０との接触が良好に保たれている。Further, the elastic roll 52 includes a stainless steel core portion 54, and butyl rubber having the chemical formula (1) as shown below is wound around the outer peripheral surface of the core portion 54 to contact the substrate 10. Is kept good.

【０００５】[0005]

【化１】 このブチルゴムは、化学的に安定かつ安価で塗布液など
に対する耐薬品性に優れているため、従来より弾性ロー
ル５２の外周面を構成する材料として用いられている。Embedded image Since this butyl rubber is chemically stable and inexpensive and has excellent chemical resistance to a coating liquid and the like, it has been conventionally used as a material forming the outer peripheral surface of the elastic roll 52.

【０００６】[0006]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、ブチル
ゴムは、耐摩耗性に劣っており、弾性ロール５２の外周
面に使用した場合、基板１０の主面との摺動時に剥離等
が生じ、このとき発生したパーティクルがごみとして基
板１０主面に付着し、基板主面を汚染してしまう可能性
があった。基板１０上には、例えば液晶ディスプレイ用
のガラス基板の場合、微細なパターンの素子や配線また
はカラーフィルタ等を形成しなければならず、ロールコ
ータによる塗布工程においても製品品質向上のために発
塵を極力避けなければならない。However, butyl rubber is inferior in wear resistance, and when it is used on the outer peripheral surface of the elastic roll 52, peeling occurs when sliding on the main surface of the substrate 10, and at this time, The generated particles may adhere to the main surface of the substrate 10 as dust and contaminate the main surface of the substrate. In the case of a glass substrate for a liquid crystal display, for example, a finely patterned element, wiring, color filter, or the like must be formed on the substrate 10, and dust is generated to improve product quality even in a coating process using a roll coater. Should be avoided as much as possible.

【０００７】本発明は、上記課題を解決するためになさ
れ、ロールコータにおいて、摩耗による発塵を最小限に
抑えるために、耐摩耗性に優れたロールコータの弾性ロ
ールを提供することを目的とする。The present invention has been made to solve the above problems, and an object of the present invention is to provide an elastic roll of a roll coater having excellent wear resistance in order to minimize dust generation due to wear in the roll coater. To do.

【０００８】[0008]

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明のロールコータは、基板に塗布液を塗布する
ためのロールコータであって、前記ロールコータは、前
記基板に当接して前記基板に塗布液を塗布する弾性ロー
ルを有し、この弾性ロールの外周面は、エチレンプロピ
レンゴムによって形成されていることを特徴とする。In order to achieve the above object, a roll coater of the present invention is a roll coater for applying a coating liquid to a substrate, the roll coater contacting the substrate. An elastic roll for applying the coating liquid to the substrate is provided, and an outer peripheral surface of the elastic roll is formed of ethylene propylene rubber.

【０００９】エチレンプロピレンゴムは、その耐摩耗性
が従来弾性ロールに用いられていたブチルゴムに対して
極めて優れており、このエチレンプロピレンゴムを用い
た弾性ロールによって基板に塗布液を塗布すれば、弾性
ロールの摩耗による発塵を低減でき、基板の清浄性を高
く維持できる。Ethylene propylene rubber is extremely superior in abrasion resistance to butyl rubber conventionally used for elastic rolls. If an elastic roll using this ethylene propylene rubber is used to apply a coating liquid to a substrate, the elasticity is improved. Dust generation due to roll wear can be reduced, and substrate cleanliness can be maintained at a high level.

【００１０】また、本発明において、ロールコータは、
所定の微小間隔をもって並行配置され、前記微小間隔を
挟んで対向する各外周面によって塗布液貯留部を形成す
るメタルロールおよびメタルドクターを有し、前記メタ
ルロールは前記弾性ロールの外周面に当接配置される。
そして、前記メタルロールおよび前記弾性ロールの回転
により前記塗布液貯留部から前記塗布液が前記弾性ロー
ルに均一に供給され、前記弾性ロールの回転により前記
供給された塗布液が前記基板に転写塗布されることを特
徴とする。In the present invention, the roll coater is
It has a metal roll and a metal doctor that are arranged in parallel at a predetermined minute interval and that form an application liquid storage part by the outer peripheral surfaces facing each other across the minute interval, and the metal roll contacts the outer peripheral surface of the elastic roll. Will be placed.
Then, the coating liquid is uniformly supplied to the elastic roll from the coating liquid storage section by the rotation of the metal roll and the elastic roll, and the supplied coating liquid is transferred and coated on the substrate by the rotation of the elastic roll. It is characterized by

【００１１】上記弾性ロールのエチレンプロピレンゴム
は、補強剤としてＳｉＯ₂ を含むことを特徴とする。従
って、さらに耐摩耗性に優れた弾性ロールが得られる。
また、ＳｉＯ₂ を補強剤として用いることにより弾性ロ
ールの外周面が白色となり、弾性ロール外周面における
塗布液の状態や、ゴミの付着等を容易に判別でき、発塵
の低減とメンテナンスの容易性とを同時に満足すること
ができる。The ethylene propylene rubber of the elastic roll is characterized by containing SiO ₂ as a reinforcing agent. Therefore, an elastic roll having further excellent wear resistance can be obtained.
Further, by using SiO ₂ as a reinforcing agent, the outer peripheral surface of the elastic roll becomes white, and the state of the coating liquid on the outer peripheral surface of the elastic roll and the adhesion of dust can be easily discriminated, reducing dust generation and facilitating maintenance. And can be satisfied at the same time.

【００１２】また、弾性ロールのエチレンプロピレンゴ
ムとしては、補強剤としてカーボンブラックを含むもの
であってもよい。カーボンブラックを補強剤として用い
ると、弾性ロールの外周面は黒色となり、上述のような
メンテナンスが容易となるという効果は低くなるもの
の、エチレンプロピレンゴムの耐摩耗性は上記ＳｉＯ₂
を補強剤として用いた場合よりも高くなる。従って、塗
布工程においてさらに確実に発塵を防止することができ
る。Further, the ethylene-propylene rubber of the elastic roll may contain carbon black as a reinforcing agent. When carbon black is used as a reinforcing agent, the outer peripheral surface of the elastic roll becomes black, although maintenance as described above, the lower effect becomes easy, the wear resistance of the ethylene-propylene rubber the SiO ₂
Is higher than when is used as a reinforcing agent. Therefore, it is possible to more reliably prevent dust generation in the coating process.

【００１３】[0013]

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施形態について
図面を用いて説明する。なお、既に説明した図５におけ
る部材と対応する部材には同一の符号を付す。Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. The members corresponding to the members in FIG. 5 already described are given the same reference numerals.

【００１４】［ロールコータの構成］図１および図２
は、本実施形態に係るロールコータの概略構成を示して
いる。[Structure of Roll Coater] FIGS. 1 and 2
Shows a schematic configuration of a roll coater according to the present embodiment.

【００１５】図において、左右に設けられたロールコー
タ支持枠４２に、メタルロール２０、切欠部を有するメ
タルドクター２２および弾性ロール１２が、それぞれそ
の両端において支持されている。メタルロール２０とメ
タルドクター２２とは所定の微小間隔（例えば２０μｍ
間隔）をもって並行配置され、互いにこの間隔を挟む外
周面の上側が塗布液貯留部（以下、単に貯留部という）
４０を構成している。また、メタルロール２０とメタル
ドクター２２の上部には左右一対の仕切板４１が設けら
れ、この仕切板４１が貯留部４０の長手方向における仕
切壁を構成している。なお、メタルロール２０とメタル
ドクター２２との間隙は、弾性ロール１２に供給する塗
布液量、すなわち基板への塗布液の塗布量に影響するた
め、正確に制御することが好ましい。このために、本実
施形態のように、ドクターだけでなく、このドクターと
並行配置されるロール全体をメタル材で構成してドクタ
ーと組み合わせることにより両部材の間隙の精度を高く
することが可能となる。In the figure, a metal roll 20, a metal doctor 22 having a cutout portion, and an elastic roll 12 are supported at both ends thereof on roll coater support frames 42 provided on the left and right sides. The metal roll 20 and the metal doctor 22 have a predetermined minute interval (for example, 20 μm).
Are arranged in parallel with each other, and the upper side of the outer peripheral surface which sandwiches this interval is the coating liquid storage section (hereinafter simply referred to as the storage section).
40 make up. Further, a pair of left and right partition plates 41 are provided on the upper portions of the metal roll 20 and the metal doctor 22, and the partition plates 41 form partition walls in the longitudinal direction of the storage section 40. The gap between the metal roll 20 and the metal doctor 22 affects the amount of the coating liquid supplied to the elastic roll 12, that is, the amount of the coating liquid applied to the substrate, and is therefore preferably controlled accurately. Therefore, as in the present embodiment, not only the doctor, but also the entire roll arranged in parallel with the doctor can be made of a metal material and combined with the doctor to increase the accuracy of the gap between the two members. Become.

【００１６】弾性ロール１２は、例えばステンレス製の
メタル芯体１４（直径１３０ｍｍ）を含み、このメタル
芯体１４の外周に、弾性部材１８として厚さ５〜１０ｍ
ｍ程度の厚さにエチレンプロピレンゴムが巻着されてい
る。そして、弾性ロール１２は、その外周面がメタルロ
ール２０の外周面に当接するように上記ロールコータ支
持枠４２に支持されている。The elastic roll 12 includes, for example, a metal core body 14 (diameter: 130 mm) made of stainless steel, and an elastic member 18 having a thickness of 5 to 10 m is provided on the outer periphery of the metal core body 14.
Ethylene propylene rubber is wrapped to a thickness of about m. The elastic roll 12 is supported by the roll coater support frame 42 so that the outer peripheral surface of the elastic roll 12 contacts the outer peripheral surface of the metal roll 20.

【００１７】また、左右のロールコータ支持枠４２の一
方には駆動部６２が設けられ、メタルロール２０および
弾性ロール１２は、この駆動部６２によって図２に示す
矢印方向（ここでは互いにリバース回転となる方向）に
それぞれ回転駆動される。A drive unit 62 is provided on one of the left and right roll coater support frames 42, and the metal roll 20 and the elastic roll 12 are driven by the drive unit 62 in the directions of arrows shown in FIG. Rotation direction).

【００１８】次に、以上のようにして構成され、基板１
０に対して塗布液の塗布を行うコータ部の上下調整機構
について説明する。Next, the substrate 1 constructed as described above
The vertical adjustment mechanism of the coater unit for applying the coating liquid to 0 will be described.

【００１９】まず、ロールコータ支持枠４２は共に図１
の揺動軸４３を支点として上下に揺動可能となってい
る。そして、この上下の揺動は、各ロールコータ支持枠
４２の下部に設けられた鉛直ロッド７２の上下運動によ
って行われる。First, the roll coater support frame 42 is shown in FIG.
The rocking shaft 43 of FIG. The vertical swing is performed by the vertical movement of the vertical rod 72 provided at the bottom of each roll coater support frame 42.

【００２０】鉛直ロッド７２は、それぞれロールコータ
支持枠４２の下方に配置された固定部材７０に形成され
た貫通穴に摺動自在に挿入されており、この鉛直ロッド
７２の下端にはそれぞれ雄ネジ部が形成されている。そ
して、各雄ネジ部は、ウォームホイール６８の中央部に
形成された雌ネジ部に螺合している。The vertical rods 72 are slidably inserted into through holes formed in the fixing members 70 arranged below the roll coater support frame 42, and the lower ends of the vertical rods 72 are respectively male screws. Parts are formed. Then, each male screw portion is screwed into a female screw portion formed at the center of the worm wheel 68.

【００２１】また、ロールコータ支持枠４２の下方には
モーター６４が設けられ、モーター６４の回転軸に左右
一対のウォームギア６６が設けられ、このウォームギア
６６が上記ウォームホイール６８にそれぞれ噛合してい
る。A motor 64 is provided below the roll coater support frame 42, and a pair of left and right worm gears 66 are provided on the rotation shaft of the motor 64. The worm gears 66 mesh with the worm wheels 68, respectively.

【００２２】以上のような構成において、モーター６４
が動作してその駆動力がウォームギア６６を介してウォ
ームホイール６８に伝えられてウォームホイール６８が
回転すると、鉛直ロッド７２がこれに応じて上下移動
し、上述のように左右のロールコータ支持枠４２が図１
に示す揺動軸４３を支点として上下に揺動する。In the structure as described above, the motor 64
And the driving force is transmitted to the worm wheel 68 via the worm gear 66 to rotate the worm wheel 68, the vertical rod 72 moves up and down accordingly, and as described above, the left and right roll coater support frames 42 Is Figure 1
It swings up and down with the swing shaft 43 shown in FIG.

【００２３】本実施形態において、ロールコータは以上
のような構成からなり、このようなロールコータの下方
には、さらに基板１０の搬送機構が設けられている。こ
の搬送機構は搬送用のガイドレール３４を含み、このガ
イドレール３４は、弾性ロール１２の長手方向と直行す
る方向に延びている。ガイドレール３４上には搬送台１
６が水平方向に往復移動自在に案内されており、この搬
送台１６は図示しない駆動機構部によって駆動されてい
る。従来と同様に搬送台１６上には、液晶ディスプレイ
用のガラス基板等の基板１０が吸着機構によって吸着保
持され、塗布液の塗布時には、搬送台１６の移動に伴っ
て基板１０が弾性ロール１２に圧接された状態で移動
し、弾性ロール１２から基板１０の主面に塗布液２４が
転写塗布される。In the present embodiment, the roll coater has the above-described structure, and a transport mechanism for the substrate 10 is further provided below the roll coater. The transport mechanism includes a transport guide rail 34, and the guide rail 34 extends in a direction orthogonal to the longitudinal direction of the elastic roll 12. On the guide rail 34, the carrier 1
6 is guided in the horizontal direction so as to be reciprocally movable, and the carriage 16 is driven by a drive mechanism section (not shown). The substrate 10 such as a glass substrate for a liquid crystal display is sucked and held on the carrier 16 by a suction mechanism as in the conventional case, and the substrate 10 is moved to the elastic roll 12 as the carrier 16 moves during application of the coating liquid. The coating liquid 24 is transferred while being pressed and transferred from the elastic roll 12 to the main surface of the substrate 10.

【００２４】次に、基板１０に対する塗布液２４の塗布
処理における上記各部の動作について説明する。Next, the operation of each of the above parts in the coating process of the coating liquid 24 on the substrate 10 will be described.

【００２５】基板１０が所定の塗布開始位置に来るまで
は、ロールコータは、上記上下移動機構によって基板搬
送路の上方に退避している。すなわち、ロールコータ支
持枠４２が上記揺動軸４３を支点として鉛直ロッド７２
によって上方に押し上げられている。そして、基板１０
が所定の塗布開始位置まで搬送されてくると、図示しな
い検知部がこれを検知して、ロールコータ支持枠４２が
下降制御される。なお、本実施形態では、基板１０の前
端１０ｓが弾性ロール１２の直下を通過した時点で、上
記ロールコータ支持枠４２を下降させて塗布を開始する
こととしている（図２参照）。なお、上述のように基板
１０の前端１０ｓ通過後に弾性ロール１２を基板１０に
当接させて塗布液を塗布することとしたのは、基板１０
の角に弾性ロール１２の外周面が当接して弾性ロール１
２の外周面が破損してしまうことを未然に防止するため
である。Until the substrate 10 reaches the predetermined coating start position, the roll coater is retracted above the substrate transfer path by the vertical movement mechanism. That is, the roll coater support frame 42 uses the swing shaft 43 as a fulcrum to support the vertical rod 72.
Has been pushed upwards by. And the substrate 10
Is conveyed to a predetermined coating start position, a detector (not shown) detects this and the roll coater support frame 42 is controlled to descend. In this embodiment, when the front end 10s of the substrate 10 passes directly under the elastic roll 12, the roll coater support frame 42 is lowered to start coating (see FIG. 2). As described above, the reason why the elastic roll 12 is brought into contact with the substrate 10 to apply the coating liquid after passing through the front end 10 s of the substrate 10 is that the substrate 10 is
The outer peripheral surface of the elastic roll 12 comes into contact with the corners of the elastic roll 1
This is to prevent the outer peripheral surface of 2 from being damaged.

【００２６】以上のように基板１０に対する塗布開始位
置で、ロールコータ支持枠４２が下降制御され、弾性ロ
ール１２が基板１０に対して例えば１００μｍ程度押し
込まれ、弾性ロール１２が基板１０の主面に圧接され、
弾性ロール１２と基板１０の主面との接触が確実に保た
れている。なお、上記弾性ロール１２の基板１０への押
し込み量は、基板１０および塗布液２４の種類によって
任意に選択され、上記モーター６４の回転制御によって
所望の押し込み量を得ることができる。As described above, the roll coater support frame 42 is controlled to descend at the coating start position on the substrate 10, the elastic roll 12 is pushed into the substrate 10 by about 100 μm, and the elastic roll 12 is placed on the main surface of the substrate 10. Crimped,
The contact between the elastic roll 12 and the main surface of the substrate 10 is reliably maintained. The pushing amount of the elastic roll 12 into the substrate 10 is arbitrarily selected according to the types of the substrate 10 and the coating liquid 24, and the desired pushing amount can be obtained by controlling the rotation of the motor 64.

【００２７】このようにして、ロールコータと基板１０
との塗布開始の初期状態が設定されると、ロールコータ
から基板１０への塗布液２４の転写塗布および搬送機構
による基板１０の塗布方向への搬送が協調して行われ
る。ここで、ロールコータからの塗布液２４の供給は、
メタルロール２０と弾性ロール１２との回転により行わ
れ、上記駆動部６２によって両ロール２０、１２が互い
に逆方向に回転駆動されると、貯留部４０から引き出さ
れた塗布液２４が弾性ロール１２の外周面に供給され
る。そして、基板１０に圧接された弾性ロール１２が基
板１０の搬送方向と反対方向に回転することにより、弾
性ロール１２に供給された塗布液２４が基板１０の主面
に均一に転写される。In this way, the roll coater and the substrate 10
When the initial state of the coating start is set, the transfer coating of the coating liquid 24 from the roll coater to the substrate 10 and the transport of the substrate 10 in the coating direction by the transport mechanism are coordinated. Here, the supply of the coating liquid 24 from the roll coater is
This is performed by the rotation of the metal roll 20 and the elastic roll 12, and when both the rolls 20 and 12 are rotationally driven in the opposite directions by the drive unit 62, the coating liquid 24 withdrawn from the storage unit 40 is stored in the elastic roll 12. It is supplied to the outer peripheral surface. Then, the elastic roll 12 pressed against the substrate 10 rotates in the direction opposite to the transport direction of the substrate 10, so that the coating liquid 24 supplied to the elastic roll 12 is uniformly transferred to the main surface of the substrate 10.

【００２８】［弾性ロールの特性］本実施形態では、上
述のように弾性ロール１２の外周面の弾性部材１８とし
てエチレンプロピレンゴムを用いている。このエチレン
プロピレンゴムは、次の化学式（２）に示される様に分
子の主鎖が全て飽和結合によって形成されている。[Characteristics of Elastic Roll] In this embodiment, ethylene propylene rubber is used as the elastic member 18 on the outer peripheral surface of the elastic roll 12 as described above. In this ethylene propylene rubber, as shown in the following chemical formula (2), the main chains of the molecules are all formed by saturated bonds.

【００２９】[0029]

【化２】 また、エチレンプロピレンゴム（ＥＰＲ：Ethylene-Pro
pylene Rubber ）は、（１）エチレンとプロピレンとの
共重合体（ＥＰＭ）と、（２）エチレンとプロピレンと
小量のジエン成分との三元重合体（ＥＰＤＭ）とのいず
れかにより構成されており、（１）、（２）のいずれの
場合でも、ブチルゴムと同様かあるいはそれ以上に化学
的に安定で、かつ安価であり、さらにフォトレジスト等
に対する耐薬品性もブチルゴムと同様に優れている。こ
のため、ブチルゴムに代えてエチレンプロピレンゴムを
用いて弾性ロールを構成した場合に、使用する塗布液や
その他の条件について、従来のブチルゴムの場合と異な
る制限は受けることがない。Embedded image In addition, ethylene propylene rubber (EPR: Ethylene-Pro
pylene rubber) is composed of either (1) a copolymer of ethylene and propylene (EPM) or (2) a terpolymer of ethylene, propylene and a small amount of a diene component (EPDM). In any of the cases (1) and (2), it is as chemically stable as or more than butyl rubber, and is inexpensive, and further, it has the same chemical resistance to photoresist as that of butyl rubber. . Therefore, when the elastic roll is formed by using ethylene propylene rubber instead of butyl rubber, the coating liquid used and other conditions are not restricted differently from those of the conventional butyl rubber.

【００３０】そして、このエチレンプロピレンゴムは、
以下に示すように、ブチルゴムに比較して極めて優れた
耐摩耗性を有している。従って、エチレンプロピレンゴ
ムを弾性ロール１２の外周面の弾性部材に用いれば、塗
布液の塗布時おける発塵を極めて小量に抑えることが可
能となる。The ethylene propylene rubber is
As shown below, it has extremely excellent wear resistance as compared with butyl rubber. Therefore, if ethylene propylene rubber is used for the elastic member on the outer peripheral surface of the elastic roll 12, it is possible to suppress dust generation during application of the application liquid to an extremely small amount.

【００３１】図３は、弾性ロールの弾性部材として従来
用いられていたブチルゴム、および本実施形態で用いた
エチレンプロピレンゴムについて、それぞれその耐摩耗
性に関する評価結果を示している。FIG. 3 shows the results of evaluation of the abrasion resistance of the butyl rubber conventionally used as the elastic member of the elastic roll and the ethylene propylene rubber used in this embodiment.

【００３２】図３においてＥＰＲ（黒）は、補強剤（こ
の補強剤は、主としてゴムの物理的補強剤として機能す
るものである）として、カーボンブラックを用いたエチ
レンプロピレンゴムであり、カーボンブラックによりゴ
ムの色調は黒色となっている。また、ＥＰＲ（白）は、
補強剤としてＳｉＯ₂ を用いたエチレンプロピレンであ
り、ＳｉＯ₂ を含むことにより色調は白色（多少の着色
を含む）となっている。また、図中「アクロン摩耗」
は、円盤状のゴム試料の両面を２枚の円盤ではさんで支
持し、このゴム試料の円周方向の側面を研磨磐で研磨
（与えた荷重は６ポンド）し、各ゴム試料の側面におい
て発生する摩耗を測定した結果である。さらに、「テー
バー摩耗」は、円盤状のゴム試料の一方の主面上に、ゴ
ム試料をこするための摩耗輪を配置し、この摩耗輪でゴ
ム試料をこすりながらゴム試料を回転させ、試料主面上
で発生する摩耗を測定した結果である。In FIG. 3, EPR (black) is an ethylene propylene rubber using carbon black as a reinforcing agent (this reinforcing agent mainly functions as a physical reinforcing agent of rubber). The color of the rubber is black. Also, EPR (white) is
It is ethylene propylene using SiO ₂ as a reinforcing agent, and the color tone is white (including some coloring) by containing SiO ₂ . Also, "Akron wear" in the figure
Supports two sides of a disc-shaped rubber sample with two discs sandwiched between them, and polishes the side faces in the circumferential direction of this rubber sample with a polishing vane (the applied load is 6 pounds). It is the result of measuring the generated wear. Furthermore, "Taber wear" means that a wear wheel for rubbing a rubber sample is placed on one main surface of a disk-shaped rubber sample, and the rubber sample is rotated while rubbing the rubber sample with this wear wheel. It is the result of measuring the wear generated on the main surface.

【００３３】図３によると、従来用いられていたブチル
ゴムが、それぞれ、硬度（ＪＩＳ−Ａ）：７０度，アク
ロン摩耗：０．９０，テーバー摩耗：０．２８であるの
に対し、ＥＰＲ（黒）は、硬度：７８度，アクロン摩
耗：０．１０，テーバー摩耗：０．０１である。よっ
て、ＥＰＲ（黒）は、ブチルゴムに比較して極めて優れ
た耐摩耗性を有していることが理解できる。また、ＥＰ
Ｒ（黒）より多少劣るもののＥＰＲ（白）についても、
評価結果は、硬度：７０度，アクロン摩耗：０．２４，
テーバー摩耗：０．２６となっており、ブチルゴムに対
して優れた耐摩耗性を有している。According to FIG. 3, the conventionally used butyl rubber has a hardness (JIS-A) of 70 degrees, an Akron wear of 0.90 and a Taber wear of 0.28, respectively. ) Is hardness: 78 degrees, Akron wear: 0.10, Taber wear: 0.01. Therefore, it can be understood that EPR (black) has extremely excellent wear resistance as compared with butyl rubber. Also EP
Although slightly inferior to R (black), EPR (white)
The evaluation results are: hardness: 70 degrees, Akron wear: 0.24
Taber abrasion: 0.26, showing excellent abrasion resistance against butyl rubber.

【００３４】以上の評価結果から明かなように、ロール
コータの弾性ロール１２には、耐摩耗性の観点からブチ
ルゴムに代えてＥＰＲ（黒）を用いることが最も好まし
い。一方で、耐摩耗性に加えてロールコータとしてのメ
ンテナンスの容易さという観点からは、ＥＰＲ（黒）よ
りも、十分高い耐摩耗性を有しかつ色調が白色のＥＰＲ
（白）を用いることが好ましい。弾性ロール１２の外周
面が白色であれば、図２に示されるように弾性ロール１
２外周面に供給される塗布液２４のむらや、外周面に付
着したゴミ等を容易に判別し、またこれらを除去するこ
とができるからである。As is clear from the above evaluation results, it is most preferable to use EPR (black) instead of butyl rubber for the elastic roll 12 of the roll coater from the viewpoint of wear resistance. On the other hand, from the viewpoint of the wear resistance and the ease of maintenance as a roll coater, the EPR has a sufficiently higher wear resistance than the EPR (black) and has a white color tone.
It is preferable to use (white). If the outer peripheral surface of the elastic roll 12 is white, as shown in FIG.
This is because it is possible to easily discriminate the unevenness of the coating liquid 24 supplied to the outer peripheral surface and the dust adhered to the outer peripheral surface, and to remove them.

【００３５】図４は、弾性ロールの弾性部材としてブチ
ルゴム、ＥＰＲ（白）を用いた場合における基板上での
発塵状態を示している。基板１０としては、ＴＦＴのゲ
ート配線をパターニングした状態の２枚取り（基板領域
１０ａ，１０ｂ）のガラス基板を用いている。そして、
この基板主面にロールコータを用いてフォトレジスト液
を塗布し、塗布されたフォトレジスト液を乾燥した後
に、基板上で光を乱反射するパーティクルを測定しこれ
を黒点で示した。このため、図４に示される黒点は、塗
布したフォトレジストに本来的に含まれる乱反射材料に
ついても図中において黒点で示されている。FIG. 4 shows a dusting state on the substrate when butyl rubber and EPR (white) are used as the elastic member of the elastic roll. As the substrate 10, a two-piece glass substrate (substrate regions 10a and 10b) in which a TFT gate wiring is patterned is used. And
A photoresist solution was applied to the main surface of the substrate using a roll coater, and the applied photoresist solution was dried, and then particles that diffusely reflect light on the substrate were measured and shown by black dots. Therefore, the black dots shown in FIG. 4 are also shown as black dots in the drawing for the diffuse reflection material originally included in the applied photoresist.

【００３６】また、図４において、図４（ａ）は、ブチ
ルゴムを用いた従来の弾性ロールによる処理結果、図４
（ｂ）は、ＥＰＲ（白）を用いた本実施形態の弾性ロー
ルによる処理結果である。Further, in FIG. 4, FIG. 4 (a) is a result of processing by a conventional elastic roll using butyl rubber, and FIG.
(B) is a processing result by the elastic roll of this embodiment using EPR (white).

【００３７】図４の（ａ）と（ｂ）との比較より明らか
なように、本実施形態の弾性ロールを用いた図４（ｂ）
は、図４（ａ）に示す従来の弾性ロールよりも示される
黒点の数が格段に少なく、発塵が極めて少ないことが理
解できる。As is apparent from the comparison between FIGS. 4A and 4B, FIG. 4B using the elastic roll of this embodiment.
It can be understood that the number of black dots shown in FIG. 4A is significantly smaller than that of the conventional elastic roll shown in FIG.

【００３８】また、図４（ａ）では、一枚の基板１０に
形成された２枚の基板領域１０ａ，１０ｂの領域の境界
がはっきりと確認される。基板領域１０ａ，１０ｂの境
界部分は基板１０の主面に段差が多い部分であり、従来
の弾性ロールではこのような段差の部分で特に多くの発
塵が認められる。これに対して図４（ｂ）では、このよ
うな基板領域１０ａ，１０ｂの領域の境界において、発
塵は特に確認できない。すなわち、本実施形態の弾性ロ
ールを用いることにより、段差のある基板に対して塗布
液の塗布処理を行っても、弾性部材であるエチレンプロ
ピレンゴムが摩耗しにくく、発塵を確実に防止すること
が可能となる。基板上に形成される素子や配線は微細
化、多層化が進んでおり、基板主面の段差は、これに伴
って一段と大きくなる傾向にある。従って、発塵の少な
い本実施形態の弾性ロールは極めて有用である。In FIG. 4A, the boundary between the two substrate regions 10a and 10b formed on one substrate 10 is clearly confirmed. A boundary portion between the substrate regions 10a and 10b is a portion where there are many steps on the main surface of the substrate 10, and in the conventional elastic roll, particularly large amount of dust is recognized in such a step portion. On the other hand, in FIG. 4B, no particular dust generation can be confirmed at the boundary between the substrate regions 10a and 10b. That is, by using the elastic roll of the present embodiment, even if the coating liquid is applied to a substrate having a step, the ethylene propylene rubber, which is an elastic member, is not easily worn and dust is reliably prevented. Is possible. The elements and wirings formed on the substrate are becoming finer and multilayered, and the steps on the main surface of the substrate tend to be further increased accordingly. Therefore, the elastic roll of the present embodiment that generates less dust is extremely useful.

【００３９】[0039]

【発明の効果】以上説明したように、本発明のロールコ
ータでは、耐摩耗性に優れた弾性ロールが得られ、この
弾性ロールによって基板に塗布液を塗布するので、弾性
ロールの摩耗による発塵等の問題を確実に解消できる。
従って、処理基板の清浄性を高く維持でき、信頼性の高
いロールコータが実現できる。As described above, in the roll coater of the present invention, an elastic roll having excellent wear resistance can be obtained, and since the coating liquid is applied to the substrate by this elastic roll, dust is generated due to wear of the elastic roll. The problem such as can be solved reliably.
Therefore, the cleanliness of the processed substrate can be maintained high, and a highly reliable roll coater can be realized.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図１】 本発明の実施形態におけるロールコータの概
略構成を示す図である。FIG. 1 is a diagram showing a schematic configuration of a roll coater in an embodiment of the present invention.

【図２】 図１のロールコータの要部を側方からみた場
合の概略構成を示す図である。FIG. 2 is a diagram showing a schematic configuration of a main part of the roll coater of FIG. 1 when viewed from the side.

【図３】 ブチルゴムとエチレンプロピレンゴムの耐摩
耗性の評価結果を示す図である。FIG. 3 is a diagram showing evaluation results of abrasion resistance of butyl rubber and ethylene propylene rubber.

【図４】 ロールコータの弾性ロールの弾性部材として
ブチルゴムまたはエチレンプロピレンゴムを用いた場合
における発塵状態を示す図である。FIG. 4 is a diagram showing a dust generation state when butyl rubber or ethylene propylene rubber is used as an elastic member of an elastic roll of a roll coater.

【図５】 一般的なロールコータの概略構成を示す図で
ある。FIG. 5 is a diagram showing a schematic configuration of a general roll coater.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

１０ 基板、１０ａ，１０ｂ 基板領域、１０ｓ 基板
前端、１２ 弾性ロール、１４ メタル芯体、１６ 搬
送台、１８ 弾性部材（エチレンプロピレンゴム）、２
０ メタルロール、２２ メタルドクター、２４ 塗布
液、４０ 貯留部。10 substrate, 10a, 10b substrate region, 10s substrate front end, 12 elastic roll, 14 metal core, 16 carrier, 18 elastic member (ethylene propylene rubber), 2
0 metal roll, 22 metal doctor, 24 coating liquid, 40 reservoir.

Claims (4)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項１】 基板に塗布液を塗布するためのロールコ
ータであって、 前記ロールコータは、前記基板に当接して前記基板に塗
布液を塗布する弾性ロールを有し、この弾性ロールの外
周面は、エチレンプロピレンゴムによって形成されてい
ることを特徴とするロールコータ。1. A roll coater for applying a coating liquid to a substrate, wherein the roll coater has an elastic roll that contacts the substrate to apply the coating liquid to the substrate, and the outer circumference of the elastic roll. A roll coater whose surface is formed of ethylene propylene rubber. 【請求項２】 請求項１に記載のロールコータにおい
て、 さらに、所定の微小間隔をもって並行配置され、前記微
小間隔を挟んで対向する各外周面によって塗布液貯留部
を形成するメタルロールおよびメタルドクターを有し、 前記メタルロールは前記弾性ロールの外周面に当接配置
され、 前記メタルロールおよび前記弾性ロールの回転により前
記塗布液貯留部から前記塗布液が前記弾性ロールに均一
に供給され、 前記弾性ロールの回転により前記供給された塗布液が前
記基板に均一に転写塗布されることを特徴とするロール
コータ。2. The roll coater according to claim 1, further comprising a metal roll and a metal doctor which are arranged in parallel at a predetermined minute interval, and which form a coating solution storage portion by respective outer peripheral surfaces facing each other across the minute interval. The metal roll is disposed in contact with the outer peripheral surface of the elastic roll, the coating liquid is uniformly supplied to the elastic roll from the coating liquid storage unit by rotation of the metal roll and the elastic roll, A roll coater, wherein the supplied coating liquid is uniformly transferred and coated on the substrate by rotation of an elastic roll. 【請求項３】 請求項１に記載のロールコータにおい
て、 前記エチレンプロピレンゴムは、補強剤としてＳｉＯ₂
を含むことを特徴とするロールコータ。3. The roll coater according to claim 1, wherein the ethylene propylene rubber is SiO ₂ as a reinforcing agent.
A roll coater comprising: 【請求項４】 請求項１に記載のロールコータにおい
て、 前記エチレンプロピレンゴムは、補強剤としてカーボン
ブラックを含むことを特徴とするロールコータ。4. The roll coater according to claim 1, wherein the ethylene propylene rubber contains carbon black as a reinforcing agent.