JPH11311787A - Manufacture of long flexible sheet with alignment layer and rubbing device - Google Patents
Manufacture of long flexible sheet with alignment layer and rubbing deviceInfo
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- JPH11311787A JPH11311787A JP13467498A JP13467498A JPH11311787A JP H11311787 A JPH11311787 A JP H11311787A JP 13467498 A JP13467498 A JP 13467498A JP 13467498 A JP13467498 A JP 13467498A JP H11311787 A JPH11311787 A JP H11311787A
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Abstract
Description
【0001】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、液晶パネル及び光
学補償シートなどの製造に有利に利用できる配向膜を備
えた長尺可撓性シートの製造法、特に配向形成材料層を
備えた長尺可撓性シートの配向膜形成材料層をラビング
処理により配向膜とする際のラビング処理に用いるラビ
ング装置及びラビング方法に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for manufacturing a long flexible sheet having an alignment film which can be advantageously used for manufacturing a liquid crystal panel and an optical compensation sheet, and more particularly to a long method having an alignment forming material layer. The present invention relates to a rubbing device and a rubbing method used for a rubbing process when an alignment film forming material layer of a flexible sheet is formed into an alignment film by a rubbing process.
【0002】[0002]
【従来の技術】ブラウン管型画像表示装置であるCRT
に対して、薄型、軽量、低消費電力という大きな利点を
もつ液晶表示装置は、特に、携帯用のワードプロセッサ
やパーソナルコンピュータの表示装置として一般的に使
用されている。現在普及している液晶表示素子(以下L
CDと称す)の多くは、ねじれネマチック液晶を用いて
いる。このような液晶表示素子は、一般に、液晶セルと
その両側に設けられた偏光板からなり、液晶セルは液晶
パネルと液晶パネルに電圧を印加するための電極部から
なる。さらに、この液晶パネルは透明な配向膜と液晶層
からなり、液晶層は配向膜に挟まれた構成とされる。こ
のような液晶を用いた表示方式は、複屈折モードと旋光
モードとの二つの方式に大別できる。2. Description of the Related Art CRT as a cathode ray tube type image display device
On the other hand, a liquid crystal display device having great advantages such as thinness, light weight, and low power consumption is generally used as a display device of a portable word processor or a personal computer. Currently popular liquid crystal display devices (hereinafter referred to as L
Most of the CDs use a twisted nematic liquid crystal. Such a liquid crystal display element generally includes a liquid crystal cell and polarizing plates provided on both sides of the liquid crystal cell. The liquid crystal cell includes a liquid crystal panel and an electrode portion for applying a voltage to the liquid crystal panel. Further, this liquid crystal panel is composed of a transparent alignment film and a liquid crystal layer, and the liquid crystal layer is sandwiched between the alignment films. A display method using such a liquid crystal can be roughly classified into two methods, a birefringence mode and an optical rotation mode.
【0003】複屈折モードを利用する超ねじれ(スーパ
ーツィスティッド)ネマチック液晶表示装置(以下ST
N−LCDと称す)は、90度を超えるねじれ角及び急
峻な電気光学特性を有するスーパーツィスティッドネマ
チック液晶を用いている。このため、このようなSTN
−LCDは、時分割駆動による大容量の表示が可能であ
る。しかしながら、STN−LCDで実用的なコントラ
ストが得られるのは、イエローモード(黄緑/濃紺)及
びブルーモード(青/淡黄)であり、白黒モードを得る
には位相差板(一軸延伸ポリマーフィルムや補償用液晶
セル)を設ける必要があった。A super-twisted nematic liquid crystal display device utilizing a birefringence mode (hereinafter referred to as ST)
The N-LCD uses a super twisted nematic liquid crystal having a twist angle exceeding 90 degrees and steep electro-optical characteristics. Therefore, such STN
-The LCD can display a large amount of data by time division driving. However, practical mode contrast can be obtained in STN-LCD in the yellow mode (yellow-green / dark blue) and blue mode (blue / light yellow). To obtain the black-and-white mode, a retardation plate (uniaxially stretched polymer film) is required. And a compensating liquid crystal cell).
【0004】TN−LCDの表示モードである旋光モー
ドでは、高速応答性(数十ミリ秒)及び高いコントラス
トが得られる。従って、旋光モードは、複屈折モードや
他のモードに比べて多くの点で有利である。しかしなが
ら、TN−LCDは、STN−LCDのように位相差板
を備えていないので、表示色や表示コントラストが液晶
表示装置を見る時の角度によって変化し易い(視野角特
性)との問題がある。In the optical rotation mode, which is a display mode of the TN-LCD, high-speed response (tens of milliseconds) and high contrast are obtained. Thus, the optical rotation mode has many advantages over the birefringence mode and other modes. However, since the TN-LCD does not include a retardation plate unlike the STN-LCD, there is a problem that the display color and the display contrast easily change depending on the angle when viewing the liquid crystal display device (viewing angle characteristics). .
【0005】上記TN−LCDにおける視野角特性を改
善するため(即ち、視野角の拡大のため)、一対の偏光
板と液晶セルとの間に位相差板(光学補償シートともい
う)を設けることが知られている。この位相差板は、液
晶セルに対して垂直方向の位相差はほぼ0であるため真
正面からは何ら光学的作用を与えないが、傾けた時に位
相差が発現し、この作用によって液晶セルで発生する位
相差を補償するものである。In order to improve the viewing angle characteristics of the TN-LCD (ie, to increase the viewing angle), a retardation plate (also referred to as an optical compensation sheet) is provided between a pair of polarizing plates and a liquid crystal cell. It has been known. This retardation plate does not give any optical action from directly in front because the phase difference in the vertical direction with respect to the liquid crystal cell is almost 0. However, when it is tilted, a phase difference appears, and this action generates in the liquid crystal cell. To compensate for the phase difference.
【0006】また、負の複屈折を有し、かつ光軸が傾い
ている光学補償シートも知られている。このシートは、
ポリカーボネートやポリエステル等のポリマーを延伸す
ることにより製造され、そしてシートの法線から傾いた
主屈折率の方向を持つ。しかし延伸処理によりこのよう
なシートを製造するには、極めて複雑な延伸処理が必要
とされるため、一般に知られている方法で大面積の光学
補償シートを製造することは極めて困難である。An optical compensatory sheet having negative birefringence and having an inclined optical axis is also known. This sheet
Manufactured by stretching a polymer, such as polycarbonate or polyester, and has a direction of principal refractive index that is tilted from the sheet normal. However, in order to produce such a sheet by a stretching process, an extremely complicated stretching process is required, so that it is extremely difficult to produce a large-area optical compensation sheet by a generally known method.
【0007】一方、液晶性ポリマーを用いた光学補償シ
ートも知られている。例えば、液晶性を有するポリマー
を支持フィルム上の配向膜表面に塗布することにより得
られる光学補償シートや支持体と液晶性及び正の複屈折
を有する重合性棒状化合物からなる光学補償シート(複
屈折板)が知られている。さらには、簡単な製法により
全方向視野角が拡大した光学補償シートとして、透明フ
ィルム上に配向膜を形成し、配向膜上に液晶性ディスコ
ティック化合物の層が形成された光学補償シートも知ら
れている。On the other hand, an optical compensation sheet using a liquid crystal polymer is also known. For example, an optical compensation sheet obtained by applying a polymer having liquid crystallinity to the surface of an alignment film on a support film, or an optical compensation sheet comprising a support and a polymerizable rod-like compound having liquid crystallinity and positive birefringence (birefringence) Board) is known. Further, as an optical compensatory sheet having an expanded omnidirectional viewing angle by a simple manufacturing method, an optical compensatory sheet in which an alignment film is formed on a transparent film and a liquid crystal discotic compound layer is formed on the alignment film is also known. ing.
【0008】上述したような液晶パネル及び光学補償シ
ートにおいて、配向膜は液晶層中の液晶分子を液晶の動
作モードに適した配列や傾きに制御する役割をもつ。こ
の配向膜を作成する方法として、酸化珪素(SiO)や
有機物など蒸着する方法、LB膜を生成する方法、ポリ
イミドやポリビニルアルコール、有機シランなど(以
下、配向膜形成材料という)の薄膜をラビング処理する
方法などがあるが、生産性やコスト性などからラビング
処理による方法が一般に行われている。ラビング処理
は、ラビングシート(ラビング布)をラビングローラ円
筒軸に貼り合わせたラビングローラを配向膜形成材料の
搬送方向に対して逆方向に回転させ、ラビングシートと
配向膜形成材料を物理的に擦ることにより行われる。In the liquid crystal panel and the optical compensatory sheet as described above, the alignment film has a role of controlling the liquid crystal molecules in the liquid crystal layer to an arrangement or an inclination suitable for the operation mode of the liquid crystal. Examples of a method of forming the alignment film include a method of depositing silicon oxide (SiO) or an organic substance, a method of forming an LB film, and a rubbing treatment of a thin film of polyimide, polyvinyl alcohol, organic silane, or the like (hereinafter, referred to as an alignment film forming material). Although there is a method of performing rubbing, a method using a rubbing process is generally performed from the viewpoint of productivity and cost. In the rubbing process, a rubbing roller in which a rubbing sheet (rubbing cloth) is bonded to a rubbing roller cylindrical shaft is rotated in a direction opposite to a conveying direction of the alignment film forming material, and the rubbing sheet and the alignment film forming material are physically rubbed. This is done by:
【0009】さらに、最近では薄型、軽量、低消費電力
という大きな利点を有する液晶表示装置は大型CRTの
代替品として大型化が望まれており、液晶パネル及び光
学補償シートの大面積化が図られている。大面積の液晶
パネルや光学補償シートを作成するためには、大面積の
配向膜をほとんど欠陥のない状態で形成する必要があ
る。しかしながら、上記のラビング法では、配向膜の配
向性はラビング処理の色々な条件に左右されるため、そ
の工程はノウハウに依存するところが多く、連続工程で
配向欠陥のない大面積の配向膜を形成するのは難しかっ
た。Further, recently, liquid crystal display devices having great advantages such as thinness, light weight and low power consumption have been desired to be large-sized as a substitute for a large-sized CRT, and the area of the liquid crystal panel and the optical compensation sheet has been increased. ing. In order to produce a large-area liquid crystal panel or an optical compensation sheet, it is necessary to form a large-area alignment film with almost no defects. However, in the above-mentioned rubbing method, since the orientation of the alignment film depends on various conditions of the rubbing treatment, the process often depends on know-how, and a large-area alignment film without alignment defects is formed in a continuous process. It was difficult to do.
【0010】一方ではこのような問題に対して、種々の
改善がなされ、その結果が開示されつつある。例えば、
光学補償シートにおいて、ラビング時に発生する配向膜
形成材料の樹脂微粉やラビングシートから発生する塵埃
を、配向膜に付着しにくくするために、ラビングローラ
表面のラビングシートを除塵しながらラビング処理を行
う方法が提案されている(特開平9−166784号公
報)。この方法によれば、ラビング時に発生する塵埃な
どによる配向欠陥のない配向膜、液晶層を、連続工程で
形成することができ大面積の光学補償シートを比較的容
易に得ることができるので、一部工業的にも利用されて
いる。[0010] On the other hand, various improvements have been made to such problems, and the results are being disclosed. For example,
In the optical compensation sheet, a method of performing a rubbing treatment while removing dust from a rubbing sheet on a rubbing roller surface in order to make it difficult for resin fine powder of an alignment film forming material generated during rubbing and dust generated from the rubbing sheet to adhere to the alignment film. Has been proposed (Japanese Patent Application Laid-Open No. 9-166784). According to this method, an alignment film and a liquid crystal layer free from alignment defects due to dust or the like generated during rubbing can be formed in a continuous process, and a large-area optical compensation sheet can be obtained relatively easily. It is also used in departments.
【0011】[0011]
【発明が解決しようとする課題】上述のラビングシート
に付着した樹脂微粉や塵埃(以下、樹脂微粉等という)
の除塵には、圧縮空気(例えば、超音波振動させた圧縮
空気)をシートの表面に吹き付けて、吹き飛ばされた樹
脂微粉等を真空吸引する除塵器が一般に用いられてい
る。しかしながら、このような除塵器を用いてラビング
シートを除塵した場合、部分的に除塵されない除塵むら
が発生したり、ラビングシートが部分的に破損してしま
うという問題があった。SUMMARY OF THE INVENTION Resin fine powder and dust adhering to the rubbing sheet described above (hereinafter referred to as resin fine powder, etc.).
For dust removal, a dust remover that blows compressed air (for example, compressed air subjected to ultrasonic vibration) onto the surface of a sheet and vacuum sucks the blown resin fine powder or the like is generally used. However, when the rubbing sheet is dust-removed using such a dust remover, there is a problem that dust removal unevenness that is not partially removed occurs or the rubbing sheet is partially damaged.
【0012】除塵むらのあるラビングシートでラビング
処理すると、樹脂微粉等が配向膜に移動することがあ
る。そして、樹脂微粉等が付着した状態で配向膜に液晶
層を形成した場合には液晶層で配向欠陥が発生する。ま
た、破損したラビングシートで配向膜形成材料層をラビ
ング処理した場合には配向膜で配向欠陥が発生する。よ
って、ラビングシートに除塵むらや破損が発生した場合
には、ラビングシートを交換しなければならない。しか
し、配向欠陥等が発生してからラビングシートを交換し
ていたのでは、欠陥部分が多く生産されてしまう。そこ
で、ラビングシートを定期的に交換する方法も考えられ
るが、その作業効率等から連続工程で配向膜を生産する
には適当ではない。When rubbing is performed with a rubbing sheet having uneven dust removal, resin fine powder and the like may move to the alignment film. When the liquid crystal layer is formed on the alignment film in a state where the resin fine powder or the like is attached, alignment defects occur in the liquid crystal layer. Further, when the alignment film forming material layer is rubbed with the damaged rubbing sheet, alignment defects occur in the alignment film. Therefore, when uneven dust removal or breakage occurs in the rubbing sheet, the rubbing sheet must be replaced. However, if the rubbing sheet is replaced after an alignment defect or the like has occurred, many defective portions are produced. Therefore, a method of periodically replacing the rubbing sheet is conceivable, but it is not suitable for producing an alignment film in a continuous process due to its work efficiency and the like.
【0013】従って、本発明の目的は、連続工程で配向
膜形成材料層を備えた長尺可撓性シートの配向膜形成材
料層を、ラビング処理により配向膜とする際に樹脂微粉
等の付着、あるいはラビングシートの破損による配向欠
陥の少ない配向膜を容易に形成できる配向膜付長尺可撓
性シートの製造方法及びラビング装置を提供することに
ある。Accordingly, it is an object of the present invention to provide a method for forming an alignment film-forming material layer of a long flexible sheet having an alignment film-forming material layer in a continuous process into an alignment film by a rubbing treatment. Another object of the present invention is to provide a method of manufacturing a long flexible sheet with an alignment film and a rubbing device, which can easily form an alignment film with few alignment defects due to breakage of a rubbing sheet.
【0014】[0014]
【課題を解決するための手段】本発明者は、除塵器から
吹き付けられる圧縮空気の風速に着目して検討したとこ
ろ、ラビングシートに吹き付けられる圧縮空気の風速は
幅方向で完全に一定ではなく、局部的に強く吹き付けら
れる部分と弱く吹き付けられる部分とがあることを見出
した。また一方、ラビングシートを表面が平坦なラビン
グローラ円筒軸に貼り合わせた場合には、ラビング処理
している間にラビングシートの端部から剥がれたり、弛
んだりして、これによっても除塵むらやラビングシート
の破損が発生することも見出した。すなわち、本発明者
は除塵器から吹き付けられる圧縮空気の風速を幅方向に
一定にし、またラビングローラ円筒軸に貼り合わせたラ
ビングシートが剥がれたり、弛んだりしないようにする
ことで、除塵むらやラビングシートの破損を少なくで
き、連続工程で欠陥の少ない配向膜を容易に形成できる
こと見出し本発明を完成するに至ったのである。Means for Solving the Problems The present inventor examined the wind speed of the compressed air blown from the dust remover, and found that the wind speed of the compressed air blown to the rubbing sheet was not completely constant in the width direction. It has been found that some parts are strongly sprayed locally and some are weakly sprayed. On the other hand, when the rubbing sheet is bonded to a cylindrical shaft of a rubbing roller having a flat surface, the rubbing sheet may be peeled off or loosened from the end of the rubbing sheet during the rubbing process, which may also cause uneven dust removal or rubbing. It was also found that the sheet was damaged. In other words, the present inventor made the wind speed of the compressed air blown from the dust remover constant in the width direction, and prevented the rubbing sheet bonded to the rubbing roller cylindrical shaft from peeling or loosening, thereby achieving dust removal unevenness and rubbing. The inventors have found that the damage to the sheet can be reduced and an alignment film with few defects can be easily formed in a continuous process, and the present invention has been completed.
【0015】従って本発明は、一方の表面に配向膜形成
材料層を備えた長尺可撓性シートをその長さ方向に移動
させながら、その配向膜形成材料層の表面をラビングロ
ーラに近接して設置された除塵器でそのラビングローラ
の表面を除塵しながら、回転下にある該ラビングローラ
と接触させて擦ることにより、配向膜を形成する配向膜
付長尺可撓性シートの製造方法において、該除塵をラビ
ングローラの表面に沿って、その幅方向に除塵器を往復
移動させながら行う配向膜付長尺可撓性シートの製造方
法にある。この発明の好ましい態様は、除塵器の往復移
動があらかじめ決められた周期で行われることである。Therefore, according to the present invention, while moving a long flexible sheet having an alignment film forming material layer on one surface in the longitudinal direction, the surface of the alignment film forming material layer is brought close to a rubbing roller. In the method for producing a long flexible sheet with an alignment film, which forms an alignment film by rubbing the rubbing roller in contact with the rotating rubbing roller while removing the dust on the surface of the rubbing roller with a dust remover installed. And a method for producing a long flexible sheet with an alignment film, wherein the dust is removed along the surface of the rubbing roller while reciprocating the dust remover in the width direction thereof. In a preferred aspect of the present invention, the reciprocating movement of the dust remover is performed at a predetermined cycle.
【0016】また本発明は、一方の表面に配向膜形成材
料層を備えた長尺可撓性シートをその長さ方向に移動さ
せる少なくとも二個の搬送ローラ、該搬送ローラ間に備
えられたラビングローラと該ラビングローラに近接して
設置された除塵とからなるラビング装置において、該除
塵器が該ラビングローラの表面に沿って、その幅方向に
往復移動できるようにされているラビング装置にもあ
る。さらに、この発明の好ましい態様は、ラビングロー
ラが軸方向に延びた溝を有する円筒軸と、その溝に両端
を差し込んだ状態で固定されているラビングシートから
なることである。According to the present invention, at least two transport rollers for moving a long flexible sheet having an alignment film forming material layer on one surface in the longitudinal direction thereof, and rubbing provided between the transport rollers In a rubbing device comprising a roller and dust removing device installed in proximity to the rubbing roller, there is also a rubbing device in which the dust remover can reciprocate in the width direction along the surface of the rubbing roller. . Further, a preferred aspect of the present invention is that the rubbing roller comprises a cylindrical shaft having a groove extending in the axial direction, and a rubbing sheet fixed with both ends inserted into the groove.
【0017】[0017]
【発明の実施の形態】本発明の配向膜付長尺可撓性シー
トの製造方法及びラビング装置について、ラビング装置
の平面図(図1)、ラビング装置の平面図(図2)及び
ラビングローラの拡大図(図3)を参照しながら以下に
説明する。配向膜形成材料層を備えた長尺可撓性シート
1は、搬送ローラ2a、2bにより上部から押えられな
がら、矢印の方向に搬送され、下側より押圧されたラビ
ングローラ円筒軸(例えば、外径300mmのもの)3
が、上記搬送方向と反対向きに回転することにより長尺
可撓性シートの配向膜形成材料層表面がラビングされ
る。ラビングローラはラビングローラ円筒軸3に外周表
面にはベルベット等のラビングシート3aが貼り合わせ
てあり、このラビングシートに配向膜形成層は擦られて
配向膜になる。本発明において、ラビングローラ円筒軸
は図3に示したように幅方向に延びた溝を有し、ラビン
グシートはその両端を溝に差し込んで貼り合わされる。
よって、ラビングシートの端部はラビングローラの表面
に露出しないので、その端部が剥がれにくくなり、そし
て弛みにくくなる。この溝は幅3〜8mm深さ3〜8m
mの範囲であればラビングシートの両端を差し込み固定
でき、ラビング処理を行ってもラビングシートは剥がれ
たり、弛んだりしない。BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION A method for manufacturing a long flexible sheet with an alignment film and a rubbing device according to the present invention are shown in a plan view of a rubbing device (FIG. 1), a plan view of a rubbing device (FIG. 2), and a rubbing roller. This will be described below with reference to an enlarged view (FIG. 3). The long flexible sheet 1 provided with the alignment film forming material layer is conveyed in the direction of the arrow while being pressed from above by the conveying rollers 2a and 2b, and is pressed from below by a rubbing roller cylindrical shaft (for example, an outer shaft). 300mm in diameter) 3
However, the surface of the alignment film forming material layer of the long flexible sheet is rubbed by rotating in the direction opposite to the transport direction. In the rubbing roller, a rubbing sheet 3a such as velvet is attached to the outer peripheral surface of the rubbing roller cylindrical shaft 3, and the rubbing sheet is rubbed with the alignment film forming layer to become an alignment film. In the present invention, the rubbing roller cylindrical shaft has a groove extending in the width direction as shown in FIG. 3, and the rubbing sheet is bonded by inserting both ends into the groove.
Therefore, since the end of the rubbing sheet is not exposed to the surface of the rubbing roller, the end is less likely to be peeled off and less likely to be loosened. This groove has a width of 3-8 mm and a depth of 3-8 m
Within the range of m, both ends of the rubbing sheet can be inserted and fixed, and the rubbing sheet does not peel off or become loose even when rubbing is performed.
【0018】ラビング処理している間、ラビングローラ
円筒軸3に貼り合わされたラビングシート3aの表面
は、ラビングローラ側面に近接して設置された除塵器5
により除塵されている。本発明において、除塵器5はラ
ビングローラに沿って、その幅方向に往復移動する。こ
の除塵器の往復移動は例えば図2に示したように、除塵
器駆動モーター4と、除塵器5にはめ込まれ中心からず
れた位置で軸が固定された軸受け円板7及びスライドレ
ール6によって行われる。除塵器駆動モーター4によっ
て軸が回転すると軸受け円板7が軸を中心にして回転す
る。そして、この軸受け円板の回転によって、除塵器5
はスライドレール6の上を往復移動する。During the rubbing process, the surface of the rubbing sheet 3a bonded to the rubbing roller cylindrical shaft 3 is attached to a dust remover 5 installed near the side of the rubbing roller.
Dust has been removed. In the present invention, the dust remover 5 reciprocates in the width direction along the rubbing roller. As shown in FIG. 2, for example, the reciprocating movement of the dust remover is performed by a dust remover driving motor 4, a bearing disk 7 fitted into the dust remover 5, and having a shaft fixed at a position deviated from the center, and a slide rail 6. Will be When the shaft is rotated by the dust remover driving motor 4, the bearing disk 7 rotates about the shaft. The rotation of the bearing disk causes the dust remover 5 to rotate.
Reciprocates on the slide rail 6.
【0019】この除塵器の往復移動する幅は5mm以上
でかつ除塵器の幅に対して10%以下の長さであり、望
ましくは10〜20mmである。往復移動する幅が5m
m未満の場合には、除塵むらやラビングシートの破損が
発生しやすく、また10%を超える場合には、ラビング
ローラ全面を除塵するためには、除塵器はラビングロー
ラより10%以上幅が大きいことが必要となるからであ
る。また、その移動速度は1〜10mm/秒、さらに望
ましくは3〜7mm/秒の範囲である。移動速度は速す
ぎても遅すぎてもラビングシートの除塵むらや破損が発
生しやすくなるからである。The reciprocating width of the dust remover is not less than 5 mm and not more than 10% of the width of the dust remover, preferably 10 to 20 mm. Reciprocating width is 5m
If it is less than m, dust removal unevenness and breakage of the rubbing sheet are likely to occur, and if it is more than 10%, the dust remover is at least 10% wider than the rubbing roller to remove the entire rubbing roller. It is necessary. The moving speed is in the range of 1 to 10 mm / sec, and more desirably in the range of 3 to 7 mm / sec. This is because if the moving speed is too fast or too slow, the rubbing sheet tends to have uneven dust removal or breakage.
【0020】さらに、本発明の配向膜付長尺可撓性シー
トの製造方法の好ましい態様について説明する。ラビン
グローラはモーターにより回転し、1000rpm程度
まで回転速度を制御することができる。また、配向膜の
平面方向のラビング角度を調整することができる。例え
ば、ラビングローラを可撓性シートの搬送方向に対し
て、平面方向に傾けることによって、容易にラビング角
度を調整することができる。このようにラビング角度を
調整した後、可撓性シートを搬送装置によって、一定張
力、一定速度(一般に5m/分以上)で搬送しながら、
ラビングローラをシートの搬送方向とは反対の方向に一
定の回転速度で回転させる。これにより連続的にラビン
グを行なうことができる。このように連続的にラビング
を行なうことにより、シートはエアフォイル効果により
浮上して搬送されるので、シートが幅方向に動くことは
なく、安定して、連続的にラビングを行なうことができ
る。Further, a preferred embodiment of the method for producing a long flexible sheet with an alignment film according to the present invention will be described. The rubbing roller is rotated by a motor, and can control the rotation speed up to about 1000 rpm. Further, the rubbing angle of the alignment film in the planar direction can be adjusted. For example, the rubbing angle can be easily adjusted by inclining the rubbing roller in a plane direction with respect to the transport direction of the flexible sheet. After adjusting the rubbing angle in this manner, the flexible sheet is transported by the transport device at a constant tension and a constant speed (generally, 5 m / min or more).
The rubbing roller is rotated at a constant rotation speed in a direction opposite to the sheet conveying direction. Thereby, rubbing can be performed continuously. By performing the rubbing continuously, the sheet floats and is conveyed by the airfoil effect, so that the sheet does not move in the width direction, and the rubbing can be performed stably and continuously.
【0021】ラビング時のシート搬送速度は、一般に1
0〜50m/分であり、ラビングローラの直径は、一般
に100〜500mm(好ましくは150〜300m
m)であり、ラビングローラの回転数は150〜300
rpmが一般的である。ベースラップ角は、4〜20度
が好ましく、シートに対する張力は、1〜3N/1cm
(シート幅)が好ましい。ラビングローラの回転軸は、
一般に0〜45度の範囲で調整可能である。ラビングロ
ーラの着脱は、搬送用ローラ上下装置により接合部で着
脱できることが好ましい。The sheet conveying speed during rubbing is generally 1
The rubbing roller generally has a diameter of 100 to 500 mm (preferably 150 to 300 m / min).
m), and the number of rotations of the rubbing roller is 150 to 300.
rpm is common. The base wrap angle is preferably 4 to 20 degrees, and the tension on the sheet is 1 to 3 N / 1 cm.
(Sheet width) is preferred. The rotation axis of the rubbing roller is
Generally, it can be adjusted in the range of 0 to 45 degrees. It is preferable that the rubbing roller can be attached and detached at the joining portion by a transport roller up-down device.
【0022】さらに、搬送ローラ、あるいはラビングロ
ーラは、その両端に張力測定器が取り付けてあって、可
撓性シートの幅方向の張力を調整しながら、搬送あるい
はラビング処理を行うことができようにするのが望まし
い。そして、その長尺可撓性シートの幅方向の両側の縁
部の張力差は、0.1N/cm以下とするのが望まし
い。この長尺可撓性シートの縁部の張力差が0.1N/
cmより大きいと幅方向で配向性にばらつきが生じやす
くなり配向欠陥となりやすくなるからである。Further, the transfer roller or the rubbing roller has a tension measuring device attached to both ends thereof so that the transfer or rubbing process can be performed while adjusting the tension in the width direction of the flexible sheet. It is desirable to do. It is desirable that the difference in tension between the edges on both sides in the width direction of the long flexible sheet be 0.1 N / cm or less. The tension difference at the edge of the long flexible sheet is 0.1 N /
This is because, if it is larger than cm, the alignment tends to vary in the width direction, and the alignment tends to be defective.
【0023】また、ラビング処理を施している間、軟X
線を可撓性シート面側から、ラビングシートと配向膜形
成材料層と擦れている面に照射して、配向膜層を除電す
ることが望ましい。このような軟X線除電器としては、
例えば、浜松ホトニクス(株)製フォトイオナイザなど
が市販されており、この時の軟X線は管球にイオン生成
管を用い、管電圧+9.5kV、電流150μAで使用
され、この時発生する軟X線の波長は0.1〜0.5n
mである。During the rubbing treatment, the soft X
It is desirable to irradiate a line from the flexible sheet surface side to a surface rubbed with the rubbing sheet and the alignment film forming material layer, and to remove electricity from the alignment film layer. As such a soft X-ray static eliminator,
For example, a photo ionizer manufactured by Hamamatsu Photonics Co., Ltd. is commercially available. At this time, soft X-rays are used at a tube voltage of +9.5 kV and a current of 150 μA using an ion generating tube as a tube. X-ray wavelength is 0.1-0.5n
m.
【0024】本発明で利用することができる配向膜付長
尺可撓性シートの製造方法は、上記の方法だけでなく、
長尺可撓性シートを連続的にラビングすることができる
方法であればどのようなものでも利用することができ
る。例えば、搬送される長尺可撓性シートがパスローラ
(バックアップローラ)で支持された位置でラビングロ
ーラを押しつけるバックアップラビング方式、特開昭6
1−160720号公報に記載されている、搬送される
長尺可撓性シートが支持されているパスローラ(バック
アップローラ)間で押しつけるラップラビング方式、さ
らに特開平6−110059号公報に記載されている、
バックアップラビング方式でラビングローラの両側でス
プロケットにより支持する方法等を利用することができ
る。なお上記ラビング処理が中断された際に、クリーニ
ングシートを上記ラビング及び除塵システムの装置内を
搬送させて、これらに付着した樹脂微粉等を除去しても
良い。そして、配向欠陥が発生した場合には、その後ラ
ビングを行っても配向欠陥は回復しないことから、でき
るだけ工数を少なくすることが望ましく、このためには
一つのラビングローラによりラビング処理を行うことが
より望ましい場合もある。The method for producing a long flexible sheet with an alignment film that can be used in the present invention is not limited to the above-described method.
Any method that can continuously rub the long flexible sheet can be used. For example, a backup rubbing method in which a rubbing roller is pressed at a position where a long flexible sheet to be conveyed is supported by a pass roller (backup roller),
Japanese Patent Application Laid-Open No. 1-160720 discloses a lap rubbing method in which a conveyed long flexible sheet is pressed between pass rollers (back-up rollers) supporting the flexible sheet. ,
A backup rubbing method in which a sprocket is used to support the rubbing roller on both sides can be used. When the rubbing process is interrupted, the cleaning sheet may be conveyed through the rubbing and dust removal system to remove resin fines and the like adhering thereto. When an alignment defect occurs, the alignment defect is not recovered even if rubbing is performed thereafter.Therefore, it is desirable to reduce the number of steps as much as possible. It may be desirable.
【0025】[0025]
【実施例】[実施例1] (配向膜形成材料層を備えた長尺状透明フィルムの作
成)セルローストリアセテート(フジタック、富士写真
フィルム(株)製、厚さ:100μm、幅:500m
m)の長尺状フィルムの一方の側に、長鎖アルキル変性
ポリビニルアルコール(MP−203、クラレ(株)
製)5重量%水溶液を塗布し、90℃4分間乾燥させ
た。こうして、厚さ2.0μmの配向膜形成材料層を形
成した。[Example 1] (Preparation of a long transparent film provided with an alignment film forming material layer) Cellulose triacetate (Fujitac, manufactured by Fuji Photo Film Co., Ltd., thickness: 100 µm, width: 500 m)
m) On one side of the long film, a long-chain alkyl-modified polyvinyl alcohol (MP-203, Kuraray Co., Ltd.)
5% by weight aqueous solution was applied and dried at 90 ° C. for 4 minutes. Thus, an alignment film forming material layer having a thickness of 2.0 μm was formed.
【0026】(配向膜形成材料層のラビング処理)配向
膜形成材料層を備えた長尺状透明フィルムを図1に記載
の装置を用いて配向膜形成材料層表面にラビング処理を
施した。上記配向膜形成材料層を備えた長尺状透明フィ
ルム1は、矢印の方向に連続して20m/分で搬送し
た。長尺状透明フィルムは搬送ローラ(ローラ外径:6
5mm、長さ:700mm)2a、2bにより上部から
押えながら搬送し、下側より押圧されたラビングローラ
(外径:300mm)を上記搬送方向と反対向きに30
0rpmで回転させながら、ラビングローラ円筒軸3に
貼り合わせたラビングシート(ベルベット)3aを配向
膜形成材料層に接触させることによりラビング処理を施
した。また、図3に示したようにラビングローラ円筒軸
3はその幅方向に延びた幅5mm深さ5mmの溝を有し
ており、ラビングシート3aはその両端をその溝に差し
込んでラビングローラに貼り合わせた。さらに、ラビン
グシート(ベルベット)3aの表面は、ラビングローラ
側面に近接して配置されている除塵器5により除塵し
た。この時、除塵器5は振幅20mm、速度5mm/秒
でラビングローラに沿って、その幅方向に往復移動させ
た。除塵器としては、超音波振動する圧縮空気を吹き付
けながら除塵する除塵器(ニューウルトラクリーナ(U
VU−Wタイプ、(株)伸興製)を使用し、ヘッド圧3
000mmAq、除塵器の吹き出し風速220m/秒、
ローラ表面と除塵器先端との距離は3mmで除塵を行な
った。(Rubbing Treatment of Alignment Film Forming Material Layer) The long transparent film provided with the alignment film forming material layer was subjected to a rubbing treatment on the surface of the alignment film forming material layer using the apparatus shown in FIG. The long transparent film 1 provided with the alignment film forming material layer was continuously conveyed at 20 m / min in the direction of the arrow. The long transparent film is transported by rollers (roller outer diameter: 6
(5 mm, length: 700 mm) The rubbing roller (outer diameter: 300 mm) pressed from below is conveyed while being pressed from above by the 2a and 2b, and the rubbing roller (outer diameter: 300 mm) pressed from below is moved in the opposite direction to the above-described conveyance direction by 30
While rotating at 0 rpm, the rubbing treatment was performed by bringing the rubbing sheet (velvet) 3a bonded to the rubbing roller cylindrical shaft 3 into contact with the alignment film forming material layer. Further, as shown in FIG. 3, the rubbing roller cylindrical shaft 3 has a groove having a width of 5 mm and a depth of 5 mm extending in the width direction, and the rubbing sheet 3a is inserted into both ends of the groove and adhered to the rubbing roller. I combined. Further, the surface of the rubbing sheet (velvet) 3a was dust-removed by a dust remover 5 disposed close to the side of the rubbing roller. At this time, the dust remover 5 was reciprocated in the width direction along the rubbing roller at an amplitude of 20 mm and a speed of 5 mm / sec. As a dust remover, a dust remover (New Ultra Cleaner (U)
VU-W type, manufactured by Shinko Co., Ltd.)
000 mmAq, blowout wind speed of the dust remover 220 m / sec,
Dust was removed at a distance of 3 mm between the roller surface and the tip of the dust remover.
【0027】また、ラビング処理を施している間、ラビ
ングローラに対向して設置された軟X線除電装置4(フ
ォトイオナイザL7120、浜松ホトニクス(株)製)
により、透明フィルムの配向膜形成材料層が備えられて
いない面側から配向膜形成材料層とラビングローラの接
触面の裏側に該当する面に軟X線を照射して、帯電した
配向膜及び配向膜に付着した樹脂微粉等を除電した。こ
の時の軟X線発生装置は管球にイオン生成管を用い、管
電圧+9.5kV、電流150μAで使用され、この時
発生する軟X線の波長は0.1〜0.5nmである。Also, during the rubbing treatment, a soft X-ray static eliminator 4 (photoionizer L7120, manufactured by Hamamatsu Photonics Co., Ltd.) installed facing the rubbing roller.
By irradiating soft X-rays to the surface corresponding to the back side of the contact surface between the alignment film forming material layer and the rubbing roller from the side of the transparent film where the alignment film forming material layer is not provided, the charged alignment film and the alignment Static electricity was removed from the resin fine powder and the like attached to the film. At this time, the soft X-ray generator uses an ion generating tube as a tube, is used at a tube voltage of +9.5 kV and a current of 150 μA, and the wavelength of the soft X-ray generated at this time is 0.1 to 0.5 nm.
【0028】また、このラビング装置において、搬送ロ
ーラ2a、2bはともに、搬送ローラの両縁部間の張力
差が7N以下になるよう設定した。両縁部間の張力差が
7Nより大きくなった場合には、ラビングローラ軸受を
上下に移動させラビングローラ6の中心線に対して傾け
て両縁部間の張力差を調整した。また、上記ラビングに
おいて、ベースラップ角は6度であった。In this rubbing device, the transport rollers 2a and 2b are both set so that the difference in tension between both edges of the transport rollers is 7N or less. When the difference in tension between the two edges became larger than 7N, the rubbing roller bearing was moved up and down to incline with respect to the center line of the rubbing roller 6 to adjust the difference in tension between the two edges. In the rubbing, the base wrap angle was 6 degrees.
【0029】以上のようにラビング処理された配向膜付
長尺状透明フィルムは、その配向膜層面及びフィルム面
(配向膜のない面)の樹脂微粉等を除塵した。除塵装置
としては、除塵器(ニューウルトラクリーナ(UVU−
Wタイプ、(株)伸興製)を使用し、ヘッド圧3000
mmAq、除塵器の吹き出し風速220m/秒、ローラ
表面との除塵装置先端との距離1mmで除塵を行なっ
た。The rubbed long transparent film with an alignment film as described above was cleaned of fine resin powder and the like on the alignment film layer surface and the film surface (the surface without an alignment film). As a dust removing device, a dust remover (New Ultra Cleaner (UVU-
W type, manufactured by Shinko Co., Ltd.)
The dust was removed at mmAq, at a blowing wind speed of the dust remover of 220 m / sec, and at a distance of 1 mm from the roller surface to the tip of the dust remover.
【0030】(配向膜を用いた光学補償シートの作成) 1)得られた配向膜を有するフィルムを、連続して20
m/分で搬送しながら、配向膜上に、ディスコティック
化合物物に、光重合開始剤(イルガキュア907、日本
チバガイギー(株)製)を上記混合物に対して1重量%
添加した混合物の10重量%メチルエチルケトン溶液
(塗布液)を、ワイヤーバー塗布機により、塗布速度2
0m/分、塗布量5cc/m2 で塗布し、次いで乾燥及
び加熱ゾーンを通過させた。乾燥ゾーンは常温、加熱ゾ
ーンは130℃に調製した。塗布後3秒後に乾燥ゾーン
に入り、3秒後加熱ゾーンに入った。加熱ゾーンは約3
分で通過した。(Preparation of Optical Compensation Sheet Using Alignment Film) 1) The obtained film having an alignment film is continuously
While conveying at a rate of m / min, a photopolymerization initiator (Irgacure 907, manufactured by Nippon Ciba Geigy Co., Ltd.) was added to the discotic compound on the alignment film in an amount of 1% by weight based on the mixture.
A 10% by weight solution of the added mixture in methyl ethyl ketone (coating liquid) was applied at a coating speed of 2 with a wire bar coating machine.
The coating was performed at 0 m / min at a coating rate of 5 cc / m 2 and then passed through a drying and heating zone. The drying zone was adjusted to normal temperature, and the heating zone was adjusted to 130 ° C. After 3 seconds from the application, it entered the drying zone and 3 seconds later entered the heating zone. About 3 heating zones
Passed in minutes.
【0031】2)次いで、この配向膜及び液晶層が塗布
されたフィルムを、連続して20m/分で搬送しなが
ら、液晶層の表面に紫外線ランプにより紫外線を照射し
た。即ち、上記加熱ゾーンを通過したフィルムは、紫外
線照射装置(紫外線ランプ:出力160W/cm、発光
長1.6m)により、照度600mWの紫外線を4秒間
照射し、液晶層を架橋させた。2) The surface of the liquid crystal layer was irradiated with ultraviolet light by an ultraviolet lamp while continuously transporting the film coated with the alignment film and the liquid crystal layer at 20 m / min. That is, the film that passed through the heating zone was irradiated with ultraviolet light having an illuminance of 600 mW for 4 seconds by an ultraviolet irradiation device (ultraviolet lamp: output 160 W / cm, emission length 1.6 m) to crosslink the liquid crystal layer.
【0032】3)さらに配向膜及び液晶層が形成された
透明フィルムは、検査装置により透明フィルム表面の光
学特性が測定され、検査を行ない、次いで、液晶層表面
に保護フィルムをラミネート機により積層し、巻き取り
装置により巻き取って、長尺状光学補償シートを得た。3) The transparent film on which the alignment film and the liquid crystal layer are further formed is inspected by measuring the optical characteristics of the transparent film surface with an inspection device, and then a protective film is laminated on the liquid crystal layer surface by a laminating machine. The film was wound by a winder to obtain a long optical compensation sheet.
【0033】[比較例1]ラビングシートの除塵をラビ
ングローラと除塵器先端との距離3mmに固定して行っ
た以外は、実施例と同様にして長尺状光学補償シートを
得た。Comparative Example 1 A long optical compensation sheet was obtained in the same manner as in the Example, except that the rubbing sheet was dust-fixed at a distance of 3 mm between the rubbing roller and the tip of the dust remover.
【0034】(光学補償シートの評価) 1)上記のようにして長尺状の光学補償シートを1時間
製造した後、得られる光学補償シートを顕微鏡により観
察し(検査工程で行なった)、シート1m2 当たりに直
径20μm以上の点欠陥があるか否か(またある場合に
はその数)を観察した。 2)上記1)の1時間製造後の光学補償シートを、TN
型液晶表示装置に装着し、得られた画像について、表示
欠陥の有無及び視認性(表示画像の乱れの有無等)を評
価した。上記結果を表1に示す。(Evaluation of Optical Compensation Sheet) 1) After producing a long optical compensation sheet for one hour as described above, the obtained optical compensation sheet was observed with a microscope (performed in an inspection step), and the sheet was obtained. It was observed whether there were point defects having a diameter of 20 μm or more per 1 m 2 (and in some cases, the number thereof). 2) The optical compensatory sheet after 1 hour of production described in 1) above is
The resulting image was mounted on a liquid crystal display device, and the obtained image was evaluated for the presence or absence of display defects and the visibility (for example, the presence or absence of disturbance in the displayed image). The results are shown in Table 1.
【0035】[0035]
【表1】 表1 ────────────────────────────── 点欠陥 表示欠陥 視認性 ────────────────────────────── 実施例1 なし なし 表示ムラなし 比較例1 わずかにあり わずかにあり 表示ムラわずかにあり ──────────────────────────────[Table 1] Table 1 ────────────────────────────── Point defect Display defect Visibility ──────── ────────────────────── Example 1 None None No display unevenness Comparative Example 1 Slightly slightly Slightly displayed Slightly uneven display ────── ────────────────────────
【0036】[0036]
【発明の効果】本発明の配向膜付長尺可撓性シートの製
造方法およびラビング装置を用いてラビング処理を行う
ことにより、ラビングシートに付着した樹脂微粉等の除
塵むらが少なくなるので、樹脂微粉等が配向膜層に移動
しなくなる。また破損したラビングシートで接触させて
擦ることによる配向欠陥がなくなる。従って、本発明の
配向膜付長尺可撓性シートの製造方法およびラビング装
置を用いて製造された配向膜から得られる光学補償シー
トは、配向むらによる配向欠陥がなく、これを液晶表示
装置に装着した場合、ディスコティック層の液晶層に由
来する視野角の拡大が得られるだけでなく、画像欠陥も
ほとんどないものとなる。また、配向欠陥のない配向膜
を、連続工程により効率よく得ることができることか
ら、本発明の製造装置及び方法により光学補償シートや
液晶パネルの大量生産を可能にすることができる。さら
には、ラビングシートが破損しにくくなることから、作
業効率が向上しコストを低減することができる。By performing a rubbing treatment using the method for producing a long flexible sheet with an alignment film and a rubbing apparatus of the present invention, unevenness in dust removal of resin fine powder and the like attached to the rubbing sheet is reduced. Fine particles and the like do not move to the alignment film layer. In addition, there is no alignment defect caused by rubbing by contacting with a damaged rubbing sheet. Therefore, the optical compensatory sheet obtained from the alignment film manufactured using the method for manufacturing a long flexible sheet with an alignment film and the rubbing device of the present invention has no alignment defects due to alignment unevenness, and this is applied to a liquid crystal display device. When mounted, not only can the viewing angle be increased due to the liquid crystal layer of the discotic layer, but also there are almost no image defects. In addition, since an alignment film without alignment defects can be efficiently obtained by a continuous process, mass production of an optical compensation sheet and a liquid crystal panel can be performed by the manufacturing apparatus and method of the present invention. Further, since the rubbing sheet is less likely to be damaged, the working efficiency can be improved and the cost can be reduced.
【図1】本発明の製造方法に従うラビング装置の一例の
断面図である。FIG. 1 is a cross-sectional view of an example of a rubbing device according to a manufacturing method of the present invention.
【図2】本発明の製造方法に従うラビング装置の一例の
平面図である。FIG. 2 is a plan view of an example of a rubbing device according to the manufacturing method of the present invention.
【図3】図1に示したラビングローラの拡大図である。FIG. 3 is an enlarged view of the rubbing roller shown in FIG.
1 配向膜形成材料層を備えた可撓性シート 2a、2b 搬送ローラ 3 ラビングローラ円筒軸 3a ラビングシート 4 除塵器駆動用モーター 5 除塵器 6 スライドレール 7 モーター軸受円盤 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Flexible sheet provided with alignment film forming material layer 2a, 2b Transport roller 3 Rubbing roller cylindrical shaft 3a Rubbing sheet 4 Dust remover driving motor 5 Dust remover 6 Slide rail 7 Motor bearing disk
Claims (4)
長尺可撓性シートをその長さ方向に移動させながら、そ
の配向膜形成材料層の表面をラビングローラに近接して
設置された除塵器でそのラビングローラの表面を除塵し
ながら、回転下にある該ラビングローラと接触させて擦
ることにより、配向膜を形成する配向膜付長尺可撓性シ
ートの製造方法において、該除塵をラビングローラの表
面に沿って、その幅方向に除塵器を往復移動させながら
行うことを特徴とする配向膜付長尺可撓性シートの製造
方法。1. A surface of an alignment film forming material layer is placed close to a rubbing roller while moving a long flexible sheet having an alignment film forming material layer on one surface in the length direction. In the method for producing a long flexible sheet with an alignment film, which forms an alignment film by contacting and rubbing the rotating rubbing roller while removing the surface of the rubbing roller with a dust remover, The method is performed while reciprocating the dust remover in the width direction of the rubbing roller along the surface of the rubbing roller.
期で行われることを特徴とする請求項1に記載の配向膜
付長尺可撓性シートの製造方法。2. The method according to claim 1, wherein the reciprocating movement is performed at a predetermined cycle.
長尺可撓性シートをその長さ方向に移動させる少なくと
も二個の搬送ローラ、該搬送ローラ間に備えられたラビ
ングローラと該ラビングローラに近接して設置された除
塵器とからなるラビング装置において、該除塵器が該ラ
ビングローラの表面に沿って、その幅方向に往復移動で
きるようにされていることを特徴とするラビング装置。3. At least two transport rollers for moving a long flexible sheet provided with an alignment film forming material layer on one surface in the longitudinal direction thereof, a rubbing roller provided between the transport rollers, and A rubbing device comprising a dust remover installed in proximity to a rubbing roller, wherein the dust remover is reciprocally movable in the width direction along the surface of the rubbing roller. .
有する円筒軸と、その溝に両端を差し込んだ状態で固定
されているラビングシートからなることを特徴とする請
求項3に記載のラビング装置。4. The rubbing device according to claim 3, wherein the rubbing roller comprises a cylindrical shaft having a groove extending in the axial direction, and a rubbing sheet fixed with both ends inserted into the groove. apparatus.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP13467498A JP4005215B2 (en) | 1998-04-28 | 1998-04-28 | Method for producing long flexible sheet with alignment film and rubbing apparatus |
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Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
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JPH11311787A true JPH11311787A (en) | 1999-11-09 |
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Country Status (1)
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JP (1) | JP4005215B2 (en) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN100397204C (en) * | 2002-12-26 | 2008-06-25 | 新日本石油化学株式会社 | Friction method for film |
KR100987662B1 (en) | 2009-03-20 | 2010-10-21 | (주) 태영이엔지 | Apparatus for removing foreign materials from the Anilox Roll used in an alignment layer printing device of TFT-LCD |
CN112845224A (en) * | 2021-01-29 | 2021-05-28 | 东莞市金恒晟新材料科技有限公司 | Dust collector is used in protection film production |
-
1998
- 1998-04-28 JP JP13467498A patent/JP4005215B2/en not_active Expired - Fee Related
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CN112845224A (en) * | 2021-01-29 | 2021-05-28 | 东莞市金恒晟新材料科技有限公司 | Dust collector is used in protection film production |
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JP4005215B2 (en) | 2007-11-07 |
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